JP7437623B2 - 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 - Google Patents
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Description
しかしながら、近年、各種鋼の切削加工における高能率化が求められており、合金鋼やステンレス鋼の切削加工においては、高速切削化が求められる中、従来の表面被覆切削工具では、例えば、二層構造の皮膜に対し、切削時に基材の表面に平行な方向の力が皮膜に加わると、皮膜を構成する各層の間にて剥離が生じ、さらに皮膜が摩耗するというような問題を有していた。
しかしながら、前記特許文献1において提案されている、表面被覆切削工具を用い、被覆工具を合金鋼やステンレス鋼等の高速断続切削加工に用いることによっても、従来のPVD-TaNやTiTaN皮膜では、六方晶構造の皮膜を含んでいるため、皮膜靭性が低く、また、刃先の温度が高温になる加工では、相変態が生じ皮膜の耐チッピング性が劣化するため、溶着チッピングが頻発し、耐摩耗性および耐剥離性を発揮するには、不向きであるという問題点を有していた。
すなわち、本発明者らは、限定された条件にて、TiTaNからなる複合窒化物層(以下、「TiTa複合窒化物層」ともいう。)を成膜することにより、工具基体表面のほぼ法線方向に形成された、超微粒組織を有する立方晶柱状組織が得られ、前記TiTa複合窒化物層の硬さが向上することにより、切削試験時における摩耗脱離単位が小さく、異常摩耗が抑制される結果、合金鋼やステンレス鋼の高速断続切削加工に際し、耐チッピング性にすぐれ、耐摩耗性および耐剥離性を発揮する、すぐれた切削特性を有する硬質被覆層が得られることを見出した。
さらには、前記TiTa複合窒化物層では、Ta量がTiとTaとの合量に対して占める含有割合(以後、「Ta含有割合」ともいう)が、周期的に変化する組成変動組織を有するとともに、前記組成変動組織は、特に、Ta含有割合について、最高含有割合を示すTa最高含有点および最低含有割合を示すTa最低含有点の周期および各周期における最高含有割合と最低含有割合との差の絶対値の平均値が所定値以上である組織とすることにより、高硬度の微細結晶粒を含有する、耐チッピング性、耐摩耗性および耐剥離性にすぐれた硬質被覆層が得られることを知見した。
そして、かかるTiTa複合窒化物層を硬質被覆層として有する被覆切削工具は、従来の被覆切削工具に対して、耐チッピング性にすぐれ、耐摩耗性および耐剥離性を発揮することから、合金鋼やステンレス鋼の高速断続切削加工用として、長期の使用にわたり、すぐれた工具寿命を有することを見出したものである。
「(1)炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に硬質被覆層が形成されてなる表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層は、前記工具基体の表面側から下部層および上部層を有してなり、
(b)前記下部層は、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、かつ、0.1~3.0μmの合計平均層厚を有するTi化合物層を有し、
(c)前記上部層は、1.0~15.0μmの平均層厚を有する立方晶Ti1-xTaxN(原子比であって、Ta量がTiとTaとの合量に対して占める平均含有割合であるxは、0.20≦x≦0.80である)からなり、
(d)前記立方晶Ti1-xTaxNは、Ta量がTiとTaとの合量に対して占める含有割合が周期的に変化する組成変動組織を有し、
(d-1)縦断面観察において、前記組成変動組織の周期的な組成変動の方向と、工具基体表面に平行な面とのなす角度が0~30°であり、
(d-2)前記組成変動組織を有する結晶粒の平均粒子幅が2~100nmの柱状構造組織であり、
(d-3)前記組成変動組織における前記Ta量が前記TiとTaとの合量に対して占める含有割合について、最高含有割合xmaxを示すTa最高含有点と最低含有割合xminを示すTa最低含有点とが繰り返され、前記繰り返される隣接するTa最高含有点とTa最低含有点の間隔の平均値である平均間隔が2~20nmであり、前記Ta最高含有点の最高含有割合xmaxと前記Ta最低含有点の最低含有割合xminとの差Δxの絶対値の平均値が0.05以上であること、
を特徴とする表面被覆切削工具。
(2) (1)に記載された表面被覆切削工具において、前記上部層であるTi1-xTaxN層のナノインデンテーション押込み硬さ(押込み荷重200mgf)が4000kgf/mm2以上であることを特徴とする(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3) (1)または(2)に記載された表面被覆切削工具において、前記上部層である
前記Ti1-xTaxN層の上層として、0.5~5.0μmの平均層厚を有するα型もしくはκ型のAl2O3層を有することを特徴とする(1)または(2)に記載された表面被覆切削工具。」を特徴とするものである。
本発明に係る硬質被覆層は、工具基体側より、1層または2層以上のTi化合物層からなる下部層と、TiTa複合窒化物層からなる上部層とを有するものであり、さらに必要に応じて、上部層の上層(最上層)として、α型もしくはκ型の酸化アルミニウム層(Al2O3層)を有するものである。
硬質被覆層が下部層と上部層とからなる場合、硬質被覆層の合計平均層厚は、1.1μm未満では、長期にわたり耐摩耗性を発揮することができず、一方、18.0μmを超えると欠損やチッピングが発生し易くなるため、1.1~18.0μmとすることが望ましく、また、さらに、最上層を含む場合においては、硬質被覆層の合計平均膜厚は、1.6~23.0μmとすることが望ましい。
硬質被覆層における各層および全体の平均層厚は、例えば、工具基体に対し垂直方向断面において、SEM(走査型電子顕微鏡)、TEM(透過型電子顕微鏡)、または、HAADF-STEM(高角環状暗視野走査透過型電子顕微鏡)を用いて測定することができる。本発明工具の、工具基体に対する垂直方向断面のSEM写真の例を図1に示す。
工具基体上に形成する下部層は、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなり、工具基体と上部層である、TiTa複合窒化物層との密着性を高めることができるため、欠損、剥離等の異常損傷の発生を抑制することができる。
Ti化合物層からなる下部層の合計平均膜厚は、0.1μm未満では、下部層の効果が十分発揮されず、一方、3.0μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなるため、0.1μm~3.0μmとすることが望ましい。
(1)成分組成、平均層厚
本発明に係る複合窒化物は、TiTa複合窒化物層からなるものであって、前記複合窒化物層を構成するTiTa複合窒化物は、組成式(Ti1-xTaxN)にて表した場合、0.20≦x≦0.80を満足する。
ここで、xは、Ta量がTiとTaとの合量に対して占める平均含有割合を表す。ただし、xは原子比である。
Taの平均含有割合xは、0.20より小さい場合には十分な格子ひずみが導入されず、またxが0.80よりも大きい場合には結晶組織中に六方晶形の結晶が形成されやすくなり、十分な靭性を確保できないために、0.20≦x≦0.80と規定した。
また、本発明に係る前記TiTa複合窒化物層においては、耐溶着性向上元素であるNを有することにより、特に、耐溶着性にすぐれた特性を有するものである。
また、上部層の平均層厚は、1.0μm未満では、長期にわたる耐摩耗性を発揮することができず、一方、15.0μmを超えると、欠損やチッピングが発生しやすくなるため、硬さおよび耐摩耗性の観点から優れた効果を発揮する、1.0~15.0μmと規定した。
本発明に係る前記複合窒化物(TiTaN)層は、Ta含有割合、Ti含有割合が、周期的に変化する組成変動組織、すなわち、TaがTiとTaとの合量に対して占める含有割合が周期的に変化する組成変動組織を有するものである。
前記組成変動組織を構成する結晶粒は、縦断面観察において、前記組成変動組織の周期的な組成変動の方向と、工具基体表面に平行な面とのなす角が0~30°であり、また、前記組成変動組織を有する結晶粒の水平方向における平均粒子幅が2~100nmである柱状構造結晶により形成された組織である。本発明工具の、工具基体に対する垂直方向断面のHAADF-STEM像の例を図2に示す。周期的な明暗を呈する組成変動組織が観察される。
前記組成変動組織の周期的な組成変動の方向が、縦断面観察において、工具基体表面に平行な面とのなす角が30°より大きい方向に存在している場合、合金鋼やステンレス鋼の切削加工時に被削材表面と硬質被覆層最表面とが接触する際に、組成変動方向に垂直な面の方向に塑性変形を生じやすくなり、該塑性変形に伴う異常摩耗が進行しやすくなるため、前記組成変動組織の周期的な組成変動の方向は、縦断面観察において、工具基体表面に平行な面とのなす角度が0~30°であることとした。
また、前記結晶粒の水平方向における平均粒子幅については、水平方向における平均粒子幅が2~100nmと小さいため、転位運動の障害として作用する結晶粒界長が大きくなり、結晶粒界のすべりに対する抵抗が大きくなる結果、皮膜硬さが向上する。水平方向における平均粒子幅が100nmより大きい場合には、従来の表面被覆切削工具の硬質被覆層にあるように、上記の皮膜硬さ向上の効果が小さくなる。
なお、ここでいう柱状構造結晶により形成された組織とは、例えば、前記複合窒化物層の縦断面を観察した際に、個々の結晶粒について、層厚方向の結晶粒の高さ(長辺)にて、最も大きい値を最大粒子長さ(L)とし、層厚方向に垂直な方向の結晶粒の幅(短辺)にて、最も大きい値を最大粒子幅(W)としたとき、L/Wにて定義されるアスペクト比が、2.0以上である結晶粒が、前記の複合窒化物層の縦断面において占める面積割合が、50%以上である組織をいう。
具体的な測定法としては、例えば、SEM-EBSD法(走査型電子顕微鏡を用いた電子線後方散乱回折法)を用いることにより、測定することができる。
以下、(ア)および(イ)では、組成変動組織における各成分Ta、Tiにおける最高含有点、最高含有割合、最低含有点および最低含有割合の定義を示し、(ウ)および(エ)においては、Ta最高含有点およびTa最低含有点におけるTa含有割合差(xmax-xmin)、を所定値以上とすること、および、Ta最高含有点位置およびTa最低含有点位置の間隔(平均値)を規定することの技術的意義について説明する。
前記組成変動組織において、Ta含有割合は、例えば、Ta最高含有割合-Ta最低含有割合-Ta最高含有割合-Ta最低含有割合・・・というように所定の間隔を保ち、周期的な含有割合の変化を示す。
ここでいうTa最高含有割合、Ta最低含有割合について説明すると、Ta最高含有割合とは、各測定点におけるTa含有割合が、層全体の組成式(Ti1-xTaxN)におけるTa量がTiとTaとの合量に対して占める平均含有割合xの値以上の連続した部分におけるTa含有割合の最大値をいう。連続してxの値以上となる部分が複数ある場合は、それぞれの部分におけるTa含有割合の最大値をTa最高含有割合と定義し、それぞれの部分におけるTa含有割合が最大値をとる位置をそれぞれの部分におけるTa最高含有点と定義する。以後、Ta最高含有割合についてはxmaxと記すこともある。
同様に、Ta最低含有割合とは、各測定点におけるTa含有割合が、層全体の組成式(Ti1-xTaxN)におけるTa量がTiとTaとの合量に対して占める平均含有割合xの値以下となる連続した部分におけるTa含有割合の最小値をいう。連続してxの値以下となる部分が複数ある場合は、それぞれの部分におけるTa含有割合の最小値をTa最低含有割合と定義し、それぞれの部分におけるTa含有割合が最小値をとる位置をそれぞれの部分におけるTa最低含有点と定義する。以後、Ta最低含有割合についてはxminと記すこともある。
この定義によれば、xの値近傍での周期的な変化が存在する場合、Ta最高含有点とTa最低含有点が交互に出現する。
以下、各成分の平均含有割合の値以上の連続した部分における最大値をとる位置をそれぞれの部分における最高含有点といい、各成分の平均含有割合の値以下の連続した部分における最小値をとる位置をそれぞれの部分における最低含有点という。
前記組成変動組織において、Ti量がTaとTiとの合量に対して占める含有割合(以後、Ti含有割合とも記す)は、Ta含有割合の周期的な組成変動の周期幅が最小となる方向に沿って、Ta最高含有点では、Ti最低含有割合αmin(=1-xmax)を示し、Ta最低含有点では、Ti最高含有割合αmax(=1-xmin)を示す。なお、αは原子比である。
すなわち、Ti含有割合は、前記Ta含有割合の周期的な組成変動の周期幅が最小となる方向に沿って、同周期にて、Ti最低含有割合-Ti最高含有割合-Ti最低含有割合-Ti最高含有割合・・・という含有割合の変化を示す。ここでいう、Ti最高含有点、Ti最高含有割合、Ti最低含有点、Ti最低含有割合の定義は、前記TaをTiに置き換え同様の定義である。
Ta最高含有割合xmaxとTa最低含有割合xminの差を0.05以上の組成変動組織とすることにより、結晶格子の歪みが大きくなり、硬さの向上が図られる。
Ta最高含有点とTa最低含有点の間隔については「複合窒化物層の縦断面観察において、周期的な組成変化の周期が最小になる方向で測定される平均間隔が2~20nmであること」が、硬さ向上のために必要である。
前記硬さ向上効果を発揮させるためには、平均間隔は小さい方が望ましく、20nm以下であることが必要である。一方、平均間隔が2nm未満では、それぞれを明確に区別して形成することが困難となるため、所望の硬さが得られず、耐摩耗性を確保することができない。
本発明に係るTiTa複合窒化物層は、硬さが高く、すぐれた耐摩耗性を有するが、その平均層厚が1.0~15.0μmにて、かつナノインデンテーション押込硬さ(押込荷重200mgf)が4000kgf/mm2以上の場合、よりすぐれた効果を発揮することができる。
なお、TiTa複合窒化物層の平均層厚は、走査型電子顕微鏡(倍率5000倍)を用いて、工具基体に垂直な方向の断面の観察視野内の5点の層厚を測り、これらを平均して平均層厚を求めることができ、また、ナノインデンテーション硬さについては、ナノインデンテーション試験法(ISO 14577)に基づき、前記TiTa複合窒化物層の表面を研磨し、ダイヤモンド製のBerkovich圧子を用いて、押込荷重200mgfにて測定を行うことができる。
本発明では、上部層(複合窒化物層)の上に、さらに最上層として酸化アルミニウム層を成膜することができる。
酸化アルミニウム層は、通常の化学蒸着法によって、0.5~5.0μmの平均層厚を有するα型Al2O3層もしくはκ型Al2O3層を形成することとした。
上部層に対し、最上層として、α型Al2O3層もしくはκ型Al2O3層を形成することにより、さらに、硬質被覆層の高温硬さおよび耐熱性の向上を図ることができる。
かかる酸化アルミニウム層の平均層厚について、0.5μm未満では、耐摩耗性向上による寿命延長効果が少なく、また、その平均層厚が、5.0μmを超えると、酸化アルミニウムの結晶粒が粗大化し易くなり、高温硬さ、高温強度の低下や、溶着チッピングや剥離等が発生するおそれがあるため、上記のとおり、その平均層厚は、0.5~5.0μmとすることが望ましい。
本発明に係る硬質被覆層は、下部層、上部層(TiTa複合窒化物層)の順に、例えば、以下に示す成膜法を用いて形成することができる。
また、必要に応じ、上部層であるTiTa複合窒化物層の最上層として、酸化アルミニウム層を成膜することができる。
(1)下部層の成膜方法
硬質被覆層の下部層は、工具基体上に形成される、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなり、通常の化学蒸着法を用い、成膜する化合物層ごとに反応ガス組成、および、圧力、温度等の反応雰囲気を適正範囲に調整することにより、成膜することができる。(後述する表3等参照。)
本発明において規定する成分組成を有し、特定の組成変動組織を有するTiTaN層は、一例として、工具基体に対し、化学蒸着法を用いて、以下に示す条件にて成膜を行なうことにより、形成することができる。
すなわち、TiTaN層の成膜条件は、原料として、TiCl4ガス、TaCl4ガス、HClガス、N2ガス、Arガス、H2ガスを用い、成膜温度は、800℃以上960℃未満、圧力条件は、15kPa以上40kPa未満にて、CVD装置にて成膜を行った。
1)反応ガス組成(容量%):
TiCl4:0.1~1.5%、
TaCl4:0.5~3.5%、
HCl:0.1~0.5%、
N2:30.0~60.0%、
Ar:5.0~15.0%
H2:残、
2)反応雰囲気温度:800℃以上960℃未満
反応雰囲気温度については、800℃未満では、十分な成膜速度が得られず、TiTaN層の塩素含有量が多くなり易い傾向がある。一方、960℃以上では、異常粒成長が生じやすくなる。よって、反応雰囲気温度については800℃以上、960℃未満が好ましい。なお、より好ましくは870℃以上920℃以下が望ましい。
3)反応雰囲気圧力:15kPa以上40kPa未満
15kPa未満では十分な成膜速度が得られず、40kPa以上では、皮膜中にポアが含まれやすくなる。よって、反応雰囲気圧力については15kPa以上40kPa未満が好ましい。
本発明被覆工具では、上部層である複合窒化物層(TiTaN層)の上に、例えば、通常の化学蒸着法を用い、最上層として、α型Al2O3層もしくはκ型Al2O3層を成膜することができる。(後述する表5等参照。)
(a)下部層は、表6に示される目標層厚にて、表3に示される形成条件にて、蒸着形成した。
(b)次に、表4に基づいて、工具基体記号に示される表1もしくは表2の工具基体に対し、本発明成膜工程のTiTaN層の形成記号の成膜条件により成膜を行い、得られた、本発明被覆工具1~12に係る下部層(Ti化合物層)における目標合計平均層厚、上部層(TiTaN層)の平均組成、組成変動組織の周期的な組成変動の方向と工具基体表面に平行な面とのなす角度(°)、組成変動組織の柱状構造の平均粒子幅、Ta最高含有割合(平均値)、Ta最低含有割合(平均値)、Ta最高含有点とTa最低含有点の間隔(平均値)、目標平均膜厚、押込荷重200mgfにおけるナノインデンテーション硬さ値、および、最上層(酸化アルミニウム層)における目標平均層厚を表6に示す。
(a)工具基体に表3に示される条件にて、表7に示される目標層厚の下部層を蒸着形成した。
(b)次に、表4に基づいて、工具基体記号に示される表1もしくは表2の工具基体に対し、比較例成膜工程のTiTaN層の形成記号の成膜条件により成膜を行い、得られた、比較例被覆工具1~8に係る下部層(Ti化合物層)における目標合計平均層厚、上部層(TiTaN層)の平均組成、組成変動組織の工具基体の法線に対する傾斜角度(°)、組成変動組織の柱状構造の平均粒子幅、Ta最高含有割合(平均値)、Ta最低含有割合(平均値)、および、Ta最高含有点とTa最低含有点の間隔(平均値)、目標平均膜厚、押込荷重200mgfにおけるナノインデンテーション硬さ値、および、最上層(酸化アルミニウム層)における目標平均層厚を表7に示す。
膜厚の測定は、走査型電子顕微鏡(倍率5000倍)を用いた。まず、刃先近傍のすくい面のうち、刃先から100μm離れた位置において、工具基体に垂直な方向の断面が露出するように研磨を施した。次に刃先近傍のすくい面の刃先から100μm離れた位置を含むように、5000倍の視野でTiTaN層を観察し、観察視野内の5点の層厚を測定し、平均値を平均層厚とした。
HAADF-STEM像では構成元素の原子量差に起因するコントラストが強いため、ここで観察された、「HAADF-STEM像で周期的な明暗がある組織」は「TiとTaとの周期的な組成変化を有する組織」であることを推定することができる。
次いで、前記周期的な明暗のある組織について、EDSによるライン分析法を用いて、TiとTaとの周期的な組成変化を有するものであるか確認を行った。
初めに、HAADF-STEM像から「TiとTaとの周期的な組成変化の周期が最小となる方向(すなわち、HAADF-STEM像における明暗のコントラストの周期幅が最小となる方向)」を求めた。
なお、前述のとおり、HAADF-STEM像では、構成元素の原子量差に起因するコントラストが強く、HAADF-STEM像において、明るい部分ほどTaが多く含有されている。なお、HAADF-STEMによって粒界が明瞭に観察できない場合は、同じ個所について、電子回折パターンによる結晶方位マッピングを10nm間隔で測定し、各々の測定点同士の結晶方位関係を解析し隣接する測定点(以下、「ピクセル」ともいう)間での方位差を測定し、5度以上の方位差がある場合、そこを粒界と定義する。そして、粒界で囲まれた領域を1つの結晶粒と定義する。(ただし、隣接するピクセルすべてと5度以上の方位差がある単独に存在するピクセルは結晶粒とせず、2ピクセル以上が連結しているものを結晶粒として取り扱った。)
そして、前記「TiとTaとの周期的な組成変化の周期幅が最小となる方向」にEDSによるライン分析を行うことにより、Ta最高含有割合、Ta最低含有割合、Ta最高含有点とTa最低含有点の間隔を測定した。
これらは、いずれも5個の積層構造の組成変動組織に対してEDSライン分析を行い、各々の積層構造の組成変動組織における測定値(各積層構造毎に10点)の平均値として求めたものである。
表6および表7に測定および算出したそれぞれの値を示す。
切削試験:合金鋼丸棒の湿式高速断続切削加工試験(ターニング)
被削材: JIS・SCM445 4溝スリット入り
切削速度:300m/min、
切り込み:2.0mm、
送り量 :0.35mm/rev、
切削時間:8.0分、
≪切削条件B≫
切削試験:ステンレス鋼丸棒の湿式高速断続切削加工試験(ターニング)
被削材: JIS・SUS316Ti 2溝スリット入り
切削速度:250m/min、
切り込み:2.5mm、
送り量 :0.25mm/rev、
切削時間:5.0分
本発明被覆工具1~8については、合金鋼の高速断続切削加工において、本発明被覆工具9~12については、オーステナイト系ステンレス鋼の高速断続切削加工において、チッピング、剥離の発生はなく、逃げ面最大摩耗幅も小さく、すぐれた耐チッピング性、耐剥離性および耐摩耗性を発揮する。
これに対し、比較例被覆工具1~8では、硬質被覆層として含まれる複合窒化物層が、所望の平均組成を満たしていない、あるいは、所望の平均組成を満たしている場合であっても、Ta含有割合が周期的に変化する組成変動組織を有していないことにより、合金鋼の高速断続切削加工、あるいは、オーステナイト系ステンレス鋼の高速断続切削加工において、所望の特性を発揮することができず、摩耗の進展、溶着の発生、チッピングの発生等により、短時間で寿命に至るものであった。
Claims (3)
- 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に硬質被覆層が形成されてなる表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層は、前記工具基体の表面側から下部層および上部層を有してなり、
(b)前記下部層は、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、かつ、0.1~3.0μmの合計平均層厚を有するTi化合物層を有し、
(c)前記上部層は、1.0~15.0μmの平均層厚を有する立方晶Ti1-xTaxN(原子比であって、Ta量がTiとTaとの合量に対して占める平均含有割合であるxは、0.20≦x≦0.80である)からなり、
(d)前記立方晶Ti1-xTaxNは、Ta量がTiとTaとの合量に対して占める含有割合が周期的に変化する組成変動組織を有し、
(d-1)縦断面観察において、前記組成変動組織の周期的な組成変動の方向と、工具基体表面に平行な面とのなす角度が0~30°であり、
(d-2)前記組成変動組織を有する結晶粒の平均粒子幅が2~100nmの柱状構造組織であり、
(d-3)前記組成変動組織における前記Ta量が前記TiとTaとの合量に対して占める含有割合について、最高含有割合xmaxを示すTa最高含有点と最低含有割合xminを示すTa最低含有点とが繰り返され、前記繰り返される隣接するTa最高含有点とTa最低含有点の間隔の平均値である平均間隔が2~20nmであり、前記Ta最高含有点の最高含有割合xmaxと前記Ta最低含有点の最低含有割合xminとの差Δxの絶対値の平均値が0.05以上であること、
を特徴とする表面被覆切削工具。 - 請求項1に記載された表面被覆切削工具において、前記上部層であるTi1-xTaxNのナノインデンテーション押込み硬さ(押込み荷重200mgf)が4000kgf/mm2以上であることを特徴とする表面被覆切削工具。
- 請求項1または請求項2に記載された表面被覆切削工具において、前記上部層である前記Ti1-xTaxN層の上層として、0.5~5.0μmの平均層厚を有するα型もしくはκ型のAl2O3層を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載された表面被覆切削工具。
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