JP7398639B2 - 金属微細構造体および検出装置 - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 240
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 240
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 120
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 125
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 72
- 241000700605 Viruses Species 0.000 claims description 61
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 19
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 19
- 239000013076 target substance Substances 0.000 claims description 18
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 13
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 132
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 71
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 66
- 238000000034 method Methods 0.000 description 27
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 27
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 22
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 19
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 17
- 108010003723 Single-Domain Antibodies Proteins 0.000 description 13
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 description 12
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 12
- 102000011931 Nucleoproteins Human genes 0.000 description 11
- 108010061100 Nucleoproteins Proteins 0.000 description 11
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 9
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 8
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 8
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 8
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 8
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 7
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 7
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 6
- 125000003827 glycol group Chemical group 0.000 description 6
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003556 assay Methods 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 4
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 4
- LMDZBCPBFSXMTL-UHFFFAOYSA-N 1-ethyl-3-(3-dimethylaminopropyl)carbodiimide Chemical compound CCN=C=NCCCN(C)C LMDZBCPBFSXMTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004416 surface enhanced Raman spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 241000712461 unidentified influenza virus Species 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 1
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013566 allergen Substances 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 108010038083 amyloid fibril protein AS-SAM Proteins 0.000 description 1
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000002795 fluorescence method Methods 0.000 description 1
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 1
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 1
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 230000009385 viral infection Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
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- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
- G01N21/6458—Fluorescence microscopy
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Description
において正三角形格子に配置され、前記複数の突起部の太さは、それぞれ184nm以上276nm以下であり、前記複数の突起部のうち隣り合う突起部の間隔は、それぞれ184nm以上276nm以下であってもよい。
被検出物質の検出に使用する発光体、例えば蛍光物質が有する蛍光波長に合わせて上記の金属膜の構成材料から所望の材料を選択して金属膜を形成することができる。
[検出システムの概要]
本実施の形態に係る金属微細構造体および検出装置は、例えば、以下で説明する検出システムの一構成であってもよい。図1は、実施の形態における検出システム10の一例を示す概略構成図である。検出システム10は、人が出入りする部屋の室内に設置されている。検出システム10は、例えば、空気中の浮遊するウイルス等の被検出物質を含み得る微粒子を捕集し、微粒子に含まれる被検出物質の濃度を検出する。なお、本実施の形態では、被検出物質がウイルスまたはウイルスの構成成分(以下、単に、ウイルスという)である場合について説明する。ウイルスの構成成分は、例えば、ウイルスを構成するタンパク質または核酸などである。ウイルスの種類は特に限定されず、一般にウイルスと分類されるものであればよい。また、被検出物質は、ウイルスでなくてもよく、例えば、細菌であってもよく、花粉などのアレルゲンであってもよい。
捕集装置100は、空気中の被検出物質を含み得る微粒子を捕集して捕集液に混合する。より具体的には、捕集装置100は、空気吸入口105から周辺の雰囲気空気を吸入し、空気中のウイルス等を含み得る微粒子を捕集して捕集液に混合することにより、空気中のウイルスを捕集する。図1に示すように、捕集装置100は、吸引器101と、捕集液タンク102と、ポンプ103と、サイクロン104と、空気吸入口105と、洗浄液タンク106と、ポンプ107と、洗浄液タンク108と、ポンプ109と、廃液タンク110と、液体流路111と、を備える。以下に、捕集装置100の各構成要素について説明する。
、ポンプ103により捕集液タンク102から供給された捕集液とを混合する。すなわち、サイクロン104は、吸入した空気中のウイルスを含み得る微粒子を捕集液に混合する。つまり、サイクロン104は、吸気中の微粒子と捕集液とを混合することにより、微粒子が混合された捕集液(以下、試料)を調製する。サイクロン104は、液体流路111を介して検出装置200に接続されている。試料は、サイクロン104から液体流路111を介して検出装置200に供給される。
次に、検出装置200について、図1および図2を参照しながら具体的に説明する。図2は、本実施の形態に係る検出装置200の一例を示す概略構成図である。
、本実施の形態に係る検出装置200では、被検出物質を光学的に検出するために、表面増強蛍光法を利用する。
物質の複合体が結合される。この状態で金属微細構造体2021に光が照射されると、ウイルスと間接的に結合している蛍光物質から蛍光が発せられ、当該蛍光が表面プラズモンによって増強される。以降において、表面プラズモンによって増強された蛍光を表面増強蛍光と呼ぶ。
コントローラ300は、検出システム10全体の動作を制御する。具体的には、コントローラ300は、捕集装置100および検出装置200を制御する。
するまでに、試料と蛍光物質(または、蛍光物質で標識された第二の抗体)とを混合させることにより、サンプル液体2031を調製させてもよい。また、コントローラ300は、導入部203にサンプル液体2031をセンサデバイス201に供給させてもよく、試料と蛍光物質(または、蛍光物質で標識された第二の抗体)とをこの順にセンサデバイス201に供給させてもよい。さらには、コントローラ300は、照射部204に光を出射させて検出領域202cに光を照射させ、光検出部207に、検出領域202cで発生した表面増強蛍光を検出させる制御を行う。
ここで、金属微細構造体2021の詳細な構成について、図3Aおよび図3Bを参照しながら具体的に説明する。
あってもよい。
結合体が入ることができる大きさであるとよい。隙間d5は、例えば、結合体の長さの100%~200%である。なお、結合体には、被検出物質と発光体とを結合させる連結物質を含んでもよい。連結物質とは、被検出物質に特異的に結合する性質を有する物質であり、例えば、抗体であってもよい。
ここで、第一の抗体を金属微細構造体2021に固定化するためのリンカー材料について、図4を参照しながら具体的に説明する。図4は、実施の形態におけるリンカー材料2026を説明するための図である。
される。つまり、ウイルス2028の量に対応する表面増強蛍光が発せられる。
以上のように構成された検出装置200の動作について、図5を参照しながら説明する。図5は、実施の形態におけるセンサ基板202bを用いた被検出物質の検出方法の一例を示すフローチャートである。
続いて、センサ基板202bの製造方法について、図6を参照しながら説明する。図6は、本実施の形態におけるセンサ基板202bの製造方法の一例を示すフローチャートである。
れているDCスパッタリング法、または、RFスパッタリング法であってもよい。第二の金属膜2025がスパッタリング法により形成されることにより、第一の金属膜2024の表面の凹凸を第二の金属膜2025で吸収することができる。以上により、表面が平滑な金属膜2023が得られる。
以上のように、本実施の形態に係る金属微細構造体2021は、所定の間隔で配置された複数の突起部2022aを有する基材2022と、基材2022を被覆している金属膜2023から構成され、光が照射されることによって表面プラズモンを生じさせる複数の凸状構造体2023aと、を備える。複数の凸状構造体2023aのうち隣り合う凸状構造体2023aの隙間の底部に位置する金属膜2023の膜厚t2は、複数の突起部2022aの高さt3より大きく、かつ、複数の突起部2022aの頂部上に堆積された金属膜2023の膜厚t1の90%以上100%以下の厚みである。
ば、隙間の幅が小さい領域の割合が多くなるように設計してもよく、当該隙間の底部における隙間の幅が最も小さくなるように設計してもよい。
隣り合う凸状構造体2023aの間隔は、それぞれの凸状構造体2023aの平面視における中心を通る断面であって、基材2022に対して垂直な断面(図3BのZX平面)において、凸状構造体2023aの頂部側(図3BのZ軸プラス側)では40nm以上120nm以下であり、かつ、凸状構造体2023aの底部側(図3BのZ軸マイナス側)では10nm以上40nm以下である。
標識された第二の抗体2029と、を備えてもよい。
上記の樹脂基板に、電子ビーム蒸着法により、金を300nmの厚さで成膜し、次いで、スパッタリング法により、金を100nmの厚さで成膜した。得られた金属微細構造体の断面SEM像を図7Aに示す。
上記の樹脂基板に、電子ビーム蒸着法により、金を300nmの厚さで成膜し、次いで、スパッタリング法により、金を300nmの厚さで成膜した。得られた金属微細構造体の断面SEM像は図7Aと同様であったので図示を省略する。
比較例1に係るセンサ基板は、スパッタリング法のみにより生成された金属膜を有する金属微細構造体を備える点以外は、実施例1および実施例2と同様に作製され、サンドイッチAssayも実施例2と同様に行われた。具体的には、上記の樹脂基板上に、スパッタリング法により金を400nmの厚さで成膜した。得られた金属微細構造体の断面SEM像を図7Bに示す。また、比較例1に係るセンサ基板のセンサ感度、つまり、蛍光物質が発する蛍光強度を測定した結果を図8Aに示す。
比較例2に係るセンサ基板は、EB蒸着法のみにより生成された金属膜を有する金属微細構造体を備える点以外は、実施例1および実施例2と同様に作製され、サンドイッチAssayも実施例2と同様に行われた。具体的には、上記の樹脂基板上に、電子ビーム蒸着法により金を300nmの厚さで成膜した。得られた金属微細構造体の断面SEM像を図7Cに示す。また、比較例2に係るセンサ基板のセンサ感度、つまり、蛍光物質が発する蛍光強度を測定した結果を図7Bに示す。
実施例1、比較例1および比較例2に係る金属微細構造体の断面構造について、図7A~図7Cを参照しながら説明する。なお、図7A~図7Cにおいて、樹脂基板上の複数の突起部2022aの高さは、いずれも同じ高さであり、t3で表される。
以上、本開示の1つまたは複数の態様に係る金属微細構造体および検出装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記の実施の形態に限定されるものではない。本開示の主旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものも、本開示の1つまたは複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
(項目1)
金属微細構造体であって、
第1突起部および第2突起部を含む複数の突起部を有する基材、および
前記基材を被覆している金属膜、
を具備し、
ここで、
前記金属膜は、前記金属微細構造体の断面視において、
前記第1突起部の表面上に位置する第1凸部、
前記第2突起部の表面上に位置する第2凸部、および
前記金属膜は、前記第1凸部および前記第2凸部を含む複数の凸状構造体を含み、
前記第1凸部および前記第2凸部の間に位置する(望ましくは、かつその裏面が基材の凹部の表面と接している)平坦部
を具備し(望ましくは、から構成され)
前記金属膜(の表面)に光が照射された際に表面プラズモンが発生し、
前記平坦部は、前記第1突起部および前記第2突起部よりも厚く、
以下の数式(I)
0.9≦t2/t1≦1.0 (I)
ここで、
t1は、前記第1凸部の高さであり、かつ
t2は、前記平坦部の厚みである、
が充足される、
金属微細構造体。
100 捕集装置
101 吸引器
102 捕集液タンク
103、107、109 ポンプ
104 サイクロン
105 空気吸入口
106、108 洗浄液タンク
110 廃液タンク
111 液体流路
200 検出装置
201 センサデバイス
202 センサセル
202a 流路
202b、3202b センサ基板
202c、3202c 検出領域
203 導入部
204 照射部
205 ビームスプリッタ
206 レンズ
207 光検出部
300 コントローラ
2021、3021 金属微細構造体
2022 基材
2022a 突起部
2023 金属膜
2023a 凸状構造体
2024 第一の金属膜
2025 第二の金属膜
2026 リンカー材料
2026a リンカー分子
2026b 非リンカー分子
2026c アルキル鎖
2026d ポリエチレングリコール鎖
2027 第一の抗体
2028 ウイルス(被検出物質)
2029 第二の抗体
2030 蛍光物質
2031 サンプル液体
Claims (7)
- 所定の間隔で配置された複数の突起部を有する基材と、
前記基材を被覆している金属膜から構成され、光が照射されることによって表面プラズモンを生じさせる複数の凸状構造体と、
を備え、
前記複数の凸状構造体のうち隣り合う凸状構造体の隙間の底部に位置する前記金属膜の膜厚は、前記複数の突起部の高さより大きく、かつ、前記複数の突起部の頂部上に堆積された前記金属膜の膜厚の90%以上100%以下の厚みであり、
前記金属膜は、金により構成され、
前記複数の突起部の高さは、それぞれ160nm以上240nm以下であり、
前記複数の凸状構造体のうち隣り合う凸状構造体の隙間に位置する前記金属膜の膜厚は、200nm以上600nm以下である、
金属微細構造体。 - 前記複数の凸状構造体のそれぞれの縦断面形状は、順テーパ状である、
請求項1に記載の金属微細構造体。 - 前記基材は、樹脂で構成されており、
前記複数の突起部のそれぞれの形状は、円柱型であり、
前記複数の突起部は、平面視において正三角形格子に配置され、
前記複数の突起部の太さは、それぞれ184nm以上276nm以下であり、
前記複数の突起部のうち隣り合う突起部の間隔は、それぞれ184nm以上276nm以下である、
請求項1または2に記載の金属微細構造体。 - 前記複数の凸状構造体のうち隣り合う凸状構造体の間隔は、それぞれの凸状構造体の平面視における中心を通る断面であって、前記基材に対して垂直な断面において、凸状構造体の頂部側では40nm以上120nm以下であり、
かつ、前記凸状構造体の底部側では10nm以上40nm以下である、
請求項1~3のいずれか1項に記載の金属微細構造体。 - 請求項1~4のいずれか1項に記載の金属微細構造体と、
被検出物質を含み得る試料と発光体とを前記金属微細構造体に導入する導入部と、
前記金属微細構造体、および、前記被検出物質と前記発光体との結合体に光を照射する照射部と、
前記照射部によって照射された光により励起された前記発光体が発する光を検出する光検出部と、
を備える、
検出装置。 - さらに、
ウイルスまたは前記ウイルスの構成成分である被検出物質と特異的に結合する性質を有し、前記金属微細構造体上に固定された第一の抗体と、
前記第一の抗体に特異的に結合された前記被検出物質と特異的に結合する性質を有し、前記発光体で標識された第二の抗体と、
を備える、
請求項5に記載の検出装置。 - 前記照射部が照射する光の波長および前記光検出部で検出される光の波長は、それぞれ400nm以上850nm以下である、
請求項5または6に記載の検出装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018157377 | 2018-08-24 | ||
JP2018157377 | 2018-08-24 | ||
PCT/JP2019/025629 WO2020039741A1 (ja) | 2018-08-24 | 2019-06-27 | 金属微細構造体および検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020039741A1 JPWO2020039741A1 (ja) | 2021-08-26 |
JP7398639B2 true JP7398639B2 (ja) | 2023-12-15 |
Family
ID=69592556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020538208A Active JP7398639B2 (ja) | 2018-08-24 | 2019-06-27 | 金属微細構造体および検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11567069B2 (ja) |
JP (1) | JP7398639B2 (ja) |
CN (1) | CN112041666B (ja) |
WO (1) | WO2020039741A1 (ja) |
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- 2019-06-27 WO PCT/JP2019/025629 patent/WO2020039741A1/ja active Application Filing
- 2019-06-27 JP JP2020538208A patent/JP7398639B2/ja active Active
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JPWO2020039741A1 (ja) | 2021-08-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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