JP7458910B2 - デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係るデバイスの製造方法について、図面に基づいて説明する。まず、実施形態の加工対象である光デバイスウェーハ1の構成について説明する。図1は、実施形態に係るデバイスの製造方法の加工対象の光デバイスウェーハ1の一例を示す斜視図である。図2は、図1に示す光デバイスウェーハ1の断面図である。光デバイスウェーハ1は、エピタキシー基板10と、バッファ層20と、光デバイス層30と、を含む。なお、図2は、実施形態の説明のため、実際よりも光デバイスウェーハ1に対してバッファ層20および光デバイス層30を大きく模式的に示しており、以降の図面についても同様である。
図4は、図2に示すテープ貼着ステップ101の一例を示す斜視図である。テープ貼着ステップ101は、光デバイスウェーハ1の光デバイス層30の表面33にテープ40を貼付するステップである。
図5は、図2に示す分割起点形成ステップ102の一例を示す斜視図である。図6は、図2に示す分割起点形成ステップ102の一状態を一部断面で示す側面図である。分割起点形成ステップ102は、光デバイス層30に対して透過性を有する波長のレーザービーム50を光デバイス層30の内部に集光点51を位置付けて照射して分割起点を形成するステップである。分割起点形成ステップ102は、テープ貼着ステップ101の前または後に行われる。実施形態の分割起点形成ステップ102は、テープ貼着ステップ101の後に行われる。
波長 :1064nm
繰り返し周波数 :10kHz
平均出力 :0.1W
送り速度 :100mm/s
スポット径 :0.5~3μm
図7は、図2に示すバッファ層破壊ステップ103の一状態を一部断面で示す側面図である。バッファ層破壊ステップ103は、光デバイスウェーハ1のエピタキシー基板10の裏面12側からエピタキシー基板10に対しては透過性を有しバッファ層20に対しては吸収性を有する波長のレーザービーム60を照射し、バッファ層20を破壊するステップである。バッファ層破壊ステップ103は、テープ貼着ステップ101および分割起点形成ステップ102の後に行われる。
波長 :257nm
繰り返し周波数 :50~200kHz
平均出力 :0.1~2W
スポット径 :10~50μm
図8は、図2に示す剥離ステップ104の一状態を一部断面で示す側面図である。剥離ステップ104は、エピタキシー基板10を光デバイス層30から剥離するステップである。剥離ステップ104は、バッファ層破壊ステップ103の後に行われる。
図9は、図2に示す分割ステップ105の一状態を一部断面で示す側面図である。図10は、図2に示す分割ステップ105の図9の後の一状態を一部断面で示す側面図である。分割ステップ105は、テープ40に対して外力を付与することで光デバイス層30を分割起点に沿って分割するステップである。分割ステップ105は、剥離ステップ104の後に行われる。
次に、変形例に係るデバイスの製造方法を説明する。図11は、変形例に係るデバイスの製造方法の流れを示すフローチャートである。変形例のデバイスの製造方法は、分割起点形成ステップ201と、テープ貼着ステップ202と、バッファ層破壊ステップ203と、剥離ステップ204と、分割ステップ205と、を含む。
図12は、図11に示す分割起点形成ステップ201の一状態を一部断面で示す側面図である。分割起点形成ステップ201は、実施形態の分割起点形成ステップ102と同様に、光デバイス層30に対して透過性を有する波長のレーザービーム50を光デバイス層30の内部に集光点51を位置付けて照射して分割起点を形成するステップである。変形例の分割起点形成ステップ201は、テープ貼着ステップ202の前に行われる。
変形例のテープ貼着ステップ202は、光デバイス層30の表面33にテープ40を貼付する時点で、光デバイス層30にシールドトンネル36が既に形成されていることを除いて、実施形態のテープ貼着ステップ101と同様の手順であるため、説明を省略する。また、変形例のバッファ層破壊ステップ203、剥離ステップ204、および分割ステップ205は、実施形態のバッファ層破壊ステップ103、剥離ステップ104、および分割ステップ105と同様の手順であるため、説明を省略する。
10 エピタキシー基板
11 表面
12 裏面
20 バッファ層
30 光デバイス層
31 n型窒化ガリウム半導体層
32 p型窒化ガリウム半導体層
33 表面
34 ストリート
35 LEDデバイス
36 シールドトンネル(分割起点)
40 テープ
50、60 レーザービーム
51、61 集光点
Claims (1)
- エピタキシー基板の表面にバッファ層を介して光デバイス層が積層された光デバイスウェーハの光デバイス層を移設部材に移し替えてLEDデバイスを製造するデバイスの製造方法であって、
該光デバイスウェーハの光デバイス層の表面に伸縮性を有するテープを貼着するテープ貼着ステップと、
該テープ貼着ステップの前または後に、該光デバイス層に対して透過性を有する波長のレーザービームを該光デバイス層の内部に集光点を位置付けて照射して分割起点を形成する分割起点形成ステップと、
該テープ貼着ステップおよび該分割起点形成ステップの後に、該光デバイスウェーハのエピタキシー基板の裏面側から該エピタキシー基板に対しては透過性を有しバッファ層に対しては吸収性を有する波長のレーザービームを照射し、該バッファ層を破壊するバッファ層破壊ステップと、
該バッファ層破壊ステップの後に、該エピタキシー基板を該光デバイス層から剥離する剥離ステップと、
該剥離ステップの後に、該テープに対して外力を付与することで該光デバイス層を分割起点に沿って分割する分割ステップと、
を含むことを特徴とする、デバイスの製造方法。
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