JP7418710B2 - テーブル装置 - Google Patents

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Description

本発明は、ワークが載置される載置面を有するテーブルを備え、このテーブルを揺動させることができるように構成されたテーブル装置に関する。
上述したテーブル装置は、従来、主として工作機械に設けられており、例えば、テーブルをその載置面と平行な回転軸を中心として揺動させながら、当該テーブルに載置されたワークを加工することで、ワークに対して複雑な形状を加工することができるようになっている。
ところで、このような構成のテーブル装置では、一般的に、適宜駆動モータを用いて前記回転軸を回転させることにより、前記テーブルを揺動させるように構成されている。このため、当該テーブルを揺動させた際に、その自重によって生じるトルクであって、当該テーブルの揺動角に応じたトルク(アンバランストルク)が前記駆動モータに作用することになる。したがって、前記駆動モータには、このようなアンバランストルクに耐え得る性能を備えた出力の大きなモータを採用する必要があるが、出力の大きなモータを採用すると、テーブル装置のコストが高くなるばかりでなく、モータの大きさが大きくなるため、テーブル装置が必要以上に大型化するという問題を生じる。
そこで、従来、このような問題を解決すべく、上記アンバランストルクを打ち消すようなカウンタトルクを前記回転軸に作用させるようにした下記特許文献1及び特許文献2に開示さる回転軸用バランサ装置、並びに特許文献3及び特許文献4に開示される傾斜割出し装置が提案されている。
具体的には、前記特許文献1及び特許文献2に開示さるバランサ装置は、回転軸に作用するアンバランストルクの少なくとも一部を相殺するアシストトルクを発生するアシストトルク発生手段を有し、アシストトルク発生手段は、回転軸に固定されたカム部材と、このカム部材に当接して追従するカム追従部材と、このカム追従部材を前記カム部材の方へ付勢することで前記カム部材を介して前記回転軸にアシストトルクを作用させる付勢手段とを備えている。このバランサ装置によれば、付勢手段により、アンバランストルクの少なくとも一部を相殺するアシストトルクが、カム部材を介して回転軸に作用する。
また、前記特許文献3及び特許文献4に開示される傾斜割出し装置は、架台及び該架台上で互いに間隔を置いて立設される一対の支持台を有するフレームと、一対の前記支持台のそれぞれに支持されるかたちで設けられる一対の回転軸であって、対応する前記支持台に対し軸受を介して回転可能に支持される一対の回転軸と、ワークが載置されるベース部及びベース部を支持する一対のアーム部を有するテーブルであって、一対の前記アーム部において一対の前記回転軸によって支持されるテーブルと、一対の前記支持台のうちの少なくとも一方に設けられる駆動装置であって、前記回転軸を介して前記テーブルを回転駆動する駆動装置と、前記テーブルが傾斜状態とされたときに前記回転軸に加わるアンバランストルクを補償するトルク補償装置とを備えている。
そして、一対の前記回転軸のうちの少なくとも一方は、一対の軸部であって該軸部の軸線方向に見て両者の軸心が一致すると共に前記軸線方向に間隔を置いて設けられる一対の軸部と、前記軸線方向において一対の前記軸部の間に位置すると共に前記軸部の軸心に対し偏心した位置に設けられる偏心部と、一対の前記軸部と前記偏心部とを連結する支持部とを有する偏心軸として構成され、この偏心軸は、一対の前記軸部のそれぞれにおいて前記軸受を介して対応する前記支持台に支持され、前記トルク補償装置は、前記回転軸である前記偏心軸の前記偏心部に対し連結されている。尚、トルク補償装置は、流体圧シリンダから構成され、そのロッドが前記偏心軸の偏心部に連結されている。
この傾斜割出し装置によれば、前記回転軸に作用するアンバランストルクを補償するためのトルクが、流体圧シリンダから構成されるトルク補償装置によって、前記回転軸に作用し、これによって回転軸に作用するアンバランストルクが緩和される。
特開2016-168641号公報 特開2017-30100号公報 特開2017-56508公報 特開2017-56509号公報
ところが、上述した従来のバランサ装置及び傾斜割出し装置には、以下のような問題があった。即ち、前記バランサ装置は、横断面が円形をしたカム部材の外周面と、同じく横断面が円形をしたカム追従部材の外周面とが線接触する構成となっているので、この接触部に荷重が集中し易く、このため大きなアンバランストルクが作用する場合には、カム部材及びカム追従部材が損傷するという問題があった。このため、従来のバランサ装置は、大きなアンバランストルクが生じる大型のテーブル装置には、適用できないものであった。
また、近年、テーブル装置には、テーブル上に載置されたワークを自動的にクランプするためのクランプ機構や、各種のセンサが配設されてきており、このようなクランプ機構やセンサには配管や配線が接続されている。そして、かかる配管や配線は、テーブルを揺動させるための回転軸を中空の軸から構成し、この中空部内に挿通された状態で配設され、それぞれクランプ機構やセンサに接続されている。
ところが、前記傾斜割出し装置は、回転軸である偏心軸の偏心部に、トルク補償装置である流体圧シリンダのロッド先端部が連結され、このロッド先端部が、回転軸の中心軸を中心として旋回するように構成されている、言い換えれば、ピストンロッドの先端部が、回転軸の中心軸と交差するように円運動するため、仮に回転軸を中空にしたとしても、外部からこの中空部内に配管や配線を通すことができないものであった。このため、従来の傾斜割出し装置は、自動クランプ機構や各種センサをテーブル上に配設することができなかった。
本発明は、以上の実情に鑑みなされたものであって、従来に比べて大きなアンバランストルクに対応することができ、また、中空の回転軸に配管や配線を挿通させることが可能なテーブル装置の提供を、その目的とする。
上記課題を解決するための本発明は、
ワークが載置されるテーブルと、
回転軸を有し、該回転軸の軸心を中心として揺動自在に前記テーブルを支持する支持機構と、
前記支持機構の前記回転軸を回転させて、前記テーブルを揺動させる第1駆動モータと、
前記テーブルの揺動位置に応じたバランス荷重を前記回転軸に付与するバランス付与機構と、
前記第1駆動モータを制御する制御装置とを備え、
前記バランス付与機構は、
円板状を有し、中心位置から偏心した位置に前記回転軸が連結される偏心板と、
軸受を介して、前記偏心板の外周部を保持するハウジングと、
前記ハウジングに対して、前記回転軸の軸線と交差する方向のバランス荷重を付与する荷重付与部とを備えて構成されたテーブル装置に係る。
このテーブル装置によれば、前記制御装置による制御の下で、第1駆動モータにより前記回転軸を回転させることにより、当該回転軸を中心として、テーブルを揺動させることができる。そして、その際、回転軸には、偏心板を介して、荷重付与部からアンバランストルクに応じたバランス荷重が付与される。これにより、第1駆動モータに作用するアンバランストルクが緩和される。
尚、偏心板は、その外周部が軸受を介して前記ハウジングにより保持されているので、前記偏心板には、分散されたバランス荷重が作用する。したがって、従来に比べて大きなバランス荷重をこの偏心板に作用させることができ、このような大きなバランス荷重を作用させたとしても、当該偏心板が損傷する虞はない。
また、回転軸の回転により、これに追随して偏心板も前記回転軸の中心軸を中心として回転するが、ハウジングは偏心板の回転に伴って上下動するだけで、回転軸の中心軸と交差するような円運動を行うことがない。したがって、前記回転軸を中空軸から構成するとともに、偏心板に、中空部に対応した開口を形成することで、この開口を介して回転軸の中空部に配管や配線を挿通させることができ、このように配管や配線を配設することで、自動クランプ機構や各種センサをテーブル上に設けることができる。
尚、本発明において、前記支持機構の回転軸は、前記テーブルの載置面と平行に配置された態様を採ることができる。
また、本発明において、前記荷重付与部は油圧シリンダから構成され、そのシリンダ部が前記ハウジングに連結されるとともに、そのピストンロッドが支持部材により支持され、前記シリンダ部とハウジングとの連結部、又はピストンロッドと支持部材との連結部が相対的に回動可能に連結された態様を採ることができる。
また、本発明において、前記荷重付与部は油圧シリンダから構成され、そのピストンロッドが前記ハウジングに連結されるとともに、そのシリンダが支持部材により支持され、前記ピストンロッドとハウジングとの連結部、又はシリンダと支持部材との連結部が相対的に回動可能に連結された態様を採ることができる。
これら2態様のテーブル装置によれば、油圧シリンダに一定圧の油圧が供給され、これにより、前記アンバランストルクに応じたバランス荷重が前記回転軸に付与される。
また、本発明において、前記荷重付与部は、軸線中心に回転自在に支持されるとともに、その一端が前記ハウジングに連結されたボールねじと、該ボールねじに螺合したボールナットと、該ボールナットを支持する支持部材と、前記ボールねじを回転させる第2駆動モータとから構成され、
前記第2駆動モータは前記制御装置によって制御され、
前記ハウジングとボールねじとの連結部は、相対的に回動可能に連結された態様を採ることができる。
この態様のテーブル装置によれば、前記制御装置による制御の下で、第2駆動モータが駆動されて、この駆動モータによりボールねじが回転されると、ボールナットとの螺合関係からボールねじが軸方向に移動し、その推力に応じたバランス荷重がハウジング及び偏心板を介して前記回転軸に付与される。
そして、この場合、前記制御装置が、前記第1駆動モータに作用する負荷を監視し、該負荷が予め定められた許容範囲内の負荷となるように、前記第2駆動モータの出力を制御することで、第1駆動モータに作用するアンバランストルクを打ち消すようなより厳密なバランス荷重を前記第1駆動モータに作用させることができ、これにより、第1駆動モータに作用するアンバランストルクをより適切に緩和することができる。
本発明によれば、テーブルを揺動させる回転軸に、偏心板を介して、荷重付与部からアンバランストルクに応じたバランス荷重が付与され、これにより、第1駆動モータに作用するアンバランストルクが緩和される。
また、偏心板は、その外周部が軸受を介して前記ハウジングによって保持されているので、当該偏心板には、分散されたバランス荷重が作用する。このため、偏心板には、従来に比べて大きなバランス荷重を作用させることができ、このような大きなバランス荷重を作用させたとしても、当該偏心板が損傷する虞はない。
また、回転軸の回転により、これに追随して偏心板も前記回転軸の中心軸を中心として回転するが、ハウジングは偏心板の回転に伴って上下動するだけで、回転軸の中心軸と交差するような円運動を行うことがない。したがって、前記回転軸を中空軸から構成するとともに、偏心板に、中空部に対応した開口を形成することで、この開口を介して回転軸の中空部に、配管や配線を挿通させることができ、このように配管や配線を配設することで、自動クランプ機構や各種センサをテーブル上に設けることができる。
本発明の一実施の形態に係るテーブル装置を一部断面で示した正面図である。 本実施形態に係るバランス付与機構の概略構成を示した説明図である。 本実施形態に係るバランス付与機構の動作を説明するための説明図である。 本実施形態に係るバランス付与機構の動作を説明するための説明図である。 本実施形態に係るバランス付与機構の動作を説明するための説明図である。 本発明の他の実施形態に係るバランス付与機構の概略構成を示した説明図である。 本発明の更に他の実施形態に係るバランス付与機構の概略構成を示した説明図である。
以下、本発明の具体的な実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
本例のテーブル装置1は、例えば、立形又は横形マシニングセンタに代表される工作機械に設けられるもので、図1に示すように、ワークWaが載置されるテーブル2、このテーブル2を揺動自在に支持する支持機構10、前記支持機構10を駆動して前記テーブル2を揺動させる駆動モータ20、前記テーブル2の揺動位置に応じたバランス荷重を前記支持機構10に付与するバランス付与機構30、及び前記駆動モータ20を制御する制御装置50などから構成される。
前記支持機構10は、前記テーブル2が載置される底部12、並びに底部12の両側部からそれぞれ上方に延設された第1アーム13及び第2アーム14から構成された断面がアルファベットのU字形状をした支持台11と、前記第1アーム13及び第2アーム14の上端部外側面にそれぞれ連結された第1回転軸15及び第2回転軸16と、第1回転軸15を回転自在に保持する第1支持フレーム17と、前記第2回転軸16を回転自在に支持する第2支持フレーム18などから構成される。
前記第1回転軸15及び第2回転軸16は同軸に配設されるとともに、前記支持台11の底部12が最下端位置に在るときに、中心軸がテーブル2の上面から上方にシフトした位置となるように配設されている。また、第1回転軸15は、図1において、その右側の端部及び左側の端部がそれぞれ前記第1支持フレーム17から突出するように設けられており、右側の端部に前記第1アーム13の上端部が連結され、左側の端部にバランス付与機構30が接続されている。また、第1回転軸15は、軸線に沿った貫通穴15aが中心部に形成された中空軸となっており、前記第1アーム13には、この貫通穴15aと同軸に形成された貫通穴13aが設けられている。
また、前記第1回転軸15の外周部にはロータ21が設けられるとともに、前記第1支持フレーム17には、環状のステータ22が、前記ロータ21に外嵌されるように設けられている。このロータ21及びステータ22は前記駆動モータ20を構成するもので、この駆動モータ20によって、前記第1回転軸15がその軸線中心に回転される。そして、この第1回転軸15の回転により、当該第1回転軸15及び第2回転軸16の軸線を中心として、前記支持台11及びこの支持台11に支持されたテーブル2が揺動され、これら揺動体の重力によって生じるアンバランストルクが第1回転軸15、及び駆動モータ20に作用する。尚、このアンバランストルクは、前記支持台11の揺動角に応じて変動し、揺動角が±90°のとき最大となる。また、前記ステータ22に供給される電力は前記制御装置50によって制御される。
図2にも示すように、前記バランス付与機構30は、円板状を有し、その中心位置から偏心した位置に前記第1回転軸15が連結される偏心板31と、この偏心板31の外周面に当接するように配設された複数の円筒体(転動体)から構成される軸受33を介して、当該偏心板31の外周部を保持するハウジング32と、ハウジング32に対して、前記第1回転軸15の軸線と交差する方向のバランス荷重を付与する荷重付与部35とを備えている。尚、偏心板31には、第1回転軸15の貫通穴15aと同軸に形成された貫通穴31aが設けられている。
前記荷重付与部35は、油圧シリンダ36と、この油圧シリンダ36に圧油を供給する油圧ユニット41などから構成される。油圧シリンダ36は、そのシリンダ37が支持部材40によって支持されるとともに、ピストンロッド38の先端部が、ピン39を介して、前記第1回転軸15の軸線と平行な軸線(当該ピン39の軸線)を中心として、相対的に回動可能に前記ハウジング32の下端部に連結されている。
前記油圧ユニット41は、作動油を貯留するタンク43及びタンク内の作動油を加圧して、供給管44を介して前記シリンダ37の油圧室37aに供給するポンプ42などからなる。また、供給管44には逆止弁46が設けられており、逆止弁46とポンプ42との間の供給管44にアキュームレータ45が接続されている。また、逆止弁46とシリンダ37との間の供給管44からタンクに通じる戻し管47が分岐しており、この戻し管47にはリリーフ弁48が設けられている。
斯くして、前記油圧シリンダ36には、前記油圧ユニット41から一定圧の圧油が供給され、これにより、油圧シリンダ36のピストンロッド38を介して、前記ハウジング32に一定の推力が付与される。そして、ハウジング32は、前記軸受33を介して前記偏心板31に、その中心位置に向けて前記油圧シリンダ36の推力を伝達する。これにより、偏心板31から前記第1回転軸15に、第1回転軸15の中心と偏心板31の中心との位置ずれ量(偏位量)に前記推力を乗じたトルクが付与される。尚、このトルクは前記アンバランストルクに対するカウンタとしてのバランストルクであり、前記第1回転軸15を中心とした前記偏心板31の回転角に応じて変動する。
以上の構成を備えた本例のテーブル装置1によれば、前記制御装置50による制御の下、前記駆動モータ20により前記第1回転軸15を回転させることにより、当該第1回転軸15の軸線を中心として、前記支持台11及びこの支持台11に支持されたテーブル2を揺動させることができる。
そして、このテーブル装置1がマシニングセンタなどの工作機械に設けられる場合には、このようにテーブル2を揺動させながら、当該テーブル2上に載置されたワークWaを加工することで、ワークWaに対して複雑な形状の加工を付与することができる。
ところで、上述したように、前記支持台11及びテーブル2等を揺動させると、これら揺動体の重力によって生じるアンバランストルクが第1回転軸15及び駆動モータ20に作用するが、前記第1回転軸15には、前記バランス付与機構30によって、アンバランストルクに対するカウンタとしてのバランストルクが付与される。即ち、前記第1回転軸15が軸線中心に回転すると、偏心板31も第1回転軸15の軸線を中心として回転し、この偏心板1を介して、油圧シリンダ36の推力がバランス荷重として第1回転軸15に作用する。これにより、駆動モータ20へのアンバランストルクに起因した負荷が緩和される。尚、偏心板31が第1回転軸15の軸線を中心として回転すると、ハウジング32は偏心板31との係合関係から、偏心板31の偏位を吸収しながら上下動する。
図3に基づいて、上述したバランス荷重について、更に詳しく説明する。図3は、支持台11が左側に45°揺動した図である。尚、図3において、右回りの揺動角をプラスとしている。したがって、左回りの揺動角はマイナスとなる。
同図3に示すように、支持台11、テーブル2及びワークWaから構成される揺動体の重量をWとし、揺動体の重心位置と第1回転軸15の中心との間の距離をRとすると、この揺動体によって第1回転軸15に作用するアンバランストルクTuは、以下の通りとなる。
Tu=R・W・sinθ
一方、前記偏心板31の中心と第1回転軸15の中心との間の距離をrとし、油圧シリンダ36から偏心板31の中心に向けて作用する推力をFとするとともに、この推力Fの鉛直方向の分力F’が推力Fに近似されるとして、第1回転軸15に作用するバランストルクTcは、以下の通りとなる。
Tc=r・F’・sinθ=r・F・sinθ
斯くして、アンバランストルクTuを打ち消すためのカウンタとしてのバランストルクTcは、
Tc=Tu
であるべきであるから、
R・W・sinθ=r・F・sinθ
となる。
したがって、アンバランストルクTuに対するカウンタとしてのバランストルクTcを生じさせるための推力(バランス荷重)Fは、
F=R・W/r
となる。
因みに、図4は、支持台11が左側に90°揺動した図であり、図5は、支持台11が左側に135°揺動した図であるが、図3に示した支持台11が左側に45°揺動したときと、図5に示した支持台11が左側に135°揺動したときの、アンバランストルクTu及びバランストルクTcはそれぞれ同じ値であり、図4に示した支持台11が左側に90°揺動したとき、アンバランストルクTu及びバランストルクTcは最大の値となる。
以上のように、本例のテーブル装置1によれば、前記支持台11及びテーブル2等を揺動させた際に生じるアンバランストルクTuに対するカウンタとしてのバランストルクTcが、前記バランス付与機構30によって前記第1回転軸15に付与されるので、アンバランストルクTuに起因した駆動モータ20への負荷が緩和される。
尚、本例の偏心板31は、その外周部が軸受33を介して前記ハウジング32によって保持されているので、当該偏心板31には、油圧シリンダ36の推力Fが分散された状態で作用する。したがって、この偏心板31には、従来に比べて大きな推力F(バランス荷重)を作用させることができ、このような大きなバランス荷重を作用させたとしても、当該偏心板31が損傷する虞はない。
また、第1回転軸15の回転により、これに追随して偏心板31も当該第1回転軸15の軸線を中心として回転するが、ハウジング32は偏心板31の回転に伴って上下動するだけで、第1回転軸15の軸線と交差するような円運動を行うことはない。したがって、この偏心板31に設けられた貫通穴31a、第1回転軸15に設けられた貫通穴15a及び第1アーム13に設けられた貫通孔13aに、配管や配線を挿通させることにより、当該配管や配線をテーブル2上に導くことができ、このようにすることで、テーブル2上に、自動クランプ機構や各種センサを配設することができる。
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明が採り得る具体的な態様は、何ら上例のものに限定されるものではない。
例えば、上例のテーブル装置1では、テーブル2及び支持台11が、テーブル2の上面に対して平行に設けられた第1回転軸15及び第2回転軸16の軸線を中心に揺動するように構成されていたが、これに限定されるものではなく、テーブル2及び支持台11は、軸線がテーブル2の上面に対して交差する方向に設けられた回転軸を中心にして揺動するように構成されていても良い。
また、上例では、偏心板31を支持する軸受33に円筒状の転動体を用いたが、これに限られるものではなく、軸受33は複数の球状の転動体から構成されるものでも良く、或いは、滑り軸受から構成されていても良い。
また、上例では、ピストンロッド38の先端部を、ピン39を介して、相対的に回動可能に前記ハウジング32に連結した構成としたが、このような構成に限られるものではなく、ピストンロッド38の先端部をハウジング32の下端部に固設するとともに、シリンダ37の下端部を、ピン39を介して、相対的に回動可能に支持部材40に連結した構成としても良い。このような構成によっても、上例のテーブル装置1と同様の効果が奏される。
また、前記荷重付与部35は、例えば、図6に示すように、そのシリンダ37の底部が前記ハウジング32の下端部に連結され、そのピストンロッド38が適宜支持部材51により、ピン39を介して回動可能に支持されていても良い。このような構成によっても、上例のテーブル装置1と同様の効果が奏される。
更に、この場合において、シリンダ37の底部とハウジング32の下端部とを、ピン39によって、相対的に回動可能に連結するとともに、ピストンロッド38の先端部を前記支持部材51に固設した構成としても良い。
また、上例の荷重付与部35に代えて、図7に示すような荷重付与部55を設けた構成としても良い。同図7に示すように、この荷重付与部55は、軸線中心に回転自在に設けられ、その一端が前記ハウジング32の下端部にロータリジョイント57を介して連結されたボールねじ56と、ボールねじ56に螺合したボールナット59と、このボールナット59を支持する支持部材60と、ボールねじ56の他端に接続して、当該ボールねじ56を回転させる駆動モータ61とから構成される。また、前記ロータリジョイント57は、ピン58を介して、前記第1回転軸15の軸線と平行な軸線(ピン58の軸線)を中心として、この軸線回りに回動可能に前記ハウジング32の下端部に連結されている。また、前記駆動モータ61は前記制御装置50によって、その作動が制御される。
この荷重付与部55によれば、前記制御装置50による制御の下で、駆動モータ61が駆動されて、この駆動モータ61によりボールねじ56が回転されると、ボールナット59との螺合関係からボールねじ56が軸方向に移動し、その推力に応じたバランストルクが前記ハウジング32及び偏心板31を介して前記第1回転軸15に付与され、上述した、荷重付与部35と同様の効果が奏される。
そして、この場合に、前記制御装置50は、前記駆動モータ20に作用する負荷を監視し、該負荷が予め定められた許容範囲内の負荷となるように、前記駆動モータ61の出力を制御することで、第1回転軸15及び駆動モータ20に作用するアンバランストルクを打ち消すような、より厳密なバランス荷重を前記第1回転軸15に作用させることができ、これにより、アンバランストルクに起因して前記駆動モータ20に作用する負荷をより適切に緩和することができる。
繰り返しになるが、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではない。当業者にとって変形および変更が適宜可能である。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲内と均等の範囲内での実施形態からの変更が含まれる。
1 テーブル装置
2 テーブル
10 支持機構
11 支持台
15 第1回転軸
16 第2回転軸
17 第1支持フレーム
18 第2支持フレーム
20 駆動モータ
21 ロータ
22 ステータ
30 バランス付与機構
31 偏心板
32 ハウジング
33 軸受
35 荷重付与部
36 油圧シリンダ
36a ピストンロッド
37 シリンダ
38 油圧ユニット
39 ピン
50 制御装置

Claims (6)

  1. ワークが載置されるテーブルと、
    回転軸を有し、該回転軸の軸心を中心として揺動自在に前記テーブルを支持する支持機構と、
    前記支持機構の前記回転軸を回転させて、前記テーブルを揺動させる第1駆動モータと、
    前記テーブルの揺動位置に応じたバランス荷重を前記回転軸に付与するバランス付与機構と、
    前記第1駆動モータを制御する制御装置とを備え、
    前記バランス付与機構は、
    円板状を有し、中心位置から偏心した位置に前記回転軸が連結される偏心板と、
    軸受を介して、前記偏心板の外周部を保持するハウジングと、
    前記ハウジングに対して、前記回転軸の軸線と交差する方向のバランス荷重を付与する荷重付与部とを備えて構成されることを特徴とするテーブル装置。
  2. 前記支持機構の回転軸は、前記テーブルの載置面と平行に配置されていることを特徴とする請求項1記載のテーブル装置。
  3. 前記荷重付与部は油圧シリンダから構成され、そのシリンダ部が前記ハウジングに連結されるとともに、そのピストンロッドが支持部材により支持され、前記シリンダ部とハウジングとの連結部、又はピストンロッドと支持部材との連結部が相対的に回動可能に連結されていることを特徴とする請求項1又は2記載のテーブル装置。
  4. 前記荷重付与部は油圧シリンダから構成され、そのピストンロッドが前記ハウジングに連結されるとともに、そのシリンダが支持部材により支持され、前記ピストンロッドとハウジングとの連結部、又はシリンダと支持部材との連結部が相対的に回動可能に連結されていることを特徴とする請求項1又は2記載のテーブル装置。
  5. 前記荷重付与部は、軸線中心に回転自在に支持されるとともに、その一端が前記ハウジングに連結されたボールねじと、該ボールねじに螺合したボールナットと、該ボールナットを支持する支持部材と、前記ボールねじを回転させる第2駆動モータとから構成され、
    前記第2駆動モータは前記制御装置によって制御され、
    前記ハウジングとボールねじとの連結部は、相対的に回動可能に連結されていることを特徴とする請求項1又は2記載のテーブル装置。
  6. 前記制御装置は、前記第1駆動モータに作用する負荷を監視し、該負荷が予め定められた許容範囲内の負荷となるように、前記第2駆動モータの出力を制御するように構成されていることを特徴とする請求項5記載のテーブル装置。
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