JP7454874B2 - 基板ホルダー搬送システム - Google Patents
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Description
蒸着材料を蒸発させる蒸発源から離れて配置される基板ホルダー支持体であって、水平方向とは異なる所定の角度で傾き、かつ、少なくとも1つの成膜対象の基板を保持する少なくとも1つの基板ホルダーを支持する支持部を有する基板ホルダー支持体と、
前記基板ホルダーを前記所定の角度に応じて傾いた状態を維持して前記支持部にロードする基板ホルダー搬送部と、を備えることである。
<<第1の特徴>>
第1の特徴によれば、
蒸着材料を蒸発させる蒸発源から離れて配置される基板ホルダー支持体であって、水平方向とは異なる所定の角度で傾き、かつ、少なくとも1つの成膜対象の基板(例えば、後述する基板SBなど)を保持する少なくとも1つの基板ホルダー(例えば、後述する基板ホルダー200など)を支持する支持部(例えば、後述する囲繞部120など)を有する基板ホルダー支持体(例えば、後述する基板ドーム100など)と、
前記基板ホルダーを前記所定の角度(例えば、後述する角θなど)に応じて傾いた状態を維持して前記支持部にロードする基板ホルダー搬送部(例えば、後述する搬送システム400など)と、を備える基板ホルダー搬送システム、
が提供される。
第2の特徴は、第1の特徴において、
少なくとも1つの前記基板ホルダーを、前記所定の角度に応じて傾いた状態で前記支持部にロード可能に保持するロード用保持部(例えば、後述するロード用スタッカー300Lなど)を、さらに備える。
第3の特徴は、第1の特徴において、
前記基板ホルダー搬送部は、前記基板ホルダーを前記所定の角度に応じて傾いた状態を維持して(例えば、後述するハンド装置410など)前記支持部からアンロードする。
第4の特徴は、第3の特徴において、
前記所定の角度に応じて傾いた状態で、前記支持部からアンロードされた少なくとも1つの基板ホルダーを保持するアンロード用保持部(例えば、アンロード用スタッカー300Uなど)を、さらに備える。
第5の特徴は、第2の特徴において、
前記ロード用保持部は、前記所定の角度に応じて傾いた状態で、複数の基板ホルダーを重ねて保持する。
第6の特徴は、第4の特徴において、
前記アンロード用保持部は、前記所定の角度に応じて傾いた状態で、複数の基板ホルダーを重ねて保持する。
以下に、実施の形態について図面に基づいて説明する。本実施の形態による成膜装置の概略の構成を示す概略図である。図2(a)は、基板ホルダー200を示す正面図であり、図2(b-1)は、5つの基板ホルダー200が搭載されたときの基板ホルダースタッカー300の状態を示す側面図であり、図2(b-2)は、2つの基板ホルダー200が搭載されたときの基板ホルダースタッカー300の状態を示す側面図である。図3は、ロードの過程及びアンロードの過程を示す概略図である。図4は、ロード用スタッカー300Lの最上位置の基板ホルダー200の高さと、基板ホルダー200に載置された基板ホルダー200の高さと、アンロード用スタッカー300Uの最上位置の基板ホルダー200の高さとを示す概略図である。なお、図3では、基板ホルダー200を簡略化して示した。
成膜装置10は、主に、蒸発源20及び基板ドーム100を有する。蒸発源20及び基板ドーム100は、真空チャンバー30内に収容される。
真空チャンバー30内には、高さ方向に沿って、下から順に、蒸発源20及び基板ドーム100が配置されている。真空チャンバー30は、蒸発源20と基板ドーム100との間隔より長い高さを有する。
基板SBは、蒸着物質が付着される蒸着処理の対象物である。例えば、基板SBは、薄い円板状の形状を有する。基板SBの円状の表面に蒸着物質が付着される。基板SBは、薄い円板状の形状に限られず、他の形状でもよい。
基板ドーム100は、基板SBを保持する。基板ドーム100に保持された基板SBが成膜の対象である。
基板ドーム100は、略角錐状や略円錐状や略傘状や略椀状や略ボウル状や略半球状などの形状を有する。
囲繞部120は、少なくとも1つの開口部140を有する。開口部140を覆うように、基板ホルダー200が囲繞部120に配置される。開口部140を介して、蒸発源20からの蒸着物質を基板SBに蒸着することができる。
複数の囲繞部120を水平方向に対して所定の角度をなして下方に傾けることで、蒸発源20と複数の囲繞部120との距離を揃えることができる。このようにすることで、蒸発源20と基板SBの各々との距離を揃えることができる。基板SBの各々を蒸発源20に向かう方向に対して略垂直に延在するのが好ましい。距離を揃えることによって、複数の基板SBの膜厚や膜質などを近づけることができる。
図2(a)は、基板ホルダー200を示す正面図である。
基板ホルダー200は、金属やガラスなどによって構成される。例えば、基板ホルダー200は、アルミやステンレスなどから構成される。基板ホルダー200は、加熱状態や真空状態に適した材質で構成されればよい。基板ホルダー200は、耐熱性を有し、真空状態でガス放出され難い材質で構成されればよい。基板ホルダー200は、一定の形状に加工したり一定の形状を保ったりしやすい材質で構成されればよい。
基板ホルダー200は、薄い板状の形状を有する。基板ホルダー200は、略扇型の形状を有する。基板ホルダー200は、略等脚台形や略二等辺三角形状の板状の形状を有してもよい。基板ホルダー200は、少なくとも1つの基板SBを搭載して基板ドーム100の囲繞部120に載置できる形状であればよい。
基板ホルダー200は、第1の面210F及び第2の面210Sを有する。第1の面210Fの法線の方向は、第2の面の法線の方向に対して逆の方向である。基板ホルダー200の使用時には、第1の面210Fの法線は略上方向に向き、第2の面の法線は略下方向に向く。基板SBは、第1の面210F側に載せられる。
基板ホルダー200は、複数の突起220を有する。複数の突起220は、基板ホルダー200の第1の面210Fに設けられる。例えば、4つの突起220が、第1の面210Fに設けられる。突起220は、第1の面210Fから離隔する方向に沿って突出する。複数の突起220は、略同じ高さを有する。
基板ホルダー200は、複数の切り欠き部230を有する。複数の切り欠き部230は、基板ホルダー200の端部に形成される。例えば、4つの切り欠き部230が基板ホルダー200の端辺に形成される。少なくとも1つの切り欠き部230が基板ホルダー200の端部に形成されればよい。
基板ホルダー200は、貫通孔240を有する。貫通孔240を覆うように基板SBが配置される。一の貫通孔240に一の基板SBが対応する。成膜処理時には、蒸発物質は、貫通孔240を介して基板SBに付着される。
図2(b-1)及び(b-2)に示すように、基板ホルダースタッカー300は、少なくとも1本の棒体310を有する。例えば、基板ホルダースタッカー300は、4本の棒体310を有する。棒体310は、長尺な形状を有する。棒体310は、鉛直方向に延在する。なお、鉛直方向は、重力の方向であり、水平方向に対してと垂直をなす。棒体310が延在する方向は、鉛直方向に限らず、他の方向でもよい。棒体310が延在する方向は、ハンド装置410が基板ホルダー200を把持しやすい方向などにすればよい。
図2(b-1)及び(b-2)に示すように、基板ホルダースタッカー300は、傾斜調整部320を有する。傾斜調整部320は、基板ホルダースタッカー300に載置される基板ホルダー200の傾き(角θ)を定める。傾斜調整部320によって、基板ホルダースタッカー300に基板ホルダー200を水平方向とは異なる方向に保持する。傾斜調整部320は、基板ホルダー200を水平方向から傾けた状態で基板ホルダースタッカー300に保持する。傾斜調整部320によって定められた傾きで、複数の基板ホルダー200が基板ホルダースタッカー300に重ねられて載置される。
図2(b-1)及び(b-2)に示すように、基板ホルダースタッカー300は、昇降機構330を有する。昇降機構330は、基板ホルダースタッカー300に載置された基板ホルダー200の全体の高さを調節する(矢印B参照)。図2(b-2)の白い矢印で示すように、図2(b-2)は、図2(b-1)よりも、昇降機構330によって上昇された状態を示す。
基板ホルダースタッカー300においては、第1の面210Fが上を向き、第2の面210Sが下を向くように、基板ホルダー200が載置される。
搬送システム400は、基板ホルダー200をロード用スタッカー300Lから基板ドーム100にロードする。さらに、搬送システム400は、基板ホルダー200を基板ドーム100からアンロード用スタッカー300Uにアンロードする。
ハンド装置410は、基板ホルダー200を搬送可能に把持する。ハンド装置410は、基板ホルダー200の端部や爪部や突起部など(図示せず)と掛合して把持することができる。ハンド装置410は、基板ホルダー200を把持するための駆動措置(図示せず)を有する。駆動措置は、電動モータや圧縮空気などによって駆動されることができる。なお、掛合による把持だけでなく、磁力や真空による吸着力などによる把持でもよい。基板ホルダー200を搬送可能に安定して保持できればよい。
搬送装置420は、ハンド装置410で把持した基板ホルダー200を搬送する。搬送装置420は、ロード用スタッカー300Lから基板ドーム100に基板ホルダー200を搬送する。搬送装置420は、基板ドーム100からアンロード用スタッカー300Uに基板ホルダー200を搬送する。搬送装置420は、基板ホルダー200を傾斜した状態を維持して基板ホルダー200をロードしたりアンロードしたりする。
図4は、ロード用スタッカー300Lの最上位置の基板ホルダー200の高さと、基板ホルダー200に載置された基板ホルダー200の高さと、アンロード用スタッカー300Uの最上位置の基板ホルダー200の高さとを示す概略図である。
ロード用スタッカー300Lの最上位置の基板ホルダー200の高さと、
基板ホルダー200に載置された基板ホルダー200の高さと、
アンロード用スタッカー300Uの最上位置の基板ホルダー200の高さとは、
略同じである。
ロード用スタッカー300Lの最上位置の基板ホルダー200の水平方向に対する傾きと、
基板ホルダー200に載置された基板ホルダー200の水平方向に対する傾きと、
アンロード用スタッカー300Uの最上位置の基板ホルダー200の水平方向に対する傾きとは、
略同じである。
前述した例では、基板ホルダースタッカー300が、昇降機構330を有する構成を示した。すなわち、ロード用スタッカー300Lにおける最上位置の基板ホルダー200の高さと、アンロード用スタッカー300Uにおける最上位置の基板ホルダー200の高さとが、基板ホルダー200の高さと一致するように、昇降機構330が基板ホルダー200の高さを調節した。
上述したように、本実施の形態を記載した。しかし、この開示の一部をなす記載及び図面は、限定するものと理解すべきでない。ここで記載していない様々な実施の形態等が含まれる。
100 基板ドーム
300L ロード用スタッカー
300U アンロード用スタッカー
400 搬送システム
Claims (6)
- 複数の基板を、それぞれ保持する複数の基板ホルダーと、
前記複数の基板ホルダーを、水平方向とは異なる所定の角度で傾いた状態で載置する基板ホルダー保持部と、
蒸着材料を蒸発させる蒸着源から離れて配置され、前記基板ホルダーを前記所定の角度で傾いた状態で真空チャンバー内に保持する基板ドームと、
前記基板ホルダーを搬送するための基板ホルダー搬送部と、を備え、
前記ホルダー搬送部が、前記基板ホルダーを、前記所定の角度で傾いた状態で、前記基板ホルダー保持部と前記基板ドームとの間を搬送する基板ホルダー搬送システム。 - 前記基板ホルダー保持部が、前記基板ドームへロードするための前記基板ホルダーを前記所定の角度で傾いた状態で載置するロード用保持部と、前記基板ドームからアンロードされた前記基板ホルダーを前記所定の角度で傾いた状態で載置するアンロード用保持部とからなる、請求項1に記載の基板ホルダー搬送システム。
- 前記ロード用保持部が、前記所定の角度に応じて傾いた状態で、前記複数の基板ホルダーを重ねて保持するロード用スタッカーからなる、請求項2に記載の基板ホルダー搬送システム。
- 前記アンロード用保持部が、前記所定の角度に応じて傾いた状態で、前記複数の基板ホルダーを重ねて保持するアンロード用スタッカーからなる、請求項2に記載の基板ホルダー搬送システム。
- 蒸着材料を蒸発させる蒸着源から離れて配置される基板ホルダー支持体であって、
水平方向とは異なる所定の角度で傾き、かつ、少なくとも1つの成膜対象の基板を保持する少なくとも1つの基板ホルダーを支持する支持部を有する基板ホルダー支持体と、
前記基板ホルダーを前記所定の角度に応じて傾いた状態を維持して前記支持部にロードする基板ホルダー搬送部と、を備え、
少なくとも1つの前記基板ホルダーを、前記所定の角度に応じて傾いた状態で前記支持部にロード可能に保持するロード用保持部を、さらに備え、
前記ロード用保持部は、前記所定の角度に応じて傾いた状態で、複数の基板ホルダーを重ねて保持する、基板ホルダー搬送システム。 - 蒸着材料を蒸発させる蒸着源から離れて配置される基板ホルダー支持体であって、
水平方向とは異なる所定の角度で傾き、かつ、少なくとも1つの成膜対象の基板を保持する少なくとも1つの基板ホルダーを支持する支持部を有する基板ホルダー支持体と、
前記基板ホルダーを前記所定の角度に応じて傾いた状態を維持して前記支持部にロードする基板ホルダー搬送部と、を備え、
前記基板ホルダー搬送部は、前記基板ホルダーを前記所定の角度に応じて傾いた状態を維持して前記支持部からアンロードし、
前記所定の角度に応じて傾いた状態で、前記支持部からアンロードされた少なくとも1つの基板ホルダーを保持するアンロード用保持部を、さらに備え、
前記アンロード用保持部は、前記所定の角度に応じて傾いた状態で、複数の基板ホルダーを重ねて保持する、基板ホルダー搬送システム。
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