JP7428524B2 - 回転検出装置 - Google Patents
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Description
また、上記本発明の回転検出装置において、前記回転軸の伸長方向から見たとき、前記複数の磁界検出部のうち前記回転体の回転方向において隣り合う2つの磁界検出部は互いに部分的に重なり合っていることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記回転軸の伸長方向から見たとき、前記複数の磁界検出部のうち前記回転体の回転方向において隣り合う2つの磁界検出部の前記磁性線材は互いに部分的に重なり合っていることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記各磁界形成部により形成される磁界の方向を制御する複数の磁界制御部を備え、前記複数の磁界制御部は、前記複数の磁界検出部と対応するように前記第1の平面上と前記第2の平面上とに分かれて配置され、かつ前記複数の磁界検出部と前記軌道との間にそれぞれ配置され、前記回転軸の伸長方向から見たとき、前記複数の磁界制御部のうち前記回転体の回転方向において隣り合う2つの磁界制御部は互いに部分的に重なり合っていることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記複数の磁界検出部は、第1の磁界検出部、第2の磁界検出部および第3の磁界検出部を含み、前記第1の磁界検出部は、前記第1の平面および前記第2の平面のうちの一方の平面上に配置され、前記第2の磁界検出部および前記第3の磁界検出部は、前記第1の平面および前記第2の平面のうちの他方の平面上に配置され、前記回転軸の伸長方向から見たとき、前記第1の磁界検出部、前記第2の磁界検出部および前記第3の磁界検出部は、前記第1の磁界検出部の一方の隣側に前記第2の磁界検出部が位置し、前記第1の磁界検出部の他方の隣側に前記第3の磁界検出部が位置するように前記軌道の外周側に並んで配置され、前記第1の磁界検出部の一端部と前記第2の磁界検出部の一端部とが互いに重なり合い、前記第1の磁界検出部の他端部と前記第3の磁界検出部の一端部とが互いに重なり合っていることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記複数の磁界検出部は、前記回転軸と交わる平面上に配置された基板の表面および裏面に分かれて配置されていることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記回転軸の伸長方向において互いに異なる位置で前記回転軸とそれぞれ交わる2つの平面上にそれぞれ配置された第1の基板および第2の基板を備え、前記第1の基板および前記第2の基板は前記第1の基板の裏面と前記第2の基板の表面とが互いに向かい合うように配置され、前記複数の磁界検出部は前記第1の基板の裏面上および前記第2の基板の表面上に分かれて配置されていることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記各磁界形成部は、前記回転軸の伸長方向において、前記複数の磁界検出部のうち前記第1の平面上に配置された磁界検出部の位置から、前記複数の磁界検出部のうち前記第2の平面上に配置された磁界検出部の位置に至るまで伸長していることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記各磁界形成部は、前記回転軸の伸長方向一側の第1の磁石片と、前記回転軸の伸長方向他側の第2の磁石片とに分割され、前記第1の磁石片の外周側部分の磁極と前記第2の磁石片の外周側部分の磁極とは互いに同一であることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記回転軸の伸長方向から見たとき、前記複数の磁界検出部は、当該複数の磁界検出部のそれぞれの前記磁性線材の軸線が、前記回転軸を中心とし前記軌道の外周側に位置する単一の円の円周と接するように配置されていることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記回転体を備えた被検出装置には、前記回転体の回転を検出する光学式エンコーダが設けられ、前記光学式エンコーダは、前記回転体の回転に伴って回転し、検出光を生成するエンコード板と、前記回転体の回転に伴って移動しないように配置され、前記検出光を検出する光検出部とを備え、前記回転軸の伸長方向から見たとき、前記基板は2つの領域に分けられ、前記複数の磁界検出部は前記基板の前記2つの領域のうちの一方の領域内に配置され、前記光検出部は前記基板の前記2つの領域のうちの他方の領域内に配置されていることとしてもよい。
また、上記本発明の回転検出装置において、前記磁性線材は大バルクハウゼン素子であることが好ましい。
11~14 磁石(磁界形成部)
21~23 磁気センサ(磁界検出部)
25 磁性線材
26 コイル
31~33 ヨーク対(磁界制御部)
35 ヨーク片
41、91、92 基板
41A、92A 表面
41B、91B 裏面
61 モータ(被検出装置)
62 シャフト(回転体)
Claims (4)
- 回転体の回転を検出する回転検出装置であって、
磁界を形成し、前記回転体の回転に伴って前記回転体の回転軸の周囲の軌道上を移動する少なくとも一対の磁界形成部と、
前記軌道の外周側に前記回転体の回転に伴って移動しないように配置され、磁性線材を有し、前記少なくとも一対の磁界形成部により形成された磁界を検出する複数の磁界検出部と、
前記複数の磁界検出部と前記軌道との間に配置され、前記各磁界形成部により形成される磁界の方向を制御する複数の磁界制御部とを備え、
前記少なくとも一対の磁界形成部のうち、一方の磁界形成部の外周側部分の磁極と他方の磁界形成部の外周側部分の磁極とは互いに異なり、
前記複数の磁界検出部は、前記磁性線材の伸長方向が前記回転軸と非平行となるように前記回転体の回転方向においてそれぞれ異なる位置に配置され、かつ前記回転軸の伸長方向において互いに異なる位置で前記回転軸とそれぞれ交わる第1の平面上と第2の平面上とに分かれて配置され、
前記複数の磁界制御部は、前記複数の磁界検出部と対応するように前記第1の平面上と前記第2の平面上とに分かれて配置され、
前記回転軸の伸長方向から見たとき、前記複数の磁界制御部のうち前記回転体の回転方向において隣り合う2つの磁界制御部は互いに部分的に重なり合っていることを特徴とする回転検出装置。 - 回転体の回転を検出する回転検出装置であって、
磁界を形成し、前記回転体の回転に伴って前記回転体の回転軸の周囲の軌道上を移動する少なくとも一対の磁界形成部と、
磁性線材を有し、前記少なくとも一対の磁界形成部により形成された磁界を検出する複数の磁界検出部と、
前記回転軸の伸長方向において互いに異なる位置で前記回転軸とそれぞれ交わる2つの平面上に、前記回転体の回転に伴って移動しないようにそれぞれ配置された第1の基板および第2の基板とを備え、
前記少なくとも一対の磁界形成部のうち、一方の磁界形成部の外周側部分の磁極と他方の磁界形成部の外周側部分の磁極とは互いに異なり、
前記第1の基板および前記第2の基板は前記第1の基板の裏面と前記第2の基板の表面とが互いに向かい合うように配置され、
前記複数の磁界検出部は、前記磁性線材の伸長方向が前記回転軸と非平行となるように前記軌道の外周側であって前記回転体の回転方向においてそれぞれ異なる位置に配置され、かつ前記第1の基板の裏面上および前記第2の基板の表面上に分かれて配置されていることを特徴とする回転検出装置。 - 回転体の回転を検出する回転検出装置であって、
磁界を形成し、前記回転体の回転に伴って前記回転体の回転軸の周囲の軌道上を移動する少なくとも一対の磁界形成部と、
前記軌道の外周側に前記回転体の回転に伴って移動しないように配置され、磁性線材を有し、前記少なくとも一対の磁界形成部により形成された磁界を検出する複数の磁界検出部とを備え、
前記少なくとも一対の磁界形成部のうち、一方の磁界形成部の外周側部分の磁極と他方の磁界形成部の外周側部分の磁極とは互いに異なり、
前記複数の磁界検出部は、前記磁性線材の伸長方向が前記回転軸と非平行となるように前記回転体の回転方向においてそれぞれ異なる位置に配置され、かつ前記回転軸の伸長方向において互いに異なる位置で前記回転軸とそれぞれ交わる第1の平面上と第2の平面上とに分かれて配置され、
前記各磁界形成部は、前記回転軸の伸長方向において、前記複数の磁界検出部のうち前記第1の平面上に配置された磁界検出部の位置から、前記複数の磁界検出部のうち前記第2の平面上に配置された磁界検出部の位置に亘って設けられ、
前記各磁界形成部は、前記回転軸の伸長方向一側の第1の磁石片と、前記回転軸の伸長方向他側の第2の磁石片とに分割され、
前記第1の磁石片の外周側部分の磁極と前記第2の磁石片の外周側部分の磁極とは互いに同一であることを特徴とする回転検出装置。 - 前記磁性線材は大バルクハウゼン素子であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の回転検出装置。
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WO2016021073A1 (ja) | 2014-08-08 | 2016-02-11 | 株式会社安川電機 | モータ |
WO2017046854A1 (ja) | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 株式会社安川電機 | モータ用エンコーダ及びモータ |
JP2017191092A (ja) | 2016-04-06 | 2017-10-19 | 株式会社デンソー | 回転検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
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WO2019188859A1 (ja) | 2018-03-28 | 2019-10-03 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置及びその製造方法、駆動装置、ステージ装置、並びにロボット装置 |
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JP6535270B2 (ja) * | 2015-10-30 | 2019-06-26 | ヒロセ電機株式会社 | 回転検出装置 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014137232A (ja) | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Hirose Electric Co Ltd | 回転検出装置 |
WO2016021073A1 (ja) | 2014-08-08 | 2016-02-11 | 株式会社安川電機 | モータ |
WO2017046854A1 (ja) | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 株式会社安川電機 | モータ用エンコーダ及びモータ |
JP2017191092A (ja) | 2016-04-06 | 2017-10-19 | 株式会社デンソー | 回転検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
JP6336232B1 (ja) | 2017-03-21 | 2018-06-06 | 三菱電機株式会社 | 回転数検出器 |
WO2019188859A1 (ja) | 2018-03-28 | 2019-10-03 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置及びその製造方法、駆動装置、ステージ装置、並びにロボット装置 |
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