JP7465578B2 - 計測治具およびそれを用いた校正方法、テラヘルツ波の測定方法 - Google Patents
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Description
2 分光セル窓
3 分光セル窓カバー板
4 分光セル窓
5 分光セル窓
6 ホルダー
6a ホルダー窓
6b ホルダー窓
6c ホルダー窓
7 テラヘルツ波を一定量吸収する物体
8 液体充填部
9 液体充填部の底面
10 液体充填部
11 セルギャップ厚
12 厚さ
13 流路
14 流路
15 液体注入口
16 エアー抜き穴
17 フェムト秒レーザ光源
18 サンプリング光
19 レーザ光分光部
20 ポンプ光
21 サンプリング光
22 集光レンズ
23 テラヘルツ波発生用半導体
24 テラヘルツ波集束部
25 テラヘルツ波
26 ホルダー可動部
27 テラヘルツ波集束部
27a 集光ミラー
28 テラヘルツ波検出用半導体
29 集光レンズ
30 テラヘルツ信号検出装置
31a 反射ミラー
31b 反射ミラー
31c 反射ミラー
32 時間遅延用可変光学遅延部
32a 反射ミラー
32b 反射ミラー
33 分光セル本体部
34 分光セル窓カバー板
35 分光セル本体部
36 分光セル窓
37 分光セル窓
38 分光セル窓
39 分光セル窓カバー板
40 分光セル窓
41 吸収基準部
42a ホルダー窓
42b ホルダー窓
42c ホルダー窓
43 ホルダー前面部背面にある溝
44 ホルダー背面部
45a ホルダー窓
45b ホルダー窓
45c ホルダー窓
46 接続穴
47 分光セル押ユニット
48 ピン
49 ビス穴
50 入射テラヘルツ波ビーム
51 透過テラヘルツ波ビーム
52 入射テラヘルツ波ビーム
53 透過テラヘルツ波ビーム
54 入射テラヘルツ波ビーム
55 透過テラヘルツ波ビーム
56 基準周波数1
57 基準周波数2
58 基準周波数3
59 基準吸光度1
60 基準吸光度2
61 基準吸光度3
62 分光セル
63 ホルダー
63a ホルダー窓
63b ホルダー窓
63c ホルダー窓
64 テラヘルツ波を一定量吸収する物体
65 テラヘルツ波を一定量吸収する物体
66 分光セル
67 分光セル窓
68 分光セル窓
69 分光セル窓カバー板
70 分光セル窓
71 分光セル窓
72 分光セル窓
73 吸収基準部
74 吸収基準部
100,100A~100E 分光セル
Claims (16)
- テラヘルツ波分光装置で使用する計測治具であって、
テラヘルツ波を透過または反射させる被測定物を入れるための均一な深さを持つ窪みによる空間を板状の分光セル本体部に1つ以上備えている容器としての分光セルと、
前記分光セルの前記被測定物を入れる空間に対応した位置に配置される1つ以上の第1ホルダー貫通孔を持つホルダーとを備え、
前記分光セルはテラヘルツ波が透過する樹脂材料でできており、前記分光セルを前記ホルダーに装填させて使用するようになされ、
前記ホルダーは、前記分光セルを保持する機能と、前記分光セルの歪み、捻れ、曲がりの1つ以上を補正することができる機能とを持つ
ことを特徴とする計測治具。 - 前記分光セルが、前記被測定物を入れる空間以外にセル貫通孔を更に備え、
前記ホルダーが、前記セル貫通孔に対応した位置に配置される第2ホルダー貫通孔を更に持つことを特徴とする請求項1に記載の計測治具。 - 前記第2ホルダー貫通孔に対して、前記テラヘルツ波を一定量吸収する物体が配置されていることを特徴とする請求項2に記載の計測治具。
- 前記テラヘルツ波を一定量吸収する物体は、前記第2ホルダー貫通孔の外部に配置され、前記ホルダーに接着されていることを特徴とする請求項3に記載の計測治具。
- 前記テラヘルツ波を一定量吸収する物体は、前記第2ホルダー貫通孔の内部に充填されていることを特徴とする請求項3に記載の計測治具。
- 前記セル貫通孔の内部に、前記テラヘルツ波を一定量吸収する物体が配置されていることを特徴とする請求項2に記載の計測治具。
- 前記テラヘルツ波を一定量吸収する物体が、フォトニック結晶構造をもつことを特徴とする請求項3または6に記載の計測治具。
- 前記テラヘルツ波を一定量吸収する物体は、前記分光セルの本体部を成形する材料と同一の樹脂材料で成形されるフォトニック結晶構造を有する吸収基準部により構成されることを特徴とする請求項6に記載の計測治具。
- 前記分光セルは、前記セル貫通孔を少なくとも2つ有し、当該少なくとも2つの前記セル貫通孔には、異なる種類のテラヘルツ波を一定量吸収する物体が配置されていることを特徴とする請求項2に記載の計測治具。
- 前記異なる種類のテラヘルツ波を一定量吸収する物体が、少なくともその1つがフォトニック結晶構造をもつことを特徴とし、2つ以上のフォトニック結晶構造がある場合は、その2つ以上のフォトニック結晶構造がすべて異なることを特徴とする請求項9に記載の計測治具。
- 前記ホルダーが、前記分光セルの着脱機能を有したことを特徴とする請求項1に記載の計測治具。
- 前記分光セルは、前記被測定物を入れる空間を複数備えるとともに、前記セル貫通孔を1つ備え、
前記被測定物を入れる複数の空間は、前記セル貫通孔を間に挟まずに並べて配置されている
ことを特徴とする請求項2に記載の計測治具。 - 前記ホルダーは、前記分光セルの歪み、捻れ、曲がりの1つ以上を補正することができる機能として、前記ホルダーの背面部の複数箇所に配置される押圧機構を備え、
前記押圧機構は、内部のバネ機構が有する付勢力によって押し出されるピンにより、前記分光セルの本体部を押圧する
ことを特徴とする請求項1に記載の計測治具。 - 前記押圧機構は、前記ホルダーの背面部の複数箇所に設けられた接続穴内に配置され、
前記押圧機構および前記接続穴は、前記接続穴内に配置される前記押圧機構の位置をネジ機構により調整可能に構成され、前記ピンが前記分光セルの本体部を押す圧力を微調整できるようになっている
ことを特徴とする請求項13に記載の計測治具。 - テラヘルツ波分光装置のテラヘルツ波光路の途中に、請求項1~14の何れか1項に記載の計測治具を設置して、上記テラヘルツ波分光装置により被測定物の特性を分光計測するテラヘルツ波の測定方法。
- テラヘルツ波分光装置のテラヘルツ波光路の途中に、請求項1~14の何れか1項に記載の計測治具を設置して、上記テラヘルツ波分光装置により測定物の特性を分光計測し、透過率、反射率、位相差、強度、あるいは位相の内、少なくとも1つを校正量として使用することを特徴とする校正方法。
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