JP3230921U - Industrial furnace - Google Patents
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Abstract
【課題】正確に温度測定できる工業炉を提供する。【解決手段】工業炉は、容器12と、被処理物が収容される断熱体16と、ヒータと、一端と他端を有し、一端が断熱体16の内部空間18に配置され、他端が容器12の外部に配置された筒体68と、筒体68の一端に形成されており、筒体68の一端を封止する測定部70と、筒体68の他端に配置されたビューポート72と、ビューポート72を介して測定部70の温度を測定する放射温度計74と、放射温度計74で測定された温度が入力され、ヒータの温度を制御する制御装置とを備える。【選択図】図2PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an industrial furnace capable of accurately measuring a temperature. An industrial furnace has a container 12, a heat insulating body 16 in which an object to be processed is housed, a heater, one end and the other end, and one end is arranged in an internal space 18 of the heat insulating body 16 and the other end. Is formed on a cylinder 68 arranged outside the container 12 and one end of the cylinder 68, a measuring unit 70 for sealing one end of the cylinder 68, and a view arranged on the other end of the cylinder 68. It includes a port 72, a radiation thermometer 74 that measures the temperature of the measuring unit 70 via the view port 72, and a control device that inputs the temperature measured by the radiation thermometer 74 and controls the temperature of the heater. [Selection diagram] Fig. 2
Description
本考案は、工業炉に関する。 The present invention relates to an industrial furnace.
従来、金属、磁性材料またはセラミックスなどからなる被処理物が工業炉で熱処理されている。たとえば、下記の特許文献1に開示される工業炉は、加熱室、ヒータおよびマッフル板を備える。加熱室の中にヒータとマッフル板が備えられる。マッフル板で被処理物の収容領域を形成している。 Conventionally, an object to be treated made of metal, magnetic material, ceramics or the like has been heat-treated in an industrial furnace. For example, the industrial furnace disclosed in Patent Document 1 below includes a heating chamber, a heater, and a muffle plate. A heater and a muffle plate are installed in the heating chamber. A muffle plate forms a storage area for the object to be treated.
収容領域に被処理物が収容される。ヒータに電流が流されると、ヒータが発熱する。ヒータの熱がマッフル板を介して被処理物に伝熱される。被処理物は脱脂され、その後に焼結などの所定の処理がおこなわれる。脱脂などを正確におこなうために、被処理物の温度または加熱室の内部の温度を測定し、ヒータを制御している。 The object to be processed is stored in the storage area. When an electric current is passed through the heater, the heater generates heat. The heat of the heater is transferred to the object to be processed via the muffle plate. The object to be treated is degreased, and then a predetermined treatment such as sintering is performed. In order to perform degreasing accurately, the temperature of the object to be treated or the temperature inside the heating chamber is measured and the heater is controlled.
被処理物の温度または加熱室の内部の温度が正確に測定されないと、被処理物が不良品になるおそれがある。被処理物の温度または加熱室の内部の温度を正確に測定することが求められている。 If the temperature of the object to be processed or the temperature inside the heating chamber is not accurately measured, the object to be processed may become defective. It is required to accurately measure the temperature of the object to be processed or the temperature inside the heating chamber.
そこで本考案の目的は、正確に温度測定できる工業炉を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial furnace capable of accurately measuring the temperature.
以上の課題を解決すべく、本考案に係る工業炉は、以下に述べるような構成を有する。 In order to solve the above problems, the industrial furnace according to the present invention has the following configuration.
本考案の工業炉は、容器と、前記容器の内部空間に配置され、被処理物を収容する断熱体と、前記断熱体の内部空間に配置されたヒータと、一端と他端を有し、一端が前記断熱体の内部空間に配置され、他端が前記容器の外部に配置された筒体と、前記筒体の一端に形成されており、筒体の一端を封止する測定部と、前記筒体の他端に配置されたビューポートと、前記ビューポートを介して測定部の温度を測定する放射温度計と、前記放射温度計で測定された温度が入力され、ヒータの温度を制御する制御装置とを備える。 The industrial furnace of the present invention has a container, a heat insulating body arranged in the internal space of the container and accommodating an object to be processed, a heater arranged in the internal space of the heat insulating body, and one end and the other end. A cylinder whose one end is arranged in the internal space of the heat insulating body and whose other end is arranged outside the container, and a measuring unit which is formed at one end of the cylinder and seals one end of the cylinder. A view port arranged at the other end of the cylinder, a radiation thermometer for measuring the temperature of the measuring unit via the view port, and a temperature measured by the radiation thermometer are input to control the temperature of the heater. It is equipped with a control device.
本考案によれば、筒体の一端を測定部で封止しており、被処理物から放出された放出物が筒体の中に入りにくくなっている。筒体およびビューポートが被処理物から放出された放出物で汚れにくく、放射温度計で正確に温度測定しやすくなっている。測定部の位置が固定されるため、全ての被処理物に対して同一条件で温度測定できる。同一条件で被処理物を処理しやすくなっている。 According to the present invention, one end of the tubular body is sealed by a measuring portion, so that the discharged material discharged from the object to be treated is difficult to enter into the tubular body. The cylinder and viewport are not easily contaminated by the emissions emitted from the object to be treated, making it easy to measure the temperature accurately with a radiation thermometer. Since the position of the measuring unit is fixed, the temperature can be measured under the same conditions for all objects to be processed. It is easy to process the object to be processed under the same conditions.
本考案の工業炉について図面を参照して説明する。一の実施形態で説明した手段は、他の実施形態で同一の符号を付して説明を省略する場合がある。 The industrial furnace of the present invention will be described with reference to the drawings. The means described in one embodiment may be designated by the same reference numerals in other embodiments and the description thereof may be omitted.
[実施形態1]
図1に示す本願の工業炉10は、容器状の容器12、その容器12の内部空間14に配置された断熱体16、その断熱体16の内部空間18に配置されたヒータ20、ガス源26、そのガス源26から容器12の内部空間14または断熱体16の内部空間18をつなぐ第1供給パイプ30、ポンプ34、そのポンプ34と容器12の内部空間14または断熱体16の内部空間18をつなぐ排気パイプ38を備える。
[Embodiment 1]
The
工業炉10は、焼結、半焼結、焼成、脱脂、脱ガス、ろう付け、メタライズ、焼き入れ、容体化処理、焼戻し、焼きなましまたは時効熱処理などをおこなうための装置である。
The
[容器]
容器12は容器本体42および容器蓋44を備える。容器本体42は円筒形状になっており、その両端は開口になっている。容器蓋44は容器本体42の両端の開口を開閉するものである。容器本体42の両端を容器蓋44で閉じると、容器12の内部空間14は気密にされた空間になる。容器12の内部空間14はガス源26からガスが供給されると加圧され、ポンプ34でガスが排気されると減圧される。
[container]
The
容器12は内壁46と外壁48を備え、二重構造になっている。内壁46と外壁48の間を冷却液が流れる。工業炉10は、内壁46と外壁48の間に冷却液を供給するためのポンプ(図示省略)を備えてもよい。
The
[断熱体]
断熱体16は容器12の内部空間14に配置されている。断熱体16は断熱体本体50および断熱体蓋52を備える。断熱体本体50は筒状または箱状になっていて、両端が開口になっている。断熱体本体50の両端の開口は断熱体蓋52で開閉される。断熱体蓋52の開閉装置(図示省略)が容器12の内部空間14に備えられる。容器蓋44を閉じた状態で断熱体蓋52が開閉できる。断熱体16はグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。
[Insulation]
The
[ヒータ]
断熱体16の内部空間18にヒータ20が配置されている。ヒータ20はグラファイト製のロッドヒータを使用することができ、他の種類のヒータであってもよい。ヒータ20は直線状になっており、ヒータ20の長さ方向は断熱体16の長さ方向を向いている。さらに、断熱体16の内部空間18に複数のヒータ20が配置されている。ヒータ20に電力供給する回路(図3)が備えられる。その回路からヒータ20に電力が供給され、ヒータ20が発熱する。ヒータ20の熱は断熱体16の内部空間18の中に閉じ込められる。
[heater]
The
[被処理物]
断熱体16の内部空間18に被処理物22が配置される。必要に応じて被処理物22が載置される棚または台などを備える。被処理物22の材料は、超硬金属、鉄系金属、非鉄金属、磁性材料、セラミックス、グラファイト、ハイス鋼(高速度鋼)、ダイス鋼または低合金鋼などであり、金属は合金を含む。被処理物22は、粉体、粒体または所定形状を有した固体である。
[Processed object]
The object to be processed 22 is arranged in the
[ガス源]
ガス源26は窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどを貯蔵、生成またはその両方をおこなう。ガス源26と容器12の内部空間14または断熱体16の内部空間18は第1供給パイプ30で接続されている。図1では、第1供給パイプ30はガス源26と容器12の内部空間14を接続している。第1供給パイプ30にバルブ58が設けられている。バルブ58の開閉によってガスの流量を制御できる。ガス源26から第1供給パイプ30を介して容器12の内部空間14または断熱体16の内部空間18にガスが導入される。ガス源26を複数にして、複数種のガスを容器12の内部空間14または断熱体16の内部空間18に供給してもよい。第1供給パイプ30を複数設け、複数種のガスが供給されるようにする。なお、断熱体16は完全に気密にされていないため、容器12の内部空間14または断熱体16の内部空間18の一方にガスを導入することで、他方にもガスを導入することができる。
[Gas source]
The
[ポンプ]
ポンプ34と容器12の内部空間14または断熱体16の内部空間18は排気パイプ38で接続されている。排気パイプ38にバルブ64が備えられていて、バルブ64の開閉によっても排気を制御することができる。なお、断熱体16は完璧に気密にされていないため、容器12の内部空間14または断熱体16の内部空間18の一方からガスを排気することで、他方もガスが排気される。
[pump]
The
[温度測定装置]
本願は断熱体16の内部空間18の温度を測定する温度測定装置66を備える(図2)。温度測定装置66は、筒体68、測定部70、ビューポート72および放射温度計74を備える。
[Temperature measuring device]
The present application includes a
[筒体]
筒体68はグラファイトなどの耐熱材料で形成された直線状の筒である。筒体68の一端は断熱体16の内部空間18に配置され、他端は容器12の外部に配置されている。容器12および断熱体16に筒体68が通過するための貫通穴を設けている。
[Cylinder]
The
筒体68は断熱体16に開けられた穴76の中に入り、穴76を形成する内壁77で保持されている。さらに、筒体68の外周に内管78と外管80からなる二重管82が配置されている。筒体68は内管78の内面で保持されている。二重配管82は容器12の外部から容器12に取り付けられている。内管78は内壁46に取り付けられ、外管80は外壁48に取り付けられている。内管78と外管80の間は、内壁46と外壁48の間につなげられている。内壁46と外壁48の間を流れる冷却液が内管78と外管80の間にも流れる。温度測定装置66に使用するパッキン等の温度が上昇しても冷却液で冷却できるようになっている。
The
筒体68の他端付近に第1治具84が取り付けられ、第1治具84に第2治具86が取り付けられている。第2治具86にビューポート72が取り付けられている。
The
[測定部]
測定部70は筒体68の一端に設けられている。測定部70は筒体68の一端を封止する板体である。測定部70は筒体68と同じようにグラファイトなどの耐熱部材で構成される。測定部70の温度を放射温度計74で測定することで、断熱体16の内部空間18の温度を測定する。
[Measurement unit]
The measuring
[ビューポート]
ビューポート72は筒体68の他端に配置されている。ビューポート72は少なくとも赤外線が透過できる材料で構成されている。たとえば、ビューポート72はガラスまたは耐熱性樹脂などで構成された板体である。ビューポート72は第2治具86に取り付けられている。第2治具86に開口90を設け、開口90およびビューポート72を介して測定部70を放射温度計74で温度測定できるようになっている。
[Viewport]
The
[ガスの導入口]
筒体68の他端付近および第1治具84にガスの導入口92が形成されている。ガスの導入口92は第1治具84と筒体68を一直線に貫通させて形成された穴である。筒体68に入れられるガスは容器12の内部空間14に入れられるガスと同じである。本願は、ガス源26のガスを導入口92まで導く第2供給パイプ94を備える(図1)。第2供給パイプ94は第1供給パイプ30とともにガス源26につなげられる。第2供給パイプ94は第2供給パイプ94を開閉するバルブ96が備えられている。さらに、第2供給パイプ94にガスの流量を減流するレギュレーターおよびガス流量を調整するニードルバルブを備えてもよい。筒体68の内部および筒体68の他端付近がガスによって陽圧になる。筒体68と内管78の隙間から漏れたガスが筒体68の中に入ったりビューポート72の付近を漂ったりして、ビューポート72に付着することを防止できる。ビューポート72の透明度を保つことができる。
[Gas inlet]
A
[放射温度計]
放射温度計74はビューポート72を介して測定部70の温度を測定する。放射温度計74は測定部70から放射される赤外線の強度を計測し、計測された赤外線の強度を温度に変換する。ビューポート72は少なくとも赤外線を透過する材料で構成されているため、ビューポート72が放射温度計74の測定に影響されない。測定部70はグラファイトなどの耐熱材料であり、黒色になっている。
[Radiation thermometer]
The
[熱電対温度計]
本願は放射温度計74以外に熱電対温度計98も備える(図1)。熱電対温度計98の測定点は断熱体16の内部空間18である。放射温度計74と熱電対温度計98で測定する温度帯が異なる。放射温度計74が高温に対応し、熱電対温度計98が低温に対応する。所定温度、たとえば約1500〜1600℃以上であれば放射温度計74で温度測定し、所定温度よりも低ければ熱電対温度計98で温度測定する。熱電対温度計98は所定温度よりも高温を測定することはできず、高温になると熱電対温度計98が故障するおそれがある。そのため、熱電対温度計98にエアシリンダーなどの動力装置を取り付け、高温になれば熱電対温度計98を断熱体16の内部空間18から引き抜くようにしてもよい。
[Thermocouple thermometer]
In addition to the
断熱体16の構造は水平方向の中心に対して対称になっている。断熱体16の水平方向の中心に対して対称となる箇所に測定部70と熱電対温度計98の測定点が配置される。断熱体16の内部空間18が低温であれば熱電対温度計98で測定し、高温であれば放射温度計74で測定する。
The structure of the
[制御装置]
本願は放射温度計74で測定された温度と熱電対温度計98で測定された温度が入力される制御装置100を備える(図3)。制御装置100は入力された温度に応じてヒータ20の温度を制御する。制御装置100はCPU(Central Processing Unit)またはPLC(Programmable Logic Controller)などの演算回路を備える。放射温度計74と制御装置100の間および熱電対温度計98と制御装置100の間にアナログ・ディジタル変換回路を設け、放射温度計74と熱電対温度計98の温度を制御装置100で使用できるように変換してもよい。
[Control device]
The present application includes a
ヒータ20に電力を供給するための電力供給回路102は図3のようになっている。電力供給回路102は三相交流の電力をヒータ20に供給する。三相交流の3つの端子はR、S、Tである。電力供給回路102は各端子R、S、Tにつながる配線104、その配線104に流れる電流を測定する電流計106、電力供給する配線を選択するスイッチ108、電力変換するトランス110を備える。スイッチ108はサイリスタなどの素子を使用できる。
The
制御装置100には放射温度計74で測定された温度または熱電対温度計98で測定された温度および電流計106で測定された電流値が入力される。断熱体16の内部空間18の温度が所定温度になるように制御装置100がスイッチ108のオン・オフを制御する。
The temperature measured by the
[その他]
容器12の内部空間14にファン112が備えられる。ファン112を回転させるためのモーター114が容器蓋44に取り付けられている。ファン112は、容器蓋44が閉じられ、断熱体蓋52が開けられたときに回転する。容器12の内部空間14および断熱体16の内部空間18をガスが循環する。
[Other]
A
断熱体本体50からファン112に向かうガイド116を設けてもよい。ガイド116によって循環するガスの方向を定める。ガスの方向を定められればガイド116の形状は限定されない。容器12は二重構造になっており、その内部に冷却液が流れるため、その冷却液によって循環するガスが冷却される。ファン112と断熱体16の間に水冷式の熱交換器118を配置し、その熱交換器118でもガスを冷却してもよい。
A
[熱処理]
次に本願の工業炉10を使用した熱処理について説明する。なお、説明する熱処理は一例であり、被処理物22の種類および処理方法に応じて適宜変更される。
[Heat treatment]
Next, the heat treatment using the
(1)断熱体16の内部空間18に被処理物22を収容し、断熱体蓋52および容器蓋44を閉じる。
(1) The object to be processed 22 is housed in the
(2)ポンプ34を駆動させ、容器12の内部空間14、断熱体16の内部空間18からガスを排気する。この排気と同時に、ガス源26から容器12の内部空間14、断熱体16の内部空間18にガスを供給し、それらの空間14、18、28を所定のガスで満たす。ガスの供給量と排気量を調整することで、容器12の内部空間14および断熱体16の内部空間18を所定圧力にする。
(2) The
(3)ヒータ20に電力供給し、ヒータ20を発熱させて断熱体16の内部空間18を昇温させる。断熱体16の内部空間18に配置された被処理物22が加熱される。
(3) Electric power is supplied to the
(4)ヒータ20に流れる電流を増加させ、被処理物22の温度を高める。たとえば、約1500℃以上で被処理物22を熱処理する。この時、被処理物22からバインダがガスとなり放出される。
(4) The current flowing through the
(5)被処理物22が熱処理された後、被処理物22を冷却する。断熱体蓋52を開ける。ファン112を回転させてガスを循環させ、被処理物22を冷却させる。冷却する際、ガス源26から容器12の内部空間14、断熱体16の内部空間18にガスを導入してもよい。さらに、容器12の内壁46と外壁48の間に冷却液を供給し容器12を冷却してもよい。容器12が冷却されることで、容器12の内壁46に触れたガスが冷却される。熱交換器118によって循環するガスを冷却してもよい。ガスが冷却されることで、被処理物22がガスに触れて冷却される。
(5) After the object to be processed 22 is heat-treated, the object to be processed 22 is cooled. Open the heat insulating
被処理物22が冷却されれば、容器蓋44と断熱体蓋52を開け、被処理物22を取り出す。
When the object to be processed 22 is cooled, the
[温度制御]
上記熱処理における断熱体16の内部空間18の温度制御について説明する。断熱体16の内部空間18の温度は放射温度計74または熱電対温度計98で測定される。所定値よりも低い場合、熱電対温度計98で測定し、所定値よりも高くなれば放射温度計74で測定する。たとえば、最初に熱電対温度計98で温度測定し、所定値よりも高くなれば放射温度計74で温度測定する。測定された温度は制御装置100に入力される。制御装置100には配線104を流れる電流の値も入力される。制御装置100は温度および電流値によってスイッチ108のオン・オフを制御し、ヒータ20に流れる電流を制御する。ヒータ20に流れる電流を制御する方法として、PID(Proportional-Integral-Differential)制御などの制御方法が挙げられる。ヒータ20に流れる電流が制御されることで、断熱体16の内部空間18の温度が設定された値になる。断熱体16の内部空間18の温度が設定された値になることで、被処理物22の温度が所望の値になり、被処理物22が脱脂などされる。
[Temperature control]
The temperature control of the
被処理物22の熱処理の間、第2供給パイプ94を介してガス源26から筒体68にガスを供給する。筒体68の中および筒体68の他端の近辺のガス圧が陽圧になる。筒体68の中および他端の付近にあるビューポート72に被処理物22から放出されたガスが到達しにくくなる。筒体68およびビューポート72に被処理物22から放出された放出物が付着しにくくなる。放射温度計74で測定部70を正確に測定できる。測定部70の位置が固定されるため、被処理物22を熱処理するごとに温度に誤差が生じることがない。
During the heat treatment of the
[実施形態2]
測定部70と熱電対温度計98の測定個所は断熱体16の内部空間18の中心に対して水平方向に対称な箇所に配置されたが、測定部70と熱電対温度計98は任意の場所に配置してもよい。断熱体16の構造および温度対称性などを考慮して、測定部74と熱電対温度計98の測定個所を決定する。
[Embodiment 2]
The measurement points of the measuring
[実施形態3]
熱電対温度計98の代わりに、低温を測定できる放射温度計を備えてもよい。その場合に、図2の温度測定装置66と同様の構成に低温を測定できる放射温度計を利用してもよい。また、1つの放射温度計74で全域の温度計測が可能であれば、熱電対温度計98を省略することも可能である。
[Embodiment 3]
Instead of the
(第1項)一態様に係る工業炉は、容器と、前記容器の内部空間に配置され、被処理物を収容する断熱体と、前記断熱体の内部空間に配置されたヒータと、一端と他端を有し、一端が前記断熱体の内部空間に配置され、他端が前記容器の外部に配置された筒体と、前記筒体の一端に形成されており、筒体の一端を封止する測定部と、前記筒体の他端に配置されたビューポートと、前記ビューポートを介して測定部の温度を測定する放射温度計と、前記放射温度計で測定された温度が入力され、ヒータの温度を制御する制御装置とを備える。 (Paragraph 1) The industrial furnace according to one aspect includes a container, a heat insulating body arranged in the internal space of the container and accommodating an object to be processed, a heater arranged in the internal space of the heat insulating body, and one end. A cylinder having the other end, one end being arranged in the internal space of the heat insulating body, and the other end being formed on a cylinder arranged outside the container and one end of the cylinder, sealing one end of the cylinder. A measuring unit to be stopped, a view port arranged at the other end of the cylinder, a radiation thermometer for measuring the temperature of the measuring unit via the view port, and a temperature measured by the radiation thermometer are input. , A control device for controlling the temperature of the heater is provided.
第1項に記載の工業炉によれば、筒体の一端を測定によって塞いでいるため、筒体の他端とビューポートの間に被処理物から放出された放出物が入りにくくなっている。ビューポートが放出物で汚れにくく、放射温度計で正確に温度測定しやすくなっている。測定部が筒体の一端で固定されているため、被処理物ごとに温度を測定する場所が変更されることはない。全ての被処理物に対して同一条件で温度測定することができる。 According to the industrial furnace described in paragraph 1, since one end of the cylinder is closed by measurement, it is difficult for the discharge discharged from the object to be processed to enter between the other end of the cylinder and the viewport. .. The viewport is less likely to get dirty with emissions, making it easier to accurately measure temperature with a radiation thermometer. Since the measuring unit is fixed at one end of the cylinder, the place where the temperature is measured does not change for each object to be processed. The temperature of all objects to be treated can be measured under the same conditions.
(第2項)ガス源と、前記筒体の他端付近に形成され、ガス源からのガスを筒体の内部に導入するための導入口と、前記ガス源と導入口をつなぐパイプとを備える。 (Item 2) A gas source, an introduction port formed near the other end of the cylinder and for introducing gas from the gas source into the inside of the cylinder, and a pipe connecting the gas source and the introduction port are provided. Be prepared.
第2項に記載の工業炉によれば、筒体の他端付近にガスが供給される。筒体の内部およびビューポートに被処理物から放出された放出物が付着しにくくなる。
According to the industrial furnace described in
(第3項)前記容器に取り付けられた内管と外管からなる二重配管を備え、該内管の内面で前記筒体が保持されている。 (Item 3) A double pipe composed of an inner pipe and an outer pipe attached to the container is provided, and the cylinder is held on the inner surface of the inner pipe.
第3項に記載の工業炉によれば、筒体と内管との間に隙間が生じてもガスによってビューポートに放出物が付着することを防止できる。 According to the industrial furnace described in item 3, even if a gap is formed between the cylinder and the inner pipe, it is possible to prevent the emission from adhering to the viewport due to the gas.
(第4項)前記断熱体の内部空間の温度を測定する熱電対温度計を備え、前記制御装置に放射温度計で測定された温度または熱電対温度計で測定された温度が入力され、前記制御装置がヒータの温度を制御する。 (Item 4) A thermocouple thermometer for measuring the temperature of the internal space of the heat insulating body is provided, and the temperature measured by the radiation thermometer or the temperature measured by the thermocouple thermometer is input to the control device. The control device controls the temperature of the heater.
第4項に記載の工業炉によれば、温度によって放射温度計と熱電対温度計を使い分けながらヒータの温度を制御することができる。 According to the industrial furnace described in the fourth item, the temperature of the heater can be controlled while using the radiation thermometer and the thermocouple thermometer properly according to the temperature.
(第5項)前記筒体の一端を封止する測定部と熱電対温度計の測定部分とが断熱体の内部空間の中心に対して対称な箇所に配置されている。 (Item 5) The measuring portion that seals one end of the tubular body and the measuring portion of the thermocouple thermometer are arranged at locations symmetrical with respect to the center of the internal space of the heat insulating body.
第5項に記載の工業炉によれば、測定部と熱電対温度計の測定部分が同じ温度の位置に配置されることで、放射温度計と熱電対温度計が同じ条件で温度測定できる。 According to the industrial furnace described in the fifth item, the radiation thermometer and the thermocouple thermometer can measure the temperature under the same conditions by arranging the measuring unit and the measuring portion of the thermocouple thermometer at the same temperature position.
その他、本考案は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。説明した各実施形態は独立したものではなく、当業者の知識に基づき適宜組み合わせて実施できるものである。 In addition, the present invention can be implemented in a mode in which various improvements, modifications, and changes are made based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the gist thereof. Each of the described embodiments is not independent and can be appropriately combined and implemented based on the knowledge of those skilled in the art.
10:工業炉
12:容器
14:容器の内部空間
16:断熱体
18:断熱体の内部空間
20:ヒータ
22:被処理物
26:ガス源
30、94:供給パイプ
34:ポンプ
38:排気パイプ
42:容器本体
44:容器蓋
46:内壁
48:外壁
50:断熱体本体
52:断熱体蓋
58、64、96:バルブ
66:温度測定装置
68:筒体
70:測定部
72:ビューポート
74:放射温度計
76:断熱体に形成された穴
77:穴を形成する内壁
78:内管
80:外管
82:二重管
84、86:治具
90:開口
92:ガスの導入口
98:熱電対温度計
100:制御装置
102:電力供給回路
104:配線
106:電流計
108:スイッチ
110:トランス
10: Industrial furnace 12: Container 14: Container internal space 16: Insulation body 18: Insulation body internal space 20: Heater 22: Object 26:
Claims (5)
前記容器の内部空間に配置され、被処理物を収容する断熱体と、
前記断熱体の内部空間に配置されたヒータと、
一端と他端を有し、一端が前記断熱体の内部空間に配置され、他端が前記容器の外部に配置された筒体と、
前記筒体の一端に形成されており、筒体の一端を封止する測定部と、
前記筒体の他端に配置されたビューポートと、
前記ビューポートを介して測定部の温度を測定する放射温度計と、
前記放射温度計で測定された温度が入力され、ヒータの温度を制御する制御装置と、
を備えた工業炉。 With the container
A heat insulating body arranged in the internal space of the container and accommodating an object to be treated,
A heater arranged in the internal space of the heat insulating body and
A cylinder having one end and the other end, one end arranged in the internal space of the heat insulating body and the other end arranged outside the container.
A measuring unit formed at one end of the cylinder and sealing one end of the cylinder,
A viewport located at the other end of the cylinder,
A radiation thermometer that measures the temperature of the measuring unit via the viewport,
A control device that controls the temperature of the heater by inputting the temperature measured by the radiation thermometer,
Industrial furnace equipped with.
前記筒体の他端付近に形成され、ガス源からのガスを筒体の内部に導入するための導入口と、
前記ガス源と導入口をつなぐパイプと、
を備えた請求項1の工業炉。 Gas source and
An introduction port formed near the other end of the cylinder and for introducing gas from a gas source into the cylinder,
The pipe that connects the gas source and the inlet,
The industrial furnace according to claim 1.
前記制御装置に放射温度計で測定された温度または熱電対温度計で測定された温度が入力され、前記制御装置がヒータの温度を制御する請求項1から3のいずれかの工業炉。 A thermocouple thermometer for measuring the temperature of the internal space of the heat insulating body is provided.
The industrial furnace according to any one of claims 1 to 3, wherein the temperature measured by a radiation thermometer or the temperature measured by a thermocouple thermometer is input to the control device, and the control device controls the temperature of the heater.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020005407U JP3230921U (en) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | Industrial furnace |
CN202120687701.2U CN214747152U (en) | 2020-12-15 | 2021-04-06 | Industrial furnace |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2020005407U JP3230921U (en) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | Industrial furnace |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3230921U true JP3230921U (en) | 2021-02-25 |
Family
ID=74661623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2020005407U Active JP3230921U (en) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | Industrial furnace |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3230921U (en) |
CN (1) | CN214747152U (en) |
-
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- 2020-12-15 JP JP2020005407U patent/JP3230921U/en active Active
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2021
- 2021-04-06 CN CN202120687701.2U patent/CN214747152U/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
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CN214747152U (en) | 2021-11-16 |
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