JP7418377B2 - 静電容量型圧力センサ - Google Patents
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Description
センサ面内で圧力が加えられた位置を検出する位置検出と、当該位置における圧力検出を行う静電容量型圧力センサであって、
発泡体からなる誘電体層と、
前記誘電体層の第1面に設けられて圧力を受ける透光性の第1電極と、
前記第1面の反対側である前記誘電体層の第2面に設けられ、所定の形状である複数の単位電極から構成された透光性の第2電極と、
前記第1電極と前記誘電体層の間又は前記第2電極と前記誘電体層の間に設けられた表示層と、
前記第1電極と前記第2電極の間に電位差を生じさせて前記誘電体層の静電容量に関する測定値を前記単位電極ごとに検出する測定部と、
を具備することを特徴としている。
前記第1電極と前記第2電極は、それぞれ透光性材料または透光性構造によって構成されていることを特徴としている。
前記単位電極の電極面積を、
前記第1電極が圧力を受けた際に前記測定部によって前記単位電極ごとに検出される前記測定値の変化量と前記単位電極の電極面積との関係を示す実測データと、
前記測定部によって前記単位電極ごとに検出される圧力の検出段階数を含む条件により決定した前記測定値の変化量の最小値と、
を用いて決定したことを特徴としている。
最初に図1を参照して、静電容量型圧力センサ1による圧力の検出原理を説明する。
図1(a)に示すように、静電容量型圧力センサ1は、誘電体層2と、誘電体層2の第1面である上面に設けられた第1電極3と、誘電体層2の第2面である下面に設けられた第2電極4と、第1電極3と第2電極4の間に電位差を生じさせて誘電体層2の静電容量の変化に比例した測定値Rを検出する測定部(図1(a)では不図示)を備えている。
CX =ε0 εr (S/d)=ε0 S×(εr /d)=k(εr /d)…(1)
ここで、ε0 :真空の誘電率
εr :誘電体層2を構成する誘電体の比誘電率
S:第1電極3及び第2電極4の面積
d:第1電極3と第2電極4の距離
k:定数
CS =CX +Cb …(2)
R=k×CS …(3)
図2(a)の分解斜視図に示すように、静電容量型圧力センサ1は、中間層である誘電体層2と、誘電体層2の第1面である上面側に設けられた表示層10と、表示層10の上面側に設けられた第1電極3と、誘電体層2の第2面である下面側に設けられた基板5と、基板5の上面、すなわち誘電体層の下面と対面する側に形成された第2電極4を有している。すなわち、誘電体層2は、第1電極3と第2電極4の間に挟まれているが、第1電極3と誘電体層2の間には表示層10が介在している。図2中に示すように、静電容量型圧力センサ1の第1電極3の側が、ユーザーが指等で触れて圧力を加えるセンサ表面側(以後、センサ面とも称する。)となり、また同基板5の側又は第2電極4の側がセンサ裏面側となる。
実施形態の静電容量型圧力センサ1では、誘電体層2を構成する材料として、以下に説明するように発泡体(スポンジ)を採用した。図5(a)は、静電容量型圧力センサ1において、誘電体層2に使用可能な材料の種類(3種類)と、その変形量及び比誘電率と、その評価を示す記号○(良)又は△(可)を示した比較表である。一般的な従来の静電容量型圧力センサでは、中間層である誘電体層としては空気(エアギャップ)や弾性変形するゴムが使われる場合が多い。しかしながら、この表に示すように、発泡体に較べ、空気の場合は比誘電率が低く、またゴムは変形しにくく、いずれも感度が低いため、高精度な圧力検出を目的の一つとする実施形態では採用できず、実施形態では誘電体層2の材料には発泡体を採用した。なお、上述のように発泡体が変形しやすく、ゴムが変形しにくいのは、図5(b)に示すように、発泡体(誘電体層2)は圧力を加えられると内部の気泡(空隙)が潰れて体積が減少するのに対し、図5(c)に示すように、ゴム(誘電体層2a)は圧力を加えられると横方向へ移動するため、体積が移動するだけで減少しないからである。実施形態では、気泡を持つ発泡体で誘電体層2を構成したので、比較例の物質に較べ、比誘電率及び圧力に対する変形量が大きくなり、これによって静電容量の変化が大きくなるため、高感度の静電容量式圧力センサが実現可能となった。
なお、以上説明した単位電極6の形状は正方形であるものとしたが、その形状には特に限定はなく、例えば菱形、長方形、円形等であってもよい。
2…誘電体層
3…第1電極
4…第2電極
5…基板
6…単位電極
7…配線
10…表示層
11…表示パターン
L…光源
Claims (3)
- センサ面内で圧力が加えられた位置を検出する位置検出と、当該位置における圧力検出を行う静電容量型圧力センサであって、
発泡体からなる誘電体層と、
前記誘電体層の第1面に設けられて圧力を受ける透光性の第1電極と、
前記第1面の反対側である前記誘電体層の第2面に設けられ、所定の形状である複数の単位電極から構成された透光性の第2電極と、
前記第1電極と前記誘電体層の間又は前記第2電極と前記誘電体層の間に設けられた表示層と、
前記第1電極と前記第2電極の間に電位差を生じさせて前記誘電体層の静電容量に関する測定値を前記単位電極ごとに検出する測定部と、
を具備することを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 前記第1電極と前記第2電極は、それぞれ透光性材料または透光性構造によって構成されていることを特徴とする請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 前記単位電極の電極面積を、
前記第1電極が圧力を受けた際に前記測定部によって前記単位電極ごとに検出される前記測定値の変化量と前記単位電極の電極面積との関係を示す実測データと、
前記測定部によって前記単位電極ごとに検出される圧力の検出段階数を含む条件により決定した前記測定値の変化量の最小値と、
を用いて決定したことを特徴とする請求項1又は2に記載の静電容量型圧力センサ。
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