JP7421508B2 - センサ及び電子装置 - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、センサ及び電子装置に関する。
例えば、ＭＥＭＳ構造を利用したセンサがある。センサにおいて、検出精度の向上が望まれる。
特開平４－１１５１６５号公報
実施形態は、検出精度を向上できるセンサ及び電子装置を提供する。
実施形態によれば、センサは、第１検出素子を含む。前記第１検出素子は、基体と、前記基体に固定された第１支持部材と、導電性の第１可動部材と、前記基体に固定された第１導電部と、を含む。前記第１可動部材は、第１可動部、第２可動部、第３可動部、第４可動部及び第５可動部を含む。前記基体から前記第１可動部材への第１方向と交差する第２方向において前記第１可動部と前記第２可動部との間に前記第３可動部があり、前記第２方向において前記第１可動部と前記第３可動部との間に前記第４可動部があり、前記第２方向において前記第３可動部と前記第２可動部との間に前記第５可動部がある。前記第１可動部は、前記第１支持部材に支持される。前記第２可動部、前記第３可動部、前記第４可動部及び前記第５可動部は、前記基体から離れる。前記第１可動部の第３方向に沿う第１幅は、前記第４可動部の前記第３方向に沿う第４幅よりも大きく、前記第５可動部の前記第３方向の第５幅よりも大きい。前記第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む第１平面と交差する。前記第３可動部の第３幅は、前記第４幅よりも小さく、前記第５幅よりも小さい。前記第２可動部の前記第３方向に沿う第２幅は、前記第４幅よりも大きく、前記第５幅よりも大きい。前記第３可動部の前記第２方向に沿う第３長さは、前記第４可動部の前記第２方向に沿う第４長さよりも短く、前記第５可動部の前記第２方向に沿う第５長さよりも短い。前記第２可動部は、前記第２方向及び前記第３方向を含む第２平面において前記第１導電部と対向する第１可動対向部を含む。前記第１可動対向部は、前記第１導電部に向けて突出する第１可動凸部を含む。前記第１導電部は、前記第１可動対向部と対向する第１導電対向部を含む。前記第１導電対向部は、前記第１可動対向部に向けて突出する第１導電凸部を含む。前記第１導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１放射方向において、前記第１可動凸部と重なる。
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの動作を例示する模式的平面図である。 図６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図７は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの動作を例示する模式的平面図である。 図９は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの動作を例示する模式的平面図である。 図１１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１７は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図１８は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図１９は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。 図２０は、第３実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。 図２１（ａ）～図２１（ｈ）は、電子装置の応用を例示する模式図である。 図２２（ａ）及び図２２（ｂ）は、第４実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
（第１実施形態）
図１（ａ）、図１（ｂ）、図２（ａ）、図２（ｂ）、及び、図３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１（ａ）は、平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＸ１－Ｘ２線断面図である。図２（ａ）は、図１（ａ）の一部を拡大した平面図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＹ１－Ｙ２線断面図である。図３は、平面図である。
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、実施形態に係るセンサ１１０は、第１検出素子１０Ｕを含む。第１検出素子１０Ｕは、基体５０Ｓと、第１支持部材５０Ａと、第１可動部材１０と、第１導電部５１と、を含む。
図１（ａ）に示すように、制御部７０が設けられても良い。例えば、センサ１１０は、制御部７０を含んでも良い。制御部７０は、センサ１１０とは別に設けられても良い。制御部７０は、例えば、第１可動部材１０と電気的に接続された電極１０Ｅと電気的に接続される。制御部７０は、記憶部７０Ｍから情報を取得しても良い。制御部７０は、記憶部７０Ｍに情報を記憶させても良い。記憶部７０Ｍは、センサ１１０に含まれても良い。記憶部７０Ｍは、センサ１１０とは別に設けられても良い。
第１支持部材５０Ａは、基体５０Ｓに固定される。第１支持部材５０Ａは、例えば、絶縁性で良い。
第１可動部材１０は、導電性である。第１可動部材１０は、例えば、不純物を含む半導体（例えばシリコン）などを含んで良い。第１可動部材１０の一部は、第１支持部材５０Ａに支持される。第１可動部材１０は、基体５０Ｓから離れる。例えば、第１可動部材１０の他の一部は、基体５０Ｓから離れている。図１（ｂ）に示すように、基体５０Ｓの第１面５０Ｓｆと、第１可動部材１０の一部と、の間に間隙１０Ｚが設けられる。第１面５０Ｓｆは、例えば、上面である。
基体５０Ｓから第１可動部材１０への第１方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｚ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。例えば、Ｘ－Ｙ平面は、第１面５０Ｓｆに沿う。
第１可動部材１０は、第１可動部１０ａ、第２可動部１０ｂ、第３可動部１０ｃ、第４可動部１０ｄ及び第５可動部１０ｅを含む。第２方向において、第１可動部１０ａと第２可動部１０ｂとの間に第３可動部１０ｃがある。第２方向は、基体５０Ｓから第１可動部材１０への第１方向（Ｚ軸方向）と交差する。第２方向は、例えば、Ｘ軸方向である。
第２方向（例えば、Ｘ軸方向）において、第１可動部１０ａと第３可動部１０ｃとの間に第４可動部１０ｄがある。第２方向において、第３可動部１０ｃと第２可動部１０ｂとの間に第５可動部１０ｅがある。例えば、第１～第５可動部１０ａ～１０ｅは、互いに連続している。
図１（ｂ）に示すように、第１可動部１０ａは、第１支持部材５０Ａに支持される。第２可動部１０ｂ、第３可動部１０ｃ、第４可動部１０ｄ及び第５可動部１０ｅは、基体５０Ｓから離れる。
図３に示すように、第１可動部１０ａの第３方向に沿う幅を第１幅ｗ１とする。第３方向は、第１方向（Ｚ軸方向）及び第２方向（例えばＸ軸方向）を含む第１平面と交差する。第３方向は、例えば、Ｙ軸方向である。第２可動部１０ｂの第３方向に沿う幅を第２幅ｗ２とする。第３可動部１０ｃの第３方向に沿う幅を第３幅ｗ３とする。第４可動部１０ｄの第３方向に沿う幅を第４幅ｗ４とする。第５可動部１０ｅの第３方向に沿う幅を第５幅ｗ５とする。幅がＸ軸方向に沿って変化する場合は、幅は、最大値として良い。
第１幅ｗ１は、第４幅ｗ４よりも大きく、第５幅ｗ５よりも大きい。第３幅ｗ３は、第４幅ｗ４よりも小さく、第５幅ｗ５よりも小さい。第２幅ｗ２は、第４幅ｗ４よりも大きく、第５幅ｗ５よりも大きい。
第３可動部１０ｃの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さを第３長さＬ３とする。第４可動部１０ｄの第２方向に沿う長さを第４長さＬ４とする。第５可動部１０ｅの第２方向に沿う長さを第５長さＬ５とする。第３長さＬ３は、第４長さＬ４よりも短く、第５長さＬ５さよりも短い。第３可動部１０ｃは、例えば、ピポット部、または、ヒンジ部である。
例えば、第１検出素子１０Ｕが加速度（または力）を受けると、第２可動部１０ｂは、Ｘ－Ｙ平面内で、第３可動部１０ｃを中心とした回転方向（弧方向）に沿って変位可能である。第２可動部１０ｂは、例えば、「Proof Mass」である。
図３に示すように、第２可動部１０ｂは、第１部分領域１０ｂａと、第２部分領域１０ｂｂと、を含む。第１部分領域１０ｂａは、第５可動部１０ｅと第２部分領域１０ｂｂとの間にある。第１部分領域１０ｂａの第３方向（例えばＹ軸方向）に沿う長さｗｒ１は、第２部分領域１０ｂｂの第３方向に沿う長さｗｒ２よりも短い。第２可動部１０ｂの平面形状は、例えば、扇状である。
図２（ａ）に示すように、この例では、第１可動部材１０は、第１梁１１及び第２梁１２を含む。第１梁１１は、第１端部１１ｅ及び第１他端部１１ｆを含む。第１端部１１ｅは、第１可動部１０ａと接続される。第１他端部１１ｆは、第２可動部１０ｂと接続される。第２梁１２は、第２端部１２ｅ及び第２他端部１２ｆを含む。第２端部１２ｅは第１可動部１０ａと接続される。第２他端部１２ｆは、第２可動部１０ｂと接続される。第３方向（Ｙ軸方向）において、第３可動部１０ｃは、第１梁１１と第２梁１２との間にある。
既に説明したように、第１検出素子１０Ｕが受けた加速度に応じて第２可動部１０ｂが変位する。第２可動部１０ｂの変位に応じて、第１梁１１の第１共振周波数と、第２梁１２の第２共振周波数と、の差が変化可能である。例えば、加速度に応じて、第１梁１１に圧縮応力及び引っ張り応力の一方が加わり、第２梁１２に圧縮応力及び引っ張り応力の他方が加わる。これにより、これらの梁の共振周波数に変化が生じる。１つの例において、これらの共振周波数の変化を検出することで、加速度が検出されても良い。
図２（ａ）に示すように、第１梁１１は、第１可動梁１１Ｍに含まれる。第２梁１２は、第２可動梁１２Ｍに含まれる。例えば、第１可動梁１１Ｍは、第１可動導電部１１Ａと、第１可動接続部１１Ｃ、を含む。第１梁１１は、第１端部１１ｅと第１他端部１１ｆとの間の第１中間部１１ｃを含む。第１可動接続部１１Ｃは、第１中間部１１ｃと第１可動導電部１１Ａとを互いに接続する。例えば、第２可動梁１２Ｍは、第２可動導電部１２Ａと、第２可動接続部１２Ｃ、を含む。第２梁１２は、第２端部１２ｅと第２他端部１２ｆとの間の第２中間部１２ｃを含む。第２可動接続部１２Ｃは、第２中間部１２ｃと第２可動導電部１２Ａとを互いに接続する。
図２に示すように、この例では、第１固定導電部６１及び第２固定導電部６２が設けられる。これらの固定導電部は、例えば、基体５０Ｓに固定されて良い。第１固定導電部６１は、例えば、Ｙ軸方向において、第１可動導電部１１Ａと対向する。第２固定導電部６２は、例えば、Ｙ軸方向において、第２可動導電部１２Ａと対向する。例えば、第１固定導電部６１及び第２固定導電部６２により、第１可動梁１１Ｍ及び第２可動梁１２Ｍの変位が検出されても良い。第１固定導電部６１及び第２固定導電部６２は、例えば、検出用電極として機能して良い。
図２に示すように、この例では、第５導電部６５、第６導電部６６、導電部６５Ａ、及び、導電部６６Ａが設けられる。これらの導電部は、基体５０Ｓに固定されて良い。第５導電部６５及び導電部６５Ａは、例えば、Ｙ軸方向において、第１可動導電部１１Ａと対向する。第５導電部６５及び導電部６５Ａは、例えば、Ｙ軸方向において、第１梁１１と対向しても良い。第６導電部６６及び導電部６６Ａは、例えば、Ｙ軸方向において、第２可動導電部１２Ａと対向する。第５導電部６６及び導電部６６Ａは、例えば、Ｙ軸方向において、第２梁１２と対向しても良い。例えば、第５導電部６５及び導電部６５Ａに印加される電圧により、第１可動梁１１Ｍが振動可能である。例えば、第６導電部６６及び導電部６６Ａに印加される電圧により、第２可動梁１２Ｍが振動可能である。第５導電部６５、導電部６５Ａ、第６導電部６６、及び、導電部６６Ａは、例えば、駆動用電極及び調整用電極の少なくともいずれかとして機能して良い。
図２（ａ）に示すように、制御部７０は、第１固定導電部６１、第２固定導電部６２、第５導電部６５、導電部６５Ａ、第６導電部６６及び導電部６６Ａと電気的に接続される。電気的な接続は、例えば、電極６１Ｅ、電極６２Ｅ、電極６５Ｅ、電極６５ＡＥ、電極６６Ｅ及び電極６６ＡＥを介して行われる。
図２（ａ）に示すように、第１可動導電部１１ＡのＸ軸方向に沿う長さは、第１可動接続部１１ＣのＸ軸方向に沿う長さよりも長い。第２可動導電部１２ＡのＸ軸方向に沿う長さは、第２可動接続部１２ＣのＸ軸方向に沿う長さよりも長い。このような構成により、これらの可動導電部と固定導電部とが互いに対向する領域の幅が大きくなる。より高い精度の検出が可能になる。
図１（ａ）に示す第１導電部５１は、基体５０Ｓに固定される。図１（ａ）に示すように、第１導電部５１は、Ｘ－Ｙ平面において、第２可動部１０ｂと対向する。例えば、第２可動部１０ｂは、第１可動対向部２１Ｆを含む。第１可動対向部２１Ｆは、第２方向及び第３方向を含む第２平面（Ｘ－Ｙ平面）において、第１導電部５１と対向する。第１可動対向部２１Ｆは、第１導電部５１に向けて突出する第１可動凸部２１を含む。
図１（ａ）に示すように、第１導電部５１は、第１導電対向部４１Ｆを含む。第１導電対向部４１Ｆは、Ｘ－Ｙ平面において、第１可動対向部２１Ｆと対向する。第１導電対向部４１Ｆは、第１可動対向部２１Ｆに向けて突出する第１導電凸部４１を含む。
第１導電凸部４１は、第１放射方向Ｄｒ１において、第１可動凸部２１と重なる。第１放射方向Ｄｒ１は、第３可動部１０ｃを通り第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う方向である。
図１（ａ）に示すように、例えば、第１可動対向部２１Ｆは、複数の第１可動凸部２１を含む。複数の第１可動凸部２１の間の領域は、凹部である。第１可動対向部２１Ｆは、複数の凹凸を含む。第１導電対向部４１Ｆは、複数の第１導電凸部４１を含む。複数の第１導電凸部４１の間の領域は、凹部である。第１導電対向部４１Ｆは、複数の凹凸を含む。
複数の第１導電凸部４１の１つは、第１放射方向Ｄｒ１において、複数の第１可動凸部２１の１つと、複数の第１可動凸部２１の別の１つと、の間にある。複数の第１可動凸部２１の１つは、第１放射方向Ｄｒ１において、複数の第１導電凸部４１の１つと、複数の第１導電凸部４１の別の１つと、の間にある。複数の第１可動凸部２１、及び、複数の第１導電凸部４１により櫛歯状の電極対が形成される。櫛歯状の電極対により、例えば、第２可動部１０ｂをより効果的に制御できる。
図１（ａ）に示すように、櫛歯状の電極対は、第３可動部１０ｃを通る第１放射方向Ｄｒ１に沿って並ぶ。例えば、第２可動部１０ｂが第３可動部１０ｃを中心として回転することが容易である。例えば、第１導電部５１と第２可動部１０ｂとの間に電圧を印加したときに、第２可動部１０ｂは、第３可動部１０ｃを中心として、安定して回転方向（弧方向）に沿って変位できる。加速度に伴う第２可動部１０ｂの回転（変位）がより安定して得られる。例えば、検出精度を向上できるセンサが提供できる。
図１（ａ）に示すように、制御部７０は、第１導電部５１と電気的に接続される。この例では、電極５１Ｅを介して、制御部７０は、第１導電部５１と電気的に接続される。一方、制御部７０は、例えば、電極１０Ｅを介して、第１可動部材１０と電気的に接続される。制御部７０は、第１導電部５１と、第２可動部１０ｂと、の間に電圧を印加可能である。制御部７０は、電圧により、第１導電部５１に対して第２可動部１０ｂを変位させることができる。例えば、制御部７０は、２つの梁の共振周波数の差を制御するように、第１導電部５１と第２可動部１０ｂとの間に印加する電圧を制御可能である。これにより、高い精度で、加速度を検出できる。検出の例については、後述する。
図１（ａ）に示すように、複数の第１可動凸部２１は、第１可動放射方向Ｄｍｒ１に沿って並ぶ。第１可動放射方向Ｄｍｒ１は、第３可動部１０ｃを通り、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。複数の第１導電凸部４１は、第１導電放射方向Ｄｃｒ１に沿って並ぶ。第１導電放射方向Ｄｃｒ１は、第３可動部１０ｃを通り、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。第１可動放射方向Ｄｍｒ１は、第１導電放射方向Ｄｃｒ１に対して実質的に平行でも良い。第１可動放射方向Ｄｍｒ１及び第１導電放射方向Ｄｃｒ１は、第１放射方向Ｄｒ１に対して実質的に平行でも良い。
図１（ａ）に示すように、第１検出素子１０Ｕは、第２導電部５２をさらに含んでも良い。第２導電部５２は、基体５０Ｓに固定される。第２可動部１０ｂは、第２可動対向部２２Ｆを含む。第２可動対向部２２Ｆは、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）において第２導電部５２と対向する。第２可動対向部２２Ｆは、前２導電部５２に向けて突出する第２可動凸部２２を含む。
図１（ａ）に示すように、第２導電部５２は、第２導電対向部４２Ｆを含む。第２導電対向部４２Ｆは、第２可動対向部２２Ｆと対向する。第２導電対向部４２Ｆは、第２可動対向部２２Ｆに向けて突出する第２導電凸部４２を含む。第２導電凸部４２は、第２放射方向Ｄｒ２において、第２可動凸部２２と重なる。第２放射方向Ｄｒ２は、第３可動部１０ｃを通り、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。
図１（ａ）に示すように、例えば、第２可動対向部２２Ｆは、複数の第２可動凸部２２を含む。複数の第２可動凸部２２の間の領域は、凹部である。第２可動対向部２２Ｆは、複数の凹凸を含む。第２導電対向部４２Ｆは、複数の第２導電凸部４２を含む。複数の第２導電凸部４２の間の領域は、凹部である。第２導電対向部４２Ｆは、複数の凹凸を含む。
複数の第２導電凸部４２の１つは、第２放射方向Ｄｒ２において、複数の第２可動凸部２２の１つと、複数の第２可動凸部２２の別の１つと、の間にある。複数の第２可動凸部２２の１つは、第２放射方向Ｄｒ２において、複数の第２導電凸部４２の１つと、複数の第２導電凸部４２の別の１つと、の間にある。複数の第２可動凸部２２、及び、複数の第１導電凸部４２により櫛歯状の電極対が形成される。櫛歯状の電極対により、例えば、第２可動部１０ｂをより効果的に制御できる。
櫛歯状の電極対は、第３可動部１０ｃを通る第２放射方向Ｄｒ２に沿って並ぶ。例えば、第２可動部１０ｂが第３可動部１０ｃを中心として回転することが容易である。例えば、第２導電部５２と第２可動部１０ｂとの間に電圧を印加したときに、第２可動部１０ｂは、第３可動部１０ｃを中心として、安定して回転方向（弧方向）に沿って変位できる。加速度に伴う第２可動部１０ｂの回転（変位）がより安定して得られる。例えば、検出精度を向上できるセンサが提供できる。
例えば、第２放射方向Ｄｒ２は、第１放射方向Ｄｒ１と交差する。図１（ａ）に示すように、制御部７０は、電極５２Ｅを介して第２導電部５２と電気的に接続される。例えば、後述するように、第１導電部５１に印加する電圧と、第２導電部５２に印加する電圧と、を切り替えることで、第２可動部１０ｂを所望の向きに沿って回転方向に沿って変位させることが容易になる。
図１（ａ）に示すように、複数の第２可動凸部２２は、第２可動放射方向Ｄｍｒ２に沿って並ぶ。第２可動放射方向Ｄｍｒ２は、第３可動部１０ｃを通り、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。複数の第２導電凸部４２は、第２導電放射方向Ｄｃｒ２に沿って並ぶ。第２導電放射方向Ｄｃｒ２は、第３可動部１０ｃを通り、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。第２可動放射方向Ｄｍｒ２は、第２導電放射方向Ｄｃｒ２に対して実質的に平行でも良い。第２可動放射方向Ｄｍｒ２及び第２導電放射方向Ｄｃｒ２は、第２放射方向Ｄｒ２に対して実質的に平行でも良い。
図４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図４に示すように、複数の第１可動凸部２１の突出方向の長さは、複数の第１可動凸部２１の第３可動部１０ｃからの距離に応じて変化して良い。例えば、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿い、第１可動放射方向Ｄｍｒ１と交差する方向を第１可動弧方向Ｄｍｘ１とする。複数の第１可動凸部２１の第１可動弧方向Ｄｍｘ１に沿った長さが第３可動部１０ｃからの距離が長くなると、長くなる。例えば、複数の第１可動凸部２１の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離は、複数の第１可動凸部２１の別の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離よりも長い。複数の第１可動凸部２１の上記の１つの第１可動弧方向Ｄｍｘ１に沿う長さは、複数の第１可動凸部２１の上記の別の１つの第１可動弧方向Ｄｍｘ１に沿う長さよりも長い。突出方向の長さは、弧に沿う長さでも良い。
図４に示すように、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿い、第１導電放射方向Ｄｃｒ１と交差する方向を第１導電弧方向Ｄｃｘ１とする。複数の第１導電凸部４１の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離は、複数の第１導電凸部４１の別の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離よりも長い。複数の第１導電凸部４１の上記の１つの第１導電弧方向Ｄｃｘ１に沿う長さは、複数の第１導電凸部４１の上記の別の１つの第１導電弧方向Ｄｃｘ１に沿う長さよりも長い。距離は、弧に沿う長さでも良い。
このような複数の第１可動凸部２１及び複数の第１導電凸部４１により、より効果的に第２可動部１０ｂを制御できる。
例えば、複数の第１可動凸部２１の第１可動弧方向Ｄｍｘ１に沿う長さは、複数の第１可動凸部２１の、第３可動部１０ｂからの距離に比例して増大する。例えば、複数の第１導電凸部４１の第１導電弧方向Ｄｃｘ１に沿う長さは、複数の第１導電凸部４１の、第３可動部１０ｃからの距離に比例して増大する。より効果的に第２可動部１０ｂを制御できる。凸部の長さは、弧に沿う長さでも良い。
図４に示すように、例えば、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿い、第２可動放射方向Ｄｍｒ２と交差する方向を第２可動弧方向Ｄｍｘ２とする。例えば、複数の第２可動凸部２２の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離は、複数の第２可動凸部２２の別の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離よりも長い。複数の第２可動凸部２２の上記の１つの第２可動弧方向Ｄｍｘ２に沿う長さは、複数の第２可動凸部２２の上記の別の１つの第２可動弧方向Ｄｍｘ２に沿う長さよりも長い。距離は、弧に沿う長さでも良い。
図４に示すように、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿い、第２導電放射方向Ｄｃｒ２と交差する方向を第２導電弧方向Ｄｃｘ２とする。複数の第２導電凸部４２の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離は、複数の第２導電凸部４２の別の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離よりも長い。複数の第２導電凸部４２の上記の１つの第２導電弧方向Ｄｃｘ２に沿う長さは、複数の第２導電凸部４２の上記の別の１つの第２導電弧方向Ｄｃｘ２に沿う長さよりも長い。
図４に示すように、第２可動部１０ｂの少なくとも一部は、第１導電部５１と第２導電部５２との間にある。
図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの動作を例示する模式的平面図である。
図５（ａ）に示すように、例えば、第１電圧印加動作ＳＴ１において、制御部７０は、第１可動部材１０と、第２導電部５２と、の間に、第１電圧Ｖ１を印加する。第１電圧印加動作ＳＴ１において、制御部７０は、第１可動部材１０と、第１導電部５１と、の間に、第２電圧Ｖ２を印加する。第２電圧Ｖ２の絶対値は、第１電圧Ｖ１の絶対値よりも小さい。第２電圧Ｖ２は、例えば、グランド電圧でも良いこのような第１電圧印加動作ＳＴ１により、第２可動部１０ｂは、例えば、時計周りに回転する。
図５（ｂ）に示すように、例えば、第２電圧印加動作ＳＴ２において、制御部７０は、第１可動部材１０と、第１導電部５１と、の間に、第１電圧Ｖ１を印加する。第２電圧印加動作ＳＴ２において、制御部７０は、第１可動部材１０と、第２導電部５１と、の間に、第２電圧Ｖ２を印加する。このような第２電圧印加動作ＳＴ２により、第２可動部１０ｂは、例えば、反時計周りに回転する。
第１電圧Ｖ１の値は、例えば、第１検出素子１０Ｕが受ける加速度による第２可動部１０ｂの変位を打ち消す電圧以上の値に設定されて良い。
以下、実施形態に係るセンサのいくつかの例について説明する。以下の図において、図を見やすくするために、第１可動梁１１Ｍの一部、第２可動梁１２Ｍの一部、第１固定導電部６１、第２固定導電部６２、第５導電部６５、導電部６５Ａ、第６導電部６６、導電部６６Ａ、電極６１Ｅ、電極６２Ｅ、電極６５Ｅ、電極６５ＡＥ、電極６６Ｅ及び電極６６ＡＥなどが省略される。
図６及び図７は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図６に示すように、実施形態に係るセンサ１１１においては、第１検出素子１０Ｕは、第１導電部５１及び第２導電部５２に加えて、第３導電部５３をさらに含む。第３導電部５３は、基体５０Ｓに固定される。第２可動部１０ｂは、第３可動対向部２３Ｆを含む。第３可動対向部２３Ｆは、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）において、第３導電部５３と対向する。第３可動対向部２３Ｆは、第３導電部５３に向けて突出する第３可動凸部２３を含む。
第３導電部５３は、第３導電対向部４３Ｆを含む。第３導電対向部４３Ｆは、第３可動対向部２３Ｆと対向する。第３導電対向部４３Ｆは、第３可動対向部２３Ｆに向けて突出する第３導電凸部４３を含む。第３導電凸部４３は、第３放射方向Ｄｒ３において、第３可動凸部２３と重なる。第３放射方向Ｄｒ３は、第３可動部１０ｃを通り第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。
第２可動部１０ｂの一部は、第３可動部１０ｃを中心とする回転方向（弧方向）において、第１導電部５１と第３導電部５３との間にある。
この例では、第１検出素子１０Ｕは、第４導電部５４をさらに含む。第４導電部５４は、基体５０Ｓに固定される。第２可動部１０ｂは、第４可動対向部２４Ｆを含む。第４可動対向部２４Ｆは、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）において、第４導電部５４と対向する。第４可動対向部２４Ｆは、第４導電部５４に向けて突出する第４可動凸部２４を含む。
第４導電部５４は、第４導電対向部４４Ｆを含む。第４導電対向部４４Ｆは、第４可動対向部２４Ｆと対向する。第４導電対向部４４Ｆは、第４可動対向部２４Ｆに向けて突出する第４導電凸部４４を含む。
第４導電凸部４４は、第４放射方向Ｄｒ４において、第４可動凸部２４と重なる。第４放射方向Ｄｒ４は、第３可動部１０ｃを通り第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。第２可動部１０ｂの一部は、第３可動部１０ｃを中心とする回転方向（弧方向）において、第２導電部５２と第４導電部５４との間にある。例えば、第３放射方向Ｄｒ３は、第１放射方向Ｄｒ１と第２放射方向Ｄｒ２との間にある。第４放射方向Ｄｒ４は、第３放射方向Ｄｒ３と第２放射方向Ｄｒ２との間にある。
図６に示すように、例えば、複数の第３可動凸部２３は、第３可動放射方向Ｄｍｒ３に沿って並ぶ。第３可動放射方向Ｄｍｒ３は、第３可動部１０ｃを通り、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。複数の第３導電凸部４３は、第３導電放射方向Ｄｃｒ３に沿って並ぶ。第３導電放射方向Ｄｃｒ３は、第３可動部１０ｃを通り、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。第３可動放射方向Ｄｍｒ３は、第３導電放射方向Ｄｃｒ３に対して実質的に平行でも良い。第３可動放射方向Ｄｍｒ３及び第３導電放射方向Ｄｃｒ３は、第３放射方向Ｄｒ３に対して実質的に平行でも良い。
図６に示すように、例えば、複数の第４可動凸部２４は、第４可動放射方向Ｄｍｒ４に沿って並ぶ。第４可動放射方向Ｄｍｒ４は、第３可動部１０ｃを通り、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。複数の第４導電凸部４４は、第４導電放射方向Ｄｃｒ４に沿って並ぶ。第４導電放射方向Ｄｃｒ４は、第３可動部１０ｃを通り、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿う。第４可動放射方向Ｄｍｒ４は、第４導電放射方向Ｄｃｒ４に対して実質的に平行でも良い。第４可動放射方向Ｄｍｒ４及び第４導電放射方向Ｄｃｒ４は、第４放射方向Ｄｒ４に対して実質的に平行でも良い。例えば、第４放射方向Ｄｒ４は、第３放射方向Ｄｒ３と交差する。
図７に示すように、例えば、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿い、第３可動放射方向Ｄｍｒ３と交差する方向を第３可動弧方向Ｄｍｘ３とする。例えば、複数の第３可動凸部２３の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離は、複数の第３可動凸部２３の別の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離よりも長い。複数の第３可動凸部２３の上記の１つの第３可動弧方向Ｄｍｘ３に沿う長さは、複数の第３可動凸部２３の上記の別の１つの第３可動弧方向Ｄｍｘ３に沿う長さよりも長い。距離は、弧に沿う長さでも良い。
図７に示すように、例えば、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿い、第３導電放射方向Ｄｃｒ３と交差する方向を第３導電弧方向Ｄｃｘ３とする。例えば、複数の第３導電凸部４３の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離は、複数の第３導電凸部４３の別の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離よりも長い。複数の第３導電凸部４３の上記の１つの第３導電弧方向Ｄｃｘ３に沿う長さは、複数の第３導電凸部４３の上記の別の１つの第３導電弧方向Ｄｃｘ３に沿う長さよりも長い。距離は、弧に沿う長さでも良い。
図７に示すように、例えば、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿い、第４可動放射方向Ｄｍｒ４と交差する方向を第４可動弧方向Ｄｍｘ４とする。例えば、複数の第４可動凸部２４の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離は、複数の第４可動凸部２４の別の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離よりも長い。複数の第４可動凸部２４の上記の１つの第４可動弧方向Ｄｍｘ４に沿う長さは、複数の第４可動凸部２４の上記の別の１つの第４可動弧方向Ｄｍｘ４に沿う長さよりも長い。距離は、弧に沿う長さでも良い。
図７に示すように、例えば、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿い、第４導電放射方向Ｄｃｒ４と交差する方向を第４導電弧方向Ｄｃｘ４とする。例えば、複数の第４導電凸部４４の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離は、複数の第４導電凸部４４の別の１つと第３可動部１０ｃとの間の距離よりも長い。複数の第４導電凸部４４の上記の１つの第４導電弧方向Ｄｃｘ４に沿う長さは、複数の第４導電凸部４４の上記の別の１つの第４導電弧方向Ｄｃｘ４に沿う長さよりも長い。距離は、弧に沿う長さでも良い。
図７に示すように、第３導電部５３の少なくとも一部は、第１導電部５１と第２導電部５２との間にある。第４導電部５４の少なくとも一部は、第３導電部５３と第２導電部５２との間にある。
図６に示すように、センサ１１１においては、第３導電部５３は、第３可動対向部２３Ｆと、第１導電部５１との間にある。第４導電部５４は、第４可動対向部２４Ｆと、第４導電部５４との間にある。
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの動作を例示する模式的平面図である。
図８（ａ）に示すように、センサ１１１において、第３導電部５３は、第１導電部５１と電気的に接続される。第４導電部５４は、第２導電部５２と電気的に接続される。制御部７０は、例えば、電極５３Ｅを介して、第３導電部５３と電気的に接続される。例えば、電極５４Ｅを介して、第４導電部５４と電気的に接続される。
図８（ａ）に示すように、例えば、第１電圧印加動作ＳＴ１において、制御部７０は、第１可動部材１０と第２導電部５２との間、及び、第１可動部材１０と第４導電部５４との間に、第１電圧Ｖ１を印加する。第１電圧印加動作ＳＴ１において、制御部７０は、第１可動部材１０と第１導電部５１との間、及び、第１可動部材１０と第３導電部５３との間に、第２電圧Ｖ２を印加する。このような第１電圧印加動作ＳＴ１により、第２可動部１０ｂは、例えば、時計周りに回転する。
図８（ｂ）に示すように、例えば、第２電圧印加動作ＳＴ２において、制御部７０は、第１可動部材１０と第１導電部５１との間、及び、第１可動部材１０と第３導電部５３との間に、第１電圧Ｖ１を印加する。第２電圧印加動作ＳＴ２において、制御部７０は、第１可動部材１０と第２導電部５２との間に、及び、第１可動部材１０と第４導電部５４との間に、第２電圧Ｖ２を印加する。このような第２電圧印加動作ＳＴ２により、第２可動部１０ｂは、例えば、反時計周りに回転する。
図９は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図９に示すように、実施形態に係るセンサ１１２において、第１検出素子１０Ｕは、第１導電部５１、第２導電部５２、第３導電部５３及び第４導電部５４を含む。第１可動部材は、第１可動対向部２１Ｆ、第２可動対向部２２Ｆ、第３可動対向部２３Ｆ及び第４可動対向部２４Ｆを含む。センサ１１２においては、第３可動対向部２３Ｆは、第１導電部５１と第３導電部５３との間にある。第４可動対向部２４Ｆは、第２導電部５２と第４導電部５４との間にある。センサ１１２におけるこれを除く構成は、センサ１１１の構成と同様で良い。
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの動作を例示する模式的平面図である。
図１０（ａ）に示すように、センサ１１２において、第３導電部５３は、第２導電部５２と電気的に接続される。第４導電部５４は、第１導電部５１と電気的に接続される。
図１０（ａ）に示すように、例えば、第１電圧印加動作ＳＴ１において、制御部７０は、第１可動部材１０と第２導電部５２との間、及び、第１可動部材１０と第３導電部５３との間に、第１電圧Ｖ１を印加する。第１電圧印加動作ＳＴ１において、制御部７０は、第１可動部材１０と第１導電部５１との間、及び、第１可動部材１０と第４導電部５４との間に、第２電圧Ｖ２を印加する。このような第１電圧印加動作ＳＴ１により、第２可動部１０ｂは、例えば、時計周りに回転する。
図１０（ｂ）に示すように、例えば、第２電圧印加動作ＳＴ２において、制御部７０は、第１可動部材１０と第１導電部５１との間、及び、第１可動部材１０と第４導電部５４との間に、第２電圧Ｖ１を印加する。第２電圧印加動作ＳＴ２において、制御部７０は、第１可動部材１０と第２導電部５２との間、及び、第１可動部材１０と第３導電部５３との間に、第２電圧Ｖ２を印加する。このような第２電圧印加動作ＳＴ２により、第２可動部１０ｂは、例えば、反時計周りに回転する。
センサ１１１及びセンサ１１２のように、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）において、第３導電部５３の少なくとも一部の周りに第２可動部１０ｂがある。第４導電部５４の少なくとも一部の周りに第２可動部１０ｂがある。
図１１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１１に示すように、実施形態に係るセンサ１１３においても、第１検出素子１０Ｕは、第１導電部５１、第２導電部５２、第３導電部５３及び第４導電部５４を含む。第３導電部５３の一部は、第２可動部１０ｂに囲まれなくても良い。第４導電部５４の一部は、第２可動部１０ｂに囲まれなくても良い。センサ１１３におけるこれを除く構成は、センサ１１１の構成と同様で良い。
図１２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１２に示すように、実施形態に係るセンサ１１４においても、第１検出素子１０Ｕは、第１導電部５１、第２導電部５２、第３導電部５３及び第４導電部５４を含む。第３導電部５３の一部は、第２可動部１０ｂに囲まれなくても良い。第４導電部５４の一部は、第２可動部１０ｂに囲まれなくても良い。センサ１１４におけるこれを除く構成は、センサ１１２の構成と同様で良い。センサ１１１～１１４においても、検出精度を向上できる。
図１３及び図１４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１３及び図１４に示すように、実施形態に係るセンサ１１５及びセンサ１１６においても、第１可動対向部２１Ｆは、第１可動凸部２１を含み、第１導電対向部４１Ｆは、第１導電凸部４１を含む。第２可動対向部２２Ｆは、第２可動凸部２２を含み、第２導電対向部４２Ｆは、第２導電凸部４２を含む。センサ１１５及びセンサ１１６においても、検出精度を向上できる。
図１５及び図１６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１５及び図１６に示すように、実施形態に係るセンサ１２１及びセンサ１２２においても、第２可動部１０ｂは、第１可動対向部２１Ｆ、及び、第２可動対向部２２Ｆを含む。第１導電部５１は、第１導電対向部４１Ｆを含む。第２導電部５２は、第２導電対向部４２Ｆを含む。
第１可動対向部２１Ｆは、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）において、第１導電部５１と対向する。第１導電対向部４１Ｆは、第１可動対向部２１Ｆと対向する。第１可動対向部２１Ｆ及び第１導電対向部４１Ｆは、第１放射方向Ｄｒ１に沿って延びる。第１放射方向Ｄｒ１は、第３可動部１０ｃを通り第２平面に沿う。
第２可動対向部２２Ｆは、第２平面（Ｘ－Ｙ平面）において、第２導電部５２と対向する。第２導電対向部４２Ｆは、第２可動対向部２２Ｆと対向する。第２可動対向部２２Ｆ及び第２導電対向部４２Ｆは、第２放射方向Ｄｒ２に沿って延びる。第２放射方向Ｄｒ２は、第３可動部１０ｃを通り第２平面に沿う。センサ１２１及びセンサ１２１においても、検出精度を向上できる。
上記のように、実施形態に係るセンサにおいて、加速度に伴う第２可動部１０ｂの回転（変位）がより安定して得られる。例えば、第２可動部１０ｂが回転すると、第１可動梁１１Ｍ及び第２可動梁１２Ｍの一方に、引張応力及び圧縮応力の一方が作用し、第１可動梁１１Ｍ及び第２可動梁１２Ｍの他方に、引張応力及び圧縮応力の他方が作用しする。応力の極性は、回転方向に基づく。応力により、第１梁１１の第１共振周波数と、第２梁１２の第２共振周波数と、の差が変化する。１つの例において、時計回りの回転の場合に、第１共振周波数は上昇し、第２共振周波数は減少する。例えば、反時計回りの回転の場合に、第１共振周波数は減少し、第２共振周波数は上昇する。安定した回転により、例えば、共振周波数の安定した変化が得られる。これにより、例えば、検出精度を向上できるセンサが提供できる。
以下、実施形態に係るセンサにおける検出動作の例について説明する。
例えば、制御部７０（図１（ａ）参照）は、第１動作を実施可能である。第１動作において、制御部７０は、第１固定導電部６１から得られる第１信号ｓｉｇ１（図２（ａ）参照）、及び、第２固定導電部６２から得られる第２信号ｓｉｇ２（図２（ａ）参照）を入手する。制御部７０は、第１信号ｓｉｇ１及び第２信号ｓｉｇ２に基づいて、第１検出素子１０Ｕに加わる加速度、及び、第１検出素子１０Ｕの温度に関する情報を出力可能である。第１動作は、温度補償した加速度を出力することを含んでも良い。実施形態によれば、検出精度を向上できるセンサを提供できる。制御部７０は、例えば、処理部（例えば、ＣＰＵ：Central Processing Unit）などの処理回路（例えば、電気回路）を含んでも良い。
第１検出素子１０Ｕに加わる加速度により、第２可動部１０ｂに回転の変位が生じる。第１動作は、例えば、上記のような第１電圧印加動作ＳＴ１及び第２電圧印加動作ＳＴ２を含む。第１電圧印加動作ＳＴ１及び第２電圧印加動作ＳＴ２により、加速度による第２可動部１０ｂの回転の変位を小さくする（例えば打ち消す）ことが可能である。第１電圧印加動作ＳＴ１及び第２電圧印加動作ＳＴ２において印加される電圧に基づいて、第１検出素子１０Ｕに加わる加速度、及び、第１検出素子１０Ｕの温度に関する情報が得られる。
１つの例において、第１動作は、第２可動部１０ｂの回転の変位を実質的にゼロに保つことを含んでも良い。回転の変位を実質的にゼロに保つ電圧を測定することで、加速度が検出される。このような第１動作が行われる場合は、例えば、第１検出素子１０Ｕに大きな加速度が加わった際に、第２可動部１０ｂが他の側壁に接触することなく、測定が可能である。例えば、測定可能な加速度の大きさの範囲が増大する。
例えば、第１動作は、第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数と、第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数と、の差及び和に基づいて、加速度及び温度に関する情報を導出することを含む。第１共振周波数は、第１信号ｓｉｇ１から得られる。第２共振周波数は、第２信号ｓｉｇ２から得られる。
例えば信号をＰＬＬ（phase locked loop）回路により処理することで、共振周波数が得られる。例えば、ＰＬＬ回路は、制御部７０に含まれても良い。ＰＬＬ回路は、制御部７０とは別に設けられても良い。
例えば、第１動作は、第１共振周波数、第２共振周波数、複数の加速度、複数の温度、第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２の関係に関するデータに基づいて、加速度及び温度に関する情報を導出することを含んでもよい。このデータは、例えば、記憶部７０Ｍ（図１（ａ）参照）に記憶される。制御部７０は、データを記憶する記憶部７０Ｍから、データを取得する。例えば、第１動作は、取得されたデータに基づいて、加速度及び温度に関する情報を導出することを含んでも良い。
図１７は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。
図１７に示す動作の少なくとも一部は、制御部７０で行われる。
図１７に示すように、共振周波数（第１共振周波数ｆ１、及び、第２共振周波数ｆ２）、第１電圧Ｖ１、第２電圧Ｖ２、加速度Ｇ、及び、温度Ｔの関係に関するデータが取得される（ステップＳ１０５）。既に説明したように、このデータは、予め取得される。例えば、記憶部７０Ｍに記憶されたデータを、制御部７０が取得しても良い。
図１７に示すように、制御部７０は、第１固定導電部６１から得られる第１信号ｓｉｇ１、及び、第２固定導電部６２から得られる第２信号ｓｉｇ２を取得する（ステップＳ１１０）。
制御部７０は、第１信号ｓｉｇ１に基づいて、第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数ｆ１を導出し、第２信号ｓｉｇ２に基づいて、第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数ｆ２を導出する（ステップＳ１２０）。既に説明したように、ＰＬＬ回路などによる処理が行われる。
制御部７０は、第１共振周波数ｆ１、及び、第２共振周波数ｆ２に基づいて、第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２の差（共振周波数差）と、第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２の和（共振周波数和）と、を算出する（ステップＳ１３０）。
制御部７０は、上記の差（共振周波数差）の変化量を算出する（ステップＳ１４０）。変化量は、例えば、ステップＳ１３０で得られた差と、初期の差と、の差を含む。変化量は、例えば、最新のステップＳ１３０で得られた差と、前回のステップＳ１３０で得られた差と、の差を含む。
制御部７０は、変化量の絶対値が基準値以下かどうかを判断する（ステップＳ１５０）。変化量の絶対値が基準値よりも大きい場合、第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２を変更（ステップＳ１５５）し、ステップＳ１１０に進む。ステップＳ１１０～ステップＳ１５０が、変化量の絶対値が基準値以下になるまで繰り返される。
変化量の絶対値が基準値以下の場合、ステップＳ１６０に進む。ステップＳ１６０において、制御部７０は、第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２（第１電圧印加動作ＳＴ１及び第２電圧印加動作ＳＴ２における電圧）に基づいて、加速度Ｇ及び温度Ｔを推定する。制御部７０は、加速度Ｇ及び温度Ｔに関する情報を出力する（ステップＳ１７０）。
このようにして、実施形態においては、加速度Ｇ及び温度Ｔを出力できる。実施形態においては、上記の第１可動対向部２１Ｆ及び第１導電対向部４１Ｆが設けられる。これにより、第１電圧Ｖ１により、より効果的に第２可動部１０ｂを変位されることが可能である。実施形態においては、第１梁１１及び第２梁１２が設けられる。これらの梁において、加速度Ｇに応じて共振周波数の変化が生じる。加速度、温度と、第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２の関係を利用することで、高い精度の検出が可能である。実施形態において、例えば、フォースリバランスによる検出が行われても良い。
上記のように、第１動作は、第１電圧Ｖ１を変化させて、第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２との差を小さくすることを含んでも良い。例えば、第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２との差が実質的に０になるような第１電圧Ｖ１が導電部に印加されても良い。この状態における、第１電圧Ｖ１と、第１共振周波数ｆ１と、第２共振周波数ｆ２と、加速度Ｇと、温度Ｔと、の関係に関するデータが予め取得されても良い。予め取得されたデータが、例えば記憶部７０Ｍなどに記憶される。制御部７０は、記憶されたデータに基づいて、加速度Ｇ及び温度Ｔを算出（推定）可能である。
上記のように、第１動作において、制御部７０は、第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２との差の変化量が規準値よりも小さくなったときの加速度Ｇ及び温度Ｔを、第１検出素子１０Ｕに加わる加速度Ｇ及び第１検出素子１０Ｕの温度Ｔとして、出力することが可能である。
以下、第１共振周波数ｆ１と、第２共振周波数ｆ２と、加速度Ｇと、温度Ｔと、第１電圧Ｖ１と、第２電圧Ｖ２と、の関係に関するデータの取得の例について説明する。第２電圧Ｖ２は、０でも良い。この場合、第２電圧Ｖ２に関する記載は省略される。この場合、第１電圧Ｖ１は、「第１電圧Ｖ１と第２電圧Ｖ２との差」で良い。
図１８は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。
図１８に示す動作の少なくとも一部は、制御部７０で行われても良い。別の制御部により図１８に示す動作が行われ、得られたデータが記憶部７０Ｍなどに記憶されても良い。
図１８に示すように、加速度Ｇを設定する（ステップＳ２０５）。例えば、最初の動作では、加速度Ｇが０とされる。
温度Ｔを設定する（ステップＳ２０６）。例えば、第１検出素子１０Ｕの温度が、対象温度範囲内のいくつかの温度の１つに設定される。対象温度範囲は、例えば、センサの使用温度範囲である。対象温度範囲は、例えば、－２０℃以上８０℃以下である。
第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２（第１電圧印加動作ＳＴ１及び第２電圧印加動作ＳＴ２における電圧）を設定する（ステップＳ２０７）。これらの電圧の設定は、例えば、第１電圧Ｖ１の制御範囲である。制御範囲は、例えば、０Ｖ以上４０Ｖ以下である。
第１固定導電部６１から得られる第１信号ｓｉｇ１、及び、第２固定導電部６２から得られる第２信号ｓｉｇ２を取得する（ステップＳ２１０）。
第１信号ｓｉｇ１に基づいて、第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数ｆ１が算出され、第２信号ｓｉｇ２に基づいて、第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数ｆ２が算出される（ステップＳ２２０）。既に説明したように、ＰＬＬ回路などによる処理が行われる。
対象電圧範囲内の測定が終了したかどうかが判断される（ステップＳ２３０）。対象電圧範囲内の測定が終了していない場合は、ステップＳ２３５に進む。ステップＳ２３５において、第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２が変更され、ステップＳ２０７に戻る。
対象電圧範囲内の測定が終了した場合、対象温度範囲内の測定が終了しているかどうかが判断される（ステップＳ２４０）。対象温度範囲内の測定が終了していない場合は、ステップＳ２４５に進む。ステップＳ２４５において、第１検出素子１０Ｕの温度が変更され、ステップＳ２０６に戻る。
対象温度範囲内の測定が終了している場合は、ステップＳ２５０に進む。ステップＳ２５０では、対象加速度範囲内の測定が終了したかどうかが判断される。対象加速度範囲内の測定が終了していない場合は、ステップＳ２５５に進む。ステップＳ２５５において加速度が変更される。その後、ステップＳ２０５に戻る。
対象加速度範囲内の測定が終了した場合は、測定結果を記憶する（ステップＳ２６０）。
例えば、３種類の加速度Ｇと、３種類の温度Ｔと、３種類の第１電圧Ｖ１と、の２７種類の条件において、図１８の動作が行われても良い。３種類の加速度Ｇは、例えば、－１Ｇ、０Ｇ、及び＋１Ｇを含む。３種類の温度Ｔは、－２０℃、＋２０℃及び＋８０℃を含む。３種類の第１電圧Ｖ１（第１電圧Ｖ１と第２電圧Ｖ２との差でも良い）は、０Ｖ、２０Ｖ、及び、４０Ｖを含む。
このような動作により、例えば、第１共振周波数ｆ１と、第２共振周波数ｆ２と、加速度Ｇと、温度Ｔと、駆動／調整電圧の関係に関するデータが取得され、記憶される。取得され記憶されたデータを用いて、図１７に関して説明した動作が実施される。
（第２実施形態）
図１９は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図１９に示すように、実施形態に係るセンサ１２０は、第１実施形態に関して説明した第１検出素子１０Ｕに加えて、第２検出素子１０Ｖを含む。第２検出素子１０Ｖは、例えば、第２支持部材５０Ｂ及び第２可動部材１０Ｓを含む。第２支持部材５０Ｂは、基体５０Ｓに固定される。第２可動部材１０Ｓは、第２支持部材５０Ｂに支持され、基体５０Ｓから離れている。センサ１２０は、第２可動部材１０Ｓの動きに応じた信号により、センサ１２０の角度を検出可能である。例えば、第２可動部材１０Ｓの少なくとも一部が、振動される。角度の変化に応じて変化する振動状態を検出することで、角度が検出できる。例えば、フーコーの振り子の原理に基づく角度の検出が行われる。第２可動部材１０Ｓは、例えば、角度直接検出型ジャイロ（ＲＩＧ：Rate Integrating Gyroscope）である。センサ１２０は、例えば、慣性計測装置（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）である。
センサ１２０において、基体５０Ｓ、第１支持部材５０Ａ及び第１可動部材１０などの構成は、第１実施形態に関して説明した構成が適用できる。
図１９に示すように、センサ１２０において、蓋部１０Ｒが設けられても良い。蓋部１０Ｒは、基体５０Ｓと接続される。基体５０Ｓと蓋部１０Ｒとの間に、第１支持部材５０Ａ、第１可動部材１０、第２支持部材５０Ｂ及び第２可動部材１０Ｓがある。例えば、基体５０Ｓと蓋部１０Ｒとにより囲まれた空間ＳＰは、１気圧未満である。空間ＳＰが減圧されることで、より高精度の検出が実施できる。空間ＳＰは、例えば、０．１Ｐａ以下である。
図１９に示すように、第１可動部材１０から得られる電気信号、及び、第２可動部材１０Ｓから得られる電気信号が、処理回路７５に供給されても良い。例えば、配線７８ａにより、第１可動部材１０と処理回路７５とが電気的に接続される。配線７８ｂにより、第２可動部材１０Ｓと処理回路７５とが電気的に接続される。処理回路７５は、例えば、ＰＬＬ回路である。処理回路７５は、例えば、制御部７０に含まれる。処理回路７５により、第１可動部材１０から得られる共振周波数の変化が検出できる。これにより、例えば、加速度が検出できる。処理回路７５により、第２可動部材１０Ｓから得られる共振周波数の変化が検出できる。これにより、例えば、角度が検出できる。角速度が検出されても良い。小型のセンサが得られる。
（第３実施形態）
第３実施形態は、電子装置に係る。
図２０は、第３実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図２０に示すように、第３実施形態に係る電子装置３１０は、第１実施形態または第２実施形態に係るセンサと、回路制御部１７０と、を含む。図２０の例では、センサとして、センサ１１０が描かれている。回路制御部１７０は、センサから得られる信号Ｓ１に基づいて回路１８０を制御可能である。回路１８０は、例えば駆動装置１８５の制御回路などである。実施形態によれば、高精度の検出結果に基づいて、駆動装置１８５を制御するための回路１８０などを高精度で制御できる。
図２１（ａ）～図２１（ｈ）は、電子装置の応用を例示する模式図である。
図２１（ａ）に示すように、電子装置３１０は、ロボットの少なくとも一部でも良い。図２１（ｂ）に示すように、電子装置３１０は、製造工場などに設けられる工作ロボットの少なくとも一部でも良い。図２１（ｃ）に示すように、電子装置３１０は、工場内などの自動搬送車の少なくとも一部でも良い。図２１（ｄ）に示すように、電子装置３１０は、ドローン（無人航空機）の少なくとも一部でも良い。図２１（ｅ）に示すように、電子装置３１０は、飛行機の少なくとも一部でも良い。図２１（ｆ）に示すように、電子装置３１０は、船舶の少なくとも一部でも良い。図２１（ｇ）に示すように、電子装置３１０は、潜水艦の少なくとも一部でも良い。図２１（ｈ）に示すように、電子装置３１０は、自動車の少なくとも一部でも良い。第３実施形態に係る電子装置３１０は、例えば、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含んでも良い。
（第４実施形態）
図２２（ａ）及び図２２（ｂ）は、第４実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２２（ａ）に示すように、第４実施形態に係るセンサ４３０は、第１実施形態または第２実施形態に係るセンサと、送受信部４２０と、を含む。図２２（ａ）の例では、センサとして、センサ１１０が描かれている。送受信部４２０は、センサ１１０から得られる信号を、例えば、無線及び有線の少なくともいずれかの方法により送信可能である。センサ４３０は、例えば、道路４００などのスロープ面４１０などに設けられる。センサ４３０は、例えば、施設（例えばインフラストラクチャ）などの状態をモニタリングできる。センサ４３０は、例えば状態モニタリング装置で良い。
例えば、センサ４３０により、道路４００のスロープ面４１０の状態の変化が高精度で検出される。スロープ面４１０の状態の変化は、例えば、傾斜角度の変化、及び、振動状態の変化の少なくともいずれかを含む。センサ１１０から得られた信号（検査結果）が、送受信部４２０により伝達される。施設（例えばインフラストラクチャ）の状態を、例えば、連続的に、監視できる。
図２２（ｂ）に示すように、センサ４３０は、例えば、橋梁４６０の一部に設けられる。橋梁４６０は、河川４７０の上に設けられる。例えば、橋梁４６０は、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかを含む。センサ４３０は、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかに設けられる。例えば、劣化などに起因して、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかの角度が変化する場合がある。例えば、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかにおいて、振動状態が変化する場合がある。センサ４３０により、これらの変化が高精度で検出される。検出結果が、送受信部４２０により、任意の場所に伝達できる。異常を効果的に検知することができる。
実施形態は、例えば、以下の構成（例えば技術案）を含んで良い。
（構成１）
基体と、
前記基体に固定された第１支持部材と、
導電性の第１可動部材であって、前記第１可動部材は、第１可動部、第２可動部、第３可動部、第４可動部及び第５可動部を含み、
前記基体から前記第１可動部材への第１方向と交差する第２方向において前記第１可動部と前記第２可動部との間に前記第３可動部があり、前記第２方向において前記第１可動部と前記第３可動部との間に前記第４可動部があり、前記第２方向において前記第３可動部と前記第２可動部との間に前記第５可動部があり、
前記第１可動部は、前記第１支持部材に支持され、前記第２可動部、前記第３可動部、前記第４可動部及び前記第５可動部は、前記基体から離れ、
前記第１可動部の第３方向に沿う第１幅は、前記第４可動部の前記第３方向に沿う第４幅よりも大きく、前記第５可動部の前記第３方向の第５幅よりも大きく、前記第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む第１平面と交差し、前記第３可動部の第３幅は、前記第４幅よりも小さく、前記第５幅よりも小さく、前記第２可動部の前記第３方向に沿う第２幅は、前記第４幅よりも大きく、前記第５幅よりも大きく、前記第３可動部の前記第２方向に沿う第３長さは、前記第４可動部の前記第２方向に沿う第４長さよりも短く、前記第５可動部の前記第２方向に沿う第５長さよりも短い、前記第１可動部材と、
前記基体に固定された第１導電部と、
を含む第１検出素子を備え、
前記第２可動部は、前記第２方向及び前記第３方向を含む第２平面において前記第１導電部と対向する第１可動対向部を含み、前記第１可動対向部は、前記第１導電部に向けて突出する第１可動凸部を含み、
前記第１導電部は、前記第１可動対向部と対向する第１導電対向部を含み、前記第１導電対向部は、前記第１可動対向部に向けて突出する第１導電凸部を含み、
前記第１導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１放射方向において、前記第１可動凸部と重なる、センサ。
（構成２）
前記第１可動対向部は、複数の前記第１可動凸部を含み、
前記第１導電対向部は、複数の前記第１導電凸部を含み、
前記複数の第１導電凸部の１つは、前記第１放射方向において、前記複数の第１可動凸部の１つと、前記複数の第１可動凸部の別の１つと、の間にある、構成１記載のセンサ。
（構成３）
前記複数の第１可動凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１可動放射方向に沿って並び、
前記複数の第１導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１導電放射方向に沿って並ぶ、構成２記載のセンサ。
（構成４）
前記複数の第１可動凸部の第１可動弧方向に沿う長さは、前記複数の第１可動凸部の前記第３可動部からの距離に比例して増大し、前記第１可動弧方向は、前記第２平面に沿い前記第１可動放射方向と交差し、
前記複数の第１導電凸部の第１導電弧方向に沿う長さは、前記複数の第１導電凸部の前記第３可動部からの距離に比例して増大し、前記第１導電弧方向は、前記第２平面に沿い前記第１導電放射方向と交差する、構成３記載のセンサ。
（構成５）
前記第１可動対向部は、複数の前記第１可動凸部を含み、
前記複数の第１可動凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１可動放射方向に沿って並び、
前記複数の第１可動凸部の１つと前記第３可動部との間の距離は、前記複数の第１可動凸部の別の１つと前記第３可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第１可動凸部の前記１つの第１可動弧方向に沿う長さは、前記複数の第１可動凸部の前記別の１つの前記第１可動弧方向に沿う長さよりも長く、前記第１可動弧方向は、前記第２平面に沿い、前記第１可動放射方向と交差する、構成１記載のセンサ。
（構成６）
前記第１導電対向部は、複数の前記第１導電凸部を含み、
前記複数の第１導電凸部の１つは、前記第１放射方向において、前記複数の第１可動凸部の１つと、前記複数の第１可動凸部の別の１つと、の間にあり、
前記複数の第１導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１導電放射方向に沿って並び、
前記複数の第１導電凸部の１つと前記第３可動部との間の距離は、前記複数の第１導電凸部の別の１つと前記第３可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第１導電凸部の前記１つの第１導電弧方向に沿う長さは、前記複数の第１導電凸部の前記別の１つの前記第１導電弧方向に沿う長さよりも長く、前記第１導電弧方向は、前記第２平面に沿い、前記第１導電放射方向と交差する、構成５記載のセンサ。
（構成７）
前記第１検出素子は、前記基体に固定された第２導電部をさらに含み、
前記第２可動部は、前記第２平面において前記第２導電部と対向する第２可動対向部を含み、前記第２可動対向部は、前記第２導電部に向けて突出する第２可動凸部を含み、
前記第２導電部は、前記第２可動対向部と対向する第２導電対向部を含み、前記第２導電対向部は、前記第２可動対向部に向けて突出する第２導電凸部を含み、
前記第２導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第２放射方向において、前記第２可動凸部と重なる、構成１～６のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成８）
前記第２可動部の少なくとも一部は、前記第１導電部と前記第２導電部との間にある、構成７記載のセンサ。
（構成９）
前記第２可動対向部は、複数の前記第２可動凸部を含み、
前記複数の第２可動凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿い第２可動放射方向に沿って並び、
前記複数の第２可動凸部の１つと前記第３可動部との間の距離は、前記複数の第２可動凸部の別の１つと前記第３可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第２可動凸部の前記１つの第２可動弧方向に沿う長さは、前記複数の第２可動凸部の前記別の１つの前記第２可動弧方向に沿う長さよりも長く、前記第２可動弧方向は、前記第２平面に沿い、前記第２可動放射方向と交差する、構成７または８に記載のセンサ。
（構成１０）
前記第２導電対向部は、複数の前記第２導電凸部を含み、
前記複数の第２導電凸部の１つは、前記第２放射方向において、前記複数の第２可動凸部の１つと、前記複数の第２可動凸部の別の１つと、の間にあり、
前記複数の第２導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第２導電放射方向に沿って並び、
前記複数の第２導電凸部の１つと前記第３可動部との間の距離は、前記複数の第２導電凸部の別の１つと前記第３可動部との間の距離よりも長く、
前記複数の第２導電凸部の前記１つの第２導電弧方向に沿う長さは、前記複数の第２導電凸部の前記別の１つの前記第２導電弧方向に沿う長さよりも長く、前記第２導電弧方向は、前記第２平面に沿い、前記第２導電放射方向と交差する、構成９記載のセンサ。
（構成１１）
前記第１検出素子は、前記基体に固定された第３導電部をさらに含み、
前記第２可動部は、前記第２平面において前記第３導電部と対向する第３可動対向部を含み、前記第３可動対向部は、前記第３導電部に向けて突出する第３可動凸部を含み、
前記第３導電部は、前記第３可動対向部と対向する第３導電対向部を含み、前記第３導電対向部は、前記第３可動対向部に向けて突出する第３導電凸部を含み、
前記第３導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第３放射方向において、前記第３可動凸部と重なり、
前記第２可動部の少なくとも一部は、前記第３可動部を中心とする弧方向において、前記第１導電部と前記第３導電部との間にある、構成７～１０のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１２）
前記第１検出素子は、前記基体に固定された第４導電部をさらに含み、
前記第２可動部は、前記第２平面において前記第４導電部と対向する第４可動対向部を含み、前記第４可動対向部は、前記第４導電部に向けて突出する第４可動凸部を含み、
前記第４導電部は、前記第４可動対向部と対向する第４導電対向部を含み、前記第４導電対向部は、前記第４可動対向部に向けて突出する第４導電凸部を含み、
前記第４導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第４放射方向において、前記第４可動凸部と重なり、
前記第２可動部の少なくとも一部は、前記第３可動部を中心とする弧方向において、前記第２導電部と前記第４導電部との間にある、構成１１記載のセンサ。
（構成１３）
前記第３導電部の少なくとも一部は、前記第１導電部と前記第２導電部との間にあり、
前記第４導電部の少なくとも一部は、前記第３導電部と前記第２導電部との間にあり、
前記第３導電部は、前記第１導電部と電気的に接続され、
前記第４導電部は、前記第２導電部と電気的に接続された、構成１２記載のセンサ。
（構成１４）
前記第２平面において、前記第３導電部の少なくとも一部の周りに前記第２可動部がある、構成１１～１３のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１５）
基体と、
前記基体に固定された第１支持部材と、
導電性の第１可動部材であって、前記第１可動部材は、第１可動部、第２可動部、第３可動部、第４可動部及び第５可動部を含み、
前記基体から前記第１可動部材への第１方向と交差する第２方向において前記第１可動部と前記第２可動部との間に前記第３可動部があり、前記第２方向において前記第１可動部と前記第３可動部との間に前記第４可動部があり、前記第２方向において前記第３可動部と前記第２可動部との間に前記第５可動部があり、
前記第１可動部は、前記第１支持部材に支持され、前記第２可動部、前記第３可動部、前記第４可動部及び前記第５可動部は、前記基体から離れ、
前記第１可動部の第３方向に沿う第１幅は、前記第４可動部の前記第３方向に沿う第４幅よりも大きく、前記第５可動部の前記第３方向の第５幅よりも大きく、前記第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む第１平面と交差し、前記第３可動部の第３幅は、前記第４幅よりも小さく、前記第５幅よりも小さく、前記第２可動部の前記第３方向に沿う第２幅は、前記第４幅よりも大きく、前記第５幅よりも大きく、前記第３可動部の前記第２方向に沿う第３長さは、前記第４可動部の前記第２方向に沿う第４長さよりも短く、前記第５可動部の前記第２方向に沿う第５長さよりも短い、前記第１可動部材と、
前記基体に固定された第１導電部と、
を含む第１検出素子を備え、
前記第２可動部は、前記第２方向及び前記第３方向を含む第２平面において前記第１導電部と対向する第１可動対向部を含み、
前記第１導電部は、前記第１可動対向部と対向する第１導電対向部を含み、
前記第１可動対向部及び前記第１導電対向部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１放射方向に沿って延びる、センサ。
（構成１６）
前記第１可動部材は、第１梁及び第２梁を含み、
前記第１梁は、第１端部及び第１他端部を含み、前記第１端部は前記第１可動部と接続され、前記第１他端部は、前記第２可動部と接続され、
前記第２梁は、第２端部及び第２他端部を含み、前記第２端部は前記第１可動部と接続され、前記第２他端部は、前記第２可動部と接続され、
前記第３方向において、前記第３可動部は、前記第１梁と前記第２梁との間にあり、
受けた加速度に応じた前記第２可動部の変位に応じて、前記第１梁の第１共振周波数と、前記第２梁の第２共振周波数と、の少なくともいずれかが変化可能である、構成１～１５のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１７）
制御部をさらに備え、
前記第１可動部材は、
前記第１梁と対向する第１固定導電部と、
前記第２梁と対向する第２固定導電部と、
を含み、
前記制御部は、前記第１固定導電部及び前記第２固定導電部と電気的に接続され、
前記制御部は、前記第１固定導電部から得られる第１信号、及び、前記第２固定導電部から得られる第２信号に基づいて、前記第１梁の第１共振周波数、及び、前記第２梁の第２共振周波数を導出可能である、構成１６記載のセンサ。
（構成１８）
前記第１可動部材は、前記第１梁と対向する第５導電部と、前記第２梁と対向する第６導電部と、を含み、
前記制御部は、前記第５導電部及び前記第６導電部と電気的に接続され、
前記制御部は、前記第１共振周波数と前記第２共振周波数との差の変化量が小さくなるように、前記第１可動部と前記第１導電部との間の電位差を制御可能である、構成１７記載のセンサ。
（構成１９）
前記基体に固定された第２支持部材と、
前記第２支持部材に支持され前記基体から離れた第２可動部材と、
を含む第２検出素子をさらに備え、
前記第２可動部材の動きに応じた信号により角度を検出可能である、構成１～１８のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成２０）
構成１～１９のいずれか１つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。
実施形態によれば、検出精度を向上できるセンサ及び電子装置が提供できる。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる基体、支持部、可動部及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述したセンサ及び電子装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサ及び電子装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
１０…第１可動部材、 １０Ｅ…電極、 １０Ｒ…蓋部、 １０Ｓ…第２可動部材、 １０Ｕ…第１検出素子、 １０Ｖ…第２検出素子、 １０Ｚ…間隙、 １０ａ～１０ｅ…第１～第５可動部、 １０ｂａ、１０ｂｂ…第１、第２部分領域、 １１、１２…第１、第２梁、 １１Ａ、１２Ａ…第１、第２可動導電部、 １１Ｃ、１２Ｃ…第１、第２接続領域、 １１Ｍ、１２Ｍ…第１、第２可動梁、 １１ｃ、１２ｃ…第１、第２中間部、 １１ｅ、１２ｅ…第１、第２端部、 １１ｆ、１２ｆ…第１、第２他端部、 ２１～２４…第１～第４可動凸部、 ２１Ｆ～２４Ｆ…第１～第４可動対向部、 ４１～４４…第１～第４導電凸部、 ４１Ｆ～４４Ｆ…第１～第４導電対向部、 ５０Ａ、５０Ｂ…第１、第２支持部材、 ５０Ｓ…基体、 ５０Ｓｆ…第１面、 ５１～５４…第１～第４導電部、 ５１Ｅ～５４Ｅ…電極、 ６１、６２…第１、第２固定導電部、 ６１Ｅ、６２Ｅ…電極、 ６５、６６…第５、第６導電部、 ６５Ａ、６６Ａ…導電部、 ６５Ｅ、６５ＡＥ、６６Ｅ、６６ＡＥ…電極、 ７０…制御部、 ７０Ｍ…記憶部、 ７５…処理回路、 ７８ａ、７８ｂ…配線、 １１０～１１６、１２０、１２１、１２２、４３０…センサ、 １７０…回路制御部、 １８０…回路、 １８５…駆動装置、 ３１０…電子装置、 ４００…道路、 ４１０…スロープ面、 ４２０…送受信部、 ４４０…橋脚、 ４５０…主桁、 ４６０…橋梁、 ４７０…河川、 Ｄｃｒ１～Ｄｃｒ４…第１～第４導電放射方向、 Ｄｃｘ１～Ｄｃｘ４…第１～第４導電弧方向、 Ｄｍｒ１～Ｄｍｒ４…第１～第４可動放射方向、 Ｄｍｘ１～Ｄｍｘ４…第１～第４可動弧方向、 Ｄｒ１～Ｄｒ４…第１～第４放射方向、 Ｌ３～Ｌ５…第３～第５長さ、 Ｓ１…信号、 ＳＰ…空間、 ＳＴ１、ＳＴ２…第１、第２電圧印加動作、 Ｖ１、Ｖ２…第１、第２電圧、 ｓｉｇ１、ｓｉｇ２…第１、第２信号、 ｗ１～ｗ５…第１～第５幅、 ｗｒ１、ｗｒ２…長さ

Claims (10)

  1. 基体と、
    前記基体に固定された第１支持部材と、
    導電性の第１可動部材であって、前記第１可動部材は、第１可動部、第２可動部、第３可動部、第４可動部及び第５可動部を含み、
    前記基体から前記第１可動部材への第１方向と交差する第２方向において前記第１可動部と前記第２可動部との間に前記第３可動部があり、前記第２方向において前記第１可動部と前記第３可動部との間に前記第４可動部があり、前記第２方向において前記第３可動部と前記第２可動部との間に前記第５可動部があり、
    前記第１可動部は、前記第１支持部材に支持され、前記第２可動部、前記第３可動部、前記第４可動部及び前記第５可動部は、前記基体から離れ、
    前記第１可動部の第３方向に沿う第１幅は、前記第４可動部の前記第３方向に沿う第４幅よりも大きく、前記第５可動部の前記第３方向の第５幅よりも大きく、前記第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む第１平面と交差し、前記第３可動部の第３幅は、前記第４幅よりも小さく、前記第５幅よりも小さく、前記第２可動部の前記第３方向に沿う第２幅は、前記第４幅よりも大きく、前記第５幅よりも大きく、前記第３可動部の前記第２方向に沿う第３長さは、前記第４可動部の前記第２方向に沿う第４長さよりも短く、前記第５可動部の前記第２方向に沿う第５長さよりも短い、前記第１可動部材と、
    前記基体に固定された第１導電部と、
    を含む第１検出素子を備え、
    前記第２可動部は、前記第２方向及び前記第３方向を含む第２平面において前記第１導電部と対向する第１可動対向部を含み、前記第１可動対向部は、前記第１導電部に向けて突出する第１可動凸部を含み、
    前記第１導電部は、前記第１可動対向部と対向する第１導電対向部を含み、前記第１導電対向部は、前記第１可動対向部に向けて突出する第１導電凸部を含み、
    前記第１導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１放射方向において、前記第１可動凸部と重なる、センサ。
  2. 前記第１可動対向部は、複数の前記第１可動凸部を含み、
    前記第１導電対向部は、複数の前記第１導電凸部を含み、
    前記複数の第１導電凸部の１つは、前記第１放射方向において、前記複数の第１可動凸部の１つと、前記複数の第１可動凸部の別の１つと、の間にある、請求項１記載のセンサ。
  3. 前記第１可動対向部は、複数の前記第１可動凸部を含み、
    前記複数の第１可動凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１可動放射方向に沿って並び、
    前記複数の第１可動凸部の１つと前記第３可動部との間の距離は、前記複数の第１可動凸部の別の１つと前記第３可動部との間の距離よりも長く、
    前記複数の第１可動凸部の前記１つの第１可動弧方向に沿う長さは、前記複数の第１可動凸部の前記別の１つの前記第１可動弧方向に沿う長さよりも長く、前記第１可動弧方向は、前記第２平面に沿い、前記第１可動放射方向と交差する、請求項１記載のセンサ。
  4. 前記第１導電対向部は、複数の前記第１導電凸部を含み、
    前記複数の第１導電凸部の１つは、前記第１放射方向において、前記複数の第１可動凸部の１つと、前記複数の第１可動凸部の別の１つと、の間にあり、
    前記複数の第１導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１導電放射方向に沿って並び、
    前記複数の第１導電凸部の１つと前記第３可動部との間の距離は、前記複数の第１導電凸部の別の１つと前記第３可動部との間の距離よりも長く、
    前記複数の第１導電凸部の前記１つの第１導電弧方向に沿う長さは、前記複数の第１導電凸部の前記別の１つの前記第１導電弧方向に沿う長さよりも長く、前記第１導電弧方向は、前記第２平面に沿い、前記第１導電放射方向と交差する、請求項３記載のセンサ。
  5. 前記第１検出素子は、前記基体に固定された第２導電部をさらに含み、
    前記第２可動部は、前記第２平面において前記第２導電部と対向する第２可動対向部を含み、前記第２可動対向部は、前記第２導電部に向けて突出する第２可動凸部を含み、
    前記第２導電部は、前記第２可動対向部と対向する第２導電対向部を含み、前記第２導電対向部は、前記第２可動対向部に向けて突出する第２導電凸部を含み、
    前記第２導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第２放射方向において、前記第２可動凸部と重なる、請求項１～４のいずれか１つに記載のセンサ。
  6. 前記第１検出素子は、前記基体に固定された第３導電部をさらに含み、
    前記第２可動部は、前記第２平面において前記第３導電部と対向する第３可動対向部を含み、前記第３可動対向部は、前記第３導電部に向けて突出する第３可動凸部を含み、
    前記第３導電部は、前記第３可動対向部と対向する第３導電対向部を含み、前記第３導電対向部は、前記第３可動対向部に向けて突出する第３導電凸部を含み、
    前記第３導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第３放射方向において、前記第３可動凸部と重なり、
    前記第２可動部の少なくとも一部は、前記第３可動部を中心とする弧方向において、前記第１導電部と前記第３導電部との間にある、請求項５記載のセンサ。
  7. 前記第１検出素子は、前記基体に固定された第４導電部をさらに含み、
    前記第２可動部は、前記第２平面において前記第４導電部と対向する第４可動対向部を含み、前記第４可動対向部は、前記第４導電部に向けて突出する第４可動凸部を含み、
    前記第４導電部は、前記第４可動対向部と対向する第４導電対向部を含み、前記第４導電対向部は、前記第４可動対向部に向けて突出する第４導電凸部を含み、
    前記第４導電凸部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第４放射方向において、前記第４可動凸部と重なり、
    前記第２可動部の少なくとも一部は、前記第３可動部を中心とする弧方向において、前記第２導電部と前記第４導電部との間にある、請求項６記載のセンサ。
  8. 基体と、
    前記基体に固定された第１支持部材と、
    導電性の第１可動部材であって、前記第１可動部材は、第１可動部、第２可動部、第３可動部、第４可動部及び第５可動部を含み、
    前記基体から前記第１可動部材への第１方向と交差する第２方向において前記第１可動部と前記第２可動部との間に前記第３可動部があり、前記第２方向において前記第１可動部と前記第３可動部との間に前記第４可動部があり、前記第２方向において前記第３可動部と前記第２可動部との間に前記第５可動部があり、
    前記第１可動部は、前記第１支持部材に支持され、前記第２可動部、前記第３可動部、前記第４可動部及び前記第５可動部は、前記基体から離れ、
    前記第１可動部の第３方向に沿う第１幅は、前記第４可動部の前記第３方向に沿う第４幅よりも大きく、前記第５可動部の前記第３方向の第５幅よりも大きく、前記第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む第１平面と交差し、前記第３可動部の第３幅は、前記第４幅よりも小さく、前記第５幅よりも小さく、前記第２可動部の前記第３方向に沿う第２幅は、前記第４幅よりも大きく、前記第５幅よりも大きく、前記第３可動部の前記第２方向に沿う第３長さは、前記第４可動部の前記第２方向に沿う第４長さよりも短く、前記第５可動部の前記第２方向に沿う第５長さよりも短い、前記第１可動部材と、
    前記基体に固定された第１導電部と、
    を含む第１検出素子を備え、
    前記第２可動部は、前記第２方向及び前記第３方向を含む第２平面において前記第１導電部と対向する第１可動対向部を含み、
    前記第１導電部は、前記第１可動対向部と対向する第１導電対向部を含み、
    前記第１可動対向部及び前記第１導電対向部は、前記第３可動部を通り前記第２平面に沿う第１放射方向に沿って延びる、センサ。
  9. 前記第１可動部材は、第１梁及び第２梁を含み、
    前記第１梁は、第１端部及び第１他端部を含み、前記第１端部は前記第１可動部と接続され、前記第１他端部は、前記第２可動部と接続され、
    前記第２梁は、第２端部及び第２他端部を含み、前記第２端部は前記第１可動部と接続され、前記第２他端部は、前記第２可動部と接続され、
    前記第３方向において、前記第３可動部は、前記第１梁と前記第２梁との間にあり、
    受けた加速度に応じた前記第２可動部の変位に応じて、前記第１梁の第１共振周波数と、前記第２梁の第２共振周波数と、の少なくともいずれかが変化可能である、請求項１～８のいずれか１つに記載のセンサ。
  10. 請求項１～９のいずれか１つに記載のセンサと、
    前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
    を備えた電子装置。
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