JP2015014547A - 表面増強ラマン散乱素子、及び、表面増強ラマン散乱素子を製造する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
SERS素子2は、表面21aを有する基板21と、表面21a上に形成され、複数のピラー27を有する微細構造部24と、表面21a及び微細構造部24を連続的に覆うように表面21a及び微細構造部24上に形成された第1の導電体層31と、表面増強ラマン散乱のための複数のギャップG1,G2を形成するように第1の導電体層31上に形成された第2の導電体層32と、を備え、第1の導電体層31及び第2の導電体層32は、互いに同一の材料から構成されている。
【選択図】図5
Description
Claims (11)
- 主面を有する基板と、
前記主面上に形成され、複数の凸部を有する微細構造部と、
前記主面及び前記微細構造部を連続的に覆うように前記主面及び前記微細構造部上に形成された第1の導電体層と、
表面増強ラマン散乱のための複数のギャップを形成するように前記第1の導電体層上に形成された第2の導電体層と、を備え、
前記第1及び第2の導電体層は、互いに同一の材料から構成されている、
表面増強ラマン散乱素子。 - 前記第2の導電体層は、前記主面に沿うように形成されたベース部と、前記凸部のそれぞれに対応する位置において前記ベース部から突出する複数の突出部と、を有し、
前記ベース部には、前記凸部が突出する方向から見た場合に前記凸部のそれぞれを包囲するように複数の溝が形成されており、
前記ギャップは、少なくとも前記溝内に形成されている、
請求項1に記載の表面増強ラマン散乱素子。 - 前記ギャップは、前記溝内において前記ベース部と前記突出部とによって形成される第1のギャップ、及び、前記溝内において前記ベース部と前記第1の導電体層とによって形成される第2のギャップの少なくとも一方を含む、
請求項2に記載の表面増強ラマン散乱素子。 - 前記溝は、前記凸部が突出する方向から見た場合に前記凸部のそれぞれを包囲するように環状に延在している、請求項2又は3に記載の表面増強ラマン散乱素子。
- 前記突出部は、前記基板側の端部において括れた形状を有している、請求項2〜4のいずれか一項に記載の表面増強ラマン散乱素子。
- 対応する前記溝内に位置する前記突出部の一部は、凝集状態となっている、請求項2〜5のいずれか一項に記載の表面増強ラマン散乱素子。
- 前記ベース部は、前記溝の外縁に沿って盛り上がっている、請求項2〜6のいずれか一項に記載の表面増強ラマン散乱素子。
- 前記ベース部と前記突出部とは、前記溝の最深部において繋がっている、請求項2〜7のいずれか一項に記載の表面増強ラマン散乱素子。
- 前記ベース部と前記突出部とは、前記溝の最深部において離れている、請求項2〜7のいずれか一項に記載の表面増強ラマン散乱素子。
- 前記凸部は、前記主面に沿って周期的に配列されている、請求項1〜9のいずれか一項に記載の表面増強ラマン散乱素子。
- 複数の凸部を有する微細構造部を基板の主面上に形成する第1の工程と、
第1の気相成長法によって、前記基板の前記主面及び前記微細構造部上に第1の導電体層を形成する第2の工程と、
第2の気相成長法によって、前記第1の導電体層上に表面増強ラマン散乱のための第2の導電体層を形成する第3の工程と、を備え、
前記第1の導電体層と前記第2の導電体層とは、互いに同一の材料から構成され、
前記第2の気相成長法の異方性は、前記第1の気相成長法の異方性よりも高い、
表面増強ラマン散乱素子を製造する方法。
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