JP7347259B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本開示は、アクチュエータに関する。

従来、ブレーキ装置に用いられるアクチュエータとして、減速機の一部に、樹脂製の大径ギヤ部と金属製の小径ギヤ部が同軸上に一体に回転可能に連結された複合ギヤが用いられているものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４－３０８６９４号公報

ところで、アクチュエータは、減速機の動作時に、金属製の歯を有するギヤの摩耗粉やグリスが当該ギヤの配置空間以外の他の空間に飛散することがある。例えば、金属製のギヤのグリスが樹脂製のギヤに付着すると、樹脂製のギヤに対して高いストレスが加わった際に生ずる樹脂の摩耗粉がグリスに保持されることで、樹脂製のギヤの摩耗が促進されてしまうことがある。また、例えば、金属製のギヤの摩耗粉が回転角センサの磁気回路等に付着すると、回転角センサの出力が変動してしまうことがある。これらは、本発明者らの鋭意検討の末に見出された。

これらに対して、特許文献１には、減速機のギヤの強度に対する対策が記載されているだけで、金属製のギヤ側からの飛散物に起因する不具合について何ら記載されておらず、その対策が一切記載も示唆もされていない。

本開示は、金属製の歯を有するギヤ側からの飛散物に起因する不具合の少なくとも１つを抑制可能なアクチュエータを提供することを目的とする。

請求項１および請求項２に記載の発明は、
アクチュエータであって、
モータ（３６）と、
出力シャフト（２６）と、
金属製の歯を有する金属ギヤ（５１、５２、６２）を少なくとも１つ含むとともに、モータの回転を減速して出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
モータおよび減速部を収容するハウジング（３５）と、
減速部の動作に起因して生ずる金属ギヤ側からの飛散物がハウジングの内部空間のうち金属ギヤが配置される空間を除く他の空間に飛散することを抑制するプレート部材（７０）と、を備え、
ハウジングは、第１ハウジング部（４２）および第２ハウジング部（４１）を有し、
第１ハウジング部は、第２ハウジング部との間にプレート部材が配置された状態で第２ハウジング部に連結されており、
第１ハウジング部と第２ハウジング部との間は、プレート部材によってシールされている。
請求項１に記載の発明は、プレート部材には、第１ハウジング部と第２ハウジング部との間に介在する部位にシール材（７１１）がコーティングされている。
請求項２に記載の発明は、プレート部材には、第１ハウジング部と第２ハウジング部とを連結する際に押し潰されるビード（７１２）が設けられている。

これによると、金属ギヤ側からの飛散物が他の空間に飛散することがプレート部材によって抑制されるので、金属製のギヤ側からの飛散物が所定の空間に飛散することに起因する不具合を抑制することができる。

請求項３に記載の発明は、
アクチュエータであって、
モータ（３６）と、
出力シャフト（２６）と、
モータの回転を減速して出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
モータおよび減速部を収容するハウジング（３５）と、を備え、
減速部は、
金属製の歯を有するとともに互いに噛み合う一対の金属ギヤ（５１、５７、５８、６２）、樹脂製の歯を有する樹脂ギヤ（６３）、樹脂ギヤの歯に噛み合う相手ギヤ（５４）を含み、
潤滑剤であるグリスが樹脂ギヤと相手ギヤとの噛み合い部分である樹脂噛合部（Ｍ３）側よりも一対の金属ギヤの噛み合い部分である金属噛合部（Ｍ１、Ｍ２）側に偏在しており、
ハウジングの内部空間は、一対の金属ギヤが配置される空間と樹脂ギヤおよび相手ギヤが配置される空間とがプレート部材（７０）によって隔てられている。

このように、グリスが樹脂噛合部よりも金属噛合部側に偏在していれば、金属噛合部の摩耗を充分に低減することができる。加えて、一対の金属ギヤに塗布されたグリスが減速部の動作時にハウジングの内部空間のうち樹脂ギヤおよび相手ギヤが配置される空間に飛散することがプレート部材によって抑制される。これによると、樹脂の摩耗粉がグリスに保持され難くなることで、樹脂噛合部の摩耗を抑制することができる。すなわち、金属ギヤ側からの飛散物（すなわち、グリス）が樹脂ギヤ等の配置空間に飛散することに起因する不具合を抑制することができる。

請求項８および請求項９に記載の発明は、
アクチュエータであって、
モータ（３６）と、
出力シャフト（２６）と、
金属製の歯を有する金属ギヤ（５１、５２、６２）を少なくとも１つ含むとともに、モータの回転を減速して出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
磁気回路部（６４）および検出部（６５）を含み、出力シャフトの回転角を検出する回転角センサ（３９）と、
モータ、減速部、および回転角センサを収容するハウジング（３５）と、を備え、
ハウジングの内部空間は、金属ギヤが配置される空間と磁気回路部および検出部が配置される空間とがプレート部材（７０）によって隔てられ、
ハウジングは、第１ハウジング部（４２）および第２ハウジング部（４１）を有し、
第１ハウジング部は、第２ハウジング部との間にプレート部材が配置された状態で第２ハウジング部に連結されており、
第１ハウジング部と第２ハウジング部との間は、プレート部材によってシールされている。
請求項８に記載の発明は、プレート部材には、第１ハウジング部と第２ハウジング部との間に介在する部位にシール材（７１１）がコーティングされている。
請求項９に記載の発明は、プレート部材には、第１ハウジング部と第２ハウジング部とを連結する際に押し潰されるビード（７１２）が設けられている。

これによると、減速部の動作時に金属ギヤで生ずる摩耗粉がハウジングの内部空間のうち磁気回路部および検出部が配置される空間に飛散することがプレート部材によって抑制される。これにより、金属ギヤで生ずる摩耗粉が磁気回路部および検出部に付着し難くなることで、回転角センサにおける意図しない出力変動を抑制することができる。すなわち、金属ギヤ側からの飛散物（すなわち、金属粉）が磁気回路部および検出部の配置空間に飛散することに起因する不具合を抑制することができる。

なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。

実施形態のアクチュエータが適用されたエンジンの吸排気部を示す概略図である。 過給機を説明するための説明図である。 実施形態のアクチュエータの模式的な斜視図である。 実施形態のアクチュエータの模式的な上面図である。 実施形態のアクチュエータのハウジングケースを取り外した状態を示す模式的な上面図である。 実施形態のアクチュエータのハウジングケースおよび中間プレートを取り外した状態を示す模式的な上面図である。 図４のＶＩＩ－ＶＩＩ断面図である。 図４のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ断面図である。 図４のＩＸ－ＩＸ断面図である。 図９のＸ部分の拡大図である。 減速部の各噛合部へのグリスの塗布量を説明するための説明図である。 図９に示すアクチュエータの一部を拡大した拡大図である。 中間プレートの模式的な平面図である。 図１３のＸＩＶ－ＸＩＶ断面図である。 図１３のＸＶ－ＸＶ断面図である。 図１３のＸＶＩ－ＸＶＩ断面図である。 アクチュエータにおける各部品の組み付け順序を説明するための説明図である。 第１変形例となる中間プレートの断面の一部を示す模式的な断面図である。 第２変形例となる中間プレートの断面の一部を示す模式的な断面図である。 第３変形例となる中間プレートの断面の一部を示す模式的な断面図である。

本開示の一実施形態について、図１～図１７を参照して説明する。本実施形態では、本開示のアクチュエータ１０を過給機２４の過給圧制御用バルブを駆動する駆動装置に適用した例について説明する。過給機２４は、車両走行用の動力源であるエンジン１１の吸排気部を構成する。

［エンジン１１の吸排気部］
図１に示すように、エンジン１１の吸排気部は、吸気をエンジン１１の気筒内へ導く吸気通路１２と、気筒内で発生した排ガスを大気中に排出する排気通路１３とが設けられている。吸気通路１２の途中には、過給機２４の吸気コンプレッサ１４のコンプレッサホイール１４ａと、スロットルバルブ１５とが設けられている。コンプレッサホイール１４ａは、エンジン１１への吸気を過給する。スロットルバルブ１５は、図示しない車両のアクセルペダルの踏み込み量に応じてエンジン１１に供給される吸気量の調整を行う。

排気通路１３の途中には、過給機２４の排気タービン１６のタービンホイール１６ａと、排ガスの浄化を行う触媒１７とが設けられている。タービンホイール１６ａは、回転軸３０によりコンプレッサホイール１４ａに接続されている。これにより、エンジン１１の排気エネルギーでタービンホイール１６ａが回転すると、コンプレッサホイール１４ａが回転する。触媒１７はモノリス構造を採用する周知な三元触媒であり、排ガスにより活性化温度に昇温されることで排ガス中に含まれる有害物質を酸化作用と還元作用により浄化する。

排気通路１３には、タービンホイール１６ａと並列に、タービンホイール１６ａを迂回して排ガスを流すバイパス通路１８が設けられている。このバイパス通路１８には、過給圧制御用バルブであるウェイストゲートバルブ１９が設けられている。ウェイストゲートバルブ１９が開弁すると、エンジン１１からの排ガスの一部は、バイパス通路１８を通って触媒１７へ直接導かれる。ウェイストゲートバルブ１９は、エンジン１１からの排ガスの圧力がウェイストゲートバルブ１９の開弁圧力を超えたときに開弁する。また、ウェイストゲートバルブ１９の開閉は、ＥＣＵ２２によっても制御される。

図２に示すように、過給機２４は、排気タービン１６と、吸気コンプレッサ１４と、アクチュエータ１０と、を備える。排気タービン１６は、エンジン１１から排出された排ガスによって回転駆動されるタービンホイール１６ａと、このタービンホイール１６ａを収容する渦巻形状のタービンハウジング１６ｂと、を備えている。吸気コンプレッサ１４は、タービンホイール１６ａの回転力を受けて回転するコンプレッサホイール１４ａと、このコンプレッサホイール１４ａを収容する渦巻形状のコンプレッサハウジング１４ｂとを備えている。

タービンハウジング１６ｂには、タービンホイール１６ａの他、バイパス通路１８が設けられている。バイパス通路１８は、タービンハウジング１６ｂに流入した排ガスをタービンホイール１６ａに供給せずにタービンハウジング１６ｂの排気出口へ直接導く。このバイパス通路１８は、ウェイストゲートバルブ１９により開閉される。ウェイストゲートバルブ１９は、タービンハウジング１６ｂの内部でバルブ軸２０により回動可能に支持されているスイングバルブである。ウェイストゲートバルブ１９は、排ガスの圧力がウェイストゲートバルブ１９の開弁圧力を超えると開弁する。また、ウェイストゲートバルブ１９は、アクチュエータ１０によっても駆動される。

アクチュエータ１０を格納するハウジング３５は、排ガスの熱の影響を回避するために、過給機２４の排気タービン１６から離れた吸気コンプレッサ１４側に取り付けられている。過給機２４には、アクチュエータ１０の出力をウェイストゲートバルブ１９に伝達するためのリンク機構２５が設けられている。本実施形態では、リンク機構２５として、アクチュエータレバー２７と、ロッド２８と、バルブレバー２９と、を備える４節リンク機構が採用されている。アクチュエータレバー２７は、アクチュエータ１０の出力シャフト２６に接続され、アクチュエータ１０によって回動操作される。バルブレバー２９は、バルブ軸２０に結合される。ロッド２８は、アクチュエータレバー２７に付与される回動トルクをバルブレバー２９に伝える。アクチュエータ１０は、マイクロコンピュータを搭載するＥＣＵ２２により動作が制御される。

ＥＣＵ２２は、エンジンコントロールユニットである。ＥＣＵ２２は、プロセッサ、メモリを含むコンピュータとその周辺回路で構成されている。ＥＣＵ２２は、アクチュエータ１０を駆動し、アクチュエータ１０とウェイストゲートバルブ１９との間に設けられたリンク機構２５によってウェイストゲートバルブ１９の開閉を実行する。

具体的に、ＥＣＵ２２は、エンジン１１の高回転時などにウェイストゲートバルブ１９の開度を調整するようにアクチュエータ１０を制御して過給機２４による過給圧を制御する。また、ＥＣＵ２２は、例えば冷間始動直後など、触媒１７の温度が活性化温度に達していない時には、ウェイストゲートバルブ１９を全開になるようにアクチュエータ１０を制御して触媒１７の暖機を行う。これにより、タービンホイール１６ａに熱を奪われていない高温の排ガスを触媒１７へ直接導くことができ、触媒１７を短時間で暖機できる。

［アクチュエータ１０の構造］
次に、アクチュエータ１０の構造について、図３～図９を参照して説明する。アクチュエータ１０は、外殻を形成するハウジング３５が吸気コンプレッサ１４に取り付けられている。図３、図４に示すように、ハウジング３５は、第２ハウジング部に相当するハウジング本体４１および第１ハウジング部に相当するハウジングケース４２を有している。

ハウジング本体４１およびハウジングケース４２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金、鉄鋼等の金属材料で形成されている。なお、ハウジング本体４１およびハウジングケース４２は、樹脂で形成されていてもよい。また、ハウジング本体４１およびハウジングケース４２は、ダイキャスト、重力鋳造、射出成形、プレスのいずれの製法で形成されてもよい。ハウジングケース４２は、締結部材Ｂによりハウジング本体４１に締結されている。ハウジングケース４２からは、出力シャフト２６が突き出ており、アクチュエータレバー２７に接続されている。出力シャフト２６は、回転可能にハウジング本体４１に保持されている。

図３、図５に示すように、ハウジング本体４１は、ハウジングケース４２との間に中間プレート７０が配置されている。中間プレート７０は、ハウジング３５の内部空間４４をハウジング本体４１側の本体側空間４４Ａとハウジングケース４２側のケース側空間４４Ｂとに区画する。中間プレート７０の詳細は後述する。

図６、図７、図８、図９に示すように、ハウジング本体４１は、ハウジングケース４２と共にハウジング３５の内部空間４４を形成している。モータ３６は、内部空間４４に収容されている。具体的に、モータ３６の大部分は、内部空間４４のうちハウジング本体４１側の本体側空間４４Ａに収容されている。

モータ３６は、ハウジング本体４１に形成されたモータ挿入穴４６に挿入され、スクリュ４７によりハウジング本体４１に固定されている。モータ挿入穴４６の底面には、ウェーブワッシャ４５が設置されている。なお、ウェーブワッシャ４５は、設置されていなくてもよい。モータ３６は、例えば、直流モータ、ステッピングモータ等で構成される。

モータ３６は、モータ軸５５および一対のターミナルＴＮが、ハウジング本体４１側からハウジングケース４２側に向かって突き出ている。一対のターミナルＴＮは、本体側空間４４Ａおよびケース側空間４４Ｂそれぞれにまたがるように配置されている。

一対のターミナルＴＮは、モータ３６の内部機器へ電力を供給するための端子である。一対のターミナルＴＮは、中継ターミナルＲＴを介して図示しない給電装置に接続される。中継ターミナルＲＴは、ハウジングケース４２の内側に装着された樹脂製のモータカバーＭＣに設けられている。

図７、図８、図９に示すように、アクチュエータ１０は、減速部３７を有する。減速部３７は、モータ３６の回転を減速して出力シャフト２６に伝達するものである。減速部３７は、平行軸式の減速機であり、複数のギヤを有している。本実施形態の減速部３７は、複数のギヤとして、ピニオンギヤ５１、第１中間ギヤ５２、第２中間ギヤ５３、および出力ギヤ５４を有している。

ピニオンギヤ５１は、モータ３６のモータ軸５５に固定されている。ピニオンギヤ５１は、内部空間４４のうちケース側空間４４Ｂに位置付けられている。ピニオンギヤ５１は、金属製のギヤである。ピニオンギヤ５１は、例えば、鉄系焼結金属によって形成されている。なお、以下、金属製の歯を有するギヤを金属ギヤと称することがある。

第１中間ギヤ５２は、第１大径部５７と第１小径部５８とを有する複合ギヤである。第１中間ギヤ５２は、内部空間４４のうちケース側空間４４Ｂに位置付けられている。第１中間ギヤ５２は、第１大径部５７がハウジングケース４２側に位置し、第１小径部５８がハウジング本体４１側に位置する姿勢で配置されている。

第１大径部５７は、大径ギヤであり、モータ３６のモータ軸５５に固定されたピニオンギヤ５１に噛み合っている。第１大径部５７は、金属製の歯を有する金属ギヤである。第１大径部５７は、例えば、鉄系焼結金属によって形成されている。

第１小径部５８は、第１大径部５７と比べて小径な小径ギヤである。第１大径部５７は、イナーシャを低減するために、複数の開口５７ｏが形成されている。第１小径部５８は、金属製の歯を有する金属ギヤである。第１小径部５８は、例えば、鉄系焼結金属によって形成されている。

第１中間ギヤ５２は、金属製の第１中間シャフト５６により回転自在に支持されている。第１中間ギヤ５２は、第１中間シャフト５６を軸として回転する。具体的には、第１中間ギヤ５２は、第１中間シャフト５６が挿通される第１挿通穴５２ｈが形成されている。

第２中間ギヤ５３は、第２大径部６２と第２小径部６３とを有する複合ギヤである。第２中間ギヤ５３は、内部空間４４において本体側空間４４Ａおよびケース側空間４４Ｂそれぞれにまたがって配置されている。第２中間ギヤ５３は、第２大径部６２が内部空間４４のうちケース側空間４４Ｂに位置付けられ、第２小径部６３が内部空間４４のうち本体側空間４４Ａに位置付けられている。すなわち、第２中間ギヤ５３は、第２大径部６２がハウジングケース４２側に位置し、第２小径部６３がハウジング本体４１側に位置する姿勢で配置されている。

第２大径部６２は、大径ギヤであり、第１中間ギヤ５２の第１小径部５８に噛み合っている。第２大径部６２は、金属製の歯を有する金属ギヤである。第２大径部６２は、例えば、鉄系焼結金属によって形成されている。

第２大径部６２は、第１大径部５７に対してハウジング本体４１側に位置している。第２大径部６２の一部は、金属ギヤである第１大径部５７と軸方向ＤＲｘに重なり合っている。また、第２大径部６２の一部は、樹脂製の歯を有する出力ギヤ５４とも軸方向ＤＲｘに重なり合っている。なお、軸方向ＤＲｘとは、減速部３７を構成する複数のギヤの回転軸に沿って延びる方向である。

第２小径部６３は、第２大径部６２と比べて小径な小径ギヤである。第２小径部６３は、樹脂製のギヤである。第２小径部６３は、樹脂に強化繊維を含浸してなる繊維強化樹脂材料で構成されている。第２小径部６３を形成する樹脂としては、例えばポリアミド樹脂、ナイロン樹脂、ポリアセタール樹脂が使用可能である。また、強化繊維は、ガラス繊維、炭素繊維等のフィラが使用可能である。なお、以下、樹脂製の歯を有するギヤを樹脂ギヤと称することがある。

第２小径部６３は、金属ギヤである第２大径部６２と一体成形されている。なお、樹脂ギヤが金属ギヤに一体成形されているとは、樹脂ギヤが、樹脂の射出成形等により、破壊すること無く分解できない１個のかたまりとして形成され、金属ギヤと隙間をあけることなく結合されていることを意味する。樹脂成形としては、射出成形の他、積層成形、粉末成形など、種々の樹脂成形の方法が採用可能である。

具体的には、第２中間ギヤ５３は、外側に金属ギヤである第２大径部６２を備え、内側に樹脂ギヤである第２小径部６３を備える。そして、第２小径部６３は、第２中間シャフト６１が貫通する第２挿通穴５３ｈを備える。樹脂ギヤである第２小径部６３が第２挿通穴５３ｈを備えることで、アクチュエータ１０の構成部品の数を低減し、組み付けるときの工数も低減できる。

ここで、樹脂ギヤは、金属ギヤに比べて、イナーシャが小さい。このため、エンジン１１の排気圧の脈動に伴う大きな衝撃荷重が各種構成を介して第２中間ギヤ５３に加わった場合、第２中間ギヤ５３を含め、モータ３６側に位置するギヤ、例えば、第１中間ギヤ５２やピニオンギヤ５１にもその衝撃が伝達され難くなる。

第２中間ギヤ５３は、金属製の第２中間シャフト６１により回転自在に支持されている。第２中間ギヤ５３は、第２中間シャフト６１を軸として回転する。具体的には、第２中間ギヤ５３は、第２中間シャフト６１が挿通される第２挿通穴５３ｈが形成されている。

ここで、減速部３７は、ピニオンギヤ５１および第１大径部５７の組合せと、第１小径部５８および第２大径部６２の組合せとが一対の金属ギヤを構成する。また、減速部３７は、第２小径部６３および出力ギヤ５４のうち一方のギヤが樹脂ギヤを構成し、他方のギヤが樹脂ギヤに噛み合う相手ギヤを構成している。さらに、減速部３７は、第１中間ギヤ５２が金属製の複合ギヤを構成し、第２中間ギヤ５３が金属製の複合ギヤよりも出力側に配置される樹脂製の歯を含む従動ギヤを構成している。

出力ギヤ５４は、出力シャフト２６に固定されている。出力ギヤ５４は、内部空間４４のうち本体側空間４４Ａに配置されている。出力ギヤ５４は、樹脂製の歯を有する樹脂ギヤである。出力ギヤ５４の構成材料は、第２小径部６３と同様である。出力ギヤ５４は、第２小径部６３に噛み合っている。出力ギヤ５４を樹脂ギヤで構成すれば、出力ギヤ５４に大きな衝撃荷重が加わった場合、出力ギヤ５４を含めモータ３６側のギヤ、例えば、第２中間ギヤ５３、第１中間ギヤ５２やピニオンギヤ５１にもその衝撃が伝達され難くなる。

本実施形態では、モータ３６側のピニオンギヤ５１から第２大径部６２までが金属ギヤで構成され、出力側の第２小径部６３から出力ギヤ５４までが樹脂ギヤで構成されている。すなわち、減速部３７が備えるギヤは、出力ギヤ５４および第２中間ギヤ５３の第２小径部６３を除いたギヤが金属ギヤである。

具体的には、減速部３７は、ピニオンギヤ５１と第１大径部５７との噛み合い部分である第１金属噛合部Ｍ１、および第１小径部５８と第２大径部６２との噛み合い部分である第２金属噛合部Ｍ２を有している。また、アクチュエータ１０は、第２小径部６３と出力ギヤ５４との噛み合い部分である樹脂噛合部Ｍ３を有している。

このように、本実施形態の減速部３７は、各ギヤの噛み合いが、樹脂ギヤ同士、金属ギヤ同士の噛合となり、樹脂ギヤと金属ギヤの噛み合いがない。その結果、樹脂ギヤの摩耗を抑制することができる。

また、減速部３７は、金属製のピニオンギヤ５１、第１中間ギヤ５２、第２大径部６２がケース側空間４４Ｂに配置され、樹脂製の第２小径部６３および出力ギヤ５４が本体側空間４４Ａに配置されている。すなわち、減速部３７は、ケース側空間４４Ｂに金属ギヤが配置され、本体側空間４４Ａ側に樹脂ギヤが配置されている。

具体的には、減速部３７は、金属製のピニオンギヤ５１、第１中間ギヤ５２、第２大径部６２がケース側空間４４Ｂに配置され、樹脂製の第２小径部６３および出力ギヤ５４が本体側空間４４Ａに配置されている。すなわち、減速部３７は、ケース側空間４４Ｂに金属ギヤが配置され、本体側空間４４Ａ側に樹脂ギヤが配置されている。

続いて、図７、図９に示すように、第１中間シャフト５６は、一方の端部がハウジングケース４２に支持され、他方の端部がハウジング本体４１に支持されてる。第１中間シャフト５６は、ハウジング本体４１に固定されている。

具体的には、第１中間シャフト５６は、ハウジングケース４２側の一端部位５６ａがハウジングケース４２に設けられた第１嵌合穴４２ａに嵌合されている。第１中間シャフト５６は、ハウジング本体４１側の他端部位５６ｂがハウジング本体４１に設けられた第１圧入穴４１ａに圧入されている。第１中間シャフト５６は、一端部位５６ａと他端部位５６ｂとの間に位置する中間部位５６ｃを有し、中間部位５６ｃによって第１中間ギヤ５２が回転可能に支持されている。第１中間ギヤ５２の第１挿通穴５２ｈの直径および第１中間シャフト５６の外径は、第１中間ギヤ５２と第１中間シャフト５６とが隙間嵌めとなる寸法に設定されている。

ここで、本実施形態では、第１嵌合穴４２ａが第１中間シャフト５６における大径ギヤ側の端部を支持する第１中間支持部を構成し、第１圧入穴４１ａが第１中間シャフト５６における小径ギヤ側の端部を支持する第２中間支持部を構成している。

同様に、第２中間シャフト６１は、一方の端部がハウジングケース４２に支持され、他方の端部がハウジング本体４１に支持されている。具体的には、第２中間シャフト６１は、ハウジング本体４１に固定されている。これによると、第２中間シャフト６１の片側の端部だけがハウジング３５に支持される構造に比べて、モータ３６の駆動や、ウェイストゲートバルブ１９からの脈動によって生ずる振動・トルクに起因する第２中間シャフト６１の変形を低減できる。

具体的には、第２中間シャフト６１は、ハウジングケース４２側の端部がハウジングケース４２に設けられた第２嵌合穴４２ｂに嵌合されている。第２中間シャフト６１は、ハウジング本体４１側の端部がハウジング本体４１に設けられた第２圧入穴４１ｂに圧入されている。第２中間シャフト６１は、両端部の間の部位に第２中間ギヤ５３が回転可能に支持されている。第２中間ギヤ５３の第２挿通穴５３ｈの直径および第２中間シャフト６１の外径は、第２中間ギヤ５３と第２中間シャフト６１とが隙間嵌めとなる寸法に設定されている。

図６に示すように、出力ギヤ５４には、磁束発生部である磁石６６、６７と、磁束伝達部であるヨーク６８、６９が設けられている。磁石６６、６７およびヨーク６８、６９は、弧状の閉磁気回路を形成する磁気回路部６４を構成している。磁気回路部６４は、出力ギヤ５４および出力シャフト２６と一体に回動する。

図９に示すように、出力ギヤ５４の磁気回路部６４の閉磁気回路の内側には、磁石６６、６７の磁束を検出する検出部６５が配置されている。この検出部６５は、例えばホールＩＣを用いて構成されている。磁気回路部６４および検出部６５は、出力シャフト２６の回転角度を検出する回転角センサ３９として機能する。回転角センサ３９により検出される出力シャフト２６の回転角は、ＥＣＵ２２に出力される。

ここで、回転角センサ３９は、出力ギヤ５４に設けられている。このため、回転角センサ３９は、出力ギヤ５４と同様に、内部空間４４のうち本体側空間４４Ａに配置されている。

出力シャフト２６は、ハウジング本体４１に設けられた軸受４８と、ハウジングケース４２に設けられた軸受４９とにより回転自在に支持されている。出力シャフト２６の一端部は、ハウジング３５のハウジングケース４２から外に延び出ている。アクチュエータレバー２７は、ハウジングケース４２の外で出力シャフト２６に固定されている。

以上の如く構成されるアクチュエータ１０は、ウェイストゲートバルブ１９を通してエンジン脈動によるストレスが加わる。脈動周期に伴う高周期な衝撃荷重が出力シャフト２６に印加されるため、減速部３７の耐摩耗性および強度が求められる。

これに対して、本実施形態のアクチュエータ１０は、減速部３７における摩耗が懸念される箇所に潤滑剤であるグリスＧが塗布されている。以下、減速部３７におけるグリスＧの塗布箇所について説明する。

［ギヤ間における塗布箇所］
まず、減速部３７のギヤ間におけるグリスＧの塗布箇所ついて説明する。耐摩耗性を向上させるためには、金属ギヤに対してグリスＧを塗布することが有効である。しかし、本発明者らの調査によると、樹脂ギヤに対してグリスＧが付着していると、樹脂ギヤに高いストレスが加わった際に生ずる樹脂の摩耗粉がグリスＧに保持されることで、樹脂製のギヤの摩耗が促進され易くなることが判った。特に、本実施形態の如く、樹脂製のギヤが繊維強化樹脂材料で構成されている場合、摩耗粉に繊維が含まれることで樹脂製のギヤの摩耗が顕著となる。このように、過給圧制御用バルブを駆動するアクチュエータ１０では、耐摩耗性の観点で、樹脂製のギヤにグリスＧが付着することは望ましくない。

これらを加味して、減速部３７は、減速部３７におけるギヤ同士の噛み合い部分のうち一部に偏在するようにグリスＧが塗布されている。すなわち、減速部３７は、樹脂噛合部Ｍ３よりも第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２にグリスＧが偏在している。例えば、第２金属噛合部Ｍ２を構成する第２大径部６２には、図１０に示すように、その表面に対してグリスＧが塗布されている。グリスＧは、第２大径部６２の表面に対して所定の厚みとなるように塗布されている。具体的には、グリスＧは、図１１に示すように、第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２に塗布され、樹脂噛合部Ｍ３に塗布されていない。

［ギヤ－シャフト間における塗布箇所］
続いて、減速部３７のギヤ－シャフト間における塗布箇所について説明する。減速部３７は、金属製の複合ギヤである第１中間ギヤ５２と金属製の中間シャフトである第１中間シャフト５６との間にグリスＧが塗布されている。減速部３７は、第２中間ギヤ５３と金属製の第２中間シャフト６１との間にグリスＧが塗布されていない。

ここで、図１０、図１２では、グリスＧの塗布箇所が理解し易くなるように、グリスＧが塗布された箇所に対してドット柄のハッチングを付している。図１２に示すように、グリスＧは、第１中間シャフト５６における小径ギヤである第１小径部５８側よりも大径ギヤである第１大径部５７側に偏在している。具体的には、グリスＧは、第１中間シャフト５６における第１中間ギヤ５２を支持する中間部位５６ｃに塗布されている。第１中間シャフト５６と第１中間ギヤ５２の第１挿通穴５２ｈとの間において、グリスＧが略均等に塗布されている。

また、グリスＧは、第１中間シャフト５６の一端部位５６ａとハウジングケース４２の第１嵌合穴４２ａに塗布され、第１中間シャフト５６の他端部位５６ｂとハウジング本体４１の第１圧入穴４１ａに塗布されていない。具体的には、第１嵌合穴４２ａは、有底穴であり、その底面が第１中間シャフト５６の一端部位５６ａと接しない穴深さになっている。第１嵌合穴４２ａと一端部位５６ａとで囲まれる空間は、余剰となるグリスＧを溜めるための空間となっている。

さらに、グリスＧは、大径ギヤである第１大径部５７とハウジングケース４２との間に塗布され、小径ギヤである第１小径部５８と中間プレート７０との間に塗布されていない。具体的には、グリスＧは、ハウジングケース４２において第１大径部５７が摺動する摺動部位ＳＰに塗布されている。摺動部位ＳＰは、ハウジングケース４２において軸方向ＤＲｘに第１大径部５７と対向する部位である。

以上説明したアクチュエータ１０は、減速部３７における摺動部分の全域にグリスＧを塗布するのではなく、減速部３７におけるグリスＧの塗布箇所を適切に設定しているので、耐摩耗性に優れたアクチュエータ１０を実現することができる。

［中間プレート７０の詳細］
次に、中間プレート７０の詳細について説明する。中間プレート７０は、減速部３７の動作に起因して生ずる金属ギヤ側からの飛散物がハウジング３５の内部空間４４のうち金属ギヤが配置される空間を除く他の空間に飛散することを抑制するプレート部材である。

中間プレート７０は、金属製の板材を加工して得られる。中間プレート７０は、ハウジング３５と同様に、例えばアルミニウム、アルミニウム合金、鉄鋼等の金属材料で形成されている。

図７、図８、図９に示すように、中間プレート７０は、ハウジング３５の内部空間４４を軸方向ＤＲｘに対して直交する方向に横断するように、軸方向ＤＲｘに対して直交する方向に拡がっている。ハウジング３５の内部空間４４は、金属ギヤが配置されるケース側空間４４Ｂと、樹脂ギヤ、樹脂ギヤに噛み合う相手ギヤ、磁気回路部６４、検出部６５が配置される本体側空間４４Ａとが中間プレート７０によって隔てられている。

中間プレート７０は、ハウジング本体４１とハウジングケース４２との合わせ面全体に当接する当接部位７１を有する。当接部位７１は、ハウジング本体４１とハウジングケース４２との間に介在する部位である。当接部位７１がハウジング本体４１とハウジングケース４２との間に介在することで、ハウジング本体４１とハウジングケース４２との合わせ面がシールされる。つまり、中間プレート７０は、ハウジング３５に気密性および液密性を持たせるためのガスケットとしても機能する。

図１３、図１４に示すように、当接部位７１の表面には、シール材７１１がコーティングされている。シール材７１１は、例えば、ゴム材、樹脂材等のシール性に優れた材料を用いることができる。

当接部位７１には、ハウジング本体４１側からハウジングケース４２に向かって隆起するビード７１２が設けられている。ビード７１２は、ハウジング本体４１およびハウジングケース４２を連結する際に押し潰される。ビード７１２が押し潰されることによって、ハウジング本体４１およびハウジングケース４２の密着度が高められる。なお、ビード７１２は、ハウジングケース４２側からハウジング本体４１に向かって隆起していてもよい。

また、中間プレート７０には、複数の貫通穴が形成されている。中間プレート７０には、当接部位７１にハウジング本体４１およびハウジングケース４２を締結する締結部材Ｂが貫通する複数の締結穴７２が形成されている。複数の締結穴７２は、ビード７１２の外側に形成されている。

さらに、中間プレート７０には、ビード７１２の内側に、モータ軸穴７３、一対のターミナル穴７４、７５、第１中間軸穴７６、第２中間軸穴７７、出力軸穴７８、センサ穴７９が形成されている。

モータ軸穴７３は、モータ軸５５およびピニオンギヤ５１が挿通される貫通穴である。モータ軸穴７３は、ピニオンギヤ５１が挿通可能なように、ピニオンギヤ５１よりも若干大きい寸法になっている。

一対のターミナル穴７４、７５は、一対のターミナルＴＮが挿通される貫通穴である。一対のターミナル穴７４、７５は、中間プレート７０において、モータ軸穴７３を挟んで対向する位置に形成されている。一対のターミナル穴７４、７５は、一対のターミナルＴＮが挿通可能なように、一対のターミナルＴＮよりも若干大きい寸法になっている。一対のターミナル穴７４、７５は、ターミナル穴７４、７５の周縁部位に中間プレート７０とターミナルＴＮとの電気的に絶縁する絶縁コーティング７４１、７５１が施されている。絶縁コーティング７４１、７５１は、ゴム材、樹脂材等の電気絶縁性に優れた材料を用いることができる。

第１中間軸穴７６は、第１中間シャフト５６が挿通される貫通穴である。第１中間軸穴７６は、第１中間シャフト５６が挿通可能なように、第１中間シャフト５６よりも若干大きい寸法になっている。また、第１中間軸穴７６の穴寸法は、第１中間ギヤ５２の外径よりも小さい寸法になっている。第１中間軸穴７６の穴周縁部位７６１は、第１中間ギヤ５２の第１小径部５８と対向する。

ここで、第１中間ギヤ５２は、第１中間シャフト５６に固定されていないので、軸方向ＤＲｘに変位した際に穴周縁部位７６１に接することがある。穴周縁部位７６１は、金属ギヤである第１小径部５８と対向する穴周縁部位７６１は、金属ギヤとの摺動面を構成する。金属製の第１中間ギヤ５２が穴周縁部位７６１に接した状態で回転すると、第１中間ギヤ５２および穴周縁部位７６１が摩耗してしまう。

これに対して、穴周縁部位７６１には、図１６に示すように、第１小径部５８と対向する面にワッシャ７６２が設けられている。ワッシャ７６２は、第１小径部５８との摺動面を形成する摺動部材である。第１中間ギヤ５２と穴周縁部位７６１との間にワッシャ７６２が介在することで、第１中間ギヤ５２の摺動に起因する穴周縁部位７６１の摩耗が抑制される。

第２中間軸穴７７は、第２中間シャフト６１および第２中間ギヤ５３の第２小径部６３が挿通される貫通穴である。第２中間軸穴７７は、第２中間シャフト６１が挿通可能なように、第２中間シャフト６１よりも若干大きい寸法になっている。また、第２中間軸穴７７の穴寸法は、第２中間ギヤ５３の第２大径部６２の外径よりも小さい寸法になっている。

出力軸穴７８は、出力シャフト２６が挿通される貫通穴である。出力軸穴７８は、出力シャフト２６が挿通可能なように出力シャフト２６よりも若干大きい寸法になっている。また、出力軸穴７８の穴寸法は、出力ギヤ５４の外径よりも小さい寸法になっている。

センサ穴７９は、回転角センサ３９の検出部６５から検出信号を出力するリード線Ｌｄ等を通すための貫通穴である。センサ穴７９は、中間プレート７０において、軸方向ＤＲｘに検出部６５と対向する位置に形成されている。

［ギヤの組付方法］
次に、減速部３７の複数のギヤの組付方法について図１７を参照して説明する。減速部３７の複数のギヤは、図１７に示すように、第１工程、第２工程、第３工程を介して、互いに組み付けられる。

まず、第１工程では、モータ軸５５にピニオンギヤ５１が取り付けられたモータ３６が、モータ挿入穴４６に挿入された状態でスクリュ４７によってハウジング本体４１に固定される。また、第１工程では、回転角センサ３９が一体に構成された出力ギヤ５４が、出力シャフト２６に取り付けられるとともに、当該出力シャフト２６がハウジング本体４１に回転可能に取り付けられる。

続く、第２工程では、ハウジング本体４１に中間プレート７０を組み付ける。この際、中間プレート７０に形成された複数の貫通穴にハウジング本体４１側の部品の一部が挿通される。具体的には、モータ軸５５およびピニオンギヤ５１がモータ軸穴７３に挿通される。一対のターミナルＴＮが一対のターミナル穴７４、７５に挿通される。第１中間シャフト５６が第１中間軸穴７６に挿通される。第２中間シャフト６１が第２中間軸穴７７に挿通される。出力シャフト２６が出力軸穴７８に挿通される。これらにより、モータ軸５５、ピニオンギヤ５１、一対のターミナルＴＮ、第１中間シャフト５６、第２中間シャフト６１が、ハウジング本体４１の内側から中間プレート７０を介して外部に突き出る。

続く、第３工程では、中間プレート７０から突き出たピニオンギヤ５１、第１中間シャフト５６、第２中間シャフト６１に対して対応するギヤが組み付けられる。具体的には、第２中間ギヤ５３が第２中間シャフト６１に挿通されるとともに、出力ギヤ５４に噛み合わされる。また、第１中間ギヤ５２が第１中間シャフト５６に挿通されるとともに、ピニオンギヤ５１および第２中間ギヤ５３それぞれに噛み合わされる。なお、グリスＧは、第１中間ギヤ５２の組み付けの前後に前述した所定の箇所に対して塗布される。

このように、減速部３７の複数のギヤが組み付けられた後、中間プレート７０が取り付けられたハウジング本体４１に対してハウジングケース４２を組み付ける。そして、締結部材Ｂによってハウジング本体４１およびハウジングケース４２が締結される。この際、中間プレート７０に形成されたビード７１２が押し潰されることで、ハウジング本体４１およびハウジングケース４２が密着する。

以上説明したアクチュエータ１０は、耐摩耗性等を確保しつつ、金属ギヤ側からの飛散物による不具合を抑制可能なアクチュエータ１０を実現することができる。

［ギヤ間へのグリス塗布］
潤滑剤であるグリスＧが減速部３７における樹脂噛合部Ｍ３側よりも第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２側に偏在している。これによれば、第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２の摩耗を充分に低減することができる。加えて、減速部３７は、樹脂噛合部Ｍ３側のグリスＧの量が少なく、樹脂の摩耗粉がグリスＧに保持され難いので、樹脂噛合部Ｍ３の摩耗を抑制することができる。

具体的には、グリスＧは、第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２に塗布され、樹脂噛合部Ｍ３に塗布されていない。これによると、グリスＧによって第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２の摩耗を低減しつつ、樹脂の摩耗粉がグリスＧに保持されることに起因する樹脂噛合部Ｍ３の摩耗を充分に抑制することができる。

また、第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２のうち、樹脂噛合部Ｍ３に近接する第２金属噛合部Ｍ２は、樹脂噛合部Ｍ３との間の最小間隔が、第２金属噛合部Ｍ２に塗布されたグリスＧの厚みＴＨよりも大きくなっている。これによると、減速部３７の動作時に第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２に塗布されたグリスＧが樹脂噛合部Ｍ３に付着し難くなる。

さらに、金属ギヤである第２大径部６２は、樹脂噛合部Ｍ３を構成する樹脂ギヤと当該樹脂ギヤに噛み合う相手ギヤのうち一方のギヤと同軸上に一体に回転可能な複合ギヤとして構成されている。加えて、第２大径部６２は、樹脂噛合部Ｍ３を構成する樹脂ギヤと当該樹脂ギヤに噛み合う相手ギヤのうち他方のギヤと軸方向ＤＲｘに重なり合う樹脂重複部位ＤＰ２を有する。この樹脂重複部位ＤＰ２と前記他方のギヤとの軸方向ＤＲｘにおける間隔が、樹脂重複部位ＤＰ２に塗布されたグリスＧの厚みよりも大きくなっている。これによると、減速部３７の動作時に、樹脂重複部位ＤＰ２に塗布されたグリスＧが、出力ギヤ５４に付着し難くなる。

また、本実施形態では、樹脂に強化繊維を含浸してなる繊維強化樹脂材料で樹脂ギヤを構成している。これによると、樹脂ギヤにグリスＧが付着すると、摩耗粉だけでなく繊維もグリスＧに保持されてしまうことで、樹脂ギヤの摩耗が著しく促進される。したがって、グリスＧが樹脂噛合部Ｍ３よりも第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２側に偏在しているアクチュエータ１０は、減速部３７の樹脂ギヤが繊維強化樹脂で構成されるものに好適である。

［ギヤ－シャフト間へのグリス塗布］
本実施形態の減速部３７は、大径ギヤおよび大径ギヤよりも小径となる小径ギヤを含む金属製の第１中間ギヤ５２、第１中間ギヤ５２よりも出力側に配置される樹脂製の歯を含む第２中間ギヤ５３を有する。そして、第２中間ギヤ５３は、第１中間ギヤ５２の小径ギヤと噛み合うように当該小径ギヤに対向する位置に配置されている。第１中間ギヤ５２と第１中間シャフト５６との間にはグリスＧが塗布されている。このグリスＧは、第１中間シャフト５６における小径ギヤ側よりも大径ギヤ側にグリスＧが偏在している。

これによると、第１中間ギヤ５２と第１中間シャフト５６との間にグリスＧが介在することで、第１中間ギヤ５２と第１中間シャフト５６との間における摩耗を抑制することができる。加えて、第１中間シャフト５６との間における小径ギヤ側よりも大径ギヤ側にグリスＧが偏在しているので、グリスＧが、樹脂製の歯を含む従動ギヤに付着し難くなる。これにより、樹脂の摩耗粉がグリスＧに保持されることに起因する第２中間ギヤ５３の摩耗を抑制することができる。

また、グリスＧは、第１中間シャフト５６と第１中間支持部を構成する第１嵌合穴４２ａにグリスＧが塗布され、第１中間シャフト５６と第２中間支持部を構成する第１圧入穴４１ａにグリスＧが塗布されていない。これによると、減速部３７の動作時に飛散するグリスＧが、樹脂製の歯を含む第２中間ギヤ５３に付着し難くなる。このため、樹脂の摩耗粉がグリスＧに保持されることに起因する第２中間ギヤ５３の摩耗を抑制することができる。

加えて、第１中間シャフト５６と第１嵌合穴４２ａとの間には、余剰となるグリスＧを溜めるための貯留空間ＧＳが設けられている。このように、貯留空間ＧＳが第１中間ギヤ５２における小径ギヤ側ではなく大径ギヤ側に設けられていれば、大径ギヤ側の潤滑性を確保しつつ、グリスＧが樹脂製の歯を含む第２中間ギヤ５３に付着することを抑制することができる。

さらに、グリスＧは、大径ギヤである第１大径部５７とハウジングケース４２との間にグリスＧが塗布され、小径ギヤである第１小径部５８とハウジング本体４１との間にグリスＧが塗布されていない。これによると、第１中間ギヤ５２の大径ギヤ側にグリスＧが塗布されているので、大径ギヤとハウジングケース４２との摺動に伴う大径ギヤの摩耗を抑制することができる。また、第１中間ギヤ５２の小径ギヤ側にグリスＧが塗布されていないので、グリスＧが樹脂製の歯を含む第２中間ギヤ５３に付着することを抑制することができる。

［金属ギヤ側からの飛散物への対策］
アクチュエータ１０は、減速部３７の動作に起因して生ずる金属ギヤ側からの飛散物がハウジング３５の内部空間４４のうち金属ギヤが配置される空間を除く他の空間に飛散することを抑制する中間プレート７０を備える。これによると、金属ギヤ側からの飛散物が他の空間に飛散することが中間プレート７０によって抑制されるので、金属製のギヤ側からの飛散物が所定の空間に飛散することに起因する不具合を抑制することができる。

具体的には、ハウジング３５の内部空間４４は、金属ギヤが配置されるケース側空間４４Ｂと樹脂ギヤおよび当該樹脂ギヤに噛み合う相手ギヤが配置される本体側空間４４Ａとが中間プレート７０によって隔てられている。これによると、金属ギヤに塗布されたグリスＧが減速部３７の動作時にハウジング３５の内部空間４４のうち樹脂ギヤおよび相手ギヤが配置される本体側空間４４Ａに飛散することが中間プレート７０によって抑制される。これによると、樹脂の摩耗粉がグリスＧに保持され難くなることで、樹脂噛合部Ｍ３の摩耗を抑制することができる。すなわち、金属ギヤ側からの飛散物（すなわち、グリスＧ）が樹脂ギヤ等の配置空間に飛散することに起因する不具合を抑制することができる。

ところで、本実施形態の回転角センサ３９は、磁気回路部６４および検出部６５を有する磁気検出型のセンサになっている。この種のセンサでは、金属ギヤで生ずる摩耗粉等が磁性体として付着すると、センサの検出精度が悪化する可能性がある。

これに対して、ハウジング３５の内部空間４４は、金属ギヤが配置される空間と磁気回路部６４および検出部６５が配置される空間とが中間プレート７０によって隔てられている。これによると、減速部３７の動作時に金属ギヤで生ずる摩耗粉がハウジング３５の内部空間４４のうち磁気回路部６４および検出部６５が配置される空間に飛散することが中間プレート７０によって抑制される。これにより、金属ギヤで生ずる摩耗粉が磁気回路部６４および検出部６５に付着し難くなることで、回転角センサ３９における意図しない出力変動を抑制することができる。すなわち、金属ギヤ側からの飛散物（すなわち、金属粉）が磁気回路部６４および検出部６５の配置空間に飛散することに起因する不具合を抑制することができる。

また、ハウジング本体４１およびハウジングケース４２との間は、中間プレート７０によってシールされている。これによると、中間プレート７０をハウジング本体４１とハウジングケース４２との間をシールするガスケットとしても機能させることができる。加えて、部品点数を増やすことなく、ハウジング３５の気密性および液密性を高めるとともに、金属ギヤ側からの飛散物等がハウジング３５の外部に飛散することを中間プレート７０によって抑制することができる。

例えば、Ｏリングによってハウジング本体４１およびハウジングケース４２との間をシールする場合、ハウジング本体４１およびハウジングケース４２との合わせ面にＯリングを配置するための溝を形成する必要がある。

これに対して、中間プレート７０をガスケットとしても機能させれば、ハウジング本体４１およびハウジングケース４２との合わせ面を加工することなく、ハウジング本体４１とハウジングケース４２との間をシールすることができる。

また、中間プレート７０には、ハウジング本体４１とハウジングケース４２との間に介在する当接部位７１にシール材７１１がコーティングされている。加えて、中間プレート７０には、ハウジング本体４１とハウジングケース４２とを連結する際に押し潰されるビード７１２が設けられている。これによると、ビード７１２が押し潰されることでハウジング本体４１とハウジングケース４２とが密着するので、ハウジング本体４１とハウジングケース４２との間のシール性を向上させることができる。

さらに、中間プレート７０には、金属ギヤである第１中間ギヤ５２と対向する部位（すなわち、穴周縁部位７６１）に第１中間ギヤ５２との摺動面を形成するワッシャ７６２が設けられている。これによると、中間プレート７０と第１中間ギヤ５２との摺動に伴う中間プレート７０および第１中間ギヤ５２の摩耗を抑制することができる。

さらに、中間プレート７０は、モータ３６の一対のターミナルＴＮが挿通される一対のターミナル穴７４、７５の周縁部位に中間プレート７０と一対のターミナルＴＮとを電気的に絶縁する絶縁コーティング７４１、７５１が施されている。これによると、中間プレート７０を介したモータ３６の電気的な短絡を抑制することができる。

ここで、過給圧制御用バルブを駆動するアクチュエータ１０は、過給圧制御用バルブであるウェイストゲートバルブ１９を通してエンジン脈動によるストレスが加わる。脈動周期に伴う高周期な衝撃荷重が出力シャフト２６に印加されるので、金属ギヤ側からのグリスＧや摩耗粉等の飛散物が他の空間に飛散し易い。このため、金属ギヤ側からの飛散物が所定の空間に飛散することが中間プレート７０によって抑制される構造は、過給機２４の過給圧制御用バルブを駆動するアクチュエータ１０に好適である。

（第１変形例）
上述の実施形態では、中間プレート７０の当接部位７１にシール材７１１がコーティングされているものを例示したが、中間プレート７０は、これに限定されない。中間プレート７０は、例えば、図１８に示すように、当接部位７１にシール材７１１がコーティングされていなくてもよい。また、中間プレート７０は、当接部位７１にビード７１２が設けられていなくてもよい。

（第２変形例）
上述の実施形態では、中間プレート７０における一対のターミナル穴７４、７５の周縁部位に絶縁コーティング７４１、７５１が施されているものを例示したが、中間プレート７０は、これに限定されない。中間プレート７０は、例えば、中間プレート７０自体が絶縁材料で構成されている場合やターミナルＴＮの表面に絶縁処理が施されている場合、図１９に示すように、一対のターミナル穴７４、７５の周縁部位に絶縁コーティング７４１、７５１がなくてもよい。

（第３変形例）
上述の実施形態では、中間プレート７０における第１中間ギヤ５２と対向する穴周縁部位７６１にワッシャ７６２が設けられているものを例示したが、中間プレート７０は、これに限定されない。

中間プレート７０は、図２０に示すように、第１中間ギヤ５２が摺動する摺動面を形成する穴周縁部位７６１に対して、ワッシャ７６２の代わりに潤滑被膜７６３が設けられていてもよい。潤滑被膜７６３は、金属ギヤが摺動する摺動面に対して金属ギヤとの摺動抵抗を低下させるものである。潤滑被膜７６３は、例えば、ＤＬＣ膜、固体潤滑剤を膜状に形成したものを採用することができる。これによると、中間プレート７０と金属ギヤとの摺動に伴う中間プレート７０および金属ギヤの摩耗を簡易な構成で抑制することができる。

（他の実施形態）
以上、本開示の代表的な実施形態について説明したが、本開示は、上述の実施形態に限定されることなく、例えば、以下のように種々変形可能である。

上述の実施形態では、ピニオンギヤ５１、第１中間ギヤ５２、第２中間ギヤ５３、出力ギヤ５４といった４つのギヤを有する減速部３７を例示したが、減速部３７は、これに限定されない。減速部３７は、例えば、３つのギヤを有する構成や５つ以上のギヤを有する構成になっていてもよい。

上述の実施形態では、金属ギヤが鉄系焼結金属によって形成される旨を説明したが、これに限らず、金属ギヤは、鉄系焼結金属以外の他の金属によって形成されていてもよい。また、樹脂ギヤが繊維強化樹脂材で構成されているものを例示したが、これに限らず、受ギヤは、強化繊維を含まない樹脂材で構成されていてもよい。

上述の実施形態では、モータ３６側のピニオンギヤ５１から第２大径部６２までが金属ギヤで構成され、出力側の第２小径部６３から出力ギヤ５４までが樹脂ギヤで構成されているものを例示したが、減速部３７は、これに限定されない。減速部３７は、例えば、モータ３６側のピニオンギヤ５１から第２大径部６２までの一部が樹脂ギヤで構成されていたり、出力側の第２小径部６３から出力ギヤ５４までの一部が金属ギヤで構成されていたりしてもよい。

上述の実施形態では、減速部３７が樹脂ギヤを含んだり、回転角センサ３９が磁気回路部６４を含んだりするものを例示したが、減速部３７のギヤ構成および回転角センサ３９の構成は、これに限定されない。アクチュエータ１０は、金属ギヤ側からの飛散物が内部空間４４のうち金属ギヤの配置空間を除く他の空間に飛散することを中間プレート７０で抑制可能であれば、減速部３７のギヤ構成や回転角センサ３９の構成が上述のものと異なっていてもよい。

具体的には、減速部３７は、樹脂ギヤを含まないギヤ構成になっていてもよい。この場合、例えば、ハウジング３５の内部空間４４が、金属ギヤが配置される空間と磁気回路部６４および検出部６５が配置される空間とに区画されるように中間プレート７０が配置される。

また、減速部３７は、回転角センサ３９が磁気式のセンサ以外のセンサで構成されていてもよい。この場合、例えば、ハウジング３５の内部空間４４が、金属ギヤが配置される空間と樹脂ギヤ等が配置される空間とに区画されるように中間プレート７０が配置される。

上述の実施形態では、ハウジング本体４１とハウジングケース４２との間が中間プレート７０によってシールされているものを例示したが、ハウジング３５は、これに限定されない。ハウジング３５は、例えば、中間プレート７０とは別にガスケットが設けられていてもよい。この場合、中間プレート７０は、ハウジング本体４１とハウジングケース４２との間に配置されていなくてもよい。なお、中間プレート７０は、少なくとも一部が段付き形状や曲面形状になっていてもよい。

上述の実施形態では、中間プレート７０における穴周縁部位７６１に対して、ワッシャ７６２や潤滑被膜７６３が設けられているものを例示したが、これに限定されない。中間プレート７０は、例えば、穴周縁部位７６１にワッシャ７６２や潤滑被膜７６３が設けられていなくてもよい。

上述の実施形態では、グリスＧが樹脂噛合部Ｍ３側よりも第１金属噛合部Ｍ１および第２金属噛合部Ｍ２側に偏在しているものを例示したが、アクチュエータ７０は、これに限定されない。アクチュエータ７０におけるグリスＧの塗布箇所は、必要に応じて適宜設定することができる。

上述の実施形態では、回転角センサ３９の一部が出力ギヤ５４と一体に構成されているものを例示したが、回転角センサ３９は、出力ギヤ５４と別体で構成されていてもよい。

上述の実施形態では、本開示のアクチュエータ１０を過給機２４の過給圧制御用バルブの駆動装置に適用したものを例示したが、アクチュエータ１０の適用対象は、これに限定されない。アクチュエータ１０は、例えば、タービンを２つ備えるツインターボのタービンの切替機器や可変容量ターボのタービンの切替機器等の過給機２４における過給圧を制御する機器にも適用可能である。また、アクチュエータ１０は、過給機２４における過給圧を制御すること以外の他の用途に用いることも可能である。

上述の実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。

上述の実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されない。

上述の実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されない。

３５ ハウジング
３６ モータ
５１ ピニオンギヤ
５２ 第１中間ギヤ
５３ 第２中間ギヤ
６２ 第２大径部
６３ 第２小径部
３７ 減速部
３９ 回転角センサ
７０ 中間プレート（プレート部材）

Claims (13)

1. アクチュエータであって、
   モータ（３６）と、
   出力シャフト（２６）と、
   金属製の歯を有する金属ギヤ（５１、５２、６２）を少なくとも１つ含むとともに、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
   前記モータおよび前記減速部を収容するハウジング（３５）と、
   前記減速部の動作に起因して生ずる前記金属ギヤ側からの飛散物が前記ハウジングの内部空間のうち前記金属ギヤが配置される空間を除く他の空間に飛散することを抑制するプレート部材（７０）と、を備え、
   前記ハウジングは、第１ハウジング部（４２）および第２ハウジング部（４１）を有し、
   前記第１ハウジング部は、前記第２ハウジング部との間に前記プレート部材が配置された状態で前記第２ハウジング部に連結されており、
   前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部との間は、前記プレート部材によってシールされ、
   前記プレート部材には、前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部との間に介在する部位にシール材（７１１）がコーティングされている、アクチュエータ。
2. アクチュエータであって、
   モータ（３６）と、
   出力シャフト（２６）と、
   金属製の歯を有する金属ギヤ（５１、５２、６２）を少なくとも１つ含むとともに、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
   前記モータおよび前記減速部を収容するハウジング（３５）と、
   前記減速部の動作に起因して生ずる前記金属ギヤ側からの飛散物が前記ハウジングの内部空間のうち前記金属ギヤが配置される空間を除く他の空間に飛散することを抑制するプレート部材（７０）と、を備え、
   前記ハウジングは、第１ハウジング部（４２）および第２ハウジング部（４１）を有し、
   前記第１ハウジング部は、前記第２ハウジング部との間に前記プレート部材が配置された状態で前記第２ハウジング部に連結されており、
   前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部との間は、前記プレート部材によってシールされ、
   前記プレート部材には、前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部とを連結する際に押し潰されるビード（７１２）が設けられている、アクチュエータ。
3. アクチュエータであって、
   モータ（３６）と、
   出力シャフト（２６）と、
   前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
   前記モータおよび前記減速部を収容するハウジング（３５）と、を備え、
   前記減速部は、
   金属製の歯を有するとともに互いに噛み合う一対の金属ギヤ（５１、５７、５８、６２）、樹脂製の歯を有する樹脂ギヤ（６３）、前記樹脂ギヤの歯に噛み合う相手ギヤ（５４）を含み、
   潤滑剤であるグリスが前記樹脂ギヤと前記相手ギヤとの噛み合い部分である樹脂噛合部（Ｍ３）側よりも一対の前記金属ギヤの噛み合い部分である金属噛合部（Ｍ１、Ｍ２）側に偏在しており、
   前記ハウジングの内部空間は、前記金属ギヤが配置される空間と前記樹脂ギヤおよび前記相手ギヤが配置される空間とがプレート部材（７０）によって隔てられているアクチュエータ。
4. 磁気回路部（６４）および検出部（６５）を含み、前記出力シャフトの回転角を検出する回転角センサ（３９）を備え、
   前記ハウジングの内部空間は、前記金属ギヤが配置される空間と前記磁気回路部および前記検出部が配置される空間とが前記プレート部材によって隔てられている請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記ハウジングは、第１ハウジング部（４２）および第２ハウジング部（４１）を有し、
   前記第１ハウジング部は、前記第２ハウジング部との間に前記プレート部材が配置された状態で前記第２ハウジング部に連結されており、
   前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部との間は、前記プレート部材によってシールされている請求項３または４に記載のアクチュエータ。
6. 前記プレート部材には、前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部との間に介在する部位にシール材（７１１）がコーティングされている請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 前記プレート部材には、前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部とを連結する際に押し潰されるビード（７１２）が設けられている請求項５または６に記載のアクチュエータ。
8. アクチュエータであって、
   モータ（３６）と、
   出力シャフト（２６）と、
   金属製の歯を有する金属ギヤ（５１、５２、６２）を少なくとも１つ含むとともに、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
   磁気回路部（６４）および検出部（６５）を含み、前記出力シャフトの回転角を検出する回転角センサ（３９）と、
   前記モータ、前記減速部、および前記回転角センサを収容するハウジング（３５）と、を備え、
   前記ハウジングの内部空間は、前記金属ギヤが配置される空間と前記磁気回路部および前記検出部が配置される空間とがプレート部材（７０）によって隔てられ、
   前記ハウジングは、第１ハウジング部（４２）および第２ハウジング部（４１）を有し、
   前記第１ハウジング部は、前記第２ハウジング部との間に前記プレート部材が配置された状態で前記第２ハウジング部に連結されており、
   前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部との間は、前記プレート部材によってシールされ、
   前記プレート部材には、前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部との間に介在する部位にシール材（７１１）がコーティングされている、アクチュエータ。
9. アクチュエータであって、
   モータ（３６）と、
   出力シャフト（２６）と、
   金属製の歯を有する金属ギヤ（５１、５２、６２）を少なくとも１つ含むとともに、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
   磁気回路部（６４）および検出部（６５）を含み、前記出力シャフトの回転角を検出する回転角センサ（３９）と、
   前記モータ、前記減速部、および前記回転角センサを収容するハウジング（３５）と、を備え、
   前記ハウジングの内部空間は、前記金属ギヤが配置される空間と前記磁気回路部および前記検出部が配置される空間とがプレート部材（７０）によって隔てられ、
   前記ハウジングは、第１ハウジング部（４２）および第２ハウジング部（４１）を有し、
   前記第１ハウジング部は、前記第２ハウジング部との間に前記プレート部材が配置された状態で前記第２ハウジング部に連結されており、
   前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部との間は、前記プレート部材によってシールされ、
   前記プレート部材には、前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部とを連結する際に押し潰されるビード（７１２）が設けられている、アクチュエータ。
10. 前記プレート部材には、前記金属ギヤと対向する部位に前記金属ギヤとの摺動面を形成する摺動部材（７６２）が設けられている請求項１ないし９のいずれか１つに記載のアクチュエータ。
11. 前記プレート部材には、前記金属ギヤと対向する部位に前記金属ギヤが摺動する摺動面が形成され、前記摺動面に対して前記金属ギヤとの摺動抵抗を低下させる潤滑被膜（７６３）が設けられている請求項１ないし１０のいずれか１つに記載のアクチュエータ。
12. 前記プレート部材は、前記モータのターミナル（ＴＮ）が挿通されるターミナル穴（７４、７５）が形成され、前記ターミナル穴の周縁部位に前記プレート部材と前記ターミナルとを電気的に絶縁する絶縁コーティング（７４１、７５１）が施されている請求項１ないし１１のいずれか１つに記載のアクチュエータ。
13. 過給機（２４）の過給圧制御用バルブ（１９）を駆動する駆動装置として用いられる請求項１ないし１２のいずれか１つに記載のアクチュエータ。

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