JP7394705B2 - ガイド部材 - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 14
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 4
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
)がエアスライド面2eを有していることにより、エアスライド面2eには、複数の部材の組み合わせによる境目は存在しないため、平面度規格(8μm)を満たすことができる。このように、本開示のガイド部材10は、複数の部材の組み合わせにより長尺化が図られたものであっても、平面度規格を満たすことができる構造である。本開示のガイド部材10は、エアスライド面2eの一軸方向における平面度が5μm以下も可能である。
た値である含有量が70質量%以上であれば、その材質は酸化アルミニウム質セラミックスである。
しておけばよい。
1d:角部
1e:窪み部
2(2a~2d):第2部材
2e:エアスライド面
3:中空部
4:第3部材
5;溝部
10、20、30、40、50:ガイド部材
Claims (7)
- 一軸方向に並んで位置する、複数の第1部材と、
前記一軸方向において一体であり、前記第1部材の外周において、前記一軸方向に並ぶ前記複数の第1部材に跨って位置する、複数の第2部材と、を備え、
前記第1部材の外周の周方向にあたる、前記第2部材における外表面がエアスライド面である、ガイド部材。 - 前記第1部材が、前記一軸方向に直交する断面形状が四角形状であり、前記第2部材が、前記第1部材の角部に沿うように位置している、請求項1に記載のガイド部材。
- 前記第1部材は、前記一軸方向に沿った窪み部を有し、該窪み部に前記第2部材が位置している、請求項1または請求項2に記載のガイド部材。
- 前記複数の第1部材が、前記一軸方向における長さが同じであり、3+2n個(n≧0)の組み合わせである、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のガイド部材。
- 前記複数の第1部材の少なくとも一つが中空である、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のガイド部材。
- 前記一軸方向における長さが1.5m以上である、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のガイド部材。
- 前記エアスライド面は、前記一軸方向における平面度が5μm以下である、請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のガイド部材。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019101504 | 2019-05-30 | ||
JP2019101504 | 2019-05-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020197303A JP2020197303A (ja) | 2020-12-10 |
JP7394705B2 true JP7394705B2 (ja) | 2023-12-08 |
Family
ID=73647901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020095560A Active JP7394705B2 (ja) | 2019-05-30 | 2020-06-01 | ガイド部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7394705B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001254736A (ja) | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
WO2011089752A1 (ja) | 2010-01-22 | 2011-07-28 | 新東工業株式会社 | 静圧軸受装置および静圧軸受装置を備えたステージ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4539807B2 (ja) * | 2001-07-03 | 2010-09-08 | 大塚精工株式会社 | クロスローラガイド |
-
2020
- 2020-06-01 JP JP2020095560A patent/JP7394705B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001254736A (ja) | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
WO2011089752A1 (ja) | 2010-01-22 | 2011-07-28 | 新東工業株式会社 | 静圧軸受装置および静圧軸受装置を備えたステージ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020197303A (ja) | 2020-12-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20220803 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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