JP7453823B2

JP7453823B2 - 基板処理装置及び基板処理方法

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Publication number: JP7453823B2
Application number: JP2020050741A
Authority: JP
Inventors: 準之輔牧; 聡寛寺本
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2020-03-23
Filing date: 2020-03-23
Publication date: 2024-03-21
Anticipated expiration: 2040-03-23
Also published as: JP2024053071A; CN113433797A; JP2021150562A; KR20210118744A

Description

本開示は、基板処理装置及び基板処理方法に関する。

特許文献１には、帯状板の振動により発生する空気の圧力変動を測定する第１工程と、帯状板の固有振動数を抽出する第２工程と、抽出された固有振動数に基づいて帯状板の張力を求める第３工程とを備える帯状板の張力測定方法が開示されている。

特開２００５－３３７８４６号公報

基板に対して所定の処理を行う基板処理装置では、ベルトを有する搬送ユニットによって基板の搬送が行われる場合がある。本開示は、スループットを維持しつつ、ベルトの状態を検査することが可能な基板処理装置及び基板処理方法を提供する。

本開示の一側面に係る基板処理装置は、基板に対して所定の処理を施す処理ユニットと、基板を保持する保持部と、ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において保持部を変位させる駆動部とを有する搬送ユニットと、ベルトに近接した状態で設けられ、保持部の変位に由来するベルトの振動に応じた振動信号を取得可能な計測ユニットと、処理ユニット、搬送ユニット、及び計測ユニットを制御する制御ユニットと、を備える。制御ユニットは、基板を含む複数の基板に対して所定の処理を処理ユニットにより順に施す第１処理と、搬送ユニットにより処理ユニットに対する複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行する処理制御部と、計測ユニットから振動信号を取得する信号取得部と、振動信号に基づいてベルトの状態を判定する状態判定部と、を有する。信号取得部は、プロセス処理の実行期間において振動信号を取得する。

本開示によれば、スループットを維持しつつ、ベルトの状態を検査することが可能な基板処理装置及び基板処理方法が提供される。

図１は、基板処理システムの一例を模式的に示す斜視図である。図２は、塗布現像装置の一例を示す模式図である。図３は、搬送ユニットの一例を模式的に示す平面図である。図４は、搬送ユニットの一例を模式的に示す側面図である。図５（ａ）は、水平駆動部の内部の一例を示す模式図である。図５（ｂ）は、計測ユニットの一例を示す模式図である。図６（ａ）は、昇降駆動部の内部の一例を示す模式図である。図６（ｂ）は、水平駆動部の内部の一例を示す模式図である。図７は、制御装置の機能構成の一例を示すブロック図である。図８は、制御装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。図９は、基板処理方法の一例を示すフローチャートである。図１０は、搬送動作とベルト検査との処理タイミングの一例を示す図である。図１１は、ベルト検査方法の一例を示すフローチャートである。図１２（ａ）は、ベルトの振動に応じた振動信号の一例を示すグラフである。図１２（ｂ）は、振動信号のスペクトル解析結果の一例を示すグラフである。

以下、種々の例示的実施形態について説明する。

一つの例示的実施形態に係る基板処理装置は、基板に対して所定の処理を施す処理ユニットと、基板を保持する保持部と、ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において保持部を変位させる駆動部とを有する搬送ユニットと、ベルトに近接した状態で設けられ、保持部の変位に由来するベルトの振動に応じた振動信号を取得可能な計測ユニットと、処理ユニット、搬送ユニット、及び計測ユニットを制御する制御ユニットと、を備える。制御ユニットは、基板を含む複数の基板に対して所定の処理を処理ユニットにより順に施す第１処理と、搬送ユニットにより処理ユニットに対する複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行する処理制御部と、計測ユニットから振動信号を取得する信号取得部と、振動信号に基づいてベルトの状態を判定する状態判定部と、を有する。信号取得部は、プロセス処理の実行期間において振動信号を取得する。

この基板処理装置では、プロセス処理の実行期間においてベルトの振動に応じた振動信号が取得され、当該振動信号に基づきベルトの状態が判定される。この装置では、ベルトの状態を判定するために基板処理装置によるプロセス処理を停止させる必要がないので、スループットを維持しつつベルトの状態を検査することが可能となる。

上記基板処理装置は、状態判定部による判定結果に応じて、ベルトの状態が正常ではないことを示す信号を出力する出力部を更に備えてもよい。この場合、ベルトの状態が正常ではないと判定された場合に、ベルトの状態が正常である場合と異なる処理を実行することが可能となる。

処理制御部は、第２処理において、駆動部により第１方向に沿って保持部を変位させる変位処理を実行してもよい。信号取得部は、変位処理が終了した後に当該変位処理での変位によって発生するベルトの振動に応じた振動信号を取得してもよい。変位処理の終了後に振動信号を取得することで、当該振動信号に含まれる外乱の影響を低下させることが可能となる。

状態判定部は、変位処理が終了してから所定時間が経過した後のベルトの振動に応じた振動信号に基づいて、ベルトの状態を判定してもよい。この場合、振動信号に含まれる外乱の影響を更に低下させることが可能となる。

駆動部は、ベルトの少なくとも一部が架け渡される２つのプーリを更に含んでもよい。計測ユニットは、ベルトのうちの２つのプーリの間に配置される部分に近接して設けられてもよい。所定時間は、２つのプーリのうちの計測ユニットとの距離が近い一方のプーリと、計測ユニットとの間の距離に応じて設定されていてもよい。ベルトの振動が収束するまでの時間は、固定端と計測ユニットの近接位置との間のベルトの長さに依存すると考えられるので、上記構成では、ベルトの振動に応じて適切に状態を判定することが可能となる。

駆動部は、ベルトの少なくとも一部が架け渡される第１プーリ及び第２プーリと、第１プーリを回転させてベルトを移動させるモータとを更に含んでもよい。計測ユニットは、第１プーリの近傍に配置されていてもよい。処理制御部は、変位処理において、第２プーリから第１プーリに向かう方向に駆動部により保持部を変位させてもよい。この場合、保持部に連結される部材と第１プーリとの間のベルトの一部に対して、保持部の停止に伴い圧縮する力が加わると考えられる。そのため、上記ベルトの一部において振動が大きくなり、振動信号の取得が容易である。

駆動部は、保持部と共に移動するスライダを更に含んでもよい。スライダは、第１プーリと第２プーリとの間において移動可能となるようにベルトに接続されていてもよい。ベルトの移動経路に沿って、第１プーリ、計測ユニット、スライダ、及び第２プーリがこの順で配置されていてもよい。この場合、第１プーリとスライダとの間のベルトの一部においてスライダの移動に伴う振動が大きくなるので、振動信号の取得が容易である。

処理制御部は、第２処理において、変位処理を繰り返し実行してもよい。信号取得部は、変位処理ごとに当該変位処理での変位によって発生するベルトの振動に応じた振動信号を取得してもよい。保持部の停止位置は、変位処理ごとに異なる位置に設定されていてもよい。状態判定部は、変位処理ごとに設定された停止位置にも基づいてベルトの状態を判定してもよい。この場合、停止位置が異なっていても、変位処理ごとの停止位置が加味されるので、ベルトの状態を適切に判定することが可能となる。

搬送ユニットは、第２方向に保持部を変位させる第２駆動部を更に有してもよい。処理制御部は、第２処理において、第１方向において駆動部により保持部を変位させる第１変位処理と、第２方向において第２駆動部により保持部を変位させる第２変位処理とを実行してもよい。信号取得部は、第２変位処理の実行期間の少なくとも一部と重複する期間において、第１変位処理での変位によって発生するベルトの振動に応じた振動信号を取得してもよい。この場合、搬送ユニットによる動作とベルトの検査とが少なくとも部分的に重複して行われるので、ベルトの検査による、搬送ユニットの動作を含む処理への影響を抑制することが可能となる。

駆動部は、ベルトの少なくとも一部が架け渡され且つ第１方向に並ぶ第１プーリ及び第２プーリと、第１プーリを回転させることで、ベルトを移動させるモータと、保持部と共に移動するスライダとを更に含んでもよい。スライダは、第１プーリと第２プーリとの間において移動可能となるようにベルトに接続されていてもよい。ベルトの移動経路に沿って、第１プーリ、計測ユニット、スライダ、及び第２プーリがこの順で配置されていてもよい。この場合、第１プーリとスライダとの間のベルトの一部においてスライダの移動に伴う振動が大きくなるので、振動信号の取得が容易である。

駆動部は、ベルトの少なくとも一部が架け渡され且つ第１方向に並ぶ第１プーリ及び第２プーリと、保持部と共に移動するスライダとを更に含んでもよい。スライダは、第１プーリと第２プーリとの間において移動可能となるようにベルトに接続されていてもよい。ベルトの移動経路に沿って、計測ユニット、第１プーリ、スライダ、及び第２プーリがこの順で配置されていてもよい。この場合、計測ユニットが近接するベルトの一部にスライダから加わる外乱が第１プーリを介することで軽減され、振動信号に含まれる外乱の影響を低減させることが可能となる。

一つの例示的実施形態に係る基板処理方法は、複数の基板に対して所定の処理を処理ユニットにより順に施す第１処理と、ベルトを含む搬送ユニットにより処理ユニットに対する複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行することと、ベルトに近接して設けられた計測ユニットから、搬送ユニットの動作に由来するベルトの振動に応じた振動信号を取得することと、振動信号に基づいてベルトの状態を判定することとを含む。振動信号を取得することは、プロセス処理の実行期間において振動信号を取得することを含む。この基板処理方法では、上述の基板処理装置と同様にスループットを維持しつつベルトの状態を検査することが可能となる。

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。一部の図面にはＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸により規定される直交座標系が示される。以下の実施形態では、Ｚ軸が鉛直方向に対応し、Ｘ軸及びＹ軸が水平方向に対応する。

［基板処理システム］
図１に示される基板処理システム１は、ワークＷに対し、感光性被膜の形成、当該感光性被膜の露光、及び当該感光性被膜の現像を施すシステムである。処理対象のワークＷは、例えば基板、あるいは所定の処理が施されることで膜又は回路等が形成された状態の基板である。ワークＷに含まれる基板は、一例として、シリコンを含むウェハである。ワークＷ（基板）は、円形に形成されていてもよい。処理対象のワークＷは、ガラス基板、マスク基板、ＦＰＤ（Flat Panel Display）などであってもよく、これらの基板等に所定の処理が施されて得られる中間体であってもよい。感光性被膜は、例えばレジスト膜である。

基板処理システム１は、塗布・現像装置２と、露光装置３とを備える。塗布・現像装置２は、ワークＷにレジスト膜（感光性被膜）を形成する装置である。露光装置３は、ワークＷ（基板）に形成されたレジスト膜を露光する装置である。具体的には、露光装置３は、液浸露光等の方法によりレジスト膜の露光対象部分にエネルギー線を照射する。塗布・現像装置２は、露光装置３による露光処理前に、ワークＷの表面にレジスト（薬液）を塗布してレジスト膜を形成する処理を行い、露光処理後にレジスト膜の現像処理を行う。

（基板処理装置）
以下、基板処理装置の一例として、塗布・現像装置２の構成を説明する。図１及び図２に示されるように、塗布・現像装置２は、キャリアブロック４と、処理ブロック５と、インタフェースブロック６と、制御装置１００（制御ユニット）とを備える。

キャリアブロック４は、塗布・現像装置２内へのワークＷの導入及び塗布・現像装置２内からのワークＷの導出を行う。例えばキャリアブロック４は、ワークＷ用の複数のキャリアＣを支持可能であり、受け渡しアームを含む搬送ユニットＡ１を内蔵している。キャリアＣは、例えば円形の複数枚のワークＷを収容する。搬送ユニットＡ１は、キャリアＣからワークＷを取り出して処理ブロック５に渡し、処理ブロック５からワークＷを受け取ってキャリアＣ内に戻す。処理ブロック５は、処理モジュール１１，１２，１３，１４を有する。

処理モジュール１１は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送ユニットＡ３とを内蔵している。処理モジュール１１は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２によりワークＷの表面上に下層膜を形成する。液処理ユニットＵ１は、下層膜形成用の処理液をワークＷ上に塗布する。熱処理ユニットＵ２は、下層膜の形成に伴う各種熱処理を行う。

処理モジュール１２は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送ユニットＡ３とを内蔵している。処理モジュール１２は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２により下層膜上にレジスト膜を形成する。液処理ユニットＵ１は、レジスト膜形成用の処理液（レジスト）を下層膜上に塗布する。熱処理ユニットＵ２は、レジスト膜の形成に伴う各種熱処理を行う。

処理モジュール１３は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送ユニットＡ３とを内蔵している。処理モジュール１３は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２によりレジスト膜上に上層膜を形成する。液処理ユニットＵ１は、上層膜形成用の処理液をレジスト膜の上に塗布する。熱処理ユニットＵ２は、上層膜の形成に伴う各種熱処理を行う。

処理モジュール１４は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送ユニットＡ３とを内蔵している。処理モジュール１４は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２により、露光処理が施されたレジスト膜の現像処理及び現像処理に伴う熱処理を行う。液処理ユニットＵ１は、露光済みのワークＷの表面上に現像液を塗布した後、これをリンス液により洗い流すことで、レジスト膜の現像処理を行う。熱処理ユニットＵ２は、現像処理に伴う各種熱処理を行う。熱処理の具体例としては、現像処理前の加熱処理（ＰＥＢ：Post Exposure Bake）、現像処理後の加熱処理（ＰＢ：Post Bake）等が挙げられる。

処理ブロック５内におけるキャリアブロック４側には棚ユニットＵ１０が設けられている。棚ユニットＵ１０は、上下方向に並ぶ複数のセルに区画されている。棚ユニットＵ１０の近傍には昇降アームを含む搬送ユニットＡ７が設けられている。搬送ユニットＡ７は、棚ユニットＵ１０のセル同士の間でワークＷを昇降させる。

処理ブロック５内におけるインタフェースブロック６側には棚ユニットＵ１１が設けられている。棚ユニットＵ１１は、上下方向に並ぶ複数のセルに区画されている。棚ユニットＵ１０，Ｕ１１は、ワークＷに次の処理を行うために当該ワークＷを待機させるので（バッファとして機能するので）、これら棚ユニットＵ１０，Ｕ１１もワークＷに対して処理を施す処理ユニットに該当する。

インタフェースブロック６は、露光装置３との間でワークＷの受け渡しを行う。例えばインタフェースブロック６は、受け渡しアームを含む搬送ユニットＡ８を内蔵しており、露光装置３に接続される。搬送ユニットＡ８は、棚ユニットＵ１１に配置されたワークＷを露光装置３に渡す。搬送ユニットＡ８は、露光装置３からワークＷを受け取って棚ユニットＵ１１に戻す。

（搬送ユニット）
次に、図３及び図４を参照して、処理モジュール１２における搬送ユニットＡ３の一例について説明する。搬送ユニットＡ３は、処理モジュール１２内において、ワークＷを保持した状態で当該ワークＷを搬送する。搬送ユニットＡ３は、処理モジュール１２に含まれる複数の処理ユニットの間でワークＷを搬送する。図３に例示の処理モジュール１２では、水平な一方向に沿って、２つの液処理ユニットＵ１と２つの熱処理ユニットＵ２とが、この順に並んで配置されている。

本開示では、熱処理ユニットＵ２から液処理ユニットＵ１へ向かう方向を「Ｙ軸正方向」とし、液処理ユニットＵ１から熱処理ユニットＵ２へ向かう方向を「Ｙ軸負方向」とする。搬送ユニットＡ３から液処理ユニットＵ１（又は熱処理ユニットＵ２）へ向かう方向を「Ｘ軸正方向」とし、液処理ユニットＵ１（熱処理ユニットＵ２）から搬送ユニットＡ３へ向かう方向を「Ｘ軸負方向」とする。また、鉛直上向きを「Ｚ軸正方向」とし、鉛直下向きを「Ｚ軸負方向」とする。各軸の正方向及び負方向のいずれか一方を含む方向を単に「Ｘ軸方向」等と表記する。

搬送ユニットＡ３は、例えば、保持アーム２０と、水平駆動部３０，５０と、昇降駆動部７０とを有する。

保持アーム２０（保持部）は、ワークＷを保持するように構成されている。保持アーム２０は、ワークＷの表面Ｗａが上方を向くように当該ワークＷを保持する。表面Ｗａは、液処理ユニットＵ１においてレジストの塗布膜が形成される面である。保持アーム２０は、ワークＷの周縁を囲み、ワークＷの表面Ｗａとは反対側の裏面の周縁部を支持するように形成されていてもよい。搬送ユニットＡ３は、ワークＷを保持した保持アーム２０を変位させることで液処理ユニットＵ１等の処理ユニットに対する当該ワークＷの搬入出を行う。つまり、搬送ユニットＡ３は、保持アーム２０を変位させることで一の処理ユニットにワークＷを搬入し、保持アーム２０を変位させることで当該処理ユニットからワークＷを搬出する。搬送ユニットＡ３は、一の処理ユニットに対して複数のワークＷについての搬入出をそれぞれ行ってもよい。

水平駆動部３０は、保持アーム２０を水平な一方向において変位させるように構成されている。水平駆動部３０は、例えば、モータ等の動力源によって、水平な一方向に沿って保持アーム２０を往復移動させるように構成されたアクチュエータである。搬送ユニットＡ３は、図４に示されるように、水平駆動部３０を支持する回転駆動部４６と基台４８とを更に有する。回転駆動部４６は、例えば、モータ等の動力源によって、水平駆動部３０を鉛直な回転軸まわりに回転させるように構成された回転アクチュエータである。回転駆動部４６により水平駆動部３０が回転することで、水平駆動部３０による保持アーム２０の移動方向が変化する。

例えば、図４に示される水平駆動部３０は、Ｘ軸方向に保持アーム２０を往復移動させるように回転駆動部４６によって配置されている。この配置では、水平駆動部３０は、Ｘ軸正方向に保持アーム２０を移動させ、Ｘ軸負方向に保持アーム２０を移動させる。水平駆動部３０が、Ｘ軸方向（Ｘ軸正方向及びＸ軸負方向のいずれか）に保持アーム２０を移動させることにより、保持アーム２０に保持されているワークＷがＸ軸方向（第１方向）に沿って移動する。水平駆動部３０は、保持アーム２０を移動させる方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿って延びるように形成されている。水平駆動部３０の駆動機構の詳細については後述する。基台４８は、回転駆動部４６及び水平駆動部３０を支持する部材である。回転駆動部４６は、基台４８上に設けられており、基台４８は、例えば、Ｘ軸方向に沿って延びるように形成されている。基台４８のＸ軸負方向における一端部（例えば、一端部の両側面のそれぞれ）は、昇降駆動部７０に接続されている。

昇降駆動部７０は、保持アーム２０を鉛直方向（図示のＺ軸方向）において変位させるように構成されている。昇降駆動部７０は、例えば、モータ等の動力源によって、Ｚ軸方向（第１方向）に沿って保持アーム２０を往復移動させるように構成されたアクチュエータである。昇降駆動部７０は、例えば、基台４８を支持しており、Ｚ軸正方向に基台４８を移動させ、Ｚ軸負方向に基台４８を移動させる。昇降駆動部７０が、Ｚ軸方向に基台４８を移動させることにより、保持アーム２０（ワークＷ）もＺ軸方向に沿って移動する。昇降駆動部７０は、基台４８（保持アーム２０）を移動させるＺ軸方向に沿って延びるように形成されている。昇降駆動部７０の詳細については後述する。

図３に戻り、水平駆動部５０は、保持アーム２０を水平な一方向（図示のＹ軸方向）において変位させるように構成されている。水平駆動部５０は、例えば、モータ等の動力源によって、Ｙ軸方向（第１方向）に沿って保持アーム２０を往復移動させるように構成されたアクチュエータである。水平駆動部５０は、例えば、昇降駆動部７０を支持しており、Ｙ軸正方向に昇降駆動部７０を移動させ、Ｙ軸負方向に昇降駆動部７０を移動させる。水平駆動部５０が、Ｙ軸方向に昇降駆動部７０を移動させることにより、保持アーム２０（ワークＷ）もＹ軸方向に沿って移動する。水平駆動部５０は、Ｙ軸方向に沿って延びるように形成されている。水平駆動部５０の駆動機構の詳細については後述する。

（計測ユニット及び各駆動部の詳細）
次に、図５及び図６も参照して、各駆動部に含まれるベルトの状態を検査するために用いられる計測ユニットについて、各駆動部の詳細構成と共に説明する。塗布・現像装置２は、計測ユニット１３０，１５０，１７０を更に備える。

計測ユニット１３０は、水平駆動部３０のベルトの状態を検査するために用いられる。計測ユニット１５０は、水平駆動部５０のベルトの状態を検査するために用いられる。計測ユニット１７０は、昇降駆動部７０のベルトの状態を検査するために用いられる。本開示において、ベルトの状態の検査とは、当該ベルトが正常に動作可能であるか否かを検査することを意味する。一例では、ベルトの経時劣化、及びベルトの調節の不具合等によって、ベルト（駆動部）が正常に動作しなくなる場合があり、これらを未然に防止するために、各計測ユニットを用いてベルトの検査が行われる。以下、駆動部と計測ユニットについて軸ごとに説明する。

＜Ｙ軸方向＞
図５（ａ）には、Ｙ軸方向に保持アーム２０を変位させる水平駆動部５０の詳細が示されている。水平駆動部５０は、少なくとも一部分がＹ軸方向に沿って延びるように配置されたベルトを含み、当該ベルトを移動させることでＹ軸方向において保持アーム２０を変位させる。水平駆動部５０は、例えば、筐体５２と、プーリ５６ａ，５６ｂと、ベルト５８と、モータ６２と、スライダ５４とを有する。

筐体５２は、水平駆動部５０に含まれる各要素を収容する。筐体５２は、Ｙ軸方向に沿って延びるように形成されている。筐体５２のうちの複数の処理ユニットと対向する壁には、開口５２ａが設けられている（図４も参照）。開口５２ａからは、スライダ５４の一部が筐体５２の外に突出している。

図５（ａ）に示されるように、プーリ５６ａ（第１プーリ）及びプーリ５６ｂ（第２プーリ）は、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。プーリ５６ａ，５６ｂは、例えば、Ｙ軸方向における筐体５２内の各端部に配置されている。プーリ５６ａ，５６ｂはそれぞれ、Ｘ軸方向に沿う回転軸周りに回転可能に筐体５２内に設けられている。ベルト５８は、プーリ５６ａ，５６ｂに架け渡されている。ベルト５８は、例えばタイミングベルトである。モータ６２は、回転トルクを発生させる動力源である。モータ６２は、例えばサーボモータである。モータ６２は、プーリ５６ａに接続されており、プーリ５６ａを回転させる。モータ６２によるトルク（駆動力）がプーリ５６ａに伝達されると、プーリ５６ａ，５６ｂに架け渡されたベルト５８がＹ軸方向に沿って移動する。

スライダ５４は、例えば、図４に示されるように、Ｘ軸方向に延在するように形成されている。スライダ５４のＸ軸方向における基端部（処理ユニットから遠い方の一端部）は、筐体５２内においてベルト５８に接続されている。スライダ５４のＸ軸方向における先端部（処理ユニットに近い方の一端部）は、開口５２ａを通して筐体５２外に突出している。スライダ５４の先端部には、例えば、昇降駆動部７０の下端部が接続されている。このように、スライダ５４は、他部材を介して保持アーム２０に接続されており、保持アーム２０と共に移動する。モータ６２によるトルクによってベルト５８がＹ軸方向に沿って移動すると、ベルト５８に接続されているスライダ５４（昇降駆動部７０）も、Ｙ軸方向に沿って往復移動し、その結果、保持アーム２０及びワークＷもＹ軸方向に沿って移動する。

以上の水平駆動部５０では、スライダ５４は、プーリ５６ａとプーリ５６ｂとの間を移動可能に構成されている。スライダ５４が、プーリ５６ａ，５６ｂの間の一の位置に配置されている状態において、ベルト５８は、Ｙ軸方向に沿って延び且つプーリ５６ａ，５６ｂの間を接続する第１部分５８ａと、Ｙ軸方向に沿って延び且つプーリ５６ａ，５６ｂの間を接続する第２部分５８ｂとを含む。第１部分５８ａと第２部分５８ｂとは、Ｚ軸方向に沿って並んで配置されており、互いに略平行である。図５（ａ）に示される例では、第１部分５８ａにスライダ５４が接続されている。以下では、第１部分５８ａのうちの、プーリ５６ａとスライダ５４との間を「弦６４ａ」と称し、スライダ５４とプーリ５６ｂとの間を「弦６４ｂ」と称する。

計測ユニット１５０は、水平駆動部５０のベルト５８の振動に応じた信号（以下、「振動信号」という。）を取得可能に構成されている。具体的には、計測ユニット１５０は、水平駆動部５０による保持アーム２０の移動（搬送動作）に伴って発生するベルト５８の振動に応じた振動信号を取得する。計測ユニット１５０は、例えば、ベルト５８の振動によって発生する音波（空気の振動）を取得する。計測ユニット１５０は、ベルト５８に近接した状態で搬送ユニットＡ３（筐体５２の内部）に設けられる。計測ユニット１５０は、音波を計測する２つのセンサ（センサ９２，９４）を有してもよい。センサ９２及びセンサ９４は、互いに共通の機能を有する。

図５（ｂ）に示されるように、センサ９２及びセンサ９４は、ベルト５８を挟むように配置されている。一例では、センサ９２とセンサ９４とは、Ｚ軸方向に沿って並んで配置されている。すなわち、Ｚ軸方向において、センサ９２、ベルト５８、及びセンサ９４が、この順で並んでいる。センサ９２，９４のそれぞれは、ベルト５８からの音波を取得可能な位置に配置されている。センサ９２とベルト５８との間のＺ軸方向における距離は、センサ９４とベルト５８との間のＺ軸方向における距離と略等しい。センサ９２は、ベルト５８からＺ軸正方向に伝搬する音波ＳＷ１を取得し、センサ９４は、ベルト５８からＺ軸負方向に伝搬する音波ＳＷ２を取得する。一例では、センサ９２，９４のそれぞれは、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）マイクロフォンである。計測ユニット１５０（センサ９２，９４のそれぞれ）は、音波ＳＷ１，ＳＷ２に応じた電気信号を制御装置１００に出力する。

計測ユニット１５０（センサ９２，９４）は、モータ６２が接続されるプーリ５６ａの近傍に配置されてもよい。一例では、計測ユニット１５０は、プーリ５６ａとの間の距離が、プーリ５６ａとプーリ５６ｂとの間のＹ軸方向における距離の１／３以下となる位置に配置されている。計測ユニット１５０は、例えば、図５（ａ）に示されるように、第１部分５８ａの弦６４ａのうちのプーリ５６ａ寄りの位置に配置されている。この場合、スライダ５４は、計測ユニット１５０と干渉しない位置と、プーリ５６ｂと干渉しない位置との間において移動可能となるように構成される。

以上の構成では、ベルト５８の移動経路（モータ６２によるベルト５８の移動に伴う当該ベルト５８の移動軌跡）に沿って、プーリ５６ａ、計測ユニット１５０、スライダ５４、及びプーリ５６ｂが、この順で配置されている。なお、スライダ５４のＹ軸方向における位置に応じて、ベルト５８のうちの上述した第１部分５８ａ及び第２部分５８ｂ（弦６４ａ，６４ｂ）のそれぞれに該当する領域は変化する。しかしながら、スライダ５４が移動範囲内のいずれの位置に配置されていても、プーリ５６ａ、計測ユニット１５０、スライダ５４、及びプーリ５６ｂの上述の配置関係（ベルト５８の移動経路に沿った配置関係）は成立する。

以上に例示した水平駆動部５０は、例えば、処理モジュール１２の処理ユニット間においてワークＷを移動する際に用いられる。一例では、Ｙ軸正方向から数えて１番目に位置する液処理ユニットＵ１から３番目に位置する熱処理ユニットＵ２にワークＷを移動する際に、水平駆動部５０が用いられる（図３を参照）。具体的には、搬送ユニットＡ３は、保持アーム２０の基端部が基台４８と重なる位置に配置された状態で、水平駆動部５０により、移動元の液処理ユニットＵ１とＸ軸方向において対向する位置（Ｙ軸方向において重なる位置）から、移動先の熱処理ユニットＵ２とＸ軸方向において対向する位置まで保持アーム２０を移動させる。この際、図５（ａ）に示されるスライダ５４は、プーリ５６ｂからプーリ５６ａ（計測ユニット１５０）に向かって移動する。水平駆動部５０により保持アーム２０がＹ軸正方向に移動する場合、スライダ５４は、プーリ５６ａ（計測ユニット１５０）からプーリ５６ｂに向かって移動する。

＜Ｚ軸方向＞
図６（ａ）には、Ｚ軸方向に保持アーム２０を変位させる昇降駆動部７０の詳細が示されている。図６（ａ）には、昇降駆動部７０のうちの、Ｙ軸方向において基台４８を挟む一対の部分の一方が示されている（図３も参照）。昇降駆動部７０は、少なくとも一部分がＺ軸方向に沿って延びるように配置されたベルトを含み、当該ベルトを移動させることでＺ軸方向において保持アーム２０を変位させる。昇降駆動部７０は、例えば、筐体７２と、プーリ７６ａ，７６ｂと、ベルト７８と、モータ８２と、スライダ７４とを有する。

筐体７２は、昇降駆動部７０に含まれる各要素を収容する。筐体７２は、Ｚ軸方向に沿って延びるように形成されている。筐体７２のうちの基台４８と対向する壁には、開口７２ａが設けられている。開口７２ａからは、スライダ７４の一部が筐体７２の外に突出している。

プーリ７６ａ（第１プーリ）及びプーリ７６ｂ（第２プーリ）は、Ｚ軸方向に沿って並んで配置されている。プーリ７６ａの高さ位置は、プーリ７６ｂの高さ位置よりも低い。プーリ７６ａ，７６ｂは、例えば、Ｚ軸方向における筐体７２内の各端部に配置されている。プーリ７６ａ，７６ｂはそれぞれ、Ｘ軸方向に沿う回転軸周りに回転可能に筐体７２内に設けられている。ベルト７８は、プーリ７６ａ，７６ｂに架け渡されている。ベルト７８は、例えばタイミングベルトである。モータ８２は、回転トルクを発生させる動力源である。モータ８２は、例えばサーボモータである。モータ８２は、プーリ７６ａに接続されており、プーリ７６ａを回転させる。モータ８２によるトルク（駆動力）がプーリ７６ａに伝達されると、プーリ７６ａ，７６ｂに架け渡されたベルト７８がＺ軸方向に沿って移動する。

スライダ７４は、例えば、図６（ａ）に示されるように、Ｙ軸方向に延在するように形成されている。スライダ７４のＹ軸方向における基端部（基台４８から遠い方の一端部）は、筐体７２内においてベルト７８に接続されている。スライダ７４のＹ軸方向における先端部（基台４８に近い方の一端部）は、開口７２ａを通して筐体７２外に突出している。スライダ７４の先端部には、例えば、基台４８の一端部の側面が接続されている。このように、スライダ７４は、他部材を介して保持アーム２０に接続されており、保持アーム２０と共に移動する。モータ８２によるトルクによってベルト７８がＺ軸方向に沿って移動することで、ベルト７８に接続されているスライダ７４（基台４８）も、Ｚ軸方向に沿って往復移動する。スライダ７４（基台４８）がＺ軸方向に沿って移動することで、保持アーム２０及びワークＷもＺ軸方向に沿って移動する。

以上の昇降駆動部７０では、スライダ７４は、プーリ７６ａとプーリ７６ｂとの間を移動可能に構成されている。スライダ７４が、プーリ７６ａ，７６ｂの間の一の位置に配置されている状態において、ベルト７８は、Ｚ軸方向に沿って延び且つプーリ７６ａ，７６ｂの間を接続する第１部分７８ａと、Ｚ軸方向に沿って延び且つプーリ７６ａ，７６ｂの間を接続する第２部分７８ｂとを含む。第１部分７８ａと第２部分７８ｂとは、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されており、互いに略平行である。図５（ａ）に示される例では、第１部分７８ａにスライダ７４が接続されている。

計測ユニット１７０は、昇降駆動部７０のベルト７８の振動に応じた振動信号を取得可能に構成されている。具体的には、計測ユニット１７０は、昇降駆動部７０による保持アーム２０の移動（搬送動作）に伴って発生するベルト７８の振動に応じた振動信号を取得する。計測ユニット１７０は、例えば、ベルト７８の振動によって発生する音波を取得する。計測ユニット１７０は、ベルト７８に近接した状態で搬送ユニットＡ３（筐体７２の内部）に設けられる。計測ユニット１７０は、上述の計測ユニット１５０と同様に、音波を計測する２つのセンサ（センサ９２，９４）を有してもよい。

計測ユニット１７０のセンサ９２及びセンサ９４は、ベルト７８を挟むように配置される。一例では、センサ９２とセンサ９４とは、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。すなわち、Ｙ軸方向において、センサ９２、ベルト７８、及びセンサ９４が、この順で並んでいる。計測ユニット１７０（センサ９２，９４のそれぞれ）は、ベルト７８からの音波ＳＷ１，ＳＷ２に応じた電気信号を制御装置１００に出力する。

計測ユニット１７０（センサ９２，９４）は、モータ８２が接続されるプーリ７６ａの近傍に配置されてもよい。計測ユニット１７０は、例えば、図６（ａ）に示されるように、スライダ７４が接続されていない第２部分７８ｂのうちのプーリ７６ａの近傍に配置されている。この場合、スライダ７４は、計測ユニット１７０と干渉しないので、プーリ７６ａと干渉しない位置と、プーリ７６ｂと干渉しない位置との間において移動可能となるように構成される。計測ユニット１７０は、プーリ７６ａとの間の距離が、プーリ７６ａとプーリ７６ｂとの間のＺ軸方向における距離の１／３以下となる位置に配置されていてもよい。計測ユニット１７０の配置位置（固定位置）とプーリ５６ａとの間の距離は、スライダ７４の移動範囲のうちプーリ７６ａに最も接近する限界位置に位置する場合のスライダ７４の上端とプーリ５６ａとの間の距離と同程度であってもよく、小さくてもよい。

以上の構成では、ベルト７８の移動経路に沿って、計測ユニット１７０、プーリ７６ａ、スライダ７４、及びプーリ７６ｂが、この順で配置されている。なお、スライダ７４のＺ軸方向における位置に応じて、ベルト７８のうちの第１部分７８ａ及び第２部分７８ｂに該当する領域は変化する。しかしながら、スライダ７４が移動範囲内のいずれの位置に配置されていても、計測ユニット１７０、プーリ７６ａ、スライダ７４、及びプーリ７６ｂの上述の配置関係（ベルト７８の移動経路に沿った配置関係）は成立する。

以上に例示した昇降駆動部７０は、例えば、処理ユニットとのワークＷの受け渡しにおいて保持アーム２０を移動させる際に用いられる。一例では、搬送ユニットＡ３は、保持アーム２０の基端部が基台４８と重ならない位置に配置された状態（保持アーム２０の先端部が処理ユニット内に位置する状態）で、昇降駆動部７０により、一の高さ位置から当該高さ位置よりも低い位置まで保持アーム２０を移動させる。この際、図６（ａ）に示されるスライダ７４は、プーリ７６ｂからプーリ７６ａに向かって移動する。昇降駆動部７０により保持アーム２０がＺ軸正方向に移動する場合、スライダ７４は、プーリ７６ａからプーリ７６ｂに向かって移動する。

＜Ｘ軸方向＞
図６（ｂ）には、Ｘ軸方向に保持アーム２０を変位させる水平駆動部３０が示されている。水平駆動部３０は、少なくとも一部分がＸ軸方向に沿って配置されたベルトを含み、当該ベルトを移動させることでＸ軸方向において保持アーム２０を変位させる。水平駆動部３０は、例えば、筐体３２と、プーリ３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄと、ベルト３８と、モータ４２と、スライダ３４とを有する。

筐体３２は、水平駆動部３０に含まれる各要素を収容する。筐体３２は、Ｘ軸方向に沿って延びるように形成されている。例えば、筐体３２のうちの上壁には開口３２ａが設けられている。開口３２ａからは、スライダ３４の一部が筐体３２の外に突出している。

プーリ３６ａ（第１プーリ）及びプーリ３６ｂ（第２プーリ）は、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。プーリ３６ａと液処理ユニットＵ１（熱処理ユニットＵ２）との間のＸ軸方向における距離は、プーリ３６ｂと液処理ユニットＵ１との距離よりも小さい。プーリ３６ａ，３６ｂは、例えば、Ｘ軸方向における筐体３２内の各端部に配置されている。プーリ３６ｃとプーリ３６ｄとは、Ｘ軸方向においてプーリ３６ａ，３６ｂの間に配置され、Ｚ軸方向においてプーリ３６ａ，３６ｂの下方に配置されている。プーリ３６ｃの高さ位置は、プーリ３６ｄの高さ位置よりも高い。Ｘ軸方向において、プーリ３６ａ、プーリ３６ｃ、プーリ３６ｄ、及びプーリ３６ｂがこの順で配置されている。プーリ３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿う回転軸周りに回転可能に筐体３２内に設けられている。

ベルト３８は、プーリ３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄに架け渡されている。ベルト３８は、例えばタイミングベルトである。モータ４２は、回転トルクを発生させる動力源である。モータ４２は、例えばサーボモータである。モータ４２は、プーリ３６ｄに接続されており、プーリ３６ｄを回転させる。モータ４２によるトルク（駆動力）がプーリ３６ｄに伝達されると、プーリ３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄに架け渡されたベルト３８が、プーリ３６ａ，３６ｂの間においてＸ軸方向に沿って移動する。

スライダ３４は、例えば、図６（ｂ）に示されるように、Ｚ軸方向に延在するように形成されている。スライダ３４のＺ軸方向における基端部（下方に位置する一端部）は、筐体３２内においてベルト３８に接続されている。スライダ３４のＺ軸方向における先端部（上方に位置する一端部）は、開口３２ａを通して筐体３２外に突出している。スライダ３４の先端部には、例えば、保持アーム２０の基端部（保持アーム２０のうちのワークＷを保持しない部分）が接続されている。このように、スライダ３４は、保持アーム２０に接続されており、保持アーム２０と共に移動する。モータ４２によるトルクによってベルト３８がＸ軸方向に沿って移動することで、ベルト３８に接続されているスライダ３４（保持アーム２０）も、Ｘ軸方向に沿って往復移動する。スライダ３４（保持アーム２０）がＸ軸方向に沿って移動することで、保持アーム２０に保持されているワークＷもＸ軸方向に沿って移動する。

以上の水平駆動部３０では、スライダ３４は、プーリ３６ａとプーリ３６ｂとの間を移動可能に構成されている。スライダ３４が、プーリ３６ａ，３６ｂの間の一の位置に配置されている状態において、ベルト３８は、Ｘ軸方向に沿って延び且つプーリ３６ａ，３６ｂの間を接続する第１部分３８ａと、プーリ３６ａ，３６ｄの間を接続する第２部分３８ｂとを含む。Ｙ軸方向から見て、第２部分３８ｂは、第１部分３８ａに対して傾斜している。図６（ｂ）に示される例では、第１部分３８ａにスライダ３４が接続されている。

計測ユニット１３０は、水平駆動部３０のベルト３８の振動に応じた振動信号を取得可能に構成されている。具体的には、計測ユニット１３０は、水平駆動部３０による保持アーム２０の移動（搬送動作）に伴って発生するベルト３８の振動に応じた振動信号を取得する。計測ユニット１３０は、例えば、ベルト３８の振動によって発生する音波を取得する。計測ユニット１３０は、ベルト３８に近接した状態で搬送ユニットＡ３（筐体３２の内部）に設けられる。計測ユニット１３０は、上述の計測ユニット１５０と同様に、音波を計測する２つのセンサ（センサ９２，９４）を有してもよい。

計測ユニット１３０のセンサ９２及びセンサ９４は、ベルト３８を挟むように配置される。一例では、センサ９２とセンサ９４とは、ベルト３８の第２部分３８ｂに直交する方向に沿って並んで配置されている。すなわち、第２部分３８ｂに直交する方向において、センサ９２、ベルト３８、及びセンサ９４が、この順で並んでいる。計測ユニット１３０（センサ９２，９４のそれぞれ）は、ベルト３８からの音波ＳＷ１，ＳＷ２に応じた電気信号を制御装置１００に出力する。

計測ユニット１３０（センサ９２，９４）は、プーリ３６ａとプーリ３６ｄとの間に配置されてもよい。計測ユニット１３０は、例えば、図６（ｂ）に示されるように、スライダ３４が接続されていない第２部分３８ｂのプーリ３６ａとプーリ３６ｄとの間の略中央（略中央のプーリ３６ａ寄りに）に配置されている。この場合、スライダ３４は、計測ユニット１３０と干渉しないので、プーリ３６ａと干渉しない位置と、プーリ３６ｂと干渉しない位置との間において移動可能となるように構成される。

以上の構成では、ベルト３８の移動経路に沿って、計測ユニット１３０、プーリ３６ａ、スライダ３４、及びプーリ３６ｂ，３６ｃ，３６ｄが、この順で配置されている。なお、スライダ３４のＸ軸方向における位置に応じて、ベルト３８のうちの第１部分３８ａ及び第２部分３８ｂに該当する領域は変化する。しかしながら、スライダ３４が移動範囲内のいずれの位置に配置されていても、計測ユニット１３０、プーリ３６ａ、スライダ３４、及びプーリ３６ｂ，３６ｃ，３６ｄの上述の配置関係（ベルト３８の移動経路に沿った配置関係）は成立する。

以上に例示した水平駆動部３０は、例えば、処理ユニットに対してワークＷを搬入出するために保持アーム２０を移動する際に用いられる。一例では、搬送ユニットＡ３は、搬入出先の処理ユニットとＸ軸方向において対向した状態で、保持アーム２０の基端部が基台４８と重なる位置から、保持アーム２０の基端部が基台４８と重ならない位置まで保持アーム２０を移動させる。この際、図６（ｂ）に示されるスライダ３４は、プーリ３６ｂからプーリ３６ａに向かって移動する。水平駆動部３０により保持アーム２０がＸ軸負方向に移動する場合、スライダ３４は、プーリ３６ａからプーリ３６ｂに向かって移動する。

（制御装置）
続いて、図７及び図８を参照して制御装置１００の一例について説明する。制御装置１００は、塗布・現像装置２を制御する。制御装置１００は、少なくとも液処理ユニットＵ１、熱処理ユニットＵ２、搬送ユニットＡ３、及び計測ユニット１３０，１５０，１７０を制御する。制御装置１００は、機能上の構成（以下、「機能モジュール」という。）として、例えば、処理制御部２０２と、検査制御部２０４とを有する。検査制御部２０４は、信号取得部２１２と、データ抽出部２１４と、振動数算出部２１６と、記憶部２１８と、状態判定部２２０と、出力部２２２とを有する。各機能モジュールが実行する処理は、制御装置１００が実行する処理に相当する。

処理制御部２０２は、複数のワークＷに対するプロセス処理を実行する。プロセス処理とは、所定期間において、塗布・現像装置２において実行される一連の処理（例えば、下層膜の形成から現像処理までの一連の処理）を複数のワークＷに対して順に施すことである。プロセス処理は、液処理ユニットＵ１（熱処理ユニットＵ２）等の処理ユニットにより複数のワークＷに対して所定の処理（例えば、液処理又は熱処理）を施す第１処理を含む。また、プロセス処理は、液処理ユニットＵ１等の一の処理ユニットに対して、搬送ユニットＡ３により複数のワークＷの搬入出をそれぞれ行う第２処理を含む。

第２処理は、Ｘ軸方向に沿って水平駆動部３０により保持アーム２０を変位させる変位処理と、Ｙ軸方向に沿って水平駆動部５０により保持アーム２０を変位させる変位処理と、Ｚ軸方向に沿って昇降駆動部７０により保持アーム２０を変位させる変位処理とを含む。これらの３つの変位処理のそれぞれには、各軸の正方向に保持アーム２０を変位させる変位処理と、各軸の負方向に保持アーム２０を変位させる変位処理とが含まれる。

信号取得部２１２は、計測ユニット１３０，１５０，１７０それぞれから、ベルトの振動に応じた振動信号を取得する。例えば、信号取得部２１２は、各計測ユニットのセンサ９２，９４から音波ＳＷ１，ＳＷ２に応じた２つの電気信号の差分を算出することで、ベルトの振動に応じた振動信号を取得する。信号取得部２１２は、プロセス処理の実行期間において振動信号を取得する。信号取得部２１２は、例えば、塗布・現像装置２の稼働期間において、塗布・現像装置２による一連の処理（装置の稼働）を停止させることなく振動信号を取得する。一例では、信号取得部２１２は、各軸の変位処理が終了した後に当該軸において保持アーム２０が停止した状態で、当該変位処理に対応する駆動部のベルトから振動信号（当該変位処理での変位によって発生するベルトの振動に応じた振動信号）を取得する。

データ抽出部２１４は、信号取得部２１２により取得された振動信号の中からベルトの検査のための使用するデータ（以下、「解析データ」という。）を抽出する。例えば、データ抽出部２１４は、振動信号の中から、変位処理が終了してから（保持アーム２０が停止してから）第１所定時間が経過した時点から、当該第１所定時間から更に第２所定時間が経過した時点までの間のデータを抽出する。第１所定時間及び第２所定時間は、予め設定されており、変位処理の終了後に、ベルトの振動に応じた音波が計測できる程度に設定されている。例えば、第１所定時間は、数十ミリ秒～数百ミリ秒程度に設定されており、第２所定時間は、数ミリ秒～数十ミリ秒程度に設定されている。

振動数算出部２１６は、データ抽出部２１４により抽出された解析データに基づいて、ベルトの振動数を算出する。例えば、振動数算出部２１６は、解析データに対して高速フーリエ変換（Fast Fourier Transform）を行うことで周波数スペクトルを算出し、当該周波数スペクトルの中から最も振幅が大きい周波数をベルトの振動数として検出（算出）する。

記憶部２１８は、軸ごとに、振動数算出部２１６により算出されたベルトの振動の周波数（振動数）を記憶する。記憶部２１８は、所定期間において、軸ごとに、振動数算出部２１６により繰り返し算出されたベルトの振動数を記憶する。所定期間は、予め定められており、例えば、１日、１週間、１月、又は数か月であってもよく、塗布・現像装置２の稼働開始からメンテナンス等のための稼働停止までの期間であってもよい。

状態判定部２２０は、軸ごとに、信号取得部２１２により取得された振動信号に基づいてベルトの状態を判定する。状態判定部２２０は、例えば、軸ごとに、記憶部２１８により記憶されているベルトの周波数の算出結果に基づいて、ベルトの状態が異常であるか否かを判定する。本開示において、ベルトの状態が異常であることには、当該ベルトが既に故障している場合だけでなく、故障状態に近づいている場合（すなわち、そのまま継続して使用すると動作不能となる可能性が高い場合）も含まれる。

出力部２２２は、状態判定部２２０による軸ごとの判定結果に応じて、当該軸でのベルトの状態が正常ではないことを示す信号（以下、「異常信号」という。）を出力する。例えば、出力部２２２は、状態判定部２２０による判定結果により、ベルトの状態が異常であることが示される場合に、オペレータ等に報知するためのモニタに異常信号を出力する。あるいは、出力部２２２は、状態判定部２２０による判定結果により、ベルトの状態が異常であることが示される場合に、塗布・現像装置２による一連の処理（プロセス処理）を停止させるために異常信号を処理制御部２０２に出力する。

制御装置１００は、一つ又は複数の制御用コンピュータにより構成される。例えば制御装置１００は、図８に示される回路２４０を有する。回路２４０は、一つ又は複数のプロセッサ２４２と、メモリ２４４と、ストレージ２４６と、入出力ポート２４８と、タイマ２５２とを有する。ストレージ２４６は、例えばハードディスク等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。記憶媒体は、後述する基板処理方法を制御装置１００に実行させるためのプログラムを記憶している。記憶媒体は、不揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク及び光ディスク等の取り出し可能な媒体であってもよい。メモリ２４４は、ストレージ２４６の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ２４２による演算結果を一時的に記憶する。

プロセッサ２４２は、メモリ２４４と協働して上記プログラムを実行する。入出力ポート２４８は、プロセッサ２４２からの指令に従って、液処理ユニットＵ１、搬送ユニットＡ３、及び計測ユニット１３０，１５０，１７０等との間で電気信号の入出力を行う。タイマ２５２は、例えば一定周期の基準パルスをカウントすることで経過時間を計測する。なお、制御装置１００のハードウェア構成は、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）により構成されていてもよい。

［基板処理方法］
続いて、図９を参照して、基板処理方法の一例として塗布・現像装置２において実行される塗布現像処理について説明する。図９は、露光処理を含む塗布現像処理の一例を示すフローチャートであり、１つのワークＷに対する塗布現像処理の手順を示している。まず制御装置１００の処理制御部２０２は、キャリアＣ内のワークＷを棚ユニットＵ１０に搬送するように搬送ユニットＡ１を制御し、このワークＷを処理モジュール１１用のセルに配置するように搬送ユニットＡ７を制御する。

次に、処理制御部２０２は、ワークＷの表面Ｗａ上に下層膜を形成するように処理モジュール１１を制御する（ステップＳ０１）。ステップＳ０１において、例えば、処理制御部２０２は、棚ユニットＵ１０から液処理ユニットＵ１にワークＷを搬送するように搬送ユニットＡ３を制御する。そして、処理制御部２０２は、ワークＷの表面Ｗａ上に下層膜形成用の処理液の塗布膜が形成されるように液処理ユニットＵ１を制御する。処理制御部２０２は、塗布膜が形成されたワークＷを熱処理ユニットＵ２に搬送するように搬送ユニットＡ３を制御する。そして、処理制御部２０２は、ワークＷの表面Ｗａ上に下層膜が形成されるように熱処理ユニットＵ２を制御する。その後処理制御部２０２は、下層膜が形成された後のワークＷを棚ユニットＵ１０に戻すように搬送ユニットＡ３を制御し、このワークＷを処理モジュール１２用のセルに配置するように搬送ユニットＡ７を制御する。

次に、処理制御部２０２は、下層膜が形成された後のワークＷの表面Ｗａ上にレジスト膜を形成するように処理モジュール１２を制御する（ステップＳ０２）。ステップＳ０２において、例えば、処理制御部２０２は、棚ユニットＵ１０のワークＷを処理モジュール１２内のいずれかの液処理ユニットＵ１に搬送するように搬送ユニットＡ３を制御する。そして、処理制御部２０２は、ワークＷの表面Ｗａ上にレジストの塗布膜が形成されるように液処理ユニットＵ１を制御する。処理制御部２０２は、レジストの塗布膜が形成されたワークＷを熱処理ユニットＵ２に搬送するように搬送ユニットＡ３を制御する。そして、処理制御部２０２は、ワークＷの表面Ｗａ上にレジスト膜が形成されるように熱処理ユニットＵ２を制御する。その後処理制御部２０２は、レジスト膜が形成された後のワークＷを棚ユニットＵ１０に戻すように搬送ユニットＡ３を制御し、このワークＷを処理モジュール１３用のセルに配置するように搬送ユニットＡ７を制御する。

次に、処理制御部２０２は、レジスト膜が形成された後のワークＷの表面Ｗａ上に上層膜を形成するように処理モジュール１３を制御する（ステップＳ０３）。ステップＳ０３において、例えば、処理制御部２０２は、液処理ユニットＵ１にワークＷを搬送するように搬送ユニットＡ３を制御する。そして、処理制御部２０２は、ワークＷの表面Ｗａ上に上層膜形成用の処理液の塗布膜が形成されるように液処理ユニットＵ１を制御する。処理制御部２０２は、塗布膜が形成されたワークＷを熱処理ユニットＵ２に搬送するように搬送ユニットＡ３を制御する。そして、処理制御部２０２は、ワークＷの表面Ｗａ上に上層膜が形成されるように熱処理ユニットＵ２を制御する。その後処理制御部２０２は、上層膜が形成された後のワークＷを棚ユニットＵ１１に搬送するように搬送ユニットＡ３を制御する。

次に処理制御部２０２は、棚ユニットＵ１１のワークＷを露光装置３に送り出すように搬送ユニットＡ８を制御する。そして、制御装置１００とは別の制御装置が、レジスト膜が形成されたワークＷに対して露光処理を施すように露光装置３を制御する（ステップＳ０４）。その後処理制御部２０２は、露光処理が施されたワークＷを露光装置３から受け入れて、棚ユニットＵ１１における処理モジュール１４用のセルに配置するように搬送ユニットＡ８を制御する。

次に処理制御部２０２は、露光処理が施された後のワークＷに現像処理を施すように処理モジュール１４を制御する（ステップＳ０５）。ステップＳ０５において、例えば、処理制御部２０２は、熱処理ユニットＵ２にワークＷを搬送するように搬送ユニットＡ３を制御した後に、このワークＷのレジスト膜に現像前の熱処理を施すように熱処理ユニットＵ２を制御する。そして、処理制御部２０２は、現像前の加熱処理が施されたワークＷを液処理ユニットＵ１に搬送するように搬送ユニットＡ３を制御した後に、このワークＷのレジスト膜に現像処理を施すように液処理ユニットＵ１を制御する。

その後、処理制御部２０２は、現像処理が施されたワークＷを熱処理ユニットＵ２に搬送するように搬送ユニットＡ３を制御した後に、このワークＷのレジスト膜に現像後の熱処理を施すように熱処理ユニットＵ２を制御する。そして、処理制御部２０２は、ワークＷを棚ユニットＵ１０に戻すように搬送ユニットＡ３を制御し、このワークＷをキャリアＣ内に戻すように搬送ユニットＡ７及び搬送ユニットＡ１を制御する。以上で１つのワークＷについての塗布現像処理が完了する。

以上に例示した基板処理方法において、制御装置１００（検査制御部２０４）は、塗布・現像装置２による一連のプロセス処理における、複数のワークＷそれぞれの搬送動作（変位処理）と並行して、各駆動部のベルトの状態を検査する。このワークＷの各搬送動作には、ワークＷを保持していない状態の保持アーム２０の変位処理と、ワークＷを保持している状態の保持アーム２０の変位処理とが含まれる。制御装置１００は、Ｘ軸方向における保持アーム２０の変位処理後に、計測ユニット１３０を用いて、水平駆動部３０のベルト３８の状態を検査する。制御装置１００は、Ｙ軸方向における保持アーム２０の変位処理後に、計測ユニット１５０を用いて、水平駆動部５０のベルト５８の状態を検査する。制御装置１００は、計測ユニット１７０を用いて、Ｚ軸方向における保持アーム２０の変位処理後に、昇降駆動部７０のベルト７８の状態を検査する。

図１０には、図９に示されるステップＳ０２のレジスト膜の形成処理において実行される保持アーム２０の搬送動作（変位処理）と、当該搬送動作に伴って実行されるベルトの検査とのタイミングチャートの一例が部分的に示されている。ステップＳ０２の一部において、例えば、制御装置１００の処理制御部２０２は、液処理ユニットＵ１からのワークＷの搬出動作と、液処理ユニットＵ１から熱処理ユニットＵ２へのワークＷの移動動作と、熱処理ユニットＵ２へのワークＷの搬入動作とを順に実行する。

液処理ユニットＵ１からのワークＷの搬出動作では、まず、「Ｘ軸出し」動作が行われる。このＸ軸出し動作では、Ｘ軸方向において当該液処理ユニットＵ１と対向する位置（Ｙ軸方向において重なる位置）に配置され且つ保持アーム２０がワークＷを保持していない状態で、制御装置１００の処理制御部２０２が、Ｘ軸方向において保持アーム２０を正方向に変位させる変位処理（第１変位処理）を水平駆動部３０により実行する。

そして、「Ｚ軸ｕｐ」動作が行われる。このＺ軸ｕｐ動作では、処理制御部２０２が、液処理ユニットＵ１からワークＷを受け取るために、Ｚ軸方向（第２方向）において保持アーム２０を正方向に変位させる変位処理（第２変位処理）を昇降駆動部７０（第２駆動部）により実行する。この昇降駆動部７０による変位処理の実行期間の少なくとも一部と重複する期間において、「Ｘ軸検査」が行われる。このＸ軸検査では、検査制御部２０４が、一つの前のＸ軸正方向への変位処理（Ｘ軸出し動作）での変位によって発生する水平駆動部３０のベルト３８の振動に応じた振動信号を取得し、取得した当該振動信号に基づいてベルト３８の検査（例えば、振動数の算出及び記憶）を行う。その後、「Ｘ軸引き」動作が行われる。このＸ軸引き動作では、処理制御部２０２が、ワークＷを保持している保持アーム２０を、Ｘ軸負方向に変位させる変位処理を実行する。

次に、液処理ユニットＵ１から熱処理ユニットＵ２へのワークＷの移動動作では、「Ｙ軸動作」が行われる。このＹ軸動作では、処理制御部２０２が、保持アーム２０をＹ軸負方向に変位させる変位処理（第１変位処理）を水平駆動部５０により実行する。

次に、熱処理ユニットＵ２へのワークＷの搬入動作では、まず、「Ｘ軸出し」動作が行われる。このＸ軸出し動作では、処理制御部２０２が、ワークＷを保持している保持アーム２０をＸ軸方向（第２方向）において正方向に変位させる変位処理（第２変位処理）を水平駆動部３０（第２駆動部）により実行する。この水平駆動部３０による変位処理の実行期間の少なくとも一部と重複する期間において、「Ｙ軸検査」が行われる。このＹ軸検査では、検査制御部２０４が、一つの前のＹ軸負方向への変位処理（Ｙ軸動作）での変位によって発生する水平駆動部５０のベルト５８の振動に応じた振動信号を取得し、取得した当該振動信号に基づいてベルト５８の検査を行う。

そして、「Ｚ軸ｄｏｗｎ」動作が行われる。このＺ軸ｄｏｗｎ動作では、処理制御部２０２が、保持アーム２０に保持されているワークＷを熱処理ユニットＵ２へ引き渡すために、Ｚ軸方向において保持アーム２０を負方向に変位させる変位処理（第２変位処理）を昇降駆動部７０により実行する。この昇降駆動部７０による変位処理の実行期間の少なくとも一部と重複する期間において、「Ｘ軸検査」が行われる。このＸ軸検査では、検査制御部２０４が、一つの前のＸ軸正方向への変位処理（ワークＷを保持したＸ軸正方向への変位処理）での変位によって発生する水平駆動部３０のベルト３８の振動に応じた振動信号を取得し、取得した当該振動信号に基づいてベルト３８の検査（例えば、振動数の算出及び記憶）を行う。

その後、「Ｘ軸引き」動作が行われる。このＸ軸引き動作では、処理制御部２０２が、ワークＷを保持していない保持アーム２０を、Ｘ軸負方向に変位させる変位処理（第２変位処理）を水平駆動部３０により実行する。この昇降駆動部７０による変位処理の実行期間の少なくとも一部と重複する期間において、「Ｚ軸検査」が行われる。このＺ軸検査では、検査制御部２０４が、一つの前のＺ軸負方向への変位処理（Ｚ軸ｄｏｗｎ動作）での変位によって発生する昇降駆動部７０のベルト７８の振動に応じた振動信号を取得し、取得した当該振動信号に基づいてベルト７８の検査（例えば、振動数の算出及び記憶）を行う。以上により、熱処理ユニットＵ２へのワークＷの搬入動作が完了する。

以降、制御装置１００は、同様の搬送動作及び検査を繰り返す。以上の検査において、検査制御部２０４は、Ｘ軸負方向の搬送動作に伴って水平駆動部３０のベルト３８の振動数の算出及び記憶を繰り返し、Ｘ軸正方向の搬送動作に伴ってベルト３８の振動数の算出及び記憶を行わなくてもよい。あるいは、検査制御部２０４は、Ｘ軸正方向の搬送動作に伴ってベルト３８の振動数の算出を繰り返し、Ｘ軸負方向の搬送動作に伴ってベルト３８の振動数の算出を行わなくてもよい。また、上述の例と異なり、検査制御部２０４は、保持アーム２０がワークＷを保持している状態及びワークＷを保持していない状態のいずれか一方の状態でのＸ軸正方向（Ｘ軸負方向）の搬送動作に伴って、ベルト３８の振動数の算出を行い、他方の状態でのＸ軸正方向（Ｘ軸負方向）の搬送動作に伴って、ベルト３８の振動の算出を行わなくてもよい。検査制御部２０４は、Ｙ軸方向での搬送動作及びＺ軸方向での搬送動作に伴う検査について、Ｘ軸方向と同様に、同じ動作（又は同じ動作及び状態）においてベルトの振動数の算出を繰り返してもよい。

続いて、図１１及び図１２を参照して、一の軸の駆動部におけるベルトの検査について説明する。図１１は、Ｘ軸正方向の搬送動作（変位処理）において振動数を繰り返し算出してベルト３８の検査を行う場合の処理手順（検査方法）の一例を示すフローチャートである。

この検査方法では、まず、制御装置１００が、Ｘ軸正方向での変位処理が終了するまで待機する（ステップＳ２１）。ステップＳ２１では、例えば、検査制御部２０４が、保持アーム２０の基端部が基台４８と重ならない位置まで保持アーム２０が移動する動作が停止するまで待機する。一例では、検査制御部２０４は、水平駆動部３０のモータ６２による回転が停止した情報を処理制御部２０２から取得する。

ステップＳ２１において、変位処理が終了したと判断された場合（ステップＳ２１：ＹＥＳ）、制御装置１００は、Ｘ軸正方向での変位処理に由来して発生するベルト３８の振動に応じた振動信号を取得する（ステップＳ２２）。例えば、信号取得部２１２は、Ｘ軸正方向での変位処理の終了時点から予め定められた所定時間が経過するまでの間に、計測ユニット１３０から振動信号を取得する。ステップＳ２２の実行中において、処理制御部２０２は、Ｘ軸方向以外の軸での変位処理を行ってもよく、処理ユニットによりワークＷに処理を実行させてもよい。

次に、制御装置１００は、信号取得部２１２により取得された振動信号の中からベルトの検査のために使用する解析データを抽出する（ステップＳ２３）。図１２（ａ）に示されるように、例えば、データ抽出部２１４は、振動信号の中から、変位処理の終了時点（保持アーム２０の停止時点）から第１所定時間ｔ１が経過した後から、第２所定時間ｔ２の間のデータを、解析データとして抽出する。第１所定時間ｔ１及び第２所定時間ｔ２は、保持アーム２０の変位に由来するベルトの振動による音波が計測可能な時間に基づいて予め設定される。第１所定時間ｔ１は、検査ユニットが近接するベルトの一部において、変位処理の終了時点から保持アーム２０（スライダ）の停止に伴う振動が開始すると想定される時間に設定されている。第２所定時間ｔ２は、保持アーム２０（スライダ）の停止に伴うベルトの振動が継続すると想定される時間に設定されている。

次に、制御装置１００は、データ抽出部２１４により抽出された解析データに基づいて、ステップＳ２１の変位処理に伴って発生するベルト３８の振動の振動数を算出する（ステップＳ２４）。例えば、振動数算出部２１６は、解析データに高速フーリエ変換を行うことで、図１２（ｂ）に示されるような周波数スペクトルを算出する。そして、振動数算出部２１６は、算出した周波数スペクトルの中から最も振幅が大きい周波数（図１２（ｂ）に示される例では周波数ｆ１）をベルト３８の振動数として算出する。次に、制御装置１００（記憶部２１８）は、算出されたベルト３８の振動数を示す情報を記憶する（ステップＳ２５）。

次に、制御装置１００は、予め定められた基準時点から所定期間が経過したかどうかを判断する（ステップＳ２６）。ステップＳ２６では、例えば、制御装置１００は、塗布・現像装置２の稼働開始から所定期間（例えば、１日）が経過したかどうかを判断する。ステップＳ２６において、所定期間が経過していないと判断された場合（ステップＳ２６：ＮＯ）、制御装置１００は、ステップＳ２１～Ｓ２６を繰り返し実行する。これにより、制御装置１００（検査制御部２０４）は、処理制御部２０２が変位処理の実行を繰り返す間において、変位処理ごとに当該変位処理での変位によって発生するベルト３８の振動に応じた振動信号を取得する。そして、検査制御部２０４は、変位処理ごとにベルト３８の振動数を算出し、算出した振動数を記憶する。その結果、ベルト３８の振動数について複数の計測値が記憶部２１８に記憶される。

次に、制御装置１００は、ベルト３８の状態の判定に用いるための振動数（以下、「判定振動数」という。）を算出する（ステップＳ２７）。ステップＳ２７では、例えば、状態判定部２２０が、所定期間において記憶された複数の振動数の計測値についての統計値を、判定振動数として算出する。一例では、状態判定部２２０は、ベルト３８の振動数についての複数の計測値の平均値、中央値、下限値、上限値、又は標準偏差を、判定振動数として算出する。

次に、制御装置１００（状態判定部２２０）は、判定振動数が所定の閾値よりも小さいかどうかを判断する（ステップＳ２８）。閾値は、予め設定されており、例えば、ベルトのテンションを意図的に低下させた際の当該ベルトの振動数を計測した値に基づいて設定される。ステップＳ２８において、判定振動数が上記閾値よりも小さいと判断された場合（ステップＳ２８：ＹＥＳ）、制御装置１００は、ベルト３８の状態が正常ではないことを示す異常信号を出力する（ステップＳ２９）。

ステップＳ２９において、例えば、出力部２２２は、ベルト３８が故障していることを示す異常信号、又はベルト３８が故障状態に近づいていることを示す異常信号を出力する。一例では、出力部２２２は、オペレータ等に報知するためのモニタに異常信号を出力する。あるいは、出力部２２２は、処理制御部２０２に異常信号を出力し、異常信号を受けた処理制御部２０２は、塗布・現像装置２によるプロセス処理を停止する。一方、判定振動数が上記閾値以上であると判断された場合（ステップＳ２８：ＮＯ）、制御装置１００はステップＳ２９を実行しない。以上により、ベルト３８の検査についての一連の処理手順が終了する。

以上に説明したフローでは、Ｘ軸に関するベルト３８の検査について説明したが、Ｙ軸に関するベルト５８の検査、及びＺ軸に関するベルト７８の検査も、ベルト３８の検査と同様に実行されてもよい。

ステップＳ２３においてデータの抽出範囲を定める第１所定時間ｔ１は、軸ごとに異なる値に設定されてもよい。第１所定時間ｔ１は、計測ユニットと、計測ユニットを間に挟む２つのプーリのうちの当該計測ユニットとの距離が近い一方のプーリとの間に距離に応じて設定されてもよい。例えば、計測ユニットとプーリとの間の距離が長くなるほど、第１所定時間ｔ１が長い値に設定されてもよい。上述の例では、Ｘ軸方向の水平駆動部３０のプーリ３６ａと計測ユニット１３０との間の距離は、Ｙ軸方向の水平駆動部５０のプーリ５６ａと計測ユニット１５０との間の距離よりも大きく、Ｚ軸方向の昇降駆動部７０のプーリ７６ａと計測ユニット１７０との間の距離よりも大きい。すなわち、Ｘ軸方向についての第１所定時間ｔ１は、Ｙ軸方向についての第１所定時間ｔ１よりも長く、Ｚ軸方向についての第１所定時間ｔ１よりも長い。

Ｙ軸に関するベルト５８の検査においても、上述したステップＳ２１～Ｓ２６が繰り返される。この場合、検査制御部２０４は、所定期間において、処理制御部２０２がＹ軸負方向に保持アーム２０を変位させる変位処理ごとに、ベルト５８の振動の振動数を算出してもよい。Ｙ軸方向における保持アーム２０の移動については、搬入出先の処理ユニットに応じて保持アーム２０の停止位置（スライダ５４の停止位置）が異なる。スライダ５４の停止位置が異なると、計測ユニット１５０が設けられるベルト５８の一部分の長さ（スライダ５４からプーリ５６ａまでの長さ）が異なり、ベルト５８の状態の異常の有無に関わらず振動数が変化する。

このため、ステップＳ２４において、振動数算出部２１６は、保持アーム２０（スライダ５４）の停止位置に応じて、算出した振動数が停止位置のうちの任意に定められる基準位置での振動数に対応するようにベルト５８の振動数を補正してもよい。振動数算出部２１６は、弦の長さ、張力、及び単位質量と弦の固有振動数との関係を定めた式を用いて、振動信号から算出される振動数を、基準位置にスライダ５４が停止したと想定した場合の振動数に換算してもよい。この場合、記憶部２１８は、補正された振動数を示す情報を記憶する。そして、状態判定部２２０は、補正された振動数についての統計値を閾値と比較することでベルト５８の状態を判定する。この閾値は、スライダ５４が基準位置に位置しているベルト５８の状態に基づいて定められている。以上のように、状態判定部２２０は、ベルト５８の振動から得られる振動信号に加えて、変位処理ごとに設定された停止位置にも基づいてベルト５８の状態を判定してもよい。

Ｚ軸に関するベルト７８の検査においても、上述したステップＳ２１～Ｓ２６が繰り返される。この場合、検査制御部２０４は、所定期間において、処理制御部２０２がＺ軸負方向に（下方に）保持アーム２０を変位させる変位処理ごとに、ベルト７８の振動の振動数を算出してもよい。

上述の例では、変位処理の終了時点から振動信号が取得され、データ抽出部２１４により振動信号の一部のデータが抽出されるが、信号取得部２１２は、振動数の算出に利用する期間において振動信号を取得してもよい。例えば、信号取得部２１２は、変位処理の終了時点において振動信号の取得を開始せずに、第１所定時間ｔ１が経過した時点で振動信号の取得を開始し、第１所定時間ｔ１から更に第２所定時間ｔ２が経過した時点で振動信号の取得を停止してもよい。この場合、データ抽出部２１４による一部のデータの抽出が行われなくてもよい。以上のように、データの抽出の有無に関わらず、状態判定部２２０は、変位処理が終了してから第１所定時間ｔ１が経過した後のベルトの振動に応じた振動信号に基づいて、当該ベルトの状態を判定する。

［実施形態の効果］
以上に説明した塗布・現像装置２及び基板処理方法では、プロセス処理の実行期間においてベルトの振動に応じた振動信号が取得され、当該振動信号に基づきベルトの状態が判定される。この装置及び方法では、ベルトの状態を判定するために塗布・現像装置２によるプロセス処理を停止させる必要がないので、スループットを維持しつつベルトの状態を検査することが可能となる。

経時劣化等に起因してベルトのテンション（張力）が低下すると、ベルト切れ又は歯飛び等の故障が発生してしまうおそれがある。ベルトのテンションは、当該ベルトの振動数に応じるので、ベルトの振動数を定期的に確認することで、ベルトの故障を未然に防止することができる。ベルトの状態を検査する方法として、塗布・現像装置２において行われる一連の処理を停止して、ベルトの振動数を計測することが考えられる。しかしながら、塗布・現像装置２の稼働を停止すると、ワークＷのスループットが低下してしまう。これに対して、上記装置及び方法では、塗布・現像装置２の稼働を停止させずに（プロセス処理を停止させずに）ベルトの振動数が計測されるので、スループットを低下させずにベルトのテンションを検査することができる。

以上に説明した塗布・現像装置２は、状態判定部２２０による判定結果に応じて、ベルトの状態が正常ではないことを示す異常信号を出力する出力部２２２を更に備える。この場合、ベルトの状態が正常ではないと判定された場合に、ベルトの状態が正常である場合と異なる処理を実行することが可能となる。

以上に説明した塗布・現像装置２では、処理制御部２０２は、複数のワークＷそれぞれの処理ユニットへの搬入出を行う第２処理において、駆動部により第１方向に沿って保持アーム２０を変位させる変位処理を実行する。信号取得部２１２は、変位処理が終了した後に当該変位処理での変位によって発生するベルトの振動に応じた振動信号を取得する。変位処理の実行中において取得される振動信号には、外乱による振動の情報が多く含まれ得る。上記構成では、変位処理の終了から振動信号を取得することで、当該振動信号に含まれる外乱の影響を低下させることが可能となる。

以上に説明した塗布・現像装置２では、状態判定部２２０は、変位処理が終了してから所定時間が経過した後のベルトの振動に応じた振動信号に基づいて、ベルトの状態を判定する。変位処理の終了直後に取得される振動信号には、外乱による振動の情報が残っている場合もある。上記構成では、振動信号に含まれる外乱の影響を更に低下させることが可能となる。

以上に説明した塗布・現像装置２では、駆動部は、ベルトの少なくとも一部が架け渡される２つのプーリを更に含む。計測ユニットは、ベルトのうちの２つのプーリの間に配置される部分に近接して設けられてもよい。所定時間は、２つのプーリのうちの計測ユニットとの距離が近い一方のプーリと、計測ユニットとの間の距離に応じて設定されていてもよい。ベルトの振動が収束するまでの時間は、固定端と計測ユニットの近接位置との間のベルトの長さに依存すると考えられる。上記構成では、固定端と計測ユニットとの間のベルトの長さに応じて所定時間が変化するので、ベルトの振動に応じて適切に状態を判定することが可能となる。

以上に説明した塗布・現像装置２では、駆動部は、ベルトの少なくとも一部が架け渡される第１プーリ及び第２プーリと、第１プーリを回転させてベルトを移動させるモータとを更に含む。計測ユニットは、第１プーリの近傍に配置されている。処理制御部は、変位処理において、第２プーリから第１プーリに向かう方向に駆動部により保持アーム２０を変位させる。この場合、変位処理において保持アーム２０が停止すると、保持アーム２０に連結されているスライダの慣性力が第１プーリに向かう向きに発生する。そのため、スライダと第１プーリとの間のベルトの一部に対して、保持アーム２０（スライダ）の停止に伴い圧縮する力が加わると考えられる。これにより、上記ベルトの一部を含み且つ計測ユニットが配置されるベルトの部分の振動が大きくなり、振動信号の取得が容易である。

以上に説明した塗布・現像装置２では、駆動部は、保持アーム２０と共に移動するスライダを更に含む。スライダは、第１プーリと第２プーリとの間において移動可能となるようにベルトに接続されている。ベルトの移動経路に沿って、第１プーリ、計測ユニット、スライダ、及び第２プーリがこの順で配置されている。第２プーリから第１プーリに向かってスライダが移動すると、第１プーリとスライダとの間のベルトの一部において、変位処理でのスライダの停止に伴う衝撃が大きくなり、振動信号の取得が容易である。

以上に説明した塗布・現像装置２では、処理制御部は、第２処理において、Ｙ軸方向に関する変位処理を繰り返し実行する。信号取得部２１２は、変位処理ごとに当該変位処理での変位によって発生するベルト５８の振動に応じた振動信号を取得する。保持アーム２０の停止位置は、変位処理ごとに異なる位置に設定されている。状態判定部２２０は、変位処理ごとに設定された停止位置にも基づいてベルト５８の状態を判定する。この場合、保持アーム２０の停止位置が異なっていても、変位処理ごとの保持アーム２０の停止位置が加味されるのでベルト５８の状態を適切に判定することが可能となる。

以上に説明した塗布・現像装置２では、搬送ユニットＡ３は、第２方向に保持アーム２０を変位させる第２駆動部を更に有する。処理制御部２０２は、第２処理において、第１方向において駆動部により保持アーム２０を変位させる第１変位処理と、第２方向において第２駆動部により保持アーム２０を変位させる第２変位処理とを実行する。信号取得部２１２は、第２変位処理の実行期間の少なくとも一部と重複する期間において、第１変位処理での変位によって発生するベルトの振動に応じた振動信号を取得する。この場合、搬送ユニットＡ３による動作とベルトの検査とが少なくとも部分的に重複して行われるので、ベルトの検査によるプロセス処理への影響を抑制することが可能となる。

以上に説明した塗布・現像装置２では、駆動部は、ベルトの少なくとも一部が架け渡され且つ第１方向に並ぶ第１プーリ及び第２プーリと、第１プーリを回転させることで、ベルトを移動させるモータと、保持アーム２０と共に移動するスライダとを更に含む。スライダは、第１プーリと第２プーリとの間において移動可能となるようにベルトに接続されている。ベルトの移動経路に沿って、第１プーリ、計測ユニット、スライダ、及び第２プーリがこの順で配置されている。この場合、第１プーリとスライダとの間のベルトの一部においてスライダの移動に伴う振動が大きくなるので、振動信号の取得が容易である。

以上に説明した塗布・現像装置２では、駆動部は、ベルトの少なくとも一部が架け渡され且つ第１方向に並ぶ第１プーリ及び第２プーリと、保持アーム２０と共に移動するスライダとを更に含む。スライダは、第１プーリと第２プーリとの間において移動可能となるようにベルトに接続されている。ベルトの移動経路に沿って、計測ユニット、第１プーリ、スライダ、及び第２プーリがこの順で配置されていてもよい。この場合、計測ユニットが近接するベルトの一部にスライダから加わる外乱が第１プーリを介することで軽減され、振動信号に含まれる外乱の影響を低減させることが可能となる。

［変形例］
以上、本開示に係る実施形態について詳細に説明したが、本開示の要旨の範囲内で種々の変形を上記の実施形態に加えてもよい。搬送ユニットＡ３は、別の保持アーム２０と、別の保持アーム２０を少なくともＸ軸方向に変位させる別の水平駆動部３０を更に備えてもよい。水平駆動部３０と別の水平駆動部３０とは、鉛直方向に並んで配置されてもよい。この場合、塗布・現像装置２は、別の水平駆動部３０のベルト３８を検査するための別の計測ユニット１３０を更に備えてもよい。

搬送ユニットＡ３は、水平駆動部３０、水平駆動部５０、及び昇降駆動部７０の３つの駆動部のうちのいずれか一つの駆動部を有していなくてもよく、いずれか二つの駆動部を有していなくてもよい。水平駆動部３０，５０及び昇降駆動部７０の駆動機構は上述の例に限られず、駆動部は少なくとも移動方向に延びるように配置されたベルトを有していればよい。各駆動部では、３つのプーリ、又は５以上のプーリにベルトが架け渡されてもよい。

計測ユニット１３０，１５０，１７０は、センサ９２，９４のうちのいずれか一つのセンサを有しなくてもよい。なお、センサ９２，９４がベルトを挟むように配置されている場合、センサ９２が取得する音波ＳＷ１とセンサ９４が取得する音波ＳＷ２とでは、外乱による空気の振動が同位相であり、ベルトによる空気の振動が逆位相である。このため、音波ＳＷ１と音波ＳＷ２との差分を振動信号とすることで、ベルトによる空気の振動が強め合い、且つ外乱による空気の振動が低減された信号が得られる。計測ユニット１３０，１５０，１７０は、ベルトの振動に応じた信号を取得可能であれば、どのように構成されていてもよい。

計測ユニット１３０，１５０，１７０の配置位置は、上述の例に限られない。計測ユニットは、他の部材（例えば、スライダ）と干渉せずにベルトの振動に応じた振動信号を取得可能であれば、ベルトの移動経路において、いずれの位置に配置されてもよい。すなわち、ベルトの移動経路において、プーリ、スライダ、及び計測ユニットは、どのような順で配置されていてもよい。

処理モジュール１２の搬送ユニットＡ３以外の搬送ユニットにおいても、処理モジュール１２の搬送ユニットＡ３と同様に、各駆動部のベルトの検査が行われてもよい。塗布・現像装置２は、ワークＷに所定の処理を施す処理ユニットとして、液処理及び熱処理以外の処理を行うユニットを備えていてもよい。例えば、塗布・現像装置２は、表面Ｗａの状態を検査するための検査用のユニットを備えていてもよく、搬送ユニットＡ３は、当該検査用のユニットに対してワークＷの搬入出を行ってもよい。基板処理システム１は、少なくとも１つの処理ユニットと、当該処理ユニットに対してのワークＷの搬入出を行う搬送ユニットと、搬送ユニットに含まれる駆動部のベルトを検査するための計測ユニットと、制御ユニットとを備えていれば、どのように構成されていてもよい。

２…塗布・現像装置、３０…水平駆動部、３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ…プーリ、３８…ベルト、５０…水平駆動部、５６ａ，５６ｂ…プーリ、５８…ベルト、６２…モータ、７０…昇降駆動部、７６ａ，７６ｂ…プーリ、７８…ベルト、８２…モータ、１００…制御装置、１３０，１５０，１７０…計測ユニット、２０２…処理制御部、２１２…信号取得部、２２０…状態判定部、２２２…出力部、Ｗ…ワーク、Ｕ１…液処理ユニット、Ｕ２…熱処理ユニット、Ａ３…搬送ユニット。

Claims

基板に対して所定の処理を施す処理ユニットと、
前記基板を保持する保持部と、ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において前記保持部を変位させる駆動部とを有する搬送ユニットと、
前記ベルトに近接した状態で設けられ、前記保持部の変位に由来する前記ベルトの振動に応じた振動信号を取得可能な計測ユニットと、
前記処理ユニット、前記搬送ユニット、及び前記計測ユニットを制御する制御ユニットと、を備え、
前記制御ユニットは、
前記基板を含む複数の基板に対して前記所定の処理を前記処理ユニットにより順に施す第１処理と、前記搬送ユニットにより前記処理ユニットに対する前記複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行する処理制御部と、
前記計測ユニットから前記振動信号を取得する信号取得部と、
前記振動信号に基づいて前記ベルトの状態を判定する状態判定部と、を有し、
前記信号取得部は、前記プロセス処理の実行期間において前記振動信号を取得し、
前記処理制御部は、前記第２処理において、前記駆動部により前記第１方向に沿って前記保持部を変位させる変位処理を実行し、
前記信号取得部は、前記変位処理が終了した後に当該変位処理での変位によって発生する前記ベルトの振動に応じた前記振動信号を取得し、
前記状態判定部は、前記変位処理が終了してから所定時間が経過した後の前記ベルトの振動に応じた前記振動信号に基づいて、前記ベルトの状態を判定する、基板処理装置。
前記状態判定部による判定結果に応じて、前記ベルトの状態が正常ではないことを示す信号を出力する出力部を更に備える、請求項１に記載の基板処理装置。
前記駆動部は、前記ベルトの少なくとも一部が架け渡される２つのプーリを更に含み、
前記計測ユニットは、前記ベルトのうちの前記２つのプーリの間に配置される部分に近接して設けられ、
前記所定時間は、前記２つのプーリのうちの前記計測ユニットとの距離が近い一方のプーリと、前記計測ユニットとの間の距離に応じて設定されている、請求項１又は２に記載の基板処理装置。
前記駆動部は、前記ベルトの少なくとも一部が架け渡される第１プーリ及び第２プーリと、前記第１プーリを回転させて前記ベルトを移動させるモータとを更に含み、
前記計測ユニットは、前記第１プーリの近傍に配置されており、
前記処理制御部は、前記変位処理において、前記第２プーリから前記第１プーリに向かう方向に前記駆動部により前記保持部を変位させる、請求項１又は２に記載の基板処理装置。
前記駆動部は、前記保持部と共に移動するスライダを更に含み、
前記スライダは、前記第１プーリと前記第２プーリとの間において移動可能となるように前記ベルトに接続されており、
前記ベルトの移動経路に沿って、前記第１プーリ、前記計測ユニット、前記スライダ、及び前記第２プーリがこの順で配置されている、請求項４に記載の基板処理装置。
前記処理制御部は、前記第２処理において、前記変位処理を繰り返し実行し、
前記信号取得部は、前記変位処理ごとに当該変位処理での変位によって発生する前記ベルトの振動に応じた前記振動信号を取得し、
前記保持部の停止位置は、前記変位処理ごとに異なる位置に設定されており、
前記状態判定部は、前記変位処理ごとに設定された前記停止位置にも基づいて前記ベルトの状態を判定する、請求項５に記載の基板処理装置。
前記搬送ユニットは、第２方向に前記保持部を変位させる第２駆動部を更に有し、
前記処理制御部は、前記第２処理において、前記第１方向において前記駆動部により前記保持部を変位させる第１変位処理と、前記第２方向において前記第２駆動部により前記保持部を変位させる第２変位処理とを実行し、
前記信号取得部は、前記第２変位処理の実行期間の少なくとも一部と重複する期間において、前記第１変位処理での変位によって発生する前記ベルトの振動に応じた前記振動信号を取得する、請求項１～６のいずれか一項に記載の基板処理装置。
前記駆動部は、
前記ベルトの少なくとも一部が架け渡され且つ前記第１方向に並ぶ第１プーリ及び第２プーリと、
前記第１プーリを回転させることで、前記ベルトを移動させるモータと、
前記保持部と共に移動するスライダとを更に含み、
前記スライダは、前記第１プーリと前記第２プーリとの間において移動可能となるように前記ベルトに接続されており、
前記ベルトの移動経路に沿って、前記第１プーリ、前記計測ユニット、前記スライダ、及び前記第２プーリがこの順で配置されている、請求項１又は２に記載の基板処理装置。
前記駆動部は、
前記ベルトの少なくとも一部が架け渡され且つ前記第１方向に並ぶ第１プーリ及び第２プーリと、
前記保持部と共に移動するスライダとを更に含み、
前記スライダは、前記第１プーリと前記第２プーリとの間において移動可能となるように前記ベルトに接続されており、
前記ベルトの移動経路に沿って、前記計測ユニット、前記第１プーリ、前記スライダ、及び前記第２プーリがこの順で配置されている、請求項１又は２に記載の基板処理装置。
基板に対して所定の処理を施す処理ユニットと、
前記基板を保持する保持部と、ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において前記保持部を変位させる駆動部とを有する搬送ユニットと、
前記ベルトに近接した状態で設けられ、前記保持部の変位に由来する前記ベルトの振動に応じた振動信号を取得可能な計測ユニットと、
前記処理ユニット、前記搬送ユニット、及び前記計測ユニットを制御する制御ユニットと、を備え、
前記制御ユニットは、
前記基板を含む複数の基板に対して前記所定の処理を前記処理ユニットにより順に施す第１処理と、前記搬送ユニットにより前記処理ユニットに対する前記複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行する処理制御部と、
前記計測ユニットから前記振動信号を取得する信号取得部と、
前記振動信号に基づいて前記ベルトの状態を判定する状態判定部と、を有し、
前記信号取得部は、前記プロセス処理の実行期間において前記振動信号を取得し、
前記処理制御部は、前記第２処理において、前記駆動部により前記第１方向に沿って前記保持部を変位させる変位処理を実行し、
前記信号取得部は、前記変位処理が終了した後に当該変位処理での変位によって発生する前記ベルトの振動に応じた前記振動信号を取得し、
前記駆動部は、前記ベルトの少なくとも一部が架け渡される第１プーリ及び第２プーリと、前記第１プーリを回転させて前記ベルトを移動させるモータとを更に含み、
前記計測ユニットは、前記第１プーリの近傍に配置されており、
前記処理制御部は、前記変位処理において、前記第２プーリから前記第１プーリに向かう方向に前記駆動部により前記保持部を変位させる、基板処理装置。
基板に対して所定の処理を施す処理ユニットと、
前記基板を保持する保持部と、ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において前記保持部を変位させる駆動部とを有する搬送ユニットと、
前記ベルトに近接した状態で設けられ、前記保持部の変位に由来する前記ベルトの振動に応じた振動信号を取得可能な計測ユニットと、
前記処理ユニット、前記搬送ユニット、及び前記計測ユニットを制御する制御ユニットと、を備え、
前記制御ユニットは、
前記基板を含む複数の基板に対して前記所定の処理を前記処理ユニットにより順に施す第１処理と、前記搬送ユニットにより前記処理ユニットに対する前記複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行する処理制御部と、
前記計測ユニットから前記振動信号を取得する信号取得部と、
前記振動信号に基づいて前記ベルトの状態を判定する状態判定部と、を有し、
前記信号取得部は、前記プロセス処理の実行期間において前記振動信号を取得し、
前記搬送ユニットは、第２方向に前記保持部を変位させる第２駆動部を更に有し、
前記処理制御部は、前記第２処理において、前記第１方向において前記駆動部により前記保持部を変位させる第１変位処理と、前記第２方向において前記第２駆動部により前記保持部を変位させる第２変位処理とを実行し、
前記信号取得部は、前記第２変位処理の実行期間の少なくとも一部と重複する期間において、前記第１変位処理での変位によって発生する前記ベルトの振動に応じた前記振動信号を取得する、基板処理装置。
基板に対して所定の処理を施す処理ユニットと、
前記基板を保持する保持部と、ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において前記保持部を変位させる駆動部とを有する搬送ユニットと、
前記ベルトに近接した状態で設けられ、前記保持部の変位に由来する前記ベルトの振動に応じた振動信号を取得可能な計測ユニットと、
前記処理ユニット、前記搬送ユニット、及び前記計測ユニットを制御する制御ユニットと、を備え、
前記制御ユニットは、
前記基板を含む複数の基板に対して前記所定の処理を前記処理ユニットにより順に施す第１処理と、前記搬送ユニットにより前記処理ユニットに対する前記複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行する処理制御部と、
前記計測ユニットから前記振動信号を取得する信号取得部と、
前記振動信号に基づいて前記ベルトの状態を判定する状態判定部と、を有し、
前記信号取得部は、前記プロセス処理の実行期間において前記振動信号を取得し、
前記駆動部は、
前記ベルトの少なくとも一部が架け渡され且つ前記第１方向に並ぶ第１プーリ及び第２プーリと、
前記第１プーリを回転させることで、前記ベルトを移動させるモータと、
前記保持部と共に移動するスライダとを更に含み、
前記スライダは、前記第１プーリと前記第２プーリとの間において移動可能となるように前記ベルトに接続されており、
前記ベルトの移動経路に沿って、前記第１プーリ、前記計測ユニット、前記スライダ、及び前記第２プーリがこの順で配置されている、基板処理装置。
基板に対して所定の処理を施す処理ユニットと、
前記基板を保持する保持部と、ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において前記保持部を変位させる駆動部とを有する搬送ユニットと、
前記ベルトに近接した状態で設けられ、前記保持部の変位に由来する前記ベルトの振動に応じた振動信号を取得可能な計測ユニットと、
前記処理ユニット、前記搬送ユニット、及び前記計測ユニットを制御する制御ユニットと、を備え、
前記制御ユニットは、
前記基板を含む複数の基板に対して前記所定の処理を前記処理ユニットにより順に施す第１処理と、前記搬送ユニットにより前記処理ユニットに対する前記複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行する処理制御部と、
前記計測ユニットから前記振動信号を取得する信号取得部と、
前記振動信号に基づいて前記ベルトの状態を判定する状態判定部と、を有し、
前記信号取得部は、前記プロセス処理の実行期間において前記振動信号を取得し、
前記駆動部は、
前記ベルトの少なくとも一部が架け渡され且つ前記第１方向に並ぶ第１プーリ及び第２プーリと、
前記保持部と共に移動するスライダとを更に含み、
前記スライダは、前記第１プーリと前記第２プーリとの間において移動可能となるように前記ベルトに接続されており、
前記ベルトの移動経路に沿って、前記計測ユニット、前記第１プーリ、前記スライダ、及び前記第２プーリがこの順で配置されている、基板処理装置。
複数の基板に対して所定の処理を処理ユニットにより順に施す第１処理と、ベルトを含む搬送ユニットにより前記処理ユニットに対する前記複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行することと、
前記ベルトに近接して設けられた計測ユニットから、前記搬送ユニットの動作に由来する前記ベルトの振動に応じた振動信号を取得することと、
前記振動信号に基づいて前記ベルトの状態を判定することとを含み、
前記振動信号を取得することは、前記プロセス処理の実行期間において前記振動信号を取得することを含み、
前記搬送ユニットは、前記複数の基板に含まれる基板を保持する保持部と、前記ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において前記保持部を変位させる駆動部とを有し、
前記プロセス処理を実行することは、前記第２処理において、前記駆動部により前記第１方向に沿って前記保持部を変位させる変位処理を実行することを含み、
前記振動信号を取得することは、前記変位処理が終了した後に当該変位処理での変位によって発生する前記ベルトの振動に応じた前記振動信号を取得することを含み、
前記ベルトの状態を判定することは、前記変位処理が終了してから所定時間が経過した後の前記ベルトの振動に応じた前記振動信号に基づいて、前記ベルトの状態を判定することを含む、基板処理方法。
複数の基板に対して所定の処理を処理ユニットにより順に施す第１処理と、ベルトを含む搬送ユニットにより前記処理ユニットに対する前記複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行することと、
前記ベルトに近接して設けられた計測ユニットから、前記搬送ユニットの動作に由来する前記ベルトの振動に応じた振動信号を取得することと、
前記振動信号に基づいて前記ベルトの状態を判定することとを含み、
前記振動信号を取得することは、前記プロセス処理の実行期間において前記振動信号を取得することを含み、
前記搬送ユニットは、前記複数の基板に含まれる基板を保持する保持部と、前記ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において前記保持部を変位させる駆動部と、第２方向に前記保持部を変位させる第２駆動部とを有し、
前記プロセス処理を実行することは、前記第２処理において、前記第１方向において前記駆動部により前記保持部を変位させる第１変位処理と、前記第２方向において前記第２駆動部により前記保持部を変位させる第２変位処理とを実行することを含み、
前記振動信号を取得することは、前記第２変位処理の実行期間の少なくとも一部と重複する期間において、前記第１変位処理での変位によって発生する前記ベルトの振動に応じた前記振動信号を取得することを含む、基板処理方法。