JP7437136B2 - スマートサセプタ誘導加熱装置のための加熱回路レイアウト - Google Patents
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Description
熱伝導性材料で形成され、且つ、前記部品(21)の第1面(44)と係合するように構成されたテーブル面(42)を有するテーブル(40)と、
前記テーブル(40)と熱結合するとともに、前記テーブル面(42)において処理温度を達成するように構成されたテーブル誘導加熱回路(52)と、を含み、前記テーブル誘導加熱回路(52)は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路(62)を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(62)の各々は、テーブル導電体(70)と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタ(72)と、を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(62)は、
第1テーブル誘導コイル回路(102b)と、第2テーブル誘導コイル回路(102d)と、を含み、
前記第1テーブル誘導コイル回路(102b)は、前記テーブル(40)における第1経路(104)を辿っており、前記第1経路(104)は、互いに離間した第1及び第2の端部セクション(104a,104b)を含み、これらのセクションは中間セクション(104c)で繋がれており、前記第1テーブル誘導コイル回路は、第1テーブル誘導コイル長を有し、
前記第2テーブル誘導コイル回路(102d)は、前記テーブル(40)における第2経路(106)を辿っており、前記第2経路(106)は、前記第1経路(104)の前記第1端部セクションと前記第2端部セクション(104a,104b)との間で少なくとも部分的に入れ子状になっており、前記第2テーブル誘導コイル回路は、前記第1テーブル誘導コイル長とは異なる第2テーブル誘導コイル長を有する、加熱装置。
前記第1経路(104)に沿って第1方向に電流を流すように構成された第1セグメント(110)と、
前記第1セグメント(110)に隣接して配置されるとともに、前記第1経路(104)に沿って第2方向に電流を流すように構成された第2セグメント(112)と、を含み、前記第1経路(104)に沿った前記第1方向は、前記第1経路(104)に沿った前記第2方向とは反対の方向であり、
前記第1テーブル誘導コイル回路(102b)の前記第1セグメント(110)は、折り返し曲げ部(114)において、前記第1テーブル誘導コイル回路(102b)の前記第2セグメント(112)と繋がっており、
前記第2テーブル誘導コイル回路(102d)は、
前記第2経路(106)に沿って第1方向に電流を流すように構成された第1セグメント(116)と、
前記第1セグメント(116)に隣接して配置されるとともに、前記第2経路(106)に沿って第2方向に電流を流すように構成された第2セグメント(118)と、を含み、前記第2経路(106)に沿った前記第1方向は、前記第2経路(106)に沿った前記第2方向とは反対の方向であり、
前記第2テーブル誘導コイル回路(102d)の前記第1セグメント(116)は、折り返し曲げ部(120)において、前記第2テーブル誘導コイル回路(102d)の前記第2セグメント(118)と繋がっている、付記1に記載の加熱装置(20)。
前記複数のテーブル誘導コイル回路(62)の各々の前記テーブルスマートサセプタ(72)は、前記テーブル導電体(70)に対して螺旋状に巻き付けられている、付記1~7のいずれかに記載の加熱装置(20)。
熱伝導性材料で形成され、且つ、前記部品(21)の第1面(44)と係合するように構成されたテーブル面(42)を有するテーブル(40)と、
前記テーブル(40)に熱結合するとともに、前記テーブル面(42)において処理温度を達成するように構成されたテーブル誘導加熱回路(121)と、を含み、前記テーブル誘導加熱回路(121)は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路(122,124)を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(122,124)の各々は、テーブル導電体(70)と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタ(72)と、を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(122,124)は、
第1テーブル誘導コイル回路(122)と、第2テーブル誘導コイル回路(124)と、を含み、
前記第1テーブル誘導コイル回路(122)は、互いに離間した第1及び第2の端部セグメント(122a,122b)を有し、これらの端部セグメントは中間セグメント(122c)で繋がれており、前記第1テーブル誘導コイル回路は、第1テーブル誘導コイル長を有し、
前記第2テーブル誘導コイル回路(124)は、互いに離間した第1及び第2の端部セグメント(124a,124b)を有し、これらの端部セグメントは中間セグメント(124c)で繋がれており、前記第2テーブル誘導コイル回路は、前記第1テーブル誘導コイル長と実質的に等しい第2テーブル誘導コイル長を有し、
前記第2テーブル誘導コイル回路(124)の前記中間セグメント(124c)は、前記第1テーブル誘導コイル回路(122)の前記中間セグメント(122c)と重なっている、加熱装置。
前記複数のテーブル誘導コイル回路(122,124)の各々の前記テーブルスマートサセプタ(72)は、前記テーブル導電体(70)に対して螺旋状に巻き付けられている、付記9~12のいずれかに記載の加熱装置(20)。
熱伝導性材料で形成され、且つ、前記部品(21)の第1面(44)と係合するように構成されたテーブル面(42)を有するテーブル(40)と、
前記テーブル(40)に熱結合するとともに、前記テーブル面(42)において処理温度を達成するように構成されたテーブル誘導加熱回路(52又は121)と、を含み、前記テーブル誘導加熱回路(52又は121)は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路(62又は122,124)を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(62又は122,124)の各々は、テーブル導電体(70)と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタ(72)と、を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(62又は122,124)は、第1テーブル誘導コイル回路(102d又は122)と、第2テーブル誘導コイル回路(102b又は124)と、を含み、
前記第1テーブル誘導コイル回路は、互いに実質的に平行に延びる複数の第1テーブル誘導コイル回路セグメントを含み、前記複数の第1テーブル誘導コイル回路セグメントは、第1対のセグメントと、当該第1対のセグメントから離間した第2対のセグメントと、を少なくとも含み、前記第1テーブル誘導コイル回路セグメントにおける前記第1対のセグメントは、互いに直接隣接して配置されるとともに、互いに反対の方向に電流を流すように構成されており、前記第1テーブル誘導コイル回路セグメントにおける前記第2対のセグメントは、互いに直接隣接して配置されるとともに、互いに反対の方向に電流を流すように構成されており、
前記第2テーブル誘導コイル回路は、互いに実質的に平行に延びる複数の第2テーブル誘導コイル回路セグメントを含み、前記複数の第2テーブル誘導コイル回路セグメントは、第1対のセグメントと、当該第1対のセグメントから離間した第2対のセグメントと、を少なくとも含み、前記第2テーブル誘導コイル回路セグメントにおける前記第1対のセグメントは、互いに直接隣接して配置されるとともに、互いに反対の方向に電流を流すように構成されており、前記第2テーブル誘導コイル回路セグメントにおける前記第2対のセグメントは、互いに直接隣接して配置されるとともに、互いに反対の方向に電流を流すように構成されている、加熱装置。
前記複数のテーブル誘導コイル回路(122,124)の各々の前記テーブルスマートサセプタ(72)は、前記テーブル導電体(70)に対して螺旋状に巻き付けられている、付記15~19のいずれかに記載の加熱装置(20)。
下側加熱アセンブリ(34)と、上側加熱アセンブリ(36)と、ツール(130)と、を含み、
前記下側加熱アセンブリ(34)は、
熱伝導性材料で形成され、且つ、テーブル面(42)を有するテーブル(40)と、
前記テーブル(40)と熱結合するとともに、前記テーブル面(42)において処理温度を達成するように構成されたテーブル誘導加熱回路(52)と、を含み、前記テーブル誘導加熱回路(52)は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路(62)を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(62)の各々は、テーブル導電体(70)と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタ(72)と、を含み、
前記上側加熱アセンブリ(36)は、前記下側加熱アセンブリ(34)に対して移動することができ、前記上側加熱アセンブリは、
加熱面(82)を有するヒートブランケット(80)を含み、前記ヒートブランケット(80)は、柔軟材料で形成されるとともに、前記ヒートブランケット(80)の前記加熱面(82)で前記処理温度を達成するように構成されたブランケット誘導加熱回路(86)を含み、前記ブランケット誘導加熱回路(86)は、互いに平行に電気接続された複数のブランケット誘導コイル回路(102)を含み、前記複数のブランケット誘導コイル回路(102)の各々は、ブランケット導電体(70)と、キュリー温度を有するブランケットスマートサセプタ(72)と、を含み、
前記ツール(130)は、熱伝導性材料で形成されており、前記ツールは、前記テーブル(40)の前記テーブル面(42)と係合するように構成されたベース面(132)と、前記ベース面(132)の反対側のツール面(134)と、を含み、前記ツール面(134)は、非平面の輪郭形状を有しており、
前記ツール(130)の前記ツール面(134)は、前記部品(21)の第1面(44)と係合するように構成されており、前記ヒートブランケット(80)の前記加熱面(82)は、前記部品(21)の前記第1面(44)の反対側の面である前記部品(21)の第2面(84)と係合するように構成されている、加熱装置。
前記複数のテーブル誘導コイル回路(62)の各々の前記テーブルスマートサセプタ(72)、及び、前記複数のブランケット誘導コイル回路(102)の各々の前記ブランケットスマートサセプタ(72)は、前記テーブル導電体(70)、及び、前記ブランケット導電体(70)のそれぞれに対して螺旋状に巻き付けられたスマートサセプタ(72)である、付記21~25のいずれかに記載の加熱装置(20)。
第1可撓性層(250)と、第2可撓性層(254)とをさらに含み、
前記第1可撓性層(250)は、前記テーブル(40)の上に延在して、前記テーブル(40)と前記第1可撓性層との間に第1圧力チャンバ(252)を形成しており、前記第1圧力チャンバ(252)は、前記部品(21)を収容する大きさであって、第1圧力レベルを有しており、
前記第2可撓性層(254)は、前記第1可撓性層(250)の上に延在して、前記第1可撓性層(250)と前記第2可撓性層との間に第2圧力チャンバ(256)を形成し、前記ヒートブランケット(80)は、前記第2圧力チャンバ(256)に設けられており、前記第2可撓性層(254)は、外面(258)を有し、当該外面は、前記第1可撓性層(250)とは反対側を向くとともに、外圧レベルに曝露されており、前記第2圧力チャンバ(256)は、前記第1圧力レベルよりも高く、且つ、前記外圧レベルよりも低い第2圧力レベルを有する、付記21~27のいずれかに記載の加熱装置(20)。
下側加熱アセンブリ(34)と、上側加熱アセンブリ(36)と、ツール(130)と、を含み、
前記下側加熱アセンブリ(34)は、
熱伝導性材料で形成され、且つ、テーブル面(42)を有するテーブル(40)と、
前記テーブル(40)と熱結合するとともに、前記テーブル面(42)において処理温度を達成するように構成されたテーブル誘導加熱回路(52)と、を含み、前記テーブル誘導加熱回路(52)は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路(62)を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(62)の各々は、テーブル導電体(70)と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタ(72)と、を含み、
前記上側加熱アセンブリ(36)は、前記下側加熱アセンブリ(34)に対して移動することができ、前記上側加熱アセンブリは、
第1可撓性層(250)と、第2可撓性層(254)と、ヒートブランケット(80)と、を含み、
前記第1可撓性層(250)は、前記テーブル(40)の上に延在して、前記テーブル(40)と前記第1可撓性層との間に第1圧力チャンバ(252)を形成しており、前記第1圧力チャンバ(252)は、前記部品(21)を収容する大きさであって、第1圧力レベルを有しており、
前記第2可撓性層(254)は、前記第1可撓性層(250)の上に延在して、前記第1可撓性層(250)と前記第2可撓性層との間に第2圧力チャンバ(256)を形成し、前記第2可撓性層(254)は、外面(258)を有し、当該外面は、前記第1可撓性層(250)とは反対側を向くとともに、外圧レベルに曝露されており、前記第2圧力チャンバ(256)は、前記第1圧力レベルよりも高く、且つ、前記外圧レベルよりも低い第2圧力レベルを有しており、
前記ヒートブランケット(80)は、前記第2圧力チャンバ(256)に設けられるとともに、加熱面(82)を有し、且つ、柔軟材料で形成されており、
前記ツール(130)は、熱伝導性材料で形成されており、前記ツールは、前記テーブル(40)の前記テーブル面(42)と係合するように構成されたベース面(132)と、前記ベース面(132)の反対側のツール面(134)と、を含み、前記ツール面(134)は、非平面の輪郭形状を有しており、
前記ツール(130)の前記ツール面(134)は、前記部品(21)の第1面(44)と係合するように構成されており、前記ヒートブランケット(80)の前記加熱面(82)は、前記部品(21)の前記第1面(44)の反対側の面である前記部品(21)の第2面(84)と係合するように構成されている、加熱装置。
熱伝導性材料で形成され、且つ、テーブル面(42)を有するテーブル(40)を用意し(302)、
前記テーブル面(42)にツール(130)を配置し(304)、その際、前記ツール(130)は、熱伝導性材料で形成され、且つ、前記テーブル(40)の前記テーブル面(42)と係合するように構成されたベース面(132)と、前記ベース面(132)の反対側のツール面(134)と、を有し、前記ツール面(134)は、非平面の輪郭形状を有するようにし、
前記部品(21)の第1面(44)が少なくとも前記ツール面(134)と係合するように前記部品(21)を配置し(306)、
前記部品(21)の前記第1面(44)とは反対側の面である、前記部品(21)の第2面(84)の上にヒートブランケット(80)を配置し(308)、
前記部品(21)が、前記ツール(130)の前記ツール面(134)に少なくとも部分的に一致するまで、前記ツール面(134)及び前記ヒートブランケット(80)を処理温度に加熱する(310)、方法(300)。
前記ヒートブランケット(80)は、当該ヒートブランケット(80)の加熱面(82)で前記処理温度を達成するように構成されたブランケット誘導加熱回路(86)を含み、
前記テーブル面(42)及び前記ヒートブランケット(80)を前記処理温度に加熱することは、前記テーブル面(42)及び前記ヒートブランケット(80)を誘導加熱することを含む、付記37に記載の方法(300)。
テーブル(40)と、テーブル誘導加熱回路(52)と、熱管理システム(160)と、を含み、
前記テーブルは、熱伝導性材料で形成され、且つ、前記部品(21)の第1面(44)に対向するように配向されたテーブル面(42)及び当該テーブル面(42)とは反対側の裏面(46)を有しており、
前記テーブル誘導加熱回路は、前記テーブル(40)と熱結合するとともに、前記テーブル面(42)において処理温度を達成するように構成されており、前記テーブル誘導加熱回路は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路(62)を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(62)の各々は、テーブル導電体(70)と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタ(72)と、を含み、
前記熱管理システムは、前記テーブル(40)の前記裏面(46)に接続されており、前記熱管理システムは、
内部空間(167)を画定するチャンバ(166)と、
前記チャンバ(166)内に設けられた少なくとも1つの冷却フィン(168)と、
前記チャンバ(166)を貫通するとともに、前記内部空間(167)と流体連通する入口(170)と、
前記チャンバ(166)と貫通するとともに、前記内部空間(167)と流体連通する出口(172)と、を含む、加熱装置。
前記3つのハブは、前記テーブル(40)の前記裏面(46)に接続されるとともに、互いに間隔を空けて配置されており、前記3つのハブの各々は、軸部(202)を含み、
前記支持アセンブリは、前記ハブ(200)に接続されるとともに、フレーム(204)と、3つのアダプタ(220)と、を含み、
前記フレームは、相互接続された複数のトラス(206)を含むとともに、上端断面領域の周囲に延びる上端境界(210)を画定する上端(208)と、下端断面領域の周囲に延びる下端境界(214)を画定する下端(212)と、を有し、前記下端断面領域は前記上端断面領域よりも小さく、
前記3つのアダプタは、前記フレーム(204)の前記上端(208)に接続しており、前記3つのアダプタの各々は、関連するハブ(200)との位置合わせのために配置されており、当該ハブ(200)の前記軸部(202)を受容する大きさのソケット(222)を備えている、付記41~46のいずれかに記載の加熱装置(20)。
各テーブルスマートサセプタ(72)は、それぞれのテーブル導電体(70)に対して螺旋状に巻き付けられている、付記41~50のいずれかに記載の加熱装置(20)。
前記加熱装置(20)におけるテーブル(40)のテーブル面(42)に第1部品(21)を載置し(182)、
前記加熱装置(20)を備えるテーブル誘導加熱回路(52)を使用して、前記テーブル面(42)を処理温度まで加熱し(183)、その際、前記テーブル誘導加熱回路(52)は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路(62)を含むようにするとともに、前記複数のテーブル誘導コイル回路(62)の各々は、テーブル導電体(70)と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタ(72)と、を含むようにし、
前記加熱装置(20)を備えた熱管理システム(160)を絶縁モードで動作させて、前記第1部品(21)が熱処理されるまで前記テーブル面(42)を処理温度に維持し(184)、
前記熱管理システム(160)を冷却モードで動作させて、前記テーブル面(42)を冷却して当該テーブル面の温度を下げる、方法。
前記絶縁モードで前記熱管理システム(160)を動作させること(184)は、前記空気源(174)が、前記チャンバ(166)を通過する前記空気流を生成するのを防止することを含み、
前記冷却モードで前記熱管理システム(160)を動作させること(185)は、前記空気源(174)が、前記チャンバ(166)を通過する前記空気流を生成するのを許可することを含む、付記52に記載の方法(180)。
前記加熱装置(20)における前記テーブル面(42)に第2部品(21)を載置し(187)、
前記テーブル誘導加熱回路(52)を用いて、前記テーブル面(42)を前記処理温度まで加熱し(188)、
前記熱管理システム(160)を前記絶縁モードで動作させて、前記第2部品(21)が硬化されるまで前記テーブル面(42)を前記処理温度に維持し(189)、
前記熱管理システム(160)を前記冷却モードで動作させて、前記テーブル面(42)を冷却して当該テーブル面の温度を下げる(190)、ことをさらに含む、付記52~55のいずれかに記載の方法(180)。
テーブル(40)と、テーブル誘導加熱回路(52)と、熱管理システム(160)と、3つのハブ(200)と、支持アセンブリ(32)と、を含み、
前記テーブルは、熱伝導性材料で形成され、且つ、前記部品(21)の第1面(44)に対向するように配向されたテーブル面(42)及び当該テーブル面(42)とは反対側の裏面(46)を有しており、前記テーブルの前記裏面(46)は、前記テーブル面(42)に向かって前記テーブル(40)内を部分的に延びる溝(54)を有し、
前記テーブル誘導加熱回路は、前記テーブル(40)の前記裏面(46)に形成された前記溝(54)に設けられるとともに、前記テーブル面(42)において処理温度を達成するように構成されており、前記テーブル誘導加熱回路は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路(62)を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路(62)の各々は、テーブル導電体(70)と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタ(72)と、を含み、
前記熱管理システムは、前記テーブル(40)の前記裏面(46)に接続されており、前記熱管理システムは、
内部空間(167)を画定するチャンバ(166)と、
前記チャンバ(166)内に設けられた少なくとも1つの冷却フィン(168)と、
前記チャンバ(166)内に貫通するとともに、前記内部空間(167)と流体連通する入口(170)と、
前記チャンバ(166)外に貫通するとともに、前記内部空間(167)と流体連通する出口(172)と、を含み、
前記3つのハブは、前記テーブル(40)の前記裏面(46)に接続されるとともに、互いに間隔を空けて配置されており、前記3つのハブの各々は、軸部(202)を含み、
前記支持アセンブリは、前記ハブ(200)に接続されるとともに、フレーム(204)と、3つのアダプタ(220)と、を含み、
前記フレームは、相互接続された複数のトラス(206)を含むとともに、上端断面領域の周囲に延びる上端境界(210)を画定する上端(208)と、下端断面領域の周囲に延びる下端境界(214)を画定する下端(212)と、を有し、前記下端断面領域は前記上端断面領域よりも小さく、
前記3つのアダプタは、前記フレーム(204)の前記上端(208)に接続しており、前記3つのアダプタの各々は、関連するハブ(200)との位置合わせのために配置されており、当該ハブ(200)の前記軸部(202)を受容する大きさのソケット(222)を備えている、加熱装置。
Claims (20)
- 部品を熱処理するための加熱装置であって、
熱伝導性材料で形成され、且つ、前記部品の第1面と係合するように構成されたテーブル面を有するテーブルと、
前記テーブルと熱結合するとともに、前記テーブル面において処理温度を達成するように構成されたテーブル誘導加熱回路と、を含み、前記テーブル誘導加熱回路は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路の各々は、テーブル導電体と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタと、を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路は、
第1テーブル誘導コイル回路と、第2テーブル誘導コイル回路と、を含み、
前記第1テーブル誘導コイル回路は、前記テーブルにおける第1経路を辿っており、前記第1経路は、互いに離間した第1及び第2の端部セクションを含み、これらのセクションは中間セクションで繋がれており、前記第1テーブル誘導コイル回路は、第1テーブル誘導コイル長を有し、
前記第2テーブル誘導コイル回路は、前記テーブルにおける第2経路を辿っており、前記第2経路は、前記第1経路の前記第1端部セクションと前記第2端部セクションとの間で少なくとも部分的に入れ子状になっており、前記第2テーブル誘導コイル回路は、前記第1テーブル誘導コイル長とは異なる第2テーブル誘導コイル長を有し、
前記加熱装置は、熱管理システムをさらに含み、前記熱管理システムは、前記テーブルの裏面に隣接する内部空間を有するチャンバを備えており、前記チャンバは、空気源と連通する入口と、出口と、を有しており、前記熱管理システムは、前記チャンバ内に空気流が通過することが防止される絶縁モードと、前記チャンバ内に空気流が通過することが許可される冷却モードと、の間で選択的に動作可能である、加熱装置。 - 前記第1テーブル誘導コイル回路は、
前記第1経路に沿って第1方向に電流を流すように構成された第1セグメントと、
前記第1セグメントに隣接して配置されるとともに、前記第1経路に沿って第2方向に電流を流すように構成された第2セグメントと、を含み、前記第1経路に沿った前記第1方向は、前記第1経路に沿った前記第2方向とは反対の方向であり、
前記第1テーブル誘導コイル回路の前記第1セグメントは、折り返し曲げ部において、前記第1テーブル誘導コイル回路の前記第2セグメントと繋がっており、
前記第2テーブル誘導コイル回路は、
前記第2経路に沿って第1方向に電流を流すように構成された第1セグメントと、
前記第1セグメントに隣接して配置されるとともに、前記第2経路に沿って第2方向に電流を流すように構成された第2セグメントと、を含み、前記第2経路に沿った前記第1方向は、前記第2経路に沿った前記第2方向とは反対の方向であり、
前記第2テーブル誘導コイル回路の前記第1セグメントは、折り返し曲げ部において、前記第2テーブル誘導コイル回路の前記第2セグメントと繋がっている、請求項1に記載の加熱装置。 - 前記複数のテーブル誘導コイル回路は、前記テーブルにおける第3経路を辿る第3テーブル誘導コイル回路をさらに含み、前記第3経路もまた、前記第1経路の前記第1端部セクションと前記第2端部セクションとの間で少なくとも部分的に入れ子状になっており、前記第3テーブル誘導コイル回路は、前記第1テーブル誘導コイル長及び前記第2テーブル誘導コイル長とは異なる第3テーブル誘導コイル長を有する、請求項2に記載の加熱装置。
- 前記第2経路は、互いに離間した第1及び第2の端部セクションを含み、これらのセクションは中間セクションで繋がれている、請求項2に記載の加熱装置。
- 前記複数のテーブル誘導コイル回路は、前記テーブルにおける第3経路を辿る第3テーブル誘導コイル回路をさらに含み、前記第3経路は、前記第2経路の前記第1端部セクションと前記第2端部セクションとの間で少なくとも部分的に入れ子状になっており、前記第3テーブル誘導コイル回路は、前記第1テーブル誘導コイル長及び前記第2テーブル誘
導コイル長とは異なる第3テーブル誘導コイル長を有する請求項4に記載の加熱装置。 - 前記第1及び第2の経路は、直線的フック形状を有する、請求項1~5のいずれかに記載の加熱装置。
- 前記第1及び第2のテーブル誘導コイル回路は、共通の平面に配置されている、請求項1~6のいずれかに記載の加熱装置。
- 前記複数のテーブル誘導コイル回路の各々の前記テーブル導電体は、リッツワイヤ構成を有する複数の導電ストランドを含み、
前記複数のテーブル誘導コイル回路の各々の前記テーブルスマートサセプタは、前記テーブル導電体に対して螺旋状に巻き付けられている、請求項1~7のいずれかに記載の加熱装置。 - 部品を熱処理するための加熱装置であって、
熱伝導性材料で形成され、且つ、前記部品の第1面と係合するように構成されたテーブル面を有するテーブルと、
前記テーブルに熱結合するとともに、前記テーブル面において処理温度を達成するように構成されたテーブル誘導加熱回路と、を含み、前記テーブル誘導加熱回路は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路の各々は、テーブル導電体と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタと、を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路は、
第1テーブル誘導コイル回路と、第2テーブル誘導コイル回路と、を含み、
前記第1テーブル誘導コイル回路は、互いに離間した第1及び第2の端部セグメントを有し、これらの端部セグメントは中間セグメントで繋がれており、前記第1テーブル誘導コイル回路は、第1テーブル誘導コイル長を有し、
前記第2テーブル誘導コイル回路は、互いに離間した第1及び第2の端部セグメントを有し、これらの端部セグメントは中間セグメントで繋がれており、前記第2テーブル誘導コイル回路は、前記第1テーブル誘導コイル長と実質的に等しい第2テーブル誘導コイル長を有し、
前記第2テーブル誘導コイル回路の前記中間セグメントは、前記第1テーブル誘導コイル回路の前記中間セグメントと重なっており、
前記加熱装置は、熱管理システムをさらに含み、前記熱管理システムは、前記テーブルの裏面に隣接する内部空間を有するチャンバを備えており、前記チャンバは、空気源と連通する入口と、出口と、を有しており、前記熱管理システムは、前記チャンバ内に空気流が通過することが防止される絶縁モードと、前記チャンバ内に空気流が通過することが許可される冷却モードと、の間で選択的に動作可能である、加熱装置。 - 前記第1テーブル誘導コイル回路の前記中間セグメントは、頂点で繋がる第1及び第2のセクションを含み、前記第2テーブル誘導コイル回路の前記中間セグメントは、頂点で繋がる第1及び第2のセクションを含み、前記第1テーブル誘導コイル回路の前記中間セグメントの前記第2セクションは、前記第2テーブル誘導コイル回路の前記中間セグメントの前記第1セクションと重なっている、請求項9に記載の加熱装置。
- 前記第1テーブル誘導コイル回路の前記第1及び第2の端部セグメントは、実質的に平行であって、且つ、第1横距離だけ離間しており、前記第2テーブル誘導コイル回路の前記第1及び第2の端部セグメントは、実質的に平行であって、且つ、第2横距離だけ離間しており、前記第1横距離は、前記第2横距離と実質的に等しい、請求項10に記載の加熱装置。
- 前記複数のテーブル誘導コイル回路は、第3テーブル誘導コイル回路をさらに含み、当該第3テーブル誘導コイル回路は、互いに離間した第1及び第2の端部セグメントを含み、これらの端部セグメントは、中間セグメントで繋がれおり、前記第3テーブル誘導コイル回路は、前記第1及び第2の第2テーブル誘導コイル長と実質的に等しい第3テーブル誘導コイル長を有し、前記第3テーブル誘導コイル回路の前記中間セグメントは、前記第
1及び第2のテーブル誘導コイル回路の前記中間セグメントに重なっている、請求項9に記載の加熱装置。 - 前記複数のテーブル誘導コイル回路の各々の前記テーブル導電体は、リッツワイヤ構成を有する複数の導電ストランドを含み、
前記複数のテーブル誘導コイル回路の各々の前記テーブルスマートサセプタは、前記テーブル導電体に対して螺旋状に巻き付けられている、請求項9~12のいずれかに記載の加熱装置。 - 前記第1及び第2のテーブル誘導コイルの前記中間セグメント間に設けられた絶縁層をさらに含む、請求項9~13のいずれかに記載の加熱装置。
- 部品を熱処理するための加熱装置であって、
熱伝導性材料で形成され、且つ、前記部品の第1面と係合するように構成されたテーブル面を有するテーブルと、
前記テーブルに熱結合するとともに、前記テーブル面において処理温度を達成するように構成されたテーブル誘導加熱回路と、を含み、前記テーブル誘導加熱回路は、互いに並列に電気接続された複数のテーブル誘導コイル回路を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路の各々は、テーブル導電体と、キュリー温度を有するテーブルスマートサセプタと、を含み、前記複数のテーブル誘導コイル回路は、
第1テーブル誘導コイル回路と、第2テーブル誘導コイル回路と、を含み、
前記第1テーブル誘導コイル回路は、互いに実質的に平行に延びる複数の第1テーブル誘導コイル回路セグメントを含み、前記複数の第1テーブル誘導コイル回路セグメントは、第1対のセグメントと、当該第1対のセグメントから離間した第2対のセグメントと、を少なくとも含み、前記第1テーブル誘導コイル回路セグメントにおける前記第1対のセグメントは、互いに直接隣接して配置されるとともに、互いに反対の方向に電流を流すように構成されており、前記第1テーブル誘導コイル回路セグメントにおける前記第2対のセグメントは、互いに直接隣接して配置されるとともに、互いに反対の方向に電流を流すように構成されており、
前記第2テーブル誘導コイル回路は、互いに実質的に平行に延びる複数の第2テーブル誘導コイル回路セグメントを含み、前記複数の第2テーブル誘導コイル回路セグメントは、第1対のセグメントと、当該第1対のセグメントから離間した第2対のセグメントと、を少なくとも含み、前記第2テーブル誘導コイル回路セグメントにおける前記第1対のセグメントは、互いに直接隣接して配置されるとともに、互いに反対の方向に電流を流すように構成されており、前記第2テーブル誘導コイル回路セグメントにおける前記第2対のセグメントは、互いに直接隣接して配置されるとともに、互いに反対の方向に電流を流すように構成されており、
前記加熱装置は、熱管理システムをさらに含み、前記熱管理システムは、前記テーブルの裏面に隣接する内部空間を有するチャンバを備えており、前記チャンバは、空気源と連通する入口と、出口と、を有しており、前記熱管理システムは、前記チャンバ内に空気流が通過することが防止される絶縁モードと、前記チャンバ内に空気流が通過することが許可される冷却モードと、の間で選択的に動作可能である、加熱装置。 - 前前記第1テーブル誘導コイル回路セグメントにおける記第1対のセグメントは、第1折り返し曲げ部で繋がっており、前記第2テーブル誘導コイル回路セグメントにおける前記第2対のセグメントは、第2折り返し曲げ部で繋がっている、請求項15に記載の加熱装置。
- 前記第1テーブル誘導コイル回路は、少なくとも部分的に前記第2テーブル誘導コイル回路内に入れ子状になっている、請求項15に記載の加熱装置。
- 前記第1及び第2のテーブル誘導コイル回路は、共通の平面に配置されている、請求項15~17のいずれかに記載の加熱装置。
- 前記第1テーブル誘導コイル回路は、第1中間セクションを有し、前記第2テーブル誘
導コイル回路は、前記第1中間セクションと重なる第2中間セクションを含む、請求項15~17のいずれかに記載の加熱装置。 - 前記チャンバは、前記入口側から前記出口側に向かって延びる複数の冷却フィンを内部に備えており、各冷却フィンの断面積は、前記入口側から前記出口側に向かって延びるに従って増加する、請求項1~19のいずれかに記載の加熱装置。
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