JP7364291B2 - 高感度を有する磁気抵抗音波センサ、およびそのアレイ・デバイス - Google Patents
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Description
保護チューブ・シェルと、磁気振動組立体と、保護チューブ・シェルの内部に位置する磁気抵抗チップとを含む高感度を有する磁気抵抗音波センサを提供する。
Claims (9)
- 保護チューブ・シェルと、磁気振動組立体と、該保護チューブ・シェルの内部に前記磁気振動組立体から離れた位置に設けられている磁気抵抗チップとを備える磁気抵抗音波センサであって、
該保護チューブ・シェルは、該磁気振動組立体によって覆われている少なくとも1つの開口部を備え、
該磁気振動組立体は、外部の音波信号を受信し、該音波信号を磁場変化に関する磁気信号に変換するように構成され、
該磁気抵抗チップは、該磁場変化を感知し、該磁場変化を磁気抵抗の抵抗値変化に変換し、信号出力を実行するように構成され、
該磁気抵抗チップが位置する平面は、該磁気振動組立体が位置する平面に直交し、該磁気抵抗チップの感知方向は、該磁気抵抗チップが位置する該平面内に位置し、該磁気振動組立体が位置する該平面に直交または平行であり、または、
該磁気抵抗チップが位置する該平面は、該磁気振動組立体が位置する該平面に平行であり、該磁気抵抗チップの該感知方向は、該磁気抵抗チップが位置する該平面内に位置し、該磁気振動組立体が位置する該平面に平行である、磁気抵抗音波センサ。 - 前記磁気振動組立体は、振動ダイアフラムと、永久磁石材料体とを備え、
該永久磁石材料体は、永久磁石材料層であり、該振動ダイアフラムの表面に取り付けられ、または、該永久磁石材料体は、永久磁石材料粉末であり、該振動ダイアフラム内に均一に分散し、
該永久磁石材料体の磁化方向は、該振動ダイアフラムが位置する平面に直交または平行である、請求項1記載の磁気抵抗音波センサ。 - 前記永久磁石材料体は、硬質磁性材料、または複数の硬質磁性材料で構成された多層薄膜複合ユニットであり、または、
前記永久磁石材料体は、[軟質磁性材料/反強磁性材料]nの多層薄膜複合材料であり、または、
前記永久磁石材料体は、[軟質磁性材料/硬質磁性材料]pの多層薄膜複合材料であり、
ただし、nは、軟質磁性材料および反強磁性材料の層の個数を表し、pは、軟質磁性材料および硬質磁性材料の層の個数を表し、nおよびpは、共に自然数である、
請求項2記載の磁気抵抗音波センサ。 - 前記磁気振動組立体は、前記永久磁石材料層とは反対の前記振動ダイアフラムの表面上に位置する保護層をさらに備える、請求項2記載の磁気抵抗音波センサ。
- 前記磁気振動組立体の感知面は円形であり、前記磁気振動組立体における前記振動ダイアフラムの構成材料は、高分子ポリマー、金属、シリコン、またはシリコン化合物を含む、請求項2記載の磁気抵抗音波センサ。
- 前記磁気抵抗音波センサの等価密度を調整するためのつり合い重り体またはつり合い重り液は、前記保護チューブ・シェルの内部に設けられる、請求項1記載の磁気抵抗音波センサ。
- 信号処理ユニットと、データ伝送ユニットと、電源ユニットと、回路基板とをさらに備え、
該信号処理ユニット、該データ伝送ユニット、該電源ユニット、および前記磁気抵抗チップは、該回路基板に全て電気的に接続され、
該信号処理ユニットは、前記磁気抵抗チップの出力信号を処理するように構成され、該データ伝送ユニットは、前記磁気抵抗チップの出力信号および/または該信号処理ユニットによって処理された信号を伝送するように構成され、該電源ユニットは、該信号処理ユニット、該データ伝送ユニット、および前記磁気抵抗チップに電力を供給するように構成され、該回路基板は、該信号処理ユニット、該データ伝送ユニット、および前記磁気抵抗チップを保持するように構成されている、請求項1記載の磁気抵抗音波センサ。 - 前記保護チューブ・シェルは、防水ポートをさらに備え、該防水ポートを通って前記回路基板が外部デバイスに電気的に接続されている、請求項7記載の磁気抵抗音波センサ。
- 任意の平面内にアレイでまたは任意の球面内にアレイで配列される請求項1から8のいずれか一項記載の磁気抵抗音波センサを複数備える磁気抵抗音波センサのアレイ・デバイス。
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