JP7471329B2 - Energy-saving ventilation system that uses process exhaust - Google Patents
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Description
本出願は、２０１９年７月２２日に中国特許局に提出し、出願番号が２０１９１０６６２６２４．２であり、発明名称が「排気にプロセス熱を利用した換気システム」との中国特許出願、および、２０１９年７月２２日に中国特許局に提出し、出願番号が２０１９１０６６３３０９．１であり、発明名称が「プロセス排気を利用する省エネ換気システム」との中国特許出願、を基礎とする優先権を主張し、その開示の総てをここに取り込む。 This application claims priority from a Chinese patent application filed on July 22, 2019 with the Patent Office of the People's Republic of China, bearing application number 201910662624.2 and entitled "Ventilation system utilizing process heat for exhaust air", and from a Chinese patent application filed on July 22, 2019 with the Patent Office of the People's Republic of China, bearing application number 201910663309.1 and entitled "Energy-saving ventilation system utilizing process exhaust air", the entire disclosures of which are incorporated herein by reference.
本発明は、工業生産の技術分野、特にプロセス排気を利用する省エネ換気システムに関する。 The present invention relates to the technical field of industrial production, and in particular to an energy-saving ventilation system that utilizes process exhaust.
集積回路製造、フラットパネルディスプレイ製造、オプトエレクトロニクスデバイスの製造分野では、プロセス製造の必要性からさまざまなプロセス排気があり、一般に、このようなプロセス排気は直接大気中に排出される。しかしながら、図１に示されるように、生産室（生産プラント）０４のプロセス装置０３からのプロセス排気のかなりの部分は、室温で非常にきれいである（または少量のほこりしか含まない）、または非常にきれいである（または少量のほこりしか含まない）高温（または低温）排気の場合、プロセス排気が排気ファン０２から直接排出される場合、排気に含まれるエネルギー（冷熱）は利用されない。結果としてエネルギーの浪費になる。同時に、プラント環境のパラメータ要件を維持するために、このタイプの排気に対応する外気処理ユニット０１を設定する必要もある。新鮮な空気はろ過、冷却、加熱、加湿など、多くのエネルギーを消費する。 In the fields of integrated circuit manufacturing, flat panel display manufacturing, and optoelectronic device manufacturing, there are various process exhausts due to the need for process manufacturing, and generally, such process exhausts are directly discharged into the atmosphere. However, as shown in FIG. 1, a significant portion of the process exhaust from the process equipment 03 in the production room (production plant) 04 is very clean (or contains only a small amount of dust) at room temperature, or in the case of hot (or cold) exhaust that is very clean (or contains only a small amount of dust), if the process exhaust is directly discharged from the exhaust fan 02, the energy (cold heat) contained in the exhaust is not utilized. As a result, it results in a waste of energy. At the same time, it is also necessary to set up an outside air treatment unit 01 corresponding to this type of exhaust in order to maintain the parameter requirements of the plant environment. Fresh air consumes a lot of energy, such as filtering, cooling, heating, and humidifying.
［発明が解決しようとする課題］
本発明の実施形態は、プロセス排気を利用する省エネ換気システムを提供し、プロセス排気を最大限に活用し、循環利用のため、利用可能なプロセス排気自体および／またはエネルギーを生産室および／または空気入口に戻し、エネルギーを節約する。
[Problem to be solved by the invention]
Embodiments of the present invention provide an energy saving ventilation system that utilizes process exhaust air, maximizes the use of the process exhaust air, and returns the available process exhaust air and/or energy to the production room and/or air inlet for recycling, thus saving energy.
［課題を解決するための手段］
本発明は、プロセス排気を利用する省エネ換気システムを提供し、前記省エネ換気システムは、
屋外の外気を処理して生産室に送るための、外気処理ユニットと、
生産室内の利用可能なプロセス排気自体および／または生産室のエネルギーを前記生産室および／または外気処理ユニットの空気入口に送り返すための、排気再利用装置とを含む。
[Means for solving the problems]
The present invention provides an energy-saving ventilation system that utilizes process exhaust gas, the energy-saving ventilation system comprising:
an outside air processing unit for processing the outside air and sending it to the production room;
and an exhaust air recycling device for feeding the available process exhaust air itself and/or the energy of the production room back to the air inlet of said production room and/or the outside air treatment unit.
本発明の実施形態によって提供される省エネ換気システムは、外気処理ユニットおよび排気再利用装置を含み、外気処理ユニットは、屋外の外気をろ過、冷却、加熱、加湿した後生産室（生産プラント）に送り、生産室内の異なるプロセス装置は、異なるプロセス排気を排出し、一部のプロセス装置のプロセス排気は、利用可能なプロセス常温排気であり、一部のプロセス装置のプロセス排気は、利用可能なプロセス高温または低温排気である。排気再利用装置は、生産室内の利用可能なプロセス排気自体および／または生産室のエネルギーを生産室および／または外気処理ユニットの空気入口に送り返すことができ、エネルギーの浪費を回避し、外気処理ユニットで新鮮な空気を処理するのに必要なエネルギーを削減し、エネルギーをさらに節約する。 The energy-saving ventilation system provided by the embodiment of the present invention includes an outdoor air treatment unit and an exhaust air recycling device, in which the outdoor air treatment unit sends the outdoor fresh air to the production room (production plant) after filtering, cooling, heating and humidifying it, and different process equipment in the production room discharge different process exhaust, and the process exhaust of some process equipment is usable process normal temperature exhaust, and the process exhaust of some process equipment is usable process high temperature or low temperature exhaust. The exhaust air recycling device can send the usable process exhaust itself in the production room and/or the energy of the production room back to the air inlet of the production room and/or the outdoor air treatment unit, avoiding energy waste, reducing the energy required to treat fresh air in the outdoor air treatment unit, and further saving energy.
任意選択で、前記排気再利用装置は、前記生産室内の利用可能なプロセス排気を回収して前記生産室に輸送するためのプロセス排気再利用ユニットを含む。 Optionally, the exhaust gas recycling apparatus includes a process exhaust gas recycling unit for recovering and transporting available process exhaust gas within the production chamber to the production chamber.
任意選択で、前記プロセス排気再利用ユニットは、利用可能なプロセス排気を排出するために前記生産室の出口に接続された吸気部と、生産室から利用可能なプロセス排気を受け取るための入口に接続された排気部と、前記吸気部と前記排気部の間にあるファン部とを含む。 Optionally, the process exhaust recycle unit includes an intake section connected to an outlet of the production chamber for exhausting available process exhaust, an exhaust section connected to an inlet for receiving available process exhaust from the production chamber, and a fan section between the intake section and the exhaust section.
任意選択で、前記吸気部と前記ファン部との間に少なくとも１つのろ過部が設置され、および／または、前記ファン部と前記排気部との間に少なくとも１つのろ過部が設置される。 Optionally, at least one filtration section is provided between the intake section and the fan section, and/or at least one filtration section is provided between the fan section and the exhaust section.
任意選択で、前記吸気部と前記ファン部との間に設置されたろ過部は、化学ろ過部および／または中効率ろ過部を含む。 Optionally, the filtration section installed between the intake section and the fan section includes a chemical filtration section and/or a medium efficiency filtration section.
任意選択で、前記ファン部と前記排気部との間に設置されたろ過部は、高効率ろ過部を含む。 Optionally, the filtration section disposed between the fan section and the exhaust section includes a high efficiency filtration section.
任意選択で、接続空気管がさらに含まれ、前記接続空気管の一端は、前記排気部に接続され、他端は、前記生産室に接続される。 Optionally, a connecting air tube is further included, one end of the connecting air tube being connected to the exhaust section and the other end being connected to the production chamber.
任意選択で、排気部空気管がさらに含まれ、前記接続空気管上に第１の電気閉鎖弁が設置され、前記排気部空気管の一端は、前記排気部と前記第１の電気閉鎖弁の間に位置する前記接続空気管に接続され、前記排気部空気管の他端は、生産室の外の大気に接続され、前記排気部の空気管上に第２の電気閉鎖弁が設置され、前記接続空気管前記排気部と前記第１の電気閉鎖弁の間に位置する部分に危険物質検出器が設置され、前記危険物質検出器は、コントローラに信号接続され、前記第１の電気閉鎖弁および第２の電気閉鎖弁の開閉をそれぞれ制御するために、前記コントローラは、前記第１の電気閉鎖弁および第２の電気閉鎖弁にそれぞれ接続され、
前記危険物質検出器が前記接続空気管内に危険物質があることを検出すると、前記コントローラは、前記第１の電気閉鎖弁を閉じ、前記第２の電気閉鎖弁を開くように制御する。
Optionally, an exhaust air pipe is further included, a first electric shut-off valve is installed on the connecting air pipe, one end of the exhaust air pipe is connected to the connecting air pipe located between the exhaust unit and the first electric shut-off valve, and the other end of the exhaust air pipe is connected to the atmosphere outside the production room , a second electric shut-off valve is installed on the exhaust air pipe, a hazardous material detector is installed in a portion of the connecting air pipe located between the exhaust unit and the first electric shut-off valve, the hazardous material detector is signal-connected to a controller, and the controller is connected to the first electric shut-off valve and the second electric shut-off valve, respectively, to control the opening and closing of the first electric shut-off valve and the second electric shut-off valve, respectively;
When the hazardous material detector detects the presence of a hazardous material in the connecting air line, the controller controls the first electric shut-off valve to close and the second electric shut-off valve to open.
任意選択で、前記プロセス排気再利用ユニットは、換気および空調機械室、吊り天井、クリーンな生産プラントの下の技術的な中二階、またはプロセスルームに設置される。 Optionally, the process exhaust gas recycle unit is installed in a ventilation and air conditioning machine room, a suspended ceiling, a technical mezzanine under a clean production plant, or in a process room.
任意選択で、前記外気処理ユニットの空気入口に屋外の外気を導入するための吸気管が接続され、前記排気再利用装置は、第１の排気ファンと、前記第１の排気ファンの空気出口に接続された第１の排気管と、第２の排気管とを含み、前記第１の排気管は、生産室外の大気と連通し、前記第１の排気管上に前記第１の排気管の外気量を制御するための第１の電気弁が設置され、前記第２の排気管は、前記吸気管と連動して、利用可能なプロセス排気自体および／またはエネルギーを外気処理ユニット空気入口での屋外の外気に伝達し、前記第２の排気管上に前記第２の排気管の外気量を制御するための第２の電気弁が設置される。 Optionally, an intake pipe for introducing outdoor fresh air is connected to the air inlet of the outdoor air treatment unit, and the exhaust gas recycle device includes a first exhaust fan, a first exhaust pipe connected to the air outlet of the first exhaust fan, and a second exhaust pipe, the first exhaust pipe communicates with the atmosphere outside the production room, a first electric valve is installed on the first exhaust pipe for controlling the amount of outdoor air in the first exhaust pipe, the second exhaust pipe is in conjunction with the intake pipe to transfer the available process exhaust itself and/or energy to the outdoor fresh air at the air inlet of the outdoor air treatment unit, and a second electric valve is installed on the second exhaust pipe for controlling the amount of outdoor air in the second exhaust pipe.
任意選択で、温度検出器がさらに含まれ、前記温度検出器は、前記外気処理ユニット空気入口の外気の温度を検出するため、前記外気処理ユニットの空気入口または外気処理ユニットに設置され、前記温度検出器は、コントローラに信号的接続され、前記コントローラは、前記第１の電気弁そ第２の電気弁信号それぞれに信号的接続され、前記コントローラは、前記温度検出器によって検出された温度と設定温度にしたがい、前記第１の電気弁と第２の電気弁の開閉の程度を制御する。 Optionally, a temperature detector is further included, the temperature detector being installed at the air inlet of the outdoor air processing unit or the outdoor air processing unit to detect the temperature of the outdoor air at the air inlet of the outdoor air processing unit, the temperature detector being signal-connected to a controller, the controller being signal-connected to the first electric valve and the second electric valve signals, respectively, and the controller controlling the degree of opening and closing of the first electric valve and the second electric valve according to the temperature detected by the temperature detector and the set temperature.
任意選択で、前記第２の排気管は、前記吸気管と直接連通する。 Optionally, the second exhaust pipe is in direct communication with the intake pipe.
任意選択で、前記第１の排気ファン内、前記第２の排気管上または前記外気処理ユニット内にろ過部が設置される。 Optionally, a filtration section is provided in the first exhaust fan, on the second exhaust pipe or in the outside air treatment unit.
任意選択で、前記第１の排気ファン内、前記第２の排気管上または前記外気処理ユニット内のろ過部に濾過器が設置される。 Optionally, a filter is installed in the first exhaust fan, on the second exhaust pipe or in a filtering section in the outside air treatment unit.
任意選択で、前記第１の排気ファンの空気入口は、高温の排気主管を介してプロセス装置の排気口と連通する。 Optionally, the air inlet of the first exhaust fan communicates with the exhaust of the process equipment via a high temperature exhaust main.
任意選択で、前記高温の排気主管内に危険物質検出器が設置され、前記危険物質検出器は、コントローラに信号接続され、前記コントローラは、前記第１の電気弁と第２の電気弁それぞれに信号的接続され、
前記危険物質検出器が前記高温の排気主管内の危険物質の存在を検出すると、前記第２の電気弁が閉じられ、前記第１の電気弁が完全に開く。
Optionally, a hazardous material detector is installed in the hot exhaust main, the hazardous material detector being signally connected to a controller, the controller being signally connected to each of the first electric valve and the second electric valve;
When the hazardous material detector detects the presence of hazardous materials in the hot exhaust main, the second electric valve is closed and the first electric valve is fully open.
任意選択で、熱回収装置がさらに含まれ、前記熱回収装置の空気入口は、前記第１の排気管と連通し、前記熱回収装置の空気出口は、前記生産室の外の大気と連通し、前記第１の排気管は、前記第１の排気管内の利用可能なプロセス排気のエネルギーを外気処理ユニット空気入口での屋外の外気に間接的に伝達するように、前記熱回収装置を介して前記外気処理ユニット空気入口と協働する。 Optionally, a heat recovery device is further included, the air inlet of the heat recovery device being in communication with the first exhaust pipe, the air outlet of the heat recovery device being in communication with the atmosphere outside the production room, and the first exhaust pipe cooperating with the outdoor air treatment unit air inlet via the heat recovery device to indirectly transfer the energy of the available process exhaust in the first exhaust pipe to outdoor air at the outdoor air treatment unit air inlet.
任意選択で、前記熱回収装置は、ランナータイプ、プレートタイプ、フィンタイプ、ヒートパイプタイプ、シェルアンドチューブタイプ、および中間熱媒体タイプの１つまたは組み合わせを含む。 Optionally, the heat recovery device includes one or a combination of a runner type, a plate type, a fin type, a heat pipe type, a shell and tube type, and an intermediate heat medium type.
任意選択で、熱回収装置がさらに含まれ、前記第２の排気管は、前記第２の排気管内可プロセス排気を利用したエネルギーを外気処理ユニット空気入口での屋外の外気に間接的に伝達するように、前記熱回収装置を介して前記吸気管と協働する。 Optionally, a heat recovery device is further included, and the second exhaust pipe cooperates with the intake pipe via the heat recovery device to indirectly transfer energy utilizing the processable exhaust in the second exhaust pipe to outdoor air at the outdoor air processing unit air inlet.
任意選択で、前記熱回収装置は、ランナータイプ、プレートタイプ、フィンタイプ、ヒートパイプタイプ、シェルアンドチューブタイプ、および中間熱媒体タイプの１つまたは組み合わせを含む。 Optionally, the heat recovery device includes one or a combination of a runner type, a plate type, a fin type, a heat pipe type, a shell and tube type, and an intermediate heat medium type.
任意選択で、前記熱回収装置は、前記外気処理ユニット内に設置されるか、または前記第２の排気管上に設置されるか、または前記第１の排気ファンに設置される。 Optionally, the heat recovery device is installed within the outside air processing unit, or installed on the second exhaust pipe, or installed on the first exhaust fan.
任意選択で、前記生産室内の利用できないプロセス排気を排出するための第２の排気ファンがさらに含まれる。 Optionally, a second exhaust fan is further included for exhausting unusable process exhaust air from within the production chamber.
［符号の説明］
符号：
０１－外気処理ユニット ０２－排気ファン ０３－プロセス装置 ０４－生産室
１－外気処理ユニット １１－吸気管 １２－温度検出器 ２－排気再利用装置 ２１－プロセス排気再利用ユニット ２１１－吸気部 ２１２－化学ろ過部 ２１３－中効率ろ過部 ２１４－ファン部 ２１５－高効率ろ過部 ２１６－排気部 ２２－第１の排気ファン ２３－第２の排気ファン ２４－接続空気管 ２４１－第１の電気閉鎖弁 ２４２－危険物質検出器 ２５－排気部空気管 ２５１－第２の電気閉鎖弁 ３－プロセス装置 ４１－第１の排気管 ４１１－第１の電気弁 ４２－第２の排気管 ４２１－第２の電気弁 ４３－高温の排気主管 ４３１－危険物質検出器 ５１、５２－熱回収装置。
[Explanation of symbols]
Sign:
01 - outside air treatment unit 02 - exhaust fan 03 - process equipment 04 - production room 1 - outside air treatment unit 11 - intake pipe 12 - temperature detector 2 - exhaust air recycling device 21 - process exhaust air recycling unit 211 - intake section 212 - chemical filtration section 213 - medium efficiency filtration section 214 - fan section 215 - high efficiency filtration section 216 - exhaust section 22 - first exhaust fan 23 - second exhaust fan 24 - connecting air pipe 241 - first electric shut-off valve 242 - hazardous substance detector 25 - exhaust section air pipe 251 - second electric shut-off valve 3 - process equipment 41 - first exhaust pipe 411 - first electric valve 42 - second exhaust pipe 421 - second electric valve 43 - high temperature exhaust main pipe 431 - hazardous substance detector 51, 52 - heat recovery device.
本出願の実施形態における技術的解決策は、本出願の実施形態における図面と併せて、以下に明確かつ完全に説明される。 The technical solutions in the embodiments of the present application are clearly and completely described below in conjunction with the drawings in the embodiments of the present application.
図２および５に示すように、本発明は、プロセス排気を利用する省エネ換気システムを提供する。省エネ換気システムには、外気処理ユニット１と、排気再利用装置２とを含む。 As shown in Figures 2 and 5, the present invention provides an energy-saving ventilation system that utilizes process exhaust air. The energy-saving ventilation system includes an outside air processing unit 1 and an exhaust air recycling device 2.
前記外気処理ユニット１は、屋外の外気を処理して生産室に送るように構成される。 The outdoor air processing unit 1 is configured to process outdoor air and send it to the production room.
前記排気再利用装置２は、生産室内の利用可能なプロセス排気自体および／またはエネルギーを生産室および／または外気処理ユニット１１空気入口に送り返すように構成される。 The exhaust gas recycle device 2 is configured to send the available process exhaust gas itself and/or energy in the production room back to the production room and/or the air inlet of the outside air treatment unit 11.
本発明の実施形態によって提供される省エネ換気システムは、外気処理ユニット１および排気再利用装置２を含む。外気処理ユニット１は、屋外の外気を、ろ過、冷却、加熱、加湿などした後、生産室（生産プラント）に送る。生産室内の異なるプロセス装置３は、異なるプロセス排気を排出し、一部のプロセス装置０３のプロセス排気は、利用可能なプロセス常温排気であり、一部のプロセス装置のプロセス排気は、利用可能なプロセス高温または低温排気である。排気再利用装置２は、生産室内の利用可能なプロセス排気自体および／またはエネルギーを生産室および／または外気処理ユニット空気入口に伝達する。これにより、エネルギーの浪費を回避し、外気処理ユニット１による外気処理に必要なエネルギーを減らすことができ、それによってエネルギーを節約する。 The energy-saving ventilation system provided by the embodiment of the present invention includes an outdoor air treatment unit 1 and an exhaust air recycling device 2. The outdoor air treatment unit 1 sends the outdoor outdoor air to the production room (production plant) after filtering, cooling, heating, humidifying, etc. Different process devices 3 in the production room discharge different process exhaust, and the process exhaust of some process devices 03 is usable process normal temperature exhaust, and the process exhaust of some process devices is usable process high temperature or low temperature exhaust. The exhaust air recycling device 2 transfers the usable process exhaust itself and/or energy in the production room to the production room and/or the outdoor air treatment unit air inlet. This can avoid energy waste and reduce the energy required for outdoor air treatment by the outdoor air treatment unit 1, thereby saving energy.
利用可能なプロセス排気は、室温排気、高温排気、低温排気のいずれかであり、高温排気の回収エネルギーは排気熱であり、低温排気の回収エネルギーは排気の冷エネルギーである。 The available process exhaust can be either room temperature exhaust, high temperature exhaust, or low temperature exhaust, and the recovered energy for high temperature exhaust is the exhaust heat, and for low temperature exhaust the recovered energy is the exhaust cold energy.
可能な実施において、図２に示されるように、排気再利用装置２は、生産室内の利用可能なプロセス排気を回収して生産室に輸送するためのプロセス排気再利用ユニット２１である。ここで、利用可能なプロセス排気は、温度と湿度が生産室の環境と一致する常温排気である。 In a possible implementation, as shown in FIG. 2, the exhaust gas recycling device 2 is a process exhaust gas recycling unit 21 for recovering and transporting available process exhaust gas in the production room to the production room. Here, the available process exhaust gas is room temperature exhaust gas whose temperature and humidity match the environment of the production room.
上記の省エネ換気システムでは、図２に示すように、生産室には２種類のプロセス排気口があり、外気処理ユニット１で外気をろ過、冷却、加熱、加湿した後、生産室に送られ、生産室の利用できないプロセス排気Ａは直接大気に排出され、外気量はＱＡである。直接利用可能なプロセス排気Ｂ（常温排気）は、プロセス排気再利用ユニット２１で直接部屋に送り返されるか、ろ過後に部屋に送り返され、外気量はＱＢである。外気処理ユニット１で補充される必要のある外気量はＱＡである。従来の換気システムでは、図１に示すように、生産室の利用できないプロセス排気が直接大気に排出され、外気量はＱＡであり、利用可能なプロセス排気Ｂも直接大気に排出され、外気量はＱＢである。外気処理ユニット１で補充される必要のある外気量はＱＡ＋ＱＢである。従来の換気システムと比較して、本発明の実施形態の換気システムは、本発明では、外気処理ユニット１によって補充される必要がある外気量はＱＡであり、新しく補う外気量はＱＢが減少する。 In the above energy-saving ventilation system, as shown in FIG. 2, there are two kinds of process exhaust ports in the production room, and the outdoor air is filtered, cooled, heated and humidified in the outdoor air processing unit 1 before being sent to the production room, and the unusable process exhaust A in the production room is directly discharged to the atmosphere, and the amount of outdoor air is QA. The directly usable process exhaust B (room temperature exhaust) is directly sent back to the room by the process exhaust recycle unit 21 or sent back to the room after filtering, and the amount of outdoor air is QB. The amount of outdoor air that needs to be replenished by the outdoor air processing unit 1 is QA. In the conventional ventilation system, as shown in FIG. 1, the unusable process exhaust in the production room is directly discharged to the atmosphere, and the amount of outdoor air is QA, and the usable process exhaust B is also directly discharged to the atmosphere, and the amount of outdoor air is QB. The amount of outdoor air that needs to be replenished by the outdoor air processing unit 1 is QA+QB. Compared with the conventional ventilation system, the ventilation system of the embodiment of the present invention, in the present invention, the amount of outdoor air that needs to be replenished by the outdoor air processing unit 1 is QA, and the amount of newly supplemented outdoor air is reduced by QB.
したがって、上記の実施形態では、利用可能な常温排気は、プロセス排気再利用ユニット２１を利用することによって再利用するために生産室に送り返され、これにより、生産室内の外気量が減少し、外気処理ための熱と冷エネルギーが低減され、および外気処理ユニット１の容量が削減され、エネルギーが節約される。 Therefore, in the above embodiment, the available room temperature exhaust air is sent back to the production room for reuse by utilizing the process exhaust air reuse unit 21, which reduces the amount of outside air in the production room, reduces the heat and cold energy for outside air treatment, and reduces the capacity of the outside air treatment unit 1, saving energy.
具体的には、本出願の実施形態では、利用可能なプロセス排気のうち、温度および湿度および清浄度の要件を満たす一部のプロセス排気が直接生産室に送り返される。温度と湿度の要件を満たすが、清浄度の要件を満たさない一部のプロセス排気はろ過されてから生産室に送られる。ここで、プロセス排気も処理する必要があるが、処理プロセスは、外気処理ユニット１の外気処理プロセスよりも単純であり、より少ないエネルギー消費を必要とする。 Specifically, in an embodiment of the present application, among the available process exhaust air, a portion of the process exhaust air that meets the temperature, humidity and cleanliness requirements is sent directly back to the production room. A portion of the process exhaust air that meets the temperature and humidity requirements but does not meet the cleanliness requirements is filtered and then sent to the production room. Here, the process exhaust air also needs to be treated, but the treatment process is simpler and requires less energy consumption than the outdoor air treatment process of the outdoor air treatment unit 1.
具体的には、前述の実施形態の生産室は、クリーンルームを含み得る。 Specifically, the production room in the above-mentioned embodiment may include a clean room.
さらに、利用可能な常温排気を要件に適合させ、生産室に送り返すために、図３を参照すると、本出願の実施形態におけるプロセス排気再利用ユニット２１は、利用可能なプロセス排気のための排気室の出口に連通された吸気部２１１と、利用可能なプロセス排気を受け入れるための生産室の入口に連通された排気部２１６と、吸気部２１１と排気部２１６との間に位置するファン部２１４とを含む。利用可能なプロセス排気温度、湿度および清浄度が要件を満たす場合、このようなプロセス排気は、プロセス排気再利用ユニット２１に入った後、ファン部２１４に入った後、排気部２１６を介して生産室に直接送り返されて、再利用される。 Furthermore, in order to adapt the available normal temperature exhaust gas to the requirements and send it back to the production room, referring to FIG. 3, the process exhaust gas recycling unit 21 in the embodiment of the present application includes an intake section 211 connected to the outlet of the exhaust room for the available process exhaust gas, an exhaust section 216 connected to the inlet of the production room for receiving the available process exhaust gas, and a fan section 214 located between the intake section 211 and the exhaust section 216. If the available process exhaust gas temperature, humidity and cleanliness meet the requirements, such process exhaust gas will enter the process exhaust gas recycling unit 21, enter the fan section 214, and then be sent directly back to the production room via the exhaust section 216 for reuse.
さらに、少なくとも１つのろ過部は、吸気部２１１とファン部２１４の間、またはファン部２１４と排気部２１６の間に設定される。または、少なくとも１つのろ過部は、吸気部２１１とファン部２１４の間、およびファン部２１４と排気部２１６の間に設定される。利用可能なプロセス排気は、吸気部２１１から入り、清浄度が要件を満たさないプロセス排気は、生産室の清浄度を確保するために、ろ過部を通って生産室に送り返される。 Furthermore, at least one filtration section is set between the intake section 211 and the fan section 214, or between the fan section 214 and the exhaust section 216. Or, at least one filtration section is set between the intake section 211 and the fan section 214, and between the fan section 214 and the exhaust section 216. The available process exhaust enters from the intake section 211, and the process exhaust whose cleanliness does not meet the requirements is sent back to the production room through the filtration section to ensure the cleanliness of the production room.
任意選択で、例として図３を取り上げると、吸気部２１１とファン部２１０との間に設置されるろ過部は、化学ろ過部２１２および／または中効率ろ過部２１３を含むことができるが、これらに限定されない。化学ろ過部２１２はプロセス排気中混入された分子レベルの汚染物質を吸着でき、中効率ろ過部２１３は粒子状物質を含むプロセス排気をさらにろ過できるため、再利用されたプロセス排気は清浄度の要件を満たすようになる。
任意選択で、ファン部２１４と排気部２１６との間に設置されるろ過部は、高効率ろ過部２１５を含むことができるが、これらに限定されない。ファン部２１４からのプロセス排気をさらに高効率のろ過することにより、再利用されたプロセス排気が浄度の要件を満たすことができるため、再利用のために生産室に送り返すことができる。
Optionally, taking Fig. 3 as an example, the filtration section installed between the intake section 211 and the fan section 210 can include, but is not limited to, a chemical filtration section 212 and/or a medium efficiency filtration section 213. The chemical filtration section 212 can adsorb molecular-level contaminants entrained in the process exhaust, and the medium efficiency filtration section 213 can further filter the process exhaust containing particulate matter, so that the recycled process exhaust meets the cleanliness requirements.
Optionally, the filtration section installed between the fan section 214 and the exhaust section 216 can include, but is not limited to, a high efficiency filtration section 215. Further high efficiency filtration of the process exhaust from the fan section 214 can allow the recycled process exhaust to meet cleanliness requirements and thus can be sent back to the production room for reuse.
本出願の実施形態では、プロセス排気再利用ユニット２１の各ろ過部は、排気の性質および生産室の要件に従って選択および設定されることに留意されたい。これは必須の機能部ではない。また、各ろ過部の位置は、要件に応じて調整できる。同時に、利用可能なプロセス排気の浄化には、濾過器処理だけでなく、他のタイプの濾過器浄化形態（水洗浄、吸着、吸収、燃焼など）も含まれる。 It should be noted that in the embodiment of the present application, each filtration section of the process exhaust gas recycling unit 21 is selected and set according to the nature of the exhaust gas and the requirements of the production room. This is not a required functional section. And the position of each filtration section can be adjusted according to the requirements. At the same time, the purification of the available process exhaust gas includes not only filter treatment, but also other types of filter purification forms (such as water washing, adsorption, absorption, combustion, etc.).
具体的には、本出願のこの実施形態では、プロセス排気再利用ユニット２１は、換気および空調機械室に設置するか、吊り天井に設置するか、クリーンな生産プラントの下の技術的中二階に設置するか、またはプロセスルーム内の設置要件を満たす任意の位置に設置することができる。 Specifically, in this embodiment of the present application, the process exhaust gas recycle unit 21 can be installed in the ventilation and air conditioning machine room, installed in a suspended ceiling, installed in a technical mezzanine under a clean production plant, or installed in any position that meets the installation requirements in the process room.
具体的には、プロセス排気再利用ユニット２１が換気および空調機械室に設置されるか、または吊り天井に設置される場合、本出願の実施形態における省エネ換気システムは、接続空気管２４をさらに含む。接続空気管２４の一端は空気出口に接続され、セクション２１６が接続され、利用可能なプロセス排気を接続空気管を通って生産室に戻すため、他端が生産室に接続される。 Specifically, when the process exhaust gas recycle unit 21 is installed in the ventilation and air conditioning machine room or installed in the suspended ceiling, the energy-saving ventilation system in the embodiment of the present application further includes a connecting air pipe 24. One end of the connecting air pipe 24 is connected to the air outlet and the section 216 is connected, and the other end is connected to the production room for returning the available process exhaust gas through the connecting air pipe to the production room.
実際の本発明では、プロセス生産要件のため、生産室に有害化学物質を利用するプロセス装置があり、危険物質を含むプロセス排気が排出される。危険物質を含むプロセス排気が漏れると、利用可能なプロセス排気を汚染する可能性がある。汚染されたプロセス排気の再循環を防ぐために、排気部の空気管２５を接続空気管に接続することができる。図４に示すように、接続空気管２４には、第１の電気閉鎖弁２４１が設けられている。排気部空気管２５の一端は、排気部２１６と第１の電気閉鎖弁２４１との間に位置する接続空気管２４に接続され、排気部空気管２５の他端は、生産室の外の大気に接続され、排気部空気管２５上に第２の電気閉鎖弁２５１が設けられている。排気部２１６と第１の電気閉鎖弁２４１との間に位置する接続空気管２４の部分には、危険物質検出器２４２が設けられている。危険物質検出器２４２は、コントローラと信号的接続される。コントローラは、第１の電気閉鎖弁２４１および第２の電気閉鎖弁２５１それぞれに信号的接続することにより、第１の電気閉鎖弁２４１と第２の電気閉鎖弁２５１の開閉を制御する。危険物質検出器２４２が危険物質を検出しない場合、コントローラは、利用可能なプロセス排気を再利用するために、第１の電気閉鎖弁を開くように制御し、第２の電気閉鎖弁を閉じるように制御する。危険物質検出器が危険物質を検出した場合、コントローラは、第１の電気閉鎖弁を閉じるように制御し、第２の電気閉鎖弁を開くように制御する。これにより、汚染された利用可能なプロセス排気が直接排出され、生産室の環境の汚染を防ぐ。 In the actual present invention, due to the process production requirements, there is a process device that utilizes hazardous chemicals in the production room, and process exhaust containing hazardous substances is discharged. If the process exhaust containing hazardous substances leaks, it may contaminate the available process exhaust. In order to prevent the recirculation of the polluted process exhaust, the air pipe 25 of the exhaust section can be connected to the connecting air pipe. As shown in FIG. 4, the connecting air pipe 24 is provided with a first electric shutoff valve 241. One end of the exhaust section air pipe 25 is connected to the connecting air pipe 24 located between the exhaust section 216 and the first electric shutoff valve 241, and the other end of the exhaust section air pipe 25 is connected to the atmosphere outside the production room , and a second electric shutoff valve 251 is provided on the exhaust section air pipe 25. A hazardous substance detector 242 is provided in the part of the connecting air pipe 24 located between the exhaust section 216 and the first electric shutoff valve 241. The hazardous substance detector 242 is signal-connected to the controller. The controller controls the opening and closing of the first electric shut-off valve 241 and the second electric shut-off valve 251 by signally connecting them, respectively. If the hazardous material detector 242 does not detect a hazardous material, the controller controls the first electric shut-off valve to open and the second electric shut-off valve to close in order to reuse the available process exhaust. If the hazardous material detector detects a hazardous material, the controller controls the first electric shut-off valve to close and the second electric shut-off valve to open, thereby allowing the contaminated available process exhaust to be directly exhausted, preventing contamination of the production room environment.
具体的には、プロセス排気再利用ユニット２１は、生産室またはクリーンな生産プラントの下の技術的な中二階に設置され、プロセス排気再利用ユニット２１の排気部２１６は、出口空気の形で直接設置することもでき、生産室またはクリーンな生産プラントの下の技術的な中二階に還気を直接に送る。 Specifically, the process exhaust gas recycle unit 21 is installed on a technical mezzanine floor below the production room or clean production plant, and the exhaust section 216 of the process exhaust gas recycle unit 21 can also be installed directly in the form of outlet air, directly sending return air to the technical mezzanine floor below the production room or clean production plant.
別の可能な実施において、図５および６に示されるように、外気送風機ユニット１の空気入口は、屋外外気を導入するための吸気管１１に接続され、排気再利用装置２は、第１の排気ファン２２と、第１の排気ファン２２空気出口に接続される第１の排気管４１と、第２の排気管４２とを含み得る。第１の排気管４１は、生産室の外の大気と連通している。第１の排気管４１上に第１の排気管４１外気量を制御するための第１の電気弁４１１が設置される。第２の排気管４２は、吸気管１１と協働して、利用可能なプロセス排気自体および／またはエネルギーを外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気に伝達する。第２の排気管４２上に第２の排気管４２外気量を制御するための第２の電気弁４２１が設置される。この構造では、利用可能なプロセス排気は、高温排気または低温排気である可能性がある。 In another possible implementation, as shown in Figs. 5 and 6, the air inlet of the outside air blower unit 1 is connected to the intake pipe 11 for introducing outdoor outside air, and the exhaust air recycle device 2 may include a first exhaust fan 22, a first exhaust pipe 41 connected to the air outlet of the first exhaust fan 22, and a second exhaust pipe 42. The first exhaust pipe 41 is in communication with the atmosphere outside the production room. A first electric valve 411 is installed on the first exhaust pipe 41 to control the amount of outside air in the first exhaust pipe 41. The second exhaust pipe 42 cooperates with the intake pipe 11 to transfer the available process exhaust itself and/or energy to the outdoor outside air at the air inlet of the outside air treatment unit 1. A second electric valve 421 is installed on the second exhaust pipe 42 to control the amount of outside air in the second exhaust pipe 42. In this structure, the available process exhaust may be high-temperature exhaust or low-temperature exhaust.
上記の省エネ換気システムは、外気処理ユニット１および第１の排気ファン２２を含む。外気処理ユニット１は、屋外の外気を処理して生産室に送る。第１の排気ファン２２は、生産室内のプロセス装置３によって生成された利用可能なプロセス排気を生産室外に排出する。第１の排気ファン２２の空気出口に第１の排気管４１と第２の排気管４２が接続されるため、第１の排気管４１は、生産室の外の大気と連通し、第２の排気管４２は、吸気管１１と協働して、利用可能なプロセス排気自体および／またはエネルギーを外気処理ユニット１の空気入口での屋外の外気に伝達することができる。第１の電気弁４１１が部分的または全部閉じられ、第２の電気弁が開かれるとき、プロセス装置３によって生成された利用可能なプロセス排気の場合、第２の排気管４２を介して利用可能なプロセス排気自体および／またはエネルギーを外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気に移送され、プロセス排気に含まれるエネルギーは、回收再利用され、エネルギーの浪費を回避し、外気処理ユニット１による外気処理に必要なエネルギーを低減し、エネルギーを節約する。 The above energy-saving ventilation system includes an outside air processing unit 1 and a first exhaust fan 22. The outside air processing unit 1 processes outdoor outside air and sends it to the production room. The first exhaust fan 22 exhausts usable process exhaust generated by the process device 3 in the production room to the outside of the production room. Since the first exhaust pipe 41 and the second exhaust pipe 42 are connected to the air outlet of the first exhaust fan 22, the first exhaust pipe 41 communicates with the atmosphere outside the production room, and the second exhaust pipe 42 cooperates with the intake pipe 11 to transfer the usable process exhaust itself and/or energy to the outdoor outside air at the air inlet of the outside air processing unit 1. When the first electric valve 411 is partially or fully closed and the second electric valve is opened, in the case of usable process exhaust generated by the process device 3, the usable process exhaust itself and/or energy is transferred via the second exhaust pipe 42 to the outdoor fresh air at the air inlet of the fresh air treatment unit 1, and the energy contained in the process exhaust is recovered and reused, avoiding energy waste, reducing the energy required for fresh air treatment by the fresh air treatment unit 1, and saving energy.
実際の応用では、利用可能なプロセス排気が高温排気である場合、外気は冬に外気処理ユニット１によって補充され、適切な温度に達して生産室に送られるために、外気を外気処理ユニット１で加熱する必要があり、多くのエネルギーを消費する。上記の換気システムでは、第１の排気ファン２２は、生産プラント内のプロセス装置３によって生成された高温排気を生産プラントから排出し、排気ファン２の空気出口に第１の排気管４１と第２の排気管４２が接続されるため、第１の排気管４１は、生産プラントの外部の大気と連通し、第２の排気管４２は、吸気管１１と協働して、高温排気の熱を外気処理ユニット空気入口での屋外の外気に移送する。具体的には、第１の電気弁４１１を部分的または完全に閉じ、第２の電気弁４２１を開く場合、プロセス装置３によって生成された高温排気の熱を、第２の排気管４２を介して外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気に伝達し、外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気の温度を向上し、冬の際、外気処理ユニット１による屋外の外気に対する加熱量を低減し、エネルギーを節約する目的を達成する。夏には、第２の電気弁４２１を閉じ、第１の電気弁４１１を開くことにより、プロセス装置３によって生成された高温排気を空気に直接に排出でき、外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気の温度に影響しない。 In practical application, when the available process exhaust is high-temperature exhaust, the outdoor air needs to be heated by the outdoor air treatment unit 1 in winter to reach the appropriate temperature and be sent to the production room, consuming a lot of energy. In the above ventilation system, the first exhaust fan 22 exhausts the high-temperature exhaust generated by the process equipment 3 in the production plant from the production plant, and the first exhaust pipe 41 and the second exhaust pipe 42 are connected to the air outlet of the exhaust fan 2, so that the first exhaust pipe 41 communicates with the atmosphere outside the production plant, and the second exhaust pipe 42 cooperates with the intake pipe 11 to transfer the heat of the high-temperature exhaust to the outdoor air at the air inlet of the outdoor air treatment unit. Specifically, when the first electric valve 411 is partially or completely closed and the second electric valve 421 is opened, the heat of the high-temperature exhaust gas generated by the process device 3 is transferred to the outdoor air at the air inlet of the outdoor air processing unit 1 through the second exhaust pipe 42, improving the temperature of the outdoor air at the air inlet of the outdoor air processing unit 1, reducing the amount of heating of the outdoor air by the outdoor air processing unit 1 in winter, and achieving the purpose of saving energy. In summer, the second electric valve 421 is closed and the first electric valve 411 is opened, so that the high-temperature exhaust gas generated by the process device 3 can be directly discharged into the air, without affecting the temperature of the outdoor air at the air inlet of the outdoor air processing unit 1.
さらに、利用可能な排気は低温排気でもよい。夏には、第２の排気管４２が吸気管１１と協働して、低温排気の冷エネルギーを外気処理ユニットの空気入口での屋外の外気に伝達する。具体的には、第１の電気弁４１１が部分的に閉じ、第２の電気弁４２１が開くと、プロセス装置３によって生成された低温排気の冷エネルギーは、第２の排気管４２を介して外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気に伝達し、外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気の温度を下げることができ、それにより、夏季の外気処理ユニット１による外気の冷却能力を低下させ、エネルギーを節約する目的を達成する。 In addition, the available exhaust air may be low-temperature exhaust air. In summer, the second exhaust pipe 42 cooperates with the intake pipe 11 to transfer the cold energy of the low-temperature exhaust air to the outdoor air at the air inlet of the outdoor air treatment unit. Specifically, when the first electric valve 411 is partially closed and the second electric valve 421 is open, the cold energy of the low-temperature exhaust air generated by the process device 3 can be transferred to the outdoor air at the air inlet of the outdoor air treatment unit 1 through the second exhaust pipe 42, and the temperature of the outdoor air at the air inlet of the outdoor air treatment unit 1 can be reduced, thereby reducing the cooling capacity of the outdoor air by the outdoor air treatment unit 1 in summer and achieving the purpose of saving energy.
具体的には、季節によって外気温が異なり、生産室での生産に必要な温度も異なる。排気再利用装置を利用してプロセス排気のエネルギーを回収する場合は、利用可能なプロセス排気のエネルギー回収量を制御し、外気処理ユニットのエネルギー消費を削減する。プロセス排気を利用したエネルギーの回収量を調整するため、換気システムに温度検出器１２が設置されることができ、図７に示すように、温度検出器１２は、外気処理ユニット１の空気入口または外気処理ユニット１内に設けられ、外気処理ユニットの空気入口の外気の温度を検出し、外気処理ユニット空気入口での外気は、プロセス排気のエネルギーを受け取った後の外気外気である。温度検出器１２はコントローラと信号的接続され、コントローラは、第１の電気弁４１１および第２の電気弁４２１それぞれに信号的接続される。コントローラは、温度検出器によって検出された温度および設定温度に従って、第１の電気弁４１１と第２の電気弁４２１の開閉の程度を制御する。 Specifically, the outdoor temperature varies depending on the season, and the temperature required for production in the production room also varies. When the exhaust gas recycle device is used to recover the energy of the process exhaust gas, the amount of energy recovered from the available process exhaust gas is controlled to reduce the energy consumption of the outdoor air treatment unit. In order to adjust the amount of energy recovered using the process exhaust gas, a temperature detector 12 can be installed in the ventilation system. As shown in FIG. 7, the temperature detector 12 is installed in the air inlet of the outdoor air treatment unit 1 or in the outdoor air treatment unit 1 to detect the temperature of the outdoor air at the air inlet of the outdoor air treatment unit, and the outdoor air at the air inlet of the outdoor air treatment unit is the outdoor air after receiving the energy of the process exhaust gas. The temperature detector 12 is signal-connected to the controller, and the controller is signal-connected to the first electric valve 411 and the second electric valve 421, respectively. The controller controls the degree of opening and closing of the first electric valve 411 and the second electric valve 421 according to the temperature detected by the temperature detector and the set temperature.
実際の応用では、設定温度は、外気処理ユニットのエネルギー消費量が最も少ない条件下で必要な温度である。利用可能なプロセス排気が高温排気の場合、高温排気の熱は、第２の排気管４２と吸気管１１の協働により、外気処理ユニット空気入口での屋外の外気に伝達する。温度検出器は、外気処理ユニット空気入口の外気の温度を検出し、コントローラは、設定温度と外気処理ユニット空気入口の外気の温度を比較し、差値に応じて、コントローラは、第１の電気弁および第２の電気弁の開閉の程度を制御する。例えば、外気処理ユニット空気入口の外気の温度が設定温度よりも低い場合、コントローラは、第２の電気弁４２１の開く程度を大きくするかまたは全部開くように制御し、第２の排気管内の外気量を増やし、第１の電気弁４１１の閉じる程度を小さくするか全部閉じ、第１の排気管内の外気量を減らし、それによってエネルギーの回収量を増加させる。または、外気処理ユニット空気入口の外気の温度は、設定温度より高い場合、コントローラは、第２の電気弁４２１の閉じる程度を小さくするか全部閉じるように制御し、第２の排気管内の外気量を減らし、第１の電気弁の開く程度を大きくするかまたは全部開くように制御し、第１の排気管内の外気量を増やし、エネルギーの回収量を低減する。 In practical application, the set temperature is the temperature required under the condition of the lowest energy consumption of the outdoor air treatment unit. When the available process exhaust is high-temperature exhaust, the heat of the high-temperature exhaust is transferred to the outdoor outdoor air at the outdoor air treatment unit air inlet through the cooperation of the second exhaust pipe 42 and the intake pipe 11. The temperature detector detects the temperature of the outdoor air at the outdoor air treatment unit air inlet, and the controller compares the set temperature with the outdoor air temperature at the outdoor air treatment unit air inlet, and according to the difference value, the controller controls the degree of opening and closing of the first electric valve 421. For example, when the temperature of the outdoor air at the outdoor air treatment unit air inlet is lower than the set temperature, the controller controls the second electric valve 421 to open more or fully, increasing the amount of outdoor air in the second exhaust pipe, and the first electric valve 411 to close less or fully, reducing the amount of outdoor air in the first exhaust pipe, thereby increasing the amount of energy recovery. Alternatively, if the temperature of the outside air at the air inlet of the outside air processing unit is higher than the set temperature, the controller controls the second electric valve 421 to close less or to close completely, reducing the amount of outside air in the second exhaust pipe, and controls the first electric valve to open more or to open completely, increasing the amount of outside air in the first exhaust pipe and reducing the amount of energy recovery.
任意選択で、図５、６、および７に示すように、第２の排気管４２を外気処理ユニット１の吸気管１１に直接接続して、利用可能なプロセス排気自体とそのエネルギーを外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気に伝達し、外気処理ユニット１による外気処理に必要なエネルギーを低減し、エネルギーを節約し、生産室の外気量を低減し、それにより、外気処理ユニット１の容量を減らし、エネルギーを節約する。 Optionally, as shown in Figures 5, 6 and 7, the second exhaust pipe 42 can be directly connected to the intake pipe 11 of the outdoor air treatment unit 1 to transfer the available process exhaust air itself and its energy to the outdoor outdoor air at the outdoor air treatment unit 1 air inlet, reducing the energy required for outdoor air treatment by the outdoor air treatment unit 1, saving energy, and reducing the amount of outdoor air in the production room, thereby reducing the capacity of the outdoor air treatment unit 1 and saving energy.
さらに、第２の排気管が吸気管に直接接続されている場合、清浄度の要件を満たさないプロセス排気の一部は、生産室に送り返される前に濾過される。第１の排気ファン２２および第２の排気パイプ４２または外気処理ユニット１にろ過部を設けて、利用可能なプロセス排気にほこり等の不純物が存在する場合に、排気中に存在する不純物が生産室に入るのを防止することができる。 Furthermore, if the second exhaust pipe is directly connected to the intake pipe, the part of the process exhaust air that does not meet the cleanliness requirements will be filtered before being sent back to the production room. The first exhaust fan 22 and the second exhaust pipe 42 or the outside air treatment unit 1 can be provided with a filtering section to prevent impurities such as dust present in the available process exhaust air from entering the production room.
具体的には、第１の排気ファン２２、第２の排気管４２、または外気処理ユニット１のろ過部に濾過器が設けられている。濾過器は、プロセス装置３によって生成された利用可能なプロセス排気を濾過する。また、ろ過部は、水洗、吸着等、他にも様々なろ過方法で排気をろ過することができるが、ここに限定されない。 Specifically, a filter is provided in the first exhaust fan 22, the second exhaust pipe 42, or the filtering section of the outside air processing unit 1. The filter filters the usable process exhaust gas generated by the process device 3. The filtering section can also filter the exhaust gas using various other filtering methods, such as water washing and adsorption, but is not limited to these.
第１の排気ファン２２、第２の排気管４２、または外気処理ユニット１に１つまたは複数のろ過部を設けることができ、各ろ過部を異なるろ過機能部にして、異なるろ過を達成できることに留意されたい。特定のろ過部は、生産プラントの実際の状況に応じて設定され、ここでの制限はない。 It should be noted that the first exhaust fan 22, the second exhaust pipe 42, or the outside air treatment unit 1 can be provided with one or more filtration sections, and each filtration section can be a different filtration function section to achieve different filtration. The specific filtration section is set according to the actual situation of the production plant, and there is no limitation here.
上記の省エネ換気システムにおいて、具体的には、第１の排気ファン２２の空気入口は、高温の排気主管４３を介してプロセス装置３の空気出口と連通している。 In the above energy-saving ventilation system, specifically, the air inlet of the first exhaust fan 22 is connected to the air outlet of the process equipment 3 via the high-temperature exhaust main pipe 43.
さらに、危険物質検出器４３１を、高温排気主管４３に設けることができる。危険物質検出器４３１はコントローラと信号的接続され、コントローラはそれぞれ第１の電気弁４１１および第２の電気弁４２１と信号てき接続される。危険物質検出器４３１が高温排気主管内の危険物質を検出すると、第２の電気弁４１１が閉じ、第１の電気弁４２１が全開される。プロセス生産では、生産室に有害化学物質を利用して利用できないプロセス排気を排出するプロセス装置３が必要であるため、このようなプロセス装置３が漏れると、危険物質が高温排気主管４３に入り、危険物質が外気処理ユニット１の空気入口へに輸送される可能性がある。危険物質が外気処理ユニット１の空気入口に入るのを防ぐために、危険物質検出器４３１を高温排気主管４３に設置することができ、危険物質検出器４３１は、高温排気主管４３内に危険物質があることを検出する場合、コントローラは、第２の電気弁４２１を閉じるように制御し、第１の電気弁４１１を完全に開くように制御する。生産室の環境を汚染しないようにプロセス装置３のプロセス排気を大気中に放出する。 In addition, a hazardous substance detector 431 can be provided in the high-temperature exhaust main pipe 43. The hazardous substance detector 431 is signal-connected to the controller, which is signal-connected to the first electric valve 411 and the second electric valve 421, respectively. When the hazardous substance detector 431 detects a hazardous substance in the high-temperature exhaust main pipe, the second electric valve 411 is closed and the first electric valve 421 is fully opened. In process production, a process device 3 is required to discharge process exhaust that cannot be used by using harmful chemicals in the production room, so that if such a process device 3 leaks, the hazardous substance may enter the high-temperature exhaust main pipe 43 and the hazardous substance may be transported to the air inlet of the outside air treatment unit 1. In order to prevent the hazardous substance from entering the air inlet of the outside air treatment unit 1, the hazardous substance detector 431 can be installed in the high-temperature exhaust main pipe 43, and when the hazardous substance detector 431 detects that there is a hazardous substance in the high-temperature exhaust main pipe 43, the controller controls the second electric valve 421 to close and the first electric valve 411 to fully open. The process exhaust from process equipment 3 is released into the atmosphere so as not to pollute the production room environment.
なお、換気システムに温度検出器と危険物質検出器の両方が設置されている場合、コントローラは危険物質検出器から送信された信号に優先的に応答する。危険物質検出器が危険物質を検出した場合、 第２の電気弁は閉じて第１の電気弁は全開になる。危険物質検出器が危険物質を検出しない場合、コントローラーは温度検出器から送信された信号に応答する。 If both a temperature detector and a hazardous material detector are installed in the ventilation system, the controller will respond preferentially to the signal sent from the hazardous material detector. If the hazardous material detector detects a hazardous material, the second electric valve will close and the first electric valve will be fully open. If the hazardous material detector does not detect a hazardous material, the controller will respond to the signal sent from the temperature detector.
必要に応じて、上記の省エネ換気システムでは、プロセス排気を屋外の外気と直接混合してエネルギーを節約できるだけでなく、熱回収装置を介してプロセス装置３によって生成される排気のエネルギー（冷熱）を外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気に伝達することも可能である。 If necessary, the above energy-saving ventilation system can not only directly mix the process exhaust with outdoor fresh air to save energy, but also transfer the energy (cold heat) of the exhaust generated by the process device 3 to the outdoor fresh air at the air inlet of the outdoor air treatment unit 1 via the heat recovery device.
一実施形態では、図８に示すように、第２の排気管４２は、吸気管１１に直接接続され、第１の排気管４１は、特に、熱回収装置５１を介して生産室の外の大気と連通している。具体的には、熱回収装置５１の空気入口は、第１の排気管４１と連通し、熱回収装置５１の空気出口は、生産室の外の大気と連通し、第１の排気管４１は、熱回収装置５１を介して外気処理ユニット１１空気入口と協働して第１の排気管４１の利用可能なプロセス排気のエネルギーを外気処理ユニット空気入口での屋外の外気に間接的に伝達するる。実際の生産では、利用可能なプロセス排気は危険物質で汚染されている可能性があり、直接回収利用することはできない。危険物質検出器４３１でプロセス排気に危険物質が含まれているかどうかを検出できる。高温の排気主管４３に汚染ガスがないことが検出された場合、コントローラは第１電気弁４１１を閉じ、第２電気弁４２１を開くように制御する。高温（または低温）の清浄な排気を屋外の外気と直接混合することができ、エネルギーを屋外の外気に直接伝達する。高温の排気主管４３に汚染物質が存在すると検出した場合、コントローラは、第２の電気弁４２１を閉じ、第１の電気弁４１１を開くように制御し、熱回収装置を介して、汚染物質を含む高温（または低温）排気のエネルギーを外気処理ユニット空気入口での屋外の外気に伝達する。 In one embodiment, as shown in FIG. 8, the second exhaust pipe 42 is directly connected to the intake pipe 11, and the first exhaust pipe 41 is in communication with the atmosphere outside the production room through the heat recovery device 51. Specifically, the air inlet of the heat recovery device 51 is in communication with the first exhaust pipe 41, the air outlet of the heat recovery device 51 is in communication with the atmosphere outside the production room, and the first exhaust pipe 41 cooperates with the air inlet of the outside air treatment unit 11 through the heat recovery device 51 to indirectly transfer the energy of the available process exhaust of the first exhaust pipe 41 to the outdoor outside air at the air inlet of the outside air treatment unit. In actual production, the available process exhaust may be contaminated with hazardous substances and cannot be directly recovered and used. The hazardous substance detector 431 can detect whether the process exhaust contains hazardous substances. If it is detected that there is no polluting gas in the high-temperature exhaust main pipe 43, the controller controls the first electric valve 411 to close and the second electric valve 421 to open. The hot (or cold) clean exhaust air can be directly mixed with the outdoor air, and the energy is directly transferred to the outdoor air. If the controller detects the presence of pollutants in the hot exhaust main 43, it controls the second electric valve 421 to close and the first electric valve 411 to open, and transfers the energy of the hot (or cold) exhaust air containing pollutants to the outdoor air at the air inlet of the outdoor air processing unit through the heat recovery device.
上記実施形態では、外気処理ユニット１１の空気入口または外気処理ユニット１１に同時に温度検出器を設置することもでき、熱回収装置５１は、プロセス排気エネルギーの回収量を調整することができる。高温排気主管内のプロセス排気が汚染物質のない高温（または低温）の清浄な排気であることが検出された場合、熱回収装置５１はプロセス排気のエネルギーを回収しない可能性があり、コントローラは温度検出器によって検出された温度および設定温度に応じて、第１の電気弁４１１および第２の電気弁４２１の開閉の程度をそれぞれに制御する。プロセス排気のエネルギー回収量を調整する。高温排気主管内のプロセス排気が汚染物質を含むプロセス排気であることを検出し、コントローラは、第２の電気弁４２１が閉じられ、第１の電気弁４１１が完全に開かれるように制御する。熱回収装置５１がエネルギーを回収する。熱回収装置５１は、第１の排気管４１内のプロセス排気のエネルギーを回収する。 In the above embodiment, a temperature detector can also be installed at the air inlet of the outside air treatment unit 11 or at the outside air treatment unit 11 at the same time, and the heat recovery device 51 can adjust the recovery amount of the process exhaust energy. If it is detected that the process exhaust in the high-temperature exhaust main pipe is a high-temperature (or low-temperature) clean exhaust without pollutants, the heat recovery device 51 may not recover the energy of the process exhaust, and the controller controls the opening and closing degree of the first electric valve 411 and the second electric valve 421 respectively according to the temperature detected by the temperature detector and the set temperature. Adjust the energy recovery amount of the process exhaust. Detect that the process exhaust in the high-temperature exhaust main pipe is a process exhaust containing pollutants, and the controller controls the second electric valve 421 to be closed and the first electric valve 411 to be fully opened. The heat recovery device 51 recovers the energy. The heat recovery device 51 recovers the energy of the process exhaust in the first exhaust pipe 41.
具体的には、上記熱回収装置は、ランナータイプ、プレートタイプ、フィンタイプ、ヒートパイプタイプ、シェルアンドチューブタイプおよび中間熱媒体タイプなどの複数の形態の１つまたは組み合わせであり得、ここに限定しない。 Specifically, the heat recovery device may be one or a combination of several types, such as a runner type, a plate type, a fin type, a heat pipe type, a shell-and-tube type, and an intermediate heat medium type, but is not limited thereto.
別の解決策では、図９に示されるように、上記の省エネ換気システムは、熱回収装置５２を含む。第２の排気管は、外気処理ユニットの吸気管に直接連通されていない。第２の排気管４２は、熱回収装置５２を介して吸気管１１と協働して、第２の排気管４２内の高温または低温排気のエネルギーを外気処理ユニット１空気入口での屋外の外気に間接的に伝達する。具体的には、第２の排気管４２は、熱回収装置５２の空気入口と連通し、熱回収装置５２の空気出口は、生産室の外の大気と連通し、熱回収装置５２は、第２の排気管４２内のプロセス排気のエネルギーを外気処理ユニット１１空気入口での屋外の外気に伝達する。熱回収装置の熱交換効果により、外気処理ユニット１の空気入口の外気温度が上昇または下降し、それにより、外気処理ユニット１による外気の加熱量または冷却量が減少され、エネルギーを節約するという目的を達成する。 In another solution, as shown in FIG. 9, the above energy-saving ventilation system includes a heat recovery device 52. The second exhaust pipe is not directly connected to the intake pipe of the outdoor air processing unit. The second exhaust pipe 42 cooperates with the intake pipe 11 through the heat recovery device 52 to indirectly transfer the energy of the high-temperature or low-temperature exhaust in the second exhaust pipe 42 to the outdoor outdoor air at the air inlet of the outdoor air processing unit 1. Specifically, the second exhaust pipe 42 communicates with the air inlet of the heat recovery device 52, the air outlet of the heat recovery device 52 communicates with the atmosphere outside the production room, and the heat recovery device 52 transfers the energy of the process exhaust in the second exhaust pipe 42 to the outdoor outdoor air at the air inlet of the outdoor air processing unit 11. Due to the heat exchange effect of the heat recovery device, the outdoor air temperature at the air inlet of the outdoor air processing unit 1 rises or falls, thereby reducing the amount of heating or cooling of the outdoor air by the outdoor air processing unit 1, thereby achieving the purpose of saving energy.
具体的には、上記熱回収装置５２は、ランナータイプ、プレートタイプ、フィンタイプ、ヒートパイプタイプ、シェルアンドチューブタイプおよび中間熱媒体タイプなどの複数の形態の１つまたは組み合わせであり得る。実情に応じて選定されたものであり、ここに限定されるものではない。 Specifically, the heat recovery device 52 may be one or a combination of a number of types, such as a runner type, a plate type, a fin type, a heat pipe type, a shell-and-tube type, and an intermediate heat medium type. These are selected according to the actual situation, and are not limited to these.
具体的には、上記の熱回収装置５２は、外気処理ユニット１、または第２の排気管４２、または排気ファンに設置することができる。ここで、熱回収装置の設置位置は、熱回収装置の設置および操作機能を実現できれば十分であり、特に制限はない。 Specifically, the heat recovery device 52 can be installed in the outside air processing unit 1, the second exhaust pipe 42, or the exhaust fan. Here, the installation location of the heat recovery device is not particularly limited as long as it can realize the installation and operation functions of the heat recovery device.
なお、生産室ごとに維持する必要のある室内環境パラメータの要件が異なるため、外気処理ユニットに特別に含まれる処理装置および処理装置の設計パラメータは、実際の状況に応じて決定され、ここに制限はない。 In addition, since the requirements for the indoor environmental parameters that need to be maintained in different production rooms are different, the treatment equipment specially included in the outdoor air treatment unit and the design parameters of the treatment equipment are determined according to the actual situation, and there are no limitations here.
別の可能な実施方法では、図１０に示すように、上記の２つの可能な実施方法を組み合わせることもでき、上記の排気再利用装置は、上記のプロセス排気再利用ユニット２１、上記のプロセス排気再利用ユニット２１、第１の排気管４１および第２の排気管４２の組み合わせである。プロセス排気再利用ユニット２１を利用して、生産室の常温排気を濾過し、濾過後に再度生産室に送ることができる。第１の排気ファン２２、第２の排気管４２、および／または熱回収装置を介して、プロセス装置からの高温排気または低温排気のエネルギーは、外気処理ユニット空気入口での外気に伝達することができる。エネルギーの再利用を実現し、エネルギーを節約する。 In another possible implementation method, the above two possible implementation methods can also be combined, as shown in FIG. 10, and the above exhaust gas recycling device is a combination of the above process exhaust gas recycling unit 21, the above process exhaust gas recycling unit 21, the first exhaust pipe 41 and the second exhaust pipe 42. The process exhaust gas recycling unit 21 can be used to filter the normal temperature exhaust gas of the production room and send it to the production room again after filtering. Through the first exhaust fan 22, the second exhaust pipe 42, and/or the heat recovery device, the energy of the high temperature exhaust gas or the low temperature exhaust gas from the process device can be transferred to the outside air at the air inlet of the outside air treatment unit. Realize energy recycling and save energy.
上記の３つの可能な実施形態によって提供される省エネ換気システムでは、さらに、図２および図１０に示されるように、換気システムは、生産室内の利用できないプロセス排気を排出するための第２の排気ファン２３も含む。 In the energy-saving ventilation system provided by the above three possible embodiments, the ventilation system further includes a second exhaust fan 23 for exhausting the unavailable process exhaust air from within the production room, as shown in Figures 2 and 10.
明らかに、当業者は、本出願の実施形態の精神および範囲から逸脱することなく、本出願の実施形態に様々な変更および修正を加えることができる。このように、この出願の実施形態のこれらの修正および変形は、この出願およびそれらの同等の技術の特許請求の範囲内にある場合、この出願はまた、これらの修正および変形を含むことを意図している。 Obviously, those skilled in the art can make various changes and modifications to the embodiments of this application without departing from the spirit and scope of the embodiments of this application. Thus, if these modifications and variations of the embodiments of this application are within the scope of the claims of this application and their equivalent technologies, this application also intends to include these modifications and variations.
Claims (18)
屋外の外気を処理して生産室に送るための、外気処理ユニットと、
生産室内の利用可能なプロセス排気自体および／または生産室のエネルギーを前記生産室および／または外気処理ユニットの空気入口に送り返すための、排気再利用装置と
を含み、
前記排気再利用装置は、前記生産室内の利用可能なプロセス排気を回収して前記生産室に輸送するためのプロセス排気再利用ユニットを含み、
前記プロセス排気再利用ユニットは、利用可能なプロセス排気を排出するために前記生産室の出口に接続された吸気部と、生産室から利用可能なプロセス排気を受け取るための入口に接続された排気部と、前記吸気部と前記排気部の間にあるファン部とを含み、
前記省エネ換気システムは、接続空気管と、排気部空気管とをさらに含み、
前記接続空気管の一端は、前記排気部に接続され、他端は、前記生産室に接続され、
前記接続空気管上に第１の電気閉鎖弁が設置され、前記排気部空気管の一端は、前記排気部と前記第１の電気閉鎖弁の間に位置する前記接続空気管に接続され、前記排気部空気管の他端は、生産室の外の大気に接続され、前記排気部空気管上に第２の電気閉鎖弁が設置され、前記接続空気管の前記排気部と前記第１の電気閉鎖弁の間に位置する部分に危険物質検出器が設置され、前記危険物質検出器は、コントローラに信号接続され、前記第１の電気閉鎖弁および第２の電気閉鎖弁の開閉をそれぞれ制御するために、前記コントローラは、前記第１の電気閉鎖弁および第２の電気閉鎖弁にそれぞれ接続され、
前記危険物質検出器が前記接続空気管内に危険物質があることを検出すると、前記コントローラは、前記第１の電気閉鎖弁を閉じ、前記第２の電気閉鎖弁を開くように制御する
ことを特徴とする、プロセス排気を利用する省エネ換気システム。 An energy-saving ventilation system that utilizes process exhaust gas,
an outside air processing unit for processing the outside air and sending it to the production room;
an exhaust air recycling device for returning the available process exhaust air itself and/or the energy of the production room in the production room to the air inlet of said production room and/or the outside air treatment unit,
the exhaust gas recycling apparatus includes a process exhaust gas recycling unit for recovering and transporting available process exhaust gas in the production chamber to the production chamber;
the process exhaust recycle unit includes an intake section connected to an outlet of the production chamber for discharging available process exhaust, an exhaust section connected to an inlet for receiving available process exhaust from the production chamber, and a fan section between the intake section and the exhaust section ;
The energy-saving ventilation system further includes a connecting air pipe and an exhaust air pipe;
One end of the connecting air pipe is connected to the exhaust section, and the other end is connected to the production room;
a first electric shut-off valve is installed on the connecting air pipe, one end of the exhaust air pipe is connected to the connecting air pipe located between the exhaust part and the first electric shut-off valve, and the other end of the exhaust air pipe is connected to the atmosphere outside the production room; a second electric shut-off valve is installed on the exhaust air pipe, and a hazardous material detector is installed in a portion of the connecting air pipe located between the exhaust part and the first electric shut-off valve, the hazardous material detector is signal-connected to a controller, and the controller is connected to the first electric shut-off valve and the second electric shut-off valve, respectively, to control the opening and closing of the first electric shut-off valve and the second electric shut-off valve, respectively;
When the hazardous material detector detects the presence of a hazardous material in the connecting air line, the controller controls the first electric shutoff valve to close and the second electric shutoff valve to open.
An energy-saving ventilation system that utilizes process exhaust gas.
前記危険物質検出器が前記高温の排気主管内の危険物質の存在を検出すると、前記第２の電気弁が閉じられ、前記第１の電気弁が完全に開くことを特徴とする、請求項１１に記載のプロセス排気を利用する省エネ換気システム。 a hazardous material detector is installed in the high temperature exhaust main pipe, the hazardous material detector is signal-connected to a controller, the controller is signal-connected to each of the first electric valve and the second electric valve;
12. The energy-saving ventilation system that utilizes process exhaust gas as described in claim 11, characterized in that when the hazardous material detector detects the presence of hazardous materials in the high-temperature exhaust main pipe, the second electric valve is closed and the first electric valve is fully opened.
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