JP7398032B2

JP7398032B2 - industrial furnace

Info

Publication number: JP7398032B2
Application number: JP2020032978A
Authority: JP
Inventors: 保孝大西
Original assignee: Shimadzu Industrial Systems Co Ltd
Current assignee: Shimadzu Industrial Systems Co Ltd
Priority date: 2020-02-28
Filing date: 2020-02-28
Publication date: 2023-12-14
Anticipated expiration: 2040-02-28
Also published as: JP2021135017A

Description

本発明は、工業炉に関する。 The present invention relates to industrial furnaces.

従来、金属または磁性材料などからなる被処理物が真空または加圧環境下で熱処理されている。たとえば、下記の特許文献１は、真空チャンバ、その真空チャンバの中の断熱容器、その断熱容器の中の加熱ヒーターを備える。断熱容器の中に被処理物を配置する。加熱ヒーターで断熱容器の内部空間を昇温し、被処理物が処理される。 2. Description of the Related Art Conventionally, objects to be processed made of metals, magnetic materials, or the like are heat-treated in a vacuum or pressurized environment. For example, Patent Document 1 below includes a vacuum chamber, a heat insulating container in the vacuum chamber, and a heater in the heat insulating container. The object to be treated is placed in a heat insulated container. The object to be processed is processed by raising the temperature of the internal space of the heat insulating container using a heater.

国際公開番号 WO２０１６／１５８０２９International publication number WO2016/158029

被処理物を脱脂すると、被処理物からガス状のバインダー、粒子状のダスト、またはその両方を含む放出物が放出される。放出物が真空チャンバの内壁に付着すると、その付着した放出物を取り除く必要がある。真空チャンバと断熱容器との間の隙間が狭く、放出物を取り除きにくい。 When the workpiece is degreased, emissions are released from the workpiece, including gaseous binder, particulate dust, or both. Once the emitted material adheres to the inner wall of the vacuum chamber, it is necessary to remove the adhering ejected material. The gap between the vacuum chamber and the insulated container is narrow, making it difficult to remove emissions.

そこで本発明の目的は、放出物を簡単に除去できる工業炉を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide an industrial furnace in which emissions can be easily removed.

以上の課題を解決すべく、本発明に係る工業炉は、以下に述べるような構成を有する。 In order to solve the above problems, an industrial furnace according to the present invention has a configuration as described below.

本発明の工業炉は、内壁および外壁を備えた容器状の圧力容器と、前記圧力容器の内部空間に配置され、断熱体本体および該断熱体本体を開閉する断熱体蓋を備えた断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ガス源と、前記ガス源から圧力容器の内部空間または断熱体の内部空間をつなぐ供給パイプとを備え、前記断熱体本体の断熱体蓋を開けた状態でガス源から圧力容器の内部空間および断熱体の内部空間にガスを供給し、ヒーターが加熱される。 The industrial furnace of the present invention includes a container-shaped pressure vessel having an inner wall and an outer wall, and a heat insulating body disposed in an internal space of the pressure vessel and including a heat insulating body and a heat insulating body lid for opening and closing the heat insulating body. , a heater disposed in the internal space formed by the insulating body, a gas source, and a supply pipe connecting the gas source to the internal space of the pressure vessel or the internal space of the insulating body; With the body lid open, gas is supplied from the gas source to the internal space of the pressure vessel and the internal space of the heat insulator to heat the heater.

断熱扉を開けた状態でヒーターが加熱されるため、内壁に付着した放出物を直接加熱し、溶融させることができる。溶融した放出物は圧力容器の下部に流れ落ちる。集まった放出物を除去することで、簡単に放出物を除去できる。 Since the heater is heated with the heat insulating door open, it is possible to directly heat and melt the emitted substances adhering to the inner wall. The molten discharge flows down to the bottom of the pressure vessel. Emissions can be easily removed by removing the collected emissions.

本発明の工業炉の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing the configuration of an industrial furnace of the present invention. 圧力容器等の断面を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a cross section of a pressure vessel and the like. 電力供給回路の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a power supply circuit. 圧力容器の内部空間の上方に断熱体をずらした構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration in which a heat insulator is shifted above the internal space of the pressure vessel. 圧力容器の下部に凹部を設けた図である。It is a figure which provided the recessed part in the lower part of a pressure vessel.

本発明の工業炉について図面を参照して説明する。複数の実施形態を説明するが、異なる実施形態であっても同じ手段には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。 The industrial furnace of the present invention will be explained with reference to the drawings. Although a plurality of embodiments will be described, even in different embodiments, the same means may be given the same reference numerals and the explanation thereof may be omitted.

[実施形態１]
図１に示す本願の工業炉１０は、容器状の圧力容器１２、その圧力容器１２の内部空間１４に配置された断熱体１６、その断熱体１６の内部空間１８に配置されたヒーター２０、被処理物２２が収容されるタイトボックス（インナーケース）２４、ガス源２６、そのガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８をつなぐ供給パイプ３０、排気ポンプ３２、その排気ポンプ３２とタイトボックス２４の内部空間２８をつなぐ第１排気パイプ３４、排気ポンプ３２と圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８をつなぐ第２排気パイプ３６、第１排気パイプ３４の途中に設けられた捕捉装置３８を備える。 [Embodiment 1]
The industrial furnace 10 of the present application shown in FIG. A tight box (inner case) 24 in which the processed material 22 is housed, a gas source 26, and a supply connecting the gas source 26 to the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulator 16 and the internal space 28 of the tight box 24. A pipe 30, an exhaust pump 32, a first exhaust pipe 34 that connects the exhaust pump 32 and the interior space 28 of the tight box 24, and a second exhaust pipe 34 that connects the exhaust pump 32 and the interior space 14 of the pressure vessel 12 or the interior space 18 of the heat insulator 16. The exhaust pipe 36 and the first exhaust pipe 34 include a trapping device 38 provided in the middle thereof.

工業炉１０は、焼結、半焼結、焼成、脱脂、ろう付け、メタライズ、焼き入れ、容体化処理、焼戻し、焼きなましまたは時効熱処理などをおこなうための炉である。 The industrial furnace 10 is a furnace for performing sintering, semi-sintering, firing, degreasing, brazing, metallization, hardening, compacting treatment, tempering, annealing, aging heat treatment, and the like.

[圧力容器]
圧力容器１２は容器本体４０および容器蓋４２を備える。容器本体４０は円筒形状になっている（図２）。容器蓋４２は容器本体４０の両端を開閉するものである。容器本体４０の両端を容器蓋４２で閉じると、圧力容器１２の内部空間１４は気密にされた空間になる。圧力容器１２の内部空間１４は減圧されたり、加圧されたりする。圧力容器１２の耐圧はたとえば約１０ＭＰａであり、各種設計によって変更できる。 [Pressure vessel]
The pressure vessel 12 includes a vessel body 40 and a vessel lid 42 . The container body 40 has a cylindrical shape (FIG. 2). The container lid 42 opens and closes both ends of the container body 40. When both ends of the container body 40 are closed with the container lid 42, the internal space 14 of the pressure container 12 becomes an airtight space. The internal space 14 of the pressure vessel 12 is depressurized or pressurized. The pressure resistance of the pressure vessel 12 is, for example, about 10 MPa, and can be changed depending on various designs.

圧力容器１２は内壁４４と外壁４６からなる二重構造であり、内壁４４と外壁４６の間を冷却液が流れる。工業炉１０は、冷却液を吐出する給液ポンプ４８、給液ポンプ４８から内壁４４と外壁４６の間に取り付けられた給液パイプ５０、内壁４４と外壁４６の間に取り付けられた排液パイプ５２、給液パイプ５０に設けられたバルブ５４を備える。 The pressure vessel 12 has a double structure consisting of an inner wall 44 and an outer wall 46, and a cooling liquid flows between the inner wall 44 and the outer wall 46. The industrial furnace 10 includes a liquid supply pump 48 that discharges a cooling liquid, a liquid supply pipe 50 that is attached from the liquid supply pump 48 between the inner wall 44 and the outer wall 46, and a liquid drain pipe that is attached between the inner wall 44 and the outer wall 46. 52, a valve 54 provided on the liquid supply pipe 50.

[断熱体]
断熱体１６は圧力容器１２の内部空間１４に配置されている。断熱体１６は断熱体本体５６および断熱体蓋５８を備える。断熱体本体５６は筒状になっている。断熱体蓋５８は断熱体本体５６の両端を開閉するものである。容器蓋４２が閉じた状態で断熱体蓋５８が開閉できるように、断熱体蓋５８の開閉装置（図示省略）を備える。断熱体１６はグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。 [Insulator]
The heat insulator 16 is arranged in the interior space 14 of the pressure vessel 12 . The heat insulator 16 includes a heat insulator main body 56 and a heat insulator lid 58. The heat insulator main body 56 has a cylindrical shape. The heat insulator lid 58 opens and closes both ends of the heat insulator main body 56. An opening/closing device (not shown) for the insulation lid 58 is provided so that the insulation lid 58 can be opened and closed with the container lid 42 closed. Insulator 16 is constructed from a heat resistant material such as graphite felt or graphite foil.

[ヒーター]
断熱体１６の内部空間１８にヒーター２０が配置されている。ヒーター２０としてグラファイト製のロッドヒーターが挙げられる。ヒーター２０はタイトボックス２４に対して平行に配置されている。また、タイトボックス２４の周囲を回るように複数のヒーター２０が配置されている（図２）。 [heater]
A heater 20 is arranged in the internal space 18 of the heat insulator 16. The heater 20 may be a graphite rod heater. The heater 20 is arranged parallel to the tight box 24. Furthermore, a plurality of heaters 20 are arranged so as to surround the tight box 24 (FIG. 2).

ヒーター２０に電力を供給するための電力供給回路６０は図３のようになっている。電力供給回路６０は三相交流の電力をヒーターに供給する。三相交流の３つの端子はＲ、Ｓ、Ｔである。電力供給回路６０は各端子Ｒ、Ｓ、Ｔにつながる配線６２、その配線６２に流れる電流を測定する電流計６４、電力供給する配線６２を選択するスイッチ６６、電力変換するトランス６８、スイッチ６６をオン・オフ制御する制御装置７０を備える。スイッチ６６はサイリスタなどの素子を使用できる。 A power supply circuit 60 for supplying power to the heater 20 is shown in FIG. The power supply circuit 60 supplies three-phase AC power to the heater. The three terminals of three-phase AC are R, S, and T. The power supply circuit 60 includes wires 62 connected to each terminal R, S, and T, an ammeter 64 that measures the current flowing through the wires 62, a switch 66 that selects the power supply wire 62, a transformer 68 that converts power, and a switch 66. A control device 70 for on/off control is provided. For the switch 66, an element such as a thyristor can be used.

制御装置７０はＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＰＬＣ（Programmable Logic Controller）などを備えた回路である。スイッチ６６がオンになるとトランス６８を介してヒーター２０に電力供給される。制御装置７０には電流計６４で測定された電流値および第１温度計７２で測定された温度が入力される。第１温度計７２は断熱体１６の内部空間１８の温度を計測する。断熱体１６の内部空間１８の温度が所定温度になるように制御装置７０がスイッチ６６のオン・オフを制御する。 The control device 70 is a circuit including a CPU (Central Processing Unit) or a PLC (Programmable Logic Controller). When the switch 66 is turned on, power is supplied to the heater 20 via the transformer 68. The current value measured by the ammeter 64 and the temperature measured by the first thermometer 72 are input to the control device 70 . The first thermometer 72 measures the temperature of the internal space 18 of the heat insulator 16 . The control device 70 controls on/off of the switch 66 so that the temperature of the internal space 18 of the heat insulator 16 reaches a predetermined temperature.

[タイトボックス]
断熱体１６の内部空間１８の中にタイトボックス２４が配置されている。タイトボックス２４はグラファイトなどで構成されている。タイトボックス２４はタイトボックス本体７４とタイトボックス蓋７６を備える。タイトボックス本体７４は筒状になっている。タイトボックス蓋７６はタイトボックス本体７４の両端を開閉する。タイトボックス蓋７６が開閉できるように、タイトボックス蓋７６の開閉装置（図示省略）を備える。タイトボックス本体７４の両端をタイトボックス蓋７６で閉じることで、タイトボックス２４の内部空間２８が密閉される。 [Tight box]
A tight box 24 is arranged within the interior space 18 of the heat insulator 16. The tight box 24 is made of graphite or the like. The tight box 24 includes a tight box main body 74 and a tight box lid 76. The tight box body 74 has a cylindrical shape. The tight box lid 76 opens and closes both ends of the tight box body 74. An opening/closing device (not shown) for the tight box lid 76 is provided so that the tight box lid 76 can be opened and closed. By closing both ends of the tight box body 74 with the tight box lid 76, the internal space 28 of the tight box 24 is sealed.

[被処理物]
タイトボックス２４の内部空間２８に被処理物２２が配置される。被処理物２２の材料は、超硬金属、鉄系金属、非鉄金属、磁性材料、セラミックス、グラファイト、ハイス鋼、ダイス鋼または低合金鋼などであり、金属は合金を含む。被処理物２２は、粉体または所定形状を有した固体である。 [Object to be processed]
The workpiece 22 is placed in the internal space 28 of the tight box 24 . The material of the object to be processed 22 is a cemented carbide metal, a ferrous metal, a nonferrous metal, a magnetic material, a ceramic, a graphite, a high-speed steel, a die steel, or a low-alloy steel, and the metal includes an alloy. The object to be processed 22 is a powder or a solid having a predetermined shape.

タイトボックス２４の中に被処理物２２が収容されることで、被処理物２２を脱脂処理したときに被処理物２２から放出される放出物がタイトボックス２４の外に放出されるのを低減させる。なお、タイトボックス２４を完璧に密閉することはできず、多少はタイトボックス２４の外に放出物が放出される。その放出物が内壁４４と断熱体１６の表面に付着する。工業炉１０を繰り返し使用すると放出物が内壁４４と断熱隊１６に積層される。積層された放出物の除去するための構成は後述する。 By housing the workpiece 22 in the tight box 24, the release of substances released from the workpiece 22 when the workpiece 22 is degreased is reduced from being released outside the tightbox 24. let It should be noted that the tight box 24 cannot be completely sealed, and a certain amount of released material is released outside the tight box 24. The emitted substances adhere to the inner wall 44 and the surface of the heat insulator 16. As the industrial furnace 10 is repeatedly used, emissions build up on the inner wall 44 and the insulation pad 16. A configuration for removing stacked emissions will be described later.

[ガス源]
ガス源２６は窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどを貯蔵、生成またはその両方をおこなう。ガス源２６と圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８は供給パイプ３０で接続されている。供給パイプ３０は分岐しており、それぞれにバルブ７８、８０が設けられている。バルブ７８、８０の開閉によってガスの流量を制御できる。ガス源２６から供給パイプ３０を介して圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスが導入される。ガス源２６を複数にして、複数種のガスを圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に供給してもよい。供給パイプ３０を複数設け、複数種のガスが供給されるようにする。なお、断熱体１６は完全に気密にされていないため、圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８の一方にガスを導入することで、他方にもガスを導入することができる。 [Gas source]
Gas source 26 stores and/or produces nitrogen, argon, hydrogen, carbon monoxide, helium, methane, and the like. The gas source 26 and the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulator 16 and the internal space 28 of the tight box 24 are connected by a supply pipe 30. The supply pipe 30 is branched, and each branch is provided with a valve 78, 80. The gas flow rate can be controlled by opening and closing the valves 78 and 80. Gas is introduced from the gas source 26 via the supply pipe 30 into the interior space 14 of the pressure vessel 12 or the interior space 18 of the insulation body 16 and the interior space 28 of the tight box 24 . A plurality of gas sources 26 may be used to supply a plurality of types of gas to the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulator 16 and the internal space 28 of the tight box 24. A plurality of supply pipes 30 are provided so that a plurality of types of gas can be supplied. Note that since the heat insulator 16 is not completely airtight, by introducing gas into either the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulator 16, gas can also be introduced into the other. .

上記ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に供給されるガスは、放出物に対して直接熱伝導して加熱し、放出物を溶融させる。高温になったガスが放出物を加熱して溶融させることで、圧力容器１２の下部に溶融した放出物が流れ落ちる。 The gas supplied from the gas source 26 to the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulator 16 and the internal space 28 of the tight box 24 conducts heat directly to the discharged material, heats it, and heats the discharged material. melt. The heated gas heats and melts the ejected material, causing the molten ejected material to flow down to the lower part of the pressure vessel 12.

[排気ポンプ]
排気ポンプ３２は圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に対して排気をおこなう。排気ポンプ３２とタイトボックス２４の内部空間２８は第１排気パイプ３４で接続されている。排気ポンプ３２と圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８は第２排気パイプ３６で接続されている。排気ポンプ３２によって、圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８が減圧される。第１排気パイプ３４と第２排気パイプ３６にはそれぞれバルブ８２、８４が備えられていて、バルブ８２、８４の開閉によっても排気を制御することができる。なお、断熱体１６は完全に気密にされていないため、圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８の一方からガスを排気することで、他方もガスが排気される。 [Exhaust pump]
The exhaust pump 32 exhausts the interior space 14 of the pressure vessel 12 or the interior space 18 of the heat insulator 16 and the interior space 28 of the tight box 24. The exhaust pump 32 and the internal space 28 of the tight box 24 are connected by a first exhaust pipe 34. The exhaust pump 32 and the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulator 16 are connected by a second exhaust pipe 36. The exhaust pump 32 reduces the pressure in the internal space 14 of the pressure vessel 12 , the internal space 18 of the heat insulator 16 , and the internal space 28 of the tight box 24 . The first exhaust pipe 34 and the second exhaust pipe 36 are provided with valves 82 and 84, respectively, and exhaust can also be controlled by opening and closing the valves 82 and 84. Note that, since the heat insulating body 16 is not completely airtight, by exhausting gas from either the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulating body 16, the gas is also exhausted from the other.

[捕捉装置]
被処理物２２が脱脂された際に、被処理物２２から放出されたガス状のバインダー、粒子状のダスト、またはその両方を含む放出物が放出される。第１排気パイプ３４に放出物を捕捉する捕捉装置３８が備えられている。捕捉装置３８はワックスタンク８６およびワックスフィルター８８を含む。ワックスタンク８６はバインダーを液状にして溜める装置である。ワックスフィルター８８は粒子状のダストを集塵する装置である。放出物が排気ポンプ３２まで到達されない。 [Capturing device]
When the object to be treated 22 is degreased, the object to be treated 22 releases a gaseous binder, particulate dust, or both. The first exhaust pipe 34 is provided with a capture device 38 for capturing emissions. Capture device 38 includes a wax tank 86 and a wax filter 88. The wax tank 86 is a device that liquefies the binder and stores it. The wax filter 88 is a device that collects particulate dust. The emissions do not reach the exhaust pump 32.

[給液ポンプ]
給液ポンプ４８は圧力容器１２の内壁４４と外壁４６の間に冷却液を供給する。給液ポンプ４８から内壁４４と外壁４６の間に給液パイプ５０が接続されている。給液ポンプ４８から給液パイプ５０を介して内壁４４と外壁４６の間に冷却液が供給できる。内壁４４と外壁４６の間から排液パイプ５２を通して冷却液が排液される。内壁４４と外壁４６の間を冷却液が流れ、圧力容器１２を冷却することができる。排液パイプ５２の途中に冷却装置９０を取り付けて冷却液を冷却し、再び給液ポンプ４８によって内壁４４と外壁４６の間に供給されてもよい。 [Liquid supply pump]
A liquid supply pump 48 supplies cooling liquid between the inner wall 44 and the outer wall 46 of the pressure vessel 12 . A liquid supply pipe 50 is connected from the liquid supply pump 48 between the inner wall 44 and the outer wall 46 . Cooling liquid can be supplied between the inner wall 44 and the outer wall 46 from the liquid supply pump 48 via the liquid supply pipe 50 . Coolant is drained from between the inner wall 44 and the outer wall 46 through a drain pipe 52. A cooling liquid can flow between the inner wall 44 and the outer wall 46 to cool the pressure vessel 12. A cooling device 90 may be installed in the middle of the drain pipe 52 to cool the coolant, and the coolant may be supplied again between the inner wall 44 and the outer wall 46 by the liquid supply pump 48 .

[バルブ]
給液パイプ５０にバルブ５４が取り付けられている。バルブ５４の開閉によって内壁４４と外壁４６の間への冷却液の供給を制御する。バルブ５４は通常開けられており、制御装置７０から信号が入力されることで閉じられる。制御装置７０が故障してバルブ５４に信号を送信できなくなった場合、バルブ５４が開けられていることで圧力容器１２の温度上昇を抑え、圧力容器１２を保護できる。 [valve]
A valve 54 is attached to the liquid supply pipe 50. The supply of cooling liquid between the inner wall 44 and the outer wall 46 is controlled by opening and closing the valve 54 . The valve 54 is normally open, and is closed when a signal is input from the control device 70. If the control device 70 fails and cannot send a signal to the valve 54, the temperature rise in the pressure vessel 12 can be suppressed and the pressure vessel 12 can be protected by keeping the valve 54 open.

[第２温度計]
圧力容器１２に第２温度計９２が取り付けられている。第２温度計９２は熱電対を備えた温度計である。第２温度計９２は複数備えられてもよい。第２温度計９２は圧力容器１２の温度、冷却液の温度またはその両方を測定する。圧力容器１２の温度は外壁４６、内壁４４またはその両方を測定する。冷却液の温度を計測する場合、バルブ５４が閉じられていれば内壁４４と外壁４６の間に溜まった冷却液の温度を計測し、バルブ５４が開けられていれば内壁４４と外壁４６の間を流れる冷却液の温度を計測する。圧力容器１２の温度または冷却液の温度を計測することで、圧力容器１２の温度が上昇しすぎないように監視することができる。 [Second thermometer]
A second thermometer 92 is attached to the pressure vessel 12. The second thermometer 92 is a thermometer equipped with a thermocouple. A plurality of second thermometers 92 may be provided. The second thermometer 92 measures the temperature of the pressure vessel 12, the temperature of the coolant, or both. The temperature of pressure vessel 12 is measured at outer wall 46, inner wall 44, or both. When measuring the temperature of the coolant, if the valve 54 is closed, the temperature of the coolant accumulated between the inner wall 44 and the outer wall 46 is measured, and if the valve 54 is open, the temperature of the coolant accumulated between the inner wall 44 and the outer wall 46 is measured. Measure the temperature of the coolant flowing through the By measuring the temperature of the pressure vessel 12 or the temperature of the cooling liquid, it is possible to monitor the temperature of the pressure vessel 12 so that it does not rise too much.

第２温度計９２は圧力容器１２の上部において、圧力容器１２の温度、内壁４４と外壁４６の間の冷却液の温度またはその両方の温度を計測する。圧力容器１２の温度は外壁４６、内壁４４またはその両方を測定する。熱が上方に移動しやすいためであり、圧力容器１２の下部の温度よりも上部の方の温度が高くなるためである。温度が高くなっている部分の温度を計測することで圧力容器１２の損傷を防止する。 The second thermometer 92 measures the temperature of the pressure vessel 12, the temperature of the cooling liquid between the inner wall 44 and the outer wall 46, or both temperatures at the upper part of the pressure vessel 12. The temperature of pressure vessel 12 is measured at outer wall 46, inner wall 44, or both. This is because heat easily moves upward, and the temperature at the top of the pressure vessel 12 is higher than the temperature at the bottom. Damage to the pressure vessel 12 is prevented by measuring the temperature of the portion where the temperature is high.

さらに第２温度計９２は圧力容器１２の容器本体４０が容器蓋４２で閉じられる部分（フランジ）９４またはその部分９４の付近において、圧力容器１２の温度、内壁４４と外壁４６の間の冷却液の温度またはその両方の温度を計測する。圧力容器１２の温度は外壁４６、内壁４４またはその両方を測定する。上記部分９４は圧力容器１２を密閉するためにオーリングなどの弾性体が使用されており、その弾性体の付近の温度を計測する。弾性体が溶融しないように温度を監視する。 Further, the second thermometer 92 measures the temperature of the pressure vessel 12 and the temperature of the cooling liquid between the inner wall 44 and the outer wall 46 at or near a portion (flange) 94 where the container body 40 of the pressure vessel 12 is closed with the container lid 42 . or both temperatures. The temperature of pressure vessel 12 is measured at outer wall 46, inner wall 44, or both. The portion 94 uses an elastic body such as an O-ring to seal the pressure vessel 12, and measures the temperature near the elastic body. Monitor the temperature to ensure the elastic does not melt.

制御装置７０は第２温度計９２の温度が入力される。第２温度計９２の温度が所定値未満であれば、バルブ５４に信号を送信し、バルブ５４を閉じる。第２温度計９２の温度が所定値以上であればバルブ５４に信号を送信せず、バルブ５４を開けた状態にする。圧力容器１２の温度が安全な温度に維持されるようにする。 The temperature of the second thermometer 92 is input to the control device 70 . If the temperature of the second thermometer 92 is less than a predetermined value, a signal is sent to the valve 54 and the valve 54 is closed. If the temperature of the second thermometer 92 is above a predetermined value, no signal is sent to the valve 54, and the valve 54 is kept open. The temperature of the pressure vessel 12 is maintained at a safe temperature.

[ファン]
圧力容器１２の内部空間１４にファン９６が備えられる。ファン９６は、容器蓋４２が閉じられ、断熱体蓋５８が開けられたときに回転する。圧力容器１２の内部空間１４および断熱体１６の内部空間１８をガスが循環する。タイトボックス蓋７６が開けられる場合もある。ファン９６を回転させるためのモーター９８が容器蓋４２に取り付けられている。 [fan]
A fan 96 is provided in the interior space 14 of the pressure vessel 12 . Fan 96 rotates when container lid 42 is closed and insulator lid 58 is opened. Gas circulates through the interior space 14 of the pressure vessel 12 and the interior space 18 of the heat insulator 16 . In some cases, the tight box lid 76 may be opened. A motor 98 for rotating a fan 96 is attached to the container lid 42.

断熱体本体５６からファン９６につながるガイド１００を設けてもよい。ガイド１００によって循環するガスの方向を定める。ガスの方向を定められればガイド１００の形状は限定されない。圧力容器１２は二重構造になっており、その内部に冷却液が流れるため、その冷却液によって循環するガスが冷却される。ファン９６と断熱体１６の間に水冷式の熱交換器１０２を配置し、その熱交換器１０２でもガスを冷却してもよい。 A guide 100 may be provided that connects the heat insulating body 56 to the fan 96. A guide 100 determines the direction of the circulating gas. The shape of the guide 100 is not limited as long as the direction of the gas can be determined. The pressure vessel 12 has a double structure, and a cooling liquid flows inside the pressure vessel 12, so that the circulating gas is cooled by the cooling liquid. A water-cooled heat exchanger 102 may be disposed between the fan 96 and the heat insulator 16, and the heat exchanger 102 may also cool the gas.

[熱処理]
次に本願の工業炉１０を使用した熱処理について説明する。なお、説明する熱処理は一例であり、被処理物２２の種類および処理方法に応じて適宜変更される。 [Heat treatment]
Next, heat treatment using the industrial furnace 10 of the present application will be explained. Note that the heat treatment to be described is just an example, and may be changed as appropriate depending on the type of object 22 to be treated and the treatment method.

（１）タイトボックス２４の内部空間２８に被処理物２２を収容し、タイトボックス蓋７６、断熱体蓋５８および容器蓋４２を閉じる。 (1) The object to be processed 22 is placed in the internal space 28 of the tight box 24, and the tight box lid 76, heat insulator lid 58, and container lid 42 are closed.

（２）排気ポンプ３２により排気をおこない、圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８を所定の圧力に制御する。この排気と同時に、ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスを導入し、それらの空間１４、１８、２８を所定のガスで満たす。 (2) The exhaust pump 32 performs exhaust, and the internal space 14 of the pressure vessel 12, the internal space 18 of the heat insulator 16, and the internal space 28 of the tight box 24 are controlled to a predetermined pressure. Simultaneously with this evacuation, gas is introduced from the gas source 26 into the internal space 14 of the pressure vessel 12, the internal space 18 of the insulator 16, and the internal space 28 of the tight box 24, and these spaces 14, 18, and 28 are filled with a predetermined gas. Fill it with

（３）制御装置７０がスイッチ６６を制御してヒーター２０に電力供給し、断熱体１６の内部空間１８を昇温させる。断熱体１６の内部空間１８に配置されたタイトボックス２４が加熱され、さらに被処理物２２が加熱される。 (3) The control device 70 controls the switch 66 to supply power to the heater 20 to raise the temperature of the internal space 18 of the heat insulator 16. The tight box 24 disposed in the internal space 18 of the heat insulator 16 is heated, and the object 22 to be processed is further heated.

タイトボックス２４の内部空間２８にある被処理物２２の温度が上昇し、被処理物２２が脱脂される。脱脂するときに、排気ポンプ３２を駆動させ、被処理物２２から生じた放出物は第１排気パイプ３４の途中にあるワックスタンク８６とワックスフィルター８８に溜められる。必要に応じてガス源２６からタイトボックス２４の内部空間２８にガスを供給する。吸気と排気によってタイトボックス２４の内部空間２８を所定の圧力にする。タイトボックス２４の内部空間２８以外に圧力容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８にもガス源２６からガスを供給してもよい。 The temperature of the workpiece 22 in the internal space 28 of the tight box 24 rises, and the workpiece 22 is degreased. When degreasing, the exhaust pump 32 is driven, and the discharged substances generated from the object 22 are collected in a wax tank 86 and a wax filter 88 located in the middle of the first exhaust pipe 34. Gas is supplied from a gas source 26 to the internal space 28 of the tight box 24 as required. The internal space 28 of the tight box 24 is brought to a predetermined pressure by intake and exhaust. In addition to the internal space 28 of the tight box 24, gas may also be supplied from the gas source 26 to the internal space 14 of the pressure vessel 12 and the internal space 18 of the heat insulator 16.

熱膨張によってタイトボックス２４が完全に密閉されない。そのため、一部の放出物がタイトボックス２４の外に放出される。放出物は内壁４４および断熱体１６に付着する。 Due to thermal expansion, the tight box 24 is not completely sealed. Therefore, some of the ejected material is emitted outside the tight box 24. The emissions adhere to the inner wall 44 and the insulation 16.

（４）被処理物２２の脱脂が完了した後、ヒーター２０に流す電流の値を変えて、断熱体１６の内部空間１８の温度を変える。たとえば、ヒーター２０に流れる電流を増加させ、被処理物２２の温度を高める。たとえば、約１５００℃以上で被処理物２２を熱処理する。 (4) After completing the degreasing of the object to be processed 22, change the value of the current flowing through the heater 20 to change the temperature of the internal space 18 of the heat insulator 16. For example, the current flowing through the heater 20 is increased to raise the temperature of the object 22 to be processed. For example, the object to be treated 22 is heat-treated at about 1500° C. or higher.

（５）被処理物２２が熱処理された後、被処理物２２を冷却する。断熱体蓋５８とタイトボックス蓋７６を開ける。ファン９６を回転させてガスを循環させ、被処理物２２を冷却させる。冷却する際、ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスを導入してもよい。 (5) After the workpiece 22 is heat-treated, the workpiece 22 is cooled. Open the insulation cover 58 and tight box cover 76. The fan 96 is rotated to circulate gas and cool the object 22 to be processed. During cooling, gas may be introduced from the gas source 26 into the interior space 14 of the pressure vessel 12, the interior space 18 of the insulation body 16, and the interior space 28 of the tight box 24.

また、給液ポンプ４８を駆動させる。内壁４４と外壁４６の間に冷却液を供給し、圧力容器１２を冷却する。圧力容器１２が冷却されることで、圧力容器１２の内壁４４に触れたガスが冷却される。熱交換器１０２によって循環するガスを冷却してもよい。ガスが冷却されることで、被処理物２２がガスに触れて冷却される。 Also, the liquid supply pump 48 is driven. A cooling liquid is supplied between the inner wall 44 and the outer wall 46 to cool the pressure vessel 12. By cooling the pressure vessel 12, the gas that has touched the inner wall 44 of the pressure vessel 12 is cooled. A heat exchanger 102 may cool the circulating gas. As the gas is cooled, the object 22 to be processed comes into contact with the gas and is cooled.

被処理物２２が冷却されれば、容器蓋４２、断熱体蓋５８およびタイトボックス蓋７６を開け、被処理物２２を取り出す。 Once the object 22 to be processed has been cooled, the container lid 42, the insulator lid 58, and the tight box lid 76 are opened, and the object 22 to be processed is taken out.

以上の工程で被処理物２２に対する熱処理が完了する。熱処理を繰り返すと、内壁４４および断熱体１６に付着した放出物の厚みが厚くなる。特に内壁４４は冷却液によって冷却されるため、放出物の厚みが厚くなりやすい。次に、その放出物の除去方法について説明する。 With the above steps, the heat treatment of the object to be treated 22 is completed. As the heat treatment is repeated, the thickness of the ejected material adhering to the inner wall 44 and the heat insulator 16 increases. In particular, since the inner wall 44 is cooled by the cooling liquid, the thickness of the ejected material tends to increase. Next, a method for removing the emitted material will be explained.

（Ａ）容器蓋４２を閉じ、断熱体蓋５８を開けた状態でヒーター２０に電力供給する。圧力容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８を昇温させる。このとき、制御装置７０からバルブ５４に信号を送り、バルブ５４を閉じる。冷却液が内壁４４と外壁４６の間を循環しないようにする。圧力容器１２が冷却されず、少なくとも圧力容器１２の内壁４４が昇温される。 (A) Power is supplied to the heater 20 with the container lid 42 closed and the heat insulator lid 58 open. The internal space 14 of the pressure vessel 12 and the internal space 18 of the heat insulator 16 are heated. At this time, the control device 70 sends a signal to the valve 54 to close the valve 54. Coolant is prevented from circulating between inner wall 44 and outer wall 46. The pressure vessel 12 is not cooled, and at least the inner wall 44 of the pressure vessel 12 is heated.

ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４および断熱体１６の内部空間１８にガスを供給してもよい。供給するガスは圧力容器１２、断熱体１６およびタイトボックス２４などを腐食させないガスが良い。供給するガスは窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどである。ファン９６を回転させて圧力容器１２の内部空間１４でガスを循環させてもよい。 Gas may be supplied to the interior space 14 of the pressure vessel 12 and the interior space 18 of the insulation body 16 from a gas source 26 . The gas to be supplied is preferably a gas that does not corrode the pressure vessel 12, the heat insulator 16, the tight box 24, etc. The gases supplied include nitrogen, argon, hydrogen, carbon monoxide, helium, and methane. A fan 96 may be rotated to circulate gas within the interior space 14 of the pressure vessel 12.

（Ｂ）圧力容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８が昇温されることで、放出物が溶融する。さらに、ガスがヒーター２０で加熱されて放出物に直接熱伝導することで、放出物が溶融される。溶融した放出物は重力によって圧力容器１２の内壁４４の下部に集まる。 (B) The temperature of the internal space 14 of the pressure vessel 12 and the internal space 18 of the heat insulator 16 is increased, so that the discharged material is melted. Furthermore, the gas is heated by the heater 20 and conducts heat directly to the ejected material, thereby melting the ejected material. The molten effluent collects under the inner wall 44 of the pressure vessel 12 by gravity.

断熱体蓋５８が開けられ、かつ冷却液の供給を停止しているため、圧力容器１２の内部空間１４の温度が上昇する。圧力容器１２が所定温度以上にならないようにする。たとえば、圧力容器１２の容器本体４０が容器蓋４２で閉じられる部分９４の温度が所定温度以上にならないようにして、その部分９４に使用されている弾性体が溶融しないようにする。所定温度は弾性体の溶融温度よりも低くする。第２温度計９２で計測された温度が所定温度以上になっていれば、バルブ５４を開けて冷却液を流す。 Since the heat insulator lid 58 is opened and the supply of cooling liquid is stopped, the temperature of the internal space 14 of the pressure vessel 12 increases. Prevent the temperature of the pressure vessel 12 from rising above a predetermined temperature. For example, the temperature of a portion 94 of the pressure vessel 12 where the container body 40 is closed with the container lid 42 is prevented from exceeding a predetermined temperature, so that the elastic body used in that portion 94 does not melt. The predetermined temperature is set lower than the melting temperature of the elastic body. If the temperature measured by the second thermometer 92 is equal to or higher than a predetermined temperature, the valve 54 is opened to allow the cooling liquid to flow.

（C）ヒーター２０への電力供給を停止する。制御装置７０からバルブ５４に信号を送信する。圧力容器１２が冷却されれば、容器蓋４２を開ける。圧力容器１２の内壁４４の下部に集まった放出物を圧力容器１２の外に棒等で掻き出すことで、放出物を除去する。 (C) Stop the power supply to the heater 20. A signal is sent from the controller 70 to the valve 54. Once the pressure vessel 12 has cooled down, the vessel lid 42 is opened. The discharged matter collected at the lower part of the inner wall 44 of the pressure vessel 12 is scraped out of the pressure vessel 12 with a rod or the like, thereby removing the discharged matter.

以上のように、本願は圧力容器１２の内壁４４などに付着した放出物を溶融させて除去しやすくしている。 As described above, the present invention melts the ejected substances adhering to the inner wall 44 of the pressure vessel 12 and makes it easier to remove them.

[実施形態２]
第２温度計９２は圧力容器１２の上部において、圧力容器１２、冷却液またはその両方を測定する以外に、圧力容器１２の他の部分で圧力容器１２、冷却液またはその両方を測定してもよい。圧力容器１２の複数の部分で温度を測定して最も温度の高い値に基づいて制御装置７０がバルブ５４の開閉を制御する。 [Embodiment 2]
In addition to measuring the pressure vessel 12, the cooling liquid, or both at the upper part of the pressure vessel 12, the second thermometer 92 may also measure the pressure vessel 12, the cooling liquid, or both at other parts of the pressure vessel 12. good. The control device 70 measures the temperature at multiple parts of the pressure vessel 12 and controls the opening and closing of the valve 54 based on the highest temperature value.

[実施形態３]
放出物を除去するために、制御装置７０はヒーター２０に流れる電流を制御してもよい。制御装置７０に入力された温度および電流値に応じてスイッチ６６のオン・オフを制御する。第２温度計９２で計測される温度が所定値以上にならないようにヒーター２０に供給する電力を制御する。なお、第２温度計９２で計測される温度が所定値以上になった場合、制御装置７０からバルブ５４に信号を送信してバルブ５４を開けてもよい。 [Embodiment 3]
To remove emissions, controller 70 may control the current flowing to heater 20. The switch 66 is turned on and off according to the temperature and current value input to the control device 70. The power supplied to the heater 20 is controlled so that the temperature measured by the second thermometer 92 does not exceed a predetermined value. Note that when the temperature measured by the second thermometer 92 exceeds a predetermined value, the control device 70 may send a signal to the valve 54 to open the valve 54.

[実施形態４]
バルブ５４の制御は上述した方法に限定されない。制御装置７０からバルブ５４に信号を送信することでバルブ５４を開けてもよい。バルブ５４は所定温度以上で開けられ、所定温度未満で閉じられれば、バルブ５４の制御方法は限定されない。 [Embodiment 4]
Control of valve 54 is not limited to the method described above. Valve 54 may be opened by sending a signal from controller 70 to valve 54 . The method of controlling the valve 54 is not limited as long as the valve 54 is opened when the temperature is above a predetermined temperature and closed when the temperature is below a predetermined temperature.

[実施形態５]
バルブ５４の開閉以外に、給液ポンプ４８の駆動と停止によって冷却液の供給を制御してもよい。冷却液を供給するときに給液ポンプ４８が駆動される。バルブ５４を省略してもよい。給液ポンプ４８の駆動は制御装置７０によって制御される。 [Embodiment 5]
In addition to opening and closing the valve 54, the supply of the cooling liquid may be controlled by driving and stopping the liquid supply pump 48. The liquid supply pump 48 is driven when supplying the cooling liquid. The valve 54 may be omitted. Driving of the liquid supply pump 48 is controlled by a control device 70.

[実施形態６]
図４に示すように、断熱体本体５６を圧力容器１２の内部空間１４の上部にずれるように配置してもよい。圧力容器１２の内部空間１４の下部において、内壁４４と断熱体本体５６の隙間が大きくなり、放出物を除去しやすくなる。 [Embodiment 6]
As shown in FIG. 4, the heat insulating body 56 may be disposed offset above the internal space 14 of the pressure vessel 12. In the lower part of the internal space 14 of the pressure vessel 12, the gap between the inner wall 44 and the heat insulating body 56 becomes larger, making it easier to remove the discharged material.

図５に示すように、圧力容器１２の下部に凹部１１０を設け、放出物が凹部１１０に溜まるようにしてもよい。凹部１１０に傾斜を設け、一か所に放出物が集まるようにしてもよい。 As shown in FIG. 5, a recess 110 may be provided in the lower part of the pressure vessel 12 so that the ejected material collects in the recess 110. The concave portion 110 may be sloped so that the ejected matter is collected in one place.

（第１項）一態様に係る工業炉は、内壁および外壁を備えた容器状の圧力容器と、前記圧力容器の内部空間に配置され、断熱体本体および該断熱体本体を開閉する断熱体蓋を備えた断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ガス源と、前記ガス源から圧力容器の内部空間または断熱体の内部空間をつなぐ供給パイプとを備え、前記断熱体の断熱体蓋を開けた状態でガス源から圧力容器の内部空間および断熱体の内部空間にガスを供給し、ヒーターが加熱される。 (Section 1) An industrial furnace according to one embodiment includes a pressure vessel shaped like a container having an inner wall and an outer wall, a heat insulating body disposed in an internal space of the pressure vessel, and a heat insulating body lid for opening and closing the heat insulating body. a heat insulating body, a heater disposed in the internal space formed by the insulating body, a gas source, and a supply pipe connecting the gas source to the internal space of the pressure vessel or the internal space of the insulating body, The heater is heated by supplying gas from a gas source to the internal space of the pressure vessel and the internal space of the heat insulator while the heat insulator lid of the heat insulator is open.

第１項に記載の工業炉によれば、断熱体蓋を開けた状態でヒーターが加熱されるため、内壁に付着した放出物を直接加熱し、溶融させることができる。溶融した放出物は圧力容器の下部に流れ落ちる。集まった放出物を除去することで、簡単に放出物を除去できる。 According to the industrial furnace described in item 1, since the heater is heated with the heat insulating cover open, the discharged matter adhering to the inner wall can be directly heated and melted. The molten discharge flows down to the bottom of the pressure vessel. Emissions can be easily removed by removing the collected emissions.

（第２項）前記ガスは前記圧力容器または前記断熱体に付着した放出物を直接加熱し、溶融させるガスである。 (Section 2) The gas is a gas that directly heats and melts the discharged matter adhering to the pressure vessel or the heat insulator.

第２項に記載の工業炉によれば、圧力容器または断熱体に付着した放出物を溶融させることで、放出物を除去できる。 According to the industrial furnace described in item 2, the released material can be removed by melting the released material adhering to the pressure vessel or the heat insulator.

（第３項）冷却液を吐出する給液ポンプと、前記給液ポンプから前記圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液を導く給液パイプとを備える。 (Section 3) A liquid supply pump that discharges a coolant, and a liquid supply pipe that guides the coolant from the liquid supply pump between an inner wall and an outer wall of the pressure vessel.

第３項に記載の工業炉によれば、圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液を流し、圧力容器を冷却することができる。 According to the industrial furnace described in item 3, the pressure vessel can be cooled by flowing a cooling liquid between the inner wall and the outer wall of the pressure vessel.

（第４項）前記圧力容器、冷却液またはその両方の温度を測定する温度計を備え、前記温度計で測定された温度が所定以上の場合に、給液ポンプから圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液が導かれる。 (Section 4) A thermometer is provided to measure the temperature of the pressure vessel, the cooling liquid, or both, and when the temperature measured by the thermometer is higher than a predetermined value, A cooling liquid is conducted between them.

第４項に記載の工業炉によれば、圧力容器が所定温度以上にならないようにすることで、圧力容器を保護できる。 According to the industrial furnace described in item 4, the pressure vessel can be protected by preventing the temperature of the pressure vessel from rising above a predetermined temperature.

（第５項）前記温度計が圧力容器の上部の温度、圧力容器の上部の内壁と外壁の間にある冷却液の温度、またはその両方を測定する。 (Section 5) The thermometer measures the temperature of the upper part of the pressure vessel, the temperature of the cooling liquid between the inner and outer walls of the upper part of the pressure vessel, or both.

第５項に記載の工業炉によれば、圧力容器の温度が上昇しやすい部分の温度を測定することで、圧力容器の温度が所定温度を超えないように制御することができる。 According to the industrial furnace described in item 5, by measuring the temperature of the portion of the pressure vessel where the temperature tends to rise, it is possible to control the temperature of the pressure vessel so that it does not exceed a predetermined temperature.

（第６項）前記圧力容器の内部空間にファンを備える。 (Section 6) A fan is provided in the internal space of the pressure vessel.

第６項に記載の工業炉によれば、圧力容器内のガスを循環させて、均一に放出物を加熱することができる。 According to the industrial furnace described in item 6, the gas in the pressure vessel can be circulated to uniformly heat the discharged material.

その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。説明した各実施形態は独立したものではなく、当業者の知識に基づき適宜組み合わせて実施できるものである。 In addition, the present invention can be implemented with various improvements, modifications, and changes based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit thereof. The described embodiments are not independent and can be implemented in appropriate combinations based on the knowledge of those skilled in the art.

１０：工業炉
１２：圧力容器
１４：圧力容器の内部空間
１６：断熱体
１８：断熱体の内部空間
２０：ヒーター
２２：被処理物
２４：タイトボックス
２６：ガス源
２８：タイトボックスの内部空間
３２：排気パイプ
４４：圧力容器の内壁
４６：圧力容器の外壁
４８：給液ポンプ
５０：給液パイプ
５４：バルブ 10: Industrial furnace 12: Pressure vessel 14: Inner space of pressure vessel 16: Insulator 18: Inner space of insulator 20: Heater 22: Workpiece 24: Tight box 26: Gas source 28: Inner space of tight box 32 :Exhaust pipe 44:Inner wall of pressure vessel 46:Outer wall of pressure vessel 48:Liquid supply pump 50:Liquid supply pipe 54:Valve

Claims

An industrial furnace for heat treating a workpiece,
a container-shaped pressure vessel having an inner wall, an outer wall and a container lid ;
a heat insulator disposed in the internal space of the pressure vessel and comprising a heat insulating body and a heat insulating lid for opening and closing the heat insulating body;
a heater disposed in the internal space formed by the heat insulator;
a gas source;
a supply pipe connecting the gas source to the internal space of the pressure vessel or the internal space of the insulation body;
Equipped with
With the container lid closed and the insulation lid of the insulation body opened, gas is supplied from a gas source to the interior space of the pressure vessel and the interior space of the insulation body, and the heater heats the interior space of the pressure vessel. is heated, thereby dissolving the released materials released from the processed material when the processed material is heat-treated and which are laminated on the inner wall of the pressure vessel or the surface of the heat insulating body. , industrial furnace.

2. The industrial furnace according to claim 1, wherein said gas is a gas that directly heats and melts the discharged matter adhering to said pressure vessel or said heat insulator.

A liquid supply pump that discharges coolant;
a liquid supply pipe that guides a cooling liquid from the liquid supply pump between an inner wall and an outer wall of the pressure vessel;
The industrial furnace according to claim 1 or 2, comprising:

comprising a thermometer that measures the temperature of either the pressure vessel, the cooling liquid, or both;
4. The industrial furnace according to claim 3, wherein the cooling liquid is introduced from the liquid supply pump between the inner wall and the outer wall of the pressure vessel when the temperature measured by the thermometer is equal to or higher than a predetermined value.

5. The industrial furnace according to claim 4, wherein the thermometer measures either the temperature of the upper part of the pressure vessel, the temperature of the cooling liquid between the inner and outer walls of the upper part of the pressure vessel, or both.

The industrial furnace according to any one of claims 1 to 5, further comprising a fan in the internal space of the pressure vessel.

The object to be treated is taken out, the container lid is closed, and the insulation lid of the insulation body is opened, and gas is supplied from a gas source to the internal space of the pressure vessel and the internal space of the insulation body, and a heater is supplied. is heated, and the temperature of the internal space of the pressure vessel is raised, thereby reducing the amount of emissions released from the workpiece when the workpiece is heat-treated, which are on the inner wall of the pressure vessel or the heat insulator. The industrial furnace according to claim 1, which dissolves emissions deposited on the surface.