JP7369031B2 - Paste composition and method for manufacturing electronic component device - Google Patents

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Description

本発明は、ペースト組成物に関し、さらに詳しくは狭小化したバンプ間への適用が可能なペースト組成物、及びそれを用いた電子部品装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a paste composition, and more particularly to a paste composition that can be applied between narrowed bumps, and a method for manufacturing an electronic component device using the same.

従来、素子をアレイ状に実装する基板として、二次元的なバンプ配置を有するパッケージであるエリアバンプアレイパッケージが知られていた(特許文献1)。
近年、素子の微小化が進展しており、一辺のサイズが50μmや10μmといった200μm以下の素子も提案されている。これら素子は、例えば50μmや10μmといったミニLEDやマイクロLEDが代表的であり、ディスプレイ用の表示基板にRGBの各画素としてアレイ状に配列されている。
Conventionally, an area bump array package, which is a package having a two-dimensional bump arrangement, has been known as a substrate on which elements are mounted in an array (Patent Document 1).
In recent years, miniaturization of elements has progressed, and elements with a side size of 200 μm or less, such as 50 μm or 10 μm, have been proposed. These elements are typically mini-LEDs or micro-LEDs of, for example, 50 μm or 10 μm, and are arranged in an array as RGB pixels on a display substrate.

例えば、一つのマイクロLEDパネル上に複数のマイクロLEDピクセルを配列するマイクロLEDアレイディスプレイ装置が知られている(特許文献2)。通常のフリップチップボンディング工程をマイクロLEDの実装に用いると、ソルダーバンプのサイズが減少することによってバンプ接続部当たりの電流密度及び熱エネルギー密度が増加し、フリップソルダー接続部の信頼度が減少する。また、隣り合う各ソルダーバンプ間の間隔が微細化されることによって、ソルダーリフロー時、はんだのぬれ広がりにより隣り合う各ソルダーバンプ間にソルダーブリッジ現象が発生するおそれがある。 For example, a micro LED array display device in which a plurality of micro LED pixels are arranged on one micro LED panel is known (Patent Document 2). When a conventional flip-chip bonding process is used to package micro-LEDs, the reduced solder bump size increases the current density and thermal energy density per bump connection, reducing the reliability of the flip solder connection. Furthermore, as the distance between adjacent solder bumps becomes finer, there is a risk that a solder bridge phenomenon may occur between adjacent solder bumps due to wetting and spreading of solder during solder reflow.

そこで、ソルダー接合部の膨張現象を防止するために、半球状のソルダーキャップを形成する方法が知られている(特許文献3)。 Therefore, a method is known in which a hemispherical solder cap is formed in order to prevent the expansion phenomenon of the solder joint (Patent Document 3).

特開平11-233559号公報Japanese Patent Application Publication No. 11-233559 特開2019-68082号公報JP2019-68082A 特開2018-166224号公報Japanese Patent Application Publication No. 2018-166224

しかしながら、前記特許文献3の方法でもソルダーリフローに関しては改善されていない。 However, even the method of Patent Document 3 does not improve solder reflow.

本開示は、信頼性の高いエリアバンプアレイパッケージを実現するために最適なペースト組成物を提供する。 The present disclosure provides an optimal paste composition for realizing a highly reliable area bump array package.

本開示は、特定の降伏値、粘度、チクソ比を有するペースト組成物を用いて、縦m個×横n個(m、nは、それぞれ独立に、10~1000)の電極接続用バンプをアレイ状に形成することで良好な信頼性が得られることを見出した。さらに、前記電極接続用バンプに2以上の電極を有する素子部品を実装し、加熱硬化することで、エリアアレイ実装した電子部品が得られることを見出し、完成するに至ったものである。 The present disclosure uses a paste composition having a specific yield value, viscosity, and thixometry ratio to form an array of m vertically by n horizontally (m and n are each independently from 10 to 1000) bumps for electrode connection. It has been found that good reliability can be obtained by forming the film into a shape. Furthermore, the inventors have discovered that by mounting an element component having two or more electrodes on the electrode connection bumps and heating and curing the same, an electronic component mounted in an area array can be obtained, and the present invention has been completed.

すなわち、本開示は、以下に関する。
[1](A)熱硬化性化合物と、(B)ラジカル開始剤と、(C)銀粒子と、(D)銀粉とを含むペースト組成物であって、前記(C)成分と前記(D)成分との合計含有量は前記ペースト組成物全体の85~95質量%であり、降伏値が100~200Pa、回転数2rpmにおける粘度が20~60Pa・s、25℃におけるチクソ比(2rpmの粘度/20rpmの粘度)が3~6であるペースト組成物。
[2]前記(A)熱硬化性化合物が、(A1)エポキシ化ポリブタジエン、及び(A2)ヒドロキシ基を有する、(メタ)アクリル酸エステル化合物又は(メタ)アクリルアミド化合物を含み、前記(A1)成分と前記(A2)成分との配合割合が5:95~55:45であり、前記(C)銀粒子の厚さ又は短径が1~200nmであり、前記(D)銀粉の平均粒子径が0.2μmより大きく20μm以下であり、前記(C)成分と前記(D)成分との含有比率は、質量比で、10:90~50:50である上記[1]に記載のペースト組成物。
[3]前記(C)成分が、(C1)プレート型銀粒子を含み、前記(D)成分が、(D1)フレーク状銀粉を含む上記[1]又は[2]に記載のペースト組成物。
[4]前記(C)成分がさらに(C2)球状銀粒子を含み、前記(C1)成分と前記(C2)成分との含有比率は、質量比で、100:0~50:50である上記[3]に記載のペースト組成物。
[5]上記[1]乃至[4]のいずれかに記載のペースト組成物を用いて、基板上に、直径が50~200μm、高さが10~50μmの銀バンプを、各々の間隙が50~200μmで、縦m個×横n個(m、nは、それぞれ独立に、10~1000)印刷してアレイ状に形成する工程、および2以上の電極を有する素子部品を該バンプ上に並べて実装する工程を有する電子部品装置の製造方法。
That is, the present disclosure relates to the following.
[1] A paste composition comprising (A) a thermosetting compound, (B) a radical initiator, (C) silver particles, and (D) silver powder, the paste composition comprising the (C) component and the (D) ) component is 85 to 95% by mass of the entire paste composition, yield value is 100 to 200 Pa, viscosity at 2 rpm is 20 to 60 Pa・s, thixotropic ratio at 25°C (viscosity at 2 rpm) /20 rpm) of 3 to 6.
[2] The thermosetting compound (A) includes (A1) epoxidized polybutadiene, and (A2) a (meth)acrylic acid ester compound or (meth)acrylamide compound having a hydroxy group, and the (A1) component and the above-mentioned (A2) component is 5:95 to 55:45, the thickness or short axis of the above-mentioned (C) silver particles is 1 to 200 nm, and the average particle diameter of the above-mentioned (D) silver powder is The paste composition according to the above [1], wherein the paste composition is greater than 0.2 μm and less than or equal to 20 μm, and the content ratio of the component (C) and the component (D) is 10:90 to 50:50 in mass ratio. .
[3] The paste composition according to [1] or [2] above, wherein the component (C) includes (C1) plate-shaped silver particles, and the component (D) includes (D1) flaky silver powder.
[4] The above component (C) further includes (C2) spherical silver particles, and the content ratio of the component (C1) to the component (C2) is from 100:0 to 50:50 in terms of mass ratio. The paste composition according to [3].
[5] Using the paste composition according to any one of [1] to [4] above, silver bumps with a diameter of 50 to 200 μm and a height of 10 to 50 μm are formed on a substrate with a gap of 50 μm between each bump. ~200μm, printing m vertically x n horizontally (m and n are each independently 10 to 1000) to form an array, and arranging element parts having two or more electrodes on the bumps. A method for manufacturing an electronic component device including a mounting process.

本開示によれば、密着性及び導電性が良好なペースト組成物並びに該ペースト組成物を用いた信頼性に優れた電子部品を提供することができる。また、本開示のペースト組成物によれば、直径が50~200μm、高さが10~50μmのバンプを、各々の間隙が50~200μmで、縦m個×横n個(m、nは、それぞれ独立に、10~1000)アレイ状に形成しても、はんだペーストのようにリフロー時にぬれ広がることがないため、バンプ間で短絡が発生するおそれのない、信頼性の良好なバンプ群を形成することができる。 According to the present disclosure, it is possible to provide a paste composition with good adhesion and conductivity, and an electronic component with excellent reliability using the paste composition. Further, according to the paste composition of the present disclosure, bumps having a diameter of 50 to 200 μm and a height of 10 to 50 μm are formed, each with a gap of 50 to 200 μm, m vertically×n horizontally (m, n are Even when formed in an array (10 to 1000 each independently), unlike solder paste, it does not wet and spread during reflow, so it forms a highly reliable bump group with no risk of short circuits occurring between bumps. can do.

以下、本開示について、一実施形態を参照しながら詳細に説明する。
なお、本開示において、「(メタ)アクリル」とは、アクリル及び/又はメタクリルを意味し、また、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート及び/又はメタクリレートを意味する。
Hereinafter, the present disclosure will be described in detail with reference to one embodiment.
In addition, in this disclosure, "(meth)acrylic" means acrylic and/or methacryl, and "(meth)acrylate" means acrylate and/or methacrylate.

<ペースト組成物>
本開示のペースト組成物の一態様は、(A)熱硬化性化合物と、(B)ラジカル開始剤と、(C)銀粒子と、(D)銀粉とを含むペースト組成物であって、降伏値が100~200Pa、回転数2rpmにおける粘度が20~60Pa・s、25℃におけるチクソ比(2rpmの粘度/20rpmの粘度)が3~6である。また、前記(C)成分と前記(D)成分との合計含有量は前記ペースト組成物全体の85~95質量%である。
<Paste composition>
One embodiment of the paste composition of the present disclosure is a paste composition containing (A) a thermosetting compound, (B) a radical initiator, (C) silver particles, and (D) silver powder, the paste composition comprising: The value is 100 to 200 Pa, the viscosity at a rotation speed of 2 rpm is 20 to 60 Pa·s, and the thixotropic ratio (viscosity at 2 rpm/viscosity at 20 rpm) at 25° C. is 3 to 6. Further, the total content of the component (C) and the component (D) is 85 to 95% by mass of the entire paste composition.

(A)熱硬化性化合物
本実施形態で用いられる(A)熱硬化性化合物は、特に限定されないが、(A1)エポキシ化ポリブタジエン、及び/又は(A2)ヒドロキシ基を有する、(メタ)アクリル酸エステル化合物又は(メタ)アクリルアミド化合物であってもよい。
本実施形態で使用する(A1)エポキシ化ポリブタジエンは、ポリブタジエンをエポキシ変性した化合物であり、エポキシ当量が50~500(g/eq)のエポキシ化ポリブタジエンであってもよい。エポキシ当量が50g/eq以上であると粘度が増大し過ぎず、ペースト組成物の作業性が良好となり、500g/eq以下であると熱時の接着強度を向上させることができる。
なお、エポキシ当量は過塩素酸法により求めたものである。前記(A1)エポキシ化ポリブタジエンとしては、分子内に水酸基を持つものを使用してもよい。
(A) Thermosetting Compound The thermosetting compound (A) used in this embodiment is not particularly limited, but includes (A1) epoxidized polybutadiene, and/or (A2) (meth)acrylic acid having a hydroxy group. It may be an ester compound or a (meth)acrylamide compound.
The epoxidized polybutadiene (A1) used in this embodiment is a compound obtained by modifying polybutadiene with epoxy, and may be an epoxidized polybutadiene having an epoxy equivalent of 50 to 500 (g/eq). When the epoxy equivalent is 50 g/eq or more, the viscosity does not increase too much and the workability of the paste composition becomes good, and when it is 500 g/eq or less, the adhesive strength under heat can be improved.
Note that the epoxy equivalent was determined by the perchloric acid method. As the epoxidized polybutadiene (A1), one having a hydroxyl group in the molecule may be used.

前記(A1)エポキシ化ポリブタジエンとしては、例えば、株式会社ダイセルより市販されているエポリードPB4700及びGT401(いずれも商品名)、日本曹達株式会社より市販されているJP-100及びJP-200(いずれも商品名)を使用することができる。
本実施形態のペースト組成物は、前記(A1)エポキシ化ポリブタジエンを含むことにより、チップ部品端子に対する電極の接着性を向上させることができる。
Examples of the epoxidized polybutadiene (A1) include Epolead PB4700 and GT401 (both trade names) commercially available from Daicel Corporation, and JP-100 and JP-200 (both commercially available from Nippon Soda Co., Ltd.). (product name) can be used.
By containing the epoxidized polybutadiene (A1), the paste composition of the present embodiment can improve the adhesion of the electrode to the chip component terminal.

前記(A1)エポキシ化ポリブタジエンは、数平均分子量が500~10,000であってもよい。数平均分子量が前記範囲にあると、接着性が良好であり、適正な粘度に制御できることから作業性が良好となる。
なお、数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより標準ポリスチレンの検量線を利用して測定した値である。
The epoxidized polybutadiene (A1) may have a number average molecular weight of 500 to 10,000. When the number average molecular weight is within the above range, adhesiveness is good and the viscosity can be controlled to an appropriate level, resulting in good workability.
Note that the number average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography using a standard polystyrene calibration curve.

本実施形態で使用する(A2)ヒドロキシ基を有する、(メタ)アクリル酸エステル化合物又は(メタ)アクリルアミド化合物は、それぞれ1分子中に1個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリレート又は(メタ)アクリルアミドであり、かつ、ヒドロキシ基を含有するものである。 (A2) The (meth)acrylic acid ester compound or (meth)acrylamide compound having a hydroxy group used in this embodiment is a (meth)acrylate or (meth)acrylate compound having one or more (meth)acrylic groups in one molecule, respectively. It is (meth)acrylamide and contains a hydroxy group.

ここで、ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレートは、ポリオール化合物と(メタ)アクリル酸又はその誘導体とを反応させることで得ることが可能である。この反応は、公知の化学反応を使用できる。ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレートは、ポリオール化合物に対し、通常0.5~5倍モルのアクリル酸エステル又はアクリル酸を使用する。 Here, the (meth)acrylate having a hydroxy group can be obtained by reacting a polyol compound with (meth)acrylic acid or a derivative thereof. A known chemical reaction can be used for this reaction. For the (meth)acrylate having a hydroxy group, acrylic ester or acrylic acid is usually used in an amount of 0.5 to 5 times the mole of the polyol compound.

また、ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリルアミドは、ヒドロキシ基を有するアミン化合物と(メタ)アクリル酸又はその誘導体とを反応させることで得ることが可能である。(メタ)アクリル酸エステルとアミン化合物とを反応させて(メタ)アクリルアミドを製造する方法は、(メタ)アクリル酸エステルの二重結合が極めて反応性に富むために、アミン、シクロペンタジエン、アルコール等を予め二重結合に保護基として付加させ、アミド化終了後加熱して保護基を脱離させるのが一般的である。 Furthermore, (meth)acrylamide having a hydroxy group can be obtained by reacting an amine compound having a hydroxy group with (meth)acrylic acid or a derivative thereof. The method of producing (meth)acrylamide by reacting a (meth)acrylic ester with an amine compound requires that amine, cyclopentadiene, alcohol, etc. Generally, a protective group is added to the double bond in advance, and the protective group is removed by heating after the amidation is completed.

そして、前記(メタ)アクリル酸エステル化合物又は(メタ)アクリルアミド化合物にヒドロキシ基を含有させることにより、電極形成時において、還元効果による焼結性が促進されると共に、接着性が向上する。 By incorporating a hydroxy group into the (meth)acrylic acid ester compound or (meth)acrylamide compound, sintering properties due to the reduction effect are promoted and adhesiveness is improved during electrode formation.

また、ここでいうヒドロキシ基は脂肪族炭化水素基の水素原子が置換されたアルコール性の基である。前記ヒドロキシ基の含有量は、1分子中に1から50個であってもよい。ヒドロキシ基の含有量が前記範囲にあると、硬化過多による焼結性の阻害がなく、焼結性を促進できる。 Moreover, the hydroxy group here is an alcoholic group in which the hydrogen atom of an aliphatic hydrocarbon group is substituted. The content of the hydroxy groups may be 1 to 50 in one molecule. When the content of hydroxyl groups is within the above range, sinterability is not inhibited due to excessive hardening, and sinterability can be promoted.

このような(A2)ヒドロキシ基を有する、(メタ)アクリル酸エステル化合物又は(メタ)アクリルアミド化合物としては、例えば、下記の一般式(1)~(4)で示される化合物が挙げられる。 Examples of the (meth)acrylic acid ester compound or (meth)acrylamide compound having such a (A2) hydroxy group include compounds represented by the following general formulas (1) to (4).


(式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは炭素数1~100の2価の脂肪族炭化水素基又は環状構造を持つ脂肪族炭化水素基を表す。)

(In the formula, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 2 represents a divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 100 carbon atoms or an aliphatic hydrocarbon group having a cyclic structure.)


(式中、R及びRはそれぞれ前記と同じものを表す。)

(In the formula, R 1 and R 2 each represent the same as above.)


(式中、Rは前記と同じものを表し、nは1~50の整数を表す。)

(In the formula, R 1 represents the same as above, and n represents an integer from 1 to 50.)


(式中、R及びnはそれぞれ前記と同じものを表す。)

(In the formula, R 1 and n each represent the same as above.)

前記(A2)ヒドロキシ基を有する、(メタ)アクリル酸エステル化合物又は(メタ)アクリルアミド化合物としては、前記した一般式(1)~(4)に示した化合物を単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。なお、一般式(1)及び(2)におけるRの炭素数は、1~100であってもよく、1~36であってもよい。Rの炭素数が前記範囲にあると硬化過多による焼結性が阻害されない。 As the (meth)acrylic acid ester compound or (meth)acrylamide compound having a hydroxy group (A2), the compounds shown in the general formulas (1) to (4) described above may be used alone or in combination of two or more. can be used. Note that the number of carbon atoms of R 2 in general formulas (1) and (2) may be 1 to 100 or 1 to 36. When the number of carbon atoms in R 2 is within the above range, sinterability is not inhibited due to excessive hardening.

さらに、前記(A1)成分と前記(A2)成分との配合比率は、質量比で、(A1):(A2)=5:95~55:45であってもよく、15:85~50:50であってもよい。(A1)成分、(A2)成分の各成分が前記範囲にあると、電子部品の接着が良好で、且つ接続抵抗が低く抑えられる。(A1)成分が5質量%以上であることで密着性が良好となり、(A2)成分が45質量%以上であることで良好な接続抵抗となる。 Furthermore, the blending ratio of the component (A1) and the component (A2) may be (A1):(A2)=5:95 to 55:45 in mass ratio, or 15:85 to 50: It may be 50. When each of the components (A1) and (A2) is within the above range, the adhesion of electronic components is good and the connection resistance is kept low. When the component (A1) is 5% by mass or more, the adhesion is good, and when the component (A2) is 45% by mass or more, the connection resistance is good.

なお、前記(A)熱硬化性化合物としては、前記(A1)成分、(A2)成分以外の熱硬化性化合物を用いることもできる。ここで用いることができる熱硬化性化合物としては、例えば、エポキシ樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリブタジエン樹脂((A1)成分を除く)、フェノール樹脂等が挙げられる。ただし、(A1)成分と(A2)成分以外の熱硬化性化合物は、(A)熱硬化性化合物を100質量%としたとき、20質量%以下であってもよく、10質量%以下であってもよい。 Note that as the thermosetting compound (A), thermosetting compounds other than the components (A1) and (A2) can also be used. Examples of thermosetting compounds that can be used here include epoxy resins, bismaleimide resins, polybutadiene resins (excluding component (A1)), and phenol resins. However, the thermosetting compounds other than the components (A1) and (A2) may be 20% by mass or less, and may be 10% by mass or less, when the thermosetting compound (A) is 100% by mass. It's okay.

前記(A)熱硬化性化合物の含有量は、ペースト組成物全体に対して0.1~10質量%であってもよく、0.2~8質量%であってもよく、0.5~5質量%であってもよい。(A)熱硬化性化合物の含有量が0.1質量%以上であると良好な接着性を得ることができ、10質量%以下であると良好な導電性を得ることができる。 The content of the thermosetting compound (A) may be 0.1 to 10% by mass, 0.2 to 8% by mass, 0.5 to 8% by mass, based on the entire paste composition. It may be 5% by mass. (A) When the content of the thermosetting compound is 0.1% by mass or more, good adhesiveness can be obtained, and when the content is 10% by mass or less, good conductivity can be obtained.

(B)ラジカル開始剤
本実施形態で用いられる(B)ラジカル開始剤は、通常、ラジカル重合に用いられている重合触媒であれば特に限定されずに用いることができる。
(B) Radical Initiator The (B) radical initiator used in this embodiment can be used without particular limitation as long as it is a polymerization catalyst that is normally used in radical polymerization.

前記(B)ラジカル開始剤としては、急速加熱試験(試料1gを電熱板の上に載せ、4℃/分で昇温したときの分解開始温度の測定試験)における分解開始温度が40~140℃となるものであってもよい。分解開始温度が40℃以上であるとペースト組成物の常温における保存性が良好となり、140℃以下であると適度な硬化時間となる。
なお、前記分解開始温度は、試料の加熱前の質量に対する1%質量減少時の温度を分解開始温度とする。
The radical initiator (B) has a decomposition start temperature of 40 to 140°C in a rapid heating test (a test to measure the decomposition start temperature when 1 g of sample is placed on an electric heating plate and heated at 4°C/min). It may be. When the decomposition start temperature is 40°C or higher, the paste composition has good storage stability at room temperature, and when it is 140°C or lower, a suitable curing time is obtained.
The decomposition start temperature is defined as the temperature at which the mass of the sample decreases by 1% with respect to the mass before heating.

前記条件を満たす(B)ラジカル開始剤の具体例としては、例えば、1,1-ビス(t-ブチルパーオキシ)-2-メチルシクロヘキサン、t-ブチルパーオキシネオデカノエート、ジクミルパーオキサイド等が挙げられる。これらは単独で使用しても、硬化性を制御するために2種類以上を混合して使用してもよい。 Specific examples of the radical initiator (B) that satisfies the above conditions include 1,1-bis(t-butylperoxy)-2-methylcyclohexane, t-butylperoxyneodecanoate, dicumyl peroxide. etc. These may be used alone or in combination of two or more to control curability.

前記(B)ラジカル開始剤の含有量は、前記(A)熱硬化性化合物100質量部に対して、0.1~10質量部であってもよい。(B)ラジカル開始剤の含有量が0.1質量部以上であると硬化性が良好となり、10質量部以下であるとペースト組成物の粘度の経時変化が大きくなり過ぎず、作業性が良好となる。 The content of the radical initiator (B) may be 0.1 to 10 parts by mass based on 100 parts by mass of the thermosetting compound (A). (B) When the content of the radical initiator is 0.1 parts by mass or more, curability is good, and when it is 10 parts by mass or less, the change in viscosity of the paste composition over time does not become too large, and workability is good. becomes.

(C)銀粒子
本実施形態で用いられる(C)銀粒子は、特に限定されないが、該(C)銀粒子の厚さ又は短径は1~200nmであってもよく、1~100nmであってもよい。(C)銀粒子の厚さ又は短径が1nm以上であるとペースト組成物の作業性を良くすることができ、200nm以下であると焼結性が良好となり、接続バンプの体積抵抗を低くすることができる。
なお、前記(C)銀粒子の厚さ又は短径は、透過型電子顕微鏡(TEM)又は走査型電子顕微鏡(SEM)により取得された観察画像をデータ処理することで測定されるものである。
(C) Silver particles The (C) silver particles used in this embodiment are not particularly limited, but the thickness or short diameter of the (C) silver particles may be 1 to 200 nm, or 1 to 100 nm. It's okay. (C) When the thickness or breadth of the silver particles is 1 nm or more, the workability of the paste composition can be improved, and when it is 200 nm or less, the sinterability is good and the volume resistance of the connection bump is lowered. be able to.
The thickness or short diameter of the silver particles (C) is measured by data processing an observed image obtained by a transmission electron microscope (TEM) or a scanning electron microscope (SEM).

前記(C)銀粒子の形状は、球状、プレート型、樹枝状、ロッド状、ワイヤー状等が挙げられる。ここで、(C)銀粒子の形状が、プレート型の場合には、その厚さが前記範囲を満たしていればよく、球状、樹枝状、ロッド状、ワイヤー状の場合には、その断面直径における最も短い径(短径)が前記範囲を満たしていればよい。ここで、本開示において、プレート型の銀粒子の厚さとは、一対の平面間の距離において最小の距離をいう。
前記(C)銀粒子としては、(C1)プレート型銀粒子、(C2)球状銀粒子等が挙げられる。
Examples of the shape of the silver particles (C) include spherical, plate-shaped, dendritic, rod-shaped, and wire-shaped. (C) When the shape of the silver particle is a plate type, the thickness only needs to satisfy the above range, and when the shape of the silver particle is spherical, dendritic, rod-like, or wire-like, the cross-sectional diameter It is sufficient that the shortest diameter (breadth diameter) in satisfies the above range. Here, in the present disclosure, the thickness of plate-shaped silver particles refers to the minimum distance between a pair of planes.
Examples of the (C) silver particles include (C1) plate-shaped silver particles, (C2) spherical silver particles, and the like.

前記(C)銀粒子は、1種を用いてもよく、2種を併用してもよい。前記(C)銀粒子として2種を併用する場合、(C1)プレート型銀粒子と(C2)球状銀粒子とを併用してもよい。(C1)プレート型銀粒子と(C2)球状銀粒子との含有比率は、質量比で、(C1):(C2)=100:0~50:50であってもよく、100:0~70:30であってもよい。本実施形態のペースト組成物は、(C1)成分を50質量%以上含むことで、チクソ比が後述の範囲となり、印刷後の形状保持性が安定し、複数の電極接続用バンプを狭ピッチで印刷しても、良好な絶縁性が得られる。 The silver particles (C) may be used alone or in combination of two types. When using two kinds of silver particles (C) in combination, (C1) plate-shaped silver particles and (C2) spherical silver particles may be used together. The content ratio of (C1) plate-shaped silver particles and (C2) spherical silver particles may be (C1):(C2)=100:0 to 50:50, or 100:0 to 70, in terms of mass ratio. :30 may be sufficient. By containing the component (C1) at 50% by mass or more, the paste composition of this embodiment has a thixotropic ratio within the range described below, stable shape retention after printing, and a plurality of electrode connection bumps arranged at a narrow pitch. Even when printed, good insulation properties can be obtained.

前記(C1)プレート型銀粒子は、球状のナノ粒子とは異なり、一つの金属結晶面を大きく成長させて得られる、厚みの均一なプレート状の粒子であり、一般に、大きさがミクロンオーダーで厚みが数ナノメートル程度であり、三角形板状、六角形板状、切頂三角形板状などの形状を有している。また、その厚み方向の上面が[111]面で広く覆われていてもよい。
(C1)プレート型銀粒子は、短径方向に積み重なる傾向にあるため、縦m個×横n個(m、nは、それぞれ独立に、10~1000)の電極接続用バンプをアレイ状に印刷する際のバンプ高さのばらつきを小さくできる利点がある。また、ペースト組成物の硬化後の接続抵抗値を低くできる利点もある。
Unlike spherical nanoparticles, the plate-shaped silver particles (C1) are plate-shaped particles with a uniform thickness that are obtained by growing a single metal crystal face, and generally have a size on the order of microns. The thickness is approximately several nanometers, and the shape is a triangular plate, a hexagonal plate, or a truncated triangular plate. Further, the upper surface in the thickness direction may be widely covered with the [111] plane.
(C1) Since plate-shaped silver particles tend to stack up in the short axis direction, m vertically x horizontally n bumps (m and n are each independently 10 to 1000) are printed in an array. This has the advantage of reducing the variation in bump height when bumping. There is also the advantage that the connection resistance value after the paste composition is cured can be lowered.

(C1)プレート型銀粒子は、中心粒子径が0.3~15μmであってもよい。本開示の一実施形態は、プレート型銀粒子の中心粒子径を前記範囲とすることで、樹脂成分への分散性を向上することができる。ここで、中心粒子径とは、レーザー回折式粒度分布測定装置で測定して得られた体積基準の粒度分布曲線における50%積算値(50%粒子径)を指す。 (C1) The plate-shaped silver particles may have a center particle diameter of 0.3 to 15 μm. In an embodiment of the present disclosure, by setting the center particle diameter of the plate-shaped silver particles within the above range, dispersibility in the resin component can be improved. Here, the central particle diameter refers to a 50% integrated value (50% particle diameter) in a volume-based particle size distribution curve obtained by measurement with a laser diffraction particle size distribution analyzer.

また、(C1)プレート型銀粒子の厚さは10~200nmであってもよく、10~100nmであってもよい。前記厚さは、透過型電子顕微鏡(TEM)又は走査型電子顕微鏡(SEM)により取得された観察画像をデータ処理することで測定されるものである。さらに、(C1)プレート型銀粒子の平均厚さが前記範囲内であってもよい。前記平均厚さは、下記のようにして個数平均厚さとして算出される。 Further, the thickness of the plate-shaped silver particles (C1) may be 10 to 200 nm, or may be 10 to 100 nm. The thickness is measured by data processing an observed image acquired by a transmission electron microscope (TEM) or a scanning electron microscope (SEM). Furthermore, the average thickness of the plate-shaped silver particles (C1) may be within the above range. The average thickness is calculated as a number average thickness as follows.

(C1)プレート型銀粒子の[n+1]個(n+1は、例えば、50から100程度)の観察画像から計測した厚さを厚い方から薄い方へ順番に並べ、その範囲(最大厚さ:x、最小厚さ:xn+1)をn分割し、それぞれの厚さの区間を、[x、xj+1](j=1,2,・・・・,n)とする。この場合の分割は対数スケール上での等分割となる。また、対数スケールに基づいてそれぞれの厚さ区間での代表厚さは、下記式で表される。 (C1) The thicknesses measured from the observation images of [n+1] plate-shaped silver particles (n+1 is, for example, about 50 to 100) are arranged in order from the thickest to the thinnest, and the range (maximum thickness: x 1 , minimum thickness: x n+1 ) is divided into n sections, and each thickness section is defined as [x j , x j+1 ] (j=1, 2, . . . , n). The division in this case is equal division on a logarithmic scale. Further, the representative thickness in each thickness section based on the logarithmic scale is expressed by the following formula.

さらにr(j=1,2,・・・・,n)を、区間[x、xj+1]に対応する相対量(差分%)とし、全区間の合計を100%とすると、対数スケール上での平均値μは下記式で計算できる。 Furthermore, if r j (j=1, 2,..., n) is the relative amount (difference %) corresponding to the interval [x j , x j+1 ], and the sum of all intervals is 100%, then the logarithmic scale The above average value μ can be calculated using the following formula.

前記μは、対数スケール上の数値であり、厚さとしての単位を持たないので、厚さの単位に戻すために10μすなわち10のμ乗を計算する。この10μが個数平均厚さである。 Since μ is a numerical value on a logarithmic scale and does not have a thickness unit, 10 μ , that is, 10 to the μ power, is calculated to return it to a thickness unit. This 10 μ is the number average thickness.

また、厚み方向に垂直な方向の長辺が厚みの8~150倍の範囲内であってもよく、10~50倍であってもよい。さらに、厚み方向に垂直な方向の短辺が厚みの1~100倍の範囲内であってもよく、3~50倍であってもよい。 Further, the long side in the direction perpendicular to the thickness direction may be within the range of 8 to 150 times the thickness, or may be 10 to 50 times the thickness. Furthermore, the short side in the direction perpendicular to the thickness direction may be within the range of 1 to 100 times the thickness, or may be 3 to 50 times the thickness.

(C1)プレート型銀粒子は100~250℃で自己焼結可能である。このように100~250℃で自己焼結する銀粒子を含有することで、熱硬化時に銀粒子の流動性が向上し、その結果、銀粒子同士の接点がより多くなる上に、接点の面積が大きくなり、導電性が格段に向上する。自己焼結温度が低いほど焼結性が良好であるため、(C1)プレート型銀粒子の焼結温度は、100~200℃であってもよい。
なお、ここで自己焼結可能であるとは加圧又は添加剤等を加えなくても、融点よりも低い温度での加熱で焼結することをいう。
(C1) Plate-shaped silver particles can be self-sintered at 100 to 250°C. By containing silver particles that self-sinter at temperatures of 100 to 250°C, the fluidity of the silver particles improves during heat curing, resulting in more contact points between the silver particles and the area of the contact points. becomes larger, and the conductivity is significantly improved. Since the lower the self-sintering temperature, the better the sinterability, the sintering temperature of the plate-shaped silver particles (C1) may be 100 to 200°C.
Note that the term "self-sinterable" here means that the material can be sintered by heating at a temperature lower than the melting point without applying pressure or adding additives.

このような(C1)プレート型銀粒子としては、例えば、トクセン工業株式会社製のM612(商品名;中心粒子径6~12μm、粒子厚み60~100nm、融点250℃)、M27(商品名;中心粒子径2~7μm、粒子厚み60~100nm、融点200℃)、M13(商品名;中心粒子径1~3μm、粒子厚み40~60nm、融点200℃)、N300(商品名;中心粒子径0.3~0.6μm、粒子厚み50nm以下、融点150℃)などが挙げられる。これらのプレート型銀粒子は、単独で用いてもよく、組み合わせて用いてもよい。特に、充填率を向上させるために、(C1)プレート型銀粒子は、例えば上述のプレート型銀粒子のうち、M27、M13などの粒径が比較的大きな銀粒子に、N300などの粒径の小さなものを組み合わせて用いてもよい。 Examples of such (C1) plate-shaped silver particles include M612 (product name; center particle diameter 6 to 12 μm, particle thickness 60 to 100 nm, melting point 250° C.) manufactured by Tokusen Kogyo Co., Ltd., M27 (product name; center Particle size: 2 to 7 μm, particle thickness: 60 to 100 nm, melting point: 200°C), M13 (product name; center particle size: 1 to 3 μm, particle thickness: 40 to 60 nm, melting point: 200°C), N300 (product name: center particle size: 0. 3 to 0.6 μm, particle thickness of 50 nm or less, melting point of 150° C.), etc. These plate-shaped silver particles may be used alone or in combination. In particular, in order to improve the filling rate, (C1) plate-type silver particles are replaced with silver particles having a relatively large particle size such as M27 and M13 among the above-mentioned plate-type silver particles, and a plate-type silver particle having a particle size such as N300. You may use a combination of small ones.

(C1)プレート型銀粒子は、粒子厚み200nm以下、タップ密度(TD)3.0~7.0g/cm、かつ比表面積(BET)2.0~6.0m/gであってもよい。前記タップ密度が前記範囲にあると、良好な接続抵抗値となる。
前記タップ密度は、タップ密度測定器を用いて測定することができる。また、前記比表面積は、比表面積測定装置を用いて、窒素吸着によるBET 1点法により測定することができる。
(C1) Plate-shaped silver particles may have a particle thickness of 200 nm or less, a tap density (TD) of 3.0 to 7.0 g/cm 3 , and a specific surface area (BET) of 2.0 to 6.0 m 2 /g. good. When the tap density is within the range, a good connection resistance value is obtained.
The tap density can be measured using a tap density measuring device. Further, the specific surface area can be measured by a BET one-point method using nitrogen adsorption using a specific surface area measuring device.

前記(C2)球状銀粒子は、平均粒子径が10~200nmであってもよい。(C2)球状銀粒子は、通常、銀粒子の金属表面に有機化合物による被膜層が設けられたものであるか又は該銀粒子を有機化合物中に分散させてなるものである。このような形態とすると、含有される銀粒子同士がその金属面を直接接触させないようにできるため、銀粒子が凝集した塊が形成されることを抑制でき、銀粒子を個々に分散させた状態で保持できる。
なお、(C2)球状銀粒子の平均粒子径は、透過型電子顕微鏡(TEM)又は走査型電子顕微鏡(SEM)により取得された観察画像をデータ処理することで測定されるものである。さらに、(C2)球状銀粒子の平均粒子径が前述の(C)銀粒子の厚さ又は短径の範囲内であってもよい。前記平均粒子径は、(C2)球状銀粒子の50個から100個の観察画像から計測した粒子径の個数平均粒子径として算出される。前記個数平均粒子径は、前記平均厚さの算出と同様にして平均値を算出すればよい。
The spherical silver particles (C2) may have an average particle diameter of 10 to 200 nm. (C2) Spherical silver particles are usually formed by providing a coating layer of an organic compound on the metal surface of silver particles, or by dispersing the silver particles in an organic compound. This form prevents the metal surfaces of the contained silver particles from coming into direct contact with each other, thereby suppressing the formation of aggregates of silver particles and creating a state in which the silver particles are individually dispersed. It can be held with
The average particle diameter of the (C2) spherical silver particles is measured by data processing an observed image obtained by a transmission electron microscope (TEM) or a scanning electron microscope (SEM). Furthermore, the average particle diameter of the spherical silver particles (C2) may be within the range of the thickness or breadth of the silver particles (C) described above. The average particle diameter is calculated as the number average particle diameter of the particle diameters measured from 50 to 100 observed images of (C2) spherical silver particles. The average value of the number average particle diameter may be calculated in the same manner as the calculation of the average thickness.

前記(C2)球状銀粒子表面の被膜層又は(C2)球状銀粒子を分散させる有機化合物としては、分子量20,000以下の窒素、炭素、酸素を構成要素として有する有機化合物、具体的にはアミノ基、カルボキシ基等の官能基を有する有機化合物が用いられる。
ここで使用されるカルボキシ基を含む有機化合物としては、分子量が110~20,000の有機カルボン酸から選ばれる1種以上の有機化合物が挙げられ、例えば、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ウンデカン酸、ドデカン酸、テトラデカン酸、エイコサン酸、ドコサン酸、2-エチルヘキサン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、末端ジプロピオン酸ポリエチレンオキシドなどのカルボン酸が挙げられる。さらに、前記有機化合物としては、前記したカルボン酸のカルボン酸誘導体も使用できる。
The coating layer on the surface of the (C2) spherical silver particles or the organic compound in which the (C2) spherical silver particles are dispersed include organic compounds having nitrogen, carbon, and oxygen as constituent elements with a molecular weight of 20,000 or less, specifically amino acids. An organic compound having a functional group such as a group or a carboxy group is used.
The organic compound containing a carboxyl group used here includes one or more organic compounds selected from organic carboxylic acids having a molecular weight of 110 to 20,000, such as hexanoic acid, heptanoic acid, octanoic acid, nonane Examples include carboxylic acids such as decanoic acid, undecanoic acid, dodecanoic acid, tetradecanoic acid, eicosanoic acid, docosanoic acid, 2-ethylhexanoic acid, oleic acid, linoleic acid, linolenic acid, and terminal dipropionic acid polyethylene oxide. Further, as the organic compound, a carboxylic acid derivative of the above-mentioned carboxylic acid can also be used.

また、ここで使用されるアミノ基を有する有機化合物としては、アルキルアミン等が挙げられ、例えば、ブチルアミン、メトキシエチルアミン、2-エトキシエチルアミン、ヘキシルアミン、オクチルアミン、3-ブトキシプロピルアミン、ノニルアミン、ドデシルアミン、ヘキサドデシルアミン、オクタデシルアミン、ココアミン、タロウアミン、水酸化タロウアミン、オレイルアミン、ラウリルアミン、ステアリルアミン、及び3-アミノプロピルトリエトキシシランなどの第1級アミン、ジココアミン、ジ水素化タロウアミン、及びジステアリルアミンなどの第2級アミン、並びにドデシルジメチルアミン、ジドデシルモノメチルアミン、テトラデシルジメチルアミン、オクタデシルジメチルアミン、ココジメチルアミン、ドデシルテトラデシルジメチルアミン、及びトリオクチルアミンなどの第3級アミンや、その他に、ナフタレンジアミン、ステアリルプロピレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナンジアミン、末端ジアミンポリエチレンオキシド、トリアミン末端ポリプロピレンオキシド、ジアミン末端ポリプロピレンオキシドなどのジアミンが挙げられる。 In addition, examples of the organic compound having an amino group used here include alkyl amines, such as butylamine, methoxyethylamine, 2-ethoxyethylamine, hexylamine, octylamine, 3-butoxypropylamine, nonylamine, dodecylamine, etc. Primary amines such as amines, hexadodecylamine, octadecylamine, cocoamine, tallowamine, hydroxylated tallowamine, oleylamine, laurylamine, stearylamine, and 3-aminopropyltriethoxysilane, dicocoamine, dihydrogenated tallowamine, and distearyl. Secondary amines such as amines, and tertiary amines such as dodecyldimethylamine, didodecylmonomethylamine, tetradecyldimethylamine, octadecyldimethylamine, cocodimethylamine, dodecyltetradecyldimethylamine, and trioctylamine, and others. Examples include diamines such as naphthalene diamine, stearylpropylene diamine, octamethylene diamine, nonane diamine, diamine-terminated polyethylene oxide, triamine-terminated polypropylene oxide, and diamine-terminated polypropylene oxide.

前記(C2)球状銀粒子を被覆又は分散する有機化合物の分子量が20,000以下であると、有機化合物の銀粒子表面からの脱離がおこりやすくなり、ペーストを焼成した後において硬化物内に前記有機化合物が残存しにくくなり、その結果導電性を高めることができる。また、分子量の下限としては50以上であってもよい。分子量が50以上であると銀粒子の貯蔵安定性を良好にすることができる。 If the molecular weight of the organic compound that coats or disperses the spherical silver particles (C2) is 20,000 or less, the organic compound is likely to be detached from the surface of the silver particles, and after the paste is baked, it will not be present in the cured product. The organic compound is less likely to remain, and as a result, conductivity can be improved. Further, the lower limit of the molecular weight may be 50 or more. When the molecular weight is 50 or more, the storage stability of the silver particles can be improved.

(C2)球状銀粒子は、この銀粒子と該銀粒子を被覆又は分散する有機化合物との質量比が90:10~99.5:0.5であってもよい。有機化合物の質量比が0.5質量%以上あると銀粒子の凝集が少なく、10質量%以下であると、焼成した後の硬化物内に前記有機化合物が残存しにくくすることができ、その結果、導電性や熱伝導性が良好となる。 (C2) The spherical silver particles may have a mass ratio of 90:10 to 99.5:0.5 between the silver particles and the organic compound that coats or disperses the silver particles. When the mass ratio of the organic compound is 0.5% by mass or more, there is little aggregation of silver particles, and when it is 10% by mass or less, it is possible to make it difficult for the organic compound to remain in the cured product after firing, and the As a result, electrical conductivity and thermal conductivity become good.

(D)銀粉
本実施形態で用いられる(D)銀粉は、(C)銀粒子よりも粒子径が大きく、樹脂接着剤中に導電性を付与するために添加される無機充填材としての銀粉であればよい。
前記(D)銀粉を前記(C)銀粒子と組み合わせて含有することで、接続抵抗値を小さくすることができる。
(D)銀粉は、平均粒子径が0.2μmよりも大きく20μm以下であってもよく、1~10μmであってもよい。
前記(D)銀粉の平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置で測定して得られた体積基準の粒度分布曲線における50%積算値(50%粒子径)を指す。
(D) Silver powder The (D) silver powder used in this embodiment has a larger particle size than the (C) silver particles, and is silver powder as an inorganic filler added to the resin adhesive to impart conductivity. Good to have.
By containing the silver powder (D) in combination with the silver particles (C), the connection resistance value can be reduced.
(D) The silver powder may have an average particle diameter of more than 0.2 μm and 20 μm or less, or 1 to 10 μm.
The average particle diameter of the silver powder (D) refers to a 50% integrated value (50% particle diameter) in a volume-based particle size distribution curve obtained by measurement with a laser diffraction particle size distribution measuring device.

また、(D)銀粉の形状としては、例えば、フレーク状、球状、樹脂状、ロッド状、ワイヤー状、プレート状等が挙げられる。
前記(D)銀粉としては、(D1)フレーク状銀粉、(D2)球状銀粉等が挙げられる。
前記(D)銀粉は、1種を用いてもよく、2種を併用してもよい。
Moreover, examples of the shape of the silver powder (D) include flake, spherical, resin, rod, wire, and plate shapes.
Examples of the silver powder (D) include (D1) flaky silver powder, (D2) spherical silver powder, and the like.
One type of silver powder (D) may be used, or two types may be used in combination.

前記(D)銀粉は、(D1)フレーク状銀粉と(D2)球状銀粉とを組み合わせて用いてもよい。
前記(D1)成分と前記(D2)成分との含有比率は、質量比で、(D1):(D2)=50:50~100:0であってもよい。本実施形態のペースト組成物は、(D1)成分を50質量%以上含むことで、降伏値が後述の範囲となり、版離れ性が良好となるため、アレイ状に複数の電極接続用バンプを狭ピッチで印刷しても、バンプ同士の短絡が発生することはない。
The silver powder (D) may be a combination of (D1) flaky silver powder and (D2) spherical silver powder.
The content ratio of the component (D1) and the component (D2) may be (D1):(D2)=50:50 to 100:0 in terms of mass ratio. When the paste composition of this embodiment contains 50% by mass or more of the component (D1), the yield value falls within the range described below and the plate release property becomes good. Even if the bumps are printed at pitch, short circuits between bumps will not occur.

前記(C)成分と前記(D)成分の含有比率は、質量比で、(C)成分:(D)成分=10:90~50:50であってもよく、10:90~30:70であってもよい。前記含有比率が前記範囲にあると、ペースト組成物は、降伏値及び粘度がいずれも後述の範囲となり、印刷後の形状保持性が安定し、複数の電極接続用バンプを狭ピッチで印刷しても、良好な絶縁性が得られる。ペースト組成物は、(C)成分の含有比率が10質量%以上であると焼結性に優れるため体積抵抗率が小さくなる。ペースト組成物は、(C)成分の含有比率が、50質量%以下であると焼結による体積収縮が小さくなるため、印刷したバンプ高さが安定する。 The content ratio of the component (C) and the component (D) may be a mass ratio of component (C):component (D)=10:90 to 50:50, or 10:90 to 30:70. It may be. When the content ratio is within the above range, the paste composition has both a yield value and a viscosity within the ranges described below, has stable shape retention after printing, and can print a plurality of electrode connection bumps at a narrow pitch. Good insulation properties can also be obtained. When the content ratio of the component (C) is 10% by mass or more, the paste composition exhibits excellent sinterability and thus has a low volume resistivity. In the paste composition, when the content ratio of the component (C) is 50% by mass or less, the volumetric shrinkage due to sintering becomes small, so that the printed bump height is stabilized.

前記(C)成分と前記(D)成分の合計含有量は、ペースト組成物全体に対して85~95質量%であり、90~94質量%であってもよい。前記(C)成分と前記(D)成分の合計含有量が85質量%未満であると導電性が劣るおそれがあり、95質量%を超えると接着性が劣るおそれがある。 The total content of the component (C) and the component (D) is 85 to 95% by mass, and may be 90 to 94% by mass, based on the entire paste composition. If the total content of the component (C) and the component (D) is less than 85% by mass, the conductivity may be poor, and if it exceeds 95% by mass, the adhesiveness may be poor.

(E)溶剤
本実施形態のペースト組成物は、さらに溶剤を含有してもよい。本実施形態で使用される溶剤は、印刷後の作業性の観点から、沸点200~220℃、引火点90~130℃のアルコール、またはエステルであってもよい。
(E)溶剤としては、樹脂の溶解性が高く、かつ溶剤の揮発による塗布ムラを生じにくくする観点から、沸点200℃以上のアルコール系溶剤であってもよい。沸点200℃以上のアルコール系溶剤としては、例えば、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、1,3-ブタンジオール、グリセリン、ベンジルアルコール、ジプロピレングリコール、1,4-ブタンジオール、2,2,4-トリメチル1,3-ペンタンジオールモノイソブチレート、エチレングリコールモノ-2-エチルヘキシルエーテル、ジヒドロターピネオール、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセタート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ターピネオール、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、イソデカノール、イソトリデカノール又はエチレングリコールモノヘキシルエーテル等が挙げられる。
(E) Solvent The paste composition of this embodiment may further contain a solvent. The solvent used in this embodiment may be an alcohol or ester having a boiling point of 200 to 220°C and a flash point of 90 to 130°C from the viewpoint of workability after printing.
(E) The solvent may be an alcoholic solvent with a boiling point of 200° C. or higher, from the viewpoint of high solubility of the resin and less likely to cause uneven coating due to solvent volatilization. Examples of alcoholic solvents with a boiling point of 200°C or higher include diethylene glycol, triethylene glycol, 1,3-butanediol, glycerin, benzyl alcohol, dipropylene glycol, 1,4-butanediol, 2,2,4-trimethyl 1 , 3-pentanediol monoisobutyrate, ethylene glycol mono-2-ethylhexyl ether, dihydroterpineol, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, terpineol, diethylene glycol butyl methyl ether, isodecanol, isotridecanol or ethylene glycol mono Examples include hexyl ether.

(E)溶剤の含有量は、作業性の観点から、ペースト組成物全体に対して0.1~10質量%であってもよい。また、(E)溶剤の含有量を前記範囲内で適宜調整することにより、ペースト組成物の粘度を後述の範囲とすることができる。 (E) From the viewpoint of workability, the content of the solvent may be 0.1 to 10% by mass based on the entire paste composition. Further, by appropriately adjusting the content of the solvent (E) within the above range, the viscosity of the paste composition can be set within the range described below.

本実施形態のペースト組成物は、以上の各成分の他、本実施形態の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて、この種の組成物に一般に配合される、硬化促進剤、ゴム、シリコーン等の低応力化剤、チタネートカップリング剤等のカップリング剤、密着付与剤、顔料、染料、消泡剤、界面活性剤、希釈剤等の添加剤を適宜含有することができる。これらの各添加剤はいずれも1種を使用してもよく、2種以上を混合して使用してもよい。 In addition to the above-mentioned components, the paste composition of the present embodiment may contain curing accelerators, rubber, silicone, etc., which are generally blended in this type of composition, as necessary, to the extent that the effects of the present embodiment are not impaired. Additives such as stress reducing agents such as, coupling agents such as titanate coupling agents, adhesion agents, pigments, dyes, antifoaming agents, surfactants, diluents and the like may be appropriately contained. Each of these additives may be used alone or in combination of two or more.

本実施形態のペースト組成物中に含まれる(A)~(D)成分の合計含有量は、90質量%以上であってもよく、94質量%以上であってもよく、96質量%以上であってもよい。 The total content of components (A) to (D) contained in the paste composition of the present embodiment may be 90% by mass or more, 94% by mass or more, or 96% by mass or more. There may be.

(ペースト組成物の調製)
本実施形態のペースト組成物は、まず、前述した(A)~(D)の各成分、及び必要に応じて配合されるカップリング剤等の添加剤、溶剤等を十分に混合する。次に、本実施形態のペースト組成物は、混合した樹脂組成物をディスパース、ニーダー、3本ロールミル等により混練処理を行う。最後に、本実施形態のペースト組成物は、混練した樹脂組成物を脱泡することにより、調製することができる。
(Preparation of paste composition)
The paste composition of this embodiment is prepared by thoroughly mixing each of the components (A) to (D) described above, additives such as a coupling agent, a solvent, etc., which are added as necessary. Next, the paste composition of this embodiment is prepared by kneading the mixed resin composition using a disperser, a kneader, a three-roll mill, or the like. Finally, the paste composition of this embodiment can be prepared by defoaming the kneaded resin composition.

(ペースト組成物の降伏値)
本実施形態のペースト組成物は、降伏値が100~200Paであり、120~180Paであってもよい。降伏値が100Pa未満であると実装時の安定性が劣り、得られる電子部品の信頼性が低下するおそれがある。一方、降伏値が200Paを超えると加熱溶融時のレベリング性が低下し、得られる電子部品の信頼性が低下するおそれがある。また、前記降伏値が前記範囲にあると、版離れ性が良好で、複数個の電子部品を並べて実装した際の高さレベルの揃った電子部品が得られる。
ここで、降伏値はペースト組成物を流動させるのに必要な最小の応力であり、ペースト組成物が流動を開始する時点の荷重力又は剪断力として定義される。
前記降伏値は、例えば、E型粘度計(3°コーン)を用いて任意の剪断速度における剪断応力を測定し、剪断速度及び剪断応力をキャッソンプロットすることで求めることができる。具体的には実施例に記載の方法により測定することができる。
(Yield value of paste composition)
The paste composition of this embodiment has a yield value of 100 to 200 Pa, and may be 120 to 180 Pa. If the breakdown value is less than 100 Pa, the stability during mounting will be poor, and the reliability of the resulting electronic component may be reduced. On the other hand, if the yield value exceeds 200 Pa, the leveling property during heating and melting may be reduced, and the reliability of the obtained electronic component may be reduced. Further, when the yield value is within the range, plate release properties are good and electronic components having a uniform height level when a plurality of electronic components are mounted side by side can be obtained.
Here, the yield value is the minimum stress required to cause the paste composition to flow, and is defined as the loading force or shear force at which the paste composition begins to flow.
The yield value can be determined, for example, by measuring shear stress at a given shear rate using an E-type viscometer (3° cone), and by drawing a Casson plot of the shear rate and shear stress. Specifically, it can be measured by the method described in Examples.

(ペースト組成物の粘度)
本実施形態のペースト組成物は、回転数2rpmにおける粘度が20~60Pa・sであり、20~50Paであってもよい。前記粘度が20Pa・s未満であると、印刷時のぬれ広がりが大きくなり過ぎて得られる電子部品の信頼性が低下するおそれがある。一方、前記粘度が60Pa・sを超えると、電子部品の実装性が低下するおそれがある。また、前記粘度が前記範囲にあると、印刷バンプの高さのばらつきを小さくすることができる。
前記粘度は、E型粘度計(3°コーン)を使用し、25℃で測定した値とする。具体的には実施例に記載の方法により測定することができる。
(Viscosity of paste composition)
The paste composition of this embodiment has a viscosity of 20 to 60 Pa·s at a rotational speed of 2 rpm, and may be 20 to 50 Pa. If the viscosity is less than 20 Pa·s, there is a risk that the wetting and spreading during printing will become too large and the reliability of the obtained electronic component will decrease. On the other hand, if the viscosity exceeds 60 Pa·s, there is a risk that the mounting performance of electronic components may deteriorate. Furthermore, when the viscosity is within the range, variations in the height of printed bumps can be reduced.
The viscosity is a value measured at 25° C. using an E-type viscometer (3° cone). Specifically, it can be measured by the method described in Examples.

(ペースト組成物のチクソ性)
本実施形態のペースト組成物の25℃におけるチクソ比(2rpmの粘度/20rpmの粘度)は3~6であり、4~5であってもよい。前記チクソ比が3未満であると印刷時のぬれ広がりが大きくなり過ぎて得られる電子部品の信頼性が低下するおそれがある。一方、前記チクソ比が6を超えると電子部品の実装性が低下するおそれがある。また、前記チクソ比は、前記範囲にあると複数個のバンプを印刷してもぬれ広がりによる短絡発生のおそれがない。
前記チクソ比は、例えば、E型粘度計(3°コーン)を用いて測定することができ、具体的には実施例に記載の方法により測定することができる。
(Thixotropic properties of paste composition)
The thixotropic ratio (viscosity at 2 rpm/viscosity at 20 rpm) of the paste composition of the present embodiment at 25° C. is 3 to 6, and may be 4 to 5. When the thixometry ratio is less than 3, the wettability during printing becomes too large, which may reduce the reliability of the resulting electronic component. On the other hand, if the thixometry ratio exceeds 6, there is a risk that the mounting performance of electronic components may deteriorate. Furthermore, when the thixotropic ratio is within the range, there is no risk of short circuits due to wetting and spreading even when a plurality of bumps are printed.
The thixotropic ratio can be measured using, for example, an E-type viscometer (3° cone), and specifically can be measured by the method described in Examples.

本実施形態のペースト組成物は、密着性及び導電性が良好であり、はんだペーストのようにリフロー時にぬれ広がることがないため、バンプ間で短絡が発生するおそれのない、信頼性の良好なバンプ群を形成することができる。さらに、本実施形態のペースト組成物を用いることで、信頼性に優れた電子部品を提供することができる。 The paste composition of this embodiment has good adhesion and conductivity, and does not spread during reflow unlike solder paste, so it can be used as a highly reliable bump without the risk of short circuits occurring between bumps. can form a group. Furthermore, by using the paste composition of this embodiment, it is possible to provide electronic components with excellent reliability.

<電子部品の製造方法>
本実施形態の電子部品装置の製造方法は、上述のペースト組成物を用いて、基板上に、直径が50~200μm、高さが10~50μmの銀バンプを、各々の間隙が50~200μmで、縦m個×横n個(m、nは、それぞれ独立に、10~1000)印刷してアレイ状に形成する工程、および2以上の電極を有する素子部品を該バンプ上に並べて実装する工程を有する。
本実施形態のペースト組成物を用いることにより、実装した素子部品は良好なレベリング性が得られる。
<Method for manufacturing electronic components>
The method for manufacturing an electronic component device according to the present embodiment includes forming silver bumps with a diameter of 50 to 200 μm and a height of 10 to 50 μm on a substrate using the above-mentioned paste composition with a gap of 50 to 200 μm. , a process of printing m vertically x n horizontally (m and n are each independently 10 to 1000) to form an array, and a process of arranging and mounting element parts having two or more electrodes on the bumps. has.
By using the paste composition of this embodiment, the mounted element components can have good leveling properties.

アレイ状とは、決められたパターンに従って複数行複数列に素子部品が配列された状態をいい、行方向と列方向の間隔が同一又は相違しており、例えば碁盤の目状の配置、蜂の巣模様のような千鳥状の配置等である。
素子部品は、電子回路に使用される部品であり、MEMS、半導体素子、抵抗及びコンデンサ等のチップが含まれ、半導体素子にはトランジスタ、ダイオード、LED及びサイリスタ等のディスクリート半導体、並びにICやLSI等の集積回路が含まれる。LEDには所謂ミニLED及びマイクロLEDが含まれる。
An array is a state in which element parts are arranged in multiple rows and columns according to a predetermined pattern, and the intervals in the row and column directions are the same or different, such as a checkerboard arrangement, a honeycomb pattern, etc. This is a staggered arrangement like this.
Element parts are parts used in electronic circuits, and include chips such as MEMS, semiconductor elements, resistors, and capacitors. Semiconductor elements include discrete semiconductors such as transistors, diodes, LEDs, and thyristors, as well as ICs, LSIs, etc. includes integrated circuits. LEDs include so-called mini LEDs and micro LEDs.

ペースト組成物の加熱硬化の条件は、150~250℃で、30~90分間であってもよい。加熱硬化条件が前記範囲にあると密着性が良好で接続抵抗値が低くなる。 The conditions for heat curing the paste composition may be at 150 to 250° C. for 30 to 90 minutes. When the heat curing conditions are within the above range, the adhesion is good and the connection resistance value is low.

基板上に、銀バンプを等間隔で形成する方法としては、スタンピング法、ディスペンス法、印刷法等公知の方法を使用できる。印刷版は金属板に孔を開けたメタルマスクを使用してもよい。 As a method for forming silver bumps at regular intervals on a substrate, known methods such as a stamping method, a dispensing method, and a printing method can be used. A metal mask with holes made in a metal plate may be used as the printing plate.

次に実施例により、本発明を具体的に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。 EXAMPLES Next, the present invention will be specifically explained with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples in any way.

(実施例1~6、比較例1~4)
表1に記載の配合に従って各成分を混合し、ロールで混練し、ペースト組成物を得た。得られたペースト組成物を後述の方法で評価した。その結果を表1に併せて示す。なお、実施例及び比較例で用いた材料は、下記の特性を有するものを使用した。
(Examples 1 to 6, Comparative Examples 1 to 4)
Each component was mixed according to the formulation shown in Table 1 and kneaded with a roll to obtain a paste composition. The obtained paste composition was evaluated by the method described below. The results are also shown in Table 1. The materials used in Examples and Comparative Examples had the following characteristics.

〔(A)熱硬化性化合物〕
・(A1)熱硬化性化合物:エポキシ化ポリブタジエン(日本曹達株式会社製、商品名:JP-200、分子量2,200、エポキシ当量230g/eq)
・(A2)熱硬化性化合物:ヒドロキシエチルアクリルアミド(KJケミカルズ株式会社製、商品名:HEAA(登録商標))
[(A) Thermosetting compound]
・(A1) Thermosetting compound: Epoxidized polybutadiene (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., product name: JP-200, molecular weight 2,200, epoxy equivalent 230 g/eq)
・(A2) Thermosetting compound: Hydroxyethyl acrylamide (manufactured by KJ Chemicals Co., Ltd., product name: HEAA (registered trademark))

〔(B)ラジカル開始剤〕
・ジクミルパーオキサイド(日油株式会社製、商品名:パークミル(登録商標)D;急速加熱試験における分解温度:126℃)
[(B) Radical initiator]
・Dicumyl peroxide (manufactured by NOF Corporation, product name: Parkmil (registered trademark) D; decomposition temperature in rapid heating test: 126°C)

〔(C)銀粒子〕
・(C1)プレート型銀粒子:M13(商品名、トクセン工業株式会社製;中心粒子径:2μm、厚み:50nm以下)
前記(C1)プレート型銀粒子の中心粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置(株式会社島津製作所製、商品名:SALAD-7500nano)を用いて測定した粒度分布において積算体積が50%となる粒径(50%粒径、D50)から求めた。
前記(C1)プレート型銀粒子の厚みは、透過型電子顕微鏡(TEM)により取得された(C1)プレート型銀粒子の50個の観察画像から計測した粒子厚みの平均値として算出した。
・(C2)球状銀粒子:Ag nano powder-1(商品名、DOWAエレクトロニクス株式会社製、平均粒子径:20nm)
前記(C2)球状銀粒子の平均粒子径は、透過型電子顕微鏡(TEM)により取得された(C2)球状銀粒子の50個の観察画像から計測した粒子径の個数平均粒子径として算出した。
[(C) Silver particles]
・(C1) Plate-shaped silver particles: M13 (trade name, manufactured by Tokusen Kogyo Co., Ltd.; central particle diameter: 2 μm, thickness: 50 nm or less)
The central particle diameter of the plate-shaped silver particles (C1) is such that the cumulative volume is 50% in the particle size distribution measured using a laser diffraction particle size distribution analyzer (manufactured by Shimadzu Corporation, product name: SALAD-7500nano). It was determined from the particle size (50% particle size, D50).
The thickness of the (C1) plate-shaped silver particles was calculated as the average value of the particle thicknesses measured from 50 observed images of the (C1) plate-shaped silver particles obtained by a transmission electron microscope (TEM).
・(C2) Spherical silver particles: Ag nano powder-1 (trade name, manufactured by DOWA Electronics Co., Ltd., average particle diameter: 20 nm)
The average particle diameter of the (C2) spherical silver particles was calculated as the number average particle diameter of the particle diameters measured from 50 observed images of the (C2) spherical silver particles obtained by a transmission electron microscope (TEM).

〔(D)銀粉〕
・(D1)フレーク状銀粉:TC-506C(商品名、株式会社徳力本店製、平均粒子径:4.0μm)
・(D2)球状銀粉:Ag-HWQ2.5(商品名、福田金属箔粉工業株式会社製、平均粒子径:2.5μm)
前記(D)銀粉の平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置(株式会社島津製作所製、商品名:SALAD-7500nano)を用いて測定した粒度分布において積算体積が50%となる粒径(50%粒径、D50)から求めた。
[(D) Silver powder]
・(D1) Flake-like silver powder: TC-506C (product name, manufactured by Tokuriki Honten Co., Ltd., average particle size: 4.0 μm)
・(D2) Spherical silver powder: Ag-HWQ2.5 (trade name, manufactured by Fukuda Metal Foil and Powder Industries Co., Ltd., average particle size: 2.5 μm)
The average particle diameter of the silver powder (D) is the particle diameter at which the cumulative volume is 50% in the particle size distribution measured using a laser diffraction particle size distribution analyzer (manufactured by Shimadzu Corporation, product name: SALAD-7500nano). It was determined from the 50% particle size (D50).

〔(E)溶剤〕
・ブチルカルビトール(東京化成工業株式会社製)
[(E) Solvent]
・Butyl carbitol (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.)

<評価方法>
(1)粘度
E型粘度計(東機産業株式会社製、製品名:VISCOMETER-TV22、適用コーンプレート型ロータ:3°×R17.65)を用いて、温度25℃、回転数2rpmでの値を測定した。
<Evaluation method>
(1) Viscosity Value at a temperature of 25°C and a rotation speed of 2 rpm using an E-type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd., product name: VISCOMETER-TV22, applicable cone plate rotor: 3° x R17.65) was measured.

(2)チクソ比
E型粘度計(東機産業株式会社製、製品名:VISCOMETER-TV22、適用コーンプレート型ロータ:3°×R17.65)を用いて、25℃で、回転数2rpm及び20rpmでの粘度を測定し、20rpmに対する2rpmの粘度の比(2rpmの粘度/20rpmの粘度)をチクソ比とした。
(2) Thixometry ratio Using an E-type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd., product name: VISCOMETER-TV22, applicable cone plate rotor: 3° x R17.65), at 25°C, rotation speeds of 2 rpm and 20 rpm. The viscosity at 2 rpm was measured, and the ratio of the viscosity at 2 rpm to 20 rpm (viscosity at 2 rpm/viscosity at 20 rpm) was defined as the thixotropic ratio.

(3)降伏値
E型粘度計(東機産業株式会社製、製品名:VISCOMETER-TV22、適用コーンプレート型ロータ:3°×R17.65)を用いて、温度25℃で剪断速度が1(1/s)、2(1/s)、4(1/s)、10(1/s)、20(1/s)、40(1/s)、100(1/s)、200(1/s)の剪断応力を測定した。前記剪断速度及び剪断応力をキャッソンプロットし、降伏値を算出した。
(3) Yield value Using an E-type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd., product name: VISCOMETER-TV22, applicable cone plate rotor: 3° x R17.65), a shear rate of 1 ( 1/s), 2 (1/s), 4 (1/s), 10 (1/s), 20 (1/s), 40 (1/s), 100 (1/s), 200 (1 /s) was measured. The shear rate and shear stress were plotted on a Casson plot, and the yield value was calculated.

(4)常温密着性
ペースト組成物を用いて印刷評価基板に、0.25mm×0.1mmのLEDを200℃で1時間加熱して接合した後、西進商事株式会社製の接着強度測定装置を用いて25℃での接着強度を測定した。
(4) Room temperature adhesion After bonding a 0.25 mm x 0.1 mm LED to a printed evaluation board using a paste composition by heating it at 200°C for 1 hour, an adhesive strength measuring device manufactured by Seishin Shoji Co., Ltd. was used. The adhesive strength at 25° C. was measured using the following method.

(5)熱時密着性
1mm×1mmのLEDチップを、ペースト組成物を用いて銀メッキフレーム上にマウントし、オーブンで200℃、60分間の加熱硬化を行った。得られた電子部品を20mm/分で横押して、ボンドテスター装置(Nordson DAGE製、型番Nordson DAGE 4000Plus)を用いて、せん断強度を測定し、破壊したときの荷重を固着強度(N)とした。
(5) Adhesion under heat A 1 mm x 1 mm LED chip was mounted on a silver-plated frame using a paste composition, and heat-cured in an oven at 200° C. for 60 minutes. The obtained electronic component was laterally pushed at 20 mm/min, and the shear strength was measured using a bond tester device (manufactured by Nordson DAGE, model number Nordson DAGE 4000Plus), and the load at which it broke was taken as the bonding strength (N).

(6)体積抵抗率
ペースト組成物を、ガラス基板(厚み1mm)にスクリーン印刷法により5mm×50mm、厚み30μmで塗布し、温度200℃で60分間硬化した。得られた配線を抵抗率計(株式会社三菱ケミカルアナリテック製、製品名「MCP-T600」)を用い、4端子法にて電気抵抗を測定し、下記評価基準により評価した。
[評価基準]
〇:1×10-5Ω・cm未満
×:1×10-5Ω・cm以上
(6) Volume resistivity The paste composition was applied to a glass substrate (thickness: 1 mm) to a size of 5 mm x 50 mm and a thickness of 30 μm by screen printing, and cured at a temperature of 200° C. for 60 minutes. The electrical resistance of the resulting wiring was measured using a resistivity meter (manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd., product name "MCP-T600") by a four-terminal method, and evaluated according to the following evaluation criteria.
[Evaluation criteria]
〇: Less than 1×10 -5 Ω・cm ×: 1×10 −5 Ω・cm or more

(7)実装評価
(7-1)印刷性
印刷評価基板に、0.1mmの電極を用いて0.1mm間隔で40×50個の電極群を形成した。ペースト組成物を用いて前記電極上に直径60μm、厚さ20μmの接続バンプを印刷した。印刷形状を拡大鏡(倍率:100倍)で観察し、下記評価基準により評価した。
[評価基準]
〇:異常なし
△:一部カスレ、または滲みがあるが、実用上問題がないレベルである
×:形状不良または欠損あり
(7) Mounting Evaluation (7-1) Printability On the print evaluation board, 40×50 electrode groups were formed using 0.1 mm electrodes at 0.1 mm intervals. Connection bumps with a diameter of 60 μm and a thickness of 20 μm were printed on the electrodes using the paste composition. The printed shape was observed with a magnifying glass (magnification: 100 times) and evaluated according to the following evaluation criteria.
[Evaluation criteria]
〇: No abnormality △: There is some scratching or bleeding, but it is at a level that does not cause any practical problems. ×: There is a defective shape or chipping.

(7-2)信頼性
印刷評価基板に、2個の電極を有する0.25mm×0.1mmのLEDを1000個実装した後、ペースト組成物を用いて200℃で1時間加熱して接合した後、短絡の有無を目視により確認し、下記評価基準により評価した。
[評価基準]
〇:短絡発生なし
×:短絡発生あり
なお、比較例1、2及び4は、接続バンプの形成不良または欠損あり、或いは体積抵抗値の基準値超のため信頼性試験を実施しなかった。
(7-2) Reliability After mounting 1000 0.25 mm x 0.1 mm LEDs with two electrodes on a printed evaluation board, they were bonded by heating at 200°C for 1 hour using a paste composition. After that, the presence or absence of a short circuit was visually confirmed and evaluated according to the following evaluation criteria.
[Evaluation criteria]
○: No short circuit occurred. ×: Short circuit occurred. In Comparative Examples 1, 2, and 4, reliability tests were not conducted because the connection bumps were poorly formed or missing, or the volume resistance value exceeded the reference value.

降伏値が100~200Pa、回転数2rpmにおける粘度が20~60Pa・s、25℃におけるチクソ比(2rpmの粘度/20rpmの粘度)が3~6を満足する実施例1~6のペースト組成物は、いずれも密着性が良好であり、体積抵抗率が低く、実装性に優れることが確認できた。
一方、回転数2rpmにおける粘度が60Pa・sを超える比較例1、および降伏値が200Paを超え、回転数2rpmにおける粘度が60Pa・sを超える比較例2では、微小バンプの印刷性に劣り、接続バンプの印刷カスレにより形状不良又は欠損が生じた。また、前記比較例1及びチクソ比が3に満たない比較例4は、体積抵抗率が1×10-5Ω・cm以上と高い結果となった。さらに、降伏値が100Pa、及び回転数2rpmにおける粘度が20Pa・sに満たない比較例3では、ペースト組成物の濡れ広がりによると思われる短絡が発生した。
The paste compositions of Examples 1 to 6 have a yield value of 100 to 200 Pa, a viscosity at a rotation speed of 2 rpm of 20 to 60 Pa·s, and a thixotropic ratio (viscosity at 2 rpm/viscosity at 20 rpm) at 25° C. of 3 to 6. It was confirmed that both had good adhesion, low volume resistivity, and excellent mounting performance.
On the other hand, in Comparative Example 1, in which the viscosity at a rotation speed of 2 rpm exceeds 60 Pa·s, and in Comparative Example 2, in which the yield value exceeds 200 Pa and the viscosity at a rotation speed of 2 rpm exceeds 60 Pa·s, the printability of micro bumps is poor, and the connection Shape defects or defects occurred due to bump printing fading. Further, Comparative Example 1 and Comparative Example 4 in which the thixotropic ratio was less than 3 had high volume resistivities of 1×10 −5 Ω·cm or more. Furthermore, in Comparative Example 3, in which the yield value was 100 Pa and the viscosity at a rotational speed of 2 rpm was less than 20 Pa·s, a short circuit occurred, which was thought to be due to wetting and spreading of the paste composition.

Claims (3)

(A)熱硬化性化合物と、(B)ラジカル開始剤と、(C)銀粒子と、(D)銀粉とを含むペースト組成物であって、
前記(C)成分と前記(D)成分との合計含有量は前記ペースト組成物全体の85~95質量%であり、
降伏値が100~200Pa、回転数2rpmにおける粘度が20~60Pa・s、25℃におけるチクソ比(2rpmの粘度/20rpmの粘度)が3~6であり、
前記(A)熱硬化性化合物が、(A1)エポキシ化ポリブタジエン、及び(A2)ヒドロキシ基を有する、(メタ)アクリル酸エステル化合物又は(メタ)アクリルアミド化合物を含み、
前記(A1)成分と前記(A2)成分との配合割合が5:95~55:45であり、
前記(C)成分と前記(D)成分との含有比率は、質量比で、10:90~50:50であり、
前記(C)成分が、(C1)プレート型銀粒子を含み、前記(D)成分が、(D1)フレーク状銀粉を含み、
前記(C)銀粒子は、前記(C1)成分を50質量%以上含み、
前記(D)銀粉は、前記(D1)成分を50質量%以上含み、
前記(C1)プレート型銀粒子は、中心粒子径が0.3~15μm、厚さが10~100nmであり、
前記(D)銀粉は、平均粒子径が1~10μmであるペースト組成物。
A paste composition comprising (A) a thermosetting compound, (B) a radical initiator, (C) silver particles, and (D) silver powder,
The total content of the component (C) and the component (D) is 85 to 95% by mass of the entire paste composition,
The yield value is 100 to 200 Pa, the viscosity at a rotation speed of 2 rpm is 20 to 60 Pa・s, and the thixotropic ratio (viscosity at 2 rpm/viscosity at 20 rpm) at 25° C. is 3 to 6.
The thermosetting compound (A) includes (A1) epoxidized polybutadiene, and (A2) a (meth)acrylic acid ester compound or (meth)acrylamide compound having a hydroxy group,
The blending ratio of the component (A1) and the component (A2) is 5:95 to 55:45,
The content ratio of the component (C) and the component (D) is 10:90 to 50:50 in mass ratio,
The component (C) includes (C1) plate-shaped silver particles, the component (D) includes (D1) flaky silver powder,
The (C) silver particles contain 50% by mass or more of the (C1) component,
The silver powder (D) contains 50% by mass or more of the component (D1),
The plate-type silver particles (C1) have a center particle diameter of 0.3 to 15 μm and a thickness of 10 to 100 nm,
The silver powder (D) is a paste composition having an average particle size of 1 to 10 μm.
前記(C)成分がさらに(C2)球状銀粒子を含み、前記(C1)成分と前記(C2)成分との含有比率は、質量比で、100:0~50:50である請求項1に記載のペースト組成物。 2. The method according to claim 1, wherein the component (C) further includes (C2) spherical silver particles, and the content ratio of the component (C1) and the component (C2) is 100:0 to 50:50 in terms of mass ratio. Paste composition as described. 請求項1又は2に記載のペースト組成物を用いて、基板上に、直径が50~200μm、高さが10~50μmの銀バンプを、各々の間隙が50~200μmで、縦m個×横n個(m、nは、それぞれ独立に、10~1000)印刷してアレイ状に形成する工程、および2以上の電極を有する素子部品を該バンプ上に並べて実装する工程を有する電子部品装置の製造方法。 Using the paste composition according to claim 1 or 2, silver bumps with a diameter of 50 to 200 μm and a height of 10 to 50 μm are formed on a substrate in a matrix of m vertically x horizontally with a gap of 50 to 200 μm. An electronic component device comprising a step of printing n bumps (m and n are 10 to 1000 each independently) to form an array, and a step of arranging and mounting element parts having two or more electrodes on the bumps. Production method.
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