JP7463298B2 - 半導体装置及び半導体装置の動作方法 - Google Patents

半導体装置及び半導体装置の動作方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7463298B2
JP7463298B2 JP2020567662A JP2020567662A JP7463298B2 JP 7463298 B2 JP7463298 B2 JP 7463298B2 JP 2020567662 A JP2020567662 A JP 2020567662A JP 2020567662 A JP2020567662 A JP 2020567662A JP 7463298 B2 JP7463298 B2 JP 7463298B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transistor
circuit
electrode
oxide
secondary battery
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020567662A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2020152541A1 (ja
JPWO2020152541A5 (ja
Inventor
佑樹 岡本
貴彦 石津
圭 高橋
隆之 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd filed Critical Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Publication of JPWO2020152541A1 publication Critical patent/JPWO2020152541A1/ja
Publication of JPWO2020152541A5 publication Critical patent/JPWO2020152541A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7463298B2 publication Critical patent/JP7463298B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J7/00—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J7/0013—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries acting upon several batteries simultaneously or sequentially
    • H02J7/0014—Circuits for equalisation of charge between batteries
    • H02J7/0019—Circuits for equalisation of charge between batteries using switched or multiplexed charge circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J7/00—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J7/02—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries for charging batteries from ac mains by converters
    • H02J7/04—Regulation of charging current or voltage
    • H02J7/06—Regulation of charging current or voltage using discharge tubes or semiconductor devices
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J7/00—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J7/0013—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries acting upon several batteries simultaneously or sequentially
    • H02J7/0014—Circuits for equalisation of charge between batteries
    • H02J7/0016—Circuits for equalisation of charge between batteries using shunting, discharge or bypass circuits
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/36—Arrangements for testing, measuring or monitoring the electrical condition of accumulators or electric batteries, e.g. capacity or state of charge [SoC]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
    • H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
    • H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
    • H01L21/8232—Field-effect technology
    • H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/08—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
    • H01L27/085—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only
    • H01L27/088—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772—Field effect transistors
    • H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772—Field effect transistors
    • H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
    • H01L29/7869—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film having a semiconductor body comprising an oxide semiconductor material, e.g. zinc oxide, copper aluminium oxide, cadmium stannate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/42—Methods or arrangements for servicing or maintenance of secondary cells or secondary half-cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/42—Methods or arrangements for servicing or maintenance of secondary cells or secondary half-cells
    • H01M10/44—Methods for charging or discharging
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/42—Methods or arrangements for servicing or maintenance of secondary cells or secondary half-cells
    • H01M10/48—Accumulators combined with arrangements for measuring, testing or indicating the condition of cells, e.g. the level or density of the electrolyte
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J7/00—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
    • H02J7/0013—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries acting upon several batteries simultaneously or sequentially
    • H02J7/0014—Circuits for equalisation of charge between batteries
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10—Energy storage using batteries
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
    • Y02T10/60—Other road transportation technologies with climate change mitigation effect
    • Y02T10/70—Energy storage systems for electromobility, e.g. batteries

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)
  • Charge And Discharge Circuits For Batteries Or The Like (AREA)
  • Secondary Cells (AREA)
  • Bipolar Transistors (AREA)
  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Description

本発明の一態様は、半導体装置、及び半導体装置の動作方法に関する。また、本発明の一態様は、電池制御回路、電池保護回路、蓄電装置、及び電気機器に関する。
なお本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物（コンポジション・オブ・マター）に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の技術分野としては、表示装置、発光装置、蓄電装置、撮像装置、記憶装置、それらの駆動方法、または、それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
蓄電装置（バッテリ、二次電池ともいう）は、小型の電気機器から自動車に至るまで幅広い分野で利用されるようになっている。電池の応用範囲が広がるにつれて、複数の電池セルを直列に接続したマルチセル構成のバッテリスタックを使ったアプリケーションが増えている。
蓄電装置は、過放電、過充電、過電流、または短絡といった充放電時の異常を把握するための回路を備えている。このように、電池の保護、及び制御を行う回路において、充放電時の異常を検知するため、電圧や電流等のデータを取得する。また、このような回路においては、観測されるデータに基づいて、充放電の停止やセル・バランシングなどの制御を行う。
特許文献１は、電池保護回路として機能する保護ＩＣについて開示している。特許文献１に記載の保護ＩＣでは、内部に複数のコンパレータ（比較器）を設け、参照電圧と、電池が接続された端子の電圧と、を比較して充放電時の異常を検出する構成について開示している。
また特許文献２では、二次電池の微小短絡を検出する電池状態検知装置及びそれを内蔵する電池パックが示されている。
また特許文献３では、二次電池のセルが直列接続された組電池を保護する保護用半導体装置が示されている。
米国特許出願公開第２０１１－２６７７２６号明細書 特開２０１０－６６１６１号公報 特開２０１０－２２０３８９号公報
本発明の一態様は、新規な電池制御回路、新規な電池保護回路、蓄電装置、及び電気機器等を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、消費電力の低減を図ることができる、新規な構成の電池制御回路、電池保護回路、蓄電装置、及び電気機器等を提供することを課題の一とする。
なお本発明の一態様の課題は、上記列挙した課題に限定されない。上記列挙した課題は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお他の課題は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない課題である。本項目で言及していない課題は、当業者であれば明細書又は図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一態様は、上記列挙した記載、及び／又は他の課題のうち、少なくとも一つの課題を解決するものである。
本発明の一態様は、ｎ組のセルバランス回路を有し、ｎ組のセルバランス回路は、一の二次電池にそれぞれ対応し、ｎ組のセルバランス回路のそれぞれは、トランジスタと、比較回路と、容量素子と、を有し、ｎ組のセルバランス回路のそれぞれにおいて、トランジスタのチャネル形成領域はインジウムを含む金属酸化物を有し、ｎ組のセルバランス回路のそれぞれにおいて、トランジスタのソースおよびドレインの一方には比較回路の反転入力端子と、容量素子の一方の電極と、が電気的に接続され、容量素子の他方の電極に接地電位が与えられる第１のステップと、トランジスタがオン状態となる第２のステップと、容量素子の一方の電極に、第１の電位が与えられる第３のステップと、トランジスタがオフ状態となる第４のステップと、容量素子の他方の電極と、それぞれのセルバランス回路に対応するそれぞれの二次電池の負極とが電気的に接続される第５のステップと、容量素子の一方の電極に、第１の電位と、それぞれのセルバランス回路に対応する二次電池の負極の電位の和が与えられる第６のステップと、比較回路の出力から、それぞれのセルバランス回路に対応する二次電池の充電を制御する信号が出力される第７のステップと、を有する半導体装置の動作方法である。
また上記構成において、ｎ組のセルバランス回路のそれぞれにおいて、比較回路の非反転入力端子には、それぞれのセルバランス回路に対応する二次電池の正極が電気的に接続されることが好ましい。
または本発明の一態様は、第１の比較回路と、第２の比較回路と、第３の比較回路と、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第３のトランジスタと、第１の容量素子と、第２の容量素子と、第３の容量素子と、選択回路と、を有し、第１の比較回路の出力端子から二次電池の充電を制御する第１の信号が出力され、第２の比較回路の出力端子から二次電池の充電を制御する第２の信号が出力され、第３の比較回路の出力端子から二次電池の放電を制御する第３の信号が出力され、第１のトランジスタのソースおよびドレインの一方、第２のトランジスタのソースおよびドレインの一方および第３のトランジスタのソースおよびドレインの一方は互いに電気的に接続され、第１のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、第１の比較回路の反転入力端子と、第１の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、第２のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、第２の比較回路の反転入力端子と、第２の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、第３のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、第３の比較回路の非反転入力端子と、第３の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、選択回路は、２つの入力端子および１つの出力端子を有し、選択回路の出力端子は、第１の容量素子の他方の電極と、第２の容量素子の他方の電極と、第３の容量素子の他方の電極と、に電気的に接続され、非反転入力端子および反転入力端子の一方は、二次電池の負極と電気的に接続される半導体装置である。
また上記構成において、二次電池の正極には、第１の比較回路の非反転入力端子と、第２の比較回路の非反転入力端子と、第３の比較回路の反転入力端子と、が電気的に接続されることが好ましい。また上記構成において、第１のトランジスタ、第２のトランジスタおよび第３のトランジスタのそれぞれのチャネル形成領域は、インジウムを含む金属酸化物を有することが好ましい。
または本発明の一態様は、第１の比較回路と、第２の比較回路と、第３の比較回路と、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第３のトランジスタと、第１の容量素子と、第２の容量素子と、第３の容量素子と、を有し、第１のトランジスタのソースおよびドレインの一方、第２のトランジスタのソースおよびドレインの一方および第３のトランジスタのソースおよびドレインの一方は互いに電気的に接続され、第１のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、第１の比較回路の反転入力端子と、第１の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、第２のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、第２の比較回路の反転入力端子と、第２の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、第３のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、第３の比較回路の非反転入力端子と、第３の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、第１の容量素子の他方の電極、第２の容量素子の他方の電極および第３の容量素子の他方の電極に接地電位が与えられる第１のステップと、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第３のトランジスタと、がオン状態となる第２のステップと、第１の容量素子の一方の電極に第１の電位が与えられる第３のステップと、第１のトランジスタがオフ状態となる第４のステップと、第２の容量素子の一方の電極に第２の電位が与えられる第５のステップと、第２のトランジスタがオフ状態となる第６のステップと、第３の容量素子の一方の電極に第３の電位が与えられる第７のステップと、第３のトランジスタがオフ状態となる第８のステップと、を有する半導体装置の動作方法である。
また上記構成において、第３のステップの後、第１の容量素子の他方の電極は二次電池の負極と電気的に接続され、第１の容量素子の一方の電極に第１の電位と二次電池の負極の電位の和が与えられ、第１の比較回路から前記二次電池の充電を制御する信号が出力されることが好ましい。
また上記構成において、第５のステップの後、第２の容量素子の他方の電極は二次電池の負極と電気的に接続され、第２の容量素子の一方の電極に第２の電位と二次電池の負極の電位の和が与えられ、第２の比較回路から前記二次電池の放電を制御する信号が出力されることが好ましい。
また上記構成において、第７のステップの後、第３の容量素子の他方の電極は二次電池の負極と電気的に接続され、第３の容量素子の一方の電極に第３の電位と二次電池の負極の電位の和が与えられ、第３の比較回路から前記二次電池の放電を制御する信号が出力されることが好ましい。
本発明の一態様により、新規な電池制御回路、新規な電池保護回路、蓄電装置、及び電気機器等を提供することができる。また、本発明の一態様により、消費電力の低減を図ることができる、新規な構成の電池制御回路、電池保護回路、蓄電装置、及び電気機器等を提供することができる。
なお本発明の一態様の効果は、上記列挙した効果に限定されない。上記列挙した効果は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお他の効果は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない効果である。本項目で言及していない効果は、当業者であれば明細書又は図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一態様は、上記列挙した効果、及び／又は他の効果のうち、少なくとも一つの効果を有するものである。従って本発明の一態様は、場合によっては、上記列挙した効果を有さない場合もある。
図１は本発明の一態様を説明するブロック図である。
図２Ａは本発明の一態様を説明する回路図である。図２Ｂは本発明の一態様の説明する回路図である。
図３Ａは本発明の一態様を説明するブロック図である。図３Ｂは本発明の一態様の説明するブロック図である。
図４は本発明の一態様を説明するブロック図である。
図５Ａは本発明の一態様の蓄電装置の動作を説明するブロック図である。図５Ｂは本発明の一態様を説明する回路図である。図５Ｃは本発明の一態様を説明する回路図である。図５Ｄは本発明の一態様を説明する回路図である。
図６は本発明の一態様を説明するブロック図である。
図７Ａは本発明の一態様を説明する回路図である。図７Ｂは本発明の一態様を説明する回路図である。
図８Ａは本発明の一態様を説明する回路図である。図８Ｂは本発明の一態様を説明する回路図である。図８Ｃは本発明の一態様を説明する回路図である。
図９は本発明の一態様を説明する回路図である。
図１０は半導体装置の構成例を示す断面図である。
図１１は半導体装置の構成例を示す断面図である。
図１２Ａはトランジスタの構造例を示す断面図である。図１２Ｂはトランジスタの構造例を示す断面図である。図１２Ｃはトランジスタの構造例を示す断面図である。
図１３Ａは半導体装置の一例を示す斜視図である。図１３Ｂは半導体装置の一例を示す斜視図である。図１３Ｃは半導体装置の一例を示す斜視図である。
図１４Ａは半導体装置の一例を示す斜視図である。図１４Ｂは半導体装置の一例を示す斜視図である。
図１５Ａは電子部品の作製工程を示すフローチャート図である。図１５Ｂは電子部品の作製工程を示す斜視模式図である。
図１６Ａは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図１６Ｂは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図１６Ｃは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図１６Ｄは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。
図１７Ａは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図１７Ｂは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図１７Ｃは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。
図１８Ａは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図１８Ｂは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図１８Ｃは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。
図１９Ａは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図１９Ｂは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。
図２０Ａは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図２０Ｂは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図２０Ｃは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。
図２１は本発明の一態様の電気機器を説明する図である。
図２２Ａは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図２２Ｂは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図２２Ｃは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図２２Ｄは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。図２２Ｅは本発明の一態様の電気機器を説明する図である。
図２３Ａ、図２３Ｂ、図２３Ｃは本発明の一態様のシステムの一例である。
図２４Ａ、図２４Ｂは本発明の一態様のシステムの一例である。
図２５は本発明の一態様のシステムの一例である。
図２６は本発明の一態様の蓄電装置の動作例である。
図２７Ａ、図２７Ｂ、図２７Ｃはコンパレータの動作結果である。
図２８は、本発明の一態様を示す斜視図である。
図２９は、本発明の一態様を示す写真である。
図３０は、半導体の構成例を示す断面図である。
図３１Ａは、トランジスタの構成例を示す断面図である。図３１Ｂは、トランジスタの構成例を示す断面図である。図３１Ｃは、トランジスタの構成例を示す断面図である。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
なお本明細書等において、「第１」、「第２」、「第３」という序数詞は、構成要素の混同を避けるために付したものである。従って、構成要素の数を限定するものではない。また、構成要素の順序を限定するものではない。また例えば、本明細書等の実施の形態の一において「第１」に言及された構成要素が、他の実施の形態、あるいは特許請求の範囲において「第２」に言及された構成要素とすることもありうる。また例えば、本明細書等の実施の形態の一において「第１」に言及された構成要素を、他の実施の形態、あるいは特許請求の範囲において省略することもありうる。
なお図面において、同一の要素または同様な機能を有する要素、同一の材質の要素、あるいは同時に形成される要素等には同一の符号を付す場合があり、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
また、図面等において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、発明の理解を容易とするため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面等に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。例えば、実際の製造工程において、エッチングなどの処理によりレジストマスクなどが意図せずに目減りすることがあるが、理解を容易とするために図に反映しないことがある。
また、上面図（「平面図」ともいう）や斜視図などにおいて、図面をわかりやすくするために、一部の構成要素の記載を省略する場合がある。
また、本明細書等において「電極」や「配線」の用語は、これらの構成要素を機能的に限定するものではない。例えば、「電極」は「配線」の一部として用いられることがあり、その逆もまた同様である。さらに、「電極」や「配線」の用語は、複数の「電極」や「配線」が一体となって形成されている場合なども含む。
なお、本明細書等において「上」や「下」の用語は、構成要素の位置関係が直上または直下で、かつ、直接接していることを限定するものではない。例えば、「絶縁層Ａ上の電極Ｂ」の表現であれば、絶縁層Ａの上に電極Ｂが直接接して形成されている必要はなく、絶縁層Ａと電極Ｂとの間に他の構成要素を含むものを除外しない。
また、ソースおよびドレインの機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合など、動作条件などによって互いに入れ替わるため、いずれがソースまたはドレインであるかを限定することが困難である。このため、本明細書においては、ソースおよびドレインの用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
また、本明細書等において、「電気的に接続」には、直接接続している場合と、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。よって、「電気的に接続する」と表現される場合であっても、現実の回路においては、物理的な接続部分がなく、配線が延在しているだけの場合もある。
また、本明細書などにおいて、「平行」とは、例えば、二つの直線が－１０°以上１０°以下の角度で配置されている状態をいう。従って、－５°以上５°以下の場合も含まれる。また、「垂直」および「直交」とは、例えば、二つの直線が８０°以上１００°以下の角度で配置されている状態をいう。従って、８５°以上９５°以下の場合も含まれる。
なお、本明細書などにおいて、計数値および計量値に関して「同一」、「同じ」、「等しい」または「均一」などと言う場合は、明示されている場合を除き、プラスマイナス２０％の誤差を含むものとする。
また、本明細書において、レジストマスクを形成した後にエッチング処理を行う場合は、特段の説明がない限り、レジストマスクは、エッチング処理終了後に除去するものとする。
また、電圧は、ある電位と、基準の電位（例えば接地電位またはソース電位）との電位差のことを示す場合が多い。よって、電圧と電位は互いに言い換えることが可能な場合が多い。本明細書などでは、特段の明示が無いかぎり、電圧と電位を言い換えることができるものとする。
なお、「半導体」と表記した場合でも、例えば、導電性が十分低い場合は「絶縁体」としての特性を有する。よって、「半導体」を「絶縁体」に置き換えて用いることも可能である。この場合、「半導体」と「絶縁体」の境界は曖昧であり、両者の厳密な区別は難しい。したがって、本明細書に記載の「半導体」と「絶縁体」は、互いに読み換えることができる場合がある。
また、「半導体」と表記した場合でも、例えば、導電性が十分高い場合は「導電体」としての特性を有する。よって、「半導体」を「導電体」に置き換えて用いることも可能である。この場合、「半導体」と「導電体」の境界は曖昧であり、両者の厳密な区別は難しい。したがって、本明細書に記載の「半導体」と「導電体」は、互いに読み換えることができる場合がある。
なお、本明細書等において、トランジスタの「オン状態」とは、トランジスタのソースとドレインが電気的に短絡しているとみなせる状態（「導通状態」ともいう。）をいう。また、トランジスタの「オフ状態」とは、トランジスタのソースとドレインが電気的に遮断しているとみなせる状態（「非導通状態」ともいう。）をいう。
また、本明細書等において、「オン電流」とは、トランジスタがオン状態の時にソースとドレイン間に流れる電流をいう場合がある。また、「オフ電流」とは、トランジスタがオフ状態である時にソースとドレイン間に流れる電流をいう場合がある。
また、本明細書等において、高電源電位ＶＤＤ（以下、単に「ＶＤＤ」または「Ｈ電位」ともいう）とは、低電源電位ＶＳＳよりも高い電位の電源電位を示す。また、低電源電位ＶＳＳ（以下、単に「ＶＳＳ」または「Ｌ電位」ともいう）とは、高電源電位ＶＤＤよりも低い電位の電源電位を示す。また、接地電位をＶＤＤまたはＶＳＳとして用いることもできる。例えばＶＤＤが接地電位の場合には、ＶＳＳは接地電位より低い電位であり、ＶＳＳが接地電位の場合には、ＶＤＤは接地電位より高い電位である。
また、本明細書等において、ゲートとは、ゲート電極およびゲート配線の一部または全部のことをいう。ゲート配線とは、少なくとも一つのトランジスタのゲート電極と、別の電極や別の配線とを電気的に接続させるための配線のことをいう。
また、本明細書等において、ソースとは、ソース領域、ソース電極、およびソース配線の一部または全部のことをいう。ソース領域とは、半導体層のうち、抵抗率が一定値以下の領域のことをいう。ソース電極とは、ソース領域に接続される部分の導電層のことをいう。ソース配線とは、少なくとも一つのトランジスタのソース電極と、別の電極や別の配線とを電気的に接続させるための配線のことをいう。
また、本明細書等において、ドレインとは、ドレイン領域、ドレイン電極、及びドレイン配線の一部または全部のことをいう。ドレイン領域とは、半導体層のうち、抵抗率が一定値以下の領域のことをいう。ドレイン電極とは、ドレイン領域に接続される部分の導電層のことをいう。ドレイン配線とは、少なくとも一つのトランジスタのドレイン電極と、別の電極や別の配線とを電気的に接続させるための配線のことをいう。
（実施の形態１）
本実施の形態では、電池制御回路、および当該電池制御回路を備えた蓄電装置の構成について説明する。
本発明の一態様の電池制御回路、または当該電池制御回路を備えた蓄電装置を「ＢＴＯＳ」と呼ぶ場合がある。「ＢＴＯＳ」は、低い消費電力によりシステムを構築できる場合がある。「ＢＴＯＳ」は、簡便な回路によりシステムを構築できる場合がある。
本発明の一態様の電池制御回路は、電池の制御を行う機能を有する。例えば、電池の充電または放電の条件を変更する機能を有する。該条件は例えば、電流密度、上限電圧、下限電圧、モードの切り替え、等を含む。モードとして例えば、定電流モード、定電圧モード、等が挙げられる。また、本発明の一態様の電池制御回路は、電池の保護を行う機能を有することが好ましい。例えば、電池の充電または放電を停止する機能を有する。例えば、過充電の検出に伴い、電池を放電する機能を有する。例えば、電池の異常を検出し、電池の動作を停止、あるいは電池の条件を変更する機能を有する。電池の動作を停止とは例えば、充電の停止、あるいは放電の停止が挙げられる。電池の異常とは例えば、過充電、過放電、充電時の過電流、放電時の過電流、ショート、後述するマイクロショート、動作温度の所定の範囲からの逸脱、等が挙げられる。また、本発明の一態様の電池制御回路は、電池保護回路と呼ばれる場合がある。
＜蓄電装置の一例１＞
図１には蓄電装置１００の一例について示す。図１に示す蓄電装置１００は、電池制御回路１０１、電圧生成回路１１９および組電池１２０を有する。電池制御回路１０１には、チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタ（以下、ＯＳトランジスタという）を用いた回路が搭載されることが好ましい。
電池制御回路１０１は、セルバランス回路１３０、検出回路１８５、検出回路１８６、検出回路ＭＳＤ、検出回路ＳＤ、温度センサＴＳ、デコーダ１６０および論理回路１８２を有する。
また、電池制御回路１０１は、トランジスタ１４０およびトランジスタ１５０を有する。トランジスタ１４０およびトランジスタ１５０としてＯＳトランジスタを用いることができる。
電池制御回路１０１が有するセルバランス回路１３０、検出回路１８５、検出回路１８６、検出回路ＭＳＤ、検出回路ＳＤ、温度センサＴＳ、デコーダ１６０および論理回路１８２が有するトランジスタとしてＯＳトランジスタを用いることができる。これらの回路には、ＯＳトランジスタと、該ＯＳトランジスタが設けられる層の下層に構成されるＳｉトランジスタが含まれてもよい。あるいは、これらの回路がＯＳトランジスタにより構成され、その下層に、これらの回路とは異なる回路がＳｉトランジスタを用いて構成されてもよい。あるいは、これらの回路の下層には、Ｓｉトランジスタが設けられない構成としてもよい。
一例として、デコーダ１６０が有するトランジスタがＯＳトランジスタにより構成され、その下層に電圧生成回路１１９が有するトランジスタがＳｉトランジスタにより構成されてもよい。
電池制御回路１０１が有するセルバランス回路１３０、検出回路１８５、検出回路１８６、検出回路ＭＳＤ、検出回路ＳＤ、温度センサＴＳ、デコーダ１６０および論理回路１８２が有するトランジスタと、トランジスタ１４０と、トランジスタ１５０として、同一基板上に設けられた一の酸化物半導体層、あるいは複数の酸化物半導体層をチャネル形成領域として有するＯＳトランジスタを用いる場合には、電池制御回路１０１を同一基板上に設けることができる。このような場合には例えば、後述する端子ＡＡ、端子ＡＢおよび端子ＡＨは、電池制御回路１０１とは異なる基板に設けられる回路、例えばＭＣＵ、ＭＰＵ、等の演算回路との信号の授受に用いられる。
端子ＡＡ、端子ＡＢおよび端子ＡＨは「外部端子」と呼ばれる場合がある。
組電池１２０は複数の電池セル１２１を有する。図１ではＮ個の電池セル１２１を有する例を示す。第ｋの電池セル（ｋは１以上Ｎ以下の整数）を電池セル１２１（ｋ）と表す場合がある。組電池１２０が有する複数の電池セルは電気的に直列に接続される。
ここで電池セルとして例えば、後述する実施の形態に示す二次電池を用いることができる。例えば、捲回された電池素子を有する二次電池を用いることができる。また、電池セルは外装体を有することが好ましい。例えば、円筒型の外装体や、角型の外装体等を用いることができる。外装体の材料として絶縁体に覆われた金属板や、絶縁体に挟まれた金属フィルム等を用いることができる。電池セルは例えば、一対の正極と負極を有する。また、電池セルは正極に電気的に接続される端子、および負極に電気的に接続される端子を有してもよい。また、電池セルが本発明の一態様の電池制御回路の一部の構成を有する場合がある。
セルバランス回路１３０は、組電池１２０が有する個々の電池セル１２１の充電を制御する機能を有する。検出回路１８５は組電池１２０の過充電および過放電を検出する機能を有する。検出回路１８６は組電池１２０の放電過電流および充電過電流を検出する機能を有する。
検出回路ＭＳＤはマイクロショートを検出する機能を有する。
マイクロショートとは、二次電池の内部の微小な短絡のことを指しており、二次電池の正極と負極が短絡して充放電不可能の状態になるというほどではなく、微小な短絡部で短絡電流が短期間流れてしまう現象を指している。マイクロショートの原因は、充放電が複数回行われることによって、劣化が生じ、リチウムやコバルトなどの金属元素が電池内部で析出し、析出物が成長することにより、正極の一部と負極の一部で局所的な電流の集中が生じ、セパレータの一部が機能しなくなる箇所が発生すること、または副反応物が発生することにあると推定されている。
検出回路ＳＤは例えば、組電池１２０を用いて動作させる回路群の短絡を検出する。また、検出回路ＳＤは例えば、組電池１２０の充電電流および放電電流を検出する。
電池制御回路１０１は、組電池１２０が有するＮ個の電池セル１２１のそれぞれの正極に電気的に接続される端子ＶＣ１乃至端子ＶＣＮと、第Ｎの電池セル１２１の負極に電気的に接続される端子ＶＳＳＳと、を有する。
また、電池制御回路１０１は端子群ＡＡ、端子群ＡＢおよび端子群ＡＨを有する。端子群ＡＡ、端子群ＡＢおよび端子群ＡＨはそれぞれ一の端子、または複数の端子を有する。
デコーダ１６０には、端子群ＡＡより所定のビット数に対応するデジタル信号が与えられる。デコーダ１６０は、セルバランス回路１３０が有する端子ＳＨ６に与える信号、検出回路１８５が有する端子ＳＨ１および端子ＳＨ２に与える信号、検出回路１８６が有する端子ＳＨ３および端子ＳＨ４に与える信号、検出回路ＳＤが有する端子ＳＨ５に与える信号、および温度センサＴＳが有する端子ＳＨ８－１、端子ＳＨ８－２および端子ＳＨ８－３に与える信号を生成し、出力する機能を有する。
電圧生成回路１１９は、デジタル－アナログ変換回路１９０を有する。電圧生成回路１１９において生成される電位は例えば、デジタル－アナログ変換回路１９０によりアナログ信号に変換された後、端子群ＡＢに与えられる。
電池制御回路が有するそれぞれの回路に与える電位がそれぞれ異なる場合において、あるいは一の回路に複数の電位を与える場合において、本発明の一態様の電池制御回路では、必要な電位の数に対応した数の端子を設けることなく、それぞれの電位を供給することができる。よって、端子数を削減することができる。より具体的には例えば、本発明の一態様の電池制御回路において、セルバランス回路１３０、検出回路１８５、等の回路がＯＳトランジスタを有することにより、端子群ＡＢの端子数を削減することができる。例えば一の端子から入力される信号を順次、それぞれの回路に与え、ＯＳトランジスタを有する記憶素子により保持することができる。図１に示す例においては、端子群ＡＢに一の端子（以下、端子ＶＴ）が電気的に接続され、端子ＶＴはセルバランス回路１３０、検出回路１８５、検出回路１８６、検出回路ＳＤおよび温度センサＴＳにそれぞれ、アナログ信号を与える。
また、電圧生成回路１１９から与えた信号が記憶素子により保持されるため、それぞれの回路に信号を与えた後、電圧生成回路１１９の電源をオフとする、あるいは電圧生成回路１１９を待機状態とすることにより、電圧生成回路１１９の消費電力を低減することができる。例えば、電圧生成回路のパワーゲーティングを行えばよい。
記憶素子として、図２Ａに示す記憶素子１１４の構成を用いることができる。図２Ａに示す記憶素子１１４は、容量素子１６１およびトランジスタ１６２を有する。
トランジスタ１６２として、ＯＳトランジスタを用いることが好ましい。本発明の一態様の構成では、ＯＳトランジスタを有する記憶素子１１４を用いる構成とすることで、オフ時にソースとドレイン間を流れるリーク電流（以下、オフ電流）が極めて低いことを利用して、所望の電圧を記憶素子に保持させることができる。
図２Ｂは、記憶素子１１４が有するトランジスタ１６２が第２のゲートを有する点が図２Ａと異なる。第２のゲートはバックゲート、あるいはボトムゲートと呼ばれる場合がある。ＯＳトランジスタが有する第２のゲートについては、後の実施の形態で詳述する。
端子群ＡＨは、論理回路１８２に信号を与える機能、および論理回路１８２からの信号を電池制御回路１０１の外部に設けられる回路に与える機能を有することが好ましい。
論理回路１８２は、検出回路１８５、検出回路１８６、検出回路ＳＤ、検出回路ＭＳＤおよび温度センサＴＳからの出力信号に応じて、トランジスタ１４０およびトランジスタ１５０の制御を行う機能を有する。また、論理回路１８２は、電池制御回路１０１の外部または内部に設けられる充電回路へ信号を与えてもよい。この場合には例えば、論理回路１８２から該充電回路に与えられる信号に応じて、二次電池の充電が制御される。ここで充電回路は例えば、電池の充電の条件を制御する機能を有する。あるいは、電池の充電の条件を制御する信号を、他の回路、例えば本発明の一態様が有するデコーダ１６０、セルバランス回路、過充電検出回路、トランジスタ１４０、トランジスタ１５０、トランジスタ１４０およびトランジスタ１５０を制御する回路、等に与える。
トランジスタ１４０およびトランジスタ１５０は、組電池１２０への充電または放電を制御する機能を有する。一例としては、トランジスタ１４０は、論理回路１８２が与える制御信号Ｔ１によって導通状態または非導通状態が制御され、組電池１２０を充電させるか否かが制御される。またトランジスタ１５０は、論理回路１８２が与える制御信号Ｔ２によって導通状態または非導通状態が制御され、組電池１２０を放電するか否かが制御される。また図１に示す例において、トランジスタ１４０のソースおよびドレインの一方は、端子ＶＳＳＳに電気的に接続される。トランジスタ１４０のソースおよびドレインの他方は、トランジスタ１５０のソースおよびドレインの一方に電気的に接続される。トランジスタ１５０のソースおよびドレインの他方は、端子ＶＭに電気的に接続される。端子ＶＭは例えば、充電器のマイナス極に電気的に接続される。また、端子ＶＭは例えば、放電の際の負荷に電気的に接続される。
電池制御回路１０１は、組電池１２０が有する電池セル１２１の各端子の電圧値（モニタ電圧）、および組電池に流れる電流値（モニタ電流）を観測する機能を有してもよい。例えばトランジスタ１４０またはトランジスタ１５０のオン電流をモニタ電流として観測する構成としてもよい。あるいは、トランジスタ１４０等に直列に抵抗素子を設け、該抵抗素子の電流値を観測してもよい。
また、電池制御回路１０１は、電池セル１２１の温度を測定し、測定された温度に基づき電池セルの充電および放電を制御する機能を有してもよい。例えば低い温度においては二次電池の抵抗が増加する場合があるため、充電電流密度および放電電流密度を小さくする場合がある。また高い温度においては二次電池の抵抗が減少する場合があるため、放電電流密度を高くする場合がある。また、高い温度において充電電流を高くすることにより、二次電池特性の劣化が懸念される場合には例えば、劣化が抑制される充電電流に制御すればよい。充電条件、放電条件等のデータは、本発明の一態様の電池制御回路１０１が有する記憶回路等に格納されることが好ましい。また、充電により電池制御回路１０１、あるいは組電池１２０の温度が上昇する場合がある。このような場合には、測定される温度に合わせて、充電の制御を行うことが好ましい。例えば温度の上昇に伴い、充電電流を抑制すればよい。
本発明の一態様のセルバランス回路１３０および検出回路１８５は、組電池１２０が有する複数の電池セル１２１のそれぞれに対して一ずつ設けられることが好ましい。
図３Ａを用いてセルバランス回路１３０および検出回路１８５の構成要素を説明する。図３Ａには簡略化のため、一の電池セル１２１に対応するセルバランス回路１３０および検出回路１８５を示す。
図３Ａには、一の電池セル１２１にセルバランス回路１３０および検出回路１８５が接続される例を示す。検出回路１８５は回路１８５ｃと回路１８５ｄを有する。検出回路１８５は過充電を検出する機能を有し、検出回路１８６は過放電を検出する機能を有する。
図３Ａにおいて、トランジスタ１３２および抵抗素子１３１が直列に接続され、トランジスタ１３２のソースおよびドレインの一方は電池セル１２１の負極に、他方は抵抗素子の一方の電極にそれぞれ電気的に接続される。抵抗素子の他方の電極は、二次電池の正極に電気的に接続される。
ここで、トランジスタ１３２のソースおよびドレインの一方が電池セル１２１の正極に、他方が抵抗素子１３１の一方の電極に、抵抗素子１３１の他方の電極が電池セル１２１の負極に、それぞれ電気的に接続されてもよい。
図３Ａにおいて、セルバランス回路１３０および検出回路１８５はそれぞれ、スイッチＳＷを有する。それぞれのスイッチＳＷは、端子ＶＣ２と、接地電位が与えられる端子と、に電気的に接続され、いずれかの端子の電位を容量素子１６１の一方の電極に与える機能を有する。
図３Ｂに示すように、セルバランス回路１３０および検出回路１８５が共通のスイッチＳＷを有してもよい。
また図３Ａにおいて、セルバランス回路１３０、回路１８５ｃおよび回路１８５ｄはそれぞれ、コンパレータ１１３および記憶素子１１４を有する。記憶素子１１４は、容量素子１６１およびトランジスタ１６２を有する。セルバランス回路１３０、回路１８５ｃおよび回路１８５ｄが有するそれぞれのトランジスタ１６２のソースおよびドレインの一方には、共通の端子、ここでは端子ＶＴが電気的に接続される。それぞれのトランジスタ１６２のソースおよびドレインの他方には、それぞれの回路が有する容量素子１６１の他方の電極と、コンパレータ１１３の非反転入力端子または反転入力端子のいずれかと、がそれぞれ電気的に接続される。
図３Ａにおいて、セルバランス回路１３０は電池セル１２１の正極および負極に電気的に接続される。電池セル１２１の正極は端子ＶＣ１に電気的に接続され、負極は端子ＶＣ２に電気的に接続される。セルバランス回路１３０において、トランジスタ１６２のソースおよびドレインの他方にはコンパレータ１１３の反転入力端子が電気的に接続され、トランジスタ１６２のゲートには端子ＳＨ６が電気的に接続される。セルバランス回路１３０において、コンパレータ１１３の非反転入力端子は端子ＶＣ１に電気的に接続されることが好ましい。あるいは図３Ａに示すように、コンパレータ１１３の非反転入力端子には端子ＶＣ１と端子ＶＣ２の間が抵抗分割された電圧が与えられてもよい。セルバランス回路１３０において、トランジスタ１６２のソースおよびドレインの他方に接続されるノードをノードＮ６とする。
図３Ａにおいて、検出回路１８５は電池セル１２１の正極および負極に電気的に接続される。回路１８５ｃにおいて、トランジスタ１６２のソースおよびドレインの他方にはコンパレータの反転入力端子が電気的に接続され、トランジスタ１６２のゲートには端子ＳＨ１が電気的に接続される。回路１８５ｃにおいて、コンパレータ１１３の非反転入力端子は端子ＶＣ１に電気的に接続されることが好ましい。あるいは図３Ａに示すように、コンパレータ１１３の非反転入力端子には端子ＶＣ１と端子ＶＣ２の間が抵抗分割された電圧が与えられてもよい。回路１８５ｃにおいて、トランジスタ１６２のソースおよびドレインの他方に接続されるノードをノードＮ１とする。
回路１８５ｄにおいて、トランジスタ１６２のソースおよびドレインの他方にはコンパレータの非反転入力端子が電気的に接続され、トランジスタ１６２のゲートには端子ＳＨ２が電気的に接続される。回路１８５ｄにおいて、コンパレータ１１３の反転入力端子は端子ＶＣ１に電気的に接続されることが好ましい。あるいは図３に示すように、コンパレータ１１３の反転入力端子には端子ＶＣ１と端子ＶＣ２の間が抵抗分割された電圧が与えられてもよい。回路１８５ｄにおいて、トランジスタ１６２のソースおよびドレインの他方に接続されるノードをノードＮ２とする。
セルバランス回路１３０および検出回路１８５において、それぞれの回路が有する容量素子１６１の他方の電極が接続されるノード（ここではノードＮ６、ノードＮ１およびノードＮ２）にはトランジスタ１６２をオフ状態にすることにより電位が保持される。
端子ＶＴはセルバランス回路１３０、回路１８５ｃおよび回路１８５ｄに順次、アナログ信号を与える。ノードＮ６、ノードＮ１およびノードＮ２に順次、アナログ信号が与えられ、保持される。第１のノードにアナログ信号を与えた後、ノードに接続されるトランジスタ１６２をオフ状態とすることにより、第１のノードの電位が保持される。その後、第２のノードに電位を与えて保持し、その後、第３のノードの電位を与えて保持する。トランジスタ１６２のオンとオフの制御は、デコーダ１６０から出力される信号（ここでは端子ＳＨ１、端子ＳＨ２および端子ＳＨ６に与えられる信号）により制御される。
次に、ノードに電位が保持された状態で、スイッチＳＷの切り替えにより容量素子１６１の一方の電極に与える電位を接地電位から端子ＶＣ２の電位に変動させ、容量結合により、ノードＮ６、ノードＮ１およびノードＮ２に保持されたそれぞれの電位を端子ＶＣ２と接地電位との差分だけ変動させることができる。
このように、セルバランス回路１３０および検出回路１８５は、ノードＮ６、ノードＮ１およびノードＮ２に、端子ＶＴから与えられた電位と端子ＶＣ２の電位の和を保持することができる。ここで端子ＶＣ２は電池セル１２１の負極電位であることから、ノードＮ６、ノードＮ１およびノードＮ２には、端子ＶＴから与えられた電位と、電池セル１２１の負極の電位との和を保持することができる。
図４は、図３Ａに示すセルバランス回路１３０および検出回路１８５を、組電池１２０が有する電池セル１２１の一に対してそれぞれ、設ける例を示す。組電池１２０は電池セル１２１をＮ個有する。第ｋの電池セル１２１（ｋは１以上Ｎ以下の整数）を電池セル１２１（ｋ）と表す。電池セル１２１（ｋ）に接続されるセルバランス回路１３０をセルバランス回路１３０（ｋ）、電池セル１２１（ｋ）に接続される検出回路１８５を検出回路１８５（ｋ）とそれぞれ表す。以下、セルバランス回路１３０（１）乃至セルバランス回路１３０（Ｎ）をセルバランス回路１３０と表す。また、検出回路１８５（１）乃至検出回路１８５（Ｎ）を検出回路１８５と表す。
セルバランス回路１３０および検出回路１８５は、接続される複数の電池セル１２１のそれぞれにおいて、個別に、その両端の電圧差（正極と負極との電圧の差）を制御する機能を有する。
セルバランス回路１３０は、電池セル１２１毎に、正極の第１の上限電圧として好ましい値を、記憶素子１１４に保持させることができる。
セルバランス回路１３０（ｋ）が有するノードＮ６をノードＮ６（ｋ）とする。セルバランス回路１３０（ｋ）が有するスイッチＳＷには、電池セル（ｋ）の負極の電位が電気的に接続される。すなわち、それぞれのセルバランス回路１３０が有するスイッチＳＷには、それぞれの電池セルの負極に対応する電位が与えられる。ノードＮ６（ｋ）には、端子ＶＴから与えられた電位と、電池セル１２１（ｋ）の負極の電位の和を保持することができる。
このように、それぞれのセルバランス回路に、それぞれの電池セルの負極を基準とし、端子ＶＴから与えられる共通の電位を用いた電位を与えることができるため、Ｎ個の電池セルに対して端子を共通とすることができる。よって、端子数の削減が可能となる。
セルバランス回路１３０は、電池セル１２１の正極の電圧と、コンパレータ１１３の非反転入力端子の電圧と、の関係に応じて、トランジスタ１３２をオン状態にするか、あるいはオフ状態にするか、の制御を行う。トランジスタ１３２の制御を行うことにより、抵抗素子１３１に流れる電流量と、電池セル１２１に流れる電流量と、の比を調整することができる。例えば、電池セル１２１の充電を停止する場合には、抵抗素子１３１に電流を流し、電池セル１２１に流れる電流を制限する。
図１において、複数の電池セル１２１が端子ＶＤＤＤと端子ＶＳＳＳとの間に直列に電気的に接続されている。端子ＶＤＤＤと端子ＶＳＳＳとの間に電流を流すことにより、複数の電池セル１２１の充電を行う。
複数の電池セル１２１のうち一の電池セル１２１において、正極が所定の電圧に達し、電流が制限される場合を考える。このような場合には、該電池セルに並列に接続されるトランジスタ１３２および抵抗素子１３１に電流を流すことにより、端子ＶＤＤＤと端子ＶＳＳＳとの間の電流の経路が遮断されることなく、正極が所定の電圧に達していないその他の電池セル１２１の充電を継続することができる。すなわち、充電が完了した電池セル１２１においては、トランジスタ１３２をオン状態とすることにより充電を停止し、充電が完了していない電池セル１２１においては、トランジスタ１３２をオフ状態として充電を継続する。
電池セル１２１毎に例えば抵抗のばらつきがある場合、抵抗の低いある電池セル１２１の充電が先に完了し、ある電池セル１２１と比べて抵抗の高い電池セル１２１の充電が不充分となる場合がある。ここで、充電が不充分とは例えば、正極と負極の電圧差が所望の電圧より低いことを指す。セルバランス回路１３０を用いることにより、充電における電池セル１２１の正極の電圧を、それぞれの電池セルの負極の電圧を基準として制御することができる。
本発明の一態様のセルバランス回路において、電池制御回路１０１の外部に設けられる回路、例えばＭＰＵあるいはＭＣＵ等の演算回路を用いることなく、一の電池セル、あるいは複数の電池セルの充電電圧、あるいは充電容量、等を制御することができる。
すなわち、Ｎ個のセルバランス回路１３０を用いることにより、複数の電池セル１２１の充電後の状態、例えば満充電時のばらつきを小さくすることができる。よって、組電池１２０全体としての容量が高まる場合がある。また、容量を高めることにより、電池セル１２１の充放電サイクルの回数を減少させることができる場合があるため、組電池１２０の耐久性が高まる場合がある。
回路１８５ｃは、電池セル１２１毎に、電池セル１２１の充電における正極の第２の上限電圧を記憶素子１１４に保持させることができる。該第２の上限電圧は、過充電電圧と呼ばれる場合がある。回路１８５ｄは、放電における正極の下限電圧を記憶素子１１４に保持させることができる。該下限電圧は、過放電電圧と呼ばれる場合がある。
なお、検出回路１８５を構成するコンパレータは、出力がＬレベルからＨレベルに変化する場合と、ＨレベルからＬレベルに変化する場合とで閾値が異なる、すなわちヒステリシスコンパレータとしてもよい。ヒステリシスコンパレータの参照電位の入力部に接続される記憶素子は２つの閾値を保持する機能を有することが好ましい。
検出回路１８５（ｋ）が有するノードＮ１およびノードＮ２をそれぞれ、ノードＮ１（ｋ）およびノードＮ２（ｋ）とする。検出回路１８５（ｋ）が有するスイッチＳＷには、電池セル（ｋ）の負極の電位が電気的に接続される。すなわち、それぞれの検出回路１８５が有するスイッチＳＷには、それぞれの電池セルの負極に対応する電位が与えられる。ノードＮ１（ｋ）には、端子ＶＴから与えられた電位と、電池セル１２１（ｋ）の負極の電位の和を保持することができる。ノードＮ２（ｋ）には、端子ＶＴから与えられた電位と、電池セル１２１（ｋ）の負極の電位の和を保持することができる。
このように、それぞれの検出回路に、それぞれの電池セルの負極を基準とし、端子ＶＴから与えられる共通の電位を用いた電位を与えることができるため、Ｎ個の電池セルに対して端子を共通とすることができる。よって、端子数の削減が可能となる。
検出回路１８５において、電池制御回路１０１の外部に設けられる回路、例えばＭＰＵあるいはＭＣＵ等の演算回路を用いることなく、一の電池セル、あるいは複数の電池セルの過充電および過放電を検知し、電池セルの保護を行うことができる。過放電による電圧の低下が検知されると、本発明の一態様の制御回路は放電電流を遮断し、電圧の低下を防止する。放電電流の遮断が不充分な場合、リーク電流が生じ、電圧の低下が生じてしまう場合がある。パワーゲーティングを用いた回路構成により、リーク電流が抑制される場合がある。また、ＯＳトランジスタを用いた回路構成により、リーク電流が抑制される場合がある。
電池セルは、該電池セルに接続されるセルバランス回路と、過充電を検出する回路と、においてそれぞれ、上限の電圧が制御される。セルバランス回路が検出する上限電圧は例えば、過充電を検出する回路が検出する上限電圧よりも低い。よって、充電を行う過程で、第１のステップによりセルバランス回路が電池セルの上限電圧への到達を検知し、充電条件を変更する。ここでは例えば、充電の電流密度を低くする。あるいは、放電を開始してもよい。その後、電池セルの充電電圧の上昇に伴い、過充電を検出する回路が検出する上限電圧への到達が検知される場合には、第２のステップにより電池セルの充電条件を変更する。ここでは例えば、充電を停止し、放電を開始する。
＜蓄電装置の動作例＞
図２６に示すタイミングチャートには、本発明の一態様の蓄電装置の動作例を示す。図２６に示す例において、セルバランス回路１３０は、電池セル１２１（１）、電池セル１２１（２）および電池セル１２１（ｎ）のそれぞれの正極と負極の電位差である電圧ＶＣ１－ＶＣ２、電圧ＶＣ２－ＶＣ３および電圧ＶＣＮ－ＶＳＳＳが電圧ｖ１を超える場合に、それぞれの電池セルに対応するコンパレータの出力端子である端子ＣＢ１、端子ＣＢ２および端子ＣＢＮから高電位信号が出力される。
図２６に示すタイミングチャートでは、まず時刻ｔ０乃至時刻ｔ１の期間において組電池１２０の充電が行われる。
次に、時刻ｔ１に電圧ＶＣＮ－ＶＳＳＳが電圧ｖ１を超えて端子ＣＢＮから高電位信号が出力され、電池セル１２１（ｎ）に並列に接続されるトランジスタ１３２のゲートに高電位信号が与えられ、トランジスタ１３２に電流が流れ、電池セル１２１（ｎ）に流れる電流は小さくなる、あるいはほとんど流れなくなる。
次に、時刻ｔ２において、電圧（ＶＣ２－ＶＣ３）が電圧ｖ１を超えて端子ＣＢ２から高電位信号が出力され、電池セル１２１（２）に流れる電流は小さくなる、あるいはほとんど流れなくなる。
次に、時刻ｔ３において、電圧（ＶＣ１－ＶＣ２）が電圧ｖ１を超えて端子ＣＢ１から高電位信号が出力され、電池セル１２１（１）に流れる電流は小さくなる、あるいはほとんど流れなくなる。
時刻ｔ４には、組電池１２０の放電が開始され、電圧（ＶＣ１－ＶＣ２）、電圧（ＶＣ２－ＶＣ３）および電圧（ＶＣＮ－ＶＳＳＳ）の電圧が低下する。電圧（ＶＣ１－ＶＣ２）、電圧（ＶＣ２－ＶＣ３）および電圧（ＶＣＮ－ＶＳＳＳ）が電圧ｖ１より小さくなるのに伴い端子ＣＢ１、ＣＢ２およびＣＢＮから低電位信号が出力される。
ここで、時刻ｔ１から時刻ｔ４の期間において、電圧（ＶＣ１－ＶＣ２）、電圧（ＶＣ２－ＶＣ３）および電圧（ＶＣＮ－ＶＳＳＳ）のいずれかの電圧が電圧ｖ２を超える場合には、回路１８５ｃが過充電を検出し、例えばトランジスタ１４０のゲートに高電位信号が与えられ、充電が停止される。
ここで、コンパレータ１１３に入力される値は電池セルの正極と負極の差の電圧を抵抗分割により分配した値としてもよい。この場合にはセルバランス回路の上限電圧および過充電検出回路の上限電圧についても、電圧ｖ１および電圧ｖ２を抵抗分割により分配した値を用いればよい。
＜コンパレータの動作結果＞
ＯＳトランジスタを用いた記憶素子１１４が反転入力端子に接続されたコンパレータ１１３を準備し、その動作を確認した。
３通りの条件の電圧をコンパレータ１１３の非反転入力端子および反転入力端子に順次与え、動作確認を行った。第１の条件において、非反転入力端子の電圧を電圧Ｖａとし、出力端子において得られる電圧をＶｏａとする。第２の条件において、非反転入力端子の電圧を電圧Ｖｂとし、出力端子において得られる電圧をＶｏｂとする。第３の条件において、非反転入力端子の電圧を電圧Ｖｃとし、出力端子において得られる電圧をＶｏｃとする。
電圧Ｖａとして電圧（ＶＣ１－ＶＣ２）を抵抗分割により１／４にした値、電圧Ｖｂとして（電圧ＶＣ１－ＶＣ２）を抵抗分割により１／４にした値、電圧Ｖｃとして（電圧ＶＣＮ－ＶＳＳＳ）を抵抗分割により１／４にした値をそれぞれ想定し、入力した。
また反転入力端子には、第１の条件、第２の条件および第３の条件においてそれぞれ４．２Ｖを１／４にした電圧を与え、記憶素子１１４によりその値を保持した。４．２Ｖとはここでは例えば、負極の電位２Ｖに対して、セルバランス回路が検出する所定の電位差として２．２Ｖを加えた値を想定している。すなわち図２６において示した電圧ｖ１を４．２Ｖと想定した。
なお、本検証では、それぞれのコンパレータが高電位信号を与えた後のトランジスタ１３２を用いた制御については検証を行わなかった。
図２７Ａには第１の条件をコンパレータに与えた場合の結果として、入力した電圧Ｖａと出力された電圧Ｖｏａを、図２７Ｂには第２の条件をコンパレータに与えた場合の結果として、入力した電圧Ｖｂと出力された電圧Ｖｏｂを、図２７Ｃには第３の条件をコンパレータに与えた場合の結果として、入力した電圧Ｖｃと出力された電圧Ｖｏｃを、それぞれ示す。入力電圧が反転入力端子に記憶された値を超えると、それぞれのコンパレータから高電位信号を出力されることが確認された。
＜蓄電装置のさらなる構成要素＞
以下に、本発明の一態様の蓄電装置が有するさらなる構成要素の一例を説明する。
図５Ａには端子ＡＡからデコーダ１６０へ、６ビットの信号が与えられる例を示す。図５Ａは一例を示すのに過ぎず、端子ＡＡからデコーダ１６０へ与えられる信号のビット数は制限されない。図５ＢにはＮＡＮＤ回路９０の回路記号を示す。図５Ｃに示すように、デコーダ１６０は複数のＮＡＮＤ回路９０を用いて構成することができる。図５ＤにはＮＡＮＤ回路９０の具体例を示す。ここで配線ＶＤＤには例えば、高電位電源電位が与えられる。
図６には、論理回路１８２の一例を示す。図６に示す論理回路１８２は、インターフェース回路ＩＦ、カウンタ回路ＣＮＤ、ラッチ回路ＬＴＣおよびトランジスタ１７２を有する。トランジスタ１７２としてＯＳトランジスタを用いることが好ましい。
インターフェース回路ＩＦには、検出回路１８５の出力端子ＯＵＴ１１および出力端子ＯＵＴ１２からの信号、検出回路１８６の出力端子ＯＵＴ３１および出力端子ＯＵＴ３２からの信号、および検出回路ＳＤの出力端子ＯＵＴ４１からの信号が与えられる。出力端子ＯＵＴ１１は例えば、過充電に対応する信号を与える。出力端子ＯＵＴ１２は例えば、過放電に対応する信号を与える。出力端子ＯＵＴ３１は例えば、充電時の過電流に対応する信号を与える。出力端子ＯＵＴ３２は例えば、放電時の過電流に対応する信号を与える。
インターフェース回路ＩＦは、異常を検知する信号、例えば過充電、過放電および過電流の少なくともいずれかに対応する信号の検知する場合に、信号ＰＧをトランジスタ１７２のゲートに与える。
トランジスタ１７２はカウンタ回路に接続される。
カウンタ回路は、信号ＰＧがトランジスタ１７２をオン状態とする信号、より具体的には例えば高電位信号を出力する場合には、カウンタと、遅延回路と、を動作させる。一方、信号ＰＧがトランジスタ１７２をオフ状態とする信号、より具体的には例えば低電位信号を出力する場合には、カウンタ回路ＣＮＤの動作を停止、あるいはカウンタ回路ＣＮＤを待機状態とすることができる。インターフェース回路ＩＦからカウンタ回路ＣＮＤおよびラッチ回路ＬＴＣに信号ｒｅｓが与えられる。信号ｒｅｓはリセット信号である。カウンタ回路ＣＮＤに信号ｒｅｓが与えられ、カウントを開始する。信号ｅｎはイネーブル信号である。カウンタ回路ＣＮＤは信号ｅｎにより動作を開始、あるいは動作を停止する。
インターフェース回路ＩＦに異常を検知する信号が与えられる場合には、カウンタ回路ＣＮＤで一定期間、カウントを行った後、検知した異常に対応する信号が、カウンタ回路ＣＮＤを介してラッチ回路ＬＴＣに与えられる。
ラッチ回路ＬＴＣは検知した異常に応じてトランジスタ１４０またはトランジスタ１５０のゲートに、トランジスタをオフ状態とする信号を与える。
図７Ａには検出回路１８６の回路図の一例を示す。検出回路１８６は２つのコンパレータ１１３を有する。
一方のコンパレータ１１３の非反転入力端子には放電過電流検出に対応する電圧が保持される記憶素子１１４が電気的に接続される。記憶素子１１４が有するトランジスタのゲートには端子ＳＨ３が電気的に接続される。また、反転入力端子には端子ＳＥＮＳが電気的に接続される。反転入力端子に与えられる電圧により過電流を検出すると、出力端子ＯＵＴ３２からの出力が反転する。
他方のコンパレータ１１３の非反転入力端子には端子ＳＥＮＳが電気的に接続される。また、反転入力端子には充電過電流検出に対応する記憶素子１１４が電気的に接続される。記憶素子１１４が有するトランジスタのゲートには端子ＳＨ４が電気的に接続される。非反転入力端子に与えられる電圧により過電流を検出すると、出力端子ＯＵＴ３１からの出力が反転する。
温度センサＴＳは、組電池１２０、あるいは組電池１２０を含む蓄電装置１００の温度を測定する機能を有する。図７Ｂは温度センサＴＳの一例を示す回路図である。なお、図７Ｂに示す回路図は、温度センサＴＳの一部の回路を表す場合がある。
図７Ｂにおいて、温度センサＴＳはコンパレータ１１３を３つ有し、それぞれのコンパレータの反転入力端子には異なる温度に対応する電圧ＶＴ（ＶＴ＝Ｔｍ１、Ｔｍ２、Ｔｍ３）がそれぞれ与えられる。与えられたそれぞれの電圧ＶＴは、反転入力端子に電気的に接続された記憶素子１１４により保持される。電圧Ｔｍ１、Ｔｍ２、Ｔｍ３は例えば電圧生成回路１１９から与えられてもよい。
入力端子Ｖｔには測定された温度に対応する電圧が与えられる。入力端子Ｖｔは３つのコンパレータ１１３のそれぞれの非反転入力端子に与えられる。
入力端子Ｖｔに与えられた電圧とそれぞれのコンパレータ１１３の反転入力端子の電圧との比較結果に対応し、それぞれのコンパレータの出力端子（出力端子ＯＵＴ５１、出力端子ＯＵＴ５２、出力端子ＯＵＴ５３）から信号が出力され、温度を判定することができる。
ＯＳトランジスタは温度が上昇すると抵抗値が小さくなる性質を有する。この性質を利用して、環境温度を電圧に変換することができる。この電圧を例えば、入力端子Ｖｔに与えればよい。
論理回路１８２は、温度センサＴＳの出力を検知し、組電池１２０の動作可能な温度範囲を超えた場合、トランジスタ１４０および（または）トランジスタ１５０を非導通とし、充電および（または）放電を停止する構成としてもよい。
＜電池セル＞
電池セル１２１としてリチウムイオン二次電池セルを用いることができる。また、電池セル１２１は、リチウムイオン二次電池セルに限定されず、二次電池の正極材料として例えば、元素Ａ、元素Ｘ、及び酸素を有する材料を用いることができる。元素Ａは第１族の元素および第２族の元素から選ばれる一以上である。第１族の元素として例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属を用いることができる。また、第２族の元素として例えば、カルシウム、ベリリウム、マグネシウム等を用いることができる。元素Ｘとして例えば金属元素、シリコン及びリンから選ばれる一以上を用いることができる。また、元素Ｘはコバルト、ニッケル、マンガン、鉄、及びバナジウムから選ばれる一以上である。代表的には、リチウムコバルト複合酸化物ＬｉＣｏＯ２や、リン酸鉄リチウムＬｉＦｅＰＯ４が挙げられる。
＜トランジスタ＞
本発明の一態様の構成では、ＯＳトランジスタを有する記憶素子を用いる構成とすることで、オフ時にソースとドレイン間を流れるリーク電流（以下、オフ電流）が極めて低いことを利用して、参照電圧を記憶素子に保持させることができる。このとき、記憶素子の電源をオフ状態にすることができるため、ＯＳトランジスタを有する記憶素子を用いることにより、極めて低い消費電力で、参照電圧を保持させることができる。
また、ＯＳトランジスタを有する記憶素子は、アナログ電位を保持することができる。例えば、二次電池の電圧を、アナログ－デジタル変換回路を用いてデジタル値に変換することなく、記憶素子に保持することができる。変換回路が不要となり、回路面積を縮小することができる。
加えてＯＳトランジスタを用いた記憶素子では、電荷を充電又は放電することによって参照電圧の書き換えおよび読み出しが可能となるため、実質的に無制限回のモニタ電圧の取得および読み出しが可能である。ＯＳトランジスタを用いた記憶素子は、磁気メモリあるいは抵抗変化型メモリなどのように原子レベルでの構造変化を伴わないため、書き換え耐性に優れている。またＯＳトランジスタを用いた記憶素子は、フラッシュメモリのように繰り返し書き換え動作でも電子捕獲中心の増加による不安定性が認められない。
またＯＳトランジスタは、オフ電流が極めて低く、高温環境下においてもスイッチング特性が良好といった特性を有する。そのため、高温環境下においても、組電池１２０への充電または放電の制御を誤動作なく行うことができる。
またＯＳトランジスタを用いた記憶素子は、Ｓｉトランジスタを用いた回路上などに積層することで自由に配置可能であるため、集積化を容易に行うことができる。またＯＳトランジスタは、Ｓｉトランジスタと同様の製造装置を用いて作製することが可能であるため、低コストで作製可能である。
またＯＳトランジスタは、ゲート電極、ソース電極およびドレイン電極に加えて、バックゲート電極を含む、４端子の半導体素子とすることができる。ゲート電極またはバックゲート電極に与える電圧に応じて、ソースとドレインとの間を流れる信号の入出力が独立制御可能な電気回路網で構成することができる。そのため、ＬＳＩと同一思考で回路設計を行うことができる。加えてＯＳトランジスタは、高温環境下において、Ｓｉトランジスタよりも優れた電気特性を有する。具体的には、１００℃以上２００℃以下、好ましくは１２５℃以上１５０℃以下といった高温下においてもオン電流とオフ電流の比が大きいため、良好なスイッチング動作を行うことができる。
トランジスタ１６２としてＯＳトランジスタを用いることが好ましい。また、トランジスタ１３２としてＯＳトランジスタを用いてもよい。また、トランジスタ１４０およびトランジスタ１５０としてＯＳトランジスタを用いてもよい。
また、コンパレータをＯＳトランジスタを用いて構成してもよい。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
（実施の形態２）
本実施の形態では、本発明の一形態に係わる半導体装置の構成例について説明する。本発明の一形態に係わる半導体装置は、充放電中の二次電池において、二次電池の正極負極間電位を所定の時間ごとにサンプリングし（取得し）、サンプリングした電位と、サンプリング後の正極負極間電位とを比較することで、マイクロショートによる瞬間的な電位変動（ここでは、電位が下がる）を検知する機能を有する。所定時間ごとのサンプリングを繰り返すことで、充放電中における二次電池の電位変動に対応し、また、当該半導体装置は、二次電池の正極負極間電位を用いて動作させることができる。
なお、本実施の形態では、充電中の二次電池において、二次電池および半導体装置の電位変動を、タイミングチャート等を用いて説明する。放電中の電位変動については、当業者であれば容易に理解できるため、その説明は省略する。
＜検出回路の一例＞
図８Ａは、検出回路ＭＳＤの構成例を示す回路図である。検出回路ＭＳＤは、トランジスタ１１乃至トランジスタ１５、容量素子Ｃ１１、および、コンパレータ５０を有する。なお、本明細書等で説明する図面においては、主な信号の流れを矢印または線で示しており、電源線等は省略する場合がある。検出回路ＭＳＤが有するコンパレータ５０として、ヒステリシスコンパレータを用いてもよい。なお、検出回路ＭＳＤは複数の直列に接続された電池セルにおいて検出を行ってもよいし、電池セルの一毎に検出をおこなってもよい。図７においては、図４に示す複数の直列に接続された電池セルの検出を行う場合について、端子ＶＣ１と端子ＶＳＳＳに検出回路ＭＳＤが接続される例を示すが、端子ＶＣ１への接続および端子ＶＳＳＳへの接続をそれぞれ、一の電池セルの正極および負極に替えればよい。
また、図８Ａに示す検出回路ＭＳＤは、端子ＶＣ１、所定の電位ＶＢ１が供給される配線ＶＢ１＿ＩＮ、所定の電位ＶＢ２が供給される配線ＶＢ２＿ＩＮ、サンプリング信号が供給される配線ＳＨ＿ＩＮ、および、出力端子Ｓ＿ＯＵＴを有する。
ここで、所定の電位ＶＢ１は、所定の電位ＶＢ２より高い電位であり、所定の電位ＶＢ２は、端子ＶＳＳＳの電位より高い電位である。
図８Ｂは検出回路ＭＳＤが有するトランジスタ１１乃至トランジスタ１５が第２のゲートを有する点が図８Ａと異なる。
図８Ｃは端子ＶＳＳＳを有する点、配線ＶＢ１＿ＩＮに接続される記憶素子１１４を有する点と、配線ＶＢ２＿ＩＮに接続される記憶素子１１４を有する点と、が図８Ｂと異なる。また図８Ｃにおいて、トランジスタ１１のソースおよびドレインの一方と、トランジスタ１３のソースおよびドレインの一方と、容量素子Ｃ１１の一方の電極と、は端子ＶＳＳＳに電気的に接続される。電位ＶＢ１および電位ＶＢ２が記憶素子１１４を介してそれぞれ配線ＶＢ１＿ＩＮおよび配線ＶＢ２＿ＩＮに与えられるため、記憶素子１１４により与えた電位を保持することができる。よって、電位ＶＢ１および電位ＶＢ２を供給する電圧生成回路、より具体的には例えば電圧生成回路１１９の電源をオフとする、あるいは待機状態とすることができる。
トランジスタ１１乃至トランジスタ１５は、ｎチャネル型のトランジスタである。本明細書等では、検出回路ＭＳＤを、ｎチャネル型のトランジスタを用いて構成した例を示すが、ｐチャネル型のトランジスタであってもよい。ｎチャネル型のトランジスタを用いて構成した回路図から、トランジスタをｐチャネル型に変更することは、当業者であれば容易に理解できるため、その説明は省略する。
検出回路ＭＳＤにおいて、トランジスタ１１のソースまたはドレインの一方は、端子ＶＳＳＳと電気的に接続され、トランジスタ１１のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ１２のソースまたはドレインの一方、および、トランジスタ１５のソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、トランジスタ１１のゲートは、配線ＶＢ１＿ＩＮと電気的に接続され、トランジスタ１２のソースまたはドレインの他方、および、トランジスタ１２のゲートは、端子ＶＣ１と電気的に接続される。
トランジスタ１３のソースまたはドレインの一方は、端子ＶＳＳＳと電気的に接続され、トランジスタ１３のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ１４のソースまたはドレインの一方、および、コンパレータ５０の反転入力端子（図８Ａでは、“－”と表記）と電気的に接続され、トランジスタ１３のゲートは、配線ＶＢ２＿ＩＮと電気的に接続され、トランジスタ１４のソースまたはドレインの他方、および、トランジスタ１４のゲートは、端子ＶＣ１と電気的に接続される。
また、トランジスタ１５のソースまたはドレインの他方は、容量素子Ｃ１１の他方の端子、および、コンパレータ５０の非反転入力端子（図８Ａでは、“＋”と表記）と電気的に接続され、トランジスタ１５のゲートは、配線ＳＨ＿ＩＮと電気的に接続され、容量素子Ｃ１１の一方の端子は、端子ＶＳＳＳと電気的に接続され、コンパレータ５０の出力端子は、出力端子Ｓ＿ＯＵＴと電気的に接続される。なお、容量素子Ｃ１１の一方の端子は、所定の電位が供給される配線であれば、端子ＶＳＳＳ以外の配線と電気的に接続されてもよい。
ここで、トランジスタ１１のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ１２のソースまたはドレインの一方、および、トランジスタ１５のソースまたはドレインの一方が、電気的に接続された接続部をノードＮ１１と呼称し、トランジスタ１３のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ１４のソースまたはドレインの一方、および、コンパレータ５０の反転入力端子が、電気的に接続された接続部をノードＮ１２と呼称し、トランジスタ１５のソースまたはドレインの他方と、容量素子Ｃ１１の他方の端子、および、コンパレータ５０の非反転入力端子が、電気的に接続された接続部をノードＮ１３と呼称する。
また、トランジスタ１１およびトランジスタ１２は、第１ソースフォロワを構成し、トランジスタ１３およびトランジスタ１４は、第２ソースフォロワを構成する。すなわち、トランジスタ１１のゲートは、第１ソースフォロワの入力に相当し、第１ソースフォロワはノードＮ１１に信号を出力する。トランジスタ１３のゲートは、第２ソースフォロワの入力に相当し、第２ソースフォロワはノードＮ１２に信号を出力する。
検出回路ＭＳＤの動作の一例を図８Ｃに示す回路を用いて説明する。
組電池において充電が開始されると、配線ＳＨ＿ＩＮへ与えられるサンプリング信号は所定の時間ごとにハイレベルとなる。電位ＶＢ１として電位ＶＢ２より高い電位を与える。充電に伴い、ノードＮ１１の電位およびノードＮ１２の電位が上昇する。
マイクロショートの発生により正極電位が瞬間的に低下すると、ノードＮ１１およびノードＮ１２の電位は瞬間的に低下する。一方、配線ＳＨ＿ＩＮへ与えられるサンプリング信号がローレベルの場合、ノードＮ１３の電位はノードＮ１１の電位に影響されず、ノードＮ１２の電位がノードＮ１３の電位より低くなる。すると、コンパレータ５０の出力が反転し、マイクロショートが検出される。
また、マイクロショートの検出精度を高めるため、二次電池の電圧をアナログデジタル変換回路によりデジタルデータに変換し、プロセッサユニット等を用いて該デジタルデータを基に演算を行い、充電の波形または放電の波形を解析し、マイクロショートの検出、またはマイクロショートの予測を行ってもよい。例えば、充電の波形または放電の波形において、各時間ステップの電圧誤差の変位を用いてマイクロショートの検出、あるいは予測を行う。電圧誤差の変位とは、電圧誤差を算出し、前のステップとの差を算出することにより求められる。
マイクロショートの検出精度を高めるため、ニューラルネットワークを用いてもよい。
ニューラルネットワークとは手法であり、ニューラルネットワーク部（例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｕｎｉｔ）、ＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＡＰＵ（Ａｃｃｅｌｅｒａｔｅｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、メモリなどを含む）で行うニューラルネットワーク処理である。なお、ＡＰＵは、ＣＰＵとＧＰＵを一つに統合したチップを指している。
デバイスに搭載される二次電池は、放電に関しては使用者の使用方法に依存しやすいためランダムであるが、充電に関しては充電条件がきまっているため、放電に比べれば充電は予想しやすいといえる。ある程度多くの充電カーブを学習用のデータとすることで正確な値をニューラルネットワークを用いて予測することができる。充電カーブを取得すれば、ニューラルネットワークを利用して初期ＳＯＣ（０）、ＦＣＣ、Ｒ０、Ｒｄ、Ｃｄを得ることができる。ニューラルネットワークの演算には例えばマイクロプロセッサ等を用いればよい。
具体的には、得られる様々なデータを機械学習または人工知能を用いて評価、及び学習し、予想される二次電池の劣化度合いを解析し、異常があれば二次電池への充電を停止、または定電流充電の電流密度を調整する。
例えば、電気自動車において、走行中に学習データの取得ができ、二次電池の劣化状態を把握することができる。なお、二次電池の劣化状態の予測にはニューラルネットワークを用いる。ニューラルネットワークは、隠れ層を複数有するニューラルネットワーク、すなわち、ディープニューラルネットワークによって構成することができる。なお、ディープニューラルネットワークにおける学習を、ディープラーニングと呼ぶことがある。
機械学習は、まず、学習データから特徴値を抽出する。時間によって変化する相対的変化量を特徴値として抽出し、抽出された特徴値に基づいてニューラルネットワークを学習させる。学習手段は時間区間ごとに互いに異なる学習パターンに基づいてニューラルネットワークを学習させることができる。学習データに基づいた学習結果に従ってニューラルネットワークに適用された結合重みを更新することができる。
ニューラルネットワークを用いて行う二次電池の充電状態推定方法としては、回帰モデル、例えばカルマンフィルタなどを用いて計算処理して得ることもできる。
カルマンフィルタは、無限インパルス応答フィルタの一種である。また、重回帰分析は多変量解析の一つであり、回帰分析の独立変数を複数にしたものである。重回帰分析としては、最小二乗法などがある。回帰分析では観測値の時系列が多く必要とされる一方、カルマンフィルタは、ある程度のデータの蓄積さえあれば、逐次的に最適な補正係数が得られるメリットを有する。また、カルマンフィルタは、非定常時系列に対しても適用できる。
二次電池の内部抵抗及び充電率（ＳＯＣ）を推定する方法として、非線形カルマンフィルタ（具体的には無香料カルマンフィルタ（ＵＫＦとも呼ぶ））を利用することができる。また、拡張カルマンフィルタ（ＥＫＦともよぶ）を用いることもできる。ＳＯＣとは、充電状態（充電率ともよぶ）を示しており、満充電時を１００％、完全放電時を０％とする指標である。
最適化アルゴリズムにより得られた初期パラメータをｎ（ｎは整数、例えば５０）サイクル毎に集め、それらのデータ群を教師データに用いてニューラルネットワーク処理することで高精度のＳＯＣの推定を行うことができる。
学習システムは、教師データ作成装置及び学習装置を有する。教師データ作成装置は、学習装置が学習する際に利用する教師データを作成する。教師データとは処理対象データと認識対象が同一のデータと、そのデータに対応するラベルの評価とを含む。教師データ作成装置は、入力データ取得部、評価取得部、教師データ作成部とを有する。入力データ取得部は、記憶装置に記憶されたデータから取得してもよいし、インターネットを介して学習の入力データを取得してもよく、入力データとは学習に用いるデータであり、二次電池の電流値や電圧値を含む。また、教師データとしては、実測のデータでなくともよく、初期パラメータを条件振りすることで多様性を持たせ、実測に近いデータを作成し、それらの所定の特性データベースを教師データに用いてニューラルネットワーク処理することで充電率（ＳＯＣ）を推定してもよい。ある一つの電池の充放電特性を基に、実測に近いデータを作成し、それらの所定の特性データベースを教師データに用いてニューラルネットワーク処理することで、同種の電池のＳＯＣ推定を効率よく行うこともできる。
二次電池の劣化が進んだ場合、初期パラメータのＦＣＣが大きく変化するとＳＯＣの誤差が生じる恐れがあるため、ＳＯＣの推定のための演算に用いる初期パラメータを更新してもよい。更新する初期パラメータは、予め実測した充放電特性のデータを用いて最適化アルゴリズムにより算出する。更新された初期パラメータを用いた回帰モデル、例えばカルマンフィルタで計算処理することで、劣化後であっても高精度のＳＯＣの推定を行うことができる。本明細書ではカルマンフィルタを用いて計算処理することをカルマンフィルタ処理するとも表現する。
初期パラメータを更新するタイミングは任意でよいが、高い精度でＳＯＣの推定を行うためには、更新頻度は多い方が好ましく、定期的、連続的に更新するほうが好ましい。なお、二次電池の温度が高い状態において、ＳＯＣが高いと劣化が進みやすい場合がある。このような場合には、二次電池の放電を行い、ＳＯＣを低くすることにより二次電池の劣化を抑制することが好ましい。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
（実施の形態３）
本実施の形態は、コンパレータの構成例を示す。
図９には、先の実施の形態で述べたコンパレータ５０の構成の一例を示す。コンパレータ５０はトランジスタ２１乃至トランジスタ２５を有する。またコンパレータ５０は、二次電池の負極電位が供給される配線ＶＢＭ＿ＩＮ、二次電池の正極電位ＶＢＰが供給される配線ＶＢＰ＿ＩＮ、所定の電位ＶＢ３が供給される配線ＶＢ３＿ＩＮ、入力端子ＣＰ１＿ＩＮ、入力端子ＣＭ１＿ＩＮ、出力端子ＣＰ１＿ＯＵＴ、および、出力端子ＣＭ１＿ＯＵＴを有する。
図９のコンパレータ５０を図４のセルバランス回路１３０（１）および検出回路１８５（１）に適用する場合には例えば、配線ＶＢＰ＿ＩＮには端子ＶＣ１から、配線ＶＢＮ＿ＩＮには端子ＶＣ２から、それぞれ電位が与えられる。
ここで、所定の電位ＶＢ３は、負極電位ＶＢＭより高い電位であり、また、コンパレータ５０において、正極電位ＶＢＰは高電源電位であり、負極電位ＶＢＭは低電源電位である。
コンパレータ５０において、トランジスタ２１のソースまたはドレインの一方は、配線ＶＢＭ＿ＩＮと電気的に接続され、トランジスタ２１のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ２２のソースまたはドレインの一方、および、トランジスタ２４のソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、トランジスタ２１のゲートは、配線ＶＢ３＿ＩＮと電気的に接続される。
トランジスタ２２のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ２３のソースまたはドレインの一方、および、出力端子ＣＭ１＿ＯＵＴと電気的に接続され、トランジスタ２３のソースまたはドレインの他方、および、トランジスタ２３のゲートは、配線ＶＢＰ＿ＩＮと電気的に接続され、トランジスタ２２のゲートは、入力端子ＣＰ１＿ＩＮと電気的に接続される。
トランジスタ２４のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ２５のソースまたはドレインの一方、および、出力端子ＣＰ１＿ＯＵＴと電気的に接続され、トランジスタ２５のソースまたはドレインの他方、および、トランジスタ２５のゲートは、配線ＶＢＰ＿ＩＮと電気的に接続され、トランジスタ２４のゲートは、入力端子ＣＭ１＿ＩＮと電気的に接続される。
また、図９に示す回路を並列に複数接続して、コンパレータ５０として用いてもよい。すなわち、図９に示すコンパレータの出力を次段のコンパレータ５０に入力し、複数のコンパレータを接続して用いてもよい。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
（実施の形態４）
上記実施の形態で説明した電池制御回路に適用可能な半導体装置の構成例について説明する。
図１０に示す半導体装置は、トランジスタ３００と、トランジスタ５００と、容量素子６００と、を有している。図１２Ａはトランジスタ５００のチャネル長方向の断面図であり、図１２Ｂはトランジスタ５００のチャネル幅方向の断面図であり、図１２Ｃはトランジスタ３００のチャネル幅方向の断面図である。
トランジスタ５００は、ＯＳトランジスタである。トランジスタ５００は、オフ電流が小さいため、これを半導体装置が有するＯＳトランジスタに用いることにより、長期にわたり書き込んだデータを保持することが可能である。
トランジスタ５００は例えば、ｎチャネル型トランジスタである。
ここで、先の実施の形態に述べた電池制御回路は例えば、ＯＳトランジスタで構成されてもよい。また例えば先の実施の形態に述べた電池制御回路はその一部をＯＳトランジスタで構成されることが好ましい。例えば、電池制御回路が有するトランジスタ１６２およびトランジスタ１７２はＯＳトランジスタであることが好ましい。また例えば、電池制御回路が有するコンパレータをＯＳトランジスタで構成することができる。電池制御回路が有するコンパレータを単極性のトランジスタ、例えばｎチャネル型トランジスタのみで構成してもよい。
本実施の形態で説明する半導体装置は、図１０に示すようにトランジスタ３００、トランジスタ５００、容量素子６００を有する。トランジスタ５００はトランジスタ３００の上方に設けられ、容量素子６００はトランジスタ３００、及びトランジスタ５００の上方に設けられている。層３８５は、トランジスタ３００が設けられる層である。図１０においては例えば層３８５は、基板３１１と、基板３１１と絶縁体３２２に挟まれた各層と、を有する。層５８５は、トランジスタ５００が設けられる層である。図１０においては例えば層５８５は、絶縁体５１４と絶縁体５７４に挟まれた各層を有する。基板３１１、絶縁体３２２、絶縁体５１４および絶縁体５７４については後述する。
トランジスタ３００は、基板３１１上に設けられ、導電体３１６、絶縁体３１５、基板３１１の一部からなる半導体領域３１３、ソース領域又はドレイン領域として機能する低抵抗領域３１４ａ、及び低抵抗領域３１４ｂを有する。なお、トランジスタ３００は、例えば、上記実施の形態におけるコンパレータが有するトランジスタ等に適用することができる。
トランジスタ３００は、図１２Ｃに示すように、半導体領域３１３の上面及びチャネル幅方向の側面が絶縁体３１５を介して導電体３１６に覆われている。このように、トランジスタ３００をＦｉｎ型とすることにより、実効上のチャネル幅が増大することによりトランジスタ３００のオン特性を向上させることができる。また、ゲート電極の電界の寄与を高くすることができるため、トランジスタ３００のオフ特性を向上させることができる。
なお、トランジスタ３００は、ｐチャネル型、あるいはｎチャネル型のいずれでもよい。
半導体領域３１３のチャネルが形成される領域、その近傍の領域、ソース領域、又はドレイン領域となる低抵抗領域３１４ａ、及び低抵抗領域３１４ｂなどにおいて、シリコン系半導体などの半導体を含むことが好ましく、単結晶シリコンを含むことが好ましい。又は、Ｇｅ（ゲルマニウム）、ＳｉＧｅ（シリコンゲルマニウム）、ＧａＡｓ（ガリウムヒ素）、ＧａＡｌＡｓ（ガリウムアルミニウムヒ素）などを有する材料で形成してもよい。結晶格子に応力を与え、格子間隔を変化させることで有効質量を制御したシリコンを用いた構成としてもよい。又はＧａＡｓとＧａＡｌＡｓ等を用いることで、トランジスタ３００をＨＥＭＴ（Ｈｉｇｈ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｏｂｉｌｉｔｙ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）としてもよい。
低抵抗領域３１４ａ、及び低抵抗領域３１４ｂは、半導体領域３１３に適用される半導体材料に加え、ヒ素、リンなどのｎ型の導電性を付与する元素、又はホウ素などのｐ型の導電性を付与する元素を含む。
ゲート電極として機能する導電体３１６は、ヒ素、リンなどのｎ型の導電性を付与する元素、もしくはホウ素などのｐ型の導電性を付与する元素を含むシリコンなどの半導体材料、金属材料、合金材料、又は金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる。
なお、導電体の材料によって仕事関数が決まるため、当該導電体の材料を選択することで、トランジスタのしきい値電圧を調整することができる。具体的には、導電体に窒化チタンや窒化タンタルなどの材料を用いることが好ましい。さらに導電性と埋め込み性を両立するために導電体にタングステンやアルミニウムなどの金属材料を積層として用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが耐熱性の点で好ましい。
なお、図１０に示すトランジスタ３００は一例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。例えば、半導体装置をＯＳトランジスタのみで構成する場合、図１１に示すとおり、トランジスタ３００の構成を、酸化物半導体を用いているトランジスタ５００と同様の構成にすればよい。なお、トランジスタ５００の詳細については後述する。
トランジスタ３００を覆って、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２４、及び絶縁体３２６が順に積層して設けられている。
絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２４、及び絶縁体３２６として、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、窒化アルミニウムなどを用いればよい。
なお、本明細書中において、酸化窒化シリコンとは、その組成として窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、窒化酸化シリコンとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を示す。また、本明細書中において、酸化窒化アルミニウムとは、その組成として窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、窒化酸化アルミニウムとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を示す。
絶縁体３２２は、その下方に設けられるトランジスタ３００などによって生じる段差を平坦化する平坦化膜としての機能を有していてもよい。例えば、絶縁体３２２の上面は、平坦性を高めるために化学機械研磨（ＣＭＰ）法等を用いた平坦化処理により平坦化されていてもよい。
また、絶縁体３２４には、基板３１１、又はトランジスタ３００などから、トランジスタ５００が設けられる領域に、水素や不純物が拡散しないようなバリア性を有する膜を用いることが好ましい。
水素に対するバリア性を有する膜の一例として、例えば、ＣＶＤ法で形成した窒化シリコンを用いることができる。ここで、トランジスタ５００等の酸化物半導体を有する半導体素子に、水素が拡散することで、当該半導体素子の特性が低下する場合がある。したがって、トランジスタ５００と、トランジスタ３００との間に、水素の拡散を抑制する膜を用いることが好ましい。水素の拡散を抑制する膜とは、具体的には、水素の脱離量が少ない膜とする。
水素の脱離量は、例えば、昇温脱離ガス分析法（ＴＤＳ）などを用いて分析することができる。例えば、絶縁体３２４の水素の脱離量は、ＴＤＳ分析において、膜の表面温度が５０℃から５００℃の範囲において、水素原子に換算した脱離量が、絶縁体３２４の面積当たりに換算して、１０×１０１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ２以下、好ましくは５×１０１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ２以下であればよい。
なお、絶縁体３２６は、絶縁体３２４よりも誘電率が低いことが好ましい。例えば、絶縁体３２６の比誘電率は４未満が好ましく、３未満がより好ましい。また例えば、絶縁体３２６の比誘電率は、絶縁体３２４の比誘電率の０．７倍以下が好ましく、０．６倍以下がより好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。
また、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２４、及び絶縁体３２６には容量素子６００、又はトランジスタ５００と接続する導電体３２８、及び導電体３３０等が埋め込まれている。なお、導電体３２８、及び導電体３３０は、プラグ又は配線としての機能を有する。また、プラグ又は配線としての機能を有する導電体は、複数の構造をまとめて同一の符号を付与する場合がある。また、本明細書等において、配線と、配線と接続するプラグとが一体物であってもよい。すなわち、導電体の一部が配線として機能する場合、及び導電体の一部がプラグとして機能する場合もある。
各プラグ、及び配線（導電体３２８、導電体３３０等）の材料としては、金属材料、合金材料、金属窒化物材料、又は金属酸化物材料などの導電性材料を、単層又は積層して用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、タングステンを用いることが好ましい。又は、アルミニウムや銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。低抵抗導電性材料を用いることで配線抵抗を低くすることができる。
絶縁体３２６、及び導電体３３０上に、配線層を設けてもよい。例えば、図１０において、絶縁体３５０、絶縁体３５２、及び絶縁体３５４が順に積層して設けられている。また、絶縁体３５０、絶縁体３５２、及び絶縁体３５４には、導電体３５６が形成されている。導電体３５６は、トランジスタ３００と接続するプラグ、又は配線としての機能を有する。なお導電体３５６は、導電体３２８、及び導電体３３０と同様の材料を用いて設けることができる。
なお、例えば、絶縁体３５０は、絶縁体３２４と同様に、水素に対するバリア性を有する絶縁体を用いることが好ましい。また、導電体３５６は、水素に対するバリア性を有する導電体を含むことが好ましい。特に、水素に対するバリア性を有する絶縁体３５０が有する開口部に、水素に対するバリア性を有する導電体が形成される。当該構成により、トランジスタ３００とトランジスタ５００とは、バリア層により分離することができ、トランジスタ３００からトランジスタ５００への水素の拡散を抑制することができる。
なお、水素に対するバリア性を有する導電体としては、例えば、窒化タンタル等を用いるとよい。また、窒化タンタルと導電性が高いタングステンを積層することで、配線としての導電性を保持したまま、トランジスタ３００からの水素の拡散を抑制することができる。この場合、水素に対するバリア性を有する窒化タンタル層が、水素に対するバリア性を有する絶縁体３５０と接する構造であることが好ましい。
絶縁体３５４、及び導電体３５６上に、配線層を設けてもよい。例えば、図１０において、絶縁体３６０、絶縁体３６２、及び絶縁体３６４が順に積層して設けられている。また、絶縁体３６０、絶縁体３６２、及び絶縁体３６４には、導電体３６６が形成されている。導電体３６６は、プラグ又は配線としての機能を有する。なお導電体３６６は、導電体３２８、及び導電体３３０と同様の材料を用いて設けることができる。
なお、例えば、絶縁体３６０は、絶縁体３２４と同様に、水素に対するバリア性を有する絶縁体を用いることが好ましい。また、導電体３６６は、水素に対するバリア性を有する導電体を含むことが好ましい。特に、水素に対するバリア性を有する絶縁体３６０が有する開口部に、水素に対するバリア性を有する導電体が形成されることが好ましい。当該構成により、トランジスタ３００とトランジスタ５００とは、バリア層により分離することができ、トランジスタ３００からトランジスタ５００への水素の拡散を抑制することができる。
絶縁体３６４、及び導電体３６６上に、配線層を設けてもよい。例えば、図１０において、絶縁体３７０、絶縁体３７２、及び絶縁体３７４が順に積層して設けられている。また、絶縁体３７０、絶縁体３７２、及び絶縁体３７４には、導電体３７６が形成されている。導電体３７６は、プラグ又は配線としての機能を有する。なお導電体３７６は、導電体３２８、及び導電体３３０と同様の材料を用いて設けることができる。
なお、例えば、絶縁体３７０は、絶縁体３２４と同様に、水素に対するバリア性を有する絶縁体を用いることが好ましい。また、導電体３７６は、水素に対するバリア性を有する導電体を含むことが好ましい。特に、水素に対するバリア性を有する絶縁体３７０が有する開口部に、水素に対するバリア性を有する導電体が形成されることが好ましい。当該構成により、トランジスタ３００とトランジスタ５００とは、バリア層により分離することができ、トランジスタ３００からトランジスタ５００への水素の拡散を抑制することができる。
絶縁体３７４、及び導電体３７６上に、配線層を設けてもよい。例えば、図１０において、絶縁体３８０、絶縁体３８２、及び絶縁体３８４が順に積層して設けられている。また、絶縁体３８０、絶縁体３８２、及び絶縁体３８４には、導電体３８６が形成されている。導電体３８６は、プラグ又は配線としての機能を有する。なお導電体３８６は、導電体３２８、及び導電体３３０と同様の材料を用いて設けることができる。
なお、例えば、絶縁体３８０は、絶縁体３２４と同様に、水素に対するバリア性を有する絶縁体を用いることが好ましい。また、導電体３８６は、水素に対するバリア性を有する導電体を含むことが好ましい。特に、水素に対するバリア性を有する絶縁体３８０が有する開口部に、水素に対するバリア性を有する導電体が形成されることが好ましい。当該構成により、トランジスタ３００とトランジスタ５００とは、バリア層により分離することができ、トランジスタ３００からトランジスタ５００への水素の拡散を抑制することができる。
上記において、導電体３５６を含む配線層、導電体３６６を含む配線層、導電体３７６を含む配線層、及び導電体３８６を含む配線層、について説明したが、本実施の形態に係る半導体装置はこれに限られるものではない。導電体３５６を含む配線層と同様の配線層を３層以下にしてもよいし、導電体３５６を含む配線層と同様の配線層を５層以上にしてもよい。
絶縁体３８４上には絶縁体５１０、絶縁体５１２、絶縁体５１４、及び絶縁体５１６が、順に積層して設けられている。絶縁体５１０、絶縁体５１２、絶縁体５１４、及び絶縁体５１６のいずれかは、酸素や水素に対してバリア性のある物質を用いることが好ましい。
例えば、絶縁体５１０、及び絶縁体５１４には、例えば、基板３１１、又はトランジスタ３００を設ける領域などから、トランジスタ５００を設ける領域に、水素や不純物が拡散しないようなバリア性を有する膜を用いることが好ましい。したがって、絶縁体３２４と同様の材料を用いることができる。
水素に対するバリア性を有する膜の一例として、ＣＶＤ法で形成した窒化シリコンを用いることができる。ここで、トランジスタ５００等の酸化物半導体を有する半導体素子に、水素が拡散することで、当該半導体素子の特性が低下する場合がある。したがって、トランジスタ５００と、トランジスタ３００との間に、水素の拡散を抑制する膜を用いることが好ましい。水素の拡散を抑制する膜とは、具体的には、水素の脱離量が少ない膜とする。
また、水素に対するバリア性を有する膜として、例えば、絶縁体５１０、及び絶縁体５１４には、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどの金属酸化物を用いることが好ましい。
特に、酸化アルミニウムは、酸素、及びトランジスタの電気特性の変動要因となる水素、水分などの不純物、の両方に対して膜を透過させない遮断効果が高い。したがって、酸化アルミニウムは、トランジスタの作製工程中及び作製後において、水素、水分などの不純物のトランジスタ５００への混入を防止することができる。また、トランジスタ５００を構成する酸化物からの酸素の放出を抑制することができる。そのため、トランジスタ５００に対する保護膜として用いることに適している。
また、例えば、絶縁体５１２、及び絶縁体５１６には、絶縁体３２０と同様の材料を用いることができる。また、これらの絶縁体に、比較的誘電率が低い材料を適用することで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。例えば、絶縁体５１２、及び絶縁体５１６として、酸化シリコン膜や酸化窒化シリコン膜などを用いることができる。
また、絶縁体５１０、絶縁体５１２、絶縁体５１４、及び絶縁体５１６には、導電体５１８、及びトランジスタ５００を構成する導電体（例えば、導電体５０３）等が埋め込まれている。なお、導電体５１８は、容量素子６００、又はトランジスタ３００と接続するプラグ、又は配線としての機能を有する。導電体５１８は、導電体３２８、及び導電体３３０と同様の材料を用いて設けることができる。
特に、絶縁体５１０、及び絶縁体５１４と接する領域の導電体５１８は、酸素、水素、及び水に対するバリア性を有する導電体であることが好ましい。当該構成により、トランジスタ３００とトランジスタ５００とは、酸素、水素、及び水に対するバリア性を有する層で、分離することができ、トランジスタ３００からトランジスタ５００への水素の拡散を抑制することができる。
絶縁体５１６の上方には、トランジスタ５００が設けられている。
図１２Ａ、図１２Ｂに示すように、トランジスタ５００は、絶縁体５１４及び絶縁体５１６に埋め込まれるように配置された導電体５０３と、絶縁体５１６及び導電体５０３の上に配置された絶縁体５２０と、絶縁体５２０の上に配置された絶縁体５２２と、絶縁体５２２の上に配置された絶縁体５２４と、絶縁体５２４の上に配置された酸化物５３０ａと、酸化物５３０ａの上に配置された酸化物５３０ｂと、酸化物５３０ｂ上に互いに離れて配置された導電体５４２ａ及び導電体５４２ｂと、導電体５４２ａ及び導電体５４２ｂ上に配置され、導電体５４２ａと導電体５４２ｂの間に重畳して開口が形成された絶縁体５８０と、開口の底面及び側面に配置された酸化物５３０ｃと、酸化物５３０ｃの形成面に配置された絶縁体５５０と、絶縁体５５０の形成面に配置された導電体５６０と、を有する。
また、図１２Ａ、図１２Ｂに示すように、酸化物５３０ａ、酸化物５３０ｂ、導電体５４２ａ、及び導電体５４２ｂと、絶縁体５８０との間に絶縁体５４４が配置されることが好ましい。また、図１２Ａ、図１２Ｂに示すように、導電体５６０は、絶縁体５５０の内側に設けられた導電体５６０ａと、導電体５６０ａの内側に埋め込まれるように設けられた導電体５６０ｂと、を有することが好ましい。また、図１２Ａ、図１２Ｂに示すように、絶縁体５８０、導電体５６０、及び絶縁体５５０の上に絶縁体５７４が配置されることが好ましい。
なお、以下において、酸化物５３０ａ、酸化物５３０ｂ、及び酸化物５３０ｃをまとめて酸化物５３０という場合がある。
なお、トランジスタ５００では、チャネルが形成される領域と、その近傍において、酸化物５３０ａ、酸化物５３０ｂ、及び酸化物５３０ｃの３層を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、酸化物５３０ｂの単層、酸化物５３０ｂと酸化物５３０ａの２層構造、酸化物５３０ｂと酸化物５３０ｃの２層構造、又は４層以上の積層構造を設ける構成にしてもよい。また、トランジスタ５００では、導電体５６０を２層の積層構造として示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体５６０が、単層構造であってもよいし、３層以上の積層構造であってもよい。また、図１０、図１２Ａに示すトランジスタ５００は一例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。
ここで、導電体５６０は、トランジスタのゲート電極として機能し、導電体５４２ａ及び導電体５４２ｂは、それぞれソース電極又はドレイン電極として機能する。上記のように、導電体５６０は、絶縁体５８０の開口、及び導電体５４２ａと導電体５４２ｂに挟まれた領域に埋め込まれるように形成される。導電体５６０、導電体５４２ａ及び導電体５４２ｂの配置は、絶縁体５８０の開口に対して、自己整合的に選択される。つまり、トランジスタ５００において、ゲート電極を、ソース電極とドレイン電極の間に、自己整合的に配置させることができる。よって、導電体５６０を位置合わせのマージンを設けることなく形成することができるので、トランジスタ５００の占有面積の縮小を図ることができる。これにより、半導体装置の微細化、高集積化を図ることができる。
さらに、導電体５６０が、導電体５４２ａと導電体５４２ｂの間の領域に自己整合的に形成されるので、導電体５６０は、導電体５４２ａ又は導電体５４２ｂと重畳する領域を有さない。これにより、導電体５６０と導電体５４２ａ及び導電体５４２ｂとの間に形成される寄生容量を低減することができる。よって、トランジスタ５００のスイッチング速度を向上させ、高い周波数特性を有せしめることができる。
導電体５６０は、第１のゲート（トップゲートともいう）電極として機能する場合がある。また、導電体５０３は、第２のゲート（ボトムゲートともいう）電極として機能する場合がある。その場合、導電体５０３に印加する電位を、導電体５６０に印加する電位と、連動させず、独立して変化させることで、トランジスタ５００のしきい値電圧を制御することができる。特に、導電体５０３に負の電位を印加することにより、トランジスタ５００のしきい値電圧を０Ｖより大きくし、オフ電流を低減することが可能となる。したがって、導電体５０３に負の電位を印加したほうが、印加しない場合よりも、導電体５６０に印加する電位が０Ｖのときのドレイン電流を小さくすることができる。
導電体５０３は、酸化物５３０、及び導電体５６０と、重なるように配置する。これにより、導電体５６０、及び導電体５０３に電位を印加した場合、導電体５６０から生じる電界と、導電体５０３から生じる電界と、がつながり、酸化物５３０に形成されるチャネル形成領域を覆うことができる。本明細書等において、第１のゲート電極、及び第２のゲート電極の電界によって、チャネル形成領域を電気的に取り囲むトランジスタの構造を、ｓｕｒｒｏｕｎｄｅｄ ｃｈａｎｎｅｌ（Ｓ－ｃｈａｎｎｅｌ）構造とよぶ。
また、導電体５０３は、導電体５１８と同様の構成であり、絶縁体５１４及び絶縁体５１６の開口の内壁に接して導電体５０３ａが形成され、さらに内側に導電体５０３ｂが形成されている。なお、トランジスタ５００では、導電体５０３ａ及び導電体５０３ｂを積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体５０３は、単層、又は３層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。
ここで、導電体５０３ａは、水素原子、水素分子、水分子、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する（上記不純物が透過しにくい。）導電性材料を用いることが好ましい。又は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい。）導電性材料を用いることが好ましい。なお、本明細書において、不純物、又は酸素の拡散を抑制する機能とは、上記不純物、又は上記酸素のいずれか一又は、すべての拡散を抑制する機能とする。
例えば、導電体５０３ａが酸素の拡散を抑制する機能を持つことにより、導電体５０３ｂが酸化して導電率が低下することを抑制することができる。
また、導電体５０３が配線の機能を兼ねる場合、導電体５０３ｂは、タングステン、銅、又はアルミニウムを主成分とする、導電性が高い導電性材料を用いることが好ましい。その場合、導電体５０３ａは、必ずしも設けなくともよい。なお、導電体５０３ｂを単層で図示したが、積層構造としてもよく、例えば、チタンまたは窒化チタンと上記導電性材料との積層としてもよい。
絶縁体５２０、絶縁体５２２および絶縁体５２４は、第２のゲート絶縁膜としての機能を有する。
ここで、酸化物５３０と接する絶縁体５２４は、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む絶縁体を用いることが好ましい。つまり、絶縁体５２４には、過剰酸素領域が形成されていることが好ましい。このような過剰酸素を含む絶縁体を酸化物５３０に接して設けることにより、酸化物５３０中の酸素欠損を低減し、トランジスタ５００の信頼性を向上させることができる。
過剰酸素領域を有する絶縁体として、具体的には、加熱により一部の酸素が脱離する酸化物材料を用いることが好ましい。加熱により酸素を脱離する酸化物とは、ＴＤＳ（Ｔｈｅｒｍａｌ Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）分析にて、酸素原子に換算しての酸素の脱離量が１．０×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上、好ましくは１．０×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上、さらに好ましくは２．０×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上、又は３．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上である酸化物膜である。なお、上記ＴＤＳ分析時における膜の表面温度としては１００℃以上７００℃以下、又は１００℃以上４００℃以下の範囲が好ましい。
また、絶縁体５２４が、過剰酸素領域を有する場合、絶縁体５２２は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子など）の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい）ことが好ましい。
絶縁体５２２が、酸素や不純物の拡散を抑制する機能を有することで、酸化物５３０が有する酸素は、絶縁体５２０側へ拡散することがなく、好ましい。また、導電体５０３が、絶縁体５２４や、酸化物５３０が有する酸素と反応することを抑制することができる。
絶縁体５２２は、例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウム及びハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ３）、又は（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ３（ＢＳＴ）などのいわゆるｈｉｇｈ－ｋ材料を含む絶縁体を単層又は積層で用いることが好ましい。トランジスタの微細化、及び高集積化が進むと、ゲート絶縁膜の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁膜として機能する絶縁体にｈｉｇｈ－ｋ材料を用いることで、物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時のゲート電位の低減が可能となる。
特に、不純物、及び酸素などの拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい）絶縁性材料であるアルミニウム、ハフニウムの一方又は双方の酸化物を含む絶縁体を用いるとよい。アルミニウム、ハフニウムの一方又は双方の酸化物を含む絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウム及びハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。このような材料を用いて絶縁体５２２を形成した場合、絶縁体５２２は、酸化物５３０からの酸素の放出や、トランジスタ５００の周辺部から酸化物５３０への水素等の不純物の混入を抑制する層として機能する。
又は、これらの絶縁体に、例えば、酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲルマニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウムを添加してもよい。又はこれらの絶縁体を窒化処理してもよい。上記の絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコン又は窒化シリコンを積層して用いてもよい。
また、絶縁体５２０は、熱的に安定していることが好ましい。例えば、酸化シリコン及び酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため、好適である。また、ｈｉｇｈ－ｋ材料の絶縁体を酸化シリコン、または酸化窒化シリコンと組み合わせることで、熱的に安定かつ比誘電率の高い積層構造の絶縁体５２０を得ることができる。
なお、図１２Ａ、図１２Ｂのトランジスタ５００では、３層の積層構造からなる第２のゲート絶縁膜として、絶縁体５２０、絶縁体５２２、及び絶縁体５２４が図示されているが、第２のゲート絶縁膜は、単層、２層、又は４層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。
トランジスタ５００は、チャネル形成領域を含む酸化物５３０に、酸化物半導体として機能する金属酸化物を用いることが好ましい。例えば、酸化物５３０として、Ｉｎ－Ｍ－Ｚｎ酸化物（元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、又はマグネシウムなどから選ばれた一種、又は複数種）等の金属酸化物を用いるとよい。
具体的には、酸化物５３０ａとして、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］、または１：１：０．５［原子数比］の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物５３０ｂとして、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］、または１：１：１［原子数比］の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物５３０ｃとして、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］、Ｇａ：Ｚｎ＝２：１［原子数比］、またはＧａ：Ｚｎ＝２：５［原子数比］の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物５３０ｃを積層構造とする場合の具体例としては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］と、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］との積層構造、Ｇａ：Ｚｎ＝２：１［原子数比］と、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］との積層構造、Ｇａ：Ｚｎ＝２：５［原子数比］と、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］との積層構造、酸化ガリウムと、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］との積層構造などが挙げられる。
また、酸化物５３０ｂは、結晶性を有していてもよい。例えば、後述するＣＡＡＣ－ＯＳ（ｃ－ａｘｉｓ ａｌｉｇｎｅｄ ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）を用いることが好ましい。ＣＡＡＣ－ＯＳなどの結晶性を有する酸化物は、不純物や欠陥（酸素欠損など）が少なく、結晶性の高い、緻密な構造を有している。よって、ソース電極またはドレイン電極による、酸化物５３０ｂからの酸素の引き抜きを抑制することができる。また、加熱処理を行っても、酸化物５３０ｂから酸素が、引き抜かれることを低減できるので、トランジスタ５００は、製造工程における高い温度（所謂サーマルバジェット）に対して安定である。
酸化物５３０においてチャネル形成領域として機能する金属酸化物は、バンドギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上のものを用いることが好ましい。このように、バンドギャップの大きい金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
酸化物５３０は、酸化物５３０ｂ下に酸化物５３０ａを有することで、酸化物５３０ａよりも下方に形成された構造物から、酸化物５３０ｂへの不純物の拡散を抑制することができる。また、酸化物５３０ｂ上に酸化物５３０ｃを有することで、酸化物５３０ｃよりも上方に形成された構造物から、酸化物５３０ｂへの不純物の拡散を抑制することができる。
なお、酸化物５３０は、各金属原子の原子数比が異なる複数の酸化物層の積層構造を有することが好ましい。具体的には、酸化物５３０ａに用いる金属酸化物において、構成元素中の元素Ｍの原子数比が、酸化物５３０ｂに用いる金属酸化物における、構成元素中の元素Ｍの原子数比より、大きいことが好ましい。また、酸化物５３０ａに用いる金属酸化物において、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比が、酸化物５３０ｂに用いる金属酸化物における、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物５３０ｂに用いる金属酸化物において、元素Ｍに対するＩｎの原子数比が、酸化物５３０ａに用いる金属酸化物における、元素Ｍに対するＩｎの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物５３０ｃは、酸化物５３０ａ又は酸化物５３０ｂに用いることができる金属酸化物を、用いることができる。
また、酸化物５３０ａ及び酸化物５３０ｃの伝導帯下端のエネルギーが、酸化物５３０ｂの伝導帯下端のエネルギーより高くなることが好ましい。また、言い換えると、酸化物５３０ａ及び酸化物５３０ｃの電子親和力が、酸化物５３０ｂの電子親和力より小さいことが好ましい。
ここで、酸化物５３０ａ、酸化物５３０ｂ、及び酸化物５３０ｃの接合部において、伝導帯下端のエネルギー準位はなだらかに変化する。換言すると、酸化物５３０ａ、酸化物５３０ｂ、及び酸化物５３０ｃの接合部における伝導帯下端のエネルギー準位は、連続的に変化又は連続接合するともいうことができる。このようにするためには、酸化物５３０ａと酸化物５３０ｂとの界面、及び酸化物５３０ｂと酸化物５３０ｃとの界面において形成される混合層の欠陥準位密度を低くするとよい。
具体的には、酸化物５３０ａと酸化物５３０ｂ、酸化物５３０ｂと酸化物５３０ｃが、酸素以外に共通の元素を有する（主成分とする）ことで、欠陥準位密度が低い混合層を形成することができる。例えば、酸化物５３０ｂがＩｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物の場合、酸化物５３０ａ及び酸化物５３０ｃとして、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物、Ｇａ－Ｚｎ酸化物、酸化ガリウムなどを用いるとよい。
このとき、キャリアの主たる経路は酸化物５３０ｂとなる。酸化物５３０ａ、酸化物５３０ｃを上述の構成とすることで、酸化物５３０ａと酸化物５３０ｂとの界面、及び酸化物５３０ｂと酸化物５３０ｃとの界面における欠陥準位密度を低くすることができる。そのため、界面散乱によるキャリア伝導への影響が小さくなり、トランジスタ５００は高いオン電流を得られる。
酸化物５３０ｂ上には、ソース電極、及びドレイン電極として機能する導電体５４２ａ、及び導電体５４２ｂが設けられる。導電体５４２ａ、及び導電体５４２ｂとしては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンから選ばれた金属元素、又は上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いることが好ましい。例えば、窒化タンタル、窒化チタン、タングステン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いることが好ましい。また、窒化タンタル、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物は、酸化しにくい導電性材料、又は、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。更に、窒化タンタルなどの金属窒化物膜は、水素又は酸素に対するバリア性があるため好ましい。
また、図１２では、導電体５４２ａ、及び導電体５４２ｂを単層構造として示したが、２層以上の積層構造としてもよい。例えば、窒化タンタル膜とタングステン膜を積層するとよい。また、チタン膜とアルミニウム膜を積層してもよい。また、タングステン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、銅－マグネシウム－アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜上に銅膜を積層する二層構造、タングステン膜上に銅膜を積層する二層構造としてもよい。
また、チタン膜又は窒化チタン膜と、そのチタン膜又は窒化チタン膜上に重ねてアルミニウム膜又は銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜又は窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜又は窒化モリブデン膜と、そのモリブデン膜又は窒化モリブデン膜上に重ねてアルミニウム膜又は銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜又は窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。なお、酸化インジウム、酸化錫又は酸化亜鉛を含む透明導電材料を用いてもよい。
また、図１２Ａに示すように、酸化物５３０の、導電体５４２ａ（導電体５４２ｂ）との界面とその近傍には、低抵抗領域として、領域５４３ａ、及び領域５４３ｂが形成される場合がある。このとき、領域５４３ａはソース領域又はドレイン領域の一方として機能し、領域５４３ｂはソース領域又はドレイン領域の他方として機能する。また、領域５４３ａと領域５４３ｂに挟まれる領域にチャネル形成領域が形成される。
酸化物５３０と接するように上記導電体５４２ａ（導電体５４２ｂ）を設けることで、領域５４３ａ（領域５４３ｂ）の酸素濃度が低減する場合がある。また、領域５４３ａ（領域５４３ｂ）に導電体５４２ａ（導電体５４２ｂ）に含まれる金属と、酸化物５３０の成分とを含む金属化合物層が形成される場合がある。このような場合、領域５４３ａ（領域５４３ｂ）のキャリア密度が増加し、領域５４３ａ（領域５４３ｂ）は、低抵抗領域となる。
絶縁体５４４は、導電体５４２ａ、及び導電体５４２ｂを覆うように設けられ、導電体５４２ａ、及び導電体５４２ｂの酸化を抑制する。このとき、絶縁体５４４は、酸化物５３０の側面を覆い、絶縁体５２４と接するように設けられてもよい。
絶縁体５４４として、ハフニウム、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、タングステン、チタン、タンタル、ニッケル、ゲルマニウム、ネオジム、ランタン又は、マグネシウムなどから選ばれた一種、又は二種以上が含まれた金属酸化物を用いることができる。また、絶縁体５４４として、窒化酸化シリコン又は窒化シリコンなども用いることができる。
特に、絶縁体５４４として、アルミニウム、又はハフニウムの一方又は双方の酸化物を含む絶縁体である、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウム、及びハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。特に、ハフニウムアルミネートは、酸化ハフニウム膜よりも、耐熱性が高い。そのため、後の工程での熱処理において、結晶化しにくいため好ましい。なお、導電体５４２ａ、及び導電体５４２ｂが耐酸化性を有する材料、又は、酸素を吸収しても著しく導電性が低下しない場合、絶縁体５４４は、必須の構成ではない。求めるトランジスタ特性により、適宜設計すればよい。
絶縁体５４４を有することで、絶縁体５８０に含まれる水、及び水素などの不純物が酸化物５３０ｃ、絶縁体５５０を介して、酸化物５３０ｂに拡散することを抑制することができる。また、絶縁体５８０が有する過剰酸素により、導電体５６０が酸化するのを抑制することができる。
絶縁体５５０は、第１のゲート絶縁膜として機能する。絶縁体５５０は、酸化物５３０ｃの内側（上面、及び側面）に接して配置することが好ましい。絶縁体５５０は、上述した絶縁体５２４と同様に、過剰に酸素を含み、かつ加熱により酸素が放出される絶縁体を用いて形成することが好ましい。
具体的には、過剰酸素を有する酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素、及び窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンを用いることができる。特に、酸化シリコン、及び酸化窒化シリコンは熱に対し安定であるため好ましい。
加熱により酸素が放出される絶縁体を、絶縁体５５０として、酸化物５３０ｃの上面に接して設けることにより、絶縁体５５０から、酸化物５３０ｃを通じて、酸化物５３０ｂのチャネル形成領域に効果的に酸素を供給することができる。また、絶縁体５２４と同様に、絶縁体５５０中の水又は水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。絶縁体５５０の膜厚は、１ｎｍ以上２０ｎｍ以下とするのが好ましい。
また、絶縁体５５０が有する過剰酸素を、効率的に酸化物５３０へ供給するために、絶縁体５５０と導電体５６０との間に金属酸化物を設けてもよい。当該金属酸化物は、絶縁体５５０から導電体５６０への酸素拡散を抑制することが好ましい。酸素の拡散を抑制する金属酸化物を設けることで、絶縁体５５０から導電体５６０への過剰酸素の拡散が抑制される。つまり、酸化物５３０へ供給する過剰酸素量の減少を抑制することができる。また、過剰酸素による導電体５６０の酸化を抑制することができる。当該金属酸化物としては、絶縁体５４４に用いることができる材料を用いればよい。
なお、絶縁体５５０は、第２のゲート絶縁膜と同様に、積層構造としてもよい。トランジスタの微細化、及び高集積化が進むと、ゲート絶縁膜の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合があるため、ゲート絶縁膜として機能する絶縁体を、ｈｉｇｈ－ｋ材料と、熱的に安定している材料との積層構造とすることで、物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時のゲート電位の低減が可能となる。また、熱的に安定かつ比誘電率の高い積層構造とすることができる。
第１のゲート電極として機能する導電体５６０は、図１２Ａ、図１２Ｂでは２層構造として示しているが、単層構造でもよいし、３層以上の積層構造であってもよい。
導電体５６０ａは、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。又は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。導電体５６０ａが酸素の拡散を抑制する機能を持つことにより、絶縁体５５０に含まれる酸素により、導電体５６０ｂが酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料としては、例えば、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、又は酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。また、導電体５６０ａとして、酸化物５３０に適用できる酸化物半導体を用いることができる。その場合、導電体５６０ｂをスパッタリング法で成膜することで、導電体５６０ａの電気抵抗値を低下させて導電体にすることができる。これをＯＣ（Ｏｘｉｄｅ Ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）電極と呼ぶことができる。
また、導電体５６０ｂは、タングステン、銅、又はアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、導電体５６０ｂは、配線としても機能するため、導電性が高い導電体を用いることが好ましい。例えば、タングステン、銅、又はアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることができる。また、導電体５６０ｂは積層構造としてもよく、例えば、チタンまたは窒化チタンと上記導電性材料との積層構造としてもよい。
絶縁体５８０は、絶縁体５４４を介して、導電体５４２ａ、及び導電体５４２ｂ上に設けられる。絶縁体５８０は、過剰酸素領域を有することが好ましい。例えば、絶縁体５８０として、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素、及び窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコン、又は樹脂などを有することが好ましい。特に、酸化シリコン、及び酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため好ましい。特に、酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンは、後の工程で、容易に過剰酸素領域を形成することができるため好ましい。
絶縁体５８０は、過剰酸素領域を有することが好ましい。加熱により酸素が放出される絶縁体５８０を、酸化物５３０ｃと接して設けることで、絶縁体５８０中の酸素を、酸化物５３０ｃを通じて、酸化物５３０へと効率良く供給することができる。なお、絶縁体５８０中の水又は水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。
絶縁体５８０の開口は、導電体５４２ａと導電体５４２ｂの間の領域に重畳して形成される。これにより、導電体５６０は、絶縁体５８０の開口、及び導電体５４２ａと導電体５４２ｂに挟まれた領域に、埋め込まれるように形成される。
半導体装置を微細化するに当たり、ゲート長を短くすることが求められるが、導電体５６０の導電性が下がらないようにする必要がある。そのために導電体５６０の膜厚を大きくすると、導電体５６０はアスペクト比が高い形状となりうる。本実施の形態では、導電体５６０を絶縁体５８０の開口に埋め込むように設けるため、導電体５６０をアスペクト比の高い形状にしても、工程中に導電体５６０を倒壊させることなく、形成することができる。
絶縁体５７４は、絶縁体５８０の上面、導電体５６０の上面、及び絶縁体５５０の上面に接して設けられることが好ましい。絶縁体５７４をスパッタリング法で成膜することで、絶縁体５５０、及び絶縁体５８０へ過剰酸素領域を設けることができる。これにより、当該過剰酸素領域から、酸化物５３０中に酸素を供給することができる。
例えば、絶縁体５７４として、ハフニウム、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、タングステン、チタン、タンタル、ニッケル、ゲルマニウム、又はマグネシウムなどから選ばれた一種、又は二種以上が含まれた金属酸化物を用いることができる。
特に、酸化アルミニウムはバリア性が高く、０．５ｎｍ以上３．０ｎｍ以下の薄膜であっても、水素、及び窒素の拡散を抑制することができる。したがって、スパッタリング法で成膜した酸化アルミニウムは、酸素供給源であるとともに、水素などの不純物のバリア膜としての機能も有することができる。
また、絶縁体５７４の上に、層間膜として機能する絶縁体５８１を設けることが好ましい。絶縁体５８１は、絶縁体５２４などと同様に、膜中の水又は水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。
また、絶縁体５８１、絶縁体５７４、絶縁体５８０、及び絶縁体５４４に形成された開口に、導電体５４０ａ、及び導電体５４０ｂを配置する。導電体５４０ａ及び導電体５４０ｂは、導電体５６０を挟んで対向して設ける。導電体５４０ａ及び導電体５４０ｂは、後述する導電体５４６、及び導電体５４８と同様の構成である。
絶縁体５８１上には、絶縁体５８２が設けられている。絶縁体５８２は、酸素や水素に対してバリア性のある物質を用いることが好ましい。したがって、絶縁体５８２には、絶縁体５１４と同様の材料を用いることができる。例えば、絶縁体５８２には、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどの金属酸化物を用いることが好ましい。
特に、酸化アルミニウムは、酸素、及びトランジスタの電気特性の変動要因となる水素、水分などの不純物、の両方に対して膜を透過させない遮断効果が高い。したがって、酸化アルミニウムは、トランジスタの作製工程中及び作製後において、水素、水分などの不純物のトランジスタ５００への混入を防止することができる。また、トランジスタ５００を構成する酸化物からの酸素の放出を抑制することができる。そのため、トランジスタ５００に対する保護膜として用いることに適している。
また、絶縁体５８２上には、絶縁体５８６が設けられている。絶縁体５８６は、絶縁体３２０と同様の材料を用いることができる。また、これらの絶縁体に、比較的誘電率が低い材料を適用することで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。例えば、絶縁体５８６として、酸化シリコン膜や酸化窒化シリコン膜などを用いることができる。
また、絶縁体５２０、絶縁体５２２、絶縁体５２４、絶縁体５４４、絶縁体５８０、絶縁体５７４、絶縁体５８１、絶縁体５８２、及び絶縁体５８６には、導電体５４６、及び導電体５４８等が埋め込まれている。
導電体５４６、及び導電体５４８は、容量素子６００、トランジスタ５００、又はトランジスタ３００と接続するプラグ、又は配線としての機能を有する。導電体５４６、及び導電体５４８は、導電体３２８、及び導電体３３０と同様の材料を用いて設けることができる。
続いて、トランジスタ５００の上方には、容量素子６００が設けられている。容量素子６００は、導電体６１０と、導電体６２０、絶縁体６３０とを有する。
また、導電体５４６、及び導電体５４８上に、導電体６１２を設けてもよい。導電体６１２は、トランジスタ５００と接続するプラグ、又は配線としての機能を有する。導電体６１０は、容量素子６００の電極としての機能を有する。なお、導電体６１２、及び導電体６１０は、同時に形成することができる。
導電体６１２、及び導電体６１０には、モリブデン、チタン、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、クロム、ネオジム、スカンジウムから選ばれた元素を含む金属膜、又は上述した元素を成分とする金属窒化物膜（窒化タンタル膜、窒化チタン膜、窒化モリブデン膜、窒化タングステン膜）等を用いることができる。又は、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの導電性材料を適用することもできる。
図１０では、導電体６１２、及び導電体６１０は単層構造を示したが、当該構成に限定されず、２層以上の積層構造でもよい。例えば、バリア性を有する導電体と導電性が高い導電体との間に、バリア性を有する導電体、及び導電性が高い導電体に対して密着性が高い導電体を形成してもよい。
絶縁体６３０を介して、導電体６１０と重畳するように、導電体６２０を設ける。なお、導電体６２０は、金属材料、合金材料、又は金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが好ましい。また、導電体などの他の構造と同時に形成する場合は、低抵抗金属材料であるＣｕ（銅）やＡｌ（アルミニウム）等を用いればよい。
導電体６２０、及び絶縁体６３０上には、絶縁体６４０が設けられている。絶縁体６４０は、絶縁体３２０と同様の材料を用いて設けることができる。また、絶縁体６４０は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。
本構造を用いることで、酸化物半導体を有するトランジスタを用いた半導体装置において、電気特性の変動を抑制するとともに、信頼性を向上させることができる。又は、酸化物半導体を有するトランジスタを用いた電池制御回路において、微細化又は高集積化を図ることができる。
実施の形態１に示すトランジスタ１４０およびトランジスタ１５０はパワーＭＯＳＦＥＴ（Ｐｏｗｅｒ ＭＯＳＦＥＴ）と呼ばれる場合がある。図３０、図３１Ａ、図３１Ｂおよび図３１Ｃに例示するトランジスタ３００は特にトランジスタ１４０およびトランジスタ１５０に適用することが好ましい。図３０、図３１Ａ、図３１Ｂおよび図３１Ｃに示すトランジスタ３００はＤ－ＭＯＳ（Ｄｏｕｂｌｅ Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）ＦＥＴと呼ばれる。
図３０に示すトランジスタ３００は、プレーナー型のトランジスタである。低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂの一方と他方をそれぞれソース領域及びドレイン領域として用いることにより、ＭＯＳＦＥＴとして動作させることができるが、ここでは低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂをともにソースとして機能させ、低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂの外側に領域３１９を形成し、シリコン基板の半導体領域３１３に対して、図３０に示す断面において下方にあたる領域に低抵抗領域３１７を設け、その下方にドレイン電極として機能する裏面電極３１８を設けることにより、トランジスタ３００をＤ－ＭＯＳＦＥＴとして機能させることができる。なお、低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂをともにドレインとして機能させ、裏面電極３１８をソース電極として機能させてもよい。領域３１９は、低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂと逆の極性の領域であることが好ましい。例えば、低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂがｎ型領域の場合には領域３１９はｐ型領域であることが好ましい。あるいは領域３１９は高抵抗領域としてもよい。領域３１９は真性領域である場合がある。
なお、図３０において、低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂは逆の極性の領域である領域３１９と接することにより、ｐｎ接合が形成される。このようなｐｎ接合領域を本発明書等では寄生ダイオードと呼ぶ。寄生ダイオードは、逆流防止、整流、等の機能を有する。また、寄生ダイオードはトランジスタを保護する機能を有する。寄生ダイオードがドレイン（例えば低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂ）とソース（例えば裏面電極３１８）の間に形成されることにより、ソースとドレインの間に高電圧が印加される際の電界集中等が緩和され、トランジスタの破壊あるいは劣化を抑制することができる。
図３０では低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂにそれぞれ、導電体３２８等のプラグが電気的に接続される例を示すが、図３１Ａに示す例では、導電体３２８ｂが複数の低抵抗領域に電気的に接続される例を示す。導電体３２８ｂは複数の低抵抗領域のそれぞれの少なくとも一部を覆う形状であることが好ましい。また、導電体３２８ｂは複数の低抵抗領域のそれぞれの少なくとも一部と重畳することが好ましい。
図３０には、トランジスタ３００がプレーナー構造を有するＤ－ＭＯＳＦＥＴの例を示すが、図３１Ｂにはトランジスタ３００がトレンチ構造を有するＤ－ＭＯＳＦＥＴの例を示す。図３１Ａにおいて、ゲートとして機能する導電体３１６は、低抵抗領域３１４ａと低抵抗領域３１４ｂの間に設けられるトレンチ内に形成される。低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂと、導電体３１６との間にはゲート絶縁体として機能する絶縁体３１５が形成される。
図３１Ｂにおいては、低抵抗領域３１４ａ及び低抵抗領域３１４ｂにそれぞれ、導電体３２８等のプラグが電気的に接続される例を示すが、図３１Ｃに示す例では、導電体３２８ｂが複数の低抵抗領域に電気的に接続される例を示す。導電体３２８ｂは複数の低抵抗領域のそれぞれの少なくとも一部を覆う形状であることが好ましい。また、導電体３２８ｂは複数の低抵抗領域のそれぞれの少なくとも一部と重畳することが好ましい。
プレーナー構造と比較して、トレンチ構造においては、集積回路の面積は０．５倍以下に縮小されることが好ましく、０．４倍以下に縮小されることがより好ましい。
図１３Ａ、図１３Ｂ、図１３Ｃ、図１４Ａおよび図１４Ｂは、本発明の一態様の半導体装置の構成の一例を示す斜視図である。図１３Ａ、図１３Ｂ、図１３Ｃ、図１４Ａおよび図１４Ｂには、半導体装置９００が有する各回路を、前述の層３８５および前述の層５８５に設ける一例を示す。層３８５は例えば、Ｓｉトランジスタを有する層である。層５８５は例えばＯＳトランジスタを有する層である。なお、各回路が層３８５または層５８５に設けられる、と述べる場合には例えば、それぞれの回路を構成する素子のうちトランジスタが層３８５または層５８５に構成されればよい。また、それぞれの回路が有する容量素子および抵抗素子は例えば、これらの層の間、あるいは層５８５の上層に設けられてもよい。
図１３Ａ、図１３Ｂ、図１３Ｃ、図１４Ａおよび図１４Ｂに示す半導体装置９００の一例において、先の実施の形態に述べた電池制御回路１０１は例えば回路１０２および回路１０３を有する。
回路１０２は例えば、セルバランス回路１３０、検出回路１８５、検出回路１８６、検出回路ＭＳＤ、検出回路ＳＤ、温度センサＴＳ、デコーダ１６０および論理回路１８２の一以上を有する。
回路１０３はトランジスタ１４０およびトランジスタ１５０の一以上を有する。
回路１０２が有する回路の一部の回路は回路１０２ｂに含まれ、その他の回路が回路１０２ａに含まれる。回路１０２ｂが有するトランジスタは主として、層３８５に設けられる。回路１０２ａが有するトランジスタは主として、層５８５に設けられる。回路１０２ｂは例えば、デコーダ１６０および論理回路１８２を有する。
回路１０２ｂは例えば、充電回路を有してもよい。
また例えば、先の実施の形態に述べた電圧生成回路１１９が有するトランジスタは主として層３８５に設けられる。
回路１９５はＭＰＵ、ＭＣＵ、ＣＰＵ等の演算回路を有する。また回路１９５は記憶素子を有することが好ましい。回路１９５が有する演算回路は層３８５に設けられるトランジスタを主として有する回路１９５ｂの他に、層３８５に設けられるトランジスタを主として有する回路１９５ａを有してもよい。回路１９５が有する演算回路が回路１９５ａを有することにより、待機時の消費電力を低減できる場合がある。より具体的には例えば、回路１９５ａはＯＳトランジスタを含むフリップフロップ回路等を有する。
回路１９５は例えば、劣化度に応じた充電電流量制御を行う機能、残量計の機能、等を有する。また、回路１９５は、電池制御回路１０１との信号の授受を行う機能を有する。回路１９５は例えば、電池制御回路１０１からの信号を用いて演算を行い、演算結果に基づき電池制御回路１０１に信号を与える。
図１３Ａに示す半導体装置の一例は、層３８５に回路１０３および回路１９５が設けられ、層５８５に回路１０２が設けられる。
図１３Ｂに示す半導体装置の一例は、層３８５に回路１９５、回路１０２ｂ、回路１０３および電圧生成回路１１９が設けられ、層５８５に回路１０２ａが設けられる。
図１３Ｃに示す半導体装置の一例は、層３８５に回路１９５ｂ、回路１０２ｂ、回路１０３および電圧生成回路１１９が設けられ、層５８５に回路１９５ａおよび回路１０２ａが設けられる。
図１４Ａに示す半導体装置の一例は、層３８５に回路１９５が設けられ、層５８５に回路１０２および回路１０３が設けられる。
図１４Ｂに示す半導体装置の一例は、層３８５に回路１９５ｂ、回路１０２ｂおよび電圧生成回路１１９が設けられ、層５８５に回路１９５ａ、回路１０２ａおよび回路１０３が設けられる。
図１３Ａ、図１３Ｂ、図１３Ｃ、図１４Ａおよび図１４Ｂに示す半導体装置の一例は例えば、後述する制御回路４２０および制御回路５９０等の制御回路に適用することができる。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
（実施の形態５）
本実施の形態では、本発明の一態様の金属酸化物について説明する。
＜＜金属酸化物＞＞
酸化物５３０として、酸化物半導体として機能する金属酸化物を用いることが好ましい。以下では、本発明に係る酸化物５３０に適用可能な金属酸化物について説明する。
金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特に、インジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、ガリウム、イットリウム、錫などが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
ここでは、金属酸化物が、インジウム、元素Ｍおよび亜鉛を有するＩｎ－Ｍ－Ｚｎ酸化物である場合を考える。なお、元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または錫とする。そのほかの元素Ｍに適用可能な元素としては、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウムなどがある。ただし、元素Ｍとして、前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。
なお、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物（ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅ）と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物（ｍｅｔａｌ ｏｘｙｎｉｔｒｉｄｅ）と呼称してもよい。
［金属酸化物の構造］
酸化物半導体（金属酸化物）は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、ＣＡＡＣ－ＯＳ、多結晶酸化物半導体、ｎｃ－ＯＳ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、擬似非晶質酸化物半導体（ａ－ｌｉｋｅ ＯＳ：ａｍｏｒｐｈｏｕｓ－ｌｉｋｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、および非晶質酸化物半導体などがある。
ＣＡＡＣ－ＯＳは、ｃ軸配向性を有し、かつａ－ｂ面方向において複数のナノ結晶が連結し、歪みを有した結晶構造となっている。なお、歪みとは、複数のナノ結晶が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。
ナノ結晶は、六角形を基本とするが、正六角形状とは限らず、非正六角形状である場合がある。また、歪みにおいて、五角形、および七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、ＣＡＡＣ－ＯＳにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界（グレインバウンダリーともいう。）を確認することは難しい。すなわち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、ＣＡＡＣ－ＯＳが、ａ－ｂ面方向において酸素原子の配列が稠密でないことや、金属元素が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためである。
また、ＣＡＡＣ－ＯＳは、インジウム、および酸素を有する層（以下、Ｉｎ層）と、元素Ｍ、亜鉛、および酸素を有する層（以下、（Ｍ，Ｚｎ）層）とが積層した、層状の結晶構造（層状構造ともいう）を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Ｍは、互いに置換可能であり、（Ｍ，Ｚｎ）層の元素Ｍがインジウムと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ，Ｚｎ）層と表すこともできる。また、Ｉｎ層のインジウムが元素Ｍと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ）層と表すこともできる。
ＣＡＡＣ－ＯＳは結晶性の高い金属酸化物である。一方、ＣＡＡＣ－ＯＳは、明確な結晶粒界を確認することが難しいため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、金属酸化物の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、ＣＡＡＣ－ＯＳは不純物や欠陥（酸素欠損など）の少ない金属酸化物ともいえる。したがって、ＣＡＡＣ－ＯＳを有する金属酸化物は、物理的性質が安定する。そのため、ＣＡＡＣ－ＯＳを有する金属酸化物は熱に強く、信頼性が高い。
ｎｃ－ＯＳは、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の領域、特に１ｎｍ以上３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有する。また、ｎｃ－ＯＳは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、ｎｃ－ＯＳは、分析方法によっては、ａ－ｌｉｋｅ ＯＳや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。
なお、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、を有する金属酸化物の一種である、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物（以下、ＩＧＺＯ）は、上述のナノ結晶とすることで安定な構造をとる場合がある。特に、ＩＧＺＯは、大気中では結晶成長がし難い傾向があるため、大きな結晶（ここでは、数ｍｍの結晶、または数ｃｍの結晶）よりも小さな結晶（例えば、上述のナノ結晶）とする方が、構造的に安定となる場合がある。
ａ－ｌｉｋｅ ＯＳは、ｎｃ－ＯＳと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する金属酸化物である。ａ－ｌｉｋｅ ＯＳは、鬆または低密度領域を有する。すなわち、ａ－ｌｉｋｅ ＯＳは、ｎｃ－ＯＳおよびＣＡＡＣ－ＯＳと比べて、結晶性が低い。
酸化物半導体（金属酸化物）は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、ａ－ｌｉｋｅ ＯＳ、ｎｃ－ＯＳ、ＣＡＡＣ－ＯＳのうち、二種以上を有していてもよい。
［不純物］
ここで、金属酸化物中における各不純物の影響について説明する。
酸化物半導体に不純物が混入すると、欠陥準位または酸素欠損が形成される場合がある。よって、酸化物半導体のチャネル形成領域に不純物が混入することで、酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性が変動しやすく、信頼性が悪くなる場合がある。また、チャネル形成領域に酸素欠損が含まれていると、トランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。
また、上記欠陥準位には、トラップ準位が含まれる場合がある。金属酸化物のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い金属酸化物をチャネル形成領域に有するトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
また、酸化物半導体のチャネル形成領域に不純物が存在すると、チャネル形成領域の結晶性が低くなる場合がある、また、チャネル形成領域に接して設けられる酸化物の結晶性が低くなる場合がある。チャネル形成領域の結晶性が低いと、トランジスタの安定性または信頼性が悪化する傾向がある。また、チャネル形成領域に接して設けられる酸化物の結晶性が低いと、界面準位が形成され、トランジスタの安定性または信頼性が悪化する場合がある。
したがって、トランジスタの安定性または信頼性を向上させるには、酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍の不純物濃度を低減することが有効である。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
具体的には、当該酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍において、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により得られる上記不純物の濃度を、１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは２×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下にする。または、当該酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍において、ＥＤＸを用いた元素分析により得られる上記不純物の濃度を、１．０ａｔｏｍｉｃ％以下にする。なお、当該酸化物半導体として元素Ｍを含む酸化物を用いる場合、当該酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍において、元素Ｍに対する上記不純物の濃度比を、０．１０未満、好ましくは０．０５未満にする。ここで、上記濃度比を算出する際に用いる元素Ｍの濃度は、上記不純物の濃度を算出した領域と同じ領域の濃度でもよいし、当該酸化物半導体中の濃度でもよい。
また、不純物濃度を低減した金属酸化物は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。
また、金属酸化物中の酸素欠損に水素が入った場合、酸素欠損と水素とが結合しＶＯＨを形成する場合がある。ＶＯＨはドナーとして機能し、キャリアである電子が生成されることがある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成する場合がある。
従って、水素が多く含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタは、ノーマリーオン特性となりやすい。また、酸化物半導体中の水素は、熱、電界などのストレスによって動きやすいため、酸化物半導体に多くの水素が含まれると、トランジスタの信頼性が悪化する恐れもある。
つまり、金属酸化物中のＶＯＨをできる限り低減し、高純度真性または実質的に高純度真性にすることが好ましい。このように、ＶＯＨが十分低減された酸化物半導体を得るには、酸化物半導体中の水分、水素などの不純物を除去すること（脱水、脱水素化処理と記載する場合がある。）と、酸化物半導体に酸素を供給して酸素欠損を補填すること（加酸素化処理と記載する場合がある。）が重要である。ＶＯＨなどの不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
また、トランジスタには、キャリア濃度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。酸化物半導体のキャリア濃度を低くする場合においては、酸化物半導体中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性または実質的に高純度真性という。なお、酸化物半導体中の不純物としては、例えば、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
特に、酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸化物半導体中に酸素欠損を形成する場合がある。酸化物半導体中のチャネル形成領域に酸素欠損が含まれていると、トランジスタはノーマリーオン特性となる場合がある。さらに、酸素欠損に水素が入った欠陥はドナーとして機能し、キャリアである電子が生成されることがある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成する場合がある。従って、水素が多く含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタは、ノーマリーオン特性となりやすい。
酸素欠損に水素が入った欠陥（ＶＯＨ）は、酸化物半導体のドナーとして機能しうる。しかしながら、当該欠陥を定量的に評価することは困難である。そこで、酸化物半導体においては、ドナー濃度ではなく、キャリア濃度で評価される場合がある。よって、本明細書等では、酸化物半導体のパラメータとして、ドナー濃度ではなく、電界が印加されない状態を想定したキャリア濃度を用いる場合がある。つまり、本明細書等に記載の「キャリア濃度」は、「ドナー濃度」と言い換えることができる場合がある。
よって、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、ＳＩＭＳにより得られる水素濃度を、１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、より好ましくは５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満とする。水素などの不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
また、チャネル形成領域の酸化物半導体のキャリア濃度は、１×１０１８ｃｍ－３以下であることが好ましく、１×１０１７ｃｍ－３未満であることがより好ましく、１×１０１６ｃｍ－３未満であることがさらに好ましく、１×１０１３ｃｍ－３未満であることがさらに好ましく、１×１０１２ｃｍ－３未満であることがさらに好ましい。なお、チャネル形成領域の酸化物半導体のキャリア濃度の下限値については、特に限定は無いが、例えば、１×１０－９ｃｍ－３とすることができる。
本発明の一態様により、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、オン電流の大きい半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様は、低消費電力の半導体装置を提供することを課題の一つとする。
＜＜その他の半導体材料＞＞
酸化物５３０に用いることができる半導体材料は、上述の金属酸化物に限られない。酸化物５３０として、バンドギャップを有する半導体材料（ゼロギャップ半導体ではない半導体材料）を用いてもよい。例えば、シリコンなどの単体元素の半導体、ヒ化ガリウムなどの化合物半導体、半導体として機能する層状物質（原子層物質、２次元材料などともいう。）などを半導体材料に用いることが好ましい。特に、半導体として機能する層状物質を半導体材料に用いると好適である。
ここで、本明細書等において、層状物質とは、層状の結晶構造を有する材料群の総称である。層状の結晶構造は、共有結合やイオン結合によって形成される層が、ファンデルワールス力のような、共有結合やイオン結合よりも弱い結合を介して積層している構造である。層状物質は、単位層内における電気伝導性が高く、つまり、２次元電気伝導性が高い。半導体として機能し、かつ、２次元電気伝導性の高い材料をチャネル形成領域に用いることで、オン電流の大きいトランジスタを提供することができる。
層状物質として、グラフェン、シリセン、カルコゲン化物などがある。カルコゲン化物は、カルコゲンを含む化合物である。また、カルコゲンは、第１６族に属する元素の総称であり、酸素、硫黄、セレン、テルル、ポロニウム、リバモリウムが含まれる。また、カルコゲン化物として、遷移金属カルコゲナイド、１３族カルコゲナイドなどが挙げられる。
酸化物５３０として、例えば、半導体として機能する遷移金属カルコゲナイドを用いることが好ましい。酸化物５３０として適用可能な遷移金属カルコゲナイドとして、具体的には、硫化モリブデン（代表的にはＭｏＳ２）、セレン化モリブデン（代表的にはＭｏＳｅ２）、モリブデンテルル（代表的にはＭｏＴｅ２）、硫化タングステン（代表的にはＷＳ２）、セレン化タングステン（代表的にはＷＳｅ２）、タングステンテルル（代表的にはＷＴｅ２）、硫化ハフニウム（代表的にはＨｆＳ２）、セレン化ハフニウム（代表的にはＨｆＳｅ２）、硫化ジルコニウム（代表的にはＺｒＳ２）、セレン化ジルコニウム（代表的にはＺｒＳｅ２）などが挙げられる。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
（実施の形態６）
本実施の形態では、上述の実施の形態で説明し電池制御回路を電子部品とする例について、図１５Ａ及び図１５Ｂを用いて説明する。
図１５Ａでは上述の実施の形態で説明し電池制御回路を電子部品とする例について説明する。なお電子部品は、半導体パッケージ、又はＩＣ用パッケージともいう。この電子部品は、端子取り出し方向や、端子の形状に応じて、複数の規格や名称が存在する。そこで、本実施の形態では、その一例について説明することにする。
ＯＳトランジスタやＳｉトランジスタで構成される回路部は、組み立て工程（後工程）を経て、プリント基板に脱着可能な部品が複数合わさることで完成する。
後工程については、図１５Ａに示す各工程を経ることで完成させることができる。具体的には、前工程で得られる素子基板が完成（ステップＳ１）した後、基板の裏面を研削する（ステップＳ２）。この段階で基板を薄膜化することで、前工程での基板の反り等を低減し、部品としての小型化を図るためである。
基板の裏面を研削して、基板を複数のチップに分離するダイシング工程を行う。そして、分離したチップを個々にピックアップしてリードフレーム上に搭載し接合する、ダイボンディング工程を行う（ステップＳ３）。このダイボンディング工程におけるチップとリードフレームとの接着は、樹脂による接着や、テープによる接着等、適宜製品に応じて適した方法を選択する。なお、ダイボンディング工程は、インターポーザ上に搭載し接合してもよい。
次いでリードフレームのリードとチップ上の電極とを、金属の細線（ワイヤー）で電気的に接続する、ワイヤーボンディングを行う（ステップＳ４）。金属の細線には、銀線や金線を用いることができる。また、ワイヤーボンディングは、ボールボンディングや、ウェッジボンディングを用いることができる。
ワイヤーボンディングされたチップは、エポキシ樹脂等で封止される、モールド工程が施される（ステップＳ５）。モールド工程を行うことで電子部品の内部が樹脂で充填され、機械的な外力による内蔵される回路部やワイヤーに対するダメージを低減することができ、また水分や埃による特性の劣化を低減することができる。
次いでリードフレームのリードをメッキ処理する。そしてリードを切断及び成形加工する（ステップＳ６）。このめっき処理によりリードの錆を防止し、後にプリント基板に実装する際のはんだ付けをより確実に行うことができる。
次いでパッケージの表面に印字処理（マーキング）を施す（ステップＳ７）。そして最終的な検査工程（ステップＳ８）を経てＰＬＤを含む回路部を有する電子部品が完成する（ステップＳ９）。
また、完成した電子部品の斜視模式図を図１５Ｂに示す。図１５Ｂでは、電子部品の一例として、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）の斜視模式図を示している。図１５Ｂに示す電子部品７００は、リード７０１及び回路部７０３を示している。図１５Ｂに示す電子部品７００は、例えばプリント基板７０２に実装される。このような電子部品７００が複数組み合わされて、それぞれがプリント基板７０２上で電気的に接続されることで電気機器の内部に搭載することができる。完成した回路基板７０４は、電気機器等の内部に設けられる。
プリント基板７０２に実装される複数の電子部品の一として、先の実施の形態に示す電池制御回路を備えた電子部品が挙げられる。また他の電子部品として例えば、チップコイル、チップインダクタ、等が挙げられる。また先の実施の形態に示す層３８５、層５８５、あるいは層５８５に積層される層に、スパッタリング法、蒸着法、等を用いてチップコイル、チップインダクタ、等を形成することにより、回路基板の面積を縮小できる場合がある。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
（実施の形態７）
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した電池制御回路を備えた電子部品を適用可能な蓄電装置および蓄電システムの構成について説明する。
［円筒型二次電池］
円筒型の二次電池の例について図１６Ａを参照して説明する。円筒型の二次電池４００は、図１６Ａに示すように、上面に正極キャップ（電池蓋）４０１を有し、側面及び底面に電池缶（外装缶）４０２を有している。これら正極キャップ４０１と電池缶（外装缶）４０２とは、ガスケット（絶縁パッキン）４１０によって絶縁されている。
図１６Ｂは、円筒型の二次電池の断面を模式的に示した図である。図１６Ｂに示す円筒型の二次電池は、上面に正極キャップ（電池蓋）６０１を有し、側面および底面に電池缶（外装缶）６０２を有している。これら正極キャップと電池缶（外装缶）６０２とは、ガスケット（絶縁パッキン）６１０によって絶縁されている。
中空円柱状の電池缶６０２の内側には、帯状の正極６０４と負極６０６とがセパレータ６０５を間に挟んで捲回された電池素子が設けられている。図示しないが、電池素子はセンターピンを中心に捲回されている。電池缶６０２は、一端が閉じられ、他端が開いている。電池缶６０２には、電解液に対して耐腐食性のあるニッケル、アルミニウム、チタン等の金属、又はこれらの合金やこれらと他の金属との合金（例えば、ステンレス鋼等）を用いることができる。また、電解液による腐食を防ぐため、ニッケルやアルミニウム等を電池缶６０２に被覆することが好ましい。電池缶６０２の内側において、正極、負極およびセパレータが捲回された電池素子は、対向する一対の絶縁板６０８、６０９により挟まれている。また、電池素子が設けられた電池缶６０２の内部は、非水電解液（図示せず）が注入されている。非水電解液は、コイン型の二次電池と同様のものを用いることができる。
円筒型の蓄電池に用いる正極および負極は捲回するため、集電体の両面に活物質を形成することが好ましい。正極６０４には正極端子（正極集電リード）６０３が接続され、負極６０６には負極端子（負極集電リード）６０７が接続される。正極端子６０３および負極端子６０７は、ともにアルミニウムなどの金属材料を用いることができる。正極端子６０３は安全弁機構６１３に、負極端子６０７は電池缶６０２の底にそれぞれ抵抗溶接される。安全弁機構６１３は、ＰＴＣ（Ｐｏｓｉｔｉｖｅ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ）素子６１１を介して正極キャップ６０１と電気的に接続されている。安全弁機構６１３は電池の内圧の上昇が所定の閾値を超えた場合に、正極キャップ６０１と正極６０４との電気的な接続を切断するものである。また、ＰＴＣ素子６１１は温度が上昇した場合に抵抗が増大する熱感抵抗素子であり、抵抗の増大により電流量を制限して異常発熱を防止するものである。ＰＴＣ素子には、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）系半導体セラミックス等を用いることができる。
図１６Ｃは蓄電システム４１５の一例を示す。蓄電システム４１５は複数の二次電池４００を有する。それぞれの二次電池の正極は、絶縁体４２５で分離された導電体４２４に接触し、電気的に接続されている。導電体４２４は配線４２３を介して、制御回路４２０に電気的に接続されている。また、それぞれの二次電池の負極は、配線４２６を介して制御回路４２０に電気的に接続されている。制御回路４２０として、先の実施の形態にて述べた電池制御回路を用いることができる。
図１６Ｄは、蓄電システム４１５の一例を示す。蓄電システム４１５は複数の二次電池４００を有し、複数の二次電池４００は、導電板４１３及び導電板４１４の間に挟まれている。複数の二次電池４００は、配線４１６により導電板４１３及び導電板４１４と電気的に接続される。複数の二次電池４００は、並列接続されていてもよいし、直列接続されていてもよいし、並列に接続された後さらに直列に接続されていてもよい。複数の二次電池４００を有する蓄電システム４１５を構成することで、大きな電力を取り出すことができる。
複数の二次電池４００が、並列に接続された後さらに直列に接続される場合を考える。このような場合には、図１または図２に示す蓄電装置において例えば、電池セル１２１は、並列に接続された複数の二次電池に対応し、一のセルバランス回路１３０が並列に接続された複数の二次電池に電気的に接続される。
複数の二次電池４００の間に温度制御装置を有していてもよい。二次電池４００が過熱されたときは、温度制御装置により冷却し、二次電池４００が冷えすぎているときは温度制御装置により加熱することができる。そのため蓄電システム４１５の性能が外気温に影響されにくくなる。
また、図１６Ｄにおいて、蓄電システム４１５は制御回路４２０に配線４２１及び配線４２２を介して電気的に接続されている。制御回路４２０として、先の実施の形態にて述べた電池制御回路を用いることができる。配線４２１は導電板４１３を介して複数の二次電池４００の正極に、配線４２２は導電板４１４を介して複数の二次電池４００の負極に、それぞれ電気的に接続される。
［二次電池パック］
次に本発明の一態様の蓄電システムの例について、図１７Ａ、図１７Ｂ及び図１７Ｃを用いて説明する。
図１７Ａは、二次電池パック５３１の外観を示す図である。図１７Ｂは二次電池パック５３１の構成を説明する図である。二次電池パック５３１は、回路基板５０１と、二次電池５１３と、を有する。二次電池５１３には、ラベル５０９が貼られている。回路基板５０１は、シール５１５により固定されている。また、二次電池パック５３１は、アンテナ５１７を有する。
回路基板５０１は制御回路５９０を有する。制御回路５９０は、先の実施の形態に示す電池制御回路を用いることができる。例えば、図１７Ｂに示すように、回路基板５０１上に、制御回路５９０を有する。また、回路基板５０１は、端子５１１と電気的に接続されている。また回路基板５０１は、アンテナ５１７、二次電池５１３の正極リード及び負極リードの一方５５１、正極リード及び負極リードの他方５５２と電気的に接続される。
あるいは、図１７Ｃに示すように、二次電池パックは、回路基板５０１上に設けられる回路システム５９０ａと、端子５１１を介して回路基板５０１に電気的に接続される回路システム５９０ｂと、を有してもよい。例えば、本発明の一態様の制御回路の一部分が回路システム５９０ａに、他の一部分が回路システム５９０ｂに、それぞれ設けられる。
なお、アンテナ５１７はコイル状に限定されず、例えば線状、板状であってもよい。また、平面アンテナ、開口面アンテナ、進行波アンテナ、ＥＨアンテナ、磁界アンテナ、誘電体アンテナ等のアンテナを用いてもよい。又は、アンテナ５１７は、平板状の導体でもよい。この平板状の導体は、電界結合用の導体の一つとして機能することができる。つまり、コンデンサの有する２つの導体のうちの一つの導体として、アンテナ５１７を機能させてもよい。これにより、電磁界、磁界だけでなく、電界で電力のやり取りを行うこともできる。
二次電池パック５３１は、アンテナ５１７と、二次電池５１３との間に層５１９を有する。層５１９は、例えば二次電池５１３による電磁界を遮蔽することができる機能を有する。層５１９としては、例えば磁性体を用いることができる。
二次電池５１３は、例えば、セパレータを挟んで負極と、正極とが重なり合って積層され、該積層シートを捲回したものである。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
（実施の形態８）
本実施の形態では、車両に本発明の一態様である蓄電システムを搭載する例を示す。車両として例えば自動車、二輪車、自転車、等が挙げられる。
蓄電システムを車両に搭載すると、ハイブリッド車（ＨＥＶ）、電気自動車（ＥＶ）、又はプラグインハイブリッド車（ＰＨＥＶ）等の次世代クリーンエネルギー自動車を実現できる。
図１８Ａ、図１８Ｂ及び図１８Ｃにおいて、本発明の一態様である蓄電システムを用いた車両を例示する。図１８Ａに示す自動車８４００は、走行のための動力源として電気モーターを用いる電気自動車である。または、走行のための動力源として電気モーターとエンジンを適宜選択して用いることが可能なハイブリッド自動車である。本発明の一態様を用いることで、航続距離の長い車両を実現することができる。自動車８４００は蓄電システムを有する。蓄電システムは電気モーター８４０６を駆動するだけでなく、ヘッドライト８４０１やルームライト（図示せず）などの発光装置に電力を供給することができる。
また、蓄電システムは、自動車８４００が有するスピードメーター、タコメーターなどの表示装置に電力を供給することができる。また、蓄電システムは、自動車８４００が有するナビゲーションシステムなどに電力を供給することができる。
図１８Ｂに示す自動車８５００は、自動車８５００が有する蓄電システム８０２４にプラグイン方式や非接触給電方式等により外部の充電設備から電力供給を受けて、充電することができる。図１８Ｂに、地上設置型の充電装置８０２１から自動車８５００に搭載された蓄電システム８０２４に、ケーブル８０２２を介して充電を行っている状態を示す。充電に際しては、充電方法やコネクターの規格等はＣＨＡｄｅＭＯ（登録商標）やコンボ等の所定の方式で適宜行えばよい。充電装置８０２１は、商用施設に設けられた充電ステーションでもよく、また家庭の電源であってもよい。例えば、プラグイン技術によって、外部からの電力供給により自動車８５００に搭載された蓄電システム８０２４を充電することができる。充電は、ＡＣＤＣコンバータ等の変換装置を介して、交流電力を直流電力に変換して行うことができる。
また、図示しないが、受電装置を車両に搭載し、地上の送電装置から電力を非接触で供給して充電することもできる。この非接触給電方式の場合には、道路や外壁に送電装置を組み込むことで、停車中に限らず走行中に充電を行うこともできる。また、この非接触給電の方式を利用して、車両どうしで電力の送受信を行ってもよい。さらに、車両の外装部に太陽電池を設け、停車時や走行時に蓄電システムの充電を行ってもよい。このような非接触での電力の供給には、電磁誘導方式や磁界共鳴方式を用いることができる。
また、図１８Ｃは、本発明の一態様の蓄電システムを用いた二輪車の一例である。図１８Ｃに示すスクータ８６００は、蓄電システム８６０２、サイドミラー８６０１、方向指示灯８６０３を備える。蓄電システム８６０２は、方向指示灯８６０３に電気を供給することができる。
また、図１８Ｃに示すスクータ８６００は、座席下収納８６０４に、蓄電システム８６０２を収納することができる。蓄電システム８６０２は、座席下収納８６０４が小型であっても、座席下収納８６０４に収納することができる。
また、図１９Ａは、本発明の一態様の蓄電システムを用いた電動自転車の一例である。図１９Ａに示す電動自転車８７００に、本発明の一態様の蓄電システムを適用することができる。本発明の一態様の蓄電システムは例えば、複数の蓄電池と、保護回路と、ニューラルネットワークと、を有する。
電動自転車８７００は、蓄電システム８７０２を備える。蓄電システム８７０２は、運転者をアシストするモーターに電気を供給することができる。また、蓄電システム８７０２は、持ち運びができ、図１９Ｂに自転車から取り外した状態を示している。また、蓄電システム８７０２は、本発明の一態様の蓄電システムが有する蓄電池８７０１が複数内蔵されており、そのバッテリー残量などを表示部８７０３で表示できるようにしている。また蓄電システム８７０２は、本発明の一態様の制御回路８７０４を有する。制御回路８７０４は、蓄電池８７０１の正極及び負極と電気的に接続されている。制御回路８７０４として、先の実施の形態に示す電池制御回路を用いることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
（実施の形態９）
本実施の形態では、先の実施の形態で示した蓄電システムを電子機器に実装する例を説明する。
次に、図２０Ａ及び図２０Ｂに、２つ折り可能なタブレット型端末（クラムシェル型端末も含む）の一例を示す。図２０Ａ及び図２０Ｂに示すタブレット型端末９６００は、筐体９６３０ａ、筐体９６３０ｂ、筐体９６３０ａと筐体９６３０ｂを接続する可動部９６４０、表示部９６３１、表示モード切り替えスイッチ９６２６、電源スイッチ９６２７、省電力モード切り替えスイッチ９６２５、留め具９６２９、操作スイッチ９６２８、を有する。表示部９６３１には、可撓性を有するパネルを用いることで、より広い表示部を有するタブレット端末とすることができる。図２０Ａは、タブレット型端末９６００を開いた状態を示し、図２０Ｂは、タブレット型端末９６００を閉じた状態を示している。
また、タブレット型端末９６００は、筐体９６３０ａ及び筐体９６３０ｂの内部に蓄電体９６３５を有する。蓄電体９６３５は、可動部９６４０を通り、筐体９６３０ａと筐体９６３０ｂに渡って設けられている。
表示部９６３１は、一部をタッチパネルの領域とすることができ、表示された操作キーにふれることでデータ入力をすることができる。また、タッチパネルのキーボード表示切り替えボタンが表示されている位置に指やスタイラスなどでふれることで表示部９６３１にキーボードボタン表示することができる。
また、表示モード切り替えスイッチ９６２６は、縦表示又は横表示などの表示の向きを切り替え、白黒表示やカラー表示の切り替えなどを選択できる。省電力モード切り替えスイッチ９６２５は、タブレット型端末９６００に内蔵している光センサで検出される使用時の外光の光量に応じて表示の輝度を最適なものとすることができる。タブレット型端末は光センサだけでなく、ジャイロ、加速度センサ等の傾きを検出するセンサなどの他の検出装置を内蔵させてもよい。
図２０Ｂは、タブレット型端末９６００が閉じた状態であり、タブレット型端末９６００は、筐体９６３０、太陽電池９６３３、及び本発明の一態様の蓄電システムを有する。蓄電システムは、制御回路９６３４と、蓄電体９６３５と、を有する。制御回路９６３４については、先の実施の形態に示す電池制御回路を用いることができる。
なお、タブレット型端末９６００は２つ折り可能なため、未使用時に筐体９６３０ａ及び筐体９６３０ｂを重ね合せるように折りたたむことができる。折りたたむことにより、表示部９６３１を保護できるため、タブレット型端末９６００の耐久性を高めることができる。
また、この他にも図２０Ａ及び図２０Ｂに示したタブレット型端末は、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示する機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示部に表示する機能、表示部に表示した情報をタッチ入力操作又は編集するタッチ入力機能、様々なソフトウェア（プログラム）によって処理を制御する機能、等を有することができる。
タブレット型端末の表面に装着された太陽電池９６３３によって、電力をタッチパネル、表示部、又は映像信号処理部等に供給することができる。なお、太陽電池９６３３は、筐体９６３０の片面又は両面に設けることができ、蓄電体９６３５の充電を効率的に行う構成とすることができる。
なお図２０Ａ、図２０Ｂでは、２つ折り可能なタブレット型端末に先の実施の形態に示す電池制御回路を用いた制御回路を適用する構成について説明したが、他の構成でもよい。例えば、図２０Ｃに図示するように、クラムシェル型端末であるノート型パーソナルコンピュータへの適用も可能である。図２０Ｃでは、筐体９６３０ａに表示部９６３１、筐体９６３０ｂにキーボード部９６５０を備えたノート型パーソナルコンピュータ９６０１を図示している。ノート型パーソナルコンピュータ９６０１内には、図２０Ａ、図２０Ｂで説明した制御回路９６３４と、蓄電体９６３５と、を有する。制御回路９６３４については、先の実施の形態に示す電池制御回路を用いることができる。
図２１に、他の電子機器の例を示す。図２１において、表示装置８０００は、本発明の一態様の蓄電システムを実装する電子機器の一例である。具体的に、表示装置８０００は、ＴＶ放送受信用の表示装置に相当し、筐体８００１、表示部８００２、スピーカ部８００３、二次電池８００４等を有する。本発明の一態様に係る検出システムは、筐体８００１の内部に設けられている。表示装置８０００は、商用電源から電力の供給を受けることもできるし、二次電池８００４に蓄積された電力を用いることもできる。
表示部８００２には、液晶表示装置、有機ＥＬ素子などの発光素子を各画素に備えた発光装置、電気泳動表示装置、ＤＭＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ Ｄｅｖｉｃｅ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）などの、半導体表示装置を用いることができる。
また、音声入力デバイス８００５も二次電池を用いる。音声入力デバイス８００５は、先の実施の形態に示す蓄電システムを有する。音声入力デバイス８００５は、無線通信素子の他、マイクを含むセンサ（光学センサ、温度センサ、湿度センサ、気圧センサ、照度センサ、モーションセンサなど）を複数有し、使用者の命令する言葉によって他のデバイスを操作することができ、例えば表示装置８０００の電源操作、照明装置８１００の光量調節などを行うことができる。音声入力デバイス８００５は音声で周辺機器の操作が行え、手動リモコンの代わりとなる。
また、音声入力デバイス８００５は、車輪や機械式移動手段を有しており、使用者の発声が聞こえる方向に移動し、内蔵されているマイクで正確に命令を聞き取るとともに、その内容を表示部８００８に表示する、または表示部８００８のタッチ入力操作が行える構成としている。
また、音声入力デバイス８００５は、スマートフォンなどの携帯情報端末８００９の充電ドックとしても機能させることができる。携帯情報端末８００９と音声入力デバイス８００５は、有線または無線で電力の授受を可能としている。携帯情報端末８００９は、室内においては、特に持ち運ぶ必要がなく、必要な容量を確保しつつ、二次電池に負荷がかかり劣化することを回避したいため、音声入力デバイス８００５によって二次電池の管理、メンテナンスなどを行えることが望ましい。また、音声入力デバイス８００５はスピーカ８００７及びマイクを有しているため、携帯情報端末８００９が充電中であってもハンズフリーで会話することもできる。また、音声入力デバイス８００５の二次電池の容量が低下すれば、矢印の方向に移動し、外部電源と接続された充電モジュール８０１０から無線充電によって充電を行えばよい。
また、音声入力デバイス８００５を台に載せてもよい。また、音声入力デバイス８００５を車輪や機械式移動手段を設けて所望の位置に移動させてもよく、或いは台や車輪を設けず、音声入力デバイス８００５を所望の位置、例えば床の上などに固定してもよい。
なお、表示装置には、ＴＶ放送受信用の他、パーソナルコンピュータ用、広告表示用など、全ての情報表示用表示装置が含まれる。
図２１において、据え付け型の照明装置８１００は、充電を制御するマイクロプロセッサ（ＡＰＳを含む）で制御される二次電池８１０３を用いた電子機器の一例である。具体的に、照明装置８１００は、筐体８１０１、光源８１０２、二次電池８１０３等を有する。図２１では、二次電池８１０３が、筐体８１０１及び光源８１０２が据え付けられた天井８１０４の内部に設けられている場合を例示しているが、二次電池８１０３は、筐体８１０１の内部に設けられていても良い。照明装置８１００は、商用電源から電力の供給を受けることもできるし、二次電池８１０３に蓄積された電力を用いることもできる。
なお、図２１では天井８１０４に設けられた据え付け型の照明装置８１００を例示しているが、二次電池８１０３は、天井８１０４以外、例えば側壁８１０５、床８１０６、窓８１０７等に設けられた据え付け型の照明装置に用いることもできるし、卓上型の照明装置などに用いることもできる。
また、光源８１０２には、電力を利用して人工的に光を得る人工光源を用いることができる。具体的には、白熱電球、蛍光灯などの放電ランプ、ＬＥＤや有機ＥＬ素子などの発光素子が、上記人工光源の一例として挙げられる。
図２１において、室内機８２００及び室外機８２０４を有するエアコンディショナーは、二次電池８２０３を用いた電子機器の一例である。具体的に、室内機８２００は、筐体８２０１、送風口８２０２、二次電池８２０３等を有する。図２１では、二次電池８２０３が、室内機８２００に設けられている場合を例示しているが、二次電池８２０３は室外機８２０４に設けられていても良い。或いは、室内機８２００と室外機８２０４の両方に、二次電池８２０３が設けられていても良い。エアコンディショナーは、商用電源から電力の供給を受けることもできるし、二次電池８２０３に蓄積された電力を用いることもできる。
図２１において、電気冷凍冷蔵庫８３００は、二次電池８３０４を用いた電子機器の一例である。具体的に、電気冷凍冷蔵庫８３００は、筐体８３０１、冷蔵室用扉８３０２、冷凍室用扉８３０３、二次電池８３０４等を有する。図２１では、二次電池８３０４が、筐体８３０１の内部に設けられている。電気冷凍冷蔵庫８３００は、商用電源から電力の供給を受けることもできるし、二次電池８３０４に蓄積された電力を用いることもできる。
また、電子機器が使用されない時間帯、特に、商用電源の供給元が供給可能な総電力量のうち、実際に使用される電力量の割合（電力使用率と呼ぶ）が低い時間帯において、二次電池に電力を蓄えておくことで、上記時間帯以外において電力使用率が高まるのを抑えることができる。例えば、電気冷凍冷蔵庫８３００の場合、気温が低く、冷蔵室用扉８３０２、冷凍室用扉８３０３の開閉が行われない夜間において、二次電池８３０４に電力を蓄える。そして、気温が高くなり、冷蔵室用扉８３０２、冷凍室用扉８３０３の開閉が行われる昼間において、二次電池８３０４を補助電源として用いることで、昼間の電力使用率を低く抑えることができる。
上述の電子機器の他、二次電池はあらゆる電子機器に搭載することができる。本発明の一態様により、二次電池のサイクル特性が良好となる。そのため、本発明の一態様である充電を制御するマイクロプロセッサ（ＡＰＳを含む）を本実施の形態で説明した電子機器に搭載することで、より長寿命の電子機器とすることができる。本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することが可能である。
本発明の一態様の蓄電システムを電子機器に実装する例を図２２Ａ乃至図２２Ｅに示す。本発明の一態様の蓄電システムを適用した電子機器として、例えば、テレビジョン装置（テレビ、又はテレビジョン受信機ともいう）、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機（携帯電話、携帯電話装置ともいう）、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。
図２２Ａは、携帯電話機の一例を示している。携帯電話機７４００は、筐体７４０１に組み込まれた表示部７４０２の他、操作ボタン７４０３、外部接続ポート７４０４、スピーカ７４０５、マイク７４０６などを備えている。なお、携帯電話機７４００は、本発明の一態様の蓄電システムを有する。本発明の一態様の蓄電システムは例えば、蓄電池７４０７と、先の実施の形態に示す電池制御回路と、を有する。
図２２Ｂは、携帯電話機７４００を湾曲させた状態を示している。携帯電話機７４００を外部の力により変形させて全体を湾曲させると、その内部に設けられている蓄電池７４０７も湾曲される場合がある。このような場合には、蓄電池７４０７として、可撓性を有する蓄電池を用いることが好ましい。可撓性を有する蓄電池の曲げられた状態を図２２Ｃに示す。蓄電池には制御回路７４０８が電気的に接続されている。制御回路７４０８として、先の実施の形態に示す電池制御回路を用いることができる。
また、フレキシブルな形状を備える蓄電池を、家屋やビルの内壁または外壁や、自動車の内装または外装の曲面に沿って組み込むことも可能である。
図２２Ｄは、バングル型の表示装置の一例を示している。携帯表示装置７１００は、筐体７１０１、表示部７１０２、操作ボタン７１０３、及び本発明の一態様の蓄電システムを有する。本発明の一態様の蓄電システムは例えば、蓄電池７１０４と、先の実施の形態に示す電池制御回路と、を有する。
図２２Ｅは、腕時計型の携帯情報端末の一例を示している。携帯情報端末７２００は、筐体７２０１、表示部７２０２、バンド７２０３、バックル７２０４、操作ボタン７２０５、入出力端子７２０６などを備える。
携帯情報端末７２００は、移動電話、電子メール、文章閲覧及び作成、音楽再生、インターネット通信、コンピュータゲームなどの種々のアプリケーションを実行することができる。
表示部７２０２はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、表示部７２０２はタッチセンサを備え、指やスタイラスなどで画面に触れることで操作することができる。例えば、表示部７２０２に表示されたアイコン７２０７に触れることで、アプリケーションを起動することができる。
操作ボタン７２０５は、時刻設定のほか、電源のオン、オフ動作、無線通信のオン、オフ動作、マナーモードの実行及び解除、省電力モードの実行及び解除など、様々な機能を持たせることができる。例えば、携帯情報端末７２００に組み込まれたオペレーティングシステムにより、操作ボタン７２０５の機能を自由に設定することもできる。
また、携帯情報端末７２００は、通信規格された近距離無線通信を実行することが可能である。例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。
また、携帯情報端末７２００は入出力端子７２０６を備え、他の情報端末とコネクターを介して直接データのやりとりを行うことができる。また入出力端子７２０６を介して充電を行うこともできる。なお、充電動作は入出力端子７２０６を介さずに無線給電により行ってもよい。
携帯情報端末７２００は、本発明の一態様の蓄電システムを有する。該蓄電システムは、蓄電池と、先の実施の形態に示す電池制御回路と、を有する。
携帯情報端末７２００はセンサを有することが好ましい。センサとして例えば、指紋センサ、脈拍センサ、体温センサ等の人体センサや、タッチセンサ、加圧センサ、加速度センサ、等が搭載されることが好ましい。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
（実施の形態１０）
本実施の形態は、本発明の一態様の電池制御回路が搭載されるシステムの一例について説明する。
図２３Ａは、フレキシブルなフィルムである可撓性基板８１１上に形成された半導体装置８１０を円筒形二次電池８１５に実装させた電池制御システムの概念図である。
半導体装置８１０として例えば、先の実施の形態に示す半導体装置９００を適用することができる。または半導体装置８１０として例えば、先の実施の形態に示す半導体装置９００の一部の構成要素、例えば層５８５に設けられる構成要素を適用してもよい。
本発明の一態様の電池制御システムは、円筒形二次電池８１５と、半導体装置８１０と、スイッチとを少なくとも有している。
円筒形二次電池８１５は、上面に第１の端子８１２を有し、底面に第２の端子８１３を有している。円筒形二次電池の第１の端子８１２に接続され、円筒形二次電池８１５から出力される電力を伝送する第１の伝送路は、電極８１８を介して充電制御回路の端子と電気的に接続される。また、円筒形二次電池の第２の端子８１３に接続されている第２の伝送路は、電極８１９を介して第２の伝送路を遮断するスイッチと接続されている。
図２３Ａでは、第２の伝送路を遮断するスイッチ（遮断用スイッチとも呼ぶ）が２個設けられており、ダイオードもそれぞれ接続されており、過放電、過充電、または過電流を防止するための保護回路として機能している。スイッチは、導通および遮断動作を制御しており、供給及び遮断を切り替える切替手段とも呼べる。可撓性基板８１１上に形成された第２の伝送路のもう一方の端子である第３の端子８１４は、充電器８１６やモバイル機器８１７に接続されている。
半導体装置８１０を可撓性基板８１１上に形成する作製方法は、半導体基板上に形成した後、剥離方法を用いて剥離後に可撓性基板８１１上に固定する方法を用いる。剥離方法においては、公知の技術を用いることができる。また、半導体基板上に形成した後、裏面を研磨した後、可撓性基板８１１上に固定する方法でもよい。また、レーザー光を用いて部分的に切り取った、所謂レーザーカット後、可撓性基板８１１上に固定する方法でもよい。また、直接、半導体装置８１０を可撓性基板８１１上に形成する方法でもよい。また、ガラス基板上に形成した半導体装置８１０を剥離方法を用いて剥離後に可撓性基板８１１上に固定する方法を用いる。
本実施の形態では、これらのダイオードやスイッチも可撓性基板８１１上に形成または実装させる例を示しているが、特にこの構成に限定されない。
半導体装置８１０がマイクロショートなどの異常を検知した場合には、第２の伝送路を遮断するスイッチのゲートに信号を入力することで第２の伝送路を遮断することができる。第２の伝送路を遮断すれば、充電器８１６からの電流の供給の停止、またはモバイル機器８１７への電流の供給の停止を行うことができる。また、第２の伝送路を遮断するスイッチのゲートへ印加する信号電圧をメモリ回路（酸化物半導体を用いたトランジスタを含む）で保持することで、遮断を長時間維持することができる。従って、安全性の高い充電制御システムとすることができる。
また、図２３Ｂは、円筒形二次電池８１５と、可撓性基板８１１とを貼り合わせる直前の様子を示す工程図であり、可撓性基板８１１の接触面側を示している。図２３Ｂに示すように可撓性基板８１１の接触面に円筒形二次電池８１５の胴部をあてがって転動させ、胴部の円周方向に可撓性基板８１１を巻き付け貼着する。また、可撓性基板８１１にはＹ方向に電極８１８と電極８１９を並べた配置としているが特に限定されず、一方がＸ方向にずれていてもよい。なお、動転後の図が図２３Ｃである。
円筒形二次電池８１５の胴部外周面を覆うように外装フィルムが装着されている。この外装フィルムは、二次電池内部の構造を封止するための金属缶を保護し、金属缶と絶縁性を図るために用いられる。
外装フィルムを使用せずに、円筒形二次電池８１５の外表面（端子部分を除く）が金属面である場合には、電極８１８との間、電極８１９との間に絶縁シートを間に挟むことが好ましい。電極８１８、または電極８１９は、導電性金属箔や、導電材料からなる導電性テープや、リード線であり、円筒形二次電池８１５の端子とは、半田付けや、ワイヤボンディング法などの公知の方法により接続する。また、電極８１８、または電極８１９は、充電制御回路の端子と半田付けや、ワイヤボンディング法により接続する。
図２３Ａに示すように、円筒形二次電池８１５からモバイル機器８１７に電力を供給する場合、円筒形二次電池８１５は放電状態となり、第１の端子８１２及び第２の端子８１３における電圧や電流などの挙動を半導体装置８１０で監視し、異常を検知した場合には、第２の伝送路を遮断して放電を停止する。
モバイル機器８１７は二次電池以外の構成を指しており、モバイル機器８１７にとっての電源が、円筒形二次電池８１５である。なお、モバイル機器８１７とは携帯して持ち歩ける電子機器である。
また、円筒形二次電池８１５に充電器８１６から電力を供給されて充電する場合、円筒形二次電池８１５は充電状態となり、第１の端子８１２及び第２の端子８１３における電圧や電流などの挙動を半導体装置８１０で監視し、異常を検知した場合には、第２の伝送路を遮断して充電を停止する。
充電器８１６は、外部電源と接続するアダプターを有する機器や、無線信号を用いて電力伝送を行う機器を指している。なお、充電器８１６がモバイル機器８１７に内蔵されている場合もある。
図２３では円筒形二次電池の例を示したが、異なる例として、フレキシブルなフィルムである可撓性基板９１０上に形成された半導体装置９６４を扁平形状の二次電池９６３に実装する例を図２４に示す。
半導体装置９６４は、可撓性基板９１０上に形成または固定されている。半導体装置９６４は、マイクロショートなどの異常を検出する。さらに、過充電、過放電および過電流から二次電池９６３を保護する、保護回路としての機能を有してもよい。
半導体装置９６４として例えば、先の実施の形態に示す半導体装置９００を適用することができる。または半導体装置８１０として例えば、先の実施の形態に示す半導体装置９００の一部の構成、例えば層５８５に設けられる構成を適用してもよい。
また、半導体装置９６４に加えてアンテナ及び受信回路及び整流回路を設けてもよい。アンテナを用いて二次電池９６３に非接触で充電を行うこともできる。アンテナは、コイル状に限定されず、例えば線状、板状であってもよい。また、平面アンテナ、開口面アンテナ、進行波アンテナ、ＥＨアンテナ、磁界アンテナ、誘電体アンテナ等のアンテナを用いてもよい。アンテナは、たとえば外部機器とのデータ通信を行うことができる機能を有する。アンテナを介した電池パックと他の機器との通信方式としては、ＮＦＣなど、電池パックと他の機器との間で用いることができる応答方式などを適用することができる。
図２４Ｂに示すように、接続端子９１１は、半導体装置９６４を介して、二次電池９６３が有する端子９５１および端子９５２と電気的に接続される。なお、接続端子９１１を複数設けて、複数の接続端子９１１のそれぞれを、制御信号入力端子、電源端子などとしてもよい。
電池パックは、半導体装置９６４と、二次電池９６３との間に絶縁シート層９１６を有する。絶縁シート層９１６は、例えば二次電池９６３による短絡を防止することができる機能を有する。絶縁シート層９１６としては、例えば有機樹脂フィルムや接着シートを用いることができる。
図２４Ａでは、筐体表面に絶縁シート層９１６を設け、半導体装置９６４が設けられている面を内側にして可撓性基板を固定している例を示しているが、特に限定されず、充電制御回路が形成されている面を外側にして端子９５１や端子９５２と接続を行ってもよい。ただし、その場合には接続部分が露出することとなり、静電破壊、または短絡の危険があるため注意して組み立てることとなる。
上記には可撓性基板に半導体装置９６４を設ける例を示したが、特に限定されず、同一基板上に保護回路、遮断用スイッチ、アンテナ、センサなどを設けてもよい。半導体装置９６４は、可撓性基板に形成されており、曲げることができ、且つ、二次電池のマイクロショートなどの異常を検知することができる。また、本発明の一態様の半導体装置は、二次電池の側面に設けることができ、省スペース化及び使用部品数の削減を実現することができる。
本発明の一態様の電池制御回路を備えた電子機器の例について図２５を用いて説明を行う。
掃除ロボット７０００は、二次電池、上面に配置されたディスプレイ、側面に配置された複数のカメラ、ブラシ、操作ボタン、各種センサなどを有する。図示されていないが、掃除ロボット７０００には、タイヤ、吸い込み口などが備えられている。掃除ロボット７０００は自走し、ゴミを検知し、下面に設けられた吸い込み口からゴミを吸引することができる。掃除ロボット７０００の二次電池に電気的に接続する本発明の一態様の電池制御回路を搭載した半導体装置を適用して、使用部品数を削減し、且つ、二次電池のマイクロショートなどの異常を検知することができる。
掃除ロボット７０００は、二次電池、照度センサ、マイクロフォン、カメラ、スピーカ、ディスプレイ、各種センサ（赤外線センサ、超音波センサ、加速度センサ、ピエゾセンサ、光センサ、ジャイロセンサなど）、および移動機構などを備える。掃除ロボット７０００の二次電池に本発明の一態様の電池制御回路を搭載した半導体装置を適用して、二次電池の制御および保護等を行うことができる。
マイクロフォンは、使用者の音声および環境音などの音響信号を検知する機能を有する。また、スピーカは、音声および警告音などのオーディオ信号を発する機能を有する。掃除ロボット７０００は、マイクロフォンを介して入力されたオーディオ信号を解析し、必要なオーディオ信号をスピーカから発することができる。掃除ロボット７０００において、は、マイクロフォン、およびスピーカを用いて、使用者とコミュニケーションをとることが可能である。
カメラは、掃除ロボット７０００の周囲を撮像する機能を有する。また、掃除ロボット７０００は、移動機構を用いて移動する機能を有する。掃除ロボット７０００は、カメラを用いて周囲の画像を撮像し、画像を解析して移動する際の障害物の有無などを察知することができる。
飛行体７１２０は、プロペラ、カメラ、および二次電池などを有し、自律して飛行する機能を有する。
また、飛行体７１２０の二次電池に本発明の一態様の電池制御回路を搭載した半導体装置を適用して、軽量化に加えて、二次電池の制御および保護等を行うことができる。
移動体の一例として電気自動車７１６０を示す。電気自動車７１６０は、二次電池、タイヤ、ブレーキ、操舵装置、カメラなどを有する。電気自動車７１６０の二次電池に接続する本発明の一態様の電池制御回路を搭載した半導体装置を適用して、使用部品数を削減し、且つ、二次電池のマイクロショートなどの異常を検知することができる。
なお、上述では、移動体の一例として電気自動車について説明しているが、移動体は電気自動車に限定されない。例えば、移動体としては、電車、モノレール、船、飛行体（ヘリコプター、無人航空機（ドローン）、飛行機、ロケット）なども挙げることができ、これらの移動体の二次電池に電気的に接続する本発明の一態様の電池制御回路を搭載した半導体装置を適用して、使用部品数を削減し、且つ、二次電池のマイクロショートなどの異常を検知することができる。
半導体装置８１０を備えた円筒形二次電池および／または半導体装置９６４を備えた電池パックは、スマートフォン７２１０、ＰＣ７２２０（パーソナルコンピュータ）、ゲーム機７２４０等に組み込むことができる。なお、円筒形二次電池に貼り付けられた半導体装置８１０は、図２３に示した半導体装置８１０に相当する。また、電池パックに貼り付けられた半導体装置９６４は、図２４に示した半導体装置９６４に相当する。
スマートフォン７２１０は、携帯情報端末の一例である。スマートフォン７２１０は、マイクロフォン、カメラ、スピーカ、各種センサ、および表示部を有する。電池制御回路を搭載した半導体装置によってこれら周辺機器が制御される。スマートフォン７２１０の二次電池に電気的に接続する本発明の一態様の電池制御回路を搭載した半導体装置を適用して、使用部品数を削減し、且つ、二次電池の制御および保護等を行うことができ、安全性を高めることができる。
ＰＣ７２２０はノート型ＰＣの例である。ノート型ＰＣの二次電池に電気的に接続する本発明の一態様の電池制御回路を搭載した半導体装置を適用して、使用部品数を削減し、且つ、二次電池の制御および保護等を行うことができ、安全性を高めることができる。
ゲーム機７２４０は携帯型ゲーム機の例である。ゲーム機７２６０は家庭用の据え置き型ゲーム機の例である。ゲーム機７２６０には、無線または有線でコントローラ７２６２が接続されている。コントローラ７２６２に、本発明の一態様の電池制御回路を搭載した半導体装置を適用して、使用部品数を削減し、且つ、二次電池の制御および保護等を行うことができ、安全性を高めることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
（実施の形態１１）
実施の形態１０では、フレキシブルなフィルムである可撓性基板上に形成された半導体装置を円筒形二次電池に実装させた例について説明したが、本実施の形態では、他の一例として、外装体内部に半導体装置を電池層と積層する例について説明する。なお、図２８において、図１７と同一の箇所には同じ符号を用いて説明する。
図２８に示すように電池パック５３１は、角型の外装体を用いて、二次電池５１３が封入されている。また、角型の外装体にはラベル５０９が貼られている。
複数の電池層６１４が積層されており、そのうちの一層の電池層６１４が回路層６１５と積層され、それらがまとめて外装体に封入されている。また、角型の外装体内には電解液を封入してもよいし、ポリマーゲル電解質を用いてもよい。
回路層６１５は、電池制御回路、電池保護回路などを含み、それらの回路はＯＳトランジスタなどで構成されており、薄膜化されているため、電池層６１４と積層することができる。例えば、回路層６１５は、電池層６１４の異常を検知した場合には、層ごとに電流供給を遮断することもできる。従って、一層が異常（例えばショート）が生じても、その一層のみを遮断し、他の層を使用継続することもできる。
電池層６１４は、正極またはセパレータまたは固体電解質または負極から選ばれる少なくとも一または複数の積層体を指している。なお、正極または負極は集電体に活物質を形成したものである。
電池層６１４は、固体電解質を用いる場合、セパレータやスペーサの設置が不要となる。また、電池全体を固体化できるため、漏液のおそれがなくなり安全性が飛躍的に向上する。
図２８に示す電池パック５３１は、オフ電流の小さいＯＳトランジスタ電池制御回路、電池保護回路などを内蔵しているため、マイクロショート検出などの異常検知が可能である。回路層６１５は、電池制御回路、電池保護回路などを含み、それらの回路はＯＳトランジスタなどで構成されており、薄膜化及び軽量化されているため、電池ユニットのデザイン性向上や、周辺回路の小型化ができる。
また、図２８に示す電池パック５３１は、保護回路などを内蔵しているため、保護回路のためのプリント基板を不要とすることができる。
また、本実施の形態は、他の実施の形態と自由に組わせることができる。
（実施の形態１２）
本実施の形態では、基板上に本発明の一態様の蓄電装置の構成を設ける一例を示す。
図２９には、シリコンウェハ上に形成されたＯＳトランジスタを用いて構成した本発明の一態様の電池制御回路の機能を有するチップの写真を示す。チップのサイズは一辺が４ｍｍである。図２９に示す電池制御回路はシリコンウェハ上に形成されているが、シリコンウェハから剥離してフィルム上に転置する場合には、フレキシブルな回路の構成とすることができる。
図２９に示す電池制御回路は、先の実施の形態に示す例を適用した構成を有し、セルバランス回路、過充電および過放電を検出する機能を有する回路、過電流を検出する機能を有する回路、マイクロショートを検出する機能を有する回路、温度センサ、デコーダ、等を有する。
本実施の形態は、他の実施の形態などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
（本明細書等の記載に関する付記）
以上の実施の形態、及び実施の形態における各構成の説明について、以下に付記する。
各実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて、本発明の一態様とすることができる。また、１つの実施の形態の中に、複数の構成例が示される場合は、構成例を適宜組み合わせることが可能である。
なお、ある一つの実施の形態の中で述べる内容（一部の内容でもよい）は、その実施の形態で述べる別の内容（一部の内容でもよい）、及び／又は、一つ若しくは複数の別の実施の形態で述べる内容（一部の内容でもよい）に対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを行うことが出来る。
なお、実施の形態の中で述べる内容とは、各々の実施の形態において、様々な図を用いて述べる内容、又は明細書に記載される文章を用いて述べる内容のことである。
なお、ある一つの実施の形態において述べる図（一部でもよい）は、その図の別の部分、その実施の形態において述べる別の図（一部でもよい）、及び／又は、一つ若しくは複数の別の実施の形態において述べる図（一部でもよい）に対して、組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
また本明細書等において、ブロック図では、構成要素を機能毎に分類し、互いに独立したブロックとして示している。しかしながら実際の回路等においては、構成要素を機能毎に切り分けることが難しく、一つの回路に複数の機能が係わる場合や、複数の回路にわたって一つの機能が関わる場合があり得る。そのため、ブロック図のブロックは、明細書で説明した構成要素に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
また、図面において、大きさ、層の厚さ、又は領域は、説明の便宜上任意の大きさに示したものである。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお図面は明確性を期すために模式的に示したものであり、図面に示す形状又は値などに限定されない。例えば、ノイズによる信号、電圧、若しくは電流のばらつき、又は、タイミングのずれによる信号、電圧、若しくは電流のばらつきなどを含むことが可能である。
本明細書等において、トランジスタの接続関係を説明する際、「ソース又はドレインの一方」（又は第１電極、又は第１端子）、ソースとドレインとの他方を「ソース又はドレインの他方」（又は第２電極、又は第２端子）という表記を用いる。これは、トランジスタのソースとドレインは、トランジスタの構造又は動作条件等によって変わるためである。なおトランジスタのソースとドレインの呼称については、ソース（ドレイン）端子や、ソース（ドレイン）電極等、状況に応じて適切に言い換えることができる。
また、本明細書等において「電極」や「配線」の用語は、これらの構成要素を機能的に限定するものではない。例えば、「電極」は「配線」の一部として用いられることがあり、その逆もまた同様である。さらに、「電極」や「配線」の用語は、複数の「電極」や「配線」が一体となって形成されている場合なども含む。
また、本明細書等において、電圧と電位は、適宜言い換えることができる。電圧は、基準となる電位からの電位差のことであり、例えば基準となる電位をグラウンド電圧とすると、電圧を電位に言い換えることができる。グラウンド電位は必ずしも０Ｖを意味するとは限らない。なお電位は相対的なものであり、基準となる電位によっては、配線等に与える電位を変化させる場合がある。
なお本明細書等において、「膜」、「層」などの語句は、場合によっては、または、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能な場合がある。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能な場合がある。
本明細書等において、スイッチとは、導通状態（オン状態）、または、非導通状態（オフ状態）になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有するものをいう。または、スイッチとは、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有するものをいう。
本明細書等において、チャネル長とは、例えば、トランジスタの上面図において、半導体（またはトランジスタがオン状態のときに半導体の中で電流の流れる部分）とゲートとが重なる領域、またはチャネルが形成される領域における、ソースとドレインとの間の距離をいう。
本明細書等において、チャネル幅とは、例えば、半導体（またはトランジスタがオン状態のときに半導体の中で電流の流れる部分）とゲート電極とが重なる領域、またはチャネルが形成される領域における、ソースとドレインとが向かい合っている部分の長さをいう。
本明細書等において、ＡとＢとが接続されている、とは、ＡとＢとが直接接続されているものの他、電気的に接続されているものを含むものとする。ここで、ＡとＢとが電気的に接続されているとは、ＡとＢとの間で、何らかの電気的作用を有する対象物が存在するとき、ＡとＢとの電気信号の授受を可能とするものをいう。
：９０：ＮＡＮＤ回路、１００：蓄電装置、１０１：電池制御回路、１１３：コンパレータ、１１４：記憶素子、１２０：組電池、１２１：電池セル、１２１（１）：電池セル、１２１（２）：電池セル、１２１（３）：電池セル、１２１（ｋ）：電池セル、１２１（ｎ）：電池セル、１６１：容量素子、１６２：トランジスタ、１１９：電圧生成回路、１３０：セルバランス回路、１３０（１）：セルバランス回路、１３０（２）：セルバランス回路、１３０（ｋ）：セルバランス回路、１３０（ｎ）：セルバランス回路、１３１：抵抗素子、１３２：トランジスタ、１４０：トランジスタ、１５０：トランジスタ、１６０：デコーダ、１７２：トランジスタ、１８２：論理回路、１８５：検出回路、１８５ｃ：回路、１８５ｄ：回路、１８５（１）：検出回路、１８５（２）：検出回路、１８５（ｋ）：検出回路、１８５（ｎ）：検出回路、１８６：検出回路、１９０：デジタルアナログ変換回路

Claims (9)

  1. ｎ組のセルバランス回路を有し、
    前記ｎ組のセルバランス回路は、一の二次電池にそれぞれ対応し、
    前記ｎ組のセルバランス回路のそれぞれは、トランジスタと、比較回路と、容量素子と、を有し、
    前記ｎ組のセルバランス回路のそれぞれにおいて、前記トランジスタのチャネル形成領域はインジウムを含む金属酸化物を有し、
    前記ｎ組のセルバランス回路のそれぞれにおいて、前記トランジスタのソースおよびドレインの一方には前記比較回路の反転入力端子と、前記容量素子の一方の電極と、が電気的に接続され、
    前記ｎ組のセルバランス回路のそれぞれにおいて、
    前記容量素子の前記他方の電極に接地電位が与えられる第１のステップと、
    前記トランジスタがオン状態となる第２のステップと、
    前記容量素子の前記一方の電極に、第１の電位が与えられる第３のステップと、
    前記トランジスタがオフ状態となる第４のステップと、
    前記容量素子の前記他方の電極と、それぞれの前記セルバランス回路に対応する前記二次電池の負極とが電気的に接続される第５のステップと、
    前記容量素子の前記一方の電極に、前記第１の電位と、それぞれの前記セルバランス回路に対応する前記二次電池の負極の電位の和が与えられる第６のステップと、
    前記比較回路の出力から、それぞれの前記セルバランス回路に対応する前記二次電池の充電を制御する信号が出力される第７のステップと、を有する半導体装置の動作方法。
  2. 請求項１において、
    前記ｎ組のセルバランス回路のそれぞれにおいて、前記比較回路の非反転入力端子には、それぞれの前記セルバランス回路に対応する前記二次電池の正極が電気的に接続される半導体装置の動作方法。
  3. 第１の比較回路と、第２の比較回路と、第３の比較回路と、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第３のトランジスタと、第１の容量素子と、第２の容量素子と、第３の容量素子と、選択回路と、を有し、
    前記第１の比較回路の出力端子から二次電池の充電を制御する第１の信号が出力され、
    前記第２の比較回路の出力端子から前記二次電池の充電を制御する第２の信号が出力され、
    前記第３の比較回路の出力端子から前記二次電池の放電を制御する第３の信号が出力され、
    前記第１のトランジスタのソースおよびドレインの一方、前記第２のトランジスタのソースおよびドレインの一方および前記第３のトランジスタのソースおよびドレインの一方は互いに電気的に接続され、
    前記第１のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、前記第１の比較回路の反転入力端子と、前記第１の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、
    前記第２のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、前記第２の比較回路の反転入力端子と、前記第２の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、
    前記第３のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、前記第３の比較回路の非反転入力端子と、前記第３の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、
    前記選択回路は、２つの入力端子および１つの出力端子を有し、
    前記選択回路の前記出力端子は、前記第１の容量素子の他方の電極と、前記第２の容量素子の他方の電極と、前記第３の容量素子の他方の電極と、に電気的に接続され、
    前記非反転入力端子および前記反転入力端子の一方は、前記二次電池の負極と電気的に接続される半導体装置。
  4. 請求項３において、
    前記二次電池の正極には、前記第１の比較回路の非反転入力端子と、前記第２の比較回路の非反転入力端子と、前記第３の比較回路の反転入力端子と、が電気的に接続される半導体装置。
  5. 請求項３または請求項４において、
    前記第１のトランジスタ、前記第２のトランジスタおよび前記第３のトランジスタのそれぞれのチャネル形成領域は、インジウムを含む金属酸化物を有する半導体装置。
  6. 第１の比較回路と、第２の比較回路と、第３の比較回路と、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第３のトランジスタと、第１の容量素子と、第２の容量素子と、第３の容量素子と、を有し、
    前記第１のトランジスタのソースおよびドレインの一方、前記第２のトランジスタのソースおよびドレインの一方および前記第３のトランジスタのソースおよびドレインの一方は互いに電気的に接続され、
    前記第１のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、前記第１の比較回路の反転入力端子と、前記第１の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、
    前記第２のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、前記第２の比較回路の反転入力端子と、前記第２の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、
    前記第３のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、前記第３の比較回路の非反転入力端子と、前記第３の容量素子の一方の電極と、に電気的に接続され、
    前記第１の容量素子の前記他方の電極、前記第２の容量素子の前記他方の電極および前記第３の容量素子の前記他方の電極に接地電位が与えられる第１のステップと、
    前記第１のトランジスタと、前記第２のトランジスタと、前記第３のトランジスタと、がオン状態となる第２のステップと、
    前記第１の容量素子の前記一方の電極に第１の電位が与えられる第３のステップと、
    前記第１のトランジスタがオフ状態となる第４のステップと、
    前記第２の容量素子の前記一方の電極に第２の電位が与えられる第５のステップと、
    前記第２のトランジスタがオフ状態となる第６のステップと、
    前記第３の容量素子の前記一方の電極に第３の電位が与えられる第７のステップと、
    前記第３のトランジスタがオフ状態となる第８のステップと、を有する半導体装置の動作方法。
  7. 請求項６において、
    前記第３のステップの後、前記第１の容量素子の前記他方の電極は二次電池の負極と電気的に接続され、前記第１の容量素子の前記一方の電極に前記第１の電位と前記二次電池の前記負極の電位の和が与えられ、前記第１の比較回路から前記二次電池の充電を制御する信号が出力される半導体装置の動作方法。
  8. 請求項６において、
    前記第５のステップの後、前記第２の容量素子の前記他方の電極は二次電池の負極と電気的に接続され、前記第２の容量素子の前記一方の電極に前記第２の電位と前記二次電池の前記負極の電位の和が与えられ、前記第２の比較回路から前記二次電池の放電を制御する信号が出力される半導体装置の動作方法。
  9. 請求項６において、
    前記第７のステップの後、前記第３の容量素子の前記他方の電極は二次電池の負極と電気的に接続され、前記第３の容量素子の前記一方の電極に前記第３の電位と前記二次電池の前記負極の電位の和が与えられ、前記第３の比較回路から前記二次電池の放電を制御する信号が出力される半導体装置の動作方法。
JP2020567662A 2019-01-24 2020-01-14 半導体装置及び半導体装置の動作方法 Active JP7463298B2 (ja)

Applications Claiming Priority (11)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019010581 2019-01-24
JP2019010581 2019-01-24
JP2019012339 2019-01-28
JP2019012339 2019-01-28
JP2019019478 2019-02-06
JP2019019478 2019-02-06
JP2019219308 2019-12-04
JP2019219308 2019-12-04
JP2019221555 2019-12-06
JP2019221555 2019-12-06
PCT/IB2020/050244 WO2020152541A1 (ja) 2019-01-24 2020-01-14 半導体装置及び半導体装置の動作方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2020152541A1 JPWO2020152541A1 (ja) 2020-07-30
JPWO2020152541A5 JPWO2020152541A5 (ja) 2023-01-10
JP7463298B2 true JP7463298B2 (ja) 2024-04-08

Family

ID=71736255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020567662A Active JP7463298B2 (ja) 2019-01-24 2020-01-14 半導体装置及び半導体装置の動作方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US12034322B2 (ja)
JP (1) JP7463298B2 (ja)
KR (1) KR20210119462A (ja)
CN (1) CN113302778A (ja)
TW (1) TWI812830B (ja)
WO (1) WO2020152541A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20210242690A1 (en) * 2018-08-31 2021-08-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and operating method of semiconductor device
KR102550988B1 (ko) * 2021-03-29 2023-07-04 누보톤 테크놀로지 재팬 가부시키가이샤 반도체 장치, 전지 보호 회로, 및, 파워 매니지먼트 회로
JP2024531236A (ja) * 2021-08-26 2024-08-29 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． 測定レシピを決定するための方法及び関連する機器
CN114737199B (zh) * 2022-03-28 2023-06-27 成都泰美克晶体技术有限公司 一种sc圆片腐蚀清洗系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070298753A1 (en) 2006-06-22 2007-12-27 Tom Tary Rechargeable cellular telephone
JP2012016114A (ja) 2010-06-30 2012-01-19 Hitachi Koki Co Ltd 電池パック及びそれを用いた電動工具
JP2012090474A (ja) 2010-10-21 2012-05-10 Hitachi Vehicle Energy Ltd 電池システム
JP2017022928A (ja) 2015-07-14 2017-01-26 株式会社半導体エネルギー研究所 電池管理回路、蓄電装置、及び電子機器

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57206238A (en) 1981-06-10 1982-12-17 Nihon Rika Kogyo Kk Electric amount meter with charge control
JP2005235315A (ja) 2004-02-19 2005-09-02 Elpida Memory Inc 昇圧回路
JP4400536B2 (ja) 2004-12-27 2010-01-20 日産自動車株式会社 組電池の容量調整装置および容量調整方法
TWI834568B (zh) 2006-09-29 2024-03-01 日商半導體能源研究所股份有限公司 半導體裝置
JP5815195B2 (ja) 2008-09-11 2015-11-17 ミツミ電機株式会社 電池状態検知装置及びそれを内蔵する電池パック
KR101726724B1 (ko) 2009-01-14 2017-04-13 미쓰미덴기가부시기가이샤 보호감시 회로, 전지팩, 2차전지 감시 회로, 및 보호 회로
JP5434168B2 (ja) 2009-03-17 2014-03-05 株式会社リコー 二次電池の保護用半導体装置およびそれを用いたバッテリパックならびに電子機器
JP2010246225A (ja) 2009-04-03 2010-10-28 Sony Corp 電池パックおよび充電方法
JP2012208120A (ja) * 2011-03-17 2012-10-25 Ricoh Co Ltd 二次電池の保護用半導体装置
US9105351B2 (en) 2011-11-09 2015-08-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor memory device including amplifier circuit
JP5975907B2 (ja) 2012-04-11 2016-08-23 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
US20170063112A1 (en) 2015-08-31 2017-03-02 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Power storage device with monitoring ic
JP7309717B2 (ja) 2018-08-03 2023-07-18 株式会社半導体エネルギー研究所 二次電池の異常検知システム
US11531362B2 (en) 2018-08-10 2022-12-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Amplifier circuit, latch circuit, and sensing device
US20210242690A1 (en) 2018-08-31 2021-08-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and operating method of semiconductor device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070298753A1 (en) 2006-06-22 2007-12-27 Tom Tary Rechargeable cellular telephone
JP2012016114A (ja) 2010-06-30 2012-01-19 Hitachi Koki Co Ltd 電池パック及びそれを用いた電動工具
JP2012090474A (ja) 2010-10-21 2012-05-10 Hitachi Vehicle Energy Ltd 電池システム
JP2017022928A (ja) 2015-07-14 2017-01-26 株式会社半導体エネルギー研究所 電池管理回路、蓄電装置、及び電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
CN113302778A (zh) 2021-08-24
WO2020152541A1 (ja) 2020-07-30
US20220094177A1 (en) 2022-03-24
JPWO2020152541A1 (ja) 2020-07-30
KR20210119462A (ko) 2021-10-05
TW202105822A (zh) 2021-02-01
TWI812830B (zh) 2023-08-21
US12034322B2 (en) 2024-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7463298B2 (ja) 半導体装置及び半導体装置の動作方法
US20230100524A1 (en) Semiconductor device, power storage device, battery management circuit, electronic component, vehicle, and electronic device
JP7405763B2 (ja) 蓄電装置及び蓄電装置の動作方法
JP7330986B2 (ja) 半導体装置及び半導体装置の動作方法
JP2024114732A (ja) 半導体装置
JP2022119979A (ja) 電池保護回路、及び、蓄電装置
US11988720B2 (en) Semiconductor device and battery pack
JP7472037B2 (ja) 電池保護回路、蓄電装置、及び電気機器
US11799430B2 (en) Semiconductor device and method for operating semiconductor device
WO2021191736A1 (ja) 蓄電装置および電子機器
WO2022049455A1 (ja) 二次電池の制御回路および電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221226

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20221226

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240305

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240327

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7463298

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150