JP7382424B2 - 複数の深紫外光発振器のための制御システム - Google Patents
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Description
[0001] この出願は、2019年5月22日に出願されたCONTROL SYSTEM FOR A PLURALITY OF DEEP ULTRAVIOLET OPTICAL OSCILLATORSと題する米国出願第62/851,147号、及び2020年4月7日に出願されたCONTROL SYSTEM FOR A PLURALITY OF DEEP ULTRAVIOLET OPTICAL OSCILLATORSと題する米国出願第63/006,162号の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
[0024] コールドスタート期間が終了したかどうかを判定すること、及びコールドスタート期間が終了した場合に、作動させた光発振器のうちの少なくとも1つの動作を停止することを含む。
[0026] 条件がDUV光学システムに存在するかどうかを判定すること、及び、条件が存在する旨の判定に基づいて、DUV光学システムの光発振器のサブセットにおいて、光発振器のサブセットにない少なくとも1つの光発振器が露光ビームを生成する間に較正動作を行うこと、によってDUV光学システムを制御するように構成される。
M-m<P≦N-m 方程式(1)
コールドスタート条件を有するP個の光発振器を使用して、コールドスタート期間に露光ビーム211の全部又は一部を提供するさらなる詳細を示すために2つの例が考察される。
1.光源システムと、
光源システムに結合された制御システムと、を備えた深紫外(DUV)光学システムであって、
光源システムが、
複数の光発振器と、
ビームコンバイナと、
光発振器とビームコンバイナとの間にあるビーム制御装置とを備え、ビームコンバイナが、光発振器のいずれかから発せられた光を受光し、露光ビームとしてスキャナ装置の方に誘導するように構成され、ビーム制御装置が、ビームコンバイナが複数の光発振器のうちの特定の1つから光を受光したかどうかを判定するように構成され、
制御システムが、
条件がDUV光学システムに存在するかどうかを判定し、
条件が存在する旨の判定に基づいて、光発振器のサブセットにおいて較正動作を行うように構成された、深紫外(DUV)光学システム。
2.較正動作が、光発振器のうちの少なくとも1つにより生成された光の波長を目標範囲内に収めることを含む、条項1のDUV光学システム。
3.較正動作が、光発振器のうちの少なくとも1つにより生成された光の帯域幅を目標範囲内に収めることを含む、条項1のDUV光学システム。
4.較正動作が、光発振器のうちの少なくとも1つにより生成された光のパルスエネルギーを目標範囲内に収めることを含む、条項1のDUV光学システム。
5.条件が、時間ベースの条件又はイベントベースの条件である、条項1のDUV光学システム。
6.条件がイベントベースの条件であり、制御システムが、光源システム及びスキャナ装置に結合され、制御システムが、DUV光学システムからステータス信号を受信するように構成され、制御システムが、イベントベースの条件が存在するかどうかをスキャナ装置からのステータス信号に基づいて判定する、条項5のDUV光学システム。
7.ステータス信号が、スキャナ装置でこれから起きるイベントに関連する情報を含み、制御システムが、これから起きるイベントに関連する情報に基づいて較正動作を行う、条項6のDUV光学システム。
8.これから起きるイベントに関連する情報が、これから起きるイベントが発生するまでの時間及びこれから起きるイベントを特定する表示を含み、制御システムが、これから起きるイベントが発生する前に較正動作を行う、条項7のDUV光学システム。
9.これから起きるイベントが、スキャナ装置の動作条件の変化を含み、動作条件の変化が、露光ビームの繰り返し率の変化、露光ビームのパワーの変化、又はスキャナ装置の動作モードの変化を含む、条項8のDUV光学システム。
10.行われた較正動作が、複数の利用可能な較正動作のうちの1つであり、行われた較正動作が、これから起きるイベントを特定する表示に基づいて複数の利用可能な較正動作から決定された、条項8のDUV光学システム。
11.条件が時間ベースの条件であり、制御システムが、DUV光学システムのステータスをモニタするように構成され、制御システムが、光源システムのモニタされたステータスに基づいてDUV光学システムの条件を決定するように構成された、条項5のDUV光学システム。
12.DUV光学システムのステータスをモニタするように構成された制御システムが、開始時間から経過した時間をモニタするように構成された制御システムを含み、制御システムが、開始時間から経過した時間に基づいてDUV光学システムの条件を決定する、条項11のDUV光学システム。
13.開始時間が、直前の較正イベントが発生した時間を含む、条項12のDUV光学システム。
14.DUV光学システムの条件を決定するために、制御システムがさらに、経過した時間を仕様と比較するように構成され、制御システムが、経過した時間が仕様を満たす場合に較正動作を行うように構成された、条項13のDUV光学システム。
15.各光発振器が利得媒体を含み、利得媒体がガス利得媒体を含み、較正動作がリフィル動作を含み、リフィル動作が、光発振器のサブセットにおいてガス利得媒体を交換することを含む、条項1のDUV光学システム。
16.ビーム制御装置が、複数の光発振器のそれぞれのためのビーム遮断デバイスを備え、ビーム遮断デバイスのそれぞれが制御システムに結合され、
制御システムがさらに、ビーム遮断デバイスを制御して、ビームコンバイナが光発振器のうちの特定の1つから光を受光したかどうかを判定するように構成された、条項1のDUV光学システム。
17.各ビーム遮断デバイスが、DUV光を透過させる第1の状態及びDUV光を遮断する第2の状態を含むシャッタであり、各シャッタが光発振器のうちの対応する1つが、第2の状態にあるときにビームコンバイナに向けて光を発することを防ぎ、光発振器のうちの対応する1つが、第1の状態にあるときにビームコンバイナに向けて光を発することができるように、各シャッタが光発振器のうちの1つの出力に配置されるように構成された、条項16のDUV光学システム。
18.光発振器のサブセットが、露光ビームの一部である光ビームを生成している複数の光発振器のいずれも含まない、条項1のDUV光学システム。
19.較正動作が、ビームコンバイナが光発振器のサブセットから光を受光しない場合にのみ行われる、条項1のDUV光学システム。
20.DUV光学システムがDUV光リソグラフィシステムで使用されるように構成された、条項1のDUV光学システム。
21.ビームコンバイナから露光ビームを受光するように構成されたスキャナ装置をさらに備えた、条項20のDUV光学システム。
22.深紫外(DUV)光学システムにおける複数の光発振器を制御する方法であって、
条件が存在するかどうかを判定するためにDUV光学システムをモニタすること、
条件が存在する場合に、複数の光発振器のうちのいずれかが待ち状態にあるかどうかを判定すること、及び
待ち状態にある複数の光発振器のサブセットにおいて較正動作を行うことを含み、待ち状態にない光発振器のうちの1つ以上が、較正動作が行われる間に露光ビームを生成し続ける、方法。
23.較正動作が成功したかどうかを判定することをさらに含む、条項22の方法。
24.DUV光学システムが、DUV光リソグラフィシステムとともに使用されるように構成され、DUV光学システムをモニタすることが、スキャナ装置からコマンド信号を受信すること、及びコマンド信号に基づいて条件が存在するかどうかを判定することを含む、条項22の方法。
25.条件が存在し、複数の光発振器がいずれも待ち状態にない場合に、少なくとも1つの光発振器が待ち状態に置かれる、条項22の方法。
26.光源システムを備えた深紫外(DUV)光リソグラフィシステムと、
スキャナ装置と、
光源システム及びスキャナ装置に結合された制御システムと、を備えた光リソグラフィシステムであって、
光源システムが、
それぞれが利得媒体を含む複数の光発振器と、
ビームコンバイナと、
利得媒体とビームコンバイナとの間にあるビーム制御装置とを備え、ビームコンバイナが、光発振器のいずれかから発せられた光を受光し、露光ビームとしてスキャナ装置の方に誘導するように構成され、ビーム制御装置が、ビームコンバイナが光発振器のうちの特定の1つから光を受光したかどうかを判定するように構成され、
制御システムが、
条件が光リソグラフィシステムに存在するかどうかを判定し、
条件が存在すると判定された場合に、光発振器のサブセットにおいて較正動作を行うように構成された、光リソグラフィシステム。
27.複数の光発振器に流体結合されたガス供給システムをさらに備えた、条項26の光リソグラフィシステム。
28.深紫外(DUV)光リソグラフィシステムにおける複数の光発振器を制御する方法であって、
DUV光の要求された線量をウェーハに提供するように構成された露光ビームの要求を受けること、
コールドスタート条件が存在するかどうかを判定すること、及び
コールドスタート条件が存在する場合に、
要求された線量を定常状態条件下で提供できる光発振器の数である光発振器の公称数より多くの光発振器を作動させること、及び
露光ビームをコールドスタート期間に提供するために、作動させた光発振器のそれぞれからの光ビームをスキャナ装置の方に誘導すること、を含む方法。
29.コールドスタート条件が存在する場合に、
コールドスタート期間が終了したかどうかを判定すること、及び
コールドスタート期間が終了した場合に、作動させた光発振器のうちの少なくとも1つの動作を停止すること、をさらに含む条項28の方法。
30.DUV光学システムと通信するように構成されたインターフェイスを備えた制御システムであって、制御システムが、
条件がDUV光学システムに存在するかどうかを判定すること、及び
条件が存在する旨の判定に基づいて、DUV光学システムの光発振器のサブセットにおいて、光発振器のサブセットにない少なくとも1つの光発振器が露光ビームを生成する間に較正動作を行うことによって、
DUV光学システムを制御するように構成された、制御システム。
31.1つ以上の電子プロセッサと、
実行されたときに、制御システムにインターフェイスを介してDUV光学システムと通信させる実行可能命令を含み、1つ以上の電子プロセッサに結合されたコンピュータ可読電子ストレージと、をさらに備えた条項30の制御システム。
32.N個の光発振器(Nが2以上の整数である)と、
N個の光発振器のうちの1つ以上から受光した1つ以上の光ビームから露光ビームを生成するように構成されたビームコンバイナと、
複数の光発振器のうちのどのM個(Mは1以上N以下の整数である)が露光ビームのための光を生成するかを決定するために、複数の光発振器を制御するように構成された制御システムと、を備えた光源システム。
33.制御システムがさらに、
条件が光源システムに存在するかどうかを判定し、かつ条件が存在する場合に、複数の光発振器のうちの1つ以上において較正動作を行うように構成され、
較正動作が、複数の光発振器のうちの1つにより発せられた光ビームの特性を調整し、特性が、中心波長、エネルギー、又はスペクトル帯域幅を含む、条項32の光源システム。
34.較正動作が、条件が存在する光発振器のうちの1つ以上が光を生成していないときにのみ行われる、条項33の光源システム。
35.複数の光発振器のそれぞれがエキシマレーザを含む、条項34の光源システム。
36.ビームコンバイナが、複数の光発振器と、半導体ウェーハを露光するように構成されたスキャナとの間にある、条項32の光源システム。
37.光発振器が、異なる中心波長を有する光ビームを生成する、条項32の光源システム。
Claims (10)
- 光源システムと、
前記光源システムに結合された制御システムと、を備えた深紫外(DUV)光学システムであって、
前記光源システムが、
複数の光発振器と、
ビームコンバイナと、
前記複数の光発振器と前記ビームコンバイナとの間にあるビーム制御装置とを備え、前記ビームコンバイナが、前記複数の光発振器の少なくとも1つから発せられた光を受光し、結合された露光ビームとしてスキャナ装置の方に誘導するように構成され、前記ビーム制御装置が、前記ビームコンバイナが前記複数の光発振器のうちの1つから光を受光したかどうかを判定するように構成され、
前記制御システムが、
条件が前記DUV光学システムに存在するかどうかを判定し、
前記条件が存在する旨の判定に基づいて、前記複数の光発振器のうちの少なくとも1つの光発振器のサブセットであって、前記ビームコンバイナが前記少なくとも1つの光発振器から光を受光していないと前記ビーム制御装置が判定した、サブセットにおいて較正動作を行うように構成された、深紫外(DUV)光学システム。 - 前記較正動作が、前記複数の光発振器のうちの少なくとも1つにより生成された光の波長を目標範囲内に収めることを含む、請求項1のDUV光学システム。
- 前記条件が、時間ベースの条件又はイベントベースの条件である、請求項1のDUV光学システム。
- 前記条件がイベントベースの条件であり、前記制御システムが、前記光源システム及び前記スキャナ装置に結合され、前記制御システムが、前記スキャナ装置からステータス信号を受信するように構成され、前記制御システムが、前記イベントベースの条件が存在するかどうかを前記スキャナ装置からの前記ステータス信号に基づいて判定する、請求項3のDUV光学システム。
- 前記ステータス信号が、前記スキャナ装置でこれから起きるイベントに関連する情報を含み、前記制御システムが、前記これから起きるイベントに関連する前記情報に基づいて前記較正動作を行う、請求項4のDUV光学システム。
- 前記これから起きるイベントに関連する前記情報が、前記これから起きるイベントが発生するまでの時間及び前記これから起きるイベントを特定する表示を含み、前記制御システムが、前記これから起きるイベントが発生する前に前記較正動作を行う、請求項5のDUV光学システム。
- 前記これから起きるイベントが、前記スキャナ装置の動作条件の変化を含み、前記動作条件の前記変化が、前記露光ビームの繰り返し率の変化、前記露光ビームのパワーの変化、又は前記スキャナ装置の動作モードの変化を含む、請求項6のDUV光学システム。
- 前記条件が時間ベースの条件であり、前記制御システムが、前記DUV光学システムのステータスをモニタするように構成され、前記制御システムが、前記光源システムのモニタされた前記ステータスに基づいて前記DUV光学システムの前記条件を決定するように構成された、請求項3のDUV光学システム。
- 各光発振器が利得媒体を含み、前記利得媒体がガス利得媒体を含み、前記較正動作がリフィル動作を含み、前記リフィル動作が、前記サブセットにおいて前記ガス利得媒体を交換することを含む、請求項1のDUV光学システム。
- 前記ビーム制御装置が、前記複数の光発振器のそれぞれのためのビーム遮断デバイスを備え、前記ビーム遮断デバイスのそれぞれが前記制御システムに結合され、
前記制御システムがさらに、前記ビーム遮断デバイスを制御して、前記ビームコンバイナが前記光発振器のうちの特定の1つから光を受光したかどうかを判定するように構成された、請求項1のDUV光学システム。
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