JP7360305B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
図1において、筐体11と上蓋15がヒンジ機構14により連結されている。ヒンジ機構14は、筐体11と上蓋15にそれぞれ備えられた突片に形成された孔にヒンジ軸を挿通(嵌合)してなり、該孔がヒンジ軸に対して摺動することで、筐体11に対して上蓋15が開閉可能となっている。筐体11と上蓋15との端部間には、全周にわたって真空シール部材19が配置されており、図2に示すように筐体11に対して上蓋15を閉じたときに、内部に真空処理室(処理室ともいう)が形成される。
図1に示すヒンジ機構14を採用した装置では、ヒンジ機構14の支持部品が筐体11の一部を構成する。
試料が処理される処理室と、
前記試料が内部に保持される筐体と、
上蓋と、
前記筐体の端部を開放する開放位置と、前記筐体の端部を遮蔽する遮蔽位置との間で前記上蓋を枢動可能に支持するヒンジ機構と、を備え、
前記ヒンジ機構は、前記筐体の軸線方向に前記上蓋を変位可能に保持し、
前記ヒンジ機構は、前記上蓋に設けられた穴に嵌合するヒンジ軸と、前記筐体に設けられ前記ヒンジ軸を保持する長穴ヒンジ穴とを具備し、
前記ヒンジ軸は、前記長穴ヒンジ穴の断面長手方向に変位可能であることにより達成される。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
図3に、実施形態1に係る真空処理装置構成の概略図を示す。本実施形態の真空処理装置は、真空処理室を内部に形成する中空円筒状の筐体1と、真空処理室内で処理される試料2を載置するためのステージ3と、筐体1に設けられたヒンジ機構4と、筐体1の上端を遮蔽する有頂円筒状の上蓋5とにより構成される。ヒンジ機構4は、上蓋5を、筐体1の上端を開放する開放位置と、筐体1の上端部を遮蔽する遮蔽位置との間で枢動可能に支持している。筐体1の上端面と上蓋5の下端面は、それぞれの軸線に対して直交している。筐体1と上蓋5の形状は、以上に限られない。
図7に、実施形態2に係る真空処理装置の概略図を示す。本実施形態の真空処理装置は、真空処理室を内部に形成する中空円筒状の筐体1と、真空処理室内で処理される試料2を載置するためのステージ3と、筐体1に設けられたヒンジ機構4と、ヒンジ機構4により枢動可能に支持される上蓋5と、筐体1においてヒンジ機構4とは中心軸を挟んで反対側に設置されたバネ受け機構10とにより構成される。なお、上述の実施形態と同様な構成については同じ符号を付し、異なる点を中心に説明する。
2・・・試料
3・・・ステージ
4・・・ヒンジ機構
5・・・上蓋
6・・・ヒンジ軸
7・・・長穴ヒンジ穴
8・・・バネ機構
9・・・真空シール部材
10・・・バネ受け機構
Claims (5)
- 試料が処理される処理室と、
前記試料が内部に保持される筐体と、
上蓋と、
前記筐体の端部を開放する開放位置と、前記筐体の端部を遮蔽する遮蔽位置との間で前記上蓋を枢動可能に支持するヒンジ機構と、を備え、
前記ヒンジ機構は、前記筐体の軸線方向に前記上蓋を変位可能に保持し、
前記ヒンジ機構は、前記上蓋に設けられた穴に嵌合するヒンジ軸と、前記筐体に設けられ前記ヒンジ軸を保持する長穴ヒンジ穴とを具備し、
前記ヒンジ軸は、前記長穴ヒンジ穴の断面長手方向に変位可能であることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記上蓋と前記筐体との間に真空シール部材が配置され、
前記ヒンジ軸が前記長穴ヒンジ穴の上端に位置するときの中心位置と、前記ヒンジ軸が前記長穴ヒンジ穴の下端に位置するときの中心位置との間の中心間距離は、前記真空シール部材の潰し代と同じである、または前記潰し代より小さいことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の真空処理装置において、
前記ヒンジ機構は、前記ヒンジ軸を前記長穴ヒンジ穴の上端に向かって付勢するバネ機構をさらに具備することを特徴とする真空処理装置。 - 請求項3に記載の真空処理装置において、
前記バネ機構は、前記上蓋の重量と同じ重量または前記上蓋の重量以上の重量を支持できる付勢力を有することを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の真空処理装置において、
閉じた状態の前記上蓋を前記筐体の軸線を挟んで前記ヒンジ機構とは反対側に支持するバネ受け機構をさらに具備することを特徴とする真空処理装置。
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JP2019205132A JP7360305B2 (ja) | 2019-11-13 | 2019-11-13 | 真空処理装置 |
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JP2021077815A5 JP2021077815A5 (ja) | 2022-10-25 |
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Family Applications (1)
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JP2019205132A Active JP7360305B2 (ja) | 2019-11-13 | 2019-11-13 | 真空処理装置 |
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- 2019-11-13 JP JP2019205132A patent/JP7360305B2/ja active Active
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