JP7398432B2 - 半導体検査における多モードの欠陥分類 - Google Patents
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Description
本出願は、2018年7月20日に出願された米国特許仮出願第62/701,007号の名称「Multimode Approach for Defect and Nuisance Filtering」、および2018年11月15日に出願された米国特許仮出願第62/767,916号の名称「Multimode Defect Classification in Semiconductor Inspection」に対する優先権を主張し、その全内容をすべての目的に対して本願に引用して援用する。
pri=Ni/N (12)
Claims (21)
- 半導体検査ツールにおいて、複数の光学モードを使用して半導体ダイを走査することと、
1つ以上のプロセッサ、および前記1つ以上のプロセッサによる実行のための命令を格納するメモリを備えるコンピュータシステムにおいて、
前記走査の結果に基づいて前記半導体ダイ上の複数の欠陥を識別することであって、
前記複数の欠陥のうちの各欠陥が、前記半導体検査ツール内の各ピクセルセットに対応し、
前記走査が、前記半導体検査ツールの使用波長が前記各欠陥の寸法よりも長く、
前記結果が、前記各ピクセルセットのピクセル強度に基づく多次元データを含み、前記多次元データの各次元が、前記複数の光学モードの個別のモードに対応する、ことと、
前記各ピクセルセットについて、判別関数を前記結果に適用して、前記多次元データを各スコアに変換することと、
前記各スコアに少なくとも部分的に基づいて、前記各欠陥を個別のクラスに分割することと、を含み、
前記個別のクラスが、前記半導体ダイの機能を妨げる対象の欠陥のクラス、および前記半導体ダイの機能を妨げない邪魔な欠陥のクラスを含み、前記スコアは、前記個別のクラスの数に等しい次元を有することを特徴とする、欠陥分類方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記各スコアに基づいて前記各欠陥を個別のクラスに分割することが、
前記各スコアを、前記各欠陥が前記個別のクラスのうちの特定のクラスに属する確率に変換することと、
前記確率に基づいて前記各欠陥を分類することと、を含むことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記各スコアに基づいて前記各欠陥を個別のクラスに分割することが、
前記各スコアを、前記各欠陥が対象の欠陥または邪魔な欠陥である確率に変換することと、
前記確率に基づいて前記各欠陥を分類することと、を含むことを特徴とする方法。 - 請求項3に記載の方法であって、前記コンピュータシステムにおいて、前記対象の欠陥を指定するレポートを生成することをさらに含むことを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記判別関数が線形であることを特徴とする方法。
- 請求項5に記載の方法であって、前記判別関数が、前記各欠陥を前記個別のクラスに最大限に分離する方向を指定することを特徴とする方法。
- 請求項6に記載の方法であって、前記判別関数を適用することが、各ピクセルセットについて、前記方向と直角な軸への前記多次元データを含んでいるベクトルの投影を決定することを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記判別関数が非線形であることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記個別のクラスのすべてからの欠陥を含んでいる欠陥のトレーニングセットに基づいて、前記判別関数が決定されることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記複数の光学モードが、
第1の偏光を有する第1のモードと、
前記第1の偏光と異なる第2の偏光を有する第2のモードとを含むことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記複数の光学モードが、
第1の範囲の波長を有する第1のモードと、
前記第1の範囲の波長と異なる第2の範囲の波長を有する第2のモードとを含むことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記複数の光学モードのうちの各光学モードが、光学特性の個別の組み合わせを有し、
前記光学特性が、波長の範囲、偏光、焦点、照射開口部の透過分布、収集開口部の透過分布、および収集開口部の位相シフト分布から成る群から選択されることを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記複数の光学モードを使用して前記半導体ダイを走査することが、一度に1つの光学モードずつ、連続的に実行されることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記複数の光学モードを使用して前記半導体ダイを走査することが、前記複数の光学モードについて同時に実行されることを特徴とする方法。
- 請求項14に記載の方法であって、
前記半導体検査ツールが複数の検出器アレイを備え、
前記複数の光学モードを使用して前記半導体ダイを走査することが、
前記複数の光学モードを使用して前記半導体ダイの各部分を同時に照射することと、
前記複数の検出器アレイのうちの個別の検出器アレイを使用して前記半導体ダイの前記各部分を同時に撮像することと、を含むことを特徴とする方法。 - 請求項15に記載の方法であって、前記複数の光学モードを使用して前記半導体ダイの前記各部分を同時に照射することが、複数のフィルタを介して前記半導体ダイに照射することを含むことを特徴とする方法。
- 請求項16に記載の方法であって、前記複数のフィルタが、前記半導体検査ツールの照射システム内のプレートの開口部内で互いに隣接しているフィルタの対を含むことを特徴とする方法。
- 請求項15に記載の方法であって、前記コンピュータシステムにおいて、
前記個別の検出器アレイから取得された画像を揃えることと、
前記揃えられた画像から前記多次元データを取得することと、をさらに含み、前記多次元データの各次元が前記揃えられた画像の各画像に対応することを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記コンピュータシステムにおいて、使用可能な光学モードの群から前記複数の光学モードを選択することをさらに含み、
前記使用可能な光学モードの群が、前記複数の光学モードより大きいことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記コンピュータシステムにおいて、前記各欠陥の前記クラスを指定するレポートを生成することをさらに含むことを特徴とする方法。
- 半導体検査ツールを含んでいる半導体検査システムの1つ以上のプロセッサによる実行のための1つ以上のプログラムを格納する非一過性コンピュータ可読ストレージ媒体であって、前記1つ以上のプログラムが、
前記半導体検査ツールに、複数の光学モードを使用して半導体ダイを走査させることと、
前記走査の結果に基づいて前記半導体ダイ上の複数の欠陥を識別することであって、
前記複数の欠陥のうちの各欠陥が、前記半導体検査ツールの各ピクセルセットに対応し、
前記走査が、前記半導体検査ツールの使用波長が前記各欠陥の寸法よりも長く、
前記結果が、前記各ピクセルセットのピクセル強度に基づく多次元データを含み、前記多次元データの各次元が、前記複数の光学モードの個別のモードに対応する、ことと、
前記各ピクセルセットについて、判別関数を前記結果に適用して、前記多次元データを各スコアに変換することと、
前記各スコアに少なくとも部分的に基づいて、前記各欠陥を個別のクラスに分割することとのための命令を含み、
前記個別のクラスが、前記半導体ダイの機能を妨げる対象の欠陥のクラス、および前記半導体ダイの機能を妨げない邪魔な欠陥のクラスを含み、前記スコアは、前記個別のクラスの数に等しい次元を有することを特徴とする、非一過性コンピュータ可読ストレージ媒体。
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