JP2021135017A - Industrial furnace - Google Patents

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Abstract

To provide an industrial furnace capable of easily removing an emission.SOLUTION: An industrial furnace 10 comprises: a pressure container 12 comprising an inner wall 44 and an outer wall 46; heat insulator 16 arranged at an internal space 14 of the pressure container 12 and comprising a heat insulator main body 56 and a heat insulator cover 58 opening/closing the heat insulator main body 56; a heater 20 arranged in an internal space 18 formed by the heat insulator 16; a gas source 26; and a feed pipe 30 connecting the gas source 26 with the internal space 14 of the pressure container 12 or the internal space 18 of the heat insulator 16. In a state where the heat insulator cover 58 of the heat insulator 16 is open, a gas is fed from the gas source 26 to the internal space 14 of the pressure container 12 and the internal space 18 of the heat insulator 16, and the heater 20 is heated.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、工業炉に関する。 The present invention relates to an industrial furnace.

従来、金属または磁性材料などからなる被処理物が真空または加圧環境下で熱処理されている。たとえば、下記の特許文献１は、真空チャンバ、その真空チャンバの中の断熱容器、その断熱容器の中の加熱ヒーターを備える。断熱容器の中に被処理物を配置する。加熱ヒーターで断熱容器の内部空間を昇温し、被処理物が処理される。 Conventionally, an object to be treated made of a metal or a magnetic material has been heat-treated in a vacuum or pressurized environment. For example, Patent Document 1 below includes a vacuum chamber, a heat insulating container in the vacuum chamber, and a heater in the heat insulating container. Place the object to be treated in a heat insulating container. The internal space of the heat insulating container is heated by a heater to treat the object to be treated.

国際公開番号 WO２０１６／１５８０２９International publication number WO2016 / 158209

被処理物を脱脂すると、被処理物からガス状のバインダー、粒子状のダスト、またはその両方を含む放出物が放出される。放出物が真空チャンバの内壁に付着すると、その付着した放出物を取り除く必要がある。真空チャンバと断熱容器との間の隙間が狭く、放出物を取り除きにくい。 When the object to be degreased is degreased, the object to be processed releases a release containing a gaseous binder, particulate dust, or both. Once the emissions have adhered to the inner wall of the vacuum chamber, the adhered emissions need to be removed. The gap between the vacuum chamber and the heat insulating container is narrow, making it difficult to remove emissions.

そこで本発明の目的は、放出物を簡単に除去できる工業炉を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial furnace capable of easily removing emissions.

以上の課題を解決すべく、本発明に係る工業炉は、以下に述べるような構成を有する。 In order to solve the above problems, the industrial furnace according to the present invention has the following configuration.

本発明の工業炉は、内壁および外壁を備えた容器状の圧力容器と、前記圧力容器の内部空間に配置され、断熱体本体および該断熱体本体を開閉する断熱体蓋を備えた断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ガス源と、前記ガス源から圧力容器の内部空間または断熱体の内部空間をつなぐ供給パイプとを備え、前記断熱体本体の断熱体蓋を開けた状態でガス源から圧力容器の内部空間および断熱体の内部空間にガスを供給し、ヒーターが加熱される。 The industrial furnace of the present invention includes a container-shaped pressure vessel having an inner wall and an outer wall, and a heat insulating body arranged in the internal space of the pressure vessel and having a heat insulating body and a heat insulating body lid for opening and closing the heat insulating body. A heater arranged in the internal space formed by the heat insulating body, a gas source, and a supply pipe connecting the gas source to the internal space of the pressure vessel or the internal space of the heat insulating body are provided, and the heat insulating body of the heat insulating body is insulated. With the body lid open, gas is supplied from the gas source to the internal space of the pressure vessel and the internal space of the heat insulating body, and the heater is heated.

断熱扉を開けた状態でヒーターが加熱されるため、内壁に付着した放出物を直接加熱し、溶融させることができる。溶融した放出物は圧力容器の下部に流れ落ちる。集まった放出物を除去することで、簡単に放出物を除去できる。 Since the heater is heated with the heat insulating door open, the discharge adhering to the inner wall can be directly heated and melted. The molten discharge flows down to the bottom of the pressure vessel. By removing the collected emissions, the emissions can be easily removed.

本発明の工業炉の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the industrial furnace of this invention. 圧力容器等の断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of a pressure vessel and the like. 電力供給回路の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the power supply circuit. 圧力容器の内部空間の上方に断熱体をずらした構成を示す図である。It is a figure which shows the structure which shifted the heat insulating body above the internal space of a pressure vessel. 圧力容器の下部に凹部を設けた図である。It is the figure which provided the concave part in the lower part of a pressure vessel.

本発明の工業炉について図面を参照して説明する。複数の実施形態を説明するが、異なる実施形態であっても同じ手段には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。 The industrial furnace of the present invention will be described with reference to the drawings. Although a plurality of embodiments will be described, the same means may be designated by the same reference numerals and description thereof may be omitted even in different embodiments.

[実施形態１]
図１に示す本願の工業炉１０は、容器状の圧力容器１２、その圧力容器１２の内部空間１４に配置された断熱体１６、その断熱体１６の内部空間１８に配置されたヒーター２０、被処理物２２が収容されるタイトボックス（インナーケース）２４、ガス源２６、そのガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８をつなぐ供給パイプ３０、排気ポンプ３２、その排気ポンプ３２とタイトボックス２４の内部空間２８をつなぐ第１排気パイプ３４、排気ポンプ３２と圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８をつなぐ第２排気パイプ３６、第１排気パイプ３４の途中に設けられた捕捉装置３８を備える。 [Embodiment 1]
The industrial furnace 10 of the present application shown in FIG. 1 includes a container-shaped pressure vessel 12, a heat insulating body 16 arranged in the internal space 14 of the pressure vessel 12, a heater 20 arranged in the internal space 18 of the heat insulating body 16, and a cover. A supply that connects the tight box (inner case) 24 in which the processed material 22 is housed, the gas source 26, the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulating body 16 and the internal space 28 of the tight box 24 from the gas source 26. The first exhaust pipe 34 connecting the pipe 30, the exhaust pump 32, the exhaust pump 32 and the internal space 28 of the tight box 24, and the second connecting the exhaust pump 32 with the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulating body 16. The exhaust pipe 36 and the capture device 38 provided in the middle of the first exhaust pipe 34 are provided.

工業炉１０は、焼結、半焼結、焼成、脱脂、ろう付け、メタライズ、焼き入れ、容体化処理、焼戻し、焼きなましまたは時効熱処理などをおこなうための炉である。 The industrial furnace 10 is a furnace for performing sintering, semi-sintering, firing, degreasing, brazing, metallizing, quenching, materialization treatment, tempering, annealing, aging heat treatment, and the like.

[圧力容器]
圧力容器１２は容器本体４０および容器蓋４２を備える。容器本体４０は円筒形状になっている（図２）。容器蓋４２は容器本体４０の両端を開閉するものである。容器本体４０の両端を容器蓋４２で閉じると、圧力容器１２の内部空間１４は気密にされた空間になる。圧力容器１２の内部空間１４は減圧されたり、加圧されたりする。圧力容器１２の耐圧はたとえば約１０ＭＰａであり、各種設計によって変更できる。 [Pressure vessel]
The pressure vessel 12 includes a container body 40 and a container lid 42. The container body 40 has a cylindrical shape (FIG. 2). The container lid 42 opens and closes both ends of the container body 40. When both ends of the container body 40 are closed by the container lid 42, the internal space 14 of the pressure vessel 12 becomes an airtight space. The internal space 14 of the pressure vessel 12 is decompressed or pressurized. The pressure resistance of the pressure vessel 12 is, for example, about 10 MPa, which can be changed by various designs.

圧力容器１２は内壁４４と外壁４６からなる二重構造であり、内壁４４と外壁４６の間を冷却液が流れる。工業炉１０は、冷却液を吐出する給液ポンプ４８、給液ポンプ４８から内壁４４と外壁４６の間に取り付けられた給液パイプ５０、内壁４４と外壁４６の間に取り付けられた排液パイプ５２、給液パイプ５０に設けられたバルブ５４を備える。 The pressure vessel 12 has a double structure including an inner wall 44 and an outer wall 46, and a coolant flows between the inner wall 44 and the outer wall 46. The industrial furnace 10 includes a liquid supply pump 48 that discharges coolant, a liquid supply pipe 50 that is attached between the liquid supply pump 48 and the inner wall 44 and the outer wall 46, and a drainage pipe that is attached between the inner wall 44 and the outer wall 46. 52, a valve 54 provided in the liquid supply pipe 50 is provided.

[断熱体]
断熱体１６は圧力容器１２の内部空間１４に配置されている。断熱体１６は断熱体本体５６および断熱体蓋５８を備える。断熱体本体５６は筒状になっている。断熱体蓋５８は断熱体本体５６の両端を開閉するものである。容器蓋４２が閉じた状態で断熱体蓋５８が開閉できるように、断熱体蓋５８の開閉装置（図示省略）を備える。断熱体１６はグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。 [Insulation]
The heat insulating body 16 is arranged in the internal space 14 of the pressure vessel 12. The heat insulating body 16 includes a heat insulating body body 56 and a heat insulating body lid 58. The heat insulating body 56 has a tubular shape. The heat insulating body lid 58 opens and closes both ends of the heat insulating body 56. An opening / closing device (not shown) for the heat insulating body lid 58 is provided so that the heat insulating body lid 58 can be opened / closed with the container lid 42 closed. The insulation 16 is made of a heat resistant material such as graphite felt or graphite foil.

[ヒーター]
断熱体１６の内部空間１８にヒーター２０が配置されている。ヒーター２０としてグラファイト製のロッドヒーターが挙げられる。ヒーター２０はタイトボックス２４に対して平行に配置されている。また、タイトボックス２４の周囲を回るように複数のヒーター２０が配置されている（図２）。 [heater]
The heater 20 is arranged in the internal space 18 of the heat insulating body 16. Examples of the heater 20 include a rod heater made of graphite. The heater 20 is arranged parallel to the tight box 24. Further, a plurality of heaters 20 are arranged so as to rotate around the tight box 24 (FIG. 2).

ヒーター２０に電力を供給するための電力供給回路６０は図３のようになっている。電力供給回路６０は三相交流の電力をヒーターに供給する。三相交流の３つの端子はＲ、Ｓ、Ｔである。電力供給回路６０は各端子Ｒ、Ｓ、Ｔにつながる配線６２、その配線６２に流れる電流を測定する電流計６４、電力供給する配線６２を選択するスイッチ６６、電力変換するトランス６８、スイッチ６６をオン・オフ制御する制御装置７０を備える。スイッチ６６はサイリスタなどの素子を使用できる。 The power supply circuit 60 for supplying power to the heater 20 is as shown in FIG. The power supply circuit 60 supplies three-phase alternating current power to the heater. The three terminals of three-phase alternating current are R, S, and T. The power supply circuit 60 includes wiring 62 connected to each terminal R, S, T, an ammeter 64 for measuring the current flowing through the wiring 62, a switch 66 for selecting the power supply wiring 62, a transformer 68 for power conversion, and a switch 66. A control device 70 for on / off control is provided. The switch 66 can use an element such as a thyristor.

制御装置７０はＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＰＬＣ（Programmable Logic Controller）などを備えた回路である。スイッチ６６がオンになるとトランス６８を介してヒーター２０に電力供給される。制御装置７０には電流計６４で測定された電流値および第１温度計７２で測定された温度が入力される。第１温度計７２は断熱体１６の内部空間１８の温度を計測する。断熱体１６の内部空間１８の温度が所定温度になるように制御装置７０がスイッチ６６のオン・オフを制御する。 The control device 70 is a circuit including a CPU (Central Processing Unit), a PLC (Programmable Logic Controller), or the like. When the switch 66 is turned on, power is supplied to the heater 20 via the transformer 68. The current value measured by the ammeter 64 and the temperature measured by the first thermometer 72 are input to the control device 70. The first thermometer 72 measures the temperature of the internal space 18 of the heat insulating body 16. The control device 70 controls the on / off of the switch 66 so that the temperature of the internal space 18 of the heat insulating body 16 becomes a predetermined temperature.

[タイトボックス]
断熱体１６の内部空間１８の中にタイトボックス２４が配置されている。タイトボックス２４はグラファイトなどで構成されている。タイトボックス２４はタイトボックス本体７４とタイトボックス蓋７６を備える。タイトボックス本体７４は筒状になっている。タイトボックス蓋７６はタイトボックス本体７４の両端を開閉する。タイトボックス蓋７６が開閉できるように、タイトボックス蓋７６の開閉装置（図示省略）を備える。タイトボックス本体７４の両端をタイトボックス蓋７６で閉じることで、タイトボックス２４の内部空間２８が密閉される。 [Tight box]
The tight box 24 is arranged in the internal space 18 of the heat insulating body 16. The tight box 24 is made of graphite or the like. The tight box 24 includes a tight box body 74 and a tight box lid 76. The tight box body 74 has a tubular shape. The tight box lid 76 opens and closes both ends of the tight box body 74. An opening / closing device (not shown) for the tight box lid 76 is provided so that the tight box lid 76 can be opened / closed. By closing both ends of the tight box body 74 with the tight box lid 76, the internal space 28 of the tight box 24 is sealed.

[被処理物]
タイトボックス２４の内部空間２８に被処理物２２が配置される。被処理物２２の材料は、超硬金属、鉄系金属、非鉄金属、磁性材料、セラミックス、グラファイト、ハイス鋼、ダイス鋼または低合金鋼などであり、金属は合金を含む。被処理物２２は、粉体または所定形状を有した固体である。 [Processed object]
The object to be processed 22 is arranged in the internal space 28 of the tight box 24. The material of the object to be treated 22 is a superhard metal, an iron-based metal, a non-ferrous metal, a magnetic material, ceramics, graphite, high-speed steel, die steel, low alloy steel, or the like, and the metal includes an alloy. The object to be treated 22 is a powder or a solid having a predetermined shape.

タイトボックス２４の中に被処理物２２が収容されることで、被処理物２２を脱脂処理したときに被処理物２２から放出される放出物がタイトボックス２４の外に放出されるのを低減させる。なお、タイトボックス２４を完璧に密閉することはできず、多少はタイトボックス２４の外に放出物が放出される。その放出物が内壁４４と断熱体１６の表面に付着する。工業炉１０を繰り返し使用すると放出物が内壁４４と断熱隊１６に積層される。積層された放出物の除去するための構成は後述する。 By accommodating the object to be processed 22 in the tight box 24, it is possible to reduce the release of the release from the object to be processed 22 to the outside of the tight box 24 when the object to be processed 22 is degreased. Let me. It should be noted that the tight box 24 cannot be completely sealed, and some discharge is discharged to the outside of the tight box 24. The emissions adhere to the surfaces of the inner wall 44 and the insulation 16. When the industrial furnace 10 is used repeatedly, the discharge is laminated on the inner wall 44 and the heat insulating corps 16. The configuration for removing the laminated emissions will be described later.

[ガス源]
ガス源２６は窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどを貯蔵、生成またはその両方をおこなう。ガス源２６と圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８は供給パイプ３０で接続されている。供給パイプ３０は分岐しており、それぞれにバルブ７８、８０が設けられている。バルブ７８、８０の開閉によってガスの流量を制御できる。ガス源２６から供給パイプ３０を介して圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスが導入される。ガス源２６を複数にして、複数種のガスを圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に供給してもよい。供給パイプ３０を複数設け、複数種のガスが供給されるようにする。なお、断熱体１６は完全に気密にされていないため、圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８の一方にガスを導入することで、他方にもガスを導入することができる。 [Gas source]
The gas source 26 stores, produces, or both stores nitrogen, argon, hydrogen, carbon monoxide, helium, methane, and the like. The gas source 26, the internal space 14 of the pressure vessel 12, the internal space 18 of the heat insulating body 16, and the internal space 28 of the tight box 24 are connected by a supply pipe 30. The supply pipe 30 is branched and is provided with valves 78 and 80, respectively. The gas flow rate can be controlled by opening and closing the valves 78 and 80. Gas is introduced from the gas source 26 into the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulating body 16 and the internal space 28 of the tight box 24 via the supply pipe 30. A plurality of gas sources 26 may be used to supply a plurality of types of gas to the internal space 14 of the pressure vessel 12, the internal space 18 of the heat insulating body 16, and the internal space 28 of the tight box 24. A plurality of supply pipes 30 are provided so that a plurality of types of gas can be supplied. Since the heat insulating body 16 is not completely airtight, by introducing gas into one of the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulating body 16, gas can be introduced into the other. ..

上記ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に供給されるガスは、放出物に対して直接熱伝導して加熱し、放出物を溶融させる。高温になったガスが放出物を加熱して溶融させることで、圧力容器１２の下部に溶融した放出物が流れ落ちる。 The gas supplied from the gas source 26 to the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulating body 16 and the internal space 28 of the tight box 24 is directly heat-conducted to the emitted material to be heated, and the emitted material is discharged. To melt. The high-temperature gas heats and melts the discharge, so that the melted discharge flows down to the lower part of the pressure vessel 12.

[排気ポンプ]
排気ポンプ３２は圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に対して排気をおこなう。排気ポンプ３２とタイトボックス２４の内部空間２８は第１排気パイプ３４で接続されている。排気ポンプ３２と圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８は第２排気パイプ３６で接続されている。排気ポンプ３２によって、圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８が減圧される。第１排気パイプ３４と第２排気パイプ３６にはそれぞれバルブ８２、８４が備えられていて、バルブ８２、８４の開閉によっても排気を制御することができる。なお、断熱体１６は完全に気密にされていないため、圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８の一方からガスを排気することで、他方もガスが排気される。 [Exhaust pump]
The exhaust pump 32 exhausts air to the internal space 14 of the pressure vessel 12, the internal space 18 of the heat insulating body 16, and the internal space 28 of the tight box 24. The exhaust pump 32 and the internal space 28 of the tight box 24 are connected by a first exhaust pipe 34. The exhaust pump 32 and the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulating body 16 are connected by a second exhaust pipe 36. The exhaust pump 32 decompresses the internal space 14 of the pressure vessel 12, the internal space 18 of the heat insulating body 16, and the internal space 28 of the tight box 24. The first exhaust pipe 34 and the second exhaust pipe 36 are provided with valves 82 and 84, respectively, and the exhaust can be controlled by opening and closing the valves 82 and 84, respectively. Since the heat insulating body 16 is not completely airtight, by exhausting the gas from one of the internal space 14 of the pressure vessel 12 or the internal space 18 of the heat insulating body 16, the gas is also exhausted from the other.

[捕捉装置]
被処理物２２が脱脂された際に、被処理物２２から放出されたガス状のバインダー、粒子状のダスト、またはその両方を含む放出物が放出される。第１排気パイプ３４に放出物を捕捉する捕捉装置３８が備えられている。捕捉装置３８はワックスタンク８６およびワックスフィルター８８を含む。ワックスタンク８６はバインダーを液状にして溜める装置である。ワックスフィルター８８は粒子状のダストを集塵する装置である。放出物が排気ポンプ３２まで到達されない。 [Capture device]
When the object to be treated 22 is degreased, a release containing gaseous binder, particulate dust, or both released from the object to be treated 22 is released. The first exhaust pipe 34 is provided with a catching device 38 that catches the exhaust gas. The capture device 38 includes a wax tank 86 and a wax filter 88. The wax tank 86 is a device that liquefies and stores the binder. The wax filter 88 is a device that collects particulate dust. The emissions do not reach the exhaust pump 32.

[給液ポンプ]
給液ポンプ４８は圧力容器１２の内壁４４と外壁４６の間に冷却液を供給する。給液ポンプ４８から内壁４４と外壁４６の間に給液パイプ５０が接続されている。給液ポンプ４８から給液パイプ５０を介して内壁４４と外壁４６の間に冷却液が供給できる。内壁４４と外壁４６の間から排液パイプ５２を通して冷却液が排液される。内壁４４と外壁４６の間を冷却液が流れ、圧力容器１２を冷却することができる。排液パイプ５２の途中に冷却装置９０を取り付けて冷却液を冷却し、再び給液ポンプ４８によって内壁４４と外壁４６の間に供給されてもよい。 [Liquid pump]
The liquid supply pump 48 supplies the cooling liquid between the inner wall 44 and the outer wall 46 of the pressure vessel 12. A liquid supply pipe 50 is connected from the liquid supply pump 48 between the inner wall 44 and the outer wall 46. Coolant can be supplied from the liquid supply pump 48 to the inner wall 44 and the outer wall 46 via the liquid supply pipe 50. The coolant is drained from between the inner wall 44 and the outer wall 46 through the drainage pipe 52. The cooling liquid flows between the inner wall 44 and the outer wall 46, and the pressure vessel 12 can be cooled. A cooling device 90 may be attached in the middle of the drainage pipe 52 to cool the coolant, and the liquid supply pump 48 may supply the cooling liquid between the inner wall 44 and the outer wall 46 again.

[バルブ]
給液パイプ５０にバルブ５４が取り付けられている。バルブ５４の開閉によって内壁４４と外壁４６の間への冷却液の供給を制御する。バルブ５４は通常開けられており、制御装置７０から信号が入力されることで閉じられる。制御装置７０が故障してバルブ５４に信号を送信できなくなった場合、バルブ５４が開けられていることで圧力容器１２の温度上昇を抑え、圧力容器１２を保護できる。 [valve]
A valve 54 is attached to the liquid supply pipe 50. By opening and closing the valve 54, the supply of the cooling liquid between the inner wall 44 and the outer wall 46 is controlled. The valve 54 is normally opened and closed when a signal is input from the control device 70. When the control device 70 fails to transmit a signal to the valve 54, the pressure vessel 12 can be protected by suppressing the temperature rise of the pressure vessel 12 by opening the valve 54.

[第２温度計]
圧力容器１２に第２温度計９２が取り付けられている。第２温度計９２は熱電対を備えた温度計である。第２温度計９２は複数備えられてもよい。第２温度計９２は圧力容器１２の温度、冷却液の温度またはその両方を測定する。圧力容器１２の温度は外壁４６、内壁４４またはその両方を測定する。冷却液の温度を計測する場合、バルブ５４が閉じられていれば内壁４４と外壁４６の間に溜まった冷却液の温度を計測し、バルブ５４が開けられていれば内壁４４と外壁４６の間を流れる冷却液の温度を計測する。圧力容器１２の温度または冷却液の温度を計測することで、圧力容器１２の温度が上昇しすぎないように監視することができる。 [Second thermometer]
A second thermometer 92 is attached to the pressure vessel 12. The second thermometer 92 is a thermometer provided with a thermocouple. A plurality of second thermometers 92 may be provided. The second thermometer 92 measures the temperature of the pressure vessel 12, the temperature of the coolant, or both. The temperature of the pressure vessel 12 measures the outer wall 46, the inner wall 44, or both. When measuring the temperature of the coolant, if the valve 54 is closed, the temperature of the coolant collected between the inner wall 44 and the outer wall 46 is measured, and if the valve 54 is opened, between the inner wall 44 and the outer wall 46. Measure the temperature of the coolant flowing through. By measuring the temperature of the pressure vessel 12 or the temperature of the coolant, it is possible to monitor the temperature of the pressure vessel 12 so that the temperature does not rise too much.

第２温度計９２は圧力容器１２の上部において、圧力容器１２の温度、内壁４４と外壁４６の間の冷却液の温度またはその両方の温度を計測する。圧力容器１２の温度は外壁４６、内壁４４またはその両方を測定する。熱が上方に移動しやすいためであり、圧力容器１２の下部の温度よりも上部の方の温度が高くなるためである。温度が高くなっている部分の温度を計測することで圧力容器１２の損傷を防止する。 At the upper part of the pressure vessel 12, the second thermometer 92 measures the temperature of the pressure vessel 12, the temperature of the coolant between the inner wall 44 and the outer wall 46, or both. The temperature of the pressure vessel 12 measures the outer wall 46, the inner wall 44, or both. This is because the heat easily moves upward, and the temperature at the upper part is higher than the temperature at the lower part of the pressure vessel 12. Damage to the pressure vessel 12 is prevented by measuring the temperature of the portion where the temperature is high.

さらに第２温度計９２は圧力容器１２の容器本体４０が容器蓋４２で閉じられる部分（フランジ）９４またはその部分９４の付近において、圧力容器１２の温度、内壁４４と外壁４６の間の冷却液の温度またはその両方の温度を計測する。圧力容器１２の温度は外壁４６、内壁４４またはその両方を測定する。上記部分９４は圧力容器１２を密閉するためにオーリングなどの弾性体が使用されており、その弾性体の付近の温度を計測する。弾性体が溶融しないように温度を監視する。 Further, the second thermometer 92 shows the temperature of the pressure vessel 12 and the coolant between the inner wall 44 and the outer wall 46 in the vicinity of the portion (flange) 94 or the portion 94 in which the container body 40 of the pressure vessel 12 is closed by the container lid 42. Measure the temperature of or both. The temperature of the pressure vessel 12 measures the outer wall 46, the inner wall 44, or both. An elastic body such as an O-ring is used in the portion 94 to seal the pressure vessel 12, and the temperature in the vicinity of the elastic body is measured. Monitor the temperature to prevent the elastic from melting.

制御装置７０は第２温度計９２の温度が入力される。第２温度計９２の温度が所定値未満であれば、バルブ５４に信号を送信し、バルブ５４を閉じる。第２温度計９２の温度が所定値以上であればバルブ５４に信号を送信せず、バルブ５４を開けた状態にする。圧力容器１２の温度が安全な温度に維持されるようにする。 The temperature of the second thermometer 92 is input to the control device 70. If the temperature of the second thermometer 92 is less than a predetermined value, a signal is transmitted to the valve 54 and the valve 54 is closed. If the temperature of the second thermometer 92 is equal to or higher than a predetermined value, no signal is transmitted to the valve 54 and the valve 54 is opened. The temperature of the pressure vessel 12 is maintained at a safe temperature.

[ファン]
圧力容器１２の内部空間１４にファン９６が備えられる。ファン９６は、容器蓋４２が閉じられ、断熱体蓋５８が開けられたときに回転する。圧力容器１２の内部空間１４および断熱体１６の内部空間１８をガスが循環する。タイトボックス蓋７６が開けられる場合もある。ファン９６を回転させるためのモーター９８が容器蓋４２に取り付けられている。 [fan]
A fan 96 is provided in the internal space 14 of the pressure vessel 12. The fan 96 rotates when the container lid 42 is closed and the heat insulating body lid 58 is opened. The gas circulates in the internal space 14 of the pressure vessel 12 and the internal space 18 of the heat insulating body 16. The tight box lid 76 may be opened. A motor 98 for rotating the fan 96 is attached to the container lid 42.

断熱体本体５６からファン９６につながるガイド１００を設けてもよい。ガイド１００によって循環するガスの方向を定める。ガスの方向を定められればガイド１００の形状は限定されない。圧力容器１２は二重構造になっており、その内部に冷却液が流れるため、その冷却液によって循環するガスが冷却される。ファン９６と断熱体１６の間に水冷式の熱交換器１０２を配置し、その熱交換器１０２でもガスを冷却してもよい。 A guide 100 connected from the heat insulating body 56 to the fan 96 may be provided. The guide 100 determines the direction of the circulating gas. The shape of the guide 100 is not limited as long as the direction of the gas is determined. Since the pressure vessel 12 has a double structure and the cooling liquid flows inside the pressure vessel 12, the circulating gas is cooled by the cooling liquid. A water-cooled heat exchanger 102 may be arranged between the fan 96 and the heat insulator 16, and the heat exchanger 102 may also cool the gas.

[熱処理]
次に本願の工業炉１０を使用した熱処理について説明する。なお、説明する熱処理は一例であり、被処理物２２の種類および処理方法に応じて適宜変更される。 [Heat treatment]
Next, the heat treatment using the industrial furnace 10 of the present application will be described. The heat treatment to be described is an example, and is appropriately changed depending on the type of the object to be treated 22 and the treatment method.

（１）タイトボックス２４の内部空間２８に被処理物２２を収容し、タイトボックス蓋７６、断熱体蓋５８および容器蓋４２を閉じる。 (1) The object to be processed 22 is housed in the internal space 28 of the tight box 24, and the tight box lid 76, the heat insulating body lid 58, and the container lid 42 are closed.

（２）排気ポンプ３２により排気をおこない、圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８を所定の圧力に制御する。この排気と同時に、ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスを導入し、それらの空間１４、１８、２８を所定のガスで満たす。 (2) Exhaust is performed by the exhaust pump 32, and the internal space 14 of the pressure vessel 12, the internal space 18 of the heat insulating body 16, and the internal space 28 of the tight box 24 are controlled to predetermined pressures. At the same time as this exhaust, gas is introduced from the gas source 26 into the internal space 14 of the pressure vessel 12, the internal space 18 of the heat insulating body 16, and the internal space 28 of the tight box 24, and the spaces 14, 18 and 28 are designated gas. Fill with.

（３）制御装置７０がスイッチ６６を制御してヒーター２０に電力供給し、断熱体１６の内部空間１８を昇温させる。断熱体１６の内部空間１８に配置されたタイトボックス２４が加熱され、さらに被処理物２２が加熱される。 (3) The control device 70 controls the switch 66 to supply electric power to the heater 20 to raise the temperature of the internal space 18 of the heat insulating body 16. The tight box 24 arranged in the internal space 18 of the heat insulating body 16 is heated, and the object to be processed 22 is further heated.

タイトボックス２４の内部空間２８にある被処理物２２の温度が上昇し、被処理物２２が脱脂される。脱脂するときに、排気ポンプ３２を駆動させ、被処理物２２から生じた放出物は第１排気パイプ３４の途中にあるワックスタンク８６とワックスフィルター８８に溜められる。必要に応じてガス源２６からタイトボックス２４の内部空間２８にガスを供給する。吸気と排気によってタイトボックス２４の内部空間２８を所定の圧力にする。タイトボックス２４の内部空間２８以外に圧力容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８にもガス源２６からガスを供給してもよい。 The temperature of the object to be processed 22 in the internal space 28 of the tight box 24 rises, and the object to be processed 22 is degreased. At the time of degreasing, the exhaust pump 32 is driven, and the discharge generated from the object to be processed 22 is stored in the wax tank 86 and the wax filter 88 in the middle of the first exhaust pipe 34. If necessary, gas is supplied from the gas source 26 to the internal space 28 of the tight box 24. The internal space 28 of the tight box 24 is brought to a predetermined pressure by intake and exhaust. In addition to the internal space 28 of the tight box 24, the gas may be supplied from the gas source 26 to the internal space 14 of the pressure vessel 12 and the internal space 18 of the heat insulating body 16.

熱膨張によってタイトボックス２４が完全に密閉されない。そのため、一部の放出物がタイトボックス２４の外に放出される。放出物は内壁４４および断熱体１６に付着する。 The tight box 24 is not completely sealed due to thermal expansion. Therefore, some of the emissions are released out of the tight box 24. The emissions adhere to the inner wall 44 and the insulation 16.

（４）被処理物２２の脱脂が完了した後、ヒーター２０に流す電流の値を変えて、断熱体１６の内部空間１８の温度を変える。たとえば、ヒーター２０に流れる電流を増加させ、被処理物２２の温度を高める。たとえば、約１５００℃以上で被処理物２２を熱処理する。 (4) After the degreasing of the object to be processed 22 is completed, the value of the current flowing through the heater 20 is changed to change the temperature of the internal space 18 of the heat insulating body 16. For example, the current flowing through the heater 20 is increased to raise the temperature of the object 22 to be processed. For example, the object to be processed 22 is heat-treated at about 1500 ° C. or higher.

（５）被処理物２２が熱処理された後、被処理物２２を冷却する。断熱体蓋５８とタイトボックス蓋７６を開ける。ファン９６を回転させてガスを循環させ、被処理物２２を冷却させる。冷却する際、ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスを導入してもよい。 (5) After the object to be processed 22 is heat-treated, the object to be processed 22 is cooled. Open the heat insulating body lid 58 and the tight box lid 76. The fan 96 is rotated to circulate the gas and cool the object 22 to be processed. When cooling, gas may be introduced from the gas source 26 into the internal space 14 of the pressure vessel 12, the internal space 18 of the heat insulating body 16, and the internal space 28 of the tight box 24.

また、給液ポンプ４８を駆動させる。内壁４４と外壁４６の間に冷却液を供給し、圧力容器１２を冷却する。圧力容器１２が冷却されることで、圧力容器１２の内壁４４に触れたガスが冷却される。熱交換器１０２によって循環するガスを冷却してもよい。ガスが冷却されることで、被処理物２２がガスに触れて冷却される。 It also drives the liquid supply pump 48. A coolant is supplied between the inner wall 44 and the outer wall 46 to cool the pressure vessel 12. By cooling the pressure vessel 12, the gas touching the inner wall 44 of the pressure vessel 12 is cooled. The gas circulated by the heat exchanger 102 may be cooled. As the gas is cooled, the object to be processed 22 comes into contact with the gas and is cooled.

被処理物２２が冷却されれば、容器蓋４２、断熱体蓋５８およびタイトボックス蓋７６を開け、被処理物２２を取り出す。 When the object to be processed 22 is cooled, the container lid 42, the heat insulating body lid 58 and the tight box lid 76 are opened, and the object to be processed 22 is taken out.

以上の工程で被処理物２２に対する熱処理が完了する。熱処理を繰り返すと、内壁４４および断熱体１６に付着した放出物の厚みが厚くなる。特に内壁４４は冷却液によって冷却されるため、放出物の厚みが厚くなりやすい。次に、その放出物の除去方法について説明する。 The heat treatment for the object to be processed 22 is completed by the above steps. When the heat treatment is repeated, the thickness of the discharged material adhering to the inner wall 44 and the heat insulating body 16 becomes thicker. In particular, since the inner wall 44 is cooled by the cooling liquid, the thickness of the discharged material tends to increase. Next, a method for removing the emission will be described.

（Ａ）容器蓋４２を閉じ、断熱体蓋５８を開けた状態でヒーター２０に電力供給する。圧力容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８を昇温させる。このとき、制御装置７０からバルブ５４に信号を送り、バルブ５４を閉じる。冷却液が内壁４４と外壁４６の間を循環しないようにする。圧力容器１２が冷却されず、少なくとも圧力容器１２の内壁４４が昇温される。 (A) Power is supplied to the heater 20 with the container lid 42 closed and the heat insulating body lid 58 open. The temperature of the internal space 14 of the pressure vessel 12 and the internal space 18 of the heat insulating body 16 are raised. At this time, a signal is sent from the control device 70 to the valve 54 to close the valve 54. Prevent the coolant from circulating between the inner wall 44 and the outer wall 46. The pressure vessel 12 is not cooled, and at least the inner wall 44 of the pressure vessel 12 is heated.

ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４および断熱体１６の内部空間１８にガスを供給してもよい。供給するガスは圧力容器１２、断熱体１６およびタイトボックス２４などを腐食させないガスが良い。供給するガスは窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどである。ファン９６を回転させて圧力容器１２の内部空間１４でガスを循環させてもよい。 Gas may be supplied from the gas source 26 to the internal space 14 of the pressure vessel 12 and the internal space 18 of the heat insulating body 16. The gas to be supplied is preferably a gas that does not corrode the pressure vessel 12, the heat insulating body 16, the tight box 24, and the like. The gas to be supplied is nitrogen, argon, hydrogen, carbon monoxide, helium, methane and the like. The fan 96 may be rotated to circulate the gas in the internal space 14 of the pressure vessel 12.

（Ｂ）圧力容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８が昇温されることで、放出物が溶融する。さらに、ガスがヒーター２０で加熱されて放出物に直接熱伝導することで、放出物が溶融される。溶融した放出物は重力によって圧力容器１２の内壁４４の下部に集まる。 (B) The discharge is melted by raising the temperature of the internal space 14 of the pressure vessel 12 and the internal space 18 of the heat insulating body 16. Further, the gas is heated by the heater 20 and conducts heat directly to the discharge, so that the discharge is melted. The melted discharge is collected by gravity at the lower part of the inner wall 44 of the pressure vessel 12.

断熱体蓋５８が開けられ、かつ冷却液の供給を停止しているため、圧力容器１２の内部空間１４の温度が上昇する。圧力容器１２が所定温度以上にならないようにする。たとえば、圧力容器１２の容器本体４０が容器蓋４２で閉じられる部分９４の温度が所定温度以上にならないようにして、その部分９４に使用されている弾性体が溶融しないようにする。所定温度は弾性体の溶融温度よりも低くする。第２温度計９２で計測された温度が所定温度以上になっていれば、バルブ５４を開けて冷却液を流す。 Since the heat insulating body lid 58 is opened and the supply of the cooling liquid is stopped, the temperature of the internal space 14 of the pressure vessel 12 rises. Prevent the pressure vessel 12 from exceeding a predetermined temperature. For example, the temperature of the portion 94 in which the container body 40 of the pressure vessel 12 is closed by the container lid 42 is prevented from exceeding a predetermined temperature so that the elastic body used in the portion 94 does not melt. The predetermined temperature is lower than the melting temperature of the elastic body. If the temperature measured by the second thermometer 92 is equal to or higher than the predetermined temperature, the valve 54 is opened to allow the coolant to flow.

（C）ヒーター２０への電力供給を停止する。制御装置７０からバルブ５４に信号を送信する。圧力容器１２が冷却されれば、容器蓋４２を開ける。圧力容器１２の内壁４４の下部に集まった放出物を圧力容器１２の外に棒等で掻き出すことで、放出物を除去する。 (C) Stop the power supply to the heater 20. A signal is transmitted from the control device 70 to the valve 54. When the pressure vessel 12 is cooled, the vessel lid 42 is opened. The discharge collected at the lower part of the inner wall 44 of the pressure vessel 12 is scraped out of the pressure vessel 12 with a stick or the like to remove the discharge.

以上のように、本願は圧力容器１２の内壁４４などに付着した放出物を溶融させて除去しやすくしている。 As described above, in the present application, the discharge adhering to the inner wall 44 or the like of the pressure vessel 12 is melted and easily removed.

[実施形態２]
第２温度計９２は圧力容器１２の上部において、圧力容器１２、冷却液またはその両方を測定する以外に、圧力容器１２の他の部分で圧力容器１２、冷却液またはその両方を測定してもよい。圧力容器１２の複数の部分で温度を測定して最も温度の高い値に基づいて制御装置７０がバルブ５４の開閉を制御する。 [Embodiment 2]
In addition to measuring the pressure vessel 12, the coolant, or both at the top of the pressure vessel 12, the second thermometer 92 may measure the pressure vessel 12, the coolant, or both at other parts of the pressure vessel 12. good. The temperature is measured in a plurality of parts of the pressure vessel 12, and the control device 70 controls the opening and closing of the valve 54 based on the highest temperature value.

[実施形態３]
放出物を除去するために、制御装置７０はヒーター２０に流れる電流を制御してもよい。制御装置７０に入力された温度および電流値に応じてスイッチ６６のオン・オフを制御する。第２温度計９２で計測される温度が所定値以上にならないようにヒーター２０に供給する電力を制御する。なお、第２温度計９２で計測される温度が所定値以上になった場合、制御装置７０からバルブ５４に信号を送信してバルブ５４を開けてもよい。 [Embodiment 3]
To remove the emissions, the control device 70 may control the current flowing through the heater 20. The on / off of the switch 66 is controlled according to the temperature and current values input to the control device 70. The electric power supplied to the heater 20 is controlled so that the temperature measured by the second thermometer 92 does not exceed a predetermined value. When the temperature measured by the second thermometer 92 exceeds a predetermined value, a signal may be transmitted from the control device 70 to the valve 54 to open the valve 54.

[実施形態４]
バルブ５４の制御は上述した方法に限定されない。制御装置７０からバルブ５４に信号を送信することでバルブ５４を開けてもよい。バルブ５４は所定温度以上で開けられ、所定温度未満で閉じられれば、バルブ５４の制御方法は限定されない。 [Embodiment 4]
The control of the valve 54 is not limited to the method described above. The valve 54 may be opened by transmitting a signal from the control device 70 to the valve 54. As long as the valve 54 is opened above a predetermined temperature and closed below a predetermined temperature, the control method of the valve 54 is not limited.

[実施形態５]
バルブ５４の開閉以外に、給液ポンプ４８の駆動と停止によって冷却液の供給を制御してもよい。冷却液を供給するときに給液ポンプ４８が駆動される。バルブ５４を省略してもよい。給液ポンプ４８の駆動は制御装置７０によって制御される。 [Embodiment 5]
In addition to opening and closing the valve 54, the supply of the coolant may be controlled by driving and stopping the liquid supply pump 48. The liquid supply pump 48 is driven when the coolant is supplied. The valve 54 may be omitted. The drive of the liquid supply pump 48 is controlled by the control device 70.

[実施形態６]
図４に示すように、断熱体本体５６を圧力容器１２の内部空間１４の上部にずれるように配置してもよい。圧力容器１２の内部空間１４の下部において、内壁４４と断熱体本体５６の隙間が大きくなり、放出物を除去しやすくなる。 [Embodiment 6]
As shown in FIG. 4, the heat insulating body 56 may be arranged so as to be displaced above the internal space 14 of the pressure vessel 12. In the lower part of the internal space 14 of the pressure vessel 12, the gap between the inner wall 44 and the heat insulating body 56 becomes large, and it becomes easy to remove the discharged material.

図５に示すように、圧力容器１２の下部に凹部１１０を設け、放出物が凹部１１０に溜まるようにしてもよい。凹部１１０に傾斜を設け、一か所に放出物が集まるようにしてもよい。 As shown in FIG. 5, a recess 110 may be provided in the lower part of the pressure vessel 12 so that the discharged material collects in the recess 110. The recess 110 may be inclined so that the discharge can be collected in one place.

（第１項）一態様に係る工業炉は、内壁および外壁を備えた容器状の圧力容器と、前記圧力容器の内部空間に配置され、断熱体本体および該断熱体本体を開閉する断熱体蓋を備えた断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ガス源と、前記ガス源から圧力容器の内部空間または断熱体の内部空間をつなぐ供給パイプとを備え、前記断熱体の断熱体蓋を開けた状態でガス源から圧力容器の内部空間および断熱体の内部空間にガスを供給し、ヒーターが加熱される。 (Clause 1) The industrial furnace according to one aspect is a container-shaped pressure vessel provided with an inner wall and an outer wall, and a heat insulating body lid which is arranged in the internal space of the pressure vessel and opens and closes the heat insulating body and the heat insulating body. A heat insulating body provided with the above, a heater arranged in the internal space formed by the heat insulating body, a gas source, and a supply pipe connecting the gas source to the internal space of the pressure vessel or the internal space of the heat insulating body. With the heat insulating body lid of the heat insulating body opened, gas is supplied from the gas source to the internal space of the pressure vessel and the internal space of the heat insulating body, and the heater is heated.

第１項に記載の工業炉によれば、断熱体蓋を開けた状態でヒーターが加熱されるため、内壁に付着した放出物を直接加熱し、溶融させることができる。溶融した放出物は圧力容器の下部に流れ落ちる。集まった放出物を除去することで、簡単に放出物を除去できる。 According to the industrial furnace according to the first item, since the heater is heated with the heat insulating body lid open, the discharge adhering to the inner wall can be directly heated and melted. The molten discharge flows down to the bottom of the pressure vessel. By removing the collected emissions, the emissions can be easily removed.

（第２項）前記ガスは前記圧力容器または前記断熱体に付着した放出物を直接加熱し、溶融させるガスである。 (Item 2) The gas is a gas that directly heats and melts the discharge adhering to the pressure vessel or the heat insulating body.

第２項に記載の工業炉によれば、圧力容器または断熱体に付着した放出物を溶融させることで、放出物を除去できる。 According to the industrial furnace according to the second item, the discharge can be removed by melting the discharge attached to the pressure vessel or the heat insulating body.

（第３項）冷却液を吐出する給液ポンプと、前記給液ポンプから前記圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液を導く給液パイプとを備える。 (Item 3) A liquid supply pump for discharging the coolant and a liquid supply pipe for guiding the coolant from the liquid supply pump between the inner wall and the outer wall of the pressure vessel are provided.

第３項に記載の工業炉によれば、圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液を流し、圧力容器を冷却することができる。 According to the industrial furnace according to the third item, the pressure vessel can be cooled by flowing a cooling liquid between the inner wall and the outer wall of the pressure vessel.

（第４項）前記圧力容器、冷却液またはその両方の温度を測定する温度計を備え、前記温度計で測定された温度が所定以上の場合に、給液ポンプから圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液が導かれる。 (Item 4) A thermometer for measuring the temperature of the pressure vessel, the coolant, or both is provided, and when the temperature measured by the thermometer is equal to or higher than a predetermined value, the liquid supply pump is used to connect the inner wall and the outer wall of the pressure vessel. A coolant is guided between them.

第４項に記載の工業炉によれば、圧力容器が所定温度以上にならないようにすることで、圧力容器を保護できる。 According to the industrial furnace according to the fourth item, the pressure vessel can be protected by preventing the pressure vessel from exceeding a predetermined temperature.

（第５項）前記温度計が圧力容器の上部の温度、圧力容器の上部の内壁と外壁の間にある冷却液の温度、またはその両方を測定する。 (Item 5) The thermometer measures the temperature of the upper part of the pressure vessel, the temperature of the coolant between the inner wall and the outer wall of the upper part of the pressure vessel, or both.

第５項に記載の工業炉によれば、圧力容器の温度が上昇しやすい部分の温度を測定することで、圧力容器の温度が所定温度を超えないように制御することができる。 According to the industrial furnace according to the fifth item, the temperature of the pressure vessel can be controlled so as not to exceed a predetermined temperature by measuring the temperature of the portion where the temperature of the pressure vessel tends to rise.

（第６項）前記圧力容器の内部空間にファンを備える。 (Section 6) A fan is provided in the internal space of the pressure vessel.

第６項に記載の工業炉によれば、圧力容器内のガスを循環させて、均一に放出物を加熱することができる。 According to the industrial furnace according to the sixth item, the gas in the pressure vessel can be circulated to uniformly heat the discharge.

その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。説明した各実施形態は独立したものではなく、当業者の知識に基づき適宜組み合わせて実施できるものである。 In addition, the present invention can be carried out in a mode in which various improvements, modifications and changes are made based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the gist thereof. Each of the described embodiments is not independent and can be appropriately combined and implemented based on the knowledge of those skilled in the art.

１０：工業炉
１２：圧力容器
１４：圧力容器の内部空間
１６：断熱体
１８：断熱体の内部空間
２０：ヒーター
２２：被処理物
２４：タイトボックス
２６：ガス源
２８：タイトボックスの内部空間
３２：排気パイプ
４４：圧力容器の内壁
４６：圧力容器の外壁
４８：給液ポンプ
５０：給液パイプ
５４：バルブ 10: Industrial furnace 12: Pressure vessel 14: Pressure vessel internal space 16: Insulation body 18: Insulation body internal space 20: Heater 22: Object 24: Tight box 26: Gas source 28: Tight box internal space 32 : Exhaust pipe 44: Inner wall of pressure vessel 46: Outer wall of pressure vessel 48: Liquid supply pump 50: Liquid supply pipe 54: Valve

Claims (6)

内壁および外壁を備えた容器状の圧力容器と、
前記圧力容器の内部空間に配置され、断熱体本体および該断熱体本体を開閉する断熱体蓋を備えた断熱体と、
前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、
ガス源と、
前記ガス源から圧力容器の内部空間または断熱体の内部空間をつなぐ供給パイプと、
を備え、
前記断熱体本体の断熱体蓋を開けた状態でガス源から圧力容器の内部空間および断熱体の内部空間にガスを供給し、ヒーターが加熱される工業炉。 A container-shaped pressure vessel with an inner wall and an outer wall,
A heat insulating body arranged in the internal space of the pressure vessel and provided with a heat insulating body body and a heat insulating body lid for opening and closing the heat insulating body body, and a heat insulating body.
A heater arranged in the internal space formed by the heat insulating body and
Gas source and
A supply pipe connecting the gas source to the internal space of the pressure vessel or the internal space of the heat insulating body,
With
An industrial furnace in which a heater is heated by supplying gas from a gas source to the internal space of a pressure vessel and the internal space of a heat insulating body with the heat insulating body lid of the heat insulating body opened. 前記ガスは前記圧力容器または前記断熱体に付着した放出物を直接加熱し、溶融させるガスである請求項１の工業炉。 The industrial furnace according to claim 1, wherein the gas is a gas that directly heats and melts a discharge adhering to the pressure vessel or the heat insulating body. 冷却液を吐出する給液ポンプと、
前記給液ポンプから前記圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液を導く給液パイプと、
を備えた請求項１または２の工業炉。 A liquid supply pump that discharges coolant and
A liquid supply pipe that guides the coolant from the liquid supply pump between the inner wall and the outer wall of the pressure vessel,
The industrial furnace according to claim 1 or 2. 前記圧力容器、冷却液またはその両方の温度を測定する温度計を備え、
前記温度計で測定された温度が所定以上の場合に、給液ポンプから圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液が導かれる請求項３の工業炉。 A thermometer for measuring the temperature of the pressure vessel, the coolant, or both is provided.
The industrial furnace according to claim 3, wherein the coolant is guided from the liquid supply pump between the inner wall and the outer wall of the pressure vessel when the temperature measured by the thermometer is equal to or higher than a predetermined temperature. 前記温度計が圧力容器の上部の温度、圧力容器の上部の内壁と外壁の間にある冷却液の温度、またはその両方を測定する請求項４の工業炉。 The industrial furnace according to claim 4, wherein the thermometer measures the temperature of the upper part of the pressure vessel, the temperature of the coolant between the inner wall and the outer wall of the upper part of the pressure vessel, or both. 前記圧力容器の内部空間にファンを備えた請求項１から５のいずれかの工業炉。 The industrial furnace according to any one of claims 1 to 5, wherein a fan is provided in the internal space of the pressure vessel.
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