JP7386142B2 - 保持装置 - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 196
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 73
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 73
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 60
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 40
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 17
- OJLGWNFZMTVNCX-UHFFFAOYSA-N dioxido(dioxo)tungsten;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].[O-][W]([O-])(=O)=O.[O-][W]([O-])(=O)=O OJLGWNFZMTVNCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 7
- 229910000174 eucryptite Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- RRZKHZBOZDIQJG-UHFFFAOYSA-N azane;manganese Chemical compound N.[Mn] RRZKHZBOZDIQJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- YXXNRQJHJVSTOT-UHFFFAOYSA-N [Bi]=O.[Ni].[La] Chemical compound [Bi]=O.[Ni].[La] YXXNRQJHJVSTOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- LQBBJCGYGAMOTQ-UHFFFAOYSA-N [O-2].[Fe+2].[Ni+2].[Bi+3] Chemical compound [O-2].[Fe+2].[Ni+2].[Bi+3] LQBBJCGYGAMOTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 2
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 claims 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 5
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 5
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Novinite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010399 physical interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940105963 yttrium fluoride Drugs 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K yttrium(iii) fluoride Chemical compound F[Y](F)F RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Description
(1)本開示の一形態は、対象物を保持する保持装置であって、セラミックを主成分とし、板状に形成されるセラミック部と、アルミニウムおよびマグネシウムのうちの少なくとも一種の金属を含み、板状に形成されたベース部と、前記セラミック部と前記ベース部との間に配置され、前記セラミック部と前記ベース部とを接合する接合部と、を備え、前記ベース部は、アルミニウムおよびマグネシウムよりも熱膨張率の低いセラミックである低熱膨張率セラミックを含有し、熱膨張率が4ppm/K以上10ppm/K以下であることを特徴とする。
この形態の保持装置によれば、ベース部が低熱膨張率セラミックを含有することにより、ベース部の熱膨張率が低減される。そして、ベース部の熱膨張率が4ppm/K以上10ppm/K以下であることにより、ベース部とセラミック部との間の熱膨張率差が小さくなり、ベース部とセラミック部との間の熱膨張率差に起因して保持装置内で生じる熱応力や、セラミック部等の変形が抑えられる。このとき、ベース部がアルミニウムおよびマグネシウムのうちの少なくとも一種の金属を含むため、熱伝導率が比較的低い低熱膨張率セラミックをベース部が含有するにもかかわらず、ベース部における熱伝導率の低下を抑えることができる。
(2)上記形態の保持装置において、前記低熱膨張率セラミックは、負の熱膨張率を有することとしてもよい。このような構成とすれば、ベース部の熱膨張率を低減するためにベース部に含有させる低熱膨張率セラミックの含有率を抑えることができる。このように、ベース部における低熱膨張率セラミックの含有率を低減できることにより、ベース部に関する熱伝導率や電気抵抗などの熱膨張率以外の物性が、低熱膨張率セラミックを混合することに起因して変化する程度を抑えることができる。
(3)上記形態の保持装置において、前記低熱膨張率セラミックは、タングステン酸ジルコニウム(ZrW2O8)、リン酸タングステン酸ジルコニウム(Zr2WO4(PO4)2)、β-ユークリプタイト(β-LiAlSiO4)、ビスマスニッケル鉄酸化物(BiNi1-xFexO3(x<1):BNFO)、ビスマスランタンニッケル酸化物(Bi1-xLaxNiO3(x<1))、ルテニウム酸化物(Ca2RuO4-x(x<0.4)、Ca2Ru1-xFexO4-y(x、y<0.4))、LaCu3Fe4O12、逆ペロブスカイト型マンガン窒化物および逆ペロブスカイト型マンガン窒化物の窒素の一部が炭素に置換されたもの(Mn3AN1-xCx(0≦x<0.2)、ただしAは亜鉛(Zn)、ガリウム(Ga)、ゲルマニウム(Ge)のいずれか)から成る群から選択される少なくとも一種のセラミックであることとしてもよい。このような構成とすれば、ベース部の熱膨張率を低減するためにベース部に含有させる低熱膨張率セラミックの含有率を抑えることができる。このように、ベース部における低熱膨張率セラミックの含有率を低減できることにより、ベース部に関する熱伝導率や電気抵抗などの熱膨張率以外の物性が、低熱膨張率セラミックを混合することに起因して変化する程度を抑えることができる。
(4)上記形態の保持装置において、前記ベース部は、該ベース部を構成する金属から成り連続的に形成された金属相中に、前記低熱膨張率セラミックの粒子が分散していることとしてもよい。このような構成とすれば、ベース部は、連続的に形成された金属相を有することになるため、この金属相によってベース部における熱伝導性を確保することができる。そのため、熱伝導率が比較的低い低熱膨張率セラミックをベース部が含有するにもかかわらず、ベース部における熱伝導率の低下を抑えることができる。
(5)上記形態の保持装置において、前記ベース部における前記低熱膨張率セラミックの含有率は、10体積%以上60体積%以下であることとしてもよい。このような構成とすれば、低熱膨張率セラミックを混合することによってベース部の熱膨張率を低減する効果と、ベース部中の金属によってベース部における熱伝導性を確保する効果とを両立することが容易になる。
(6)上記形態の保持装置において、さらに、前記ベース部の表面に設けられ、前記保持装置の使用環境において許容される材料として予め選択された金属またはセラミックによって形成される第1コート層を備えることとしてもよい。このような構成とすれば、ベース部の表面に第1コート層が設けられているため、ベース部が低熱膨張率セラミックを含有することに起因する影響、例えば、保持装置が使用される装置内部の環境に与える影響や当該装置で実行される処理に対する影響を、抑えることができる。
(7)上記形態の保持装置において、さらに、前記ベース部の表面のうちの前記接合部と接する面に設けられ、セラミックによって構成される第2コート層を備えることとしてもよい。このような構成とすれば、ベース部が含有する低熱膨張率セラミックに起因して、接合部を構成する接着剤とベース部との間の接着性が局所的に低下する場合であっても、接合部とベース部との間の接着性を高めることができる。
本開示は、上記以外の種々の形態で実現可能であり、例えば、保持装置を含む半導体製造装置、保持装置の製造方法などの形態で実現することができる。
(A-1)静電チャックの構造:
図1は、第1実施形態における静電チャック10の外観の概略を表す斜視図である。図2は、静電チャック10の断面の様子を模式的に表す断面図である。図1では、静電チャック10の一部を破断して示している。また、図1、図2、および後述する図6および図7には、方向を特定するために、互いに直交するXYZ軸を示している。各図に示されるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれ同じ向きを表す。本願明細書においては、Z軸は鉛直方向を示し、X軸およびY軸は水平方向を示している。なお、図1および図2は、各部の配置を模式的に表しており、各部の寸法の比率を正確に表すものではない。
既述したように、ベース部30は、アルミニウムおよびマグネシウムのうちの少なくとも一種の金属を含むと共に、アルミニウムおよびマグネシウムよりも熱膨張率の低いセラミックである低熱膨張率セラミックをさらに含有する。ベース部30の構成金属として、アルミニウムは、熱伝導性が高いため望ましい。また、ベース部30の構成金属として、マグネシウムは、密度が低いため静電チャック10の軽量化が容易となり、また、比熱が低いため、静電チャック10やウェハWの温度制御が容易となって望ましい。なお、アルミニウムの熱膨張率は23.1ppm/K(20℃)であり、マグネシウムの熱膨張率は24.8ppm/K(20℃)である。本実施形態では、ベース部30が低熱膨張率セラミックを含有することで、ベース部30における熱膨張率を低減して、ベース部30とセラミック部20との間の熱膨張率差を抑えている。
図6は、第2実施形態の静電チャック110の断面の様子を、図2と同様にして示す説明図である。第2実施形態の静電チャック110は、ベース部30の表面に第1コート層34を備えること以外は第1実施形態と同様の構成を有している。第2実施形態の静電チャック110において、第1実施形態の静電チャック10と共通する部分には同じ参照番号を付す。
図7は、第3実施形態の静電チャック210の断面の様子を、図2と同様にして示す説明図である。第3実施形態の静電チャック110は、ベース部30の表面に第2コート層36を備えること以外は第1実施形態と同様の構成を有している。第3実施形態の静電チャック110において、第1実施形態の静電チャック10と共通する部分には同じ参照番号を付す。
本開示は、静電引力を利用してウェハWを保持する静電チャックに限らず、セラミック部と、ベース部と、セラミックス部とベース部とを接合する接合部と、を備え、セラミック部の表面上に対象物を保持する他の保持装置、例えば、CVD、PVD、PLD等の真空装置用ヒータ装置や、真空チャック等にも同様に適用可能である。
20…セラミック部
22…チャック電極
30…ベース部
32…冷媒流路
34…第1コート層
36…第2コート層
37…金属相
38…低熱膨張率粒子
40…接合部
50…ガス供給路
52…ガス吐出口
S1…載置面
W…ウェハ
Claims (6)
- 対象物を保持する保持装置であって、
セラミックを主成分とし、板状に形成されるセラミック部と、
アルミニウムおよびマグネシウムのうちの少なくとも一種の金属を含み、板状に形成されたベース部と、
前記セラミック部と前記ベース部との間に配置され、前記セラミック部と前記ベース部とを接合する接合部と、
を備え、
前記ベース部は、アルミニウムおよびマグネシウムよりも熱膨張率が低く、負の熱膨張率を有するセラミックである低熱膨張率セラミックを含有し、50~100℃の温度範囲における熱膨張率が4ppm/K以上10ppm/K以下であることを特徴とする
保持装置。 - 請求項1に記載の保持装置であって、
前記低熱膨張率セラミックは、タングステン酸ジルコニウム(ZrW2O8)、リン酸タングステン酸ジルコニウム(Zr2WO4(PO4)2)、β-ユークリプタイト(β-LiAlSiO4)、ビスマスニッケル鉄酸化物(BiNi1-xFexO3(x<1):BNFO)、ビスマスランタンニッケル酸化物(Bi1-xLaxNiO3(x<1))、ルテニウム酸化物(Ca2RuO4-x(x<0.4)、Ca2Ru1-xFexO4-y(x、y<0.4))、LaCu3Fe4O12、逆ペロブスカイト型マンガン窒化物および逆ペロブスカイト型マンガン窒化物の窒素の一部が炭素に置換されたもの(Mn3AN1-xCx(0≦x<0.2)、ただしAは亜鉛(Zn)、ガリウム(Ga)、ゲルマニウム(Ge)のいずれか)から成る群から選択される少なくとも一種のセラミックであることを特徴とする
保持装置。 - 請求項1または2に記載の保持装置であって、
前記ベース部は、該ベース部を構成する金属から成り連続的に形成された金属相中に、前記低熱膨張率セラミックの粒子が分散していることを特徴とする
保持装置。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載の保持装置であって、
前記ベース部における前記低熱膨張率セラミックの含有率は、10体積%以上60体積%以下であることを特徴とする
保持装置。 - 請求項1から4までのいずれか一項に記載の保持装置であって、さらに、
前記ベース部の表面に設けられ、前記保持装置の使用環境において許容される材料として予め選択された金属またはセラミックによって形成される第1コート層を備えることを特徴とする
保持装置。 - 請求項1から5までのいずれか一項に記載の保持装置であって、さらに、
前記ベース部の表面のうちの前記接合部と接する面に設けられ、セラミックによって構成される第2コート層を備えることを特徴とする
保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020143621A JP7386142B2 (ja) | 2020-08-27 | 2020-08-27 | 保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020143621A JP7386142B2 (ja) | 2020-08-27 | 2020-08-27 | 保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022038906A JP2022038906A (ja) | 2022-03-10 |
JP7386142B2 true JP7386142B2 (ja) | 2023-11-24 |
Family
ID=80498191
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2020143621A Active JP7386142B2 (ja) | 2020-08-27 | 2020-08-27 | 保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7386142B2 (ja) |
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WO2014157571A1 (ja) | 2013-03-29 | 2014-10-02 | Toto株式会社 | 静電チャック |
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JP2019021708A (ja) | 2017-07-13 | 2019-02-07 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置用部品の溶射方法及びプラズマ処理装置用部品 |
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- 2020-08-27 JP JP2020143621A patent/JP7386142B2/ja active Active
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JP2019021708A (ja) | 2017-07-13 | 2019-02-07 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置用部品の溶射方法及びプラズマ処理装置用部品 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022038906A (ja) | 2022-03-10 |
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