JP7445919B2 - 流体検出システム及びモジュール - Google Patents
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Description
(1-1)構成説明
以下、本実施形態の流体検出システム1について、図面を参照しながら説明する。下記の実施形態等において参照する図は、模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比は、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
流体検出システム1の利用分野について説明する。流体検出システム1は、半導体製造装置の塗布装置、噴霧装置及び洗浄装置に適用可能である。より詳細には、塗布装置及び噴霧装置では、例えば、液状材料を塗布又は噴霧するときの塗布量及び噴霧量を検出するために流体検出システム1を利用可能である。また、洗浄装置では、例えば、洗浄液の使用量を検出するために流体検出システム1を利用可能である。
以上、本実施形態に係る流体検出システムは、流路ユニット2と、センサユニット6とを備える。流路ユニット2は、外部流路G1,G2が連結される第1開口及び第2開口を有する内部流路21を含む。センサユニット6は、内部流路21を流れる流体の流れを検出する。センサユニット6は、流路ユニット2から分離可能に流路ユニット2に取り付けられる。
第1実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。第1実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に説明する変形例は、組み合わせて実施されてもよい。
第1実施形態では、流体検出システム1は熱式の流量計である場合を例示する。ただし、流体検出システム1は、超音波式の流量計であってもよいし、電磁式の流量計であってもよいし、コリオリ式の流量計であってもよい。
第1実施形態では、流路ユニット2は筒状であり、一対のケース4,5は流路ユニット2の形状に合わせて一方向に長い形状である。ただし、流路ユニット2の形状は、平面視矩形の板状であってもよく、一対のケース4,5の各々の形状もそれぞれ、流路ユニット2の形状に合わせて平面視矩形の板状であってもよい。
第1実施形態では、流路ユニット2の収容凹部24は、センサユニット6の一部(センサ部3)を収容する構造である。ただし、流路ユニット2の収容凹部24は、センサユニット6の少なくとも一部(センサ部3)を収容する構造であってもよい。
図5に示すように、本変形例は、第1実施形態において、アクチュエータ10及び圧力センサ11を更に備える。本変形例は、圧力センサ11によって流路ユニット2とセンサ部3との間に作用する押圧力を測定し、測定結果に応じて、アクチュエータ10によって上記の押圧力を調整するように構成されている。
(3-1)構成説明
第2実施形態に係る流体検出システム1について説明する。第1実施形態では、内部流路21がバルク流路(すなわち堅い部材で形成された流路)である場合を例示するが、本実施形態では、内部流路21がフィルム流路(すなわちフィルムで形成された流路)である場合を例示する。以下の説明では、第1実施形態の構成要素と対応する構成要素には同じ符号を付している。
本実施形態に係る流体検出システム1によれば、主要な効果として、第1実施形態の主要な効果と同じ効果を奏する。また、流路ユニット2がフィルム流路であるため、流路ユニット2の製造コストを低減できる。また、流路ユニット2がフィルム流路である場合、流路ユニット2は、特に流路ユニット2の材質が着色されない限り透明性を有するため、内部流路21を流れる流体を外部から観察可能である。
以下、第1実施形態及び第2実施形態と組み合わせて実施可能な他の実施形態について説明する。以下で説明する他の実施形態は、互いに組み合わせて実施可能である。以下の説明では、第1実施形態及び第2実施形態の構成と対応する構成には同じ符号を付して説明を省略し、第1実施形態及び第2実施形態の構成と異なる点を中心に説明する場合がある。
図10A~図12に示すように、本実施形態では、流路ユニット2がバルク流路である場合において、センサユニット6の平面視で、センサ部3の中心と内部流路21の長手方向の中心とを一致させるための構造を例示する。
本実施形態では、図13A及び図13Bに示すように、流路ユニット2がバルク流路である場合において、センサユニット6のセンサ部3と流路ユニット2の収容凹部24との間に異物(例えばゴミ又は埃)が入ることを抑制するための構造を例示する。
図14A~図14Cに示すように、本実施形態では、流路ユニット2がバルク流路である場合において、センサユニット6のセンサ部3と流路ユニット2の収容凹部24との間に入った気泡を外部に抜くための構造を例示する。
図15A~図15Cに示すように、本実施形態では、流路ユニット2がバルク流路である場合において、センサユニット6と流路ユニット2とを相互に位置決めする構造を例示する。
図16A及び図16Bに示すように、本実施形態では、流路ユニット2がバルク流路である場合において、センサユニット6と流路ユニット2とを相互に固定するロック構造58を例示する。また、本実施形態では、内部流路21回りのセンサ部3の傾きを抑制する構造を例示する。
本実施形態では、流路ユニット2がフィルム流路である場合において、センサユニット6と流路ユニット2とを相互に位置決めする構造を例示する。
図18A及び図18Bに示すように、本実施形態では、流路ユニット2がフィルム流路である場合において、センサユニット6のセンサ部3と流路ユニット2との間に異物(例えばゴミ又は埃)が入ることを抑制するための構造を例示する。
図19A及び図19Bに示すように、本実施形態では、流路ユニット2がフィルム流路である場合において、センサユニット6のセンサ部3と流路ユニット2との間に入った気泡を外部に抜くための構造を例示する。
以上説明した実施形態及び変形例から明らかなように以下の態様を取り得る。
2 流路ユニット
2a 層素材
3 センサ部(回路部)
6 センサユニット
7 介在部材
21 内部流路
24 収容凹部
27 再剥離性の粘着性フィルム(介在部材)
28 溝部
55,60 突部
56,61 嵌合部
58 ロック構造
G1,G2 外部流路
Claims (16)
- 外部流路が連結される第1開口及び第2開口を有する内部流路を含む流路ユニットと、
前記内部流路を流れる流体の流れを検出するセンサユニットと、
前記流路ユニットと前記センサユニットとを相互に固定するロック構造と、を備え、
前記センサユニットは、前記流路ユニットから分離可能に前記流路ユニットに取り付けられ、
前記ロック構造は、
前記センサユニットに設けられた第1引掛部と、
前記流路ユニットに設けられた第2引掛部と、を有し、
前記第1引掛部は、
前記センサユニットにおける前記流路ユニットとの対向面から突出した弾性片と、
前記弾性片の先端に設けられた爪部と、を有し、
前記第2引掛部は、
前記流路ユニットにおける側面と、前記流路ユニットにおける前記センサユニットとは反対側の裏面とで形成される角部であり、
前記ロック構造は、前記爪部が前記角部に引っ掛かることで、前記流路ユニットと前記センサユニットとを相互に固定し、
前記ロック構造が解除されることで、前記流路ユニットと前記センサユニットが相互に分離可能になる、
流体検出システム。 - 前記センサユニットと前記流路ユニットとの間で相互に押付力を作用させる押付機構を備える、
請求項1に記載の流体検出システム。 - 前記押付機構は、前記押付力を調整可能に構成されている、
請求項2に記載の流体検出システム。 - 前記流路ユニットは、ガラス又はポリメタクリル酸メチル樹脂で形成されている、
請求項1~3の何れか1項に記載の流体検出システム。 - 前記流路ユニットは、複数の層素材が積層された構造を有する、
請求項1~4の何れか1項に記載の流体検出システム。 - 前記流路ユニットの表面に収容凹部が設けられ、
前記収容凹部には、前記センサユニットの少なくとも一部が収容される、
請求項1~5の何れか1項に記載の流体検出システム。 - 前記センサユニットの前記少なくとも一部は、前記流体の流れを検出する回路部であり、
前記収容凹部の平面視で、前記収容凹部は、前記内部流路の少なくとも一部に重なる、請求項6に記載の流体検出システム。 - 前記流路ユニットには、前記収容凹部の内部から外側に伸びる溝部を有する、
請求項6又は7に記載の流体検出システム。 - 前記収容凹部は、前記センサユニットの前記少なくとも一部に嵌り合う形状である、
請求項6~8の何れか1項に記載の流体検出システム。 - 前記流路ユニットと前記センサユニットとの隙間を埋める介在部材を備える、
請求項1~9の何れか1項に記載の流体検出システム。 - 前記介在部材の熱伝導率は、空気の熱伝導率よりも高い、
請求項10に記載の流体検出システム。 - 前記センサユニットは、熱式の流量計である、
請求項1~11の何れか1項に記載の流体検出システム。 - 前記流路ユニット及び前記センサユニットのうちの一方には、他方と対向する第1対向面に突部が設けられ、
前記流路ユニット及び前記センサユニットのうちの他方には、前記一方と対向する第2対向面に、前記突部に嵌り合う嵌合部が設けられている、
請求項1~12の何れか1項に記載の流体検出システム。 - 前記突部は、前記第1対向面の面内の回転に対して非対称な配置で複数設けられ、
前記嵌合部は、前記複数の突部に対応するように複数設けられている、
請求項13に記載の流体検出システム。 - 請求項1~14の何れか1項に記載の流体検出システムの前記流路ユニットとして用いられるモジュール。
- 請求項1~14の何れか1項に記載の流体検出システムの前記センサユニットとして用いられるモジュール。
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