JP7443168B2 - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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Description
弾性表面波デバイスを小型化した構造としては、ウエハレベルチップサイズパーケージ(WL-CSP)型の構造が知られている。WL-CSP型の弾性表面波デバイスは、例えば特許文献1に記載されているように圧電基板の表面に櫛歯電極を設け、櫛歯電極の作動空間を形成するように櫛歯電極の周囲に外囲壁層と、天井板を設けて中空構造とした構成となっている。そして櫛歯電極と接続された引出し配線を圧電基板の外縁まで引き出し、さらに当該引出し配線と接続され、天井板の上面に設けられた実装端子とを接続する側面配線を設けた構成が記載されている。また特許文献2には、櫛形電極の周囲を素子カバーにより囲み、カバー部材の外面に櫛形電極と電気的に接続された第1の電極を設けた弾性波装置において、カバー部材及び第1の電極を覆うようにエポキシ系の封止樹脂を設けた構成が記載されている。
前記圧電基板上に設けられ、前記IDTが配置された領域を囲む壁部と、
当該壁部の上面の一部のみに重なって、前記壁部に囲まれた領域の開口を塞ぐ天板部と、
前記圧電基板の一面に設けられ、前記IDTに接続される位置から、前記壁部に囲まれた領域の外部に引き出されるように設けられた引出電極と、
前記壁部の外部に引き出された部分の前記引出電極上に積層されることにより当該引出電極と電気的に接続され、前記壁部の側面を介して前記天板部の上面まで引き回される電極配線と、
少なくとも前記天板部の上面を覆うように設けられた保護膜と、
前記天板部の側面と前記壁部の上面のうち当該天板部に重ならない領域とがなす一の段部を被覆することで前記電極配線に形成される他の段部と、
を備え、
前記保護膜が前記天板部の上面より広い領域を覆うように設けられる場合には、当該保護膜は、前記引出電極上に前記電極配線が積層されている領域を避けて設けられ、当該保護膜の下端は前記他の段部上に位置し、前記電極配線において当該他の段部よりも上側における部位が前記保護膜に被覆されることを特徴とする。
即ち引出電極4は、IDT2に接続される位置から、壁部31に囲まれた領域の外部に引き出されるように設けられているといえる。なお明細書中では、2本の引出電極4における壁部31の外側の部分を端子部4Aと呼ぶ。
既述のように、近年では温度差の大きい熱衝撃試験が課されることから、線膨張係数の差に基づく保護膜8と、圧電基板10との間の応力が強くなる傾向にあり、より割れが発生しやすい傾向が想定される。そのため熱衝撃試験を行ったときに、図3、図4に示す構成の製品では歩留まりが低下してしまう懸念がある。
このことは感光性エポキシ樹脂に限らず、例えば線膨張係数が52ppm/℃を超えるような材料により保護膜8を形成する場合においても同様である。
そこで、図1、図2に示す例では、天板部32の上面及び側面を覆うように保護膜8を設け、当該領域に設けられている構成部材を衝撃や腐食から保護している。従って、保護膜8を設ける領域をさらに広げ、壁部31の側面までも覆うように保護膜8を設けてもよい。但し、この場合においても、引出電極4と電極配線6とが積層された領域に保護膜8の下端部が接触しないように当該保護膜8を形成するか、前記積層された領域に接触するように形成された保護膜8の下端部を除去する処理を行う必要がある。
2 IDT
31 壁部
32 天板部
4 引出電極
6 電極配線
8 保護膜
Claims (4)
- 圧電基板の一面に設けられたIDTと、
前記圧電基板上に設けられ、前記IDTが配置された領域を囲む壁部と、
当該壁部の上面の一部のみに重なって、前記壁部に囲まれた領域の開口を塞ぐ天板部と、
前記圧電基板の一面に設けられ、前記IDTに接続される位置から、前記壁部に囲まれた領域の外部に引き出されるように設けられた引出電極と、
前記壁部の外部に引き出された部分の前記引出電極上に積層されることにより当該引出電極と電気的に接続され、前記壁部の側面を介して前記天板部の上面まで引き回される電極配線と、
少なくとも前記天板部の上面を覆うように設けられた保護膜と、
前記天板部の側面と前記壁部の上面のうち当該天板部に重ならない領域とがなす一の段部を被覆することで前記電極配線に形成される他の段部と、
を備え、
前記保護膜が前記天板部の上面より広い領域を覆うように設けられる場合には、当該保護膜は、前記引出電極上に前記電極配線が積層されている領域を避けて設けられ、当該保護膜の下端は前記他の段部上に位置し、前記電極配線において当該他の段部よりも上側における部位が前記保護膜に被覆されることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記保護膜は、感光性エポキシ樹脂からなることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
- 前記保護膜の線膨張係数が52ppm/℃以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の弾性表面波デバイス。
- 前記保護膜に覆われていない領域の前記電極配線の表面に、前記保護膜よりも線膨張係数が小さい材料からなる電極保護膜を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイス。
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