JP7467754B1 - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents
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Abstract
【課題】良好な光学性能を有するとともに、低収差という設計要件を満たすことができる顕微鏡対物レンズを提供する。【解決手段】この顕微鏡対物レンズは、出射側から物体側へ順に、第１レンズから第１２レンズまでの合計１２枚のレンズを備える。顕微鏡対物レンズの焦点距離がｆであり、開口数がＮＡであり、作動距離がＷＤである。第１レンズから第４レンズからなるレンズ群の焦点距離がｆ１－４であり、第７レンズと第８レンズの合成焦点距離がｆ７８であり、第７レンズ、第８レンズの軸上厚さがｄ１３、ｄ１５であり、第７レンズから第８レンズまでの軸上距離がｄ１４であり、第１１レンズの出射面、物体側面の中心曲率半径がＲ２１、Ｒ２２であり、次の関係式を満たす：０．０９≦ｆ１－４／ｆ≦０．１５；－１．３５≦ｆ７８／（ｄ１３＋ｄ１４＋ｄ１５）≦－０．９５；－７．００≦Ｒ２１／Ｒ２２≦－０２．００；０．２０≦ＮＡ＊ｆ／ＷＤ≦０．２６。【選択図】図１
Description
本発明は、光学レンズ分野に関し、特に顕微鏡などの装置に適した顕微鏡対物レンズに関する。
近年、顕微鏡レンズの需要は高まっているが、一般的な顕微鏡レンズでは光学構造上の制約により、微視的な範囲に収差が発生する。一方、顕微鏡レンズは複数枚のレンズで構成されるため、その長さは必然的に影響を受ける。また、顕微鏡レンズの構造が長いため作動距離を短くし、倍率の分解能も作動距離の影響を受け、操作者の使用に不利である。
技術の発展とユーザニーズの多様化に伴い、顕微鏡レンズの観察品質に対する科学研究の要求はますます高まり、優れた光学特性、低収差、長い作動距離の特性を有する顕微鏡レンズが切実に求められている。
本発明では上記問題に鑑み、良好な光学性能を有するとともに、低収差という設計要件を満たすことができる顕微鏡対物レンズを提供することを目的とした。
上記技術的課題を解決するために、本発明の一実施形態は、顕微鏡対物レンズを提供する。前記顕微鏡対物レンズは、出射側から物体側へ順に、正の屈折力を有する第１レンズ、正の屈折力を有する第２レンズ、負の屈折力を有する第３レンズ、負の屈折力を有する第４レンズ、正の屈折力を有する第５レンズ、負の屈折力を有する第６レンズ、負の屈折力を有する第７レンズ、負の屈折力を有する第８レンズ、正の屈折力を有する第９レンズ、負の屈折力を有する第１０レンズ、正の屈折力を有する第１１レンズ、および正の屈折力を有する第１２レンズを備え、
ここで、前記顕微鏡対物レンズの焦点距離がｆであり、前記第９レンズ、前記第１０レンズ、前記第１１レンズ、および前記第１２レンズからなるレンズ群の焦点距離がｆ９－１２であり、前記第７レンズと前記第８レンズとの合成焦点距離がｆ７８であり、前記第７レンズの軸上厚さがｄ１３であり、前記第８レンズの軸上厚さがｄ１５であり、前記第７レンズの物体側面から前記第８レンズの出射面側までの軸上距離がｄ１４であり、前記第１１レンズの出射面の中心曲率半径がＲ２１であり、前記第１１レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２２であり、前記顕微鏡対物レンズの開口数がＮＡであり、前記顕微鏡対物レンズの作動距離がＷＤであり、次の関係式を満たす。
０．０９≦Ｆ９－１２／Ｆ≦０．１５
－１．３５≦ｆ７８／（ｄ１３＋ｄ１４＋ｄ１５）≦－０．９５
－７．００≦Ｒ２１／Ｒ２２≦－２．００；
０．２０≦ＮＡ＊ｆ／ＷＤ≦０．２６
ここで、前記顕微鏡対物レンズの焦点距離がｆであり、前記第９レンズ、前記第１０レンズ、前記第１１レンズ、および前記第１２レンズからなるレンズ群の焦点距離がｆ９－１２であり、前記第７レンズと前記第８レンズとの合成焦点距離がｆ７８であり、前記第７レンズの軸上厚さがｄ１３であり、前記第８レンズの軸上厚さがｄ１５であり、前記第７レンズの物体側面から前記第８レンズの出射面側までの軸上距離がｄ１４であり、前記第１１レンズの出射面の中心曲率半径がＲ２１であり、前記第１１レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２２であり、前記顕微鏡対物レンズの開口数がＮＡであり、前記顕微鏡対物レンズの作動距離がＷＤであり、次の関係式を満たす。
０．０９≦Ｆ９－１２／Ｆ≦０．１５
－１．３５≦ｆ７８／（ｄ１３＋ｄ１４＋ｄ１５）≦－０．９５
－７．００≦Ｒ２１／Ｒ２２≦－２．００；
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好ましくは、前記第５レンズの出射面の中心曲率半径がＲ９であり、前記第５レンズの焦点距離がｆ５であり、次の関係式を満たす。
０．９０≦Ｒ９／ｆ５≦３．００
０．９０≦Ｒ９／ｆ５≦３．００
好ましくは、前記第１レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、前記第１レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第１レンズの焦点距離がｆ１であり、前記第１レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１であり、前記第１レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２であり、前記第１レンズの軸上厚さがｄ１であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
０．０８≦ｆ１／ｆ≦０．２７
－１．８３≦（Ｒ１＋Ｒ２）／（Ｒ１－Ｒ２）≦－０．５６
０．０１≦ｄ１／ＴＴＬ≦０．０３
前記第１レンズの焦点距離がｆ１であり、前記第１レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１であり、前記第１レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２であり、前記第１レンズの軸上厚さがｄ１であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
０．０８≦ｆ１／ｆ≦０．２７
－１．８３≦（Ｒ１＋Ｒ２）／（Ｒ１－Ｒ２）≦－０．５６
０．０１≦ｄ１／ＴＴＬ≦０．０３
好ましくは、前記第２レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、前記第２レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第２レンズの焦点距離がｆ２であり、前記第２レンズの出射面の中心曲率半径がＲ３であり、前記第２レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ４であり、前記第２レンズの軸上厚さがｄ３であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
０．０９≦ｆ２／ｆ≦０．３０
－１．０９≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－０．０２
０．０１≦ｄ３／ＴＴＬ≦０．０３
前記第２レンズの焦点距離がｆ２であり、前記第２レンズの出射面の中心曲率半径がＲ３であり、前記第２レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ４であり、前記第２レンズの軸上厚さがｄ３であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
０．０９≦ｆ２／ｆ≦０．３０
－１．０９≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－０．０２
０．０１≦ｄ３／ＴＴＬ≦０．０３
好ましくは、前記第３レンズの出射面は近軸位置で凹面であり、前記第３レンズの物体側面は近軸位置で凹面であり、
前記第３レンズの焦点距離がｆ３であり、前記第３レンズの出射側の中心曲率半径がＲ５であり、前記第３レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ６であり、前記第３レンズの軸上厚さがｄ５であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．２３≦ｆ３／ｆ≦－０．０７
－０．２６≦（Ｒ５＋Ｒ６）／（Ｒ５－Ｒ６）≦０．５３
０．００＜ｄ５／ＴＴＬ≦０．０１
前記第３レンズの焦点距離がｆ３であり、前記第３レンズの出射側の中心曲率半径がＲ５であり、前記第３レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ６であり、前記第３レンズの軸上厚さがｄ５であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．２３≦ｆ３／ｆ≦－０．０７
－０．２６≦（Ｒ５＋Ｒ６）／（Ｒ５－Ｒ６）≦０．５３
０．００＜ｄ５／ＴＴＬ≦０．０１
好ましくは、前記第４レンズの物体側面は近軸位置で凹面であり、
前記第４レンズの焦点距離がｆ４であり、前記第４レンズの出射面の中心曲率半径がＲ７であり、前記第４レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ８であり、前記第３レンズの軸上厚さがｄ７であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．２８≦ｆ４／ｆ≦－０．０５
０．０９≦（Ｒ７＋Ｒ８）／（Ｒ７－Ｒ８）≦４．９４
０．００＜ｄ７／ＴＴＬ≦０．０２
前記第４レンズの焦点距離がｆ４であり、前記第４レンズの出射面の中心曲率半径がＲ７であり、前記第４レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ８であり、前記第３レンズの軸上厚さがｄ７であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．２８≦ｆ４／ｆ≦－０．０５
０．０９≦（Ｒ７＋Ｒ８）／（Ｒ７－Ｒ８）≦４．９４
０．００＜ｄ７／ＴＴＬ≦０．０２
好ましくは、前記第５レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、前記第５レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第５レンズの焦点距離がｆ５であり、前記第５レンズの出射面の中心曲率半径がＲ９であり、前記第５レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１０であり、前記第５レンズの軸上厚さがｄ９であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
０．０３≦ｆ５／ｆ≦０．１０
－０．６５≦（Ｒ９＋Ｒ１０）／（Ｒ９－Ｒ１０）≦０．８９
０．０１≦ｄ９／ＴＴＬ≦０．０４
前記第５レンズの焦点距離がｆ５であり、前記第５レンズの出射面の中心曲率半径がＲ９であり、前記第５レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１０であり、前記第５レンズの軸上厚さがｄ９であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
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－０．６５≦（Ｒ９＋Ｒ１０）／（Ｒ９－Ｒ１０）≦０．８９
０．０１≦ｄ９／ＴＴＬ≦０．０４
好ましくは、前記第６レンズの出射面は近軸位置で凹面であり、
前記第６レンズの焦点距離がｆ６であり、前記第６レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１１であり、前記第６レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１２であり、前記第６レンズの軸上厚さがｄ１１であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．２２≦ｆ６／ｆ≦－０．０４
－５．２３≦（Ｒ１１＋Ｒ１２）／（Ｒ１１－Ｒ１２）≦－０．１３
０．００＜ｄ１１／ＴＴＬ≦０．０１
前記第６レンズの焦点距離がｆ６であり、前記第６レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１１であり、前記第６レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１２であり、前記第６レンズの軸上厚さがｄ１１であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．２２≦ｆ６／ｆ≦－０．０４
－５．２３≦（Ｒ１１＋Ｒ１２）／（Ｒ１１－Ｒ１２）≦－０．１３
０．００＜ｄ１１／ＴＴＬ≦０．０１
好ましくは、前記第７レンズの物体側面が近軸位置で凹面であり、
前記第７レンズの焦点距離がｆ７であり、前記第７レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１３であり、前記第７レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１４であり、前記第７レンズの軸上厚さがｄ１３であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－１．０４≦ｆ７／ｆ≦－０．１４
０．３８≦（Ｒ１３＋Ｒ１４）／（Ｒ１３－Ｒ１４）≦６．２１
０．００＜ｄ１３／ＴＴＬ≦０．０２
前記第７レンズの焦点距離がｆ７であり、前記第７レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１３であり、前記第７レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１４であり、前記第７レンズの軸上厚さがｄ１３であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－１．０４≦ｆ７／ｆ≦－０．１４
０．３８≦（Ｒ１３＋Ｒ１４）／（Ｒ１３－Ｒ１４）≦６．２１
０．００＜ｄ１３／ＴＴＬ≦０．０２
好ましくは、前記第８レンズの出射面は近軸位置で凹面であり、前記第８レンズの物体側面は近軸位置で凹面であり、
前記第８レンズの焦点距離がｆ８であり、前記第８レンズの出射側の中心曲率半径がＲ１５であり、前記第８レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１６であり、前記第８レンズの軸上厚さがｄ１５であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．２７≦ｆ８／ｆ≦－０．０４
－１．７２≦（Ｒ１５＋Ｒ１６）／（Ｒ１５－Ｒ１６）≦－０．５２
０．００＜ｄ１５／ＴＴＬ≦０．０１
前記第８レンズの焦点距離がｆ８であり、前記第８レンズの出射側の中心曲率半径がＲ１５であり、前記第８レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１６であり、前記第８レンズの軸上厚さがｄ１５であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．２７≦ｆ８／ｆ≦－０．０４
－１．７２≦（Ｒ１５＋Ｒ１６）／（Ｒ１５－Ｒ１６）≦－０．５２
０．００＜ｄ１５／ＴＴＬ≦０．０１
好ましくは、前記第９レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、
前記第９レンズの焦点距離がｆ９であり、前記第９レンズの出射側の中心曲率半径がＲ１７であり、前記第９レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１８であり、前記第９レンズの軸上厚さがｄ１７であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
０．１０≦ｆ９／ｆ≦２．２２
－２２．３８≦（Ｒ１７＋Ｒ１８）／（Ｒ１７－Ｒ１８）≦０．７５
０．０１≦ｄ１７／ＴＴＬ≦０．０５
前記第９レンズの焦点距離がｆ９であり、前記第９レンズの出射側の中心曲率半径がＲ１７であり、前記第９レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１８であり、前記第９レンズの軸上厚さがｄ１７であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
０．１０≦ｆ９／ｆ≦２．２２
－２２．３８≦（Ｒ１７＋Ｒ１８）／（Ｒ１７－Ｒ１８）≦０．７５
０．０１≦ｄ１７／ＴＴＬ≦０．０５
好ましくは、前記第１０レンズの物体側面は近軸位置で凹面であり、
前記第１０レンズの焦点距離がｆ１０であり、前記第１０レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１９であり、前記第１０レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２０であり、前記第１０レンズの軸上厚さがｄ１９であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．９０≦ｆ１０／ｆ≦－０．２３
０．５０≦（Ｒ１９＋Ｒ２０）／（Ｒ１９－Ｒ２０）≦６．７７
０．００＜ｄ１９／ＴＴＬ≦０．０１
前記第１０レンズの焦点距離がｆ１０であり、前記第１０レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１９であり、前記第１０レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２０であり、前記第１０レンズの軸上厚さがｄ１９であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
－０．９０≦ｆ１０／ｆ≦－０．２３
０．５０≦（Ｒ１９＋Ｒ２０）／（Ｒ１９－Ｒ２０）≦６．７７
０．００＜ｄ１９／ＴＴＬ≦０．０１
好ましくは、前記第１１レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、前記第１１レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第１１レンズの焦点距離がｆ１１であり、前記第１１レンズの出射側の中心曲率半径がＲ２１であり、前記第１１レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２２であり、前記第１１レンズの軸上厚さがｄ２１であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
０．０７≦ｆ１１／ｆ≦０．２４
０．１７≦（Ｒ２１＋Ｒ２２）／（Ｒ２１－Ｒ２２）≦１．１２
０．０３≦ｄ２１／ＴＴＬ≦０．１０
前記第１１レンズの焦点距離がｆ１１であり、前記第１１レンズの出射側の中心曲率半径がＲ２１であり、前記第１１レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２２であり、前記第１１レンズの軸上厚さがｄ２１であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす。
０．０７≦ｆ１１／ｆ≦０．２４
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０．０３≦ｄ２１／ＴＴＬ≦０．１０
好ましくは、前記第１２レンズの出射面は近軸位置で凹面であり、前記第１２レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第１２レンズの焦点距離はｆ１２であり、前記第１２レンズの出射側の中心曲率半径はＲ２３であり、前記第１２レンズの物体側面の中心曲率半径はＲ２４であり、次の関係式を満たす。
０．１６≦ｆ１２／ｆ≦０．６３
０．５９≦（Ｒ２３＋Ｒ２４）／（Ｒ２３－Ｒ２４）≦３．０６
０．０１≦ｄ２３／ＴＴＬ≦０．０５
前記第１２レンズの焦点距離はｆ１２であり、前記第１２レンズの出射側の中心曲率半径はＲ２３であり、前記第１２レンズの物体側面の中心曲率半径はＲ２４であり、次の関係式を満たす。
０．１６≦ｆ１２／ｆ≦０．６３
０．５９≦（Ｒ２３＋Ｒ２４）／（Ｒ２３－Ｒ２４）≦３．０６
０．０１≦ｄ２３／ＴＴＬ≦０．０５
好ましくは、前記第１レンズ、前記第２レンズ、前記第３レンズ、前記第４レンズ、前記第５レンズ、前記第６レンズ、前記第７レンズ、前記第８レンズ、前記第９レンズ、前記第１０レンズ、前記第１１レンズ、および前記第１２レンズは、いずれもガラス材質である。
本発明の有益な効果は、本発明による顕微鏡対物レンズが優れた光学特性、低収差特性を有し、光学顕微鏡対物レンズに特に適していることである。
本発明の有益な効果は、本発明による顕微鏡対物レンズが優れた光学特性、低収差特性を有し、光学顕微鏡対物レンズに特に適していることである。
本発明の実施形態における技術手段をより明確に説明するために、以下では、実施形態の説明に使用する必要がある図面を簡単に説明する。なお、以下の説明における図面は、本発明のいくつかの実施形態にすぎない。当業者は、創造的な作業を行うことなく、これらの図面に基づいてほかの図面を得ることができる。
本発明の目的、技術手段および利点をより明確にするために、以下、本発明の様々な実施形態を添付図面と併せて詳細に説明する。なお、当業者であれば、本発明の様々な実施形態において、読者が本発明をより良く理解できるようにするために、多くの技術的詳細が提案されていることを理解することができる。しかしながら、これらの技術的詳細および以下の実施形態に基づく種々の変形および変更がなくても、本発明が保護されると主張する技術的解決策を実現することができる。
（第１実施形態）
添付図面を参照すると、本発明は、顕微鏡対物レンズ１０を提供する。図１は、本発明の第１実施形態に係る顕微鏡対物レンズ１０を示し、この顕微鏡対物レンズ１０は、出射側から物体側へ順に１２枚のレンズを備える。具体的には、前記顕微鏡対物レンズ１０は、出射側から像側へ順に、第１レンズＬ１、第２レンズＬ２、第３レンズＬ３、絞りＳＴ、第４レンズＬ４、第５レンズＬ５、第６レンズＬ６、第７レンズＬ７、第８レンズＬ８、第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２および物体面ＯＢを備える。
添付図面を参照すると、本発明は、顕微鏡対物レンズ１０を提供する。図１は、本発明の第１実施形態に係る顕微鏡対物レンズ１０を示し、この顕微鏡対物レンズ１０は、出射側から物体側へ順に１２枚のレンズを備える。具体的には、前記顕微鏡対物レンズ１０は、出射側から像側へ順に、第１レンズＬ１、第２レンズＬ２、第３レンズＬ３、絞りＳＴ、第４レンズＬ４、第５レンズＬ５、第６レンズＬ６、第７レンズＬ７、第８レンズＬ８、第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２および物体面ＯＢを備える。
本実施形態では、第１レンズＬ１はガラス材質であり、第２レンズＬ２はガラス材質であり、第３レンズＬ３はガラス材質であり、第４レンズＬ４はガラス材質であり、第５レンズＬ５はガラス材質であり、第６レンズＬ６はガラス材質であり、第７レンズＬ７はガラス材質であり、第８レンズＬ８はガラス材質であり、第９レンズＬ９はガラス材質であり、第１０レンズＬ１０はガラス材質である、第１１レンズＬ１１はガラス材質、第１２レンズＬ１２はガラス材質である。
本実施形態では、前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第９レンズＬ９、前記第１０レンズＬ１０、前記第１１レンズＬ１１、および前記第１２レンズＬ１２からなるレンズ群の焦点距離をｆ９－１２と定義し、次の関係式を満たす：０．０９≦ｆ９－１２／ｆ≦０．１５。物体側端の前記第９レンズＬ９、前記第１０レンズＬ１０、前記第１１レンズＬ１１、および前記第１２レンズＬ１２からなるレンズ群と光学系の焦点距離との比の範囲を規定することにより、入射光線の十分な収束性を確保することができる。
前記第７レンズＬ７と前記第８レンズＬ８との合成焦点距離をｆ７８とし、前記第７レンズＬ７の軸上厚みをｄ１３とし、前記第８レンズＬ８の軸上厚みをｄ１５とし、前記第７レンズＬ７の物体側面から前記第８レンズＬ８の出射面までの軸上距離をｄ１４と定義し、次の関係式を満たす：－１．３５≦ｆ７８／（ｄ１３＋ｄ１４＋ｄ１５）≦－０．９５。また、前記第７レンズＬ７と前記第８レンズＬ８とからなる組み合わせレンズの焦点距離と厚みとの比の範囲を規定することにより、十分な屈折力を確保しながら、適切な厚みを維持することができ、収差を｜Ｄｉｓｔｏｒｔｉｏｎ｜≦０．５％に補正するのに有利である。
前記第１１レンズＬ１１の出射面の中心曲率半径をＲ２１と定義し、前記第１１レンズＬ１１の物体側面の中心曲率半径をＲ２２と定義し、次の関係式を満たす：－７．００≦Ｒ２１／Ｒ２２≦－２．００。前記第１１レンズＬ１１の形状を規定することにより、条件式の範囲内でレンズを通過する光線の偏在度合いを緩和し、球面収差の低減と色収差の補正に有効であり、色収差を｜ＬＣ｜≦２．４μｍとすることができる。
前記顕微鏡対物レンズ１０の開口数をＮＡとし、前記顕微鏡対物レンズ１０の作動距離（前記第１２レンズＬ１２の物体側面から物体面ＯＢまでの軸上距離）をＷＤとし、前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆと定義し、次の関係式を満たす：０．２０≦ＮＡ＊ｆ／ＷＤ≦０．２６。顕微鏡対物レンズ１０の開口数と解像度が満足する条件を規定することにより、範囲内では顕微鏡対物レンズ１０の開口数が相対的に大きく、より強い解像度を実現する。
前記第５レンズＬ５の出射面の中心曲率半径をＲ９とし、前記第５レンズＬ５の焦点距離をｆ５とし、次の関係式を満たす：０．９０≦Ｒ９／ｆ５≦３．００。レンズの焦点距離の合理的な配分と光線の出射面形状の制御により、レンズ群間の光線のスムーズな移行に有利であり、収差を補正して高解像度を実現するとともに、レンズが組立過程で発生する傾き／偏芯などの公差感度の問題を低減することができる。
本実施形態では、第１レンズＬ１の出射面は近軸位置で凸面であり、第１レンズＬ１の物体側面は近軸位置で凸面であり、第１レンズＬ１は正の屈折力を有する。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第１レンズの焦点距離をｆ１と定義し、次の関係式を満たす：０．０８≦ｆ１／ｆ≦０．２７。第１レンズＬ１の正の屈折力が規定され、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長の合理的な制御に有利である。また、好ましくは、０．１２≦ｆ１／ｆ≦０．２１を満たす。
前記第１レンズＬ１の出射面の中心曲率半径をＲ１とし、前記第１レンズＬ１の物体側面の中心曲率半径をＲ２と定義し、次の関係式を満たす：－１．８３≦（Ｒ１＋Ｒ２）／（Ｒ１－Ｒ２）≦－０．５６。第１レンズＬ１の形状を合理的に制御することで、第１レンズＬ１が系統的に球面収差を効果的に補正できるようにする。好ましくは、－１．１４≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－０．７０を満たす。
前記第１レンズＬ１の軸上厚みをｄ１とし、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬと定義し、次の関係式を満たす：０．０１≦ｄ１／ＴＴＬ≦０．０３。これにより、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御するのに有利である。
本実施形態では、第２レンズＬ２の出射面は近軸位置で凸面であり、第２レンズＬ２の物体側面は近軸位置で凸面であり、第２レンズＬ２は正の屈折力を有する。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第２レンズＬ２の焦点距離をｆ２と定義し、次の関係式を満たす：０．０９≦ｆ２／ｆ≦０．３０。第２レンズＬ２の正のディオプトリ（Ｆｏｃａｌ ｐｏｗｅｒ）を適正な範囲に制御することにより、光学システムの収差を補正するのに有利である。また、好ましくは、０．１４≦ｆ２／ｆ≦０．２４を満たす。
前記第２レンズＬ２の出射面の中心曲率半径をＲ３とし、前記第２レンズＬ２の物体側面の中心曲率半径をＲ４と定義し、次の関係式を満たす：－１．０９≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－０．０２。第２レンズＬ２の形状を規定することにより、範囲内であれば、軸上色収差の問題を補正するのに有利である。また、好ましくは、－０．６８≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－０．０３を満たす。
前記第２レンズＬ２の軸上厚さをｄ３とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬとし、次の関係式を満たす：０．０１≦ｄ３／ＴＴＬ≦０．０３。これにより、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御することに有利である。また、好ましくは、０．０１≦ｄ３／ＴＴＬ≦０．０２を満足する。
この実施形態では、第３レンズＬ３の出射面は近軸位置で凹面であり、物体側面は近軸位置で凹面であり、第３レンズＬ３は負の屈折力を有する。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第３レンズＬ３の焦点距離をｆ３と定義し、次の関係式を満たす：－０．２３≦ｆ３／ｆ≦－０．０７。ディオプトリの適正な配分により、システムがより良好な結像品質と低感度を有する。また、好ましくは、－０．１４≦ｆ３／ｆ≦－０．０９を満足する。
前記第３レンズＬ３の出射面の中心曲率半径をＲ５とし、前記第３レンズＬ３の物体側面の中心曲率半径をＲ６とし、次の関係式を満たす：－０．２６≦（Ｒ５＋Ｒ６）／（Ｒ５－Ｒ６）≦０．５３。これにより、第３レンズＬ３の形状を効果的に制御することができ、第３レンズＬ３の成形に有利であり、第３レンズＬ３の表面曲率が過度に大きくなることによる成形不良を回避することができる。また、好ましくは、－０．１６≦（Ｒ５＋Ｒ６）／（Ｒ５－Ｒ６）≦０．４２を満足する。
前記第３レンズＬ３の軸上厚みをｄ５とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬと定義し、次の関係式を満たす：０．００＜ｄ５／ＴＴＬ≦０．０１。これにより、条件式の範囲内であり、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御することができる。
本実施形態において、前記第４レンズＬ４の出射面は近軸位置で凸面であり、前記第４レンズＬ４の物体側面は近軸位置で凹面であり、前記第４レンズＬ４は負の屈折力を有する。他の任意の実施形態において、前記第４レンズＬ４の出射面および物体側面は、他の凹面や凸面の分布で設置されてもよい。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第４レンズＬ４の焦点距離をｆ４と定義し、次の関係式を満たす：－０．２８≦ｆ４／ｆ≦－０．０５。ディオプトリの合理的な配分により、システムがより良好な結像品質と低感度を有する。また、好ましくは、－０．１８≦ｆ４／ｆ≦－０．０７を満足する。
前記第４レンズＬ４の出射面の中心曲率半径をＲ７とし、前記第４レンズＬ４の物体側面の中心曲率半径をＲ８と定義し、次の関係式を満たす：０．０９≦（Ｒ７＋Ｒ８）／（Ｒ７－Ｒ８）≦４．９４。前記第４レンズＬ４の形状を規定することにより、範囲内にある場合は小型化を図りつつ、軸外画角の収差補正などに有利である。また、好ましくは、０．１４≦（Ｒ７＋Ｒ８）／（Ｒ７－Ｒ８）≦３．９５を満足する。
前記第４レンズＬ４の軸上厚さをｄ７とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬとし、次の関係式を満たす：０．００＜ｄ７／ＴＴＬ≦０．０２。条件式の範囲内であれば、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御することに資する。また、好ましくは、ｄ７／ＴＴＬ＝０．０１を満たす。
本実施形態において、前記第５レンズＬ５の出射面は近軸位置で凸面であり、前記第５レンズＬ５の物体側面は近軸位置で凸面であり、前記第５レンズＬ５は正の屈折力を有する。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第５レンズＬ５の焦点距離をｆ５と定義し、次の関係式を満たす：０．０３≦ｆ５／ｆ≦０．１０。第５レンズＬ５に対する限定により、顕微鏡対物レンズ１０の光角を効果的に緩やかにし、公差感度を低下させるのに有効である。また、好ましくは、０．０４≦ｆ５／ｆ≦０．０８を満足する。
前記第５レンズＬ５の出射面の中心曲率半径をＲ９とし、前記第５レンズＬ５の物体側面の中心曲率半径をＲ１０とし、次の関係式を満たす：－０．６５≦（Ｒ９＋Ｒ１０）／（Ｒ９－Ｒ１０）≦０．８９。第５レンズＬ５の形状を規定することにより、条件の範囲内である場合、軸外画角の収差などの問題を補正するのに有利である。また、好ましくは、－０．４１≦（Ｒ９＋Ｒ１０）／（Ｒ９－Ｒ１０）≦０．７１を満たす。
前記第５レンズＬ５の軸上厚みをｄ９とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬと定義し、次の関係式を満たす：０．０１≦ｄ９／ＴＴＬ≦０．０４。これにより、条件式の範囲内であり、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御することができる。また、好ましくは、０．０２≦ｄ９／ＴＴＬ≦０．０３を満たす。
本実施形態において、第６レンズＬ６の出射面は近軸位置で凹面であり、物体側面は近軸位置で凹面であり、第６レンズＬ６は負の屈折力を有する。他の任意の実施形態において、前記第６レンズＬ６の出射面および物体側面は、他の凹面や凸面の分布で設置されてもよい。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第６レンズＬ６の焦点距離をｆ６と定義し、次の関係式を満たす：－０．２２≦ｆ６／ｆ≦－０．０４。ディオプトリの合理的な配分により、システムがより良好な結像品質と低感度を有する。また、好ましくは、－０．１４≦ｆ６／ｆ≦－０．０４を満足する。
前記第６レンズＬ６の出射側の中心曲率半径をＲ１１とし、前記第６レンズＬ６の物体側面の中心曲率半径をＲ１２とし、次の関係式を満たす：－５．２３≦（Ｒ１１＋Ｒ１２）／（Ｒ１１－Ｒ１２）≦－０．１３。第６レンズＬ６の形状を規定することにより、条件の範囲内である場合、軸外画角の収差などの問題を補正するのに有利である。また、好ましくは、－３．２７≦（Ｒ１１＋Ｒ１２）／（Ｒ１１－Ｒ１２）≦－０．１６を満たす。
前記第６レンズＬ６の軸上厚みをｄ１１とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬと定義し、次の関係式を満たす：０．００＜ｄ１１／ＴＴＬ≦０．０１。これにより、条件式の範囲内であり、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御するのに有利である。また、好ましくは、ｄ１１／ＴＴＬ＝０．０１を満足する。
本実施形態において、前記第７レンズＬ７の出射面は近軸位置で凹面であり、前記第７レンズＬ７の物体側面は近軸位置で凹面であり、第７レンズＬ７は負の屈折力を有する。他の任意の実施形態において、前記第７レンズＬ７の出射面および物体側面は、他の凹面や凸面の分布で設置されてもよい。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第７レンズＬ７の焦点距離をｆ７と定義し、次の関係式を満たす：－１．０４≦ｆ７／ｆ≦－０．１４。ディオプトリの合理的な配分により、より良好な結像品質と低感度を有するシステムとする。また、好ましくは、－０．６５≦ｆ７／ｆ≦－０．１８を満足する。
前記第７レンズＬ７の出射面の中心曲率半径をＲ１３とし、前記第７レンズＬ７の物体側面の中心曲率半径をＲ１４とし、次の関係式を満たす：０．３８≦（Ｒ１３＋Ｒ１４）／（Ｒ１３－Ｒ１４）≦６．２１。前記第７レンズＬ７の形状を規定することにより、条件の範囲内にある場合は、小型化を図りつつ、軸外画角の収差などの問題を補正するのに有利である。また、好ましくは、０．６０≦（Ｒ１３＋Ｒ１４）／（Ｒ１３－Ｒ１４）≦４．９７を満足する。
前記第７レンズＬ７の軸上厚さをｄ１３とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬとし、次の関係式を満たす：０．００＜ｄ１３／ＴＴＬ≦０．０２。条件式の範囲内であり、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御することに資する。また、好ましくは、ｄ１３／ＴＴＬ＝０．０１を満足する。
本実施形態において、前記第８レンズＬ８の出射面は近軸位置で凹面であり、前記第８レンズＬ８の物体側面は近軸位置で凹面であり、第８レンズＬ８は負の屈折力を有する。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第８レンズＬ８の焦点距離をｆ８と定義し、次の関係式を満たす：－０．２７≦ｆ８／ｆ≦－０．０４。ディオプトリの合理的な配分により、より良好な結像品質と低感度を有するシステムとする。また、好ましくは、－０．１７≦ｆ８／ｆ≦－０．０５を満足する。
前記第８レンズＬ８の出射面の中心曲率半径をＲ１５とし、前記第８レンズＬ８の物体側面の中心曲率半径をＲ１６とし、次の関係式を満たす：－１．７２≦（Ｒ１５＋Ｒ１６）／（Ｒ１５－Ｒ１６）≦－０．５２。第８レンズＬ８の形状を規定することにより、条件の範囲内である場合、小型化を図りつつ、軸外画角の収差などの問題を補正するのに有利である。また、好ましくは、－１．０８≦（Ｒ１５＋Ｒ１６）／（Ｒ１５－Ｒ１６）≦－０．６５を満たす。
前記第８レンズＬ８の軸上厚さをｄ１５とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬとし、次の関係式を満たす：０．００＜ｄ１５／ＴＴＬ≦０．０１。条件式の範囲内であり、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御するのに有利である。
本実施形態において、前記第９レンズＬ９の出射面は近軸位置で凸面であり、前記第９レンズＬ９の物体側面は近軸位置で凸面であり、前記第９レンズＬ９は正の屈折力を有する。また、他の任意の実施形態において、第９レンズＬ９の出射面および物体側面は、他の凹面や凸面の分布で設置されてもよい。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第９レンズＬ９の焦点距離をｆ９と定義し、次の関係式を満たす：０．１０≦ｆ９／ｆ≦２．２２。ディオプトリの合理的な配分により、より良好な結像品質と低感度を有するシステムとする。また、好ましくは、０．１７≦ｆ９／ｆ≦１．７８を満足する。
前記第９レンズＬ９の出射面の中心曲率半径をＲ１７とし、前記第９レンズＬ９の物体側面の中心曲率半径をＲ１８とし、次の関係式を満たす：－２２．３８≦（Ｒ１７＋Ｒ１８）／（Ｒ１７－Ｒ１８）≦０．７５。第９レンズＬ９の形状を規定することにより、条件の範囲内にある場合は、小型化を図りつつ、軸外画角の収差などの問題を補正するのに有利である。また、好ましくは、－１３．９９≦（Ｒ１７＋Ｒ１８）／（Ｒ１７－Ｒ１８）≦０．６０を満足する。
前記第９レンズＬ９の軸上厚さをｄ１７とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬとし、次の関係式を満たす：０．０１≦ｄ１７／ＴＴＬ≦０．０５。これにより、条件式の範囲内であり、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御するのに有利である。また、好ましくは、０．０１≦ｄ１７／ＴＴＬ≦０．０４を満足する。
この実施形態では、前記第１０レンズＬ１０の出射面は近軸位置で凹面であり、前記第１０レンズＬ１０の物体側面は近軸位置で凹面であり、第１０レンズＬ１０は負の屈折力を有する。また、他の任意の実施形態において、第１０レンズＬ１０の出射面および物体側面は、他の凹面や凸面の分布で設置されてもよい。
顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、第１０レンズＬ１０の焦点距離をｆ１０と定義し、次の関係式を満たす：－０．９０≦ｆ１０／ｆ≦－０．２３。ディオプトリの合理的な配分により、より良好な結像品質と低感度を有するシステムとする。また、好ましくは、－０．５６≦ｆ１０／ｆ≦－０．２９を満たす。
前記第１０レンズＬ１０の出射面の中心曲率半径をＲ１９とし、前記第１０レンズＬ１０の物体側面の中心曲率半径をＲ２０とし、次の関係式を満たす：０．５０≦（Ｒ１９＋Ｒ２０）／（Ｒ１９－Ｒ２０）≦６．７７。第１０レンズＬ１０の形状を規定することにより、条件の範囲内にある場合は、小型化を図りつつ、軸外画角の収差などの問題を補正するのに有利である。また、好ましくは、０．８０≦（Ｒ１９＋Ｒ２０）／（Ｒ１９－Ｒ２０）≦５．４２を満足する。
前記第１０レンズＬ１０の軸上厚さをｄ１９とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬとし、次の関係式を満たす：０．００＜ｄ１９／ＴＴＬ≦０．０１。これにより、条件式の範囲内であり、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御するのに有利である。
本実施形態において、前記第１１レンズＬ１１の出射面は近軸位置で凸面であり、前記第１１レンズＬ１１の物体側面は近軸位置で凸面であり、前記第１１レンズＬ１１は正の屈折力を有する。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第１１レンズＬ１１の焦点距離をｆ１１と定義し、次の関係式を満たす：０．０７≦ｆ１１／ｆ≦０．２４。ディオプトリの合理的な配分により、より良好な撮像画質と低感度を有するシステムとする。また、好ましくは、０．１２≦ｆ１１／ｆ≦０．１９を満たす。
前記第１１レンズＬ１１の出射面の中心曲率半径をＲ２１とし、前記第１１レンズＬ１１の物体側面の中心曲率半径をＲ２２とし、次の関係式を満たす：０．１７≦（Ｒ２１＋Ｒ２２）／（Ｒ２１－Ｒ２２）≦１．１２。第１１レンズＬ１１の形状を規定することにより、条件の範囲内にある場合は、小型化を図りつつ、軸外画角の収差などの問題を補正するのに有利である。また、好ましくは、０．２７≦（Ｒ２１＋Ｒ２２）／（Ｒ２１－Ｒ２２）≦０．９０を満足する。
前記第１１レンズＬ１１の軸上厚さをｄ２１とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬとし、次の関係式を満たす：０．０３≦ｄ２１／ＴＴＬ≦０．１０。これにより、条件式の範囲内であり、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御するのに有利である。また、好ましくは、０．０５≦ｄ２１／ＴＴＬ≦０．０８を満足する。
本実施形態において、前記第１２レンズＬ１２の出射面は近軸位置で凹面であり、前記第１２レンズＬ１２の物体側面は近軸位置で凸面であり、第１２レンズＬ１２は正の屈折力を有する。
前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、前記第１２レンズＬ１２の焦点距離をｆ１２と定義し、次の関係式を満たす：０．１６≦ｆ１２／ｆ≦０．６３。ディオプトリの合理的な配分により、より良好な結像品質と低感度を有するシステムとする。また、好ましくは、０．２５≦ｆ１２／ｆ≦０．５０を満たす。
前記第１２レンズＬ１２の出射面の中心曲率半径をＲ２３とし、前記第１２レンズＬ１２の物体側面の中心曲率半径をＲ２４とし、次の関係式を満たす：０．５９≦（Ｒ２３＋Ｒ２４）／（Ｒ２３－Ｒ２４）≦３．０６。第１２レンズＬ１２の形状を規定ことにより、条件の範囲内にある場合は、小型化を図りつつ、軸外画角の収差などの問題を補正するのに有利である。また、好ましくは、０．９５≦（Ｒ２３＋Ｒ２４）／（Ｒ２３－Ｒ２４）≦２．４４を満足する。
前記第１２レンズＬ１２の軸上厚さをｄ２３とし、前記顕微鏡対物レンズ１０の光学全長をＴＴＬとし、次の関係式を満たす：。０．０１≦ｄ２３／ＴＴＬ≦０．０５。これにより、条件式の範囲内であり、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長を合理的に制御するのに有利である。また、好ましくは、０．０２≦ｄ２３／ＴＴＬ≦０．０４を満たす。
本実施形態において、前記第１レンズＬ１、前記第２レンズＬ２、前記第３レンズＬ３、前記第４レンズＬ４、前記第５レンズＬ５、前記第６レンズＬ６、前記第７レンズＬ７、前記第８レンズＬ８、前記第９レンズＬ９、前記第１０レンズＬ１０、前記第１１レンズＬ１１、および前記第１２レンズＬ１２は、いずれもガラス材質である。
顕微鏡対物レンズ１０は、良好な光学性能を有するとともに、小型化、低歪みの設計要件を満たすことができる。この顕微鏡対物レンズ１０の特性によれば、顕微鏡対物レンズ１０は特に高画素の顕微鏡対物レンズに適する。
顕微鏡対物レンズ１０を使用する場合、物体の光線は物体面ＯＢから顕微鏡対物レンズ１０に入射し、左側から平行光として出射する。光学設計の場合に光路は逆であり、左側から平行光を入射し、右側（物体面ＯＢ）に集光して結像する。
以下、本発明の顕微鏡対物レンズ１０を実施例により説明する。なお、焦点距離、軸上距離、中心曲率半径、軸上厚みの単位はｍｍである。
ＴＴＬ：全光学長（第１レンズＬ１の出射面から物体面ＯＢまでの軸上距離）、単位はｍｍである；
ＷＤ：作動距離（第１２レンズＬ１２の物体側面から物体面ＯＢまでの軸上距離）。
表１および表２に、本発明の第１実施形態に係る顕微鏡対物レンズ１０の設計データを示す表である。
ここで、各符号の意味は以下のとおりである。
ＳＴ：絞り；
Ｇｎ：第ｎレンズ；
Ｒ：光学面の中心における曲率半径；
Ｒ１：第１レンズＬ１の出射面の中心曲率半径；
Ｒ２：第１レンズＬ１の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ３：第２レンズＬ２の出射面の中心曲率半径；
Ｒ４：第２レンズＬ２の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ５：第３レンズＬ３の出射面の中心曲率半径；
Ｒ６：第３レンズＬ３の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ７：第４レンズＬ４の出射面の中心曲率半径；
Ｒ８：第４レンズＬ４の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ９：第５レンズＬ５の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１０：第５レンズＬ５の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１１：第６レンズＬ６の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１２：第６レンズＬ６の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１３：第７レンズＬ７の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１４：第７レンズＬ７の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１５：第８レンズＬ８の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１６：第８レンズＬ８の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１７：第９レンズＬ９の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１８：第９レンズＬ９の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１９：第１０レンズＬ１０の出射面の中心曲率半径；
Ｒ２０：第１０レンズＬ１０の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ２１：第１１レンズＬ１１の出射面の中心曲率半径；
Ｒ２２：第１１レンズＬ１１の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ２３：第１２レンズＬ１２の出射面の中心曲率半径；
Ｒ２４：第１２レンズＬ１２の物体側面の中心曲率半径；
ｄ：レンズの軸上厚み、レンズ間の軸上距離；
ｄ１：第１レンズＬ１の軸上厚み；
ｄ２：第１レンズＬ１の物体側面から第２レンズＬ２の出射面までの軸上距離；
ｄ３：第２レンズＬ２の軸上厚み；
ｄ４：第２レンズＬ２の物体側面から第３レンズＬ３の出射面までの軸上距離；
ｄ５：第３レンズＬ３の軸上厚み；
ｄ６：第３レンズＬ３の物体側面から絞りＳＴの出射面までの軸上距離；
ｄＳＴ－４：絞りＳＴの物体側面から第４レンズＬ４の出射面までの軸上距離；
ｄ７：第４レンズＬ４の軸上厚み；
ｄ８：第４レンズＬ４の物体側面から第５レンズＬ５の出射面までの軸上距離；
ｄ９：第５レンズＬ５の軸上厚み；
ｄ１０：第５レンズＬ５の物体側面から第６レンズＬ６の出射面までの軸上距離；
ｄ１１：第６レンズＬ６の軸上厚み；
ｄ１２：第６レンズＬ６の物体側面から第７レンズＬ７の出射面までの軸上距離；
ｄ１３：第７レンズＬ７の軸上厚み；
ｄ１４：第７レンズＬ７の物体側面から第８レンズＬ８の出射側面までの軸上距離；
ｄ１５：第８レンズＬ８の軸上厚み；
ｄ１６：第８レンズＬ８の物体側面から第９レンズＬ９の出射側面までの軸上距離；
ｄ１７：第９レンズＬ９の軸上厚み；
ｄ１８：第９レンズＬ９の物体側面から第１０レンズＬ１０の出射面までの軸上距離；
ｄ１９：第１０レンズＬ１０の軸上厚み；
ｄ２０：第１０レンズＬ１０の物体側面から第１１レンズＬ１１の出射面までの軸上距離；
ｄ２１：第１１レンズＬ１１の軸上厚み；
ｄ２２：第１１レンズＬ１１の物体側面から第１２レンズＬ１２の出射面までの軸上距離；
ｄ２３：第１２レンズＬ１２の軸上厚み；
ｄ２４：第１２レンズＬ１２の物体側面から物体面ＯＢまでの軸上距離；
ｎｄ：ｄ線の屈折率；
ｎｄ１：第１レンズＬ１のｄ線の屈折率；
ｎｄ２：第２レンズＬ２のｄ線の屈折率；
ｎｄ３：第３レンズＬ３のｄ線の屈折率；
ｎｄ４：第４レンズＬ４のｄ線の屈折率；
ｎｄ５：第５レンズＬ５のｄ線の屈折率；
ｎｄ６：第６レンズＬ６のｄ線の屈折率；
ｎｄ７：第７レンズＬ７のｄ線の屈折率；
ｎｄ８：第８レンズＬ８のｄ線の屈折率；
ｎｄ９：第９レンズＬ９のｄ線の屈折率；
ｎｄ１０：第１０レンズＬ１０のｄ線の屈折率；
ｎｄ１１：第１１レンズＬ１１のｄ線の屈折率；
ｎｄ１２：第１２レンズＬ１２のｄ線の屈折率；
ｖｄ：アッベ数；
ｖ１：第１レンズＬ１のアッベ数；
ｖ２：第２レンズＬ２のアッベ数；
ｖ３：第３レンズＬ３のアッベ数；
ｖ４：第４レンズＬ４のアッベ数；
ｖ５：第５レンズＬ５のアッベ数；
ｖ６：第６レンズＬ６のアッベ数；
ｖ７：第７レンズＬ７のアッベ数；
ｖ８：第８レンズＬ８のアッベ数；
ｖ９：第９レンズＬ９のアッベ数；
ｖ１０：第１０レンズＬ１０のアッベ数；
ｖ１１：第１１レンズＬ１１のアッベ数；
ｖ１２：第１２レンズＬ１２のアッベ数。
ＳＴ：絞り；
Ｇｎ：第ｎレンズ；
Ｒ：光学面の中心における曲率半径；
Ｒ１：第１レンズＬ１の出射面の中心曲率半径；
Ｒ２：第１レンズＬ１の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ３：第２レンズＬ２の出射面の中心曲率半径；
Ｒ４：第２レンズＬ２の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ５：第３レンズＬ３の出射面の中心曲率半径；
Ｒ６：第３レンズＬ３の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ７：第４レンズＬ４の出射面の中心曲率半径；
Ｒ８：第４レンズＬ４の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ９：第５レンズＬ５の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１０：第５レンズＬ５の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１１：第６レンズＬ６の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１２：第６レンズＬ６の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１３：第７レンズＬ７の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１４：第７レンズＬ７の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１５：第８レンズＬ８の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１６：第８レンズＬ８の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１７：第９レンズＬ９の出射面の中心曲率半径；
Ｒ１８：第９レンズＬ９の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ１９：第１０レンズＬ１０の出射面の中心曲率半径；
Ｒ２０：第１０レンズＬ１０の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ２１：第１１レンズＬ１１の出射面の中心曲率半径；
Ｒ２２：第１１レンズＬ１１の物体側面の中心曲率半径；
Ｒ２３：第１２レンズＬ１２の出射面の中心曲率半径；
Ｒ２４：第１２レンズＬ１２の物体側面の中心曲率半径；
ｄ：レンズの軸上厚み、レンズ間の軸上距離；
ｄ１：第１レンズＬ１の軸上厚み；
ｄ２：第１レンズＬ１の物体側面から第２レンズＬ２の出射面までの軸上距離；
ｄ３：第２レンズＬ２の軸上厚み；
ｄ４：第２レンズＬ２の物体側面から第３レンズＬ３の出射面までの軸上距離；
ｄ５：第３レンズＬ３の軸上厚み；
ｄ６：第３レンズＬ３の物体側面から絞りＳＴの出射面までの軸上距離；
ｄＳＴ－４：絞りＳＴの物体側面から第４レンズＬ４の出射面までの軸上距離；
ｄ７：第４レンズＬ４の軸上厚み；
ｄ８：第４レンズＬ４の物体側面から第５レンズＬ５の出射面までの軸上距離；
ｄ９：第５レンズＬ５の軸上厚み；
ｄ１０：第５レンズＬ５の物体側面から第６レンズＬ６の出射面までの軸上距離；
ｄ１１：第６レンズＬ６の軸上厚み；
ｄ１２：第６レンズＬ６の物体側面から第７レンズＬ７の出射面までの軸上距離；
ｄ１３：第７レンズＬ７の軸上厚み；
ｄ１４：第７レンズＬ７の物体側面から第８レンズＬ８の出射側面までの軸上距離；
ｄ１５：第８レンズＬ８の軸上厚み；
ｄ１６：第８レンズＬ８の物体側面から第９レンズＬ９の出射側面までの軸上距離；
ｄ１７：第９レンズＬ９の軸上厚み；
ｄ１８：第９レンズＬ９の物体側面から第１０レンズＬ１０の出射面までの軸上距離；
ｄ１９：第１０レンズＬ１０の軸上厚み；
ｄ２０：第１０レンズＬ１０の物体側面から第１１レンズＬ１１の出射面までの軸上距離；
ｄ２１：第１１レンズＬ１１の軸上厚み；
ｄ２２：第１１レンズＬ１１の物体側面から第１２レンズＬ１２の出射面までの軸上距離；
ｄ２３：第１２レンズＬ１２の軸上厚み；
ｄ２４：第１２レンズＬ１２の物体側面から物体面ＯＢまでの軸上距離；
ｎｄ：ｄ線の屈折率；
ｎｄ１：第１レンズＬ１のｄ線の屈折率；
ｎｄ２：第２レンズＬ２のｄ線の屈折率；
ｎｄ３：第３レンズＬ３のｄ線の屈折率；
ｎｄ４：第４レンズＬ４のｄ線の屈折率；
ｎｄ５：第５レンズＬ５のｄ線の屈折率；
ｎｄ６：第６レンズＬ６のｄ線の屈折率；
ｎｄ７：第７レンズＬ７のｄ線の屈折率；
ｎｄ８：第８レンズＬ８のｄ線の屈折率；
ｎｄ９：第９レンズＬ９のｄ線の屈折率；
ｎｄ１０：第１０レンズＬ１０のｄ線の屈折率；
ｎｄ１１：第１１レンズＬ１１のｄ線の屈折率；
ｎｄ１２：第１２レンズＬ１２のｄ線の屈折率；
ｖｄ：アッベ数；
ｖ１：第１レンズＬ１のアッベ数；
ｖ２：第２レンズＬ２のアッベ数；
ｖ３：第３レンズＬ３のアッベ数；
ｖ４：第４レンズＬ４のアッベ数；
ｖ５：第５レンズＬ５のアッベ数；
ｖ６：第６レンズＬ６のアッベ数；
ｖ７：第７レンズＬ７のアッベ数；
ｖ８：第８レンズＬ８のアッベ数；
ｖ９：第９レンズＬ９のアッベ数；
ｖ１０：第１０レンズＬ１０のアッベ数；
ｖ１１：第１１レンズＬ１１のアッベ数；
ｖ１２：第１２レンズＬ１２のアッベ数。
図２および図３は、波長６５６ｎｍ、５８８ｎｍ、４８６ｎｍの光が第１実施形態の顕微鏡対物レンズ１０を通過した後の軸方向収差および倍率色収差を示す模式図である。図４は、波長５８８ｎｍの光が第１実施形態の顕微鏡対物レンズ１０を通過した後の像面湾曲および歪みを示す模式図である。図４における像面湾曲Ｓは弧矢方向の像面湾曲であり、Ｔは子午方向の像面湾曲である。
後に現れる表４には、各実施例１、２、３における各種の数値と条件式で規定されたパラメータに対応する値が示めされる。
表４に示されるように、第１実施形態は各条件式を満足する。
本実施形態において、前記顕微鏡対物レンズ１０の入瞳直径ＥＮＤＰが８．５０８ｍｍであり、全視野像高ＩＨが１２．０００ｍｍであり、開口数ＮＡが０．０２２ｍｍであり、対角線方向の視野角ＦＯＶが７．２６°である。前記顕微鏡対物レンズ１０は、低歪みの設計要件を満たし、軸上・軸外色収差が十分に補正され、優れた光学特性を有する。
（第２実施形態）
第２実施形態は、基本的に第１実施形態と同様であり、符号は第１実施形態と同じ意味を表すため、以下では相違点のみを列挙する。
第２実施形態は、基本的に第１実施形態と同様であり、符号は第１実施形態と同じ意味を表すため、以下では相違点のみを列挙する。
本実施形態では、前記第４レンズＬ４の出射面は近軸位置で凹面であり、前記第６レンズＬ６の物体側面は近軸位置で凸面であり、前記第７レンズＬ７の出射面は近軸位置で凸面であり、前記第９レンズＬ９の物体側面は近軸位置で凹面であり、前記第１０レンズＬ１０の出射面は近軸位置で凸面である。
図５は本発明の第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズ２０を示す図である。
表２は、本発明の第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズ２０の設計データを示す表である。
図６および図７は、波長６５６ｎｍ、５８８ｎｍ、４８６ｎｍの光が第２実施形態の顕微鏡対物レンズ２０を通過した後の軸方向収差および倍率色収差を示す模式図である。図８は、波長５８８ｎｍの光が第２実施形態の顕微鏡対物レンズ２０を通過した後の像面湾曲および歪みを示す模式図である。図８における像面湾曲Ｓは弧矢方向の像面湾曲であり、Ｔは子午方向の像面湾曲である。
表４に示されるように、第２実施形態は各条件式を満足する。
本実施形態において、前記顕微鏡対物レンズ２０の入瞳直径ＥＮＤＰが９．７８０ｍｍであり、全視野像高ＩＨが１２．０００ｍｍであり、開口数ＮＡが０．０２５ｍｍであり、対角線方向の視野角ＦＯＶが７．２６°である。前記顕微鏡対物レンズ２０は、低歪みの設計要件を満たし、軸上・軸外色収差が十分に補正され、優れた光学特性を有する。
（第３の実施形態）
第３実施形態は、基本的に第１実施形態と同様であり、符号は第１実施形態と同じ意味を表すため、以下では相違点のみを列挙する。
第３実施形態は、基本的に第１実施形態と同様であり、符号は第１実施形態と同じ意味を表すため、以下では相違点のみを列挙する。
本実施形態では、前記第４レンズＬ４の出射面は近軸位置で凹面であり、前記第６レンズＬ６の物体側面は近軸位置で凸面であり、前記第７レンズＬ７の出射面は近軸位置で凸面であり、前記第９レンズＬ９の物体側面は近軸位置で凹面であり、前記第１０レンズＬ１０の出射面は近軸位置で凸面である。
図９は本発明の第３実施形態に係る顕微鏡対物レンズ３０を示す図である。
表３は、本発明の第３実施形態に係る顕微鏡対物レンズ３０の設計データを示す表である。
図１０および図１１は、波長６５６ｎｍ、５８８ｎｍ、４８６ｎｍの光が第３実施形態の顕微鏡対物レンズ３０を通過した後の軸方向収差および倍率色収差を示す模式図である。図１２は、波長５８８ｎｍの光が第３実施形態の顕微鏡対物レンズ３０を通過した後の像面湾曲および歪みを示す模式図である。図１２における像面湾曲Ｓは弧矢方向の像面湾曲であり、Ｔは子午方向の像面湾曲である。
以下、表４には、上記条件式に従って本実施形態における各条件式に対応する値を示される。本実施形態に係る顕微鏡対物レンズ４０が上記条件式を満足することは明らかである。
本実施形態において、前記顕微鏡対物レンズ４０の入瞳直径ＥＮＤＰが１１．０３３ｍｍであり、全視野像高ＩＨが１２．０００ｍｍであり、開口数ＮＡが０．０２８ｍｍであり、対角線方向の視野角ＦＯＶが７．２６°である。前記顕微鏡対物レンズ４０は、低歪みの設計要件を満たし、軸上・軸外色収差が十分に補正され、優れた光学特性を有する。
上記の各実施形態は、本発明を実現するための具体的な実施形態であり、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、実用化において形態および細部において様々な変更を加えることが可能であることは、当業者には理解され得る。
Claims (15)
- 顕微鏡対物レンズであって、
前記顕微鏡対物レンズは、出射側から物体側へ順に、正の屈折力を有する第１レンズ、正の屈折力を有する第２レンズ、負の屈折力を有する第３レンズ、負の屈折力を有する第４レンズ、正の屈折力を有する第５レンズ、負の屈折力を有する第６レンズ、負の屈折力を有する第７レンズ、負の屈折力を有する第８レンズ、正の屈折力を有する第９レンズ、負の屈折力を有する第１０レンズ、正の屈折力を有する第１１レンズ、および正の屈折力を有する第１２レンズから構成され、
ここで、前記顕微鏡対物レンズの焦点距離がｆであり、前記第９レンズ、前記第１０レンズ、前記第１１レンズ、および前記第１２レンズからなるレンズ群の焦点距離がｆ９－１２であり、前記第７レンズと前記第８レンズとの合成焦点距離がｆ７８であり、前記第７レンズの軸上厚さがｄ１３であり、前記第８レンズの軸上厚さがｄ１５であり、前記第７レンズの物体側面から前記第８レンズの出射面側までの軸上距離がｄ１４であり、前記第１１レンズの出射面の中心曲率半径がＲ２１であり、前記第１１レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２２であり、前記顕微鏡対物レンズの開口数がＮＡであり、前記顕微鏡対物レンズの作動距離がＷＤであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
０．０９≦Ｆ９－１２／Ｆ≦０．１５
－１．３５≦ｆ７８／（ｄ１３＋ｄ１４＋ｄ１５）≦－０．９５
－７．００≦Ｒ２１／Ｒ２２≦－２．００；
０．２０≦ＮＡ＊ｆ／ＷＤ≦０．２６ - 前記第５レンズの出射面の中心曲率半径がＲ９であり、前記第５レンズの焦点距離がｆ５であり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．９０≦Ｒ９／ｆ５≦３．００ - 前記第１レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、前記第１レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第１レンズの焦点距離がｆ１であり、前記第１レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１であり、前記第１レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２であり、前記第１レンズの軸上厚さがｄ１であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．０８≦ｆ１／ｆ≦０．２７
－１．８３≦（Ｒ１＋Ｒ２）／（Ｒ１－Ｒ２）≦－０．５６
０．０１≦ｄ１／ＴＴＬ≦０．０３ - 前記第２レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、前記第２レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第２レンズの焦点距離がｆ２であり、前記第２レンズの出射面の中心曲率半径がＲ３であり、前記第２レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ４であり、前記第２レンズの軸上厚さがｄ３であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．０９≦ｆ２／ｆ≦０．３０
－１．０９≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－０．０２
０．０１≦ｄ３／ＴＴＬ≦０．０３ - 前記第３レンズの出射面は近軸位置で凹面であり、前記第３レンズの物体側面は近軸位置で凹面であり、
前記第３レンズの焦点距離がｆ３であり、前記第３レンズの出射側の中心曲率半径がＲ５であり、前記第３レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ６であり、前記第３レンズの軸上厚さがｄ５であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
－０．２３≦ｆ３／ｆ≦－０．０７
－０．２６≦（Ｒ５＋Ｒ６）／（Ｒ５－Ｒ６）≦０．５３
０．００＜ｄ５／ＴＴＬ≦０．０１ - 前記第４レンズの物体側面は近軸位置で凹面であり、
前記第４レンズの焦点距離がｆ４であり、前記第４レンズの出射面の中心曲率半径がＲ７であり、前記第４レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ８であり、前記第３レンズの軸上厚さがｄ７であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
－０．２８≦ｆ４／ｆ≦－０．０５
０．０９≦（Ｒ７＋Ｒ８）／（Ｒ７－Ｒ８）≦４．９４
０．００＜ｄ７／ＴＴＬ≦０．０２ - 前記第５レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、前記第５レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第５レンズの焦点距離がｆ５であり、前記第５レンズの出射面の中心曲率半径がＲ９であり、前記第５レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１０であり、前記第５レンズの軸上厚さがｄ９であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．０３≦ｆ５／ｆ≦０．１０
－０．６５≦（Ｒ９＋Ｒ１０）／（Ｒ９－Ｒ１０）≦０．８９
０．０１≦ｄ９／ＴＴＬ≦０．０４ - 前記第６レンズの出射面は近軸位置で凹面であり、
前記第６レンズの焦点距離がｆ６であり、前記第６レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１１であり、前記第６レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１２であり、前記第６レンズの軸上厚さがｄ１１であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
－０．２２≦ｆ６／ｆ≦－０．０４
－５．２３≦（Ｒ１１＋Ｒ１２）／（Ｒ１１－Ｒ１２）≦－０．１３
０．００＜ｄ１１／ＴＴＬ≦０．０１ - 前記第７レンズの物体側面が近軸位置で凹面であり、
前記第７レンズの焦点距離がｆ７であり、前記第７レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１３であり、前記第７レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１４であり、前記第７レンズの軸上厚さがｄ１３であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
－１．０４≦ｆ７／ｆ≦－０．１４
０．３８≦（Ｒ１３＋Ｒ１４）／（Ｒ１３－Ｒ１４）≦６．２１
０．００＜ｄ１３／ＴＴＬ≦０．０２ - 前記第８レンズの出射面は近軸位置で凹面であり、前記第８レンズの物体側面は近軸位置で凹面であり、
前記第８レンズの焦点距離がｆ８であり、前記第８レンズの出射側の中心曲率半径がＲ１５であり、前記第８レンズの物体側の中心曲率半径がＲ１６であり、前記第８レンズの軸上厚さがｄ１５であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
－０．２７≦ｆ８／ｆ≦－０．０４
－１．７２≦（Ｒ１５＋Ｒ１６）／（Ｒ１５－Ｒ１６）≦－０．５２
０．００＜ｄ１５／ＴＴＬ≦０．０１ - 前記第９レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、
前記第９レンズの焦点距離がｆ９であり、前記第９レンズの出射側の中心曲率半径がＲ１７であり、前記第９レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ１８であり、前記第９レンズの軸上厚さがｄ１７であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．１０≦ｆ９／ｆ≦２．２２
－２２．３８≦（Ｒ１７＋Ｒ１８）／（Ｒ１７－Ｒ１８）≦０．７５
０．０１≦ｄ１７／ＴＴＬ≦０．０５ - 前記第１０レンズの物体側面は近軸位置で凹面であり、
前記第１０レンズの焦点距離がｆ１０であり、前記第１０レンズの出射面の中心曲率半径がＲ１９であり、前記第１０レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２０であり、前記第１０レンズの軸上厚さがｄ１９であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
－０．９０≦ｆ１０／ｆ≦－０．２３
０．５０≦（Ｒ１９＋Ｒ２０）／（Ｒ１９－Ｒ２０）≦６．７７
０．００＜ｄ１９／ＴＴＬ≦０．０１ - 前記第１１レンズの出射面は近軸位置で凸面であり、前記第１１レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第１１レンズの焦点距離がｆ１１であり、前記第１１レンズの出射側の中心曲率半径がＲ２１であり、前記第１１レンズの物体側面の中心曲率半径がＲ２２であり、前記第１１レンズの軸上厚さがｄ２１であり、前記顕微鏡対物レンズの光学全長がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．０７≦ｆ１１／ｆ≦０．２４
０．１７≦（Ｒ２１＋Ｒ２２）／（Ｒ２１－Ｒ２２）≦１．１２
０．０３≦ｄ２１／ＴＴＬ≦０．１０ - 前記第１２レンズの出射面は近軸位置で凹面であり、前記第１２レンズの物体側面は近軸位置で凸面であり、
前記第１２レンズの焦点距離はｆ１２であり、前記第１２レンズの出射側の中心曲率半径はＲ２３であり、前記第１２レンズの物体側面の中心曲率半径はＲ２４であり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．１６≦ｆ１２／ｆ≦０．６３
０．５９≦（Ｒ２３＋Ｒ２４）／（Ｒ２３－Ｒ２４）≦３．０６
０．０１≦ｄ２３／ＴＴＬ≦０．０５ - 前記第１レンズ、前記第２レンズ、前記第３レンズ、前記第４レンズ、前記第５レンズ、前記第６レンズ、前記第７レンズ、前記第８レンズ、前記第９レンズ、前記第１０レンズ、前記第１１レンズ、および前記第１２レンズは、いずれもガラス材質である、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
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