JP7421508B2 - センサ及び電子装置 - Google Patents
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)、図1(b)、図2(a)、図2(b)、及び、図3は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図1(a)は、平面図である。図1(b)は、図1(a)のX1-X2線断面図である。図2(a)は、図1(a)の一部を拡大した平面図である。図2(b)は、図2(a)のY1-Y2線断面図である。図3は、平面図である。
図4に示すように、複数の第1可動凸部21の突出方向の長さは、複数の第1可動凸部21の第3可動部10cからの距離に応じて変化して良い。例えば、第2平面(X-Y平面)に沿い、第1可動放射方向Dmr1と交差する方向を第1可動弧方向Dmx1とする。複数の第1可動凸部21の第1可動弧方向Dmx1に沿った長さが第3可動部10cからの距離が長くなると、長くなる。例えば、複数の第1可動凸部21の1つと第3可動部10cとの間の距離は、複数の第1可動凸部21の別の1つと第3可動部10cとの間の距離よりも長い。複数の第1可動凸部21の上記の1つの第1可動弧方向Dmx1に沿う長さは、複数の第1可動凸部21の上記の別の1つの第1可動弧方向Dmx1に沿う長さよりも長い。突出方向の長さは、弧に沿う長さでも良い。
図5(a)に示すように、例えば、第1電圧印加動作ST1において、制御部70は、第1可動部材10と、第2導電部52と、の間に、第1電圧V1を印加する。第1電圧印加動作ST1において、制御部70は、第1可動部材10と、第1導電部51と、の間に、第2電圧V2を印加する。第2電圧V2の絶対値は、第1電圧V1の絶対値よりも小さい。第2電圧V2は、例えば、グランド電圧でも良いこのような第1電圧印加動作ST1により、第2可動部10bは、例えば、時計周りに回転する。
図6に示すように、実施形態に係るセンサ111においては、第1検出素子10Uは、第1導電部51及び第2導電部52に加えて、第3導電部53をさらに含む。第3導電部53は、基体50Sに固定される。第2可動部10bは、第3可動対向部23Fを含む。第3可動対向部23Fは、第2平面(X-Y平面)において、第3導電部53と対向する。第3可動対向部23Fは、第3導電部53に向けて突出する第3可動凸部23を含む。
図8(a)に示すように、センサ111において、第3導電部53は、第1導電部51と電気的に接続される。第4導電部54は、第2導電部52と電気的に接続される。制御部70は、例えば、電極53Eを介して、第3導電部53と電気的に接続される。例えば、電極54Eを介して、第4導電部54と電気的に接続される。
図9に示すように、実施形態に係るセンサ112において、第1検出素子10Uは、第1導電部51、第2導電部52、第3導電部53及び第4導電部54を含む。第1可動部材は、第1可動対向部21F、第2可動対向部22F、第3可動対向部23F及び第4可動対向部24Fを含む。センサ112においては、第3可動対向部23Fは、第1導電部51と第3導電部53との間にある。第4可動対向部24Fは、第2導電部52と第4導電部54との間にある。センサ112におけるこれを除く構成は、センサ111の構成と同様で良い。
図10(a)に示すように、センサ112において、第3導電部53は、第2導電部52と電気的に接続される。第4導電部54は、第1導電部51と電気的に接続される。
図11に示すように、実施形態に係るセンサ113においても、第1検出素子10Uは、第1導電部51、第2導電部52、第3導電部53及び第4導電部54を含む。第3導電部53の一部は、第2可動部10bに囲まれなくても良い。第4導電部54の一部は、第2可動部10bに囲まれなくても良い。センサ113におけるこれを除く構成は、センサ111の構成と同様で良い。
図12に示すように、実施形態に係るセンサ114においても、第1検出素子10Uは、第1導電部51、第2導電部52、第3導電部53及び第4導電部54を含む。第3導電部53の一部は、第2可動部10bに囲まれなくても良い。第4導電部54の一部は、第2可動部10bに囲まれなくても良い。センサ114におけるこれを除く構成は、センサ112の構成と同様で良い。センサ111~114においても、検出精度を向上できる。
図13及び図14に示すように、実施形態に係るセンサ115及びセンサ116においても、第1可動対向部21Fは、第1可動凸部21を含み、第1導電対向部41Fは、第1導電凸部41を含む。第2可動対向部22Fは、第2可動凸部22を含み、第2導電対向部42Fは、第2導電凸部42を含む。センサ115及びセンサ116においても、検出精度を向上できる。
図15及び図16に示すように、実施形態に係るセンサ121及びセンサ122においても、第2可動部10bは、第1可動対向部21F、及び、第2可動対向部22Fを含む。第1導電部51は、第1導電対向部41Fを含む。第2導電部52は、第2導電対向部42Fを含む。
例えば、制御部70(図1(a)参照)は、第1動作を実施可能である。第1動作において、制御部70は、第1固定導電部61から得られる第1信号sig1(図2(a)参照)、及び、第2固定導電部62から得られる第2信号sig2(図2(a)参照)を入手する。制御部70は、第1信号sig1及び第2信号sig2に基づいて、第1検出素子10Uに加わる加速度、及び、第1検出素子10Uの温度に関する情報を出力可能である。第1動作は、温度補償した加速度を出力することを含んでも良い。実施形態によれば、検出精度を向上できるセンサを提供できる。制御部70は、例えば、処理部(例えば、CPU:Central Processing Unit)などの処理回路(例えば、電気回路)を含んでも良い。
図17に示す動作の少なくとも一部は、制御部70で行われる。
図18に示す動作の少なくとも一部は、制御部70で行われても良い。別の制御部により図18に示す動作が行われ、得られたデータが記憶部70Mなどに記憶されても良い。
図19は、第2実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図19に示すように、実施形態に係るセンサ120は、第1実施形態に関して説明した第1検出素子10Uに加えて、第2検出素子10Vを含む。第2検出素子10Vは、例えば、第2支持部材50B及び第2可動部材10Sを含む。第2支持部材50Bは、基体50Sに固定される。第2可動部材10Sは、第2支持部材50Bに支持され、基体50Sから離れている。センサ120は、第2可動部材10Sの動きに応じた信号により、センサ120の角度を検出可能である。例えば、第2可動部材10Sの少なくとも一部が、振動される。角度の変化に応じて変化する振動状態を検出することで、角度が検出できる。例えば、フーコーの振り子の原理に基づく角度の検出が行われる。第2可動部材10Sは、例えば、角度直接検出型ジャイロ(RIG:Rate Integrating Gyroscope)である。センサ120は、例えば、慣性計測装置(IMU:Inertial Measurement Unit)である。
第3実施形態は、電子装置に係る。
図20は、第3実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図20に示すように、第3実施形態に係る電子装置310は、第1実施形態または第2実施形態に係るセンサと、回路制御部170と、を含む。図20の例では、センサとして、センサ110が描かれている。回路制御部170は、センサから得られる信号S1に基づいて回路180を制御可能である。回路180は、例えば駆動装置185の制御回路などである。実施形態によれば、高精度の検出結果に基づいて、駆動装置185を制御するための回路180などを高精度で制御できる。
図21(a)に示すように、電子装置310は、ロボットの少なくとも一部でも良い。図21(b)に示すように、電子装置310は、製造工場などに設けられる工作ロボットの少なくとも一部でも良い。図21(c)に示すように、電子装置310は、工場内などの自動搬送車の少なくとも一部でも良い。図21(d)に示すように、電子装置310は、ドローン(無人航空機)の少なくとも一部でも良い。図21(e)に示すように、電子装置310は、飛行機の少なくとも一部でも良い。図21(f)に示すように、電子装置310は、船舶の少なくとも一部でも良い。図21(g)に示すように、電子装置310は、潜水艦の少なくとも一部でも良い。図21(h)に示すように、電子装置310は、自動車の少なくとも一部でも良い。第3実施形態に係る電子装置310は、例えば、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含んでも良い。
図22(a)及び図22(b)は、第4実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図22(a)に示すように、第4実施形態に係るセンサ430は、第1実施形態または第2実施形態に係るセンサと、送受信部420と、を含む。図22(a)の例では、センサとして、センサ110が描かれている。送受信部420は、センサ110から得られる信号を、例えば、無線及び有線の少なくともいずれかの方法により送信可能である。センサ430は、例えば、道路400などのスロープ面410などに設けられる。センサ430は、例えば、施設(例えばインフラストラクチャ)などの状態をモニタリングできる。センサ430は、例えば状態モニタリング装置で良い。
(構成1)
基体と、
前記基体に固定された第1支持部材と、
導電性の第1可動部材であって、前記第1可動部材は、第1可動部、第2可動部、第3可動部、第4可動部及び第5可動部を含み、
前記基体から前記第1可動部材への第1方向と交差する第2方向において前記第1可動部と前記第2可動部との間に前記第3可動部があり、前記第2方向において前記第1可動部と前記第3可動部との間に前記第4可動部があり、前記第2方向において前記第3可動部と前記第2可動部との間に前記第5可動部があり、
前記第1可動部は、前記第1支持部材に支持され、前記第2可動部、前記第3可動部、前記第4可動部及び前記第5可動部は、前記基体から離れ、
前記第1可動部の第3方向に沿う第1幅は、前記第4可動部の前記第3方向に沿う第4幅よりも大きく、前記第5可動部の前記第3方向の第5幅よりも大きく、前記第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む第1平面と交差し、前記第3可動部の第3幅は、前記第4幅よりも小さく、前記第5幅よりも小さく、前記第2可動部の前記第3方向に沿う第2幅は、前記第4幅よりも大きく、前記第5幅よりも大きく、前記第3可動部の前記第2方向に沿う第3長さは、前記第4可動部の前記第2方向に沿う第4長さよりも短く、前記第5可動部の前記第2方向に沿う第5長さよりも短い、前記第1可動部材と、
前記基体に固定された第1導電部と、
を含む第1検出素子を備え、
前記第2可動部は、前記第2方向及び前記第3方向を含む第2平面において前記第1導電部と対向する第1可動対向部を含み、前記第1可動対向部は、前記第1導電部に向けて突出する第1可動凸部を含み、
前記第1導電部は、前記第1可動対向部と対向する第1導電対向部を含み、前記第1導電対向部は、前記第1可動対向部に向けて突出する第1導電凸部を含み、
前記第1導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1放射方向において、前記第1可動凸部と重なる、センサ。
前記第1可動対向部は、複数の前記第1可動凸部を含み、
前記第1導電対向部は、複数の前記第1導電凸部を含み、
前記複数の第1導電凸部の1つは、前記第1放射方向において、前記複数の第1可動凸部の1つと、前記複数の第1可動凸部の別の1つと、の間にある、構成1記載のセンサ。
前記複数の第1可動凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1可動放射方向に沿って並び、
前記複数の第1導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1導電放射方向に沿って並ぶ、構成2記載のセンサ。
前記複数の第1可動凸部の第1可動弧方向に沿う長さは、前記複数の第1可動凸部の前記第3可動部からの距離に比例して増大し、前記第1可動弧方向は、前記第2平面に沿い前記第1可動放射方向と交差し、
前記複数の第1導電凸部の第1導電弧方向に沿う長さは、前記複数の第1導電凸部の前記第3可動部からの距離に比例して増大し、前記第1導電弧方向は、前記第2平面に沿い前記第1導電放射方向と交差する、構成3記載のセンサ。
前記第1可動対向部は、複数の前記第1可動凸部を含み、
前記複数の第1可動凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1可動放射方向に沿って並び、
前記複数の第1可動凸部の1つと前記第3可動部との間の距離は、前記複数の第1可動凸部の別の1つと前記第3可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第1可動凸部の前記1つの第1可動弧方向に沿う長さは、前記複数の第1可動凸部の前記別の1つの前記第1可動弧方向に沿う長さよりも長く、前記第1可動弧方向は、前記第2平面に沿い、前記第1可動放射方向と交差する、構成1記載のセンサ。
前記第1導電対向部は、複数の前記第1導電凸部を含み、
前記複数の第1導電凸部の1つは、前記第1放射方向において、前記複数の第1可動凸部の1つと、前記複数の第1可動凸部の別の1つと、の間にあり、
前記複数の第1導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1導電放射方向に沿って並び、
前記複数の第1導電凸部の1つと前記第3可動部との間の距離は、前記複数の第1導電凸部の別の1つと前記第3可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第1導電凸部の前記1つの第1導電弧方向に沿う長さは、前記複数の第1導電凸部の前記別の1つの前記第1導電弧方向に沿う長さよりも長く、前記第1導電弧方向は、前記第2平面に沿い、前記第1導電放射方向と交差する、構成5記載のセンサ。
前記第1検出素子は、前記基体に固定された第2導電部をさらに含み、
前記第2可動部は、前記第2平面において前記第2導電部と対向する第2可動対向部を含み、前記第2可動対向部は、前記第2導電部に向けて突出する第2可動凸部を含み、
前記第2導電部は、前記第2可動対向部と対向する第2導電対向部を含み、前記第2導電対向部は、前記第2可動対向部に向けて突出する第2導電凸部を含み、
前記第2導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第2放射方向において、前記第2可動凸部と重なる、構成1~6のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第2可動部の少なくとも一部は、前記第1導電部と前記第2導電部との間にある、構成7記載のセンサ。
前記第2可動対向部は、複数の前記第2可動凸部を含み、
前記複数の第2可動凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿い第2可動放射方向に沿って並び、
前記複数の第2可動凸部の1つと前記第3可動部との間の距離は、前記複数の第2可動凸部の別の1つと前記第3可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第2可動凸部の前記1つの第2可動弧方向に沿う長さは、前記複数の第2可動凸部の前記別の1つの前記第2可動弧方向に沿う長さよりも長く、前記第2可動弧方向は、前記第2平面に沿い、前記第2可動放射方向と交差する、構成7または8に記載のセンサ。
前記第2導電対向部は、複数の前記第2導電凸部を含み、
前記複数の第2導電凸部の1つは、前記第2放射方向において、前記複数の第2可動凸部の1つと、前記複数の第2可動凸部の別の1つと、の間にあり、
前記複数の第2導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第2導電放射方向に沿って並び、
前記複数の第2導電凸部の1つと前記第3可動部との間の距離は、前記複数の第2導電凸部の別の1つと前記第3可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第2導電凸部の前記1つの第2導電弧方向に沿う長さは、前記複数の第2導電凸部の前記別の1つの前記第2導電弧方向に沿う長さよりも長く、前記第2導電弧方向は、前記第2平面に沿い、前記第2導電放射方向と交差する、構成9記載のセンサ。
前記第1検出素子は、前記基体に固定された第3導電部をさらに含み、
前記第2可動部は、前記第2平面において前記第3導電部と対向する第3可動対向部を含み、前記第3可動対向部は、前記第3導電部に向けて突出する第3可動凸部を含み、
前記第3導電部は、前記第3可動対向部と対向する第3導電対向部を含み、前記第3導電対向部は、前記第3可動対向部に向けて突出する第3導電凸部を含み、
前記第3導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第3放射方向において、前記第3可動凸部と重なり、
前記第2可動部の少なくとも一部は、前記第3可動部を中心とする弧方向において、前記第1導電部と前記第3導電部との間にある、構成7~10のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1検出素子は、前記基体に固定された第4導電部をさらに含み、
前記第2可動部は、前記第2平面において前記第4導電部と対向する第4可動対向部を含み、前記第4可動対向部は、前記第4導電部に向けて突出する第4可動凸部を含み、
前記第4導電部は、前記第4可動対向部と対向する第4導電対向部を含み、前記第4導電対向部は、前記第4可動対向部に向けて突出する第4導電凸部を含み、
前記第4導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第4放射方向において、前記第4可動凸部と重なり、
前記第2可動部の少なくとも一部は、前記第3可動部を中心とする弧方向において、前記第2導電部と前記第4導電部との間にある、構成11記載のセンサ。
前記第3導電部の少なくとも一部は、前記第1導電部と前記第2導電部との間にあり、
前記第4導電部の少なくとも一部は、前記第3導電部と前記第2導電部との間にあり、
前記第3導電部は、前記第1導電部と電気的に接続され、
前記第4導電部は、前記第2導電部と電気的に接続された、構成12記載のセンサ。
前記第2平面において、前記第3導電部の少なくとも一部の周りに前記第2可動部がある、構成11~13のいずれか1つに記載のセンサ。
基体と、
前記基体に固定された第1支持部材と、
導電性の第1可動部材であって、前記第1可動部材は、第1可動部、第2可動部、第3可動部、第4可動部及び第5可動部を含み、
前記基体から前記第1可動部材への第1方向と交差する第2方向において前記第1可動部と前記第2可動部との間に前記第3可動部があり、前記第2方向において前記第1可動部と前記第3可動部との間に前記第4可動部があり、前記第2方向において前記第3可動部と前記第2可動部との間に前記第5可動部があり、
前記第1可動部は、前記第1支持部材に支持され、前記第2可動部、前記第3可動部、前記第4可動部及び前記第5可動部は、前記基体から離れ、
前記第1可動部の第3方向に沿う第1幅は、前記第4可動部の前記第3方向に沿う第4幅よりも大きく、前記第5可動部の前記第3方向の第5幅よりも大きく、前記第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む第1平面と交差し、前記第3可動部の第3幅は、前記第4幅よりも小さく、前記第5幅よりも小さく、前記第2可動部の前記第3方向に沿う第2幅は、前記第4幅よりも大きく、前記第5幅よりも大きく、前記第3可動部の前記第2方向に沿う第3長さは、前記第4可動部の前記第2方向に沿う第4長さよりも短く、前記第5可動部の前記第2方向に沿う第5長さよりも短い、前記第1可動部材と、
前記基体に固定された第1導電部と、
を含む第1検出素子を備え、
前記第2可動部は、前記第2方向及び前記第3方向を含む第2平面において前記第1導電部と対向する第1可動対向部を含み、
前記第1導電部は、前記第1可動対向部と対向する第1導電対向部を含み、
前記第1可動対向部及び前記第1導電対向部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1放射方向に沿って延びる、センサ。
前記第1可動部材は、第1梁及び第2梁を含み、
前記第1梁は、第1端部及び第1他端部を含み、前記第1端部は前記第1可動部と接続され、前記第1他端部は、前記第2可動部と接続され、
前記第2梁は、第2端部及び第2他端部を含み、前記第2端部は前記第1可動部と接続され、前記第2他端部は、前記第2可動部と接続され、
前記第3方向において、前記第3可動部は、前記第1梁と前記第2梁との間にあり、
受けた加速度に応じた前記第2可動部の変位に応じて、前記第1梁の第1共振周波数と、前記第2梁の第2共振周波数と、の少なくともいずれかが変化可能である、構成1~15のいずれか1つに記載のセンサ。
制御部をさらに備え、
前記第1可動部材は、
前記第1梁と対向する第1固定導電部と、
前記第2梁と対向する第2固定導電部と、
を含み、
前記制御部は、前記第1固定導電部及び前記第2固定導電部と電気的に接続され、
前記制御部は、前記第1固定導電部から得られる第1信号、及び、前記第2固定導電部から得られる第2信号に基づいて、前記第1梁の第1共振周波数、及び、前記第2梁の第2共振周波数を導出可能である、構成16記載のセンサ。
前記第1可動部材は、前記第1梁と対向する第5導電部と、前記第2梁と対向する第6導電部と、を含み、
前記制御部は、前記第5導電部及び前記第6導電部と電気的に接続され、
前記制御部は、前記第1共振周波数と前記第2共振周波数との差の変化量が小さくなるように、前記第1可動部と前記第1導電部との間の電位差を制御可能である、構成17記載のセンサ。
前記基体に固定された第2支持部材と、
前記第2支持部材に支持され前記基体から離れた第2可動部材と、
を含む第2検出素子をさらに備え、
前記第2可動部材の動きに応じた信号により角度を検出可能である、構成1~18のいずれか1つに記載のセンサ。
構成1~19のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。
Claims (10)
- 基体と、
前記基体に固定された第1支持部材と、
導電性の第1可動部材であって、前記第1可動部材は、第1可動部、第2可動部、第3可動部、第4可動部及び第5可動部を含み、
前記基体から前記第1可動部材への第1方向と交差する第2方向において前記第1可動部と前記第2可動部との間に前記第3可動部があり、前記第2方向において前記第1可動部と前記第3可動部との間に前記第4可動部があり、前記第2方向において前記第3可動部と前記第2可動部との間に前記第5可動部があり、
前記第1可動部は、前記第1支持部材に支持され、前記第2可動部、前記第3可動部、前記第4可動部及び前記第5可動部は、前記基体から離れ、
前記第1可動部の第3方向に沿う第1幅は、前記第4可動部の前記第3方向に沿う第4幅よりも大きく、前記第5可動部の前記第3方向の第5幅よりも大きく、前記第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む第1平面と交差し、前記第3可動部の第3幅は、前記第4幅よりも小さく、前記第5幅よりも小さく、前記第2可動部の前記第3方向に沿う第2幅は、前記第4幅よりも大きく、前記第5幅よりも大きく、前記第3可動部の前記第2方向に沿う第3長さは、前記第4可動部の前記第2方向に沿う第4長さよりも短く、前記第5可動部の前記第2方向に沿う第5長さよりも短い、前記第1可動部材と、
前記基体に固定された第1導電部と、
を含む第1検出素子を備え、
前記第2可動部は、前記第2方向及び前記第3方向を含む第2平面において前記第1導電部と対向する第1可動対向部を含み、前記第1可動対向部は、前記第1導電部に向けて突出する第1可動凸部を含み、
前記第1導電部は、前記第1可動対向部と対向する第1導電対向部を含み、前記第1導電対向部は、前記第1可動対向部に向けて突出する第1導電凸部を含み、
前記第1導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1放射方向において、前記第1可動凸部と重なる、センサ。 - 前記第1可動対向部は、複数の前記第1可動凸部を含み、
前記第1導電対向部は、複数の前記第1導電凸部を含み、
前記複数の第1導電凸部の1つは、前記第1放射方向において、前記複数の第1可動凸部の1つと、前記複数の第1可動凸部の別の1つと、の間にある、請求項1記載のセンサ。 - 前記第1可動対向部は、複数の前記第1可動凸部を含み、
前記複数の第1可動凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1可動放射方向に沿って並び、
前記複数の第1可動凸部の1つと前記第3可動部との間の距離は、前記複数の第1可動凸部の別の1つと前記第3可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第1可動凸部の前記1つの第1可動弧方向に沿う長さは、前記複数の第1可動凸部の前記別の1つの前記第1可動弧方向に沿う長さよりも長く、前記第1可動弧方向は、前記第2平面に沿い、前記第1可動放射方向と交差する、請求項1記載のセンサ。 - 前記第1導電対向部は、複数の前記第1導電凸部を含み、
前記複数の第1導電凸部の1つは、前記第1放射方向において、前記複数の第1可動凸部の1つと、前記複数の第1可動凸部の別の1つと、の間にあり、
前記複数の第1導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1導電放射方向に沿って並び、
前記複数の第1導電凸部の1つと前記第3可動部との間の距離は、前記複数の第1導電凸部の別の1つと前記第3可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第1導電凸部の前記1つの第1導電弧方向に沿う長さは、前記複数の第1導電凸部の前記別の1つの前記第1導電弧方向に沿う長さよりも長く、前記第1導電弧方向は、前記第2平面に沿い、前記第1導電放射方向と交差する、請求項3記載のセンサ。 - 前記第1検出素子は、前記基体に固定された第2導電部をさらに含み、
前記第2可動部は、前記第2平面において前記第2導電部と対向する第2可動対向部を含み、前記第2可動対向部は、前記第2導電部に向けて突出する第2可動凸部を含み、
前記第2導電部は、前記第2可動対向部と対向する第2導電対向部を含み、前記第2導電対向部は、前記第2可動対向部に向けて突出する第2導電凸部を含み、
前記第2導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第2放射方向において、前記第2可動凸部と重なる、請求項1~4のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記第1検出素子は、前記基体に固定された第3導電部をさらに含み、
前記第2可動部は、前記第2平面において前記第3導電部と対向する第3可動対向部を含み、前記第3可動対向部は、前記第3導電部に向けて突出する第3可動凸部を含み、
前記第3導電部は、前記第3可動対向部と対向する第3導電対向部を含み、前記第3導電対向部は、前記第3可動対向部に向けて突出する第3導電凸部を含み、
前記第3導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第3放射方向において、前記第3可動凸部と重なり、
前記第2可動部の少なくとも一部は、前記第3可動部を中心とする弧方向において、前記第1導電部と前記第3導電部との間にある、請求項5記載のセンサ。 - 前記第1検出素子は、前記基体に固定された第4導電部をさらに含み、
前記第2可動部は、前記第2平面において前記第4導電部と対向する第4可動対向部を含み、前記第4可動対向部は、前記第4導電部に向けて突出する第4可動凸部を含み、
前記第4導電部は、前記第4可動対向部と対向する第4導電対向部を含み、前記第4導電対向部は、前記第4可動対向部に向けて突出する第4導電凸部を含み、
前記第4導電凸部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第4放射方向において、前記第4可動凸部と重なり、
前記第2可動部の少なくとも一部は、前記第3可動部を中心とする弧方向において、前記第2導電部と前記第4導電部との間にある、請求項6記載のセンサ。 - 基体と、
前記基体に固定された第1支持部材と、
導電性の第1可動部材であって、前記第1可動部材は、第1可動部、第2可動部、第3可動部、第4可動部及び第5可動部を含み、
前記基体から前記第1可動部材への第1方向と交差する第2方向において前記第1可動部と前記第2可動部との間に前記第3可動部があり、前記第2方向において前記第1可動部と前記第3可動部との間に前記第4可動部があり、前記第2方向において前記第3可動部と前記第2可動部との間に前記第5可動部があり、
前記第1可動部は、前記第1支持部材に支持され、前記第2可動部、前記第3可動部、前記第4可動部及び前記第5可動部は、前記基体から離れ、
前記第1可動部の第3方向に沿う第1幅は、前記第4可動部の前記第3方向に沿う第4幅よりも大きく、前記第5可動部の前記第3方向の第5幅よりも大きく、前記第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む第1平面と交差し、前記第3可動部の第3幅は、前記第4幅よりも小さく、前記第5幅よりも小さく、前記第2可動部の前記第3方向に沿う第2幅は、前記第4幅よりも大きく、前記第5幅よりも大きく、前記第3可動部の前記第2方向に沿う第3長さは、前記第4可動部の前記第2方向に沿う第4長さよりも短く、前記第5可動部の前記第2方向に沿う第5長さよりも短い、前記第1可動部材と、
前記基体に固定された第1導電部と、
を含む第1検出素子を備え、
前記第2可動部は、前記第2方向及び前記第3方向を含む第2平面において前記第1導電部と対向する第1可動対向部を含み、
前記第1導電部は、前記第1可動対向部と対向する第1導電対向部を含み、
前記第1可動対向部及び前記第1導電対向部は、前記第3可動部を通り前記第2平面に沿う第1放射方向に沿って延びる、センサ。 - 前記第1可動部材は、第1梁及び第2梁を含み、
前記第1梁は、第1端部及び第1他端部を含み、前記第1端部は前記第1可動部と接続され、前記第1他端部は、前記第2可動部と接続され、
前記第2梁は、第2端部及び第2他端部を含み、前記第2端部は前記第1可動部と接続され、前記第2他端部は、前記第2可動部と接続され、
前記第3方向において、前記第3可動部は、前記第1梁と前記第2梁との間にあり、
受けた加速度に応じた前記第2可動部の変位に応じて、前記第1梁の第1共振周波数と、前記第2梁の第2共振周波数と、の少なくともいずれかが変化可能である、請求項1~8のいずれか1つに記載のセンサ。 - 請求項1~9のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。
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