JP7426647B2 - エレクトレット - Google Patents
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Description
無機誘電体粒子(21)が母材膜(22)中に分散保持されている複合膜を分極処理してなるエレクトレット層(2)を有し、
上記エレクトレット層において、上記無機誘電体粒子は、バンドギャップエネルギが4eV以上である無機誘電体材料を主成分とする粒子であり、
上記無機誘電体材料は、異なる2種の金属元素A、Bを含むABO 3 型のペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、
上記複合酸化物は、上記ペロブスカイト構造のAサイトを、La、Y、Pr、Sm及びNdから選ばれる希土類元素Rが占有し、BサイトをAlが占有する、エレクトレット(1)にある。
基板(10)と、その表面に形成されたエレクトレット層(2)とを有し、
上記エレクトレット層は、無機誘電体粒子(21)が母材膜(22)中に分散保持されている複合膜を分極処理してなり、上記無機誘電体粒子は、バンドギャップエネルギが4eV以上である無機誘電体材料を主成分とする粒子であり、
上記無機誘電体材料は、異なる2種の金属元素A、Bを含むABO 3 型のペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、
上記複合酸化物は、上記ペロブスカイト構造のAサイトを、La、Y、Pr、Sm及びNdから選ばれる希土類元素Rが占有し、BサイトをAlが占有する、エレクトレット(1)にある。
本発明の他の態様は、
無機誘電体粒子(21)が母材膜(22)中に分散保持されている複合膜を分極処理してなるエレクトレット層(2)を有し、
上記エレクトレット層において、上記無機誘電体粒子は、バンドギャップエネルギが4eV以上である無機誘電体材料を主成分とする粒子であり、
上記無機誘電体材料は、リン酸イオンと水酸化物イオンとを含むアパタイト構造を有する無機化合物である、エレクトレット(1)にある。
本発明の他の態様は、
基板(10)と、その表面に形成されたエレクトレット層(2)とを有し、
上記エレクトレット層は、無機誘電体粒子(21)が母材膜(22)中に分散保持されている複合膜を分極処理してなり、上記無機誘電体粒子は、バンドギャップエネルギが4eV以上である無機誘電体材料を主成分とする粒子であり、
上記無機誘電体材料は、リン酸イオンと水酸化物イオンとを含むアパタイト構造を有する無機化合物である、エレクトレット(1)にある。
なお、特許請求の範囲及び課題を解決する手段に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであり、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
エレクトレットに係る実施形態1について、図1~図3を参照して説明する。
図1に示すように、本形態のエレクトレット1は、基本構造として、エレクトレット層2を有する。エレクトレット層2は、無機誘電体粒子21が母材膜22中に分散保持されている複合膜を分極処理してなるものであり、無機誘電体粒子21は、バンドギャップエネルギが4eV以上である無機誘電体材料を主成分とする粒子である。
本形態では、以下、ペロブスカイト構造を有する複合酸化物を用いたエレクトレット層2について、主に説明する。
AサイトとBサイトの両方について、その一部をドーパント元素で置換した構成とすることも、もちろんできる。
以下の方法で、図2に示した構成のエレクトレット1を作製した。
<溶液調製>
まず、エレクトレット層2となる複合膜を形成するために、無機誘電体材料の原料として、酸化ランタン(La2O3)、酸化アルミニウム(Al2O3)、炭酸カルシウム(CaCO3)の粉末を、La、Al、Caのモル比が99:100:1となるように配合し、十分に混合した。この混合物を、1600℃で2時間、加熱焼成させることによって、ランタンアルミネート系複合酸化物La0.99Ca0.01AlOxの焼結粉末(以下、LAO系焼結粉末)を作製した。得られた焼結粉末を、平均粒径がおよそ50μmとなるように十分に粉砕して、無機誘電体粒子21とした。
導電性Siからなる基板10の上表面を熱酸化して、膜厚50nmのSi酸化膜11を形成した。次いで、その下表面に、スパッタ法により導電層3を形成した。導電層3は、基板10に接する側から順に、第1導電層31となるTi膜30nm、第2導電層32となるAu膜200nmを、各層を形成する金属材料をターゲットとして成膜した。
なお、エレクトレット層2の形成後のLAO系焼結粉末の体積割合は、70体積%であった。
このようにして基板10上にエレクトレット層2となる有機無機複合膜を形成し、分極処理を施してエレクトレット1とした。分極処理にはコロナ放電を用い、基板10の下表面に接する導電層3を接地して接地電極とし、エレクトレット層2の上表面側にコロナ放電電極を対向配置して、負電圧を印加することによりコロナ放電を発生させた。コロナ放電の条件は、以下の通りとした。なお、降温時も電圧印加しコロナ放電を継続した。
・放電電圧:-6kV
・温度:200℃
・処理時間:1時間
YAlO3:7.9eV
PrAlO3:4.7eV
SmAlO3:4.6eV
NdAlO3:4.4eV
また、母材膜22となる有機物材料としてポリイミドを用いたが、これに限るものではなく、他の有機系材料または無機系材料でもよい。
得られたエレクトレット1は、このように、エレクトレット層2を基板10から剥離したものであり、所望の場所に配置して使用することができる。
エレクトレットに係る実施形態2について、図4を参照して説明する。
図4に示すように、本形態のエレクトレット1の基本構成は、上記実施形態1と同様であり、基板10と、その表面に形成されたエレクトレット層2とを有する。本形態では、エレクトレット層2の無機誘電体粒子21を構成する無機誘電体材料が異なっている。以下、相違点を中心に説明する。
なお、実施形態2以降において用いた符号のうち、既出の実施形態において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、既出の実施形態におけるものと同様の構成要素等を表す。
以下の方法で、図4に示した構成のエレクトレット1を作製した。
<溶液調製>
まず、エレクトレット層2となる複合膜を形成するために、無機誘電体材料の原料として、粒径50~60μmの分布を持つハイドロキシアパタイト(HA)粉末を用い、1400℃で2時間加熱して焼成させると共に、脱水させることによって、オキシハイドロキシアパタイト(OHA)を含む焼結粉末(以下、OHAを含むHA焼結粉末)を作製した。このとき、焼結により粉末サイズが大きくなるので、十分に粉砕して、粉砕後の粒径が、焼成前に比べて2割ほど小さくなるようにし、得られた焼結粉末を、無機誘電体粒子21とした。
導電性Siからなる基板10の上表面を熱酸化して、膜厚50nmのSi酸化膜11を形成した。次いで、その下表面に、スパッタ法により導電層3を形成した。導電層3は、基板10に接する側から順に、第1導電層31となるTi膜30nm、第2導電層32となるAu膜200nmを、各層を形成する金属材料をターゲットとして成膜した。
なお、エレクトレット層2の形成後のOHAを含むHA焼結粉末の体積割合は、70体積%であった。
このようにして基板10上にエレクトレット層2となる有機無機複合膜を形成し、分極処理を施してエレクトレット1とした。分極処理にはコロナ放電を用い、基板10の下表面に接する導電層3を接地して接地電極とし、エレクトレット層2の上表面側にコロナ放電電極を対向配置して、両電極間に電圧を印加することによりコロナ放電を発生させた。コロナ放電の条件は、以下の通りとした。なお、降温時も電圧印加しコロナ放電を継続した。
・放電電圧:-6kV
・温度:200℃
・処理時間:1時間
10 基板
11 Si酸化膜
2 エレクトレット層
21 無機誘電体粒子
22 母材
3 導電層
31 第1導電層
32 第2導電層
Claims (8)
- 無機誘電体粒子(21)が母材膜(22)中に分散保持されている複合膜を分極処理してなるエレクトレット層(2)を有し、
上記エレクトレット層において、上記無機誘電体粒子は、バンドギャップエネルギが4eV以上である無機誘電体材料を主成分とする粒子であり、
上記無機誘電体材料は、異なる2種の金属元素A、Bを含むABO 3 型のペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、
上記複合酸化物は、上記ペロブスカイト構造のAサイトを、La、Y、Pr、Sm及びNdから選ばれる希土類元素Rが占有し、BサイトをAlが占有する、エレクトレット(1)。 - 基板(10)と、その表面に形成されたエレクトレット層(2)とを有し、
上記エレクトレット層は、無機誘電体粒子(21)が母材膜(22)中に分散保持されている複合膜を分極処理してなり、上記無機誘電体粒子は、バンドギャップエネルギが4eV以上である無機誘電体材料を主成分とする粒子であり、
上記無機誘電体材料は、異なる2種の金属元素A、Bを含むABO 3 型のペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、
上記複合酸化物は、上記ペロブスカイト構造のAサイトを、La、Y、Pr、Sm及びNdから選ばれる希土類元素Rが占有し、BサイトをAlが占有する、エレクトレット(1)。 - 無機誘電体粒子(21)が母材膜(22)中に分散保持されている複合膜を分極処理してなるエレクトレット層(2)を有し、
上記エレクトレット層において、上記無機誘電体粒子は、バンドギャップエネルギが4eV以上である無機誘電体材料を主成分とする粒子であり、
上記無機誘電体材料は、リン酸イオンと水酸化物イオンとを含むアパタイト構造を有する無機化合物である、エレクトレット(1)。 - 基板(10)と、その表面に形成されたエレクトレット層(2)とを有し、
上記エレクトレット層は、無機誘電体粒子(21)が母材膜(22)中に分散保持されている複合膜を分極処理してなり、上記無機誘電体粒子は、バンドギャップエネルギが4eV以上である無機誘電体材料を主成分とする粒子であり、
上記無機誘電体材料は、リン酸イオンと水酸化物イオンとを含むアパタイト構造を有する無機化合物である、エレクトレット(1)。 - 上記複合酸化物は、上記金属元素A、Bのうちの少なくとも一方について、その一部が異なる金属元素からなるドーパント元素にて置換されており
上記金属元素Aを置換する上記ドーパント元素は、アルカリ土類金属元素であり、上記金属元素Bを置換する上記ドーパント元素は、アルカリ土類金属元素及びZnから選ばれる1つ以上の元素である、請求項1又は2に記載のエレクトレット。 - 上記金属元素Aを置換する上記ドーパント元素の置換割合は、0.5atm%~20atm%であり、上記金属元素Bを置換する上記ドーパント元素の置換割合は、0.5atm%~20atm%である、請求項5に記載のエレクトレット。
- 上記母材膜は、分極処理時の電界強度よりも高い絶縁破壊電界強度を有し、分極処理時の温度にて安定な材料からなる、請求項1~6のいずれか1項に記載のエレクトレット。
- 上記複合膜における上記無機誘電体粒子の含有量は、30体積%以上75体積%以下である、請求項1~7のいずれか1項に記載のエレクトレット。
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