JP7350045B2 - 蒸着用坩堝、蒸着源及び蒸着装置 - Google Patents
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Description
図1の蒸着用坩堝10は、蒸着装置の蒸着源に用いられる。蒸着用坩堝10は、気化させる蒸着材を収容する容器である。蒸着用坩堝10は、誘導加熱により加熱される。蒸着用坩堝10は、有底略円筒形状を有する。図1の蒸着用坩堝10においては、下側が底であり、上側が開口している。すなわち、蒸着用坩堝10は、上側先端に開口部11を有する。
図2の蒸着源20は、蒸着用坩堝10と、蒸着用坩堝10の周囲を覆うように配置されたコイル21と、コイル21に接続された電力供給装置22とを備える。コイル21は、蒸着用坩堝10の中心軸Aと、コイル21の中心軸Aとが一致するように配置される。蒸着源20に備わる蒸着用坩堝10の具体的形態は上記した通りである。
図3の蒸着装置30は、蒸着源20、基板保持部31及び真空チャンバ32を備える。蒸着源20のうちの少なくとも蒸着用坩堝10及びコイル21、並びに基板保持部31は、真空チャンバ32内に配置される。電力供給装置22は、真空チャンバ32の外に配置されていてよい。
本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲でその構成を変更することもできる。例えば、蒸着用坩堝の形状は特に限定されず、円筒形以外の形状であってもよい。また、蒸着用坩堝は、開口部側部分にくびれ部が無い形状であってもよい。
開口部側部分が強磁性体金属であるSUS430、他の部分が非磁性体金属であるSUS316から形成された、開口部側部分にくびれ部を有する、容量2cm3の略円筒形状の坩堝を作製した。この坩堝と、電線が螺旋状に等間隔に巻かれてなるコイルとを用いて、実施例1の蒸着源を組み立てた。
容量が5cm3であること以外は実施例1で作製した坩堝と同様の坩堝を作製した。この坩堝を用いたこと以外は実施例1と同様にして、実施例2の蒸着源を組み立てた。
チタン製の均一な材料からなる容量2cm3の坩堝を用いたこと以外は実施例1と同様にして、比較例1の蒸着源を組み立てた。
チタン製の均一な材料からなる容量5cm3の坩堝を用いたこと以外は実施例2と同様にして、比較例2の蒸着源を組み立てた。
実施例1、2及び比較例1、2のそれぞれの蒸着源について、坩堝内に蒸着材を収容し、誘導加熱を行うことで蒸着材を気化させた。蒸着材にはAlq3(トリス(8-キノリノラト)アルミニウム)を用い、誘導加熱は周波数350kHzの交流電流をコイルに流すことにより行った。比較例1、2の各蒸着源においては、開口部の周辺に蒸着材が徐々に析出し、最終的に閉塞が生じたが、実施例1、2の各蒸着源においては、開口部の周辺への蒸着材の析出は生じなかった。
11 開口部
12 開口部側部分
13 他の部分
14 くびれ部
20 蒸着源
21 コイル
22 電力供給装置
30 蒸着装置
31 基板保持部
32 真空チャンバ
A 中心軸
B 中心軸Aに垂直な仮想面
X 蒸着材
Y 基板
Claims (5)
- 誘導加熱により加熱される蒸着用坩堝であって、
開口部側部分が強磁性体金属から形成されており、
他の部分が非磁性体金属から形成されており、
上記開口部側部分がくびれ部を有する蒸着用坩堝。 - 上記開口部側部分を形成する材料が、鉄、ニッケル、フェライト系ステンレス、マルテンサイト系ステンレス、オーステナイト・フェライト系ステンレス又は析出硬化系ステンレス鋼であり、
上記他の部分を形成する材料が、チタン、銅、アルミニウム又はオーステナイト系ステンレスである請求項1に記載の蒸着用坩堝。 - 上記開口部側部分を形成する材料と上記他の部分を形成する材料とが共にステンレスである請求項1又は請求項2に記載の蒸着用坩堝。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の蒸着用坩堝と、
上記蒸着用坩堝の周囲を覆うように配置されたコイルと
を備える蒸着源。 - 請求項4に記載の蒸着源を備える蒸着装置。
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