JP7455948B2 - ワーク表面改質方法及びワーク表面改質装置 - Google Patents
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Description
引張せん断応力(MPa) = 引張せん断強度(N)/接着面積(mm2)
により算出される。
Claims (5)
- 放電によりプラズマガスを発生させる一対の電極と、前記一対の電極を覆うヘッド本体部と、前記ヘッド本体部に設けられ、前記プラズマガスを流す、所定の方向に並んで配置された複数の第1ガス流路と、前記第1ガス流路と同じ方向に並んで配置された複数の第2ガス流路を有し、前記複数の第1ガス流路から流入した前記プラズマガスを前記複数の第2ガス流路から噴出するノズルであって、上下方向において所定の厚みを有する板状の基部と、水平方向において所定の厚みを有する板状をなし、前記基部の下面から下方へ突出する板状部とを備えるノズルと、前記複数の第2ガス流路の外側に形成され、ヒートガスを前記プラズマガスの周囲に噴出する外側空間部であって、前記基部に形成され、前記複数の第2ガス流路の外周を取り囲むように環状に形成される環状空間部と、前記環状空間部の下面から下方に突出する円筒形状をなす筒状空間部とを有する外側空間部と、を備えたプラズマ処理装置を用いたワーク表面改質方法であって、
前記所定の方向と直交する方向に前記ノズルを移動させながら、アルミニウム単体金属又はアルミニウム合金からなるワークに前記ノズルからプラズマガスを照射し、前記外側空間部から前記ヒートガスを前記プラズマガスの周囲に噴出することにより、前記ワークの表面上の酸化アルミニウム及び水酸化アルミニウムの割合を増加させる、
ワーク表面改質方法。 - 前記ワークに照射する前記プラズマガスの量を変動させることにより、前記ワークの表面上の酸化アルミニウム及び水酸化アルミニウムの割合の増加量を変動させる、
請求項1に記載のワーク表面改質方法。 - 前記ワークに照射する前記プラズマガスの量は、前記ワークと前記プラズマガスを照射するプラズマヘッドとの距離及び前記ワークに照射する前記プラズマガスの照射速度を変動させることにより変動させる、
請求項2に記載のワーク表面改質方法。 - 前記ワークの表面上の酸化アルミニウムは、酸化アルミニウム膜を形成し、
前記ワークの表面上の水酸化アルミニウムは、水酸化アルミニウム膜を形成する、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のワーク表面改質方法。 - 放電によりプラズマガスを発生させる一対の電極と、
前記一対の電極を覆うヘッド本体部と、
前記ヘッド本体部に設けられ、前記プラズマガスを流す複数の第1ガス流路と、
複数の第2ガス流路を有し、前記複数の第1ガス流路から流入した前記プラズマガスを前記複数の第2ガス流路から噴出するノズルであって、上下方向において所定の厚みを有する板状の基部と、水平方向において所定の厚みを有する板状をなし、前記基部の下面から下方へ突出する板状部とを備えるノズルと、
前記複数の第2ガス流路の外側に形成され、ヒートガスを前記プラズマガスの周囲に噴出する外側空間部であって、前記基部に形成され、前記複数の第2ガス流路の外周を取り囲むように環状に形成される環状空間部と、前記環状空間部の下面から下方に突出する円筒形状をなす筒状空間部とを有する外側空間部と、
アルミニウム単体金属又はアルミニウム合金からなるワークに前記ノズルからプラズマガスを照射し、前記外側空間部から前記ヒートガスを前記プラズマガスの周囲に噴出することにより、前記ワークの表面上の酸化アルミニウム及び水酸化アルミニウムの割合を増加させるように制御する制御部と、
を備えたワーク表面改質装置。
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