WO2022034647A1 - テーブル装置 - Google Patents

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WO2022034647A1
WO2022034647A1 PCT/JP2020/030654 JP2020030654W WO2022034647A1 WO 2022034647 A1 WO2022034647 A1 WO 2022034647A1 JP 2020030654 W JP2020030654 W JP 2020030654W WO 2022034647 A1 WO2022034647 A1 WO 2022034647A1
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housing
drive motor
load
balance
rotating shaft
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PCT/JP2020/030654
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Inventor
孝浩 西木
恵介 伊海
Original Assignee
Dmg森精機株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/001—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine
    • B23Q11/0017—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine compensating the weight of vertically moving elements, e.g. by balancing liftable machine parts
    • B23Q11/0021—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine compensating the weight of vertically moving elements, e.g. by balancing liftable machine parts the elements being rotating or pivoting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/64—Movable or adjustable work or tool supports characterised by the purpose of the movement
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/72—Auxiliary arrangements; Interconnections between auxiliary tables and movable machine elements

Definitions

  • the present invention relates to a table device provided with a table having a mounting surface on which a work is mounted, and configured so that the table can be swung.
  • the above-mentioned table device is conventionally mainly provided in a machine tool, and for example, the work placed on the table is machined while swinging the table around a rotation axis parallel to the mounting surface thereof. Therefore, it is possible to process a complicated shape for a work.
  • the table is configured to swing by rotating the rotation shaft by appropriately using a drive motor. Therefore, when the table is swung, the torque (unbalanced torque) corresponding to the swing angle of the table, which is the torque generated by its own weight, acts on the drive motor. Therefore, it is necessary to adopt a motor having a large output having a performance capable of withstanding such an unbalanced torque as the drive motor, but if a motor having a large output is adopted, the cost of the table device will only increase. However, since the size of the motor becomes large, there arises a problem that the table device becomes larger than necessary.
  • the balancer device disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 has an assist torque generating means for generating an assist torque that cancels at least a part of the unbalance torque acting on the rotation shaft, and the assist torque.
  • the generating means includes a cam member fixed to the rotation axis, a cam following member that abuts and follows the cam member, and the cam following member is urged toward the cam member via the cam member. It is provided with an urging means for applying an assist torque to the rotation shaft.
  • an assist torque that cancels at least a part of the unbalanced torque acts on the rotation shaft via the cam member by the urging means.
  • the tilt indexing device disclosed in Patent Document 3 and Patent Document 4 includes a frame having a pedestal and a pair of pedestals erected at intervals on the pedestal, and a pair of the pedestals.
  • a pair of rotating shafts provided to be supported by each, a pair of rotating shafts rotatably supported by a bearing with respect to the corresponding support base, and a base portion and a base on which a work is placed.
  • a table having a pair of arm portions that support the portions, the table being supported by the pair of rotation shafts in the pair of the arm portions, and a drive device provided on at least one of the pair of the support bases. Further, it is provided with a driving device for rotationally driving the table via the rotating shaft, and a torque compensating device for compensating for the unbalanced torque applied to the rotating shaft when the table is tilted.
  • At least one of the pair of the rotating shafts is a pair of shaft portions, and the axes of the two shaft portions are aligned with each other when viewed in the axial direction of the shaft portions, and a pair of shaft portions are provided at intervals in the axial direction.
  • An eccentric portion located between the shaft portion and the pair of the shaft portions in the axial direction and provided at a position eccentric to the axis of the shaft portion, and the pair of the shaft portions and the eccentric portion are connected to each other. It is configured as an eccentric shaft having a support portion, the eccentric shaft is supported by the corresponding support base via the bearing in each of the pair of the shaft portions, and the torque compensator is the rotary shaft. It is connected to the eccentric portion of the eccentric shaft.
  • the torque compensator is composed of a fluid pressure cylinder, and its rod is connected to the eccentric portion of the eccentric shaft.
  • the torque for compensating the unbalanced torque acting on the rotating shaft acts on the rotating shaft by the torque compensating device composed of the fluid pressure cylinder, thereby causing the rotating shaft.
  • the acting unbalance torque is alleviated.
  • the above-mentioned conventional balancer device and tilt indexing device have the following problems. That is, the balancer device has a configuration in which the outer peripheral surface of the cam member having a circular cross section and the outer peripheral surface of the cam following member having a circular cross section are in line contact with each other. Therefore, when a large unbalanced torque acts, there is a problem that the cam member and the cam following member are damaged. Therefore, the conventional balancer device cannot be applied to a large table device in which a large unbalance torque is generated.
  • a clamp mechanism for automatically clamping a work placed on a table and various sensors have been arranged in a table device, and such a clamp mechanism or a sensor is provided with piping. And wiring are connected.
  • the pipes and wiring have a rotating shaft for swinging the table formed of a hollow shaft, and are arranged in a state of being inserted into the hollow portion, and are connected to a clamp mechanism and a sensor, respectively.
  • the rod tip of the fluid pressure cylinder which is a torque compensator
  • the eccentric portion of the eccentric shaft which is the rotation shaft
  • the rod tip is centered on the central axis of the rotation shaft. It is configured to rotate, in other words, the tip of the piston rod makes a circular motion so as to intersect the central axis of the rotation axis, so even if the rotation axis is made hollow, it will be inside the hollow part from the outside. It was not possible to pass pipes and wiring. Therefore, in the conventional tilt indexing device, the automatic clamping mechanism and various sensors cannot be arranged on the table.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and is a table device capable of dealing with a large unbalanced torque as compared with the conventional case, and also capable of inserting pipes and wiring through a hollow rotating shaft.
  • the purpose is to provide.
  • the present invention for solving the above problems
  • the balance-imparting mechanism is An eccentric plate that has a disk shape and is connected to the rotation axis at a position eccentric from the center position.
  • the present invention relates to a table device provided with a load applying portion for applying a balance load in a direction intersecting the axis of the rotating shaft with respect to the housing.
  • the table can be swung around the rotation axis by rotating the rotation axis by the first drive motor under the control of the control device. At that time, a balanced load corresponding to the unbalanced torque is applied to the rotating shaft from the load applying portion via the eccentric plate. As a result, the unbalanced torque acting on the first drive motor is alleviated.
  • the eccentric plate due to the rotation of the rotating shaft, the eccentric plate also rotates about the central axis of the rotating shaft, but the housing only moves up and down with the rotation of the eccentric plate, and becomes the central axis of the rotating shaft. There is no crossing circular motion. Therefore, by forming the rotating shaft from a hollow shaft and forming an opening corresponding to the hollow portion in the eccentric plate, it is possible to insert pipes and wiring into the hollow portion of the rotating shaft through the opening. By arranging the piping and wiring in this way, an automatic clamping mechanism and various sensors can be provided on the table.
  • the rotation axis of the support mechanism can be arranged in parallel with the mounting surface of the table.
  • the load applying portion is composed of a hydraulic cylinder, the cylinder portion is connected to the housing, and the piston rod thereof is supported by a support member, and the connecting portion between the cylinder portion and the housing, or It is possible to adopt an embodiment in which the connecting portion between the piston rod and the support member is connected so as to be relatively rotatably connected.
  • the load applying portion is composed of a hydraulic cylinder, the piston rod thereof is connected to the housing, and the cylinder is supported by a support member, and the connecting portion between the piston rod and the housing or the cylinder. It is possible to adopt an embodiment in which the connecting portion between the support member and the support member is relatively rotatably connected.
  • a constant pressure of hydraulic pressure is supplied to the hydraulic cylinder, whereby a balanced load corresponding to the unbalanced torque is applied to the rotating shaft.
  • the load applying portion is rotatably supported around the center of the axis, and one end thereof is connected to the housing, a ball screw screwed into the ball screw, and the ball nut. It is composed of a support member that supports the ball screw and a second drive motor that rotates the ball screw. The second drive motor is controlled by the control device and is controlled by the control device.
  • the connecting portion between the housing and the ball screw can be connected so as to be relatively rotatably connected.
  • the ball screw when the second drive motor is driven under the control of the control device and the ball screw is rotated by this drive motor, the ball screw is screwed from the ball nut. It moves in the axial direction, and a balance load corresponding to the thrust is applied to the rotating shaft via the housing and the eccentric plate.
  • the control device monitors the load acting on the first drive motor and controls the output of the second drive motor so that the load is within a predetermined allowable range.
  • a stricter balance load that cancels the unbalanced torque acting on the first drive motor can be applied to the first drive motor, whereby the unbalanced torque acting on the first drive motor can be further increased. It can be mitigated appropriately.
  • a balanced load corresponding to the unbalanced torque is applied from the load applying portion to the rotating shaft that swings the table via the eccentric plate, whereby the unbalanced torque acting on the first drive motor is applied. Is relaxed.
  • the eccentric plate also rotates about the central axis of the rotating shaft, but the housing only moves up and down with the rotation of the eccentric plate, and becomes the central axis of the rotating shaft. There is no crossing circular motion. Therefore, by forming the rotating shaft from a hollow shaft and forming an opening corresponding to the hollow portion in the eccentric plate, it is possible to insert a pipe or wiring into the hollow portion of the rotating shaft through the opening. By arranging the piping and wiring in this way, an automatic clamping mechanism and various sensors can be provided on the table.
  • the table device 1 of this example is provided in a machine tool typified by, for example, a vertical or horizontal machining center, and as shown in FIG. 1, the table 2 on which the work Wa is placed and the table 2 are swung.
  • a support mechanism 10 that freely supports, a drive motor 20 that drives the support mechanism 10 to swing the table 2, and a balance imparting mechanism that applies a balance load according to the swing position of the table 2 to the support mechanism 10. It is composed of 30 and a control device 50 for controlling the drive motor 20.
  • the support mechanism 10 has a U-shaped cross section composed of a bottom portion 12 on which the table 2 is placed, and a first arm 13 and a second arm 14 extending upward from both side portions of the bottom portion 12, respectively.
  • the shaped support 11, the first rotating shaft 15 and the second rotating shaft 16 connected to the outer surfaces of the upper ends of the first arm 13 and the second arm 14, respectively, and the first rotating shaft 15 can be rotated. It is composed of a first support frame 17 for holding, a second support frame 18 for rotatably supporting the second rotation shaft 16, and the like.
  • the first rotating shaft 15 and the second rotating shaft 16 are coaxially arranged, and when the bottom portion 12 of the support base 11 is at the lowermost position, the central axis is shifted upward from the upper surface of the table 2. It is arranged so as to be in a position. Further, in FIG. 1, the first rotation shaft 15 is provided so that the right end portion and the left end portion respectively protrude from the first support frame 17, and the first arm is provided at the right end portion. The upper end portion of 13 is connected, and the balance imparting mechanism 30 is connected to the left end portion. Further, the first rotating shaft 15 is a hollow shaft having a through hole 15a formed in the center along the axis, and the first arm 13 has a through hole formed coaxially with the through hole 15a. 13a is provided.
  • a rotor 21 is provided on the outer peripheral portion of the first rotating shaft 15, and an annular stator 22 is provided on the first support frame 17 so as to be fitted onto the rotor 21.
  • the rotor 21 and the stator 22 constitute the drive motor 20, and the drive motor 20 rotates the first rotating shaft 15 around the axis thereof. Then, due to the rotation of the first rotation shaft 15, the support base 11 and the table 2 supported by the support base 11 are swung around the axes of the first rotation shaft 15 and the second rotation shaft 16.
  • the unbalanced torque generated by the gravity of these rocking bodies acts on the first rotating shaft 15 and the drive motor 20.
  • the unbalanced torque fluctuates according to the swing angle of the support base 11, and becomes maximum when the swing angle is ⁇ 90 °. Further, the electric power supplied to the stator 22 is controlled by the control device 50.
  • the balance imparting mechanism 30 has a disk shape, and the eccentric plate 31 to which the first rotating shaft 15 is connected to a position eccentric from the center position thereof, and the eccentric plate 31.
  • the housing 32 holding the outer peripheral portion of the eccentric plate 31 and the housing 32 with respect to the housing 32 via a bearing 33 composed of a plurality of cylindrical bodies (rolling bodies) arranged so as to abut on the outer peripheral surface. It is provided with a load applying portion 35 that applies a balanced load in a direction intersecting the axis of the first rotating shaft 15.
  • the eccentric plate 31 is provided with a through hole 31a formed coaxially with the through hole 15a of the first rotating shaft 15.
  • the load applying portion 35 includes a hydraulic cylinder 36, a hydraulic unit 41 that supplies pressure oil to the hydraulic cylinder 36, and the like.
  • the cylinder 37 is supported by the support member 40, and the tip of the piston rod 38 has an axis parallel to the axis of the first rotating shaft 15 (the axis of the pin 39) via the pin 39. ), It is connected to the lower end of the housing 32 so as to be relatively rotatable.
  • the hydraulic unit 41 includes a tank 43 for storing hydraulic oil, a pump 42 for pressurizing the hydraulic oil in the tank and supplying the hydraulic oil to the hydraulic chamber 37a of the cylinder 37 via a supply pipe 44. Further, the check valve 46 is provided in the supply pipe 44, and the accumulator 45 is connected to the supply pipe 44 between the check valve 46 and the pump 42. Further, a return pipe 47 leading to the tank is branched from the supply pipe 44 between the check valve 46 and the cylinder 37, and the return pipe 47 is provided with a relief valve 48.
  • a constant pressure oil is supplied to the hydraulic cylinder 36 from the hydraulic unit 41, whereby a constant thrust is applied to the housing 32 via the piston rod 38 of the hydraulic cylinder 36. .. Then, the housing 32 transmits the thrust of the hydraulic cylinder 36 toward the center position of the eccentric plate 31 via the bearing 33.
  • torque is applied from the eccentric plate 31 to the first rotating shaft 15 by multiplying the amount of misalignment (deviation amount) between the center of the first rotating shaft 15 and the center of the eccentric plate 31 by the thrust.
  • This torque is a balance torque as a counter for the unbalanced torque, and fluctuates according to the rotation angle of the eccentric plate 31 about the first rotation shaft 15.
  • the axis of the first rotating shaft 15 is rotated by rotating the first rotating shaft 15 by the drive motor 20 under the control of the control device 50.
  • the support base 11 and the table 2 supported by the support base 11 can be swung around the center.
  • the table device 1 When the table device 1 is provided in a machine tool such as a machining center, the work Wa placed on the table 2 is machined while swinging the table 2 in this way to form the work Wa. On the other hand, it is possible to impart processing of a complicated shape.
  • the unbalanced torque generated by the gravity of these rocking bodies acts on the first rotation shaft 15 and the drive motor 20, but the first rotation.
  • a balance torque as a counter against an unbalanced torque is applied to the shaft 15 by the balance applying mechanism 30. That is, when the first rotating shaft 15 rotates about the axis, the eccentric plate 31 also rotates about the axis of the first rotating shaft 15, and the thrust of the hydraulic cylinder 36 becomes a balance load through the eccentric plate 1. It acts on one rotation shaft 15. As a result, the load caused by the unbalanced torque on the drive motor 20 is alleviated.
  • the eccentric plate 31 rotates about the axis of the first rotating shaft 15, the housing 32 moves up and down while absorbing the deviation of the eccentric plate 31 due to the engagement relationship with the eccentric plate 31.
  • FIG. 3 is a diagram in which the support base 11 swings to the left by 45 °.
  • the clockwise swing angle is a plus. Therefore, the counterclockwise swing angle is negative.
  • the weight of the rocking body composed of the support base 11, the table 2 and the work Wa is W
  • the distance between the position of the center of gravity of the rocking body and the center of the first rotating shaft 15 is R.
  • FIG. 4 is a diagram in which the support base 11 is swung 90 ° to the left side
  • FIG. 5 is a diagram in which the support base 11 is swung 135 ° to the left side.
  • the unbalanced torque Tu and the balance torque Tc are the same values when the support base 11 shown in FIG. 5 swings 135 ° to the left and when it swings 45 ° to the left, and the support shown in FIG. 4 has the same value.
  • the table 11 swings 90 ° to the left, the unbalanced torque Tu and the balanced torque Tc become the maximum values.
  • the balance torque Tc as a counter for the unbalance torque Tu generated when the support base 11 and the table 2 and the like are shaken is generated by the balance imparting mechanism 30. Since it is applied to the first rotating shaft 15, the load on the drive motor 20 caused by the unbalanced torque Tu is alleviated.
  • the eccentric plate 31 acts on the eccentric plate 31 in a state where the thrust F of the hydraulic cylinder 36 is dispersed. .. Therefore, a large thrust F (balance load) can be applied to the eccentric plate 31 as compared with the conventional case, and even if such a large balance load is applied, there is no possibility that the eccentric plate 31 will be damaged. ..
  • the eccentric plate 31 also rotates about the axis of the first rotation shaft 15 following this, but the housing 32 only moves up and down with the rotation of the eccentric plate 31. Therefore, the circular motion that intersects the axis of the first rotation axis 15 is not performed. Therefore, by inserting a pipe or wiring into the through hole 31a provided in the eccentric plate 31, the through hole 15a provided in the first rotating shaft 15, and the through hole 13a provided in the first arm 13, the said Piping and wiring can be guided on the table 2, and in this way, an automatic clamping mechanism and various sensors can be arranged on the table 2.
  • the table 2 and the support base 11 swing around the axes of the first rotation shaft 15 and the second rotation shaft 16 provided parallel to the upper surface of the table 2.
  • the present invention is not limited to this, and the table 2 and the support base 11 swing around a rotation axis provided in a direction in which the axes intersect with respect to the upper surface of the table 2. It may be configured in.
  • a cylindrical rolling element is used for the bearing 33 that supports the eccentric plate 31, but the bearing 33 is not limited to this, and the bearing 33 may be composed of a plurality of spherical rolling elements. Alternatively, it may be composed of a slide bearing.
  • the tip portion of the piston rod 38 is connected to the housing 32 so as to be relatively rotatable via the pin 39, but the configuration is not limited to such a configuration, and the piston is not limited to such a configuration.
  • the tip end of the rod 38 may be fixed to the lower end of the housing 32, and the lower end of the cylinder 37 may be relatively rotatably connected to the support member 40 via the pin 39. Even with such a configuration, the same effect as that of the table device 1 in the above example can be obtained.
  • the bottom portion of the cylinder 37 of the load applying portion 35 is connected to the lower end portion of the housing 32, and the piston rod 38 thereof is appropriately connected by a support member 51 via a pin 39. It may be rotatably supported. Even with such a configuration, the same effect as that of the table device 1 in the above example can be obtained.
  • the bottom portion of the cylinder 37 and the lower end portion of the housing 32 are relatively rotatably connected by a pin 39, and the tip portion of the piston rod 38 is fixed to the support member 51. It may be.
  • a load applying unit 55 as shown in FIG. 7 may be provided.
  • the load applying portion 55 is rotatably provided at the center of the axis line, and one end thereof is connected to the lower end portion of the housing 32 via a rotary joint 57, and a ball screw 56 and a ball screw. It is composed of a ball nut 59 screwed into 56, a support member 60 that supports the ball nut 59, and a drive motor 61 that is connected to the other end of the ball screw 56 to rotate the ball screw 56.
  • the rotary joint 57 is rotatably around the axis parallel to the axis of the first rotation axis 15 (the axis of the pin 58) via the pin 58, and the lower end portion of the housing 32. Is linked to. Further, the operation of the drive motor 61 is controlled by the control device 50.
  • the load applying unit 55 when the drive motor 61 is driven under the control of the control device 50 and the ball screw 56 is rotated by the drive motor 61, it is screwed with the ball nut 59.
  • the ball screw 56 moves in the axial direction, and a balance torque corresponding to the thrust is applied to the first rotating shaft 15 via the housing 32 and the eccentric plate 31, and the same effect as the load applying portion 35 described above is obtained. Played.
  • the control device 50 monitors the load acting on the drive motor 20 and controls the output of the drive motor 61 so that the load is within a predetermined allowable range.
  • a stricter balanced load that cancels the unbalanced torque acting on the first rotating shaft 15 and the drive motor 20 can be applied to the first rotating shaft 15, which is caused by the unbalanced torque. Therefore, the load acting on the drive motor 20 can be more appropriately relaxed.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

ワーク（Ｗａ）が載置されるテーブル（２）と、回転軸（１５，１６）を有し、その軸心を中心として揺動自在にテーブル（２）を支持する支持機構（１０）と、支持機構（１０）の回転軸（１５）を回転させて、テーブル（２）を揺動させる第１駆動モータ（２０）と、テーブル（２）の揺動位置に応じたバランス荷重を回転軸（１５）に付与するバランス付与機構（３０）と、第１駆動モータ（２０）を制御する制御装置（５０）とを備える。バランス付与機構（３０）は、円板状を有し、中心位置から偏心した位置に回転軸（１５）が連結される偏心板（３１）と、軸受（３３）を介して、偏心板（３１）の外周部を保持するハウジング（３２）と、ハウジング（３２）に対して、回転軸（１５）の軸線と交差する方向のバランス荷重を付与する荷重付与部（３５）とを備える。

Description

テーブル装置
　本発明は、ワークが載置される載置面を有するテーブルを備え、このテーブルを揺動させることができるように構成されたテーブル装置に関する。
　上述したテーブル装置は、従来、主として工作機械に設けられており、例えば、テーブルをその載置面と平行な回転軸を中心として揺動させながら、当該テーブルに載置されたワークを加工することで、ワークに対して複雑な形状を加工することができるようになっている。
　ところで、このような構成のテーブル装置では、一般的に、適宜駆動モータを用いて前記回転軸を回転させることにより、前記テーブルを揺動させるように構成されている。このため、当該テーブルを揺動させた際に、その自重によって生じるトルクであって、当該テーブルの揺動角に応じたトルク（アンバランストルク）が前記駆動モータに作用することになる。したがって、前記駆動モータには、このようなアンバランストルクに耐え得る性能を備えた出力の大きなモータを採用する必要があるが、出力の大きなモータを採用すると、テーブル装置のコストが高くなるばかりでなく、モータの大きさが大きくなるため、テーブル装置が必要以上に大型化するという問題を生じる。
　そこで、従来、このような問題を解決すべく、上記アンバランストルクを打ち消すようなカウンタトルクを前記回転軸に作用させるようにした下記特許文献１及び特許文献２に開示さる回転軸用バランサ装置、並びに特許文献３及び特許文献４に開示される傾斜割出し装置が提案されている。
　具体的には、前記特許文献１及び特許文献２に開示さるバランサ装置は、回転軸に作用するアンバランストルクの少なくとも一部を相殺するアシストトルクを発生するアシストトルク発生手段を有し、アシストトルク発生手段は、回転軸に固定されたカム部材と、このカム部材に当接して追従するカム追従部材と、このカム追従部材を前記カム部材の方へ付勢することで前記カム部材を介して前記回転軸にアシストトルクを作用させる付勢手段とを備えている。このバランサ装置によれば、付勢手段により、アンバランストルクの少なくとも一部を相殺するアシストトルクが、カム部材を介して回転軸に作用する。
　また、前記特許文献３及び特許文献４に開示される傾斜割出し装置は、架台及び該架台上で互いに間隔を置いて立設される一対の支持台を有するフレームと、一対の前記支持台のそれぞれに支持されるかたちで設けられる一対の回転軸であって、対応する前記支持台に対し軸受を介して回転可能に支持される一対の回転軸と、ワークが載置されるベース部及びベース部を支持する一対のアーム部を有するテーブルであって、一対の前記アーム部において一対の前記回転軸によって支持されるテーブルと、一対の前記支持台のうちの少なくとも一方に設けられる駆動装置であって、前記回転軸を介して前記テーブルを回転駆動する駆動装置と、前記テーブルが傾斜状態とされたときに前記回転軸に加わるアンバランストルクを補償するトルク補償装置とを備えている。
　そして、一対の前記回転軸のうちの少なくとも一方は、一対の軸部であって該軸部の軸線方向に見て両者の軸心が一致すると共に前記軸線方向に間隔を置いて設けられる一対の軸部と、前記軸線方向において一対の前記軸部の間に位置すると共に前記軸部の軸心に対し偏心した位置に設けられる偏心部と、一対の前記軸部と前記偏心部とを連結する支持部とを有する偏心軸として構成され、この偏心軸は、一対の前記軸部のそれぞれにおいて前記軸受を介して対応する前記支持台に支持され、前記トルク補償装置は、前記回転軸である前記偏心軸の前記偏心部に対し連結されている。尚、トルク補償装置は、流体圧シリンダから構成され、そのロッドが前記偏心軸の偏心部に連結されている。
　この傾斜割出し装置によれば、前記回転軸に作用するアンバランストルクを補償するためのトルクが、流体圧シリンダから構成されるトルク補償装置によって、前記回転軸に作用し、これによって回転軸に作用するアンバランストルクが緩和される。
特開２０１６－１６８６４１号公報 特開２０１７－３０１００号公報 特開２０１７－５６５０８公報 特開２０１７－５６５０９号公報
　ところが、上述した従来のバランサ装置及び傾斜割出し装置には、以下のような問題があった。即ち、前記バランサ装置は、横断面が円形をしたカム部材の外周面と、同じく横断面が円形をしたカム追従部材の外周面とが線接触する構成となっているので、この接触部に荷重が集中し易く、このため大きなアンバランストルクが作用する場合には、カム部材及びカム追従部材が損傷するという問題があった。このため、従来のバランサ装置は、大きなアンバランストルクが生じる大型のテーブル装置には、適用できないものであった。
　また、近年、テーブル装置には、テーブル上に載置されたワークを自動的にクランプするためのクランプ機構や、各種のセンサが配設されてきており、このようなクランプ機構やセンサには配管や配線が接続されている。そして、かかる配管や配線は、テーブルを揺動させるための回転軸を中空の軸から構成し、この中空部内に挿通された状態で配設され、それぞれクランプ機構やセンサに接続されている。
　ところが、前記傾斜割出し装置は、回転軸である偏心軸の偏心部に、トルク補償装置である流体圧シリンダのロッド先端部が連結され、このロッド先端部が、回転軸の中心軸を中心として旋回するように構成されている、言い換えれば、ピストンロッドの先端部が、回転軸の中心軸と交差するように円運動するため、仮に回転軸を中空にしたとしても、外部からこの中空部内に配管や配線を通すことができないものであった。このため、従来の傾斜割出し装置は、自動クランプ機構や各種センサをテーブル上に配設することができなかった。
　本発明は、以上の実情に鑑みなされたものであって、従来に比べて大きなアンバランストルクに対応することができ、また、中空の回転軸に配管や配線を挿通させることが可能なテーブル装置の提供を、その目的とする。
　上記課題を解決するための本発明は、
　ワークが載置されるテーブルと、
　回転軸を有し、該回転軸の軸心を中心として揺動自在に前記テーブルを支持する支持機構と、
　前記支持機構の前記回転軸を回転させて、前記テーブルを揺動させる第１駆動モータと、
　前記テーブルの揺動位置に応じたバランス荷重を前記回転軸に付与するバランス付与機構と、
　前記第１駆動モータを制御する制御装置とを備え、
　前記バランス付与機構は、
　円板状を有し、中心位置から偏心した位置に前記回転軸が連結される偏心板と、
　軸受を介して、前記偏心板の外周部を保持するハウジングと、
　前記ハウジングに対して、前記回転軸の軸線と交差する方向のバランス荷重を付与する荷重付与部とを備えて構成されたテーブル装置に係る。
　このテーブル装置によれば、前記制御装置による制御の下で、第１駆動モータにより前記回転軸を回転させることにより、当該回転軸を中心として、テーブルを揺動させることができる。そして、その際、回転軸には、偏心板を介して、荷重付与部からアンバランストルクに応じたバランス荷重が付与される。これにより、第１駆動モータに作用するアンバランストルクが緩和される。
　尚、偏心板は、その外周部が軸受を介して前記ハウジングにより保持されているので、前記偏心板には、分散されたバランス荷重が作用する。したがって、従来に比べて大きなバランス荷重をこの偏心板に作用させることができ、このような大きなバランス荷重を作用させたとしても、当該偏心板が損傷する虞はない。
　また、回転軸の回転により、これに追随して偏心板も前記回転軸の中心軸を中心として回転するが、ハウジングは偏心板の回転に伴って上下動するだけで、回転軸の中心軸と交差するような円運動を行うことがない。したがって、前記回転軸を中空軸から構成するとともに、偏心板に、中空部に対応した開口を形成することで、この開口を介して回転軸の中空部に配管や配線を挿通させることができ、このように配管や配線を配設することで、自動クランプ機構や各種センサをテーブル上に設けることができる。
　尚、本発明において、前記支持機構の回転軸は、前記テーブルの載置面と平行に配置された態様を採ることができる。
　また、本発明において、前記荷重付与部は油圧シリンダから構成され、そのシリンダ部が前記ハウジングに連結されるとともに、そのピストンロッドが支持部材により支持され、前記シリンダ部とハウジングとの連結部、又はピストンロッドと支持部材との連結部が相対的に回動可能に連結された態様を採ることができる。
　また、本発明において、前記荷重付与部は油圧シリンダから構成され、そのピストンロッドが前記ハウジングに連結されるとともに、そのシリンダが支持部材により支持され、前記ピストンロッドとハウジングとの連結部、又はシリンダと支持部材との連結部が相対的に回動可能に連結された態様を採ることができる。
　これら２態様のテーブル装置によれば、油圧シリンダに一定圧の油圧が供給され、これにより、前記アンバランストルクに応じたバランス荷重が前記回転軸に付与される。
　また、本発明において、前記荷重付与部は、軸線中心に回転自在に支持されるとともに、その一端が前記ハウジングに連結されたボールねじと、該ボールねじに螺合したボールナットと、該ボールナットを支持する支持部材と、前記ボールねじを回転させる第２駆動モータとから構成され、
　前記第２駆動モータは前記制御装置によって制御され、
　前記ハウジングとボールねじとの連結部は、相対的に回動可能に連結された態様を採ることができる。
　この態様のテーブル装置によれば、前記制御装置による制御の下で、第２駆動モータが駆動されて、この駆動モータによりボールねじが回転されると、ボールナットとの螺合関係からボールねじが軸方向に移動し、その推力に応じたバランス荷重がハウジング及び偏心板を介して前記回転軸に付与される。
　そして、この場合、前記制御装置が、前記第１駆動モータに作用する負荷を監視し、該負荷が予め定められた許容範囲内の負荷となるように、前記第２駆動モータの出力を制御することで、第１駆動モータに作用するアンバランストルクを打ち消すようなより厳密なバランス荷重を前記第１駆動モータに作用させることができ、これにより、第１駆動モータに作用するアンバランストルクをより適切に緩和することができる。
　本発明によれば、テーブルを揺動させる回転軸に、偏心板を介して、荷重付与部からアンバランストルクに応じたバランス荷重が付与され、これにより、第１駆動モータに作用するアンバランストルクが緩和される。
　また、偏心板は、その外周部が軸受を介して前記ハウジングによって保持されているので、当該偏心板には、分散されたバランス荷重が作用する。このため、偏心板には、従来に比べて大きなバランス荷重を作用させることができ、このような大きなバランス荷重を作用させたとしても、当該偏心板が損傷する虞はない。
　また、回転軸の回転により、これに追随して偏心板も前記回転軸の中心軸を中心として回転するが、ハウジングは偏心板の回転に伴って上下動するだけで、回転軸の中心軸と交差するような円運動を行うことがない。したがって、前記回転軸を中空軸から構成するとともに、偏心板に、中空部に対応した開口を形成することで、この開口を介して回転軸の中空部に、配管や配線を挿通させることができ、このように配管や配線を配設することで、自動クランプ機構や各種センサをテーブル上に設けることができる。
本発明の一実施の形態に係るテーブル装置を一部断面で示した正面図である。 本実施形態に係るバランス付与機構の概略構成を示した説明図である。 本実施形態に係るバランス付与機構の動作を説明するための説明図である。 本実施形態に係るバランス付与機構の動作を説明するための説明図である。 本実施形態に係るバランス付与機構の動作を説明するための説明図である。 本発明の他の実施形態に係るバランス付与機構の概略構成を示した説明図である。 本発明の更に他の実施形態に係るバランス付与機構の概略構成を示した説明図である。
　以下、本発明の具体的な実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
　本例のテーブル装置１は、例えば、立形又は横形マシニングセンタに代表される工作機械に設けられるもので、図１に示すように、ワークＷａが載置されるテーブル２、このテーブル２を揺動自在に支持する支持機構１０、前記支持機構１０を駆動して前記テーブル２を揺動させる駆動モータ２０、前記テーブル２の揺動位置に応じたバランス荷重を前記支持機構１０に付与するバランス付与機構３０、及び前記駆動モータ２０を制御する制御装置５０などから構成される。
　前記支持機構１０は、前記テーブル２が載置される底部１２、並びに底部１２の両側部からそれぞれ上方に延設された第１アーム１３及び第２アーム１４から構成された断面がアルファベットのＵ字形状をした支持台１１と、前記第１アーム１３及び第２アーム１４の上端部外側面にそれぞれ連結された第１回転軸１５及び第２回転軸１６と、第１回転軸１５を回転自在に保持する第１支持フレーム１７と、前記第２回転軸１６を回転自在に支持する第２支持フレーム１８などから構成される。
　前記第１回転軸１５及び第２回転軸１６は同軸に配設されるとともに、前記支持台１１の底部１２が最下端位置に在るときに、中心軸がテーブル２の上面から上方にシフトした位置となるように配設されている。また、第１回転軸１５は、図１において、その右側の端部及び左側の端部がそれぞれ前記第１支持フレーム１７から突出するように設けられており、右側の端部に前記第１アーム１３の上端部が連結され、左側の端部にバランス付与機構３０が接続されている。また、第１回転軸１５は、軸線に沿った貫通穴１５ａが中心部に形成された中空軸となっており、前記第１アーム１３には、この貫通穴１５ａと同軸に形成された貫通穴１３ａが設けられている。
　また、前記第１回転軸１５の外周部にはロータ２１が設けられるとともに、前記第１支持フレーム１７には、環状のステータ２２が、前記ロータ２１に外嵌されるように設けられている。このロータ２１及びステータ２２は前記駆動モータ２０を構成するもので、この駆動モータ２０によって、前記第１回転軸１５がその軸線中心に回転される。そして、この第１回転軸１５の回転により、当該第１回転軸１５及び第２回転軸１６の軸線を中心として、前記支持台１１及びこの支持台１１に支持されたテーブル２が揺動され、これら揺動体の重力によって生じるアンバランストルクが第１回転軸１５、及び駆動モータ２０に作用する。尚、このアンバランストルクは、前記支持台１１の揺動角に応じて変動し、揺動角が±９０°のとき最大となる。また、前記ステータ２２に供給される電力は前記制御装置５０によって制御される。
　図２にも示すように、前記バランス付与機構３０は、円板状を有し、その中心位置から偏心した位置に前記第１回転軸１５が連結される偏心板３１と、この偏心板３１の外周面に当接するように配設された複数の円筒体（転動体）から構成される軸受３３を介して、当該偏心板３１の外周部を保持するハウジング３２と、ハウジング３２に対して、前記第１回転軸１５の軸線と交差する方向のバランス荷重を付与する荷重付与部３５とを備えている。尚、偏心板３１には、第１回転軸１５の貫通穴１５ａと同軸に形成された貫通穴３１ａが設けられている。
　前記荷重付与部３５は、油圧シリンダ３６と、この油圧シリンダ３６に圧油を供給する油圧ユニット４１などから構成される。油圧シリンダ３６は、そのシリンダ３７が支持部材４０によって支持されるとともに、ピストンロッド３８の先端部が、ピン３９を介して、前記第１回転軸１５の軸線と平行な軸線（当該ピン３９の軸線）を中心として、相対的に回動可能に前記ハウジング３２の下端部に連結されている。
　前記油圧ユニット４１は、作動油を貯留するタンク４３及びタンク内の作動油を加圧して、供給管４４を介して前記シリンダ３７の油圧室３７ａに供給するポンプ４２などからなる。また、供給管４４には逆止弁４６が設けられており、逆止弁４６とポンプ４２との間の供給管４４にアキュームレータ４５が接続されている。また、逆止弁４６とシリンダ３７との間の供給管４４からタンクに通じる戻し管４７が分岐しており、この戻し管４７にはリリーフ弁４８が設けられている。
　斯くして、前記油圧シリンダ３６には、前記油圧ユニット４１から一定圧の圧油が供給され、これにより、油圧シリンダ３６のピストンロッド３８を介して、前記ハウジング３２に一定の推力が付与される。そして、ハウジング３２は、前記軸受３３を介して前記偏心板３１に、その中心位置に向けて前記油圧シリンダ３６の推力を伝達する。これにより、偏心板３１から前記第１回転軸１５に、第１回転軸１５の中心と偏心板３１の中心との位置ずれ量（偏位量）に前記推力を乗じたトルクが付与される。尚、このトルクは前記アンバランストルクに対するカウンタとしてのバランストルクであり、前記第１回転軸１５を中心とした前記偏心板３１の回転角に応じて変動する。
　以上の構成を備えた本例のテーブル装置１によれば、前記制御装置５０による制御の下、前記駆動モータ２０により前記第１回転軸１５を回転させることにより、当該第１回転軸１５の軸線を中心として、前記支持台１１及びこの支持台１１に支持されたテーブル２を揺動させることができる。
　そして、このテーブル装置１がマシニングセンタなどの工作機械に設けられる場合には、このようにテーブル２を揺動させながら、当該テーブル２上に載置されたワークＷａを加工することで、ワークＷａに対して複雑な形状の加工を付与することができる。
　ところで、上述したように、前記支持台１１及びテーブル２等を揺動させると、これら揺動体の重力によって生じるアンバランストルクが第１回転軸１５及び駆動モータ２０に作用するが、前記第１回転軸１５には、前記バランス付与機構３０によって、アンバランストルクに対するカウンタとしてのバランストルクが付与される。即ち、前記第１回転軸１５が軸線中心に回転すると、偏心板３１も第１回転軸１５の軸線を中心として回転し、この偏心板１を介して、油圧シリンダ３６の推力がバランス荷重として第１回転軸１５に作用する。これにより、駆動モータ２０へのアンバランストルクに起因した負荷が緩和される。尚、偏心板３１が第１回転軸１５の軸線を中心として回転すると、ハウジング３２は偏心板３１との係合関係から、偏心板３１の偏位を吸収しながら上下動する。
　図３に基づいて、上述したバランス荷重について、更に詳しく説明する。図３は、支持台１１が左側に４５°揺動した図である。尚、図３において、右回りの揺動角をプラスとしている。したがって、左回りの揺動角はマイナスとなる。
　同図３に示すように、支持台１１、テーブル２及びワークＷａから構成される揺動体の重量をＷとし、揺動体の重心位置と第１回転軸１５の中心との間の距離をＲとすると、この揺動体によって第１回転軸１５に作用するアンバランストルクＴｕは、以下の通りとなる。
Ｔｕ＝Ｒ・Ｗ・ｓｉｎθ
　一方、前記偏心板３１の中心と第１回転軸１５の中心との間の距離をｒとし、油圧シリンダ３６から偏心板３１の中心に向けて作用する推力をＦとするとともに、この推力Ｆの鉛直方向の分力Ｆ’が推力Ｆに近似されるとして、第１回転軸１５に作用するバランストルクＴｃは、以下の通りとなる。
Ｔｃ＝ｒ・Ｆ’・ｓｉｎθ＝ｒ・Ｆ・ｓｉｎθ
　斯くして、アンバランストルクＴｕを打ち消すためのカウンタとしてのバランストルクＴｃは、
Ｔｃ＝Ｔｕ
であるべきであるから、
Ｒ・Ｗ・ｓｉｎθ＝ｒ・Ｆ・ｓｉｎθ
となる。
したがって、アンバランストルクＴｕに対するカウンタとしてのバランストルクＴｃを生じさせるための推力（バランス荷重）Ｆは、
Ｆ＝Ｒ・Ｗ／ｒ
となる。
　因みに、図４は、支持台１１が左側に９０°揺動した図であり、図５は、支持台１１が左側に１３５°揺動した図であるが、図３に示した支持台１１が左側に４５°揺動したときと、図５に示した支持台１１が左側に１３５°揺動したときの、アンバランストルクＴｕ及びバランストルクＴｃはそれぞれ同じ値であり、図４に示した支持台１１が左側に９０°揺動したとき、アンバランストルクＴｕ及びバランストルクＴｃは最大の値となる。
　以上のように、本例のテーブル装置１によれば、前記支持台１１及びテーブル２等を揺動させた際に生じるアンバランストルクＴｕに対するカウンタとしてのバランストルクＴｃが、前記バランス付与機構３０によって前記第１回転軸１５に付与されるので、アンバランストルクＴｕに起因した駆動モータ２０への負荷が緩和される。
　尚、本例の偏心板３１は、その外周部が軸受３３を介して前記ハウジング３２によって保持されているので、当該偏心板３１には、油圧シリンダ３６の推力Ｆが分散された状態で作用する。したがって、この偏心板３１には、従来に比べて大きな推力Ｆ（バランス荷重）を作用させることができ、このような大きなバランス荷重を作用させたとしても、当該偏心板３１が損傷する虞はない。
　また、第１回転軸１５の回転により、これに追随して偏心板３１も当該第１回転軸１５の軸線を中心として回転するが、ハウジング３２は偏心板３１の回転に伴って上下動するだけで、第１回転軸１５の軸線と交差するような円運動を行うことはない。したがって、この偏心板３１に設けられた貫通穴３１ａ、第１回転軸１５に設けられた貫通穴１５ａ及び第１アーム１３に設けられた貫通孔１３ａに、配管や配線を挿通させることにより、当該配管や配線をテーブル２上に導くことができ、このようにすることで、テーブル２上に、自動クランプ機構や各種センサを配設することができる。
　以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明が採り得る具体的な態様は、何ら上例のものに限定されるものではない。
　例えば、上例のテーブル装置１では、テーブル２及び支持台１１が、テーブル２の上面に対して平行に設けられた第１回転軸１５及び第２回転軸１６の軸線を中心に揺動するように構成されていたが、これに限定されるものではなく、テーブル２及び支持台１１は、軸線がテーブル２の上面に対して交差する方向に設けられた回転軸を中心にして揺動するように構成されていても良い。
　また、上例では、偏心板３１を支持する軸受３３に円筒状の転動体を用いたが、これに限られるものではなく、軸受３３は複数の球状の転動体から構成されるものでも良く、或いは、滑り軸受から構成されていても良い。
　また、上例では、ピストンロッド３８の先端部を、ピン３９を介して、相対的に回動可能に前記ハウジング３２に連結した構成としたが、このような構成に限られるものではなく、ピストンロッド３８の先端部をハウジング３２の下端部に固設するとともに、シリンダ３７の下端部を、ピン３９を介して、相対的に回動可能に支持部材４０に連結した構成としても良い。このような構成によっても、上例のテーブル装置１と同様の効果が奏される。
　また、前記荷重付与部３５は、例えば、図６に示すように、そのシリンダ３７の底部が前記ハウジング３２の下端部に連結され、そのピストンロッド３８が適宜支持部材５１により、ピン３９を介して回動可能に支持されていても良い。このような構成によっても、上例のテーブル装置１と同様の効果が奏される。
　更に、この場合において、シリンダ３７の底部とハウジング３２の下端部とを、ピン３９によって、相対的に回動可能に連結するとともに、ピストンロッド３８の先端部を前記支持部材５１に固設した構成としても良い。
　また、上例の荷重付与部３５に代えて、図７に示すような荷重付与部５５を設けた構成としても良い。同図７に示すように、この荷重付与部５５は、軸線中心に回転自在に設けられ、その一端が前記ハウジング３２の下端部にロータリジョイント５７を介して連結されたボールねじ５６と、ボールねじ５６に螺合したボールナット５９と、このボールナット５９を支持する支持部材６０と、ボールねじ５６の他端に接続して、当該ボールねじ５６を回転させる駆動モータ６１とから構成される。また、前記ロータリジョイント５７は、ピン５８を介して、前記第１回転軸１５の軸線と平行な軸線（ピン５８の軸線）を中心として、この軸線回りに回動可能に前記ハウジング３２の下端部に連結されている。また、前記駆動モータ６１は前記制御装置５０によって、その作動が制御される。
　この荷重付与部５５によれば、前記制御装置５０による制御の下で、駆動モータ６１が駆動されて、この駆動モータ６１によりボールねじ５６が回転されると、ボールナット５９との螺合関係からボールねじ５６が軸方向に移動し、その推力に応じたバランストルクが前記ハウジング３２及び偏心板３１を介して前記第１回転軸１５に付与され、上述した、荷重付与部３５と同様の効果が奏される。
　そして、この場合に、前記制御装置５０は、前記駆動モータ２０に作用する負荷を監視し、該負荷が予め定められた許容範囲内の負荷となるように、前記駆動モータ６１の出力を制御することで、第１回転軸１５及び駆動モータ２０に作用するアンバランストルクを打ち消すような、より厳密なバランス荷重を前記第１回転軸１５に作用させることができ、これにより、アンバランストルクに起因して前記駆動モータ２０に作用する負荷をより適切に緩和することができる。
　繰り返しになるが、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではない。当業者にとって変形および変更が適宜可能である。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲内と均等の範囲内での実施形態からの変更が含まれる。
　１　　テーブル装置
　２　　テーブル
　１０　支持機構
　１１　支持台
　１５　第１回転軸
　１６　第２回転軸
　１７　第１支持フレーム
　１８　第２支持フレーム
　２０　駆動モータ
　２１　ロータ
　２２　ステータ
　３０　バランス付与機構
　３１　偏心板
　３２　ハウジング
　３３　軸受
　３５　荷重付与部
　３６　油圧シリンダ
　３６ａ　ピストンロッド
　３７　シリンダ
　３８　油圧ユニット
　３９　ピン
　５０　制御装置
 

Claims (6)

  1. 　ワークが載置されるテーブルと、
    　回転軸を有し、該回転軸の軸心を中心として揺動自在に前記テーブルを支持する支持機構と、
    　前記支持機構の前記回転軸を回転させて、前記テーブルを揺動させる第１駆動モータと、
    　前記テーブルの揺動位置に応じたバランス荷重を前記回転軸に付与するバランス付与機構と、
    　前記第１駆動モータを制御する制御装置とを備え、
    　前記バランス付与機構は、
    　円板状を有し、中心位置から偏心した位置に前記回転軸が連結される偏心板と、
    　軸受を介して、前記偏心板の外周部を保持するハウジングと、
    　前記ハウジングに対して、前記回転軸の軸線と交差する方向のバランス荷重を付与する荷重付与部とを備えて構成されることを特徴とするテーブル装置。
  2. 　前記支持機構の回転軸は、前記テーブルの載置面と平行に配置されていることを特徴とする請求項１記載のテーブル装置。
  3. 　前記荷重付与部は油圧シリンダから構成され、そのシリンダ部が前記ハウジングに連結されるとともに、そのピストンロッドが支持部材により支持され、前記シリンダ部とハウジングとの連結部、又はピストンロッドと支持部材との連結部が相対的に回動可能に連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載のテーブル装置。
  4. 　前記荷重付与部は油圧シリンダから構成され、そのピストンロッドが前記ハウジングに連結されるとともに、そのシリンダが支持部材により支持され、前記ピストンロッドとハウジングとの連結部、又はシリンダと支持部材との連結部が相対的に回動可能に連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載のテーブル装置。
  5. 　前記荷重付与部は、軸線中心に回転自在に支持されるとともに、その一端が前記ハウジングに連結されたボールねじと、該ボールねじに螺合したボールナットと、該ボールナットを支持する支持部材と、前記ボールねじを回転させる第２駆動モータとから構成され、
    　前記第２駆動モータは前記制御装置によって制御され、
    　前記ハウジングとボールねじとの連結部は、相対的に回動可能に連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載のテーブル装置。
  6. 　前記制御装置は、前記第１駆動モータに作用する負荷を監視し、該負荷が予め定められた許容範囲内の負荷となるように、前記第２駆動モータの出力を制御するように構成されていることを特徴とする請求項５記載のテーブル装置。
     
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