JP7460889B2 - 温度測定装置及び温度測定方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係る温度測定装置及び温度測定方法について説明するに先立ち、上記特許文献1に開示されている2色放射温度計を用いた更なる検討内容について、図1A~図4を参照しながら説明する。
図1A及び図1Bは、2色放射温度計に発生する、温度測定値が不安定となって振動するハンチング現象について、説明するためのグラフ図である。図2は、光検出器のバラツキで生じる測温誤差について説明するためのグラフ図である。図3は、黒体炉温度と2色放射温度計の測温値とのバラツキの一例を示したグラフ図である。図4は、光路上で熱放射光が減衰する場合の測定下限温度の推移の一例を示したグラフ図である。
以下では、まず、図5A及び図5Bを参照しながら、本発明の実施形態に係る温度測定装置10の全体構成について説明する。図5A及び図5Bは、本実施形態に係る温度測定装置10の全体的な構成の一例を示した説明図である。
続いて、図6を参照しながら、本実施形態に係る測定部101の構成例について、詳細に説明する。図6は、本実施形態に係る温度測定装置が備える測定部の構成の一例を模式的に示した説明図である。
次に、図7を参照しながら、本実施形態に係る演算処理部103の構成例について説明する。図7は、本実施形態に係る演算処理部103の構成例を示したブロック図である。
続いて、図11を参照しながら、本実施形態に係る温度測定装置10で実施される温度測定方法の流れの一例について、簡単に説明する。図11は、本実施形態に係る温度測定方法の流れの一例を示した流れ図である。
次に、図12を参照しながら、本実施形態に係る温度測定装置10が備える演算処理部103のハードウェア構成について、詳細に説明する。図12は、本実施形態に係る演算処理部103のハードウェア構成を説明するためのブロック図である。
101 測定部
103 演算処理部
105 記憶部
111 受光部
113 検出部
121 受光レンズ
123,151 接続カプラ
153 ビームスプリッタ
155a,155b 光学フィルタ
157a,157b 集光レンズ
159a,159b センサ
171 測定制御部
173 データ取得部
175 温度算出部
177 監視部
179 結果出力部
181 表示制御部
Claims (3)
- 2色放射測温を用いて、測定対象物の温度を測定する温度測定装置において、
近赤外帯域の分光透過率に波長依存性がある吸収体が、前記測定対象物までの光路上に存在し得る状態で、前記測定対象物からの熱放射光を受光する受光部と、
前記受光部で受光した前記熱放射光の分光放射輝度を、第1検出素子を用いて第1の波長で検出して第1輝度信号データを生成し、前記分光放射輝度を、第2検出素子を用いて前記第1の波長とは異なる波長であって前記吸収体の前記分光透過率が前記第1の波長と同一となる第2の波長で検出して第2輝度信号データを生成する、検出部と、
前記第1輝度信号データと前記第2輝度信号データとの比から、前記測定対象物の温度を算出する温度算出部を有する、演算処理部と、
を備え、
前記演算処理部は、
前記測定対象物の温度の測定において許容できる下限温度に対応した、閾値出力信号の値を記憶する記憶部と、
前記第1輝度信号データ及び前記第2輝度信号データの少なくとも何れか一方が、前記閾値出力信号の値以下となった場合に、前記測定対象物の温度が正常に測定されていないと判断する監視部と、
を備え、
前記閾値出力信号の値は、
予め、既知の温度を有する熱源の温度を変えながら前記熱源の温度を算出し、前記既知の温度と前記算出した前記熱源の温度とから、精度上許容できる最大限の測温誤差と前記温度算出部で算出した温度の測定誤差とが一致する温度を特定しておき、
前記第1輝度信号データと前記第2輝度信号データの中で、前記特定した温度における前記第1輝度信号データと前記第2輝度信号データのうち値が小さい方の値である、温度測定装置。 - 前記吸収体は、水、油脂、溶液、ガラス又は樹脂の少なくとも何れか一つである、請求項1に記載の温度測定装置。
- 2色放射測温を用いて、測定対象物の温度を測定する温度測定方法において、
受光部を用い、近赤外帯域の分光透過率に波長依存性がある吸収体が、前記測定対象物までの光路上に存在し得る状態で、前記測定対象物からの熱放射光を受光する受光ステップと、
前記受光部で受光した前記熱放射光の分光放射輝度を、第1検出素子を用いて第1の波長で検出して第1輝度信号データを生成し、前記分光放射輝度を、第2検出素子を用いて前記第1の波長とは異なる波長であって前記吸収体の前記分光透過率が前記第1の波長と同一となる第2の波長で検出して第2輝度信号データを生成する、検出ステップと、
温度算出部を用い、前記第1輝度信号データと前記第2輝度信号データとの比から、前記測定対象物の温度を算出する、演算処理ステップと、
を備え、
前記演算処理ステップは、
前記測定対象物の温度の測定において許容できる下限温度に対応した、閾値出力信号の値を記憶する記憶ステップと、
前記第1輝度信号データ及び前記第2輝度信号データの少なくとも何れか一方が、前記閾値出力信号の値以下となった場合に、前記測定対象物の温度が正常に測定されていないと判断する監視ステップと、
を備え、
前記閾値出力信号の値は、
予め、既知の温度を有する熱源の温度を変えながら前記熱源の温度を算出し、前記既知の温度と前記算出した前記熱源の温度とから、精度上許容できる最大限の測温誤差と前記温度算出部で算出した温度の測定誤差とが一致する温度を特定しておき、
前記第1輝度信号データと前記第2輝度信号データの中で、前記特定した温度における前記第1輝度信号データと前記第2輝度信号データのうち値が小さい方の値である、温度測定方法。
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