JP7394711B2 - 測定器及びシースの厚さを求める方法 - Google Patents
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Description
Claims (9)
- プラズマ処理装置の基板支持器上に載置可能な基板と、
前記基板内又は該基板上に設けられており、マイクロ波を生成するように構成された送信回路と、
前記基板内又は該基板上に設けられており、前記送信回路によって生成されるマイクロ波を送信波として送信するように構成された送信アンテナと、
前記基板内又は該基板上に設けられており、前記基板支持器の上方のプラズマによる前記送信波の反射波を少なくとも一つの受信波として受信するように構成された少なくとも一つの受信アンテナと、
前記基板内又は該基板上に設けられており、前記少なくとも一つの受信波から前記基板と前記プラズマとの間におけるシースの厚さを反映する少なくとも一つの信号を生成するように構成された受信復調回路と、
前記基板内又は該基板上に設けられており、前記少なくとも一つの信号から前記厚さを求めるように構成された演算器と、
を備える測定器。 - 前記少なくとも一つの受信アンテナとして、複数の受信アンテナを備え、
前記複数の受信アンテナは、前記送信波の送信方向の前記基板に平行な方向成分に沿って配列されており、
前記受信復調回路は、前記複数の受信アンテナによってそれぞれ受信される複数の受信波の強度を表す複数の信号を生成するように構成されており、
前記演算器は、前記複数の信号から前記厚さを求めるように構成されている、
請求項1に記載の測定器。 - 前記送信アンテナは、前記送信回路から出力される前記マイクロ波のパルスを前記送信波として送信し、
前記受信復調回路は、前記少なくとも一つの受信波の強度を表す前記少なくとも一つの信号を生成するように構成されており、
前記演算器は、前記送信波に対する前記少なくとも一つの受信波の遅延時間を前記少なくとも一つの信号から求め、該遅延時間から前記厚さを求めるように構成されている、
請求項1に記載の測定器。 - 前記少なくとも一つの受信アンテナとして、複数の受信アンテナを備え、
前記複数の受信アンテナは、前記送信波の送信方向の前記基板に平行な方向成分に沿って配列されており、
前記受信復調回路は、前記複数の受信アンテナによってそれぞれ受信される複数の受信波の強度を表す複数の信号を生成するように構成されており、
前記演算器は、前記送信波に対する前記複数の受信波それぞれの複数の遅延時間を前記複数の信号から求め、該複数の遅延時間から前記厚さを求めるように構成されている、
請求項3に記載の測定器。 - 前記受信復調回路は、前記送信波と前記少なくとも一つの受信波との間の位相差を表す前記少なくとも一つの信号を生成するように構成されている、請求項1に記載の測定器。
- 前記送信回路は、前記送信波の周波数を交互に単調増加及び単調減少させるように構成されており、
前記受信復調回路は、前記送信波と前記少なくとも一つの受信波とのミキシングにより、前記シースの厚さを反映するビート周波数を有する中間周波数信号を前記少なくとも一つの信号として生成するように構成されている、
請求項1に記載の測定器。 - 前記送信回路は、前記送信波の周波数よりも低い所定の周波数を有する基準信号に同期して前記送信波の送信方向が前記基板に対してなす角度を増減させるように前記送信波の送信方向を走査するように構成されており、
前記受信復調回路は、前記少なくとも一つの受信波に含まれる前記所定の周波数の成分の信号を前記少なくとも一つの信号として生成するように構成されており、
前記演算器は、前記基準信号と前記少なくとも一つの信号との間の位相差から前記厚さを求めるように構成されている、
請求項1に記載の測定器。 - 前記送信波は、ミリ波である、請求項1~7の何れか一項に記載の測定器。
- a)プラズマ処理装置のチャンバ内で基板支持器上に測定器を載置する工程であり、該測定器は、
前記プラズマ処理装置の前記基板支持器上に載置可能な基板と、
前記基板内又は該基板上に設けられており、マイクロ波を生成するように構成された送信回路と、
前記基板内又は該基板上に設けられており、前記送信回路によって生成されるマイクロ波を送信波として送信するように構成された送信アンテナと、
前記基板内又は該基板上に設けられており、前記基板支持器の上方のプラズマによる前記送信波の反射波を少なくとも一つの受信波として受信するように構成された少なくとも一つの受信アンテナと、
前記基板内又は該基板上に設けられており、前記少なくとも一つの受信波から前記基板と前記プラズマとの間におけるシースの厚さを反映する少なくとも一つの信号を生成するように構成された受信復調回路と、
前記基板内又は該基板上に設けられており、前記少なくとも一つの信号から前記厚さを求めるように構成された演算器と、
を備える、該工程と、
b)前記プラズマ処理装置のチャンバ内でプラズマを生成する工程と、
c)前記チャンバ内で前記プラズマが生成されているときに、前記基板支持器上に載置されている前記測定器の前記演算器において前記少なくとも一つの信号から前記厚さを求める工程と、
を含む、シースの厚さを求める方法。
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