JP7495326B2 - 放電装置 - Google Patents
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Description
間隙を隔てて対向する一対の放電電極部材と、
前記放電電極部材のそれぞれの周縁部を支持する支持部材と
を備え、
前記放電電極部材の間に画定される放電空間を、レーザ媒質ガスが一方向に流れ、
前記支持部材のそれぞれは、前記放電空間の側に配置された押さえ部材と、前記放電空間とは反対側に配置された側壁とを含み、前記押さえ部材と前記側壁とが、前記放電電極部材を挟んで支持しており、
前記押さえ部材は、前記放電電極部材のそれぞれの周縁部の、レーザ媒質ガスの流れの上流側に位置する領域を支持する上流側部分を含み、
2つの前記上流側部分の相互に対向する面の間隔が、上流側から下流側に向かって徐々に狭くなっている放電装置が提供される。
図1は、本実施例による放電装置を搭載したレーザ発振器の断面図である。レーザ発振器10が、レーザ媒質ガス及び光共振器20等を収容するチェンバ15を含む。チェンバ15にレーザ媒質ガスが収容される。チェンバ15の内部空間が、相対的に上側に位置する光学室16と、相対的に下側に位置するブロワ室17とに区分されている。光学室16とブロワ室17とは、上下仕切り板18で仕切られている。なお、上下仕切り板18には、レーザガスを光学室16とブロワ室17との間で流通させる開口が設けられている。ブロワ室17の側壁から光学室16の底板19が光共振器20の光軸20Aの方向に張り出しており、光学室16の光軸方向の長さが、ブロワ室17の光軸方向の長さより長くなっている。
図7に示した実施例では、図4に示した実施例による放電装置の放電空間24の上下の壁面に形成されている段差36S、33Sが形成されない。このため、放電空間24を流れるレーザ媒質ガスの流れの乱れを抑制することができる。
図9は、本実施例によるレーザ加工装置の概略図である。共通ベース100に、架台85を介してレーザ発振器10が支持されている。さらに、共通ベース100に、レーザ加工部80が固定されている。共通ベース100は、例えば床である。レーザ発振器10は上記実施例による放電装置を搭載しており、パルスレーザビームを出力する。
15 チェンバ
16 光学室
17 ブロワ室
18 上下仕切り板
18A 第1開口
18B 第2開口
19 底板
20 光共振器
20A 光軸
22、23 固定具
24 放電空間
25 共振器ミラー
26 共振器ベース
27 光共振器支持部材
28 光透過窓
29 ブロワ
30 放電電極部材
31 板状部材
31P 板状部材の周縁部
32 電極板
33 保護部材
33S 段差
35 支持部材
36 押さえ部材
36A 上流側部分
36B 下流側部分
36S 段差
37 側壁
38 天板
41 上流側のダクト
42 下流側のダクト
43 上流側のガス流路
44 下流側のガス流路
51 引出電極
52 電力供給ケーブル
55、56 Oリング
60 接平面
63 整流板
80 レーザ加工部
81 ビーム整形光学系
82 ステージ
85 架台
90 加工対象物
100 共通ベース
Claims (4)
- 間隙を隔てて対向する一対の放電電極部材と、
前記放電電極部材のそれぞれの周縁部を支持する支持部材と
を備え、
前記放電電極部材の間に画定される放電空間を、レーザ媒質ガスが一方向に流れ、
前記支持部材のそれぞれは、前記放電電極部材に対して前記放電空間の側に配置された押さえ部材と、前記放電空間とは反対側に配置された側壁とを含み、前記押さえ部材と前記側壁とが、前記放電電極部材を挟んで支持しており、
前記押さえ部材は、前記放電電極部材のそれぞれの周縁部の、レーザ媒質ガスの流れの上流側に位置する領域を支持する上流側部分を含み、
2つの前記上流側部分の相互に対向する面の間隔が、上流側から下流側に向かって徐々に狭くなっている放電装置。 - 前記上流側部分の相互に対向する面は柱面であり、前記柱面の母線は、レーザ媒質ガスの流れの方向に対して垂直で、かつ前記放電電極部材の相互に対向する面に対して平行である請求項1に記載の放電装置。
- 前記上流側部分の相互に対向する面の最も下流側の縁における接平面が、レーザ媒質ガスの流れの方向に対して平行である請求項2に記載の放電装置。
- 間隙を隔てて対向する一対の放電電極部材と、
前記放電電極部材のそれぞれの周縁部を支持する支持部材と
を備え、
前記放電電極部材の間に画定される放電空間を、レーザ媒質ガスが一方向に流れ、
前記支持部材は、前記放電電極部材のそれぞれの周縁部の、レーザ媒質ガスの流れの上流側に位置する領域を支持する上流側部分を含み、
2つの前記上流側部分の相互に対向する面の間隔が、上流側から下流側に向かって徐々に狭くなっており、
前記放電電極部材のそれぞれは、
絶縁材料からなる板状部材と、
前記板状部材の一方の面に取り付けられた電極板と、
前記電極板の表面を覆う絶縁材料からなる保護部材と
を含み、
前記保護部材同士が向かい合い、前記保護部材の相互に対向する面が平行になる姿勢で、前記板状部材のそれぞれの周縁部が前記支持部材によって支持されており、
前記上流側部分の相互に対向する面の最も下流側の間隔が、前記保護部材の間隔と等しい放電装置。
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JP2022063596A JP2022063596A (ja) | 2022-04-22 |
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ID=81213421
Family Applications (1)
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JP2020171936A Active JP7495326B2 (ja) | 2020-10-12 | 2020-10-12 | 放電装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP7495326B2 (ja) |
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2020
- 2020-10-12 JP JP2020171936A patent/JP7495326B2/ja active Active
Also Published As
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