JP7414026B2 - 積層型コイル部品 - Google Patents
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Description
・積層型コイル部品1の長さ方向Lにおける寸法L1は、好ましくは0.57mm以上である。また、積層型コイル部品1の長さ方向Lにおける寸法L1は、好ましくは0.63mm以下である。
・積層型コイル部品1の高さ方向Tにおける寸法T1は、好ましくは0.27mm以上である。また、積層型コイル部品1の高さ方向Tにおける寸法T1は、好ましくは0.33mm以下である。
・積層型コイル部品1の幅方向Wにおける寸法W1は、好ましくは0.27mm以上である。また、積層型コイル部品1の幅方向Wにおける寸法W1は、好ましくは0.33mm以下である。
・素体10の長さ方向Lにおける寸法L2は、好ましくは0.57mm以上である。また、素体10の長さ方向Lにおける寸法L2は、好ましくは0.63mm以下である。
・素体10の高さ方向Tにおける寸法T2は、好ましくは0.27mm以上である。また、素体10の高さ方向Tにおける寸法T2は、好ましくは0.33mm以下である。
・素体10の幅方向Wにおける寸法W2は、好ましくは0.27mm以上である。また、素体10の幅方向Wにおける寸法W2は、好ましくは0.33mm以下である。
・第1外部電極21の高さ方向Tにおける寸法E1は、好ましくは0.10mm以上、0.20mm以下である。なお、第1外部電極21の高さ方向Tにおける寸法E1が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第1外部電極21の長さ方向Lにおける寸法E2は、好ましくは0.12mm以上、0.22mm以下である。なお、第1外部電極21の長さ方向Lにおける寸法E2が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第2外部電極22の高さ方向Tにおける寸法E3は、好ましくは0.10mm以上、0.20mm以下である。なお、第2外部電極22の高さ方向Tにおける寸法E3が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第2外部電極22の長さ方向Lにおける寸法E4は、好ましくは0.12mm以上、0.22mm以下である。なお、第2外部電極22の長さ方向Lにおける寸法E4が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・積層型コイル部品1の長さ方向Lにおける寸法L1は、好ましくは0.38mm以上である。また、積層型コイル部品1の長さ方向Lにおける寸法L1は、好ましくは0.42mm以下である。
・積層型コイル部品1の高さ方向Tにおける寸法T1は、好ましくは0.18mm以上である。また、積層型コイル部品1の高さ方向Tにおける寸法T1は、好ましくは0.22mm以下である。
・積層型コイル部品1の幅方向Wにおける寸法W1は、好ましくは0.18mm以上である。また、積層型コイル部品1の幅方向Wにおける寸法W1は、好ましくは0.22mm以下である。
・素体10の長さ方向Lにおける寸法L2は、好ましくは0.38mm以上である。また、素体10の長さ方向Lにおける寸法L2は、好ましくは0.42mm以下である。
・素体10の高さ方向Tにおける寸法T2は、好ましくは0.18mm以上である。また、素体10の高さ方向Tにおける寸法T2は、好ましくは0.22mm以下である。
・素体10の幅方向Wにおける寸法W2は、好ましくは0.18mm以上である。また、素体10の幅方向Wにおける寸法W2は、好ましくは0.22mm以下である。
・第1外部電極21の高さ方向Tにおける寸法E1は、好ましくは0.06mm以上、0.13mm以下である。なお、第1外部電極21の高さ方向Tにおける寸法E1が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第1外部電極21の長さ方向Lにおける寸法E2は、好ましくは0.08mm以上、0.15mm以下である。なお、第1外部電極21の長さ方向Lにおける寸法E2が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第2外部電極22の高さ方向Tにおける寸法E3は、好ましくは0.06mm以上、0.13mm以下である。なお、第2外部電極22の高さ方向Tにおける寸法E3が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第2外部電極22の長さ方向Lにおける寸法E4は、好ましくは0.08mm以上、0.15mm以下である。なお、第2外部電極22の長さ方向Lにおける寸法E4が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・積層型コイル部品1の長さ方向Lにおける寸法L1は、好ましくは0.95mm以上である。また、積層型コイル部品1の長さ方向Lにおける寸法L1は、好ましくは1.05mm以下である。
・積層型コイル部品1の高さ方向Tにおける寸法T1は、好ましくは0.45mm以上である。また、積層型コイル部品1の高さ方向Tにおける寸法T1は、好ましくは0.55mm以下である。
・積層型コイル部品1の幅方向Wにおける寸法W1は、好ましくは0.45mm以上である。また、積層型コイル部品1の幅方向Wにおける寸法W1は、好ましくは0.55mm以下である。
・素体10の長さ方向Lにおける寸法L2は、好ましくは0.95mm以上である。また、素体10の長さ方向Lにおける寸法L2は、好ましくは1.05mm以下である。
・素体10の高さ方向Tにおける寸法T2は、好ましくは0.45mm以上である。また、素体10の高さ方向Tにおける寸法T2は、好ましくは0.55mm以下である。
・素体10の幅方向Wにおける寸法W2は、好ましくは0.45mm以上である。また、素体10の幅方向Wにおける寸法W2は、好ましくは0.55mm以下である。
・第1外部電極21の高さ方向Tにおける寸法E1は、好ましくは0.15mm以上、0.33mm以下である。なお、第1外部電極21の高さ方向Tにおける寸法E1が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第1外部電極21の長さ方向Lにおける寸法E2は、好ましくは0.20mm以上、0.38mm以下である。なお、第1外部電極21の長さ方向Lにおける寸法E2が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第2外部電極22の高さ方向Tにおける寸法E3は、好ましくは0.15mm以上、0.33mm以下である。なお、第2外部電極22の高さ方向Tにおける寸法E3が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第2外部電極22の長さ方向Lにおける寸法E4は、好ましくは0.20mm以上、0.38mm以下である。なお、第2外部電極22の長さ方向Lにおける寸法E4が幅方向Wに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・長さ方向Lから見たとき、コイル導体31の内径は、好ましくは50μm以上、100μm以下である。
・第1連結導体41及び第2連結導体42の長さ方向Lにおける寸法は、各々、好ましくは15μm以上、45μm以下、より好ましくは15μm以上、30μm以下である。
・第1連結導体41及び第2連結導体42の幅方向Wにおける寸法は、各々、好ましくは30μm以上、60μm以下である。
・長さ方向Lから見たとき、コイル導体31の内径は、好ましくは30μm以上、70μm以下である。
・第1連結導体41及び第2連結導体42の長さ方向Lにおける寸法は、各々、好ましくは10μm以上、30μm以下、より好ましくは10μm以上、25μm以下である。
・第1連結導体41及び第2連結導体42の幅方向Wにおける寸法は、各々、好ましくは20μm以上、40μm以下である。
・長さ方向Lから見たとき、コイル導体31の内径は、好ましくは80μm以上、170μm以下である。
・第1連結導体41及び第2連結導体42の長さ方向Lにおける寸法は、各々、好ましくは25μm以上、75μm以下、より好ましくは25μm以上、50μm以下である。
・第1連結導体41及び第2連結導体42の幅方向Wにおける寸法は、各々、好ましくは40μm以上、100μm以下である。
まず、Fe2O3、NiO、ZnO、及び、CuOを所定の割合になるように秤量する。
まず、Si、B、アルカリ金属、Alを所定の割合で含むホウケイ酸ガラス粉末を準備する。
まず、磁性材料及び非磁性材料を所定の割合になるように秤量する。次に、これらの秤量物と、ポリビニルブチラール系樹脂等の有機バインダと、エタノール、トルエン等の有機溶剤と、可塑剤と、等を混合した後、粉砕することにより、スラリーを作製する。そして、得られたスラリーをドクターブレード法等で、所定の厚みのシート状に成形した後、所定の形状に打ち抜くことにより、グリーンシートを作製する。
まず、グリーンシートの所定の箇所にレーザー照射を行うことにより、ビアホールを形成する。
コイルシート及びビアシートを、図8及び図9に相当する順序で積層方向に積層した後、熱圧着することにより、積層体ブロックを作製する。これにより、積層体ブロックでは、後に形成される素体の第1素体部分及び第2素体部分において、第1領域としたい領域に第1種グリーンシートが配置され、第2領域としたい領域に第2種グリーンシートが配置されることになる。
まず、積層体ブロックをダイサー等で所定の大きさに切断することにより、個片化されたチップを作製する。
まず、Ag及びガラスフリットを含む導電性ペーストを所定の厚みに引き伸ばした層に、素体を斜めに浸漬する。次に、得られた塗膜を焼き付けることにより、素体の第1端面の一部から、第1主面、第1側面、及び、第2側面の各面の一部にわたって延在する下地電極を形成する。同様にして、素体の第2端面の一部から、第1主面、第1側面、及び、第2側面の各面の一部にわたって延在する下地電極を形成する。塗膜の焼き付け温度については、例えば、800℃以上、820℃以下とする。
まず、Fe2O3を48.0mol%、NiOを14.0mol%、ZnOを30.0mol%、CuOを8.0mol%の割合になるように秤量した。次に、これらの秤量物を、純水と、PSZ(部分安定化ジルコニア)メディアとともにボールミルに入れて6時間混合した後、粉砕することにより、スラリーを作製した。そして、得られたスラリーを乾燥させた後、800℃で2時間仮焼成した。このようにして、粉末状の磁性材料、より具体的には、粉末状のフェライト材料を作製した。
まず、Si、B、アルカリ金属、Alを所定の割合で含むホウケイ酸ガラス粉末を準備した。次に、フィラーとして、フォルステライト粉末及び石英粉末を準備した。そして、ホウケイ酸ガラス粉末を72重量%、フォルステライト粉末を4重量%、石英粉末を24重量%の割合になるように湿式で混合した後、粉砕することにより、非磁性材料を作製した。
素体試料Aと同じ組成の材料を用いて、上述したグリーンブロックを構成するグリーンシートAを作製した。つまり、後に作製される素体において、グリーンシートAから構成される領域は、素体試料Aと同じ組成を有することになる。
まず、グリーンシートの所定の箇所にレーザー照射を行うことにより、ビアホールを形成した。
コイルシート及びビアシートを、図8及び図9に相当する順序で積層方向に積層した後、熱圧着することにより、積層体ブロックを作製した。
まず、積層体ブロックをダイサーで所定の大きさに切断することにより、個片化されたチップを作製した。
まず、Ag及びガラスフリットを含む導電性ペーストを所定の厚みに引き伸ばした層に、素体を斜めに浸漬した。次に、得られた塗膜を、810℃で焼き付けることにより、素体の第1端面の一部から、第1主面、第1側面、及び、第2側面の各面の一部にわたって延在する下地電極を形成した。同様にして、素体の第2端面の一部から、第1主面、第1側面、及び、第2側面の各面の一部にわたって延在する下地電極を形成した。各下地電極の厚みは、5μmであった。
積層型コイル部品の試料1~5について、以下の評価を行った。
まず、積層型コイル部品の試料を第1側面が上側に露出するように垂直に立てた状態で、周囲を樹脂で封止した。次に、積層型コイル部品の試料に対して、研磨機を用いて幅方向の略中央部まで研磨を施すことにより、長さ方向及び高さ方向に沿う断面を露出させた。その後、積層型コイル部品の試料の露出断面に対して、エスアイアイ・ナノテクノロジー社製の集束イオンビーム加工装置「SMI3050R」を用いて、集束イオンビーム(FIB)加工を施すことにより、観察用断面を得た。
積層型コイル部品の試料1、試料3、及び、試料4について、ネットワークアナライザを用いて、入力信号に対する透過信号の電力の比から求められる透過係数S21を、30GHzから70GHまで周波数を変化させながら測定した。
10 素体
11a 第1端面
11b 第2端面
12a 第1主面
12b 第2主面
13a 第1側面
13b 第2側面
15、15a、15b、15c、15d、15e 絶縁層
21 第1外部電極
21a、22a 下地電極
21aa、22aa 下地電極における素体の第1主面上に存在する部分の長さ方向の先端
21b、22b めっき電極
21ba、22ba めっき電極における素体の第1主面上に存在する部分の長さ方向の先端
22 第2外部電極
30 コイル
31、31a、31b、31c、31d コイル導体
34a、34b、34c、34d、34e ビア導体
41 第1連結導体
42 第2連結導体
50a 第1輪郭線
50b 第2輪郭線
50c 第3輪郭線
50d 第4輪郭線
50e 第5輪郭線
50f 第6輪郭線
50g 第7輪郭線
50h 第8輪郭線
61 第1素体部分
61a、62a 第1領域
61aa、62ab 第1領域における第2端面側の端
61ab、62aa 第1領域における第1端面側の端
61b、62b 第2領域
62 第2素体部分
a、b めっき電極における素体の第1主面上に存在する部分の長さ方向の先端と、下地電極における素体の第1主面上に存在する部分の長さ方向の先端との間の長さ方向における距離
C コイル軸
E1 第1外部電極の高さ方向における寸法
E2 第1外部電極の長さ方向における寸法
E3 第2外部電極の高さ方向における寸法
E4 第2外部電極の長さ方向における寸法
G 界面
H1 第1基準位置
H2 第2基準位置
L 長さ方向
L1 積層型コイル部品の長さ方向における寸法
L2 素体の長さ方向における寸法
L3 コイルの長さ方向における寸法
P1、P2 第1基準位置からの長さ方向における寸法又は距離
Q1、Q2 第2基準位置からの長さ方向における寸法又は距離
T 高さ方向
T1 積層型コイル部品の高さ方向における寸法
T2 素体の高さ方向における寸法
W 幅方向
W1 積層型コイル部品の幅方向における寸法
W2 素体の幅方向における寸法
Claims (9)
- 複数の絶縁層が積層方向に積層されてなり、かつ、長さ方向に対向する第1端面及び第2端面と、前記長さ方向に直交する高さ方向に対向する第1主面及び第2主面と、前記長さ方向及び前記高さ方向に直交する幅方向に対向する第1側面及び第2側面と、を有する、素体と、
前記素体の内部に設けられ、かつ、複数のコイル導体が電気的に接続されてなるコイルと、
前記素体の前記第1端面の少なくとも一部から前記第1主面の一部にわたって延在し、かつ、前記コイルに電気的に接続された第1外部電極と、を備え、
前記絶縁層の前記積層方向と前記コイルのコイル軸の方向とは、実装面である前記素体の前記第1主面に平行であり、
前記素体の少なくとも一部には、Fe、Ni、Zn、及び、Cuを含む磁性相と、Siを含む非磁性相と、が存在し、
前記第1外部電極は、前記素体側から順に、下地電極と、前記下地電極上に設けられためっき電極と、を有し、
前記めっき電極における前記素体の前記第1主面上に存在する部分の前記長さ方向の先端は、前記下地電極における前記素体の前記第1主面上に存在する部分の前記長さ方向の先端よりも、前記素体の前記第2端面側に位置し、
前記めっき電極の前記先端と前記下地電極の前記先端との間の前記長さ方向における距離は、30μm以下であり、
前記素体の前記長さ方向の中心位置で前記高さ方向及び前記幅方向に沿う界面を定義したとき、前記素体は、前記界面を境に前記長さ方向に並んだ、前記第1端面を含む第1素体部分と、前記第2端面を含む第2素体部分と、を有し、
前記下地電極の前記先端と前記高さ方向に重なる第1基準位置を定義したとき、前記第1素体部分には、前記第1基準位置から前記第2端面に向かって前記長さ方向における寸法が20μmである範囲を少なくとも含む第1領域が存在し、
前記第1領域には、前記非磁性相のみが存在する、又は、前記非磁性相及び前記磁性相の両方が存在し、
前記第1素体部分には、更に、前記第1領域以外の第2領域が存在し、
前記第2領域には、前記磁性相のみが存在する、又は、前記磁性相及び前記非磁性相の両方が存在し、
前記第1領域における全量を100重量%としたときのSiの含有量は、前記第2領域における全量を100重量%としたときのSiの含有量よりも、SiO 2 換算で多い、ことを特徴とする積層型コイル部品。 - 前記第1領域は、全量を100重量%としたとき、SiをSiO2換算で30.0重量%以上含む、請求項1に記載の積層型コイル部品。
- 前記第1領域は、全量を100重量%としたとき、SiをSiO2換算で30.0重量%以上、85.0重量%以下、BをB2O3換算で4.0重量%以上、15.0重量%以下、FeをFe2O3換算で0重量%以上、45.0重量%以下、NiをNiO換算で0重量%以上、15.0重量%以下、ZnをZnO換算で0重量%以上、8.0重量%以下、CuをCuO換算で0重量%以上、5.0重量%以下含む、請求項2に記載の積層型コイル部品。
- 前記第1領域は、全量を100重量%としたとき、更に、KをK2O換算で0.3重量%以上、1.5重量%以下、MgをMgO換算で0.9重量%以上、3.5重量%以下含む、請求項3に記載の積層型コイル部品。
- 前記第2領域は、全量を100重量%としたとき、SiをSiO2換算で25.0重量%以下含む、請求項1~4のいずれかに記載の積層型コイル部品。
- 前記第2領域は、全量を100重量%としたとき、SiをSiO2換算で0重量%以上、25.0重量%以下、BをB2O3換算で0重量%以上、5.0重量%以下、FeをFe2O3換算で45.0重量%以上、70.0重量%以下、NiをNiO換算で10.0重量%以上、20.0重量%以下、ZnをZnO換算で5.0重量%以上、12.0重量%以下含む、請求項5に記載の積層型コイル部品。
- 前記第1領域における全量を100重量%としたときのSiの含有量は、前記第2領域における全量を100重量%としたときのSiの含有量よりも、SiO2換算で7.0重量%以上多い、請求項1~6のいずれかに記載の積層型コイル部品。
- 前記第1領域には、前記非磁性相のみが存在する、請求項1~7のいずれかに記載の積層型コイル部品。
- 前記第2領域には、前記磁性相のみが存在する、請求項1~8のいずれかに記載の積層型コイル部品。
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