JP7410355B1 - エッチング液、該エッチング液を用いた基板の処理方法及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[1] リン酸、水、及びセリウムイオンを含む均一溶液からなる、炭窒化ケイ素をエッチングするためのエッチング液。
[2] エッチング液に含まれるセリウムイオンの含有量が0.001モル/L以上0.2モル/L以下である、[1]に記載のエッチング液。
[3] さらに硫酸を含む[1]又は[2]に記載のエッチング液。
[4] 半導体デバイスの製造に用いられるエッチング液である、[1]~[3]のいずれかに記載のエッチング液。
[5] リン酸、水、及び二酸化セリウムを除くセリウム化合物を含む溶液からなる、炭窒化ケイ素をエッチングするためのエッチング液。
[6] 酸化ケイ素膜と、炭窒化ケイ素膜とを有する基板に[1]~[5]のいずれかに記載のエッチング液を接触させる工程を含む、基板の処理方法。
[7] [6]に記載の基板の処理方法を含む半導体デバイスの製造方法。
本発明の一実施形態に係るエッチング液は、リン酸、水、及びセリウムイオンを含む均一溶液からなり、炭窒化ケイ素のエッチングに用いるものである。
炭窒化ケイ素はセリウムイオンを含まないリン酸水溶液ではほとんどエッチングされないが、これはSi-C結合とSi-N結合の極性の差に起因すると考えられる。Si原子との電気陰性度の差は、N原子よりもC原子のほうが小さい。よって、Si-C結合はSi-N結合と比較して分極が小さいため、酸による求電子付加反応が起こりにくく、炭窒化ケイ素のエッチングがほとんど進行しないと考えられる。一方、エッチング液がリン酸水溶液に加えてセリウムイオンを含むと、セリウムイオンがSi-C結合に作用して炭窒化ケイ素のエッチングが進行すると考えられる。
本実施形態のエッチング液は、上述した均一溶液としての状態が維持できる範囲で、不純物として、パーティクルや微量の金属が含まれていてもよい。
パーティクルとしてはエッチング時の汚染を防ぐという意味で、200nm以上のパーティクルが100個/mL以下であることが好ましく、50個/mL以下であることがより好ましく、10個/mL以下であることがさらに好ましい。特に好ましくは、目開き50nmのフィルターにかけた際に、フィルターを通過しない粒子がなく全量が通過することであり、同10nmのフィルターを全量通過することが最も好ましい。
エッチング対象の汚染防止という観点からは、金属不純物も可能な限り少ない方が好ましい。ここで言う金属不純物とはセリウム以外の金属のことを指し、具体的には、Ag、Al、Ba、Ca、Cd、Cr、Cu、Fe、K、Li、Mg、Mn、Na、Ni、Pb、Zn、Prがいずれも1ppm以下であることが好ましい。
本実施形態のエッチング液の製造方法は特に限定されるものではなく、例えば上述のリン酸、水、及びセリウム化合物を、所定の濃度となるよう混合し、均一溶液とすればよい。
本実施形態のエッチング液は、半導体デバイスの製造に際して、炭窒化ケイ素を含む基板のエッチング処理に用いることができる。なお基板上への炭窒化ケイ素膜の形成方法は限定されず、CVD法、PVD法等の公知の方法で形成された炭窒化ケイ素膜をエッチングすることができる。また半導体デバイスの製造に用いられる炭窒化ケイ素膜は、その製法によっては、ケイ素に対して最大で133原子%の量の水素を含む場合があるが、そのような水素を含んだものも本実施形態のエッチング液を用いたエッチングの対象とする炭窒化ケイ素に該当する。さらにエッチング対象とする炭窒化ケイ素には、通常含まれる範囲で各種の不純物元素(例えば酸素)が含まれていてもよい。
(エッチング液の調製方法)
表1に記載の割合となるようにリン酸、水及びセリウム化合物として硝酸セリウムアンモニウムをフラスコに入れ、所定の液温となるよう温度を設定したオイルバスに浸けて600rpmで液を攪拌しながら30分間加熱した。
エッチング液を25℃で30分間加熱攪拌した後に中を観察したところ、固形物は認められなかった。さらに、レーザーポインター(東心製TLP-3200、最大出力:1mw未満、波長:650~660nm)を25℃でエッチング液に照射したところ、光路が認められなかったことから完全に溶解して均一溶液になっていると判断した。結果を表2に示す。表中、均一溶液であったものを〇で示す。
炭窒化ケイ素を成膜した2×1cmサイズのシリコンウエハ(炭窒化ケイ素膜)を用意し、分光エリプソメーターで初期の膜厚を測定した。166℃の液温に加熱したエッチング液200gに、炭窒化ケイ素膜を5分間浸漬した。リンス処理によりウエハを洗浄し乾燥させた後、分光エリプソメーターで膜厚を測定した。エッチング速度(RSiCN)は、初期と処理後の膜厚差から炭窒化ケイ素のエッチング量を求め、エッチング時間で除することにより求めた。その結果を表2に示す。
エッチング液として表1に示す組成のエッチング液を用い、表1記載の温度で、エッチングの絶対量が実施例1と同程度となるよう浸漬時間を変更してエッチングした以外、実施例1と同様にして評価した。結果を表2に示す。
セリウム化合物として二酸化セリウム(IV)を使用し、セリウムとしての量が2mmol/L(比較例2;二酸化セリウムとして0.03質量%)又は18mmol/L(比較例3;二酸化セリウムとして0.3質量%)、水の量が15質量%となるようにリン酸と混合したが、液中にパーティクル源となる固形物が認められ、またレーザーポインターの照射では光路が見られ、均一溶液は得られなかった。したがって、比較例2、3に係る溶液は、エッチング溶液として不適であった。
Claims (6)
- リン酸、水、及びセリウムイオンを含む均一溶液からなる、炭窒化ケイ素をエッチングするためのエッチング液であって、
エッチング液に含まれるリン酸の含有量が50質量%以上98質量%以下であり、
エッチング液に含まれるセリウムイオンの含有量が0.001モル/L以上0.2モル/L以下である、エッチング液。 - さらに硫酸を含む請求項1に記載のエッチング液。
- 半導体デバイスの製造に用いられるエッチング液である、請求項1又は2に記載のエッチング液。
- リン酸、水、及び二酸化セリウムを除くセリウム化合物を含む溶液からなる、炭窒化ケイ素をエッチングするためのエッチング液であって、
エッチング液に含まれるリン酸の含有量が50質量%以上98質量%以下であり、
エッチング液に含まれるセリウムイオンの含有量が0.001モル/L以上0.2モル/L以下である、エッチング液。 - 酸化ケイ素膜と、炭窒化ケイ素膜とを有する基板に請求項1又は2に記載のエッチング液を接触させる工程を含む、基板の処理方法。
- 請求項5に記載の基板の処理方法を含む半導体デバイスの製造方法。
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