JP7458035B2 - モジュール検査方法、及び、慣性センサ - Google Patents

Description

本開示は、一般にモジュール検査方法、及び、慣性センサに関し、より詳細には、慣性センサを組み込んだモジュールの検査方法、及び、モジュール検査方法のための慣性センサに関する。

従来、慣性センサを組み込んだモジュールの感度を検査するための方法として、慣性力を用いる検査方法と、疑似電気信号を用いる検査方法が知られている。慣性力を用いる検査方法では、検査装置を用いて慣性力をモジュールに作用させ、モジュールから得た感度情報を検査する。一方、疑似電気信号を用いた検査方法では、例えば、特許文献１に開示されているような慣性センサの自己診断機能を利用して感度情報を得る。

特開２０１０－１７５３９３号公報

しかしながら、慣性センサに対してモジュールは大きくなる。例えば、慣性センサは一般に数ミリ角程度であるのに対してモジュールは一般に１０ｃｍ角以上と大きさが異なる。したがって、慣性力を用いた検査をモジュールに対して行うことは、検査装置の大型化を招きコスト増大につながる。一方で、疑似電気信号を用いた検査では、疑似電気信号の精度が検査の精度に影響するため、検査の精度向上が難しい。

本開示は、上記課題を鑑みてなされたものであり、慣性力を用いることなく検査を高精度に行える、モジュール検査方法、及び、慣性センサを提供することを目的とする。

本開示の一態様に係るモジュール検査方法は、慣性センサを組み込んだモジュールのモジュール検査方法である。前記モジュール検査方法では、前記慣性センサの所定の慣性力に対応するセンサ感度情報を取得する。前記モジュール検査方法では、前記モジュールに組み込まれた前記慣性センサに対してモジュール疑似電気信号を印加して、前記所定の慣性力に対応するモジュール感度情報を得る。前記モジュール検査方法では、前記モジュール感度情報と前記センサ感度情報とを比較する。前記モジュール検査方法では、前記モジュール感度情報と前記センサ感度情報との比較結果を用いて前記モジュールを検査する。前記センサ感度情報は、互いに異なる複数の温度環境にそれぞれ対応する複数の感度情報を含む。前記モジュール検査方法では、前記モジュール感度情報を得る処理及び前記モジュール感度情報と前記センサ感度情報とを比較する処理を、前記複数の温度環境のそれぞれについて行う。

本開示の一態様に係る慣性センサは、本開示の一態様に係るモジュール検査方法のための慣性センサであって、前記センサ感度情報を記憶する記憶部を備える。

本開示の一態様に係るモジュール検査方法、及び、慣性センサによれば、慣性力を用いることなく検査を高精度に行うことができる。

図１は、実施の形態に係るモジュールの模式外観図である。 図２は、実施の形態に係る慣性センサがセンサ検査装置に取り付けられた状態を示す模式図である。 図３Ａは、実施の形態に係る慣性センサの論理ブロック図である。図３Ｂは、実施の形態に係るＭＥＭＳ部の模式図である。 図４は、実施の形態に係るセンサ疑似電気信号とセンサ応答との関係を示すタイムチャートである。 図５Ａは、センサ疑似信号が慣性センサに出力されていない場合のＭＥＭＳ部の模式図である。図５Ｂは、ｘ軸の正方向の慣性力に対応するセンサ疑似信号が慣性センサに出力された際のＭＥＭＳ部の状態を示す模式図である。図５Ｃは、ｘ軸の負方向の慣性力に対応するセンサ疑似信号が慣性センサに出力された際のＭＥＭＳ部の状態を示す模式図である。 図６は、実施の形態に係る慣性センサの検査方法を示すフローチャートである。 図７は、実施の形態に係るモジュールの検査方法を示すフローチャートである。

≪実施の形態≫
以下、図面を用いて本開示に係るモジュール１０の検査方法について説明する。

＜構成＞
１．モジュールの概要
図１は、実施の形態に係るモジュール１０の模式外観図である。実施の形態に係る検査方法の対象となるモジュール１０は、例えば、慣性センサ５を備える回路基板である。具体的には、自動車用の車載センサ基板、携帯情報端末のジャイロセンサ基板、カメラ用の手振れ検知センサ基板、産業用ロボットやトラクタなどのセンサ基板が挙げられる。モジュール１０は、例えば、１０ｃｍ角から２０ｃｍ角程度の外形寸法を有する、所定の形状の回路基板である。なお、モジュール１０はこれらに限定されず、装置や製品の構成要素であって、慣性センサ５を備えていれば任意の構成であってよい。

２．モジュール検査装置及びセンサ検査装置の概要
図１は、モジュール１０がモジュール検査装置４０と接続された状態を示している。モジュール検査装置４０は、モジュール１０と通信するためのインターフェース４１を有している。モジュール検査装置４０は、後述するモジュール疑似電気信号をモジュール１０に出力し、後述するセンサ応答を取得してモジュール感度情報を生成する。詳しくは後述する。モジュール検査装置４０は、例えば、コンピュータとソフトウェアとの組み合わせで実現される。

図２は、慣性センサ５がセンサ検査装置３０に取り付けられた状態を示す模式図である。センサ検査装置３０としては、慣性センサ５を検査するための公知の検査装置を用いることができる。センサ検査装置３０は、慣性センサ５を保持するセンサ台３１を有している。センサ台３１は、慣性センサ５とセンサ検査装置３０とが通信するためのインターフェースを有している。また、センサ台３１は、慣性センサ５の姿勢とセンサ台３１の姿勢とが連動するように慣性センサ５を固定する。したがって、可動部３２によってセンサ台３１が姿勢を変化させることで、連動して慣性センサ５の姿勢も変化する。すなわち、センサ台３１は慣性センサ５に作用する慣性力を制御する。センサ検査装置３０は、センサ台３１の姿勢を制御して慣性センサ５に慣性力を作用させ、後述するセンサ応答を取得して慣性センサ５の検査を行う。また、センサ検査装置３０は、後述するセンサ疑似電気信号を慣性センサ５に出力し、後述するセンサ応答を取得してセンサ感度情報を生成する。詳しくは後述する。

３．慣性センサの構造及びセンサ検査装置の概要
図３Ａは、実施の形態に係る慣性センサ５の論理構成を示すブロック図である。慣性センサ５は、疑似信号生成回路１と、ＭＥＭＳ部２と、信号処理回路３と、記憶部４とを備える。

疑似信号生成回路１は、ＭＥＭＳ部２に電圧を印加する回路である。疑似信号生成回路１は、慣性センサ５を取り付けたセンサ検査装置３０から、センサ疑似電気信号の入力を受け付ける。疑似信号生成回路１は、センサ疑似電気信号に従って、ＭＥＭＳ部２に電圧を印加する。また、疑似信号生成回路１は、モジュール１０に接続されたモジュール検査装置４０から、モジュール疑似電気信号の入力を受け付ける。疑似信号生成回路１は、モジュール疑似電気信号に従って、ＭＥＭＳ部２に電圧を印加する。

ＭＥＭＳ部２は、いわゆるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）としての慣性検知部である。ＭＥＭＳ部２は、例えば、３軸の角速度センサと３軸の加速度センサとを含む６軸ジャイロセンサである。図３Ｂは、ＭＥＭＳ部２に含まれる１つの加速度センサの概略を示す模式図である。加速度センサは加速度のｘ軸成分を検知する慣性検知部であり、錘２１と、検知電極部２２と、疑似信号電極部２３を備える。

錘２１は主部２１ａと電極部２１ｂを含む。主部２１ａは疑似信号電極部２３の２つの疑似信号電極２３ａ，２３ｂ（後述）の間に配され、電極部２１ｂは検知電極部２２の２つの検知電極２２ａ，２２ｂの間に配される。錘２１の材料は、例えば、シリコンである。図示されていないが、錘２１は、例えば弾性体に保持されている。錘２１は、ｘ軸成分を有する慣性力の作用がない場合は、所定の基準位置に静止している。錘２１は、ｘ軸の正方向の慣性力が作用すると、ｘ軸の正方向に移動する。また、錘２１は、ｘ軸の負方向の慣性力が作用すると、ｘ軸の負方向に移動する。移動後の錘２１のｘ軸に沿った位置は、慣性力の大きさに対応し、慣性力が大きいほど所定の基準位置から離れた位置まで移動する。

検知電極部２２は、静電容量の変化によって錘２１の位置を検出する電極である。検知電極部２２は検知電極２２ａと検知電極２２ｂとを有する。検知電極２２ａ，２２ｂは錘２１の電極部２１ｂを挟むように基板に固定されている。検知電極２２ａと検知電極２２ｂは信号処理回路３に接続されており、例えば、錘２１と検知電極２２ａとの電位差、錘２１と検知電極２２ｂとの電位差のそれぞれが所定の値となるように電圧が印加されている。錘２１がｘ方向に移動すると、電極部２１ｂと検知電極２２ａとの距離が変化する。したがって、電極部２１ｂと検知電極２２ａとの間の静電容量が変化する。同様に、錘２１がｘ方向に移動すると、電極部２１ｂと検知電極２２ｂとの距離が変化する。したがって、電極部２１ｂと検知電極２２ｂとの間の静電容量が変化する。

疑似信号電極部２３は、静電気力によって錘２１の位置を制御する電極である。疑似信号電極部２３は疑似信号電極２３ａと疑似信号電極２３ｂとを有する。疑似信号電極２３ａ，２３ｂは錘２１の主部２１ａを挟むように基板に固定されている。疑似信号電極２３ａ、疑似信号電極２３ｂ、錘２１は疑似信号生成回路１に接続されている。疑似信号生成回路１からの電圧印加によって疑似信号電極２３ａと錘２１との間に電位差が生じると、錘２１にｘ軸方向の静電気力が作用する。同様に、疑似信号生成回路１からの電圧印加によって疑似信号電極２３ｂと錘２１との間に電位差が生じると、錘２１にｘ軸方向の静電気力が作用する。疑似信号電極部２３は、静電気力を錘２１に作用させ、錘２１に慣性力が作用した状態と同様の状態を生じさせる。

図３Ａに戻って説明を続ける。信号処理回路３は、ＭＥＭＳ部２の検知電極部２２を用いて錘２１の変位を検出し、センサ応答を出力する回路である。上述したように、信号処理回路３は、錘２１と検知電極２２ａの電位差及び錘２１と検知電極２２ｂの電位差を一定に保つように検知電極２２ａ及び検知電極２２ｂに電圧を印加する。そして、検知電極２２ａと検知電極２２ｂのそれぞれの電荷量の変化を、検知電極２２ａと検知電極２２ｂのそれぞれに流入または流出する電流量により検知する。さらに、検知電極２２ａと検知電極２２ｂのそれぞれの電荷量変化から、慣性力のｘ成分の向き及び大きさを錘２１のｘ方向の位置に基づいて算出し、センサ応答として出力する。

記憶部４は、慣性センサ５の感度情報を記憶するためのメモリである。記憶部４は、例えば、ＰＲＯＭ（Programmable Read Only Memory）のような不揮発性メモリである。

疑似信号生成回路１と、信号処理回路３と、記憶部４は、例えば、単一のＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）として実現される。

＜センサ疑似電気信号を用いた慣性センサの検査方法＞
センサ疑似電気信号を用いた慣性センサ５の検査方法について、以下、詳細に説明する。

センサ疑似電気信号は、慣性センサ５を検査する際にセンサ検査装置３０から出力される信号である。センサ疑似電気信号は、少なくとも１つのセンサ疑似信号を含む。センサ疑似信号は、後述するように、特定の向きと大きさとを有する慣性力に対応する。以下、説明を簡略化するために、センサ疑似信号を単一の電圧値Ｖで表す。電圧値Ｖが正の値であるセンサ疑似信号に対し、疑似信号生成回路１は、疑似信号電極２３ａと錘２１との電位差がＶとなるように、電圧をＭＥＭＳ部２に印加する。なお、疑似信号生成回路１は、錘２１と疑似信号電極２３ｂとの電位差を０とする。疑似信号生成回路１がＭＥＭＳ部２に電圧を印加すると、錘２１はｘ軸の正方向の静電気力を受ける。したがって、電圧値Ｖが正の値であるセンサ疑似信号は、錘２１を同じ位置に変位させるｘ軸の正方向の慣性力に対応する。また、電圧値Ｖが負の値であるセンサ疑似信号に対し、疑似信号生成回路１は、疑似信号電極２３ｂと錘２１との電位差がＶとなるように、電圧をＭＥＭＳ部２に印加する。なお、疑似信号生成回路１は、疑似信号電極２３ａと錘２１との電位差を０とする。疑似信号生成回路１がＭＥＭＳ部２に電圧を印加すると、錘２１はｘ軸の負方向の静電気力を受ける。したがって、電圧値Ｖが負の値であるセンサ疑似信号は、錘２１を同じ位置に変位させるｘ軸の負方向の慣性力に対応する。電圧値Ｖが０であるセンサ疑似信号に対し、疑似信号生成回路１は、錘２１と疑似信号電極２３ａとの間の電圧、及び、錘２１と疑似信号電極２３ｂとの間の電圧を０とする。したがって、電圧値Ｖが０であるセンサ疑似信号は、慣性力がない状態に対応する。すなわち、センサ疑似信号の電圧値Ｖの符号は、対応する慣性力の向きに対応する。なお、センサ疑似信号の電圧値Ｖが大きいほど静電気力が大きくなるため、錘２１の変位が大きくなる。すなわち、センサ疑似信号の電圧値Ｖの絶対値は、対応する慣性力の大きさに対応する。

図４は、センサ疑似電気信号に対するセンサ応答の概要を示すタイムチャートの一例である。図４に示すセンサ疑似電気信号は、ｘ軸の正方向の慣性力に対応するセンサ疑似信号と、ｘ軸の負方向の慣性力に対応するセンサ疑似信号と、慣性力なしに対応するセンサ疑似信号と、の３つのセンサ疑似信号を含む。なお、以下の説明において、慣性センサ５に慣性力は作用していないとして説明を行う。

時刻Ｔ１から時刻Ｔ２では、慣性センサ５にセンサ疑似信号は入力されない。図５Ａは、センサ疑似信号が慣性センサ５に出力されていないときのＭＥＭＳ部２の状態を示す模式図である。錘２１にはｘ方向の力は作用していないので、図５Ａに示す通り、錘２１は基準となる位置ｘ＝０に存在する。したがって、検知電極２２ａと検知電極２２ｂのそれぞれの電荷量は、錘２１が基準となる位置ｘ＝０の状態と等しい。すなわち、慣性センサ５は、センサ応答として、慣性力なしを示す０を出力する。

次に、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３では、センサ疑似電気信号のうち、ｘ軸の正方向の所定の慣性力に対応するセンサ疑似信号が慣性センサ５に入力される。センサ疑似信号の電圧値は正なので、疑似信号生成回路１は、錘２１と疑似信号電極２３ａとの間に電位差が生じるように、電圧をＭＥＭＳ部２に出力する。図５Ｂは、ｘ軸の正方向の所定の慣性力に対応するセンサ疑似信号が慣性センサ５に出力された際のＭＥＭＳ部２の状態を示す模式図である。上述したように、錘２１には疑似信号電極２３ａに引き寄せられる静電気力が作用するから、図５Ｂに示すように、錘２１はｘ軸の正方向に移動する。したがって、検知電極２２ａと検知電極２２ｂのそれぞれの電荷量は、錘２１が基準となる位置よりｘ軸の正方向に移動した位置に存在していることを示す。すなわち、慣性センサ５は、センサ応答として、ｘ軸の正方向の慣性力を示すＳｐを出力する。

次に、時刻Ｔ３から時刻Ｔ４では、センサ疑似電気信号のうち、慣性力なしに対応するセンサ疑似信号が慣性センサ５に入力される。このとき、錘２１と疑似信号電極２３ａとの間の電位差が０となる。また、錘２１と疑似信号電極２３ｂとの間の電位差が０となる。したがって、疑似信号電極部２３から錘２１に対して静電気力が作用しない。したがって、センサ疑似電気信号が慣性センサ５に出力されていない場合と同様、図５Ａに示す通り、錘２１は基準となる位置ｘ＝０に戻る。すなわち、慣性センサ５は、センサ応答として、慣性力なしを示す０を出力する。

次に、時刻Ｔ４から時刻Ｔ５では、センサ疑似電気信号のうち、ｘ軸の負方向の所定の慣性力に対応するセンサ疑似信号が慣性センサ５に入力される。センサ疑似信号の電圧値は負なので、疑似信号生成回路１は、錘２１と疑似信号電極２３ｂとの間に電位差が生じるように、電圧をＭＥＭＳ部２に出力する。図５Ｃは、ｘ軸の負方向の所定の慣性力に対応するセンサ疑似信号が慣性センサ５に出力された際のＭＥＭＳ部２の状態を示す模式図である。上述したように、錘２１には疑似信号電極２３ｂに引き寄せられる静電気力が作用するから、錘２１はｘ軸の負方向に移動する。したがって、検知電極２２ａと検知電極２２ｂのそれぞれの電荷量は、錘２１が基準となる位置よりｘ軸の負方向に移動した位置に存在することを示す。すなわち、慣性センサ５は、センサ応答として、ｘ軸の負方向の慣性力を示すＳｎを出力する。

最後に、時刻Ｔ５以降では、慣性センサ５にセンサ疑似信号は入力されない。このとき、疑似信号電極部２３から錘２１へ静電気力が作用しない。したがって、図５Ａに示す通り、錘２１は基準となる位置ｘ＝０に戻る。すなわち、慣性センサ５は、センサ応答として、慣性力なしを示す０を出力する。

以上説明したように、慣性力に対応するセンサ疑似信号を含むセンサ疑似電気信号を慣性センサ５に入力すると、慣性センサ５からセンサ応答を得ることができる。なお、本開示において、慣性力Ｘを慣性センサ５に作用させたときのセンサ応答Ｐと、センサ疑似信号Ｙを慣性センサ５に入力したときのセンサ応答Ｑが同一であることを、センサ疑似信号Ｙが慣性力Ｘに対応すると呼ぶ。センサ疑似電気信号と慣性力との関係についても同様である。

＜モジュール疑似電気信号を用いたモジュールの検査方法＞
以下、モジュール疑似電気信号を用いたモジュール１０の検査方法について説明する。

モジュール疑似電気信号は、モジュール１０を検査する際にモジュール検査装置４０から出力される信号である。モジュール疑似電気信号は、少なくとも１つのモジュール疑似信号を含む。モジュール疑似信号は、特定の向きと大きさとを有する慣性力に対応する。以下、センサ疑似信号と同様に、モジュール疑似信号を単一の電圧値Ｖで示す。電圧値Ｖのモジュール疑似信号がモジュール１０の慣性センサ５に及ぼす影響は、電圧値Ｖのセンサ疑似信号が慣性センサ５に及ぼす影響と同一である。すなわち、モジュール疑似信号の電圧値Ｖの符号は、対応する慣性力の向きに対応する。モジュール疑似信号の電圧値Ｖの絶対値は、対応する慣性力の大きさに対応する。

なお、センサ疑似信号と同一のモジュール疑似信号は、慣性センサ５への影響は同一である。すなわち、電圧値Ｖのセンサ疑似信号に対する慣性センサ５のセンサ応答と、電圧値Ｖのモジュール疑似信号に対するモジュール１０のセンサ応答は等しい。同様に、センサ疑似電気信号と同一のモジュール疑似電気信号は、慣性センサ５への影響は同一である。以下、特に区別する必要がない場合、センサ疑似信号とモジュール疑似信号とを総称して「疑似信号」と呼ぶ。また、同様に、特に区別する必要がない場合、センサ疑似電気信号とモジュール疑似電気信号とを総称して「疑似電気信号」と呼ぶ。

＜モジュールの検査方法＞
以下、実施の形態に係るモジュール１０の検査方法について説明する。

１．慣性センサの検査方法
まず、モジュール１０の検査方法に先立ち、前処理としての慣性センサ５の検査方法について説明する。なお、慣性センサ５の検査方法は、慣性センサ５がモジュール１０に組み込まれる前に実施される。図６は、慣性センサ５の検査方法を示すフローチャートである。

まず、慣性センサ５に対し、慣性力による感度の物理検査を実施する（ステップＳ１１）。具体的には、まず、慣性センサ５をセンサ検査装置３０のセンサ台３１に取り付け、慣性センサ５とセンサ検査装置３０を物理的に、かつ、電気的に接続する。そして、センサ検査装置３０がセンサ台３１を用いて慣性センサ５に慣性力を作用させる。慣性力を作用させる方法は、慣性センサ５の慣性力検知方向が鉛直方向に対して所定の角をなすように慣性センサ５の姿勢を制御する、慣性センサ５を設置した台を所定の軸を回転軸として定速回転させる、など、公知の方法を用いることができる。センサ検査装置３０は、慣性力に対応するセンサ応答を感度情報として慣性センサ５の信号処理回路３から取得する。

次に、物理検査に基づくスクリーニングを実施する（ステップＳ１２）。具体的には、センサ検査装置３０は、ステップＳ１１で慣性センサ５に作用させた慣性力を基準として、取得した感度情報が示す慣性力の誤差を算出する。そして、センサ検査装置３０は、誤差が所定の許容誤差以下である慣性センサ５を良と判定し、誤差が所定の許容誤差を超える慣性センサ５を不良と判定する。所定の許容誤差としては、例えば、慣性力の大きさに対して±２％以内を用いることができる。不良と判定された慣性センサ５は、以降の検査の対象から除外する。

次に、センサ疑似電気信号による感度情報を生成する（ステップＳ１３）。具体的には、センサ検査装置３０は、センサ疑似電気信号を慣性センサ５に出力し、センサ疑似電気信号に対するセンサ応答を感度情報として慣性センサ５の信号処理回路３から取得する。センサ疑似電気信号は、例えば、上述したセンサ疑似電気信号を用いることができる。なお、センサ疑似電気信号は上述の例に限られず、慣性力に対応するセンサ疑似信号を少なくとも１つ含んでいればよい。

次に、慣性センサ５の記憶部４に感度情報を格納する（ステップＳ１４）。具体的には、センサ検査装置３０は、ステップＳ１３で取得した感度情報を、センサ感度情報として慣性センサ５の記憶部４に格納して記憶させる。

以上の処理により、前処理である慣性センサ５の検査が完了する。

２．モジュールの検査方法
次に、モジュール１０の検査方法について説明する。なお、モジュール１０の検査方法は、慣性センサ５がモジュール１０に組み込まれた後に実施される。図７は、モジュール１０の検査方法を示すフローチャートである。

まず、モジュール疑似電気信号による感度情報を生成する（ステップＳ２１）。具体的には、モジュール検査装置４０とモジュール１０とを電気的に接続する。次に、モジュール検査装置４０は、モジュール疑似電気信号をモジュール１０に出力し、モジュール疑似電気信号に対する慣性センサ５のセンサ応答をモジュール感度情報として慣性センサ５の信号処理回路３から取得する。モジュール検査装置４０が出力するモジュール疑似電気信号は、ステップＳ１３でセンサ検査装置３０が出力するセンサ疑似電気信号と同一の信号である。

次に、モジュール検査装置４０は、モジュール１０に組み込まれた慣性センサ５の記憶部４からセンサ感度情報を取得する（ステップＳ２２）。

次に、モジュール検査装置４０は、ステップＳ２１で得たモジュール感度情報と、ステップＳ２２で読みだしたセンサ感度情報とを比較する（ステップＳ２３）。

次に、モジュール検査装置４０は、ステップＳ２３の比較結果に基づいて、モジュール１０の良不良を判定する（ステップＳ２４）。モジュール検査装置４０は、例えば、記憶部４に格納されたセンサ感度情報を基準として、ステップＳ２１で得たモジュール感度情報の誤差が所定範囲以内であれば、モジュール１０が良品であると判定する。一方、モジュール感度情報の誤差が所定範囲を超える場合、モジュール検査装置４０は、モジュール１０が不良品であると判定する。所定範囲としては、例えば、センサ感度情報の大きさに対して±０．３％以内を用いることができる。なお、この所定範囲は、ステップＳ１２における所定の許容誤差より狭い範囲であってもよい。

以上の処理により、モジュール１０の検査が完了する。

＜小括＞
以上説明したように、実施の形態に係るモジュール１０の検査方法によれば、センサ疑似電気信号に対する慣性センサ５の感度情報と、センサ疑似電気信号と同一のモジュール疑似電気信号に対するモジュール１０の感度情報とを比較する。したがって、慣性センサ５のセンサ疑似電気信号に対するセンサ感度情報とモジュール１０のモジュール疑似電気信号に対するモジュール感度情報とが同等であれば、慣性力に対しても同等の感度情報が得られることを間接的に確認することができる。すなわち、モジュール１０に対して慣性力による感度の物理検査を行わなくても、慣性力に対するモジュール１０の感度情報を間接的に検査することができる。

また、実施の形態に係るモジュール１０の検査方法では、モジュール１０に対して慣性力による感度の物理検査を省略することが可能である。モジュール１０は慣性センサ５より大きいため、モジュール１０に慣性力を作用させるためには、モジュール１０の姿勢等を制御するための可動部が大きいモジュール検査装置４０が必要となる。また、モジュール検査装置４０とセンサ検査装置３０は可動部の姿勢制御精度が同等であることが必要であり、さらに、モジュール検査装置４０では、モジュール１０の姿勢と、モジュール１０内の慣性センサ５の姿勢との相対関係を考慮する必要がある。しかしながら、実施の形態に係るモジュール１０の検査方法では、モジュール１０の姿勢等を制御するための可動部が必要ないため、これらを考慮する必要がない。

また、実施の形態に係るモジュール１０の検査方法では、センサ疑似電気信号に対するセンサ感度情報と、センサ疑似信号と同一のモジュール疑似電気信号に対するモジュール感度情報と比較する。したがって、センサ感度情報を得るためのセンサ疑似電気信号と、モジュール感度信号を得るためのモジュール疑似電気信号とが同一であれば高精度にモジュール１０を検査することができる。すなわち、モジュール疑似電気信号と慣性力との対応付けが高精度に行われている必要がない。

また、実施の形態に係るモジュール１０の検査方法では、センサ疑似電気信号に対する慣性センサ５の感度情報を記憶部４に格納する。すなわち、モジュール１０がセンサ感度情報を格納している記憶媒体を含む。したがって、モジュール１０の検査と慣性センサ５の検査とを時間的及び／または空間的に隔絶して行ってもよい。すなわち、慣性センサ５の製造や検査とモジュール１０の製造や検査とを異なる製造拠点で行う場合や異なる事業者が行う場合においても、実施の形態に係るモジュール１０の検査を容易に行うことができる。

≪変形例１≫
実施の形態では、センサ疑似電気信号に対するセンサ応答をそのまま、センサ感度情報及びモジュール感度情報として用いる場合について説明した。しかしながら感度情報は上述の場合に限らず、他の情報を用いてもよい。

変形例１では、疑似電気信号は、少なくとも２つの異なる疑似信号を含む。すなわち、センサ疑似電気信号は、第１のセンサ疑似信号と第２のセンサ疑似信号を含む。モジュール疑似電気信号は、第１のモジュール疑似信号と第２のモジュール疑似信号を含む。また、センサ検査装置３０及びモジュール検査装置４０は、それぞれの疑似信号に対するセンサ応答を取得する。そして、センサ検査装置３０及びモジュール検査装置４０は、基準とする１つの疑似信号に対するセンサ応答と、他の疑似信号に対するセンサ応答との差を、感度情報として用いる。なお、その他の処理については実施の形態と同様であるので説明を省略する。

変形例１で用いるセンサ疑似電気信号は、例えば、電圧値Ｖ１である第１のセンサ疑似信号と、電圧値Ｖ２の第２のセンサ疑似信号を含む。また、電圧値Ｖ１の第１のセンサ疑似信号に対する慣性センサ５またはモジュール１０のセンサ応答を第１のセンサ応答Ｓ１とする。第１のセンサ応答Ｓ１のうち、第１のセンサ疑似信号に対応する成分をＳ１ｖとし、センサ疑似電気信号に起因しない成分をＳｐとする。このとき、以下の式が成立する。
Ｓ１＝Ｓ１ｖ＋Ｓｐ

また、電圧値Ｖ２である第２のセンサ疑似信号に対する慣性センサ５またはモジュール１０のセンサ応答を第２のセンサ応答Ｓ２とする。また、第２のセンサ応答Ｓ２のうち、第２のセンサ疑似信号に対応する成分をＳ２ｖとする。このとき、以下の式が成立すると考えられる。
Ｓ２＝Ｓ２ｖ＋Ｓｐ

このとき、第１のセンサ応答Ｓ１と第２のセンサ応答Ｓ２の差ΔＳを感度情報とすると、以下の式が成立する。
ΔＳ＝Ｓ２－Ｓ１＝Ｓ２ｖ－Ｓ１ｖ

モジュール疑似電気信号は、同様に、電圧値Ｖ１である第１のモジュール疑似信号と、電圧値Ｖ２のモジュール疑似信号を含む。また、第１のモジュール疑似信号に対するモジュール１０のセンサ応答を第１のセンサ応答Ｓ３とする。第１のセンサ応答Ｓ３のうち、第１のモジュール疑似信号に対応する成分をＳ３ｖとする。また、第２のモジュール疑似信号に対するモジュール１０のセンサ応答を第２のセンサ応答Ｓ４とする。第２のセンサ応答Ｓ２のうち、第２のモジュール疑似信号に対応する成分をＳ４ｖとする。このとき、第１のセンサ応答Ｓ３と第２のセンサ応答Ｓ４の差ΔＳを感度情報とすると、同様に、以下の式が成立する。
ΔＳ＝Ｓ４－Ｓ３＝Ｓ４ｖ－Ｓ３ｖ

変形例１では、慣性センサの検査方法は、実施の形態と以下の点で異なる。ステップＳ１３でセンサ感度情報を生成する際に、センサ検査装置３０は、第１のセンサ疑似信号と第２のセンサ疑似信号を含むセンサ疑似信号をセンサ疑似電気信号として慣性センサ５に出力する。そして、センサ検査装置３０は、第１のセンサ疑似信号に対する第１のセンサ応答を慣性センサ５から取得する。また、センサ検査装置３０は、第２のセンサ疑似信号に対する第２のセンサ応答を慣性センサ５から取得する。そして、センサ検査装置３０は、第１のセンサ応答と第２のセンサ応答との差を、センサ感度情報として算出する。そして、ステップＳ１４において、センサ感度情報を記憶部４に格納する。

また、変形例１では、モジュール１０の検査方法は、実施の形態と以下の点で異なる。ステップＳ２１でモジュール感度情報を生成する際に、モジュール検査装置４０は、第１のモジュール疑似信号と第２のモジュール疑似信号を含むモジュール疑似信号をモジュール疑似電気信号としてモジュール１０に出力する。第１のモジュール疑似信号の電圧値は、第１のセンサ疑似信号の電圧値と等しい。また、第２のモジュール疑似信号の電圧値は、第２のセンサ疑似信号の電圧値と等しい。そして、モジュール検査装置４０は、第１のモジュール疑似信号に対する第１のセンサ応答をモジュール１０から取得する。また、モジュール検査装置４０は、第２のモジュール疑似信号に対する第２のセンサ応答をモジュール１０から取得する。そして、モジュール検査装置４０は、第１のセンサ応答と第２のセンサ応答との差を、モジュール感度情報として算出する。そして、ステップＳ２３で、モジュール検査装置４０は、ステップＳ２１で算出したモジュール感度情報と、ステップＳ２２でモジュール１０から読み出したセンサ感度情報とを比較する。

上述したように、慣性センサ５がセンサ疑似信号に対して出力するセンサ応答には、センサ疑似電気信号に起因しない成分Ｓｐが含まれている。また、モジュール１０がモジュール疑似信号に対して出力するセンサ応答には、モジュール疑似電気信号に起因しない成分Ｓｐが含まれている。疑似電気信号に起因しない成分Ｓｐは、例えば、慣性センサ５に物理的に作用する慣性力に起因する成分、モジュール１０の回路構成に起因する成分、センサ検査装置３０またはモジュール検査装置４０の回路に起因する成分などである。一方、異なる２つの疑似信号に対する慣性センサ５またはモジュール１０のセンサ応答の差をセンサ感度情報またはモジュール感度情報として用いると、センサ感度情報及びモジュール感度情報には、疑似電気信号に起因しない成分Ｓｐが含まれない。したがって、センサ疑似電気信号に起因する慣性センサ５の感度情報であるセンサ感度情報と、モジュール疑似電気信号に起因するモジュール１０の感度情報であるモジュール感度情報との比較を行うことができ、高精度な検査を行うことができる。すなわち、疑似電気信号に起因しない成分Ｓｐの発生要因である、姿勢の差異に起因する慣性力の違いや、慣性センサ５以外のモジュール１０の回路の影響による、検査の精度低下を低減させることができる。

なお、第１の疑似信号と第２の疑似信号の組み合わせは、その電圧値が異なれば任意の組み合わせであってよい。疑似信号を示す単一の電圧値Ｖの設定可能範囲を－５Ｖ～＋５Ｖとした場合、例えば、以下のいずれの組み合わせであってもよい。（＋５Ｖ，－５Ｖ）としてもよいし、一方を無信号として（＋５Ｖ，０Ｖ）または（０Ｖ，－５Ｖ）としてもよい。また、電圧値の符号が単一であってもよく、（＋５Ｖ，＋３Ｖ）または（－５Ｖ，－３Ｖ）としてもよい。なお、上記の組み合わせは例示に過ぎず、任意の組み合わせを用いることができる。なお、疑似電気信号に起因しない成分Ｓｐの除去の程度は、２つの電圧値の符号の同異や、２つの電圧値の差の絶対値の大小に依存しない。しかしながら、疑似信号の電圧値の差の絶対値が大きいほど、センサ応答の差の絶対値が大きくなり、センサ感度情報及びモジュール感度情報のＳ／Ｎ比が向上する。なお、疑似電気信号は、さらに第３の疑似信号を含んでもよく、第３の疑似信号に対するセンサ応答と第１の疑似信号に対するセンサ応答との差を、さらに感度情報として用いることができる。

≪変形例２≫
実施の形態では、慣性センサ５のセンサ感度情報及びモジュール１０のモジュール感度情報を単一の環境で取得する場合について説明した。しかしながら、慣性センサ５のセンサ感度情報及びモジュール１０のモジュール感度情報は環境温度によって変化することがあるため、環境温度ごとに感度情報の検査を行ってもよい。

変形例２では、センサ検査装置３０は、複数の異なる温度環境のそれぞれに対してセンサ感度情報を取得し、温度環境ごとのセンサ感度情報を記憶部４に格納する。また、モジュール検査装置４０は、複数の異なる温度環境のそれぞれに対してモジュール感度情報を取得する。そして、モジュール検査装置４０は、環境温度ごとに、センサ感度情報とモジュール感度情報とを比較し、モジュール１０の良不良を判定する。なお、その他の処理については実施の形態と同様であるので説明を省略する。

変形例２では、慣性センサ５の検査方法は、実施の形態と以下の点で異なる。変形例２に係るセンサ検査装置３０は、慣性センサ５とセンサ台３１とを第１の温度に変化させ維持する機能を有する。また、変形例２に係るセンサ検査装置３０は、慣性センサ５とセンサ台３１とを第２の温度に変化させ維持する機能を有する。温度管理の手段としては公知の方法を用いることができる。そして、ステップＳ１３でセンサ感度情報を取得する際、センサ検査装置３０は、慣性センサ５の温度が第１の温度となるように温度管理を行う。そして、慣性センサ５の温度が第１の温度である状態で、センサ検査装置３０は慣性センサ５にセンサ疑似電気信号を出力し、慣性センサ５のセンサ応答を、第１の温度に対応する感度情報として取得する。また、センサ検査装置３０は、慣性センサ５の温度が第２の温度となるように温度管理を行う。そして、慣性センサ５の温度が第２の温度である状態で、センサ検査装置３０は慣性センサ５にセンサ疑似電気信号を出力し、慣性センサ５のセンサ応答を、第２の温度に対応する感度情報として取得する。そして、ステップＳ１４で、センサ検査装置３０は、第１の温度に対応する感度情報と、第２の温度に対応する感度情報とをセンサ感度情報として記憶部４に格納する。第１の温度、第２の温度は、例えば、２５℃、８５℃である。なお、温度環境は上述の温度に限られず、任意の温度であってもよい。また、さらに、第３の温度、第４の温度等を用いてもよい。

また、変形例２では、モジュール１０の検査方法は、実施の形態と以下の点で異なる。変形例２に係るモジュール検査装置４０は、モジュール１０を第１の温度に変化させ維持する機能を有する。また、変形例２に係るモジュール検査装置４０は、モジュールを第２の温度に変化させ維持する機能を有する。温度管理の手段としては公知の方法を用いることができる。ステップＳ２１でモジュール感度情報を取得する際、モジュール検査装置４０は、モジュール１０の温度が第１の温度となるように温度管理を行う。そして、モジュール１０の温度が第１の温度である状態で、モジュール検査装置４０はモジュール１０にモジュール疑似電気信号を出力し、モジュール１０のセンサ応答を、第１の温度に対応する感度情報として取得する。また、モジュール検査装置４０は、モジュール１０の温度が第２の温度となるように温度管理を行う。そして、モジュール１０の温度が第２の温度である状態で、モジュール検査装置４０はモジュール１０にモジュール疑似電気信号を出力し、モジュール１０のセンサ応答を、第２の温度に対応する感度情報として取得する。そして、ステップＳ２３で、モジュール検査装置４０は、ステップＳ２１で算出したモジュール感度情報と、ステップＳ２２でモジュール１０から読み出したセンサ感度情報について、温度環境ごとに比較する。すなわち、モジュール検査装置４０は、第１の温度環境に対応するモジュール感度情報と、第１の温度環境に対応するセンサ感度情報とを比較する。さらに、モジュール検査装置４０は、第２の温度環境に対応するモジュール感度情報と、第２の温度環境に対応するセンサ感度情報とを比較する。そして、ステップＳ２４で、モジュール検査装置４０は、温度環境ごとの比較結果のすべてを用いてモジュール１０の良不良を判定する。すなわち、第１の温度環境についての感度情報の比較結果、第２の温度環境についての感度情報の比較結果の両方を用いて良不良を判定する。

本変形例によれば、同一の温度環境に対応する感度情報を比較するため、センサ感度に温度依存性がある場合であっても高精度でモジュール１０を検査することができる。また、複数の温度環境に対して感度情報を比較するため、一部の温度においてのみモジュール１０の感度が異常となる不良を検知することができる。

また、慣性力を用いた検査の場合、高温や低温の温度環境でモジュール１０の検査を行う際に、モジュール１０に慣性力を与えるための駆動機構も温度環境下に置く必要が生じる。したがって、モジュール検査装置にも耐高温性能や耐低温性能が必要となり、検査コストの増大につながる。一方、変形例２に係る検査方法によれば、モジュール疑似電気信号を用いたモジュール１０の検査を行う際に、モジュール１０の温度管理を行えばよい。したがって、高温や低温の温度環境に対するモジュール１０の検査を低コストで実施することができる。

なお、変形例１と変形例２とを組み合わせ、第１の温度環境に対応するセンサ感度情報またはモジュール感度情報として、第１の温度における第１の疑似信号に応答するセンサ応答と第１の温度における第２の疑似信号に応答するセンサ応答との差を用いてもよい。第２の温度環境についても同様である。特に、環境温度の変化に依存して疑似電気信号に起因しない成分Ｓｐが変化する場合に、高精度に検査を行うことができる。

≪変形例３≫
実施の形態では、センサ疑似電気信号に対する慣性センサ５のセンサ感度情報と、センサ疑似電気信号と同一のモジュール疑似電気信号に対するモジュール１０のモジュール感度情報とを比較するとした。しかしながら、モジュール疑似電気信号の精度が十分に確保できれば、慣性力に対する慣性センサ５のセンサ感度情報と、モジュール疑似電気信号に対するモジュール１０のモジュール感度情報とを比較するとしてもよい。

変形例３では、センサ検査装置３０は、慣性力に対する慣性センサ５のセンサ応答をセンサ感度情報として記憶部４に格納する。モジュール検査装置４０は、モジュール疑似電気信号に対するモジュール１０のセンサ応答をモジュール感度情報として取得する。そして、モジュール検査装置４０は、モジュール疑似電気信号に対するモジュール感度情報と、慣性力に対するセンサ感度情報とを比較してモジュール１０を検査する。なお、その他の処理については実施の形態と同様であるので説明を省略する。

変形例３に係る慣性センサの検査方法は、実施の形態と以下の点で異なる。ステップＳ１４で、センサ検査装置３０は、ステップＳ１１で取得した慣性力に対応するセンサ応答を、センサ感度情報として記憶部４に格納する。

変形例３に係るモジュール１０の検査方法は、行う動作は実施の形態と同様である。しかしながら、ステップＳ２２でモジュール検査装置４０が記憶部４から読み出すセンサ感度情報は、モジュール疑似電気信号に対応せず慣性力に対応している。そして、ステップＳ２３では、モジュール検査装置４０は、モジュール疑似電気信号に対するモジュール感度情報と、慣性力に対するセンサ感度情報とを比較する。

変形例３に係るモジュール１０の検査方法を実施するためには、以下の条件が必要である。すなわち、ステップＳ２１のモジュール疑似電気信号と同一のセンサ疑似電気信号をセンサ検査装置３０から慣性センサ５に出力した場合に、記憶部４に格納されているセンサ感度情報と同一のセンサ感度情報を得られる必要がある。条件を満たしているかを確認するために、ステップＳ１３でセンサ検査装置３０はセンサ疑似電気信号を慣性センサ５に出力してセンサ感度情報を取得してもよい。さらに、ステップＳ１３で得たセンサ疑似電気信号に対するセンサ感度情報とステップＳ１１で得た慣性力に対するセンサ感度情報とが同一であるか検証してもよい。２つのセンサ感度情報の同一性が十分に高い場合、センサ疑似電気信号と同一のモジュール疑似電気信号が慣性力に対応していることを検証できる。また、ステップＳ１３で得たセンサ疑似電気信号に対するセンサ感度情報とステップＳ１１で得た慣性力に対するセンサ感度情報との同一性が低い場合は、以下のようにセンサ疑似信号を調整してもよい。すなわち、センサ疑似電気信号に含まれるセンサ疑似信号の電圧値を上昇または下降させ、センサ疑似電気信号に対するセンサ感度情報の取得と慣性力に対応するセンサ感度情報との比較を行ってもよい。センサ疑似電気信号と同一のモジュール疑似電気信号の精度を十分に高めることができる。なお、モジュール疑似電気信号の精度が十分に高いことがすでに検証されている場合、慣性センサ５の検査方法において、ステップＳ１３を省略してもよい。

≪実施の形態に係るその他の変形例≫
（１）実施の形態及び各変形例では、記憶部４に慣性センサ５のセンサ感度情報を格納する場合について説明した。しかしながら、記憶部４に格納する情報はこれに限られない。例えば、センサ疑似電気信号を示す情報を記憶部４にさらに格納し、モジュール１０の検査を行うときに、センサ疑似電気信号を示す情報を記憶部４から読み出して使用するとしてもよい。本方法によれば、センサ検査装置３０が用いたセンサ疑似電気信号と、モジュール検査装置４０が用いるモジュール疑似電気信号との同一性を確実とすることができる。また、慣性センサ５ごとにセンサ疑似電気信号を異ならせることが容易となる。同様に、変形例２において、記憶部４に、記憶部４に格納されているセンサ感度情報のそれぞれに対応する慣性センサ５の温度を示す情報をさらに格納してもよい。

（２）実施の形態及び各変形例では、記憶部４に慣性センサ５のセンサ感度情報を格納する場合について説明した。しかしながら、モジュール１０の検査を行うときに慣性センサ５のセンサ感度情報を取得できればよく、記憶部４以外のものを使用してもよい。例えば、慣性センサ５の個体を識別する情報と慣性センサ５のセンサ感度情報との組み合わせをＵＳＢメモリ等の記憶媒体に格納し、モジュール１０の検査を行うときにモジュール検査装置４０が記憶媒体からセンサ感度情報を取得するとしてもよい。または、例えば、ネットワークを介して、慣性センサ５の個体を識別する情報をキーとしてモジュール検査装置４０が慣性センサ５のセンサ感度情報を取得可能なデータベースを使用してもよい。慣性センサ５の個体を識別する情報は、例えば、シリアル番号を用いることができる。または、慣性センサ５の個体を識別する情報をバーコードなどに格納して慣性センサ５の表面に貼付してもよい。または、慣性センサ５のセンサ感度情報の所在を示す情報またはセンサ感度情報そのものを二次元バーコードなどに格納し、慣性センサ５の表面に貼付してもよい。

（３）実施の形態及び各変形例では、センサ疑似電気信号は１以上の疑似信号を含むとした。また、センサ疑似信号は、ｘ方向の正の慣性力に対応し、錘２１と疑似信号電極２３ａとの間に電位差を生じさせる信号、ｘ方向の負の慣性力に対応し、錘２１と疑似信号電極２３ｂとの間に電位差を生じさせる信号、慣性力に対応しない信号の３種類とした。しかしながら、センサ疑似電気信号は、慣性力を慣性センサ５に作用させた場合のセンサ応答と同様のセンサ応答を、慣性センサ５に出力されることで得られるものであれば任意のものであってよい。または、センサ疑似電気信号は、センサ疑似電気信号に対するセンサ応答を取得する検査を行うことを示す信号であり、疑似信号生成回路１は、センサ疑似電気信号を用いた検査を行う信号を受信したときに、予め記憶している所定の電圧をＭＥＭＳ部２に印加してもよい。モジュール疑似電気信号についても同様である。

（４）実施の形態及び各変形例では、ＭＥＭＳ部２の慣性検知部は静電容量型であるとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、慣性検知部はピエゾ素子型であるとしてもよいし、いわゆるＭＥＭＳセンサでなくてもよい。慣性力を作用させることで得られるセンサ応答と同一のセンサ応答をセンサ疑似電気信号の印加によって得られる慣性センサ５を備えるモジュール１０であれば、本発明に係る検査方法を実施することができる。

≪まとめ≫
第１の態様に係るモジュール検査方法は、慣性センサ（５）を組み込んだモジュール（１０）のモジュール検査方法である。モジュール検査方法では、慣性センサ（５）の所定の慣性力に対応するセンサ感度情報を取得し、モジュール（１０）に組み込まれた慣性センサ（５）に対してモジュール疑似電気信号を印加して、所定の慣性力に対応するモジュール感度情報を得て、モジュール感度情報とセンサ感度情報とを比較し、モジュール感度情報とセンサ感度情報との比較結果を用いてモジュール（１０）を検査する。

第１の態様に係るモジュール検査方法によれば、モジュール（１０）に所定の慣性力を作用させることなく、モジュール（１０）の検査を行うことができる。したがって、慣性センサ（５）より大型であるモジュール（１０）に対して慣性力を与える設備が不要であり、検査コストの上昇を低減させることができる。また、センサ感度情報とモジュール感度情報の比較に基づいて検査するため、モジュール疑似電気信号の精度が検査の精度に与える影響を低減させることができる。

第２の態様に係るモジュール検査方法では、第１の態様において、センサ感度情報は、慣性センサ（５）に所定の慣性力を作用させて得られた感度情報、または、所定の慣性力に基づいて設定されたセンサ疑似電気信号を慣性センサ（５）に印加して得られた感度情報である。

第２の態様に係るモジュール検査方法によれば、慣性センサ（５）の感度特性を高精度に取得することができる。したがって、モジュール（１０）の感度特性を高精度に検査できる。

第３の態様に係るモジュール検査方法は、第２の態様において、センサ感度情報は、センサ疑似電気信号を前記慣性センサに印加して得られた感度情報である。モジュール疑似電気信号は、センサ疑似電気信号と同一の信号である。

第３の態様に係るモジュール検査方法によれば、同一の条件下で、慣性センサ（５）と、モジュール（１０）とのそれぞれの感度特性を得ることができる。したがって、慣性センサ（５）の感度特性と、モジュール（１０）の感度特性とを高精度に比較できる。

第４の態様に係るモジュール検査方法は、第３の態様において、センサ疑似電気信号は、第１の疑似信号と、第２の疑似信号と、を含む。センサ感度情報は、第１の疑似信号に対するセンサ応答と第２の疑似信号に対するセンサ応答との差に関する情報である。モジュール疑似電気信号は、第１の疑似信号と同一である第１のモジュール疑似信号と、第２の疑似信号と同一である第２のモジュール疑似信号と、を含む。モジュール感度情報は、第１のモジュール疑似信号に対するセンサ応答と第２のモジュール疑似信号に対するセンサ応答との差に関する情報である。

第４の態様に係るモジュール検査方法によれば、慣性センサ（５）の姿勢等、疑似電気信号以外の条件がセンサ応答にもたらす影響を感度情報から除去することができる。したがって、センサ感度情報の生成とモジュール感度情報の生成とで、慣性センサ（５）の姿勢等を一致させなくても、高精度の検査が可能となる。

第５の態様に係るモジュール検査方法は、第２の態様において、センサ感度情報は、慣性センサ（５）に所定の慣性力を作用させて得られた感度情報である。モジュール疑似電気信号は、所定の慣性力を慣性センサ（５）に作用させて得られる感度情報と同一の感度情報を、慣性センサ（５）に印加することで得られる電気信号である。

第５の態様に係るモジュール検査方法によれば、慣性センサ（５）に印加することでセンサ感度情報を得られるセンサ疑似信号と同一のモジュール疑似信号に対する応答として、モジュール感度情報を得ることができる。したがって、慣性センサ感度情報と、モジュール感度情報とを高精度に比較できる。

第６の態様に係るモジュール検査方法は、第１の態様において、センサ感度情報は、互いに異なる複数の温度環境にそれぞれ対応する複数の感度情報を含む。モジュール感度情報を得る処理及びモジュール感度情報とセンサ感度情報とを比較する処理を、複数の温度環境のそれぞれについて行う。

第６の態様に係るモジュール検査方法によれば、慣性センサ（５）の疑似信号に対する感度情報の温度依存性を考慮して検査を行うことができる。したがって、高精度の検査が可能となる。また、モジュール（１０）の感度情報の温度依存性についてモジュール（１０）の環境温度を変化させれば検査可能である。すなわち、環境温度が広範囲な場合でも環境温度に対応した慣性を与える検査装置が不必要であるため、検査コストを上昇させることなく検査を行うことができる。

第７の態様に係る慣性センサ（５）は、第１～６の態様のいずれか１つに係るモジュール検査方法のための慣性センサ（５）であって、センサ感度情報を記憶する記憶部（４）を備える。

第７の態様に係る慣性センサによれば、慣性センサの検査で得たセンサ感度情報がモジュール（１０）から読み出し可能である。したがって、モジュール（１０）の検査を行う際に、容易かつ確実にセンサ感度情報を取得できる。

１０ モジュール
５ 慣性センサ
４ 記憶部

Claims (6)

1. 慣性センサを組み込んだモジュールのモジュール検査方法であって、
   前記慣性センサの所定の慣性力に対応するセンサ感度情報を取得し、
   前記モジュールに組み込まれた前記慣性センサに対してモジュール疑似電気信号を印加して、前記所定の慣性力に対応するモジュール感度情報を得て、
   前記モジュール感度情報と前記センサ感度情報とを比較し、
   前記モジュール感度情報と前記センサ感度情報との比較結果を用いて前記モジュールを検査し、
   前記センサ感度情報は、互いに異なる複数の温度環境にそれぞれ対応する複数の感度情報を含み、
   前記モジュール感度情報を得る処理及び前記モジュール感度情報と前記センサ感度情報とを比較する処理を、前記複数の温度環境のそれぞれについて行う、
   モジュール検査方法。
2. 前記センサ感度情報は、前記慣性センサに前記所定の慣性力を作用させて得られた感度情報、または、前記所定の慣性力に基づいて設定されたセンサ疑似電気信号を前記慣性センサに印加して得られた感度情報である、
   請求項１記載のモジュール検査方法。
3. 前記センサ感度情報は、前記センサ疑似電気信号を前記慣性センサに印加して得られた感度情報であり、
   前記モジュール疑似電気信号は、前記センサ疑似電気信号と同一の信号である、
   請求項２に記載のモジュール検査方法。
4. 前記センサ疑似電気信号は、
   第１の疑似信号と、
   第２の疑似信号と、を含み、
   前記センサ感度情報は、前記第１の疑似信号に対するセンサ応答と前記第２の疑似信号に対するセンサ応答との差に関する情報であり、
   前記モジュール疑似電気信号は、
   前記第１の疑似信号と同一である第１のモジュール疑似信号と、
   前記第２の疑似信号と同一である第２のモジュール疑似信号と、を含み、
   前記モジュール感度情報は、前記第１のモジュール疑似信号に対するセンサ応答と前記第２のモジュール疑似信号に対するセンサ応答との差に関する情報である、
   請求項３に記載のモジュール検査方法。
5. 前記センサ感度情報は、前記慣性センサに前記所定の慣性力を作用させて得られた感度情報であり、
   前記モジュール疑似電気信号は、前記所定の慣性力を前記慣性センサに作用させて得られる感度情報と同一の感度情報を、前記慣性センサに印加することで得られる電気信号である、
   請求項２に記載のモジュール検査方法。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載のモジュール検査方法のための慣性センサであって、
   前記センサ感度情報を記憶する記憶部を備える、
   慣性センサ。

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