JP7343781B2 - Metal plate surface defect inspection equipment - Google Patents
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Description
本発明は、表面検査の対象物である金属板に対して、光源から照明光を照射し、その反射光を撮像カメラで撮像し、得られた画像の信号を処理して表面欠陥の検査を行う金属板の表面欠陥検査装置に関する。 The present invention irradiates illumination light from a light source onto a metal plate that is the object of surface inspection, images the reflected light with an imaging camera, and processes the obtained image signal to inspect surface defects. The present invention relates to a surface defect inspection device for metal plates.
金属板の一種であり、焼鈍工程、調質圧延工程を経て生産される鋼板では、その表面に現れる外観異常として、ヘゲ疵、巻き締め疵、横ズレ疵などがあり、これらの表面欠陥を含む鋼板は品質不良品となる。特殊鋼、普通鋼の最終検査工程では、めっき製品やステンレス製品とは異なり、工程間の錆やコイルの層間ズレによる疵を抑制するため、冷間圧延や調質圧延の油が付着した状態で検査を行う必要がある。加えて焼鈍によって不可避的に発生する焼鈍縞も含まれる。これらの外観異常を含む鋼板は、製品用途によっては、品質不良品とはならない。このため、鋼板の製造現場では、これらの外観異常を精度よく峻別することが求められる。
なお、上述した各種の外観異常のうち何が有害であり何が無害であるかは、金属板のユーザーによってそれぞれ異なるものである。したがって、外観異常のうち何を有害とし何を無害とするかは、ユーザーと製造業者との間の品質面に関する契約によって決められるものであり、製造業者はその契約に応じた検査項目・検査基準で外観異常の有害・無害を区別することが求められる。
Steel plates, which are a type of metal plate and are produced through an annealing process and a temper rolling process, have appearance abnormalities that appear on their surfaces, such as sagging defects, rolling defects, and lateral deviation defects. Steel plates containing this material will be of poor quality. Unlike plated products and stainless steel products, during the final inspection process for special steel and ordinary steel, in order to prevent scratches due to rust during the process or misalignment between layers of the coil, the final inspection process is carried out with oil from cold rolling or temper rolling applied. It is necessary to conduct an inspection. In addition, it also includes annealing stripes that inevitably occur due to annealing. Steel plates with these appearance abnormalities are not considered to be of poor quality, depending on the product use. For this reason, in steel plate manufacturing sites, it is required to accurately distinguish these appearance abnormalities.
Note that which of the above-mentioned various appearance abnormalities are harmful and which are harmless differs depending on the user of the metal plate. Therefore, the quality-related contract between the user and the manufacturer determines what is considered harmful and what is not harmful among external appearance abnormalities, and the manufacturer must determine the inspection items and standards according to the contract. It is necessary to distinguish between harmful and harmless appearance abnormalities.
従来より、この種の技術として、例えば、下記の特許文献1(日本国・特許第6117398号公報)には、走行する鋼板表面のうちロールで下から支持された撮像対象部位を照明する照明部と、正反射方向との成す角度が第1の角度γとなる方向への乱反射光を撮像する第1の乱反射光撮像部と、正反射方向との成す角度が第2の角度δ(但しδ>γ)となる方向への乱反射光を撮像する第2の乱反射光撮像部と、第1の乱反射光撮像部が撮像して得られた第1の乱反射画像信号と、第2の乱反射光撮像部が撮像して得られた第2の乱反射画像信号とを処理する画像信号処理部を備え、画像信号処理部は、第1の乱反射画像信号のうち所定の第1の閾値より低輝度となる部位であって、同部位について第2の乱反射画像信号が所定の第2の閾値より高輝度となる部位を表面欠陥部位として検出する表面欠陥検査装置が開示されている。
かかる技術によれば、表面にめっき等の表面処理が施されていない鋼板を検査対象として外観異常の有害、無害を区別して検出することが可能となる。
Conventionally, as this type of technology, for example, the following Patent Document 1 (Japanese Patent No. 6117398) discloses an illumination unit that illuminates an imaging target part supported from below by rolls on the surface of a running steel plate. and a first diffusely reflected light imaging unit that images the diffusely reflected light in a direction in which the angle formed by the specular reflection direction is a first angle γ, and the angle formed by the specular reflection direction is a second angle δ (however, δ >γ); a second diffusely reflected light image signal obtained by imaging by the first diffusely reflected light imager; and a second diffusely reflected light image signal. an image signal processing section that processes a second diffuse reflection image signal obtained by imaging the first diffuse reflection image signal, and the image signal processing section has a luminance lower than a predetermined first threshold value of the first diffuse reflection image signal. A surface defect inspection apparatus has been disclosed that detects, as a surface defect site, a site for which a second diffuse reflection image signal has a higher luminance than a predetermined second threshold value.
According to this technique, it is possible to distinguish between harmful and non-hazardous appearance abnormalities by using a steel plate whose surface has not been subjected to surface treatment such as plating to be inspected.
しかしながら、上記の従来技術には次の課題がある。
上述のように、走行中の金属板をロールで下から支持して金属板の表面(上表面)に形成される撮像対象部位で金属板の表面欠陥を検査する場合には何ら問題はないが、例えば、走行する金属板の表裏両面(上下両表面)を同時に検査すべく、その金属板をロールで上から支持して金属板裏面(下表面)に形成される撮像対象部位の表面欠陥を検査する際に、検査対象の金属板が例えば展延性に富んだ薄物などであった場合には、その金属板裏面の検査精度が低下するようになるという問題が生じていた。この点について詳述すると、金属板における撮像対象部位は、ロールで支持されたパスラインが極めて安定している位置に設けられるが、金属板の裏面を検査する場合のように、走行する金属板に上からロールを押し当ててこれを支持する場合には、金属板を下支えするものがないため、その自重などにより(上からのロールに支持された)金属板が垂れ下がってパスラインがバタつくようになる。その結果、撮像対象部位における信号の反射レベルが安定できず、外観異常の有害、無害の区別が困難になっていた。なお、かかる問題を解消するためには、走行する金属板にバックテンションを加えることによってパスラインを安定化させればよいが、検査対象の金属板が例えばビッカース硬度90~170HV程度で且つ板厚0.5mm以下の薄物焼鈍材などの場合には、パスラインが安定する程度までバックテンションを加えた場合、ウレタン製ピンチロール(動力有)でスリップ疵が発生する、或いは、ライン入側と出側のスピード同期が難しくなり、高速運転が不可能になる、等の問題が発生する。
However, the above conventional technology has the following problems.
As mentioned above, there is no problem when inspecting the surface defects of the metal plate at the imaging target area formed on the surface (upper surface) of the metal plate by supporting the metal plate from below with a roll. For example, in order to simultaneously inspect both the front and back surfaces (both upper and lower surfaces) of a moving metal plate, the metal plate is supported from above with a roll and the surface defects of the imaged area formed on the back (lower surface) of the metal plate are detected. When inspecting, if the metal plate to be inspected is, for example, a thin material with high malleability, a problem arises in that the inspection accuracy of the back surface of the metal plate is reduced. To elaborate on this point, the part to be imaged on a metal plate is set at a position where the pass line supported by rolls is extremely stable. When supporting the metal plate by pressing a roll onto it from above, there is nothing to support the metal plate, so the metal plate (supported by the roll from above) will sag due to its own weight and the pass line will flap. It becomes like this. As a result, the signal reflection level at the imaging target site cannot be stabilized, making it difficult to distinguish between harmful and harmless appearance abnormalities. In order to solve this problem, the pass line can be stabilized by applying back tension to the running metal plate. In the case of thin annealed materials of 0.5 mm or less, if back tension is applied to the extent that the pass line is stabilized, slip defects may occur on the urethane pinch rolls (powered), or the line entry and exit sides may be damaged. Problems such as speed synchronization between the two sides become difficult, making high-speed operation impossible.
それゆえに、本発明の目的は、走行する金属板の裏面側における外観異常の有害、無害を明確に区別して検出することができる金属板の表面欠陥検査装置を提供することである。 Therefore, an object of the present invention is to provide a surface defect inspection device for a metal plate that can clearly distinguish between harmful and harmless appearance abnormalities on the back side of a running metal plate.
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図1および図2に示すように、金属板の表面欠陥検査装置10を次のように構成した。
すなわち、上下一組の前側ピンチロール12と、その前側ピンチロール12との間に金属板14が走行するパスラインを形成する上下一組の後側ピンチロール16と、上記パスライン上を走行する金属板14に対して上側から当接する裏面検査用ロール18と、走行する上記の金属板14の下方に配設され、上記の裏面検査用ロール18が上記の金属板14に当接することによって当該金属板14の裏面に形成される撮像対象部位20へ向けて光を照射する照明部22と、上記の撮像対象部位20での反射光を撮像する反射光撮像部24と、その反射光撮像部24で撮像した反射光より得られる画像信号に基づいて上記の金属板14の表面欠陥部位を検出する画像信号処理部26とを備える。上記の裏面検査用ロール18と後側ピンチロール16との間に、上記の裏面検査用ロール18とは非接触のガイドロール30を配設し、そのガイドロール30で上記の金属板14の上記パスラインを上方へと持ち上げ付勢する。
In order to achieve the above object, the present invention, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, has a metal plate surface defect inspection apparatus 10 configured as follows.
That is, a set of upper and lower front pinch rolls 12, a set of upper and lower rear pinch rolls 16 forming a pass line along which the metal plate 14 runs between the front pinch rolls 12, and a set of rear pinch rolls 16 that run on the pass line. A backside inspection roll 18 that contacts the metal plate 14 from above is disposed below the traveling metal plate 14, and when the backside inspection roll 18 comes into contact with the metal plate 14, the An illumination section 22 that irradiates light toward the imaging target region 20 formed on the back surface of the metal plate 14, a reflected light imaging section 24 that images the reflected light from the imaging target region 20, and the reflected light imaging section. The image signal processing section 26 detects a surface defect site of the metal plate 14 based on an image signal obtained from the reflected light imaged at 24. A guide roll 30 that is not in contact with the back surface inspection roll 18 is disposed between the back surface inspection roll 18 and the rear pinch roll 16, and the guide roll 30 is used to inspect the metal plate 14. Lift and energize the pass line upward.
本発明の金属板の表面欠陥検査装置は次の作用効果を奏する。
裏面検査用ロールと後側ピンチロールの間にガイドロールを配設し、そのガイドロールで金属板のパスラインを上方へと持ち上げ付勢するようにしているので、裏面検査用ロールの最下点前後の表面に沿って金属板が巻きついて撮像対象部位が形成されるようになる。その結果、撮像対象部位において金属板のバタつきが無くなり、撮像対象部位における信号(反射光)の反射レベルが安定し、走行する金属板の裏面側における外観異常の有害、無害を明確に区別して検出することが可能な金属板の表面欠陥装置を提供することができる。
また、上記ガイドロールは裏面検査用ロールとは非接触であるため、金属板表面に塗布されている油が絞られて滴下し、反射光撮像部や照明部などを汚染させたり、光の光軸と干渉することなどを防止することができる。
The metal plate surface defect inspection apparatus of the present invention has the following effects.
A guide roll is installed between the back inspection roll and the rear pinch roll, and the guide roll lifts and biases the pass line of the metal plate upward, so that the lowest point of the back inspection roll A metal plate is wrapped around the front and rear surfaces to form an imaging target region. As a result, there is no flapping of the metal plate in the area to be imaged, the reflection level of the signal (reflected light) in the area to be imaged is stabilized, and it is possible to clearly distinguish between harmful and harmless appearance abnormalities on the back side of the moving metal plate. A device capable of detecting surface defects on a metal plate can be provided.
In addition, since the guide roll is not in contact with the back inspection roll, the oil coated on the surface of the metal plate may be squeezed and dripped, contaminating the reflected light imaging section, lighting section, etc. Interference with the shaft can be prevented.
本発明においては、前記の裏面検査用ロール18の直径が100mm以上であり、前記の撮像対象部位20における上記の裏面検査用ロール18への前記の金属板14の巻きつけ角度θ1が10°以上であることが好ましい。
さらには、上記の撮像対象部位20における上記の裏面検査用ロール18への金属板14の巻きつけ角度θ1のうち、上記の裏面検査用ロール18の最下点P1より上記の金属板14の走行方向下流側の角度θ2が2°以上であることが好ましい。
これらの場合、上述した作用効果がより一層顕著となるのに加え、表面欠陥検査装置の全体をコンパクトにまとめることができると共に、ガイドロール通過後に金属板に逆そりが発生するのを予防することができるようになる。
In the present invention, the diameter of the backside inspection roll 18 is 100 mm or more, and the winding angle θ1 of the metal plate 14 around the backside inspection roll 18 at the imaging target region 20 is 10° or more. It is preferable that
Further, among the winding angle θ1 of the metal plate 14 around the back inspection roll 18 in the imaging target region 20, the movement of the metal plate 14 is performed from the lowest point P1 of the back inspection roll 18. It is preferable that the angle θ2 on the downstream side in the direction is 2° or more.
In these cases, in addition to the above-mentioned effects becoming even more remarkable, the entire surface defect inspection device can be made compact, and it is possible to prevent the metal plate from being warped after passing through the guide rolls. You will be able to do this.
さらに、本発明は、後述する実施形態に記載された特有の構成を付加することが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the present invention adds the unique configuration described in the embodiment described later.
以下、本発明の金属板の表面欠陥検査装置について図面を参照しつつ説明する。
図1は、本発明における一実施形態の金属板の表面欠陥検査装置10の概略を示すフロー図である。本発明の金属板の表面欠陥検査装置10は、連続酸洗ラインやめっき・カラー塗装ラインやスリッターライン等における金属板14のパスライン上に設置され、金属板14の表面に現れる外観異常の有害、無害を区別して検出するものであり、この図が示すように、前側ピンチロール12,後側ピンチロール16,表面検査用ロール17,裏面検査用ロール18,照明部21と22,反射光撮像部23と24,画像信号処理部26,検査結果出力部28およびガイドロール30で大略構成される。
なお、本実施形態における金属板14は、鋼板であって、表面にめっき処理が施されておらず、塗油が付着した状態のものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A surface defect inspection apparatus for metal plates according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a flow diagram schematically showing a surface defect inspection apparatus 10 for a metal plate according to an embodiment of the present invention. The metal plate surface defect inspection device 10 of the present invention is installed on the pass line of the metal plate 14 in a continuous pickling line, plating/color painting line, slitter line, etc. As shown in this figure, the front pinch roll 12, the rear pinch roll 16, the front side inspection roll 17, the back side inspection roll 18, the illumination units 21 and 22, and reflected light imaging. It is roughly composed of sections 23 and 24, an image signal processing section 26, an inspection result output section 28, and a guide roll 30.
Note that the metal plate 14 in this embodiment is a steel plate, the surface of which has not been subjected to plating treatment, and has oil applied thereto.
前側ピンチロール12は、本発明の表面欠陥検査装置10へ導入される金属板14のパスラインの起点を形成するロール(回転体)であり、金属板14の裏面に当接してこれを下支えする前側下部ロール12aと、この前側下部ロール12aの直上に配設され、当該前側下部ロール12aと協働して挟み込んだ金属板14をその走行方向下流側へと送り出す前側上部ロール12bとの上下一組のロールで構成されている。 The front pinch roll 12 is a roll (rotating body) that forms the starting point of the pass line of the metal plate 14 introduced into the surface defect inspection apparatus 10 of the present invention, and comes into contact with the back surface of the metal plate 14 to support it. The front lower roll 12a and the front upper roll 12b, which is disposed directly above the front lower roll 12a and cooperates with the front lower roll 12a to send out the sandwiched metal plate 14 downstream in the running direction, are aligned vertically. It consists of a set of roles.
後側ピンチロール16は、本発明の表面欠陥検査装置10へ導入された金属板14のパスラインの終点を形成するロール(回転体)であり、金属板14の裏面に当接してこれを下支えする後側下部ロール16aと、この後側下部ロール16aの直上に配設され、当該後側下部ロール16aと協働して挟み込んだ金属板14を表面欠陥検査の後工程へと送り出す後側上部ロール16bとの上下一組のロールで構成されている。 The rear pinch roll 16 is a roll (rotating body) that forms the end point of the pass line of the metal plate 14 introduced into the surface defect inspection apparatus 10 of the present invention, and comes into contact with the back surface of the metal plate 14 to support it. a rear lower roll 16a, which is disposed directly above the rear lower roll 16a, and a rear upper part that cooperates with the rear lower roll 16a to send the sandwiched metal plate 14 to a subsequent process for surface defect inspection. It is composed of a pair of upper and lower rolls including the roll 16b.
表面検査用ロール17は、表面欠陥検査装置10内に形成されるパスラインのうち前記の前側ピンチロール12の直後を走行する金属板14の裏面に当接してこれを下支えし、走行する金属板14の表面に、当該金属板14が板厚方向に揺れることのない撮像対象部位19を形成するためのロール(回転体)である。この表面検査用ロール17は、その直径が100mm以上であることが好ましい。このように表面検査用ロール17の直径が100mm以上であれば、表面欠陥の検査に好適な撮像対象部位19を形成することができるようになるからである。なお、図示実施形態では、この表面検査用ロール17として直径200mmの硬質ウレタンゴムロールを採用している。 The surface inspection roll 17 contacts and supports the back surface of the metal plate 14 running immediately after the front pinch roll 12 in the pass line formed in the surface defect inspection apparatus 10, and supports the metal plate 14 running immediately after the front pinch roll 12. This is a roll (rotating body) for forming an imaging target region 19 on the surface of the metal plate 14 so that the metal plate 14 does not sway in the thickness direction. The surface inspection roll 17 preferably has a diameter of 100 mm or more. If the diameter of the surface inspection roll 17 is 100 mm or more in this way, it is possible to form an imaging target region 19 suitable for inspecting surface defects. In the illustrated embodiment, a hard urethane rubber roll with a diameter of 200 mm is used as the surface inspection roll 17.
裏面検査用ロール18は、表面欠陥検査装置10内に形成されるパスラインのうち上記の表面検査用ロール17と前記の後側ピンチロール16との間を走行する金属板14の表面に当接してこれを上側から支持し、金属板14の裏面に、当該金属板14が板厚方向に揺れることのない撮像対象部位20を形成するためのロール(回転体)である。上述した表面検査用ロール17と同様に、この裏面検査用ロール18も、その直径が100mm以上であることが好ましい。なお、図示実施形態では、この裏面検査用ロール18も直径200mmの硬質ウレタンゴムロールが採用されている。 The back surface inspection roll 18 is in contact with the surface of the metal plate 14 that runs between the surface inspection roll 17 and the rear pinch roll 16 among the pass lines formed in the surface defect inspection device 10. This is a roll (rotating body) for supporting the metal plate 14 from above and forming an imaging target region 20 on the back surface of the metal plate 14 so that the metal plate 14 does not sway in the thickness direction. Like the above-mentioned front surface inspection roll 17, this back surface inspection roll 18 also preferably has a diameter of 100 mm or more. In the illustrated embodiment, the backside inspection roll 18 is also a hard urethane rubber roll with a diameter of 200 mm.
ここで、上述した表面検査用ロール17と裏面検査用ロール18との位置関係について説明すると、側面視において、上下一組の前側ピンチロール12の接点(金属板14を介して接触する前側下部ロール12aと前側上部ロール12bとの接点)と、上下一組の後側ピンチロール16の接点(金属板14を介して接触する後側下部ロール16aと後側上部ロール16bとの接点)とを結ぶ水平線L1に対して、表面検査用ロール17の最上点P0は、その水平線L1よりも上側に配設され、逆に、裏面検査用ロール18の最下点P1は、その水平線L1よりも下側に配設される。かかる構成により、表面検査用ロール17および裏面検査用ロール18それぞれの表面に金属板14が巻き付くような構造となり、とりわけ表面検査用ロール17においては、金属板14のバタつきが抑えられた良好な撮像対象部位19を形成することができる。 Here, to explain the positional relationship between the above-mentioned front surface inspection roll 17 and back surface inspection roll 18, in side view, the contact point of the upper and lower pair of front pinch rolls 12 (the front lower roll that contacts via the metal plate 14) 12a and the front upper roll 12b) and the contact point of the pair of upper and lower rear pinch rolls 16 (the contact point between the lower rear roll 16a and the upper rear roll 16b, which are in contact via the metal plate 14). With respect to the horizontal line L1, the highest point P0 of the front surface inspection roll 17 is arranged above the horizontal line L1, and conversely, the lowest point P1 of the back surface inspection roll 18 is disposed below the horizontal line L1. will be placed in With this configuration, the metal plate 14 is wound around the surface of each of the front surface inspection roll 17 and the back surface inspection roll 18, and in particular, in the surface inspection roll 17, the flapping of the metal plate 14 is suppressed. It is possible to form a region 19 to be imaged.
照明部21は、金属板14の表面(上表面)の撮像対象部位19に照明光を照射するもので、その光源として、金属板14の板幅方向に照明光を照射するLED式のライン照明が用いられる。なお、照明部21の光源はこれに限定されるものではなく、LEDに代えてハロゲンランプ、HIDランプ、蛍光灯などを用いることもできる。
図示実施形態の金属板の表面欠陥検査装置10において、この照明部21は、金属板14表面の撮像対象部位19において金属板14の走行方向に直交する面31(以下、「直交面31」とも言う。)よりも金属板14の走行方向上流側に設置されると共に、金属板14の表面に対する照明光の入射角αが、直交面31に対して所定の鋭角に設定されている。
The illumination unit 21 irradiates illumination light onto the imaging target region 19 on the surface (upper surface) of the metal plate 14, and its light source is an LED type line illumination that irradiates illumination light in the width direction of the metal plate 14. is used. Note that the light source of the illumination section 21 is not limited to this, and a halogen lamp, HID lamp, fluorescent lamp, etc. can also be used instead of the LED.
In the metal plate surface defect inspection apparatus 10 of the illustrated embodiment, the illumination unit 21 is configured to provide a surface 31 (hereinafter also referred to as "orthogonal surface 31") perpendicular to the running direction of the metal plate 14 at the imaging target region 19 on the surface of the metal plate 14. ) is installed upstream in the running direction of the metal plate 14, and the incident angle α of the illumination light on the surface of the metal plate 14 is set to a predetermined acute angle with respect to the orthogonal plane 31.
照明部22は、金属板14の裏面(下表面)の撮像対象部位20に照明光を照射するもので、その光源として、上述の照明部21と同様に、金属板14の板幅方向に照明光を照射するLED式のライン照明が用いられる。なお、照明部22の光源もこれに限定されるものではなく、LEDに代えてハロゲンランプ、HIDランプ、蛍光灯などを用いることもできる。
図示実施形態の金属板の表面欠陥検査装置10において、この照明部22は、金属板14表面の撮像対象部位20において金属板14の走行方向に直交する面32(以下、「直交面32」とも言う。)よりも金属板14の走行方向上流側に設置されると共に、金属板14の表面に対する照明光の入射角βが、直交面32に対して所定の鋭角に設定されている。
The illumination unit 22 irradiates illumination light to the imaging target region 20 on the back surface (lower surface) of the metal plate 14, and serves as a light source for illuminating the metal plate 14 in the width direction of the metal plate 14, similarly to the above-mentioned illumination unit 21. LED type line illumination that emits light is used. Note that the light source of the illumination unit 22 is not limited to this, and a halogen lamp, HID lamp, fluorescent lamp, etc. can also be used instead of the LED.
In the metal plate surface defect inspection apparatus 10 of the illustrated embodiment, the illumination unit 22 is configured to provide a surface 32 (hereinafter also referred to as "orthogonal surface 32") perpendicular to the running direction of the metal plate 14 at the imaging target site 20 on the surface of the metal plate 14. ) is installed upstream in the traveling direction of the metal plate 14, and the incident angle β of the illumination light on the surface of the metal plate 14 is set to a predetermined acute angle with respect to the orthogonal plane 32.
反射光撮像部23は、照明部21から照射された照明光が金属板14表面の撮像対象部位19で反射した光のうち、金属板14表面の塗油ムラの影響を受け難い乱反射光を撮像するもので、高分解能のCMOSラインセンサカメラが用いられる。なお、反射光撮像部23はこれに限定されるものではなく、CMOSラインセンサカメラに代えてCMOSエリアセンサカメラやCCDラインセンサカメラなどを用いることもできる。また、反射光撮像部23の空間分解能や濃度分解能は、検出対象とする外観異常の種類に応じて適宜選択される。
本実施形態では、この反射光撮像部23が、上記の直交面31より金属板14の走行方向下流側に設置されると共に、金属板14の表面からの反射光のうち、正反射光よりも直交面31との間で成す角度が大きな第1の乱反射光34を撮像する低角カメラ23aと、第1の乱反射光34よりも直交面31との間で成す角度が大きな第2の乱反射光36を撮像する高角カメラ23bとで構成されている。なお、この反射光撮像部23は、低角カメラ23aおよび高角カメラ23bと言った2種類の乱反射光を撮像するカメラで構成されたものに限定されるものではなく、例えば目的に応じた1種類の乱反射光を撮像するもので構成するようにしてもよい。
The reflected light imaging unit 23 images diffusely reflected light, which is less susceptible to the effects of uneven oil application on the surface of the metal plate 14, out of the light emitted from the illumination unit 21 and reflected by the imaging target region 19 on the surface of the metal plate 14. A high-resolution CMOS line sensor camera is used. Note that the reflected light imaging unit 23 is not limited to this, and instead of the CMOS line sensor camera, a CMOS area sensor camera, a CCD line sensor camera, or the like may be used. Further, the spatial resolution and density resolution of the reflected light imaging section 23 are appropriately selected depending on the type of appearance abnormality to be detected.
In the present embodiment, the reflected light imaging section 23 is installed downstream of the orthogonal surface 31 in the traveling direction of the metal plate 14, and out of the reflected light from the surface of the metal plate 14, the reflected light imaging section 23 is located more downstream than the regular reflected light. A low-angle camera 23a that images the first diffusely reflected light 34 that forms a large angle with the orthogonal surface 31, and a second diffusely reflected light that forms a larger angle with the orthogonal surface 31 than the first diffusely reflected light 34. 36. Note that the reflected light imaging unit 23 is not limited to a camera that captures two types of diffusely reflected light, such as a low-angle camera 23a and a high-angle camera 23b, but may be configured with one type of camera depending on the purpose. It may also be configured with a device that images the diffusely reflected light.
反射光撮像部24は、照明部22から照射された照明光が金属板14表面の撮像対象部位20で反射した光のうち、金属板14表面の塗油ムラの影響を受け難い乱反射光を撮像するもので、上記の反射光撮像部23と同様に、高分解能のCMOSラインセンサカメラが用いられる。なお、反射光撮像部24はこれに限定されるものではなく、CMOSラインセンサカメラに代えてCMOSエリアセンサカメラやCCDラインセンサカメラなどを用いることもできる。また、反射光撮像部24の空間分解能や濃度分解能は、検出対象とする外観異常の種類に応じて適宜選択される。
本実施形態では、この反射光撮像部24が、上記の直交面32より金属板14の走行方向下流側に設置されると共に、金属板14の表面からの反射光のうち、正反射光よりも直交面32との間で成す角度が大きな第1の乱反射光38を撮像する低角カメラ24aと、第1の乱反射光38よりも直交面32との間で成す角度が大きな第2の乱反射光40を撮像する高角カメラ24bとで構成されている。なお、この反射光撮像部24は、低角カメラ24aおよび高角カメラ24bと言った2種類の乱反射光を撮像するカメラで構成されたものに限定されるものではなく、例えば目的に応じた1種類の乱反射光を撮像するもので構成するようにしてもよい。
The reflected light imaging unit 24 images diffusely reflected light, which is less affected by uneven oil application on the surface of the metal plate 14, out of the light emitted from the illumination unit 22 and reflected by the imaging target region 20 on the surface of the metal plate 14. As with the reflected light imaging section 23 described above, a high-resolution CMOS line sensor camera is used. Note that the reflected light imaging unit 24 is not limited to this, and instead of the CMOS line sensor camera, a CMOS area sensor camera, a CCD line sensor camera, or the like may be used. Further, the spatial resolution and concentration resolution of the reflected light imaging section 24 are appropriately selected depending on the type of appearance abnormality to be detected.
In the present embodiment, the reflected light imaging section 24 is installed downstream of the orthogonal surface 32 in the running direction of the metal plate 14, and out of the reflected light from the surface of the metal plate 14, the reflected light is smaller than the regular reflected light. A low-angle camera 24a that images the first diffusely reflected light 38 that forms a large angle with the orthogonal surface 32, and a second diffusely reflected light that forms a larger angle with the orthogonal surface 32 than the first diffusely reflected light 38. 40 and a high-angle camera 24b. Note that the reflected light imaging unit 24 is not limited to a camera that captures two types of diffusely reflected light, such as a low-angle camera 24a and a high-angle camera 24b, but may be configured with one type of camera depending on the purpose. It may also be configured with a device that images the diffusely reflected light.
画像信号処理部26は、反射光撮像部23および24で乱反射光を撮像して得られた画像信号を処理して金属板14の外観異常を抽出し、更に抽出した外観異常の有害、無害を分類判定する。この画像信号処理部26は、例えば、表面疵などの外観異常判定ロジックを実行するために必要な各種プログラムが格納されたPC(パーソナルコンピュータ)やマイクロコンピュータなどの演算処理装置で構成される。この必要なプログラムの一つとして、反射光撮像部23および24で得られた画像信号を2値化処理する際の閾値を選択する閾値選択プログラムなどが挙げられる。 The image signal processing unit 26 processes the image signal obtained by imaging the diffusely reflected light by the reflected light imaging units 23 and 24, extracts the appearance abnormality of the metal plate 14, and further determines whether the extracted appearance abnormality is harmful or harmless. Determine the classification. The image signal processing unit 26 is constituted by, for example, an arithmetic processing device such as a PC (personal computer) or a microcomputer in which various programs necessary for executing logic for determining external appearance abnormalities such as surface flaws are stored. One example of this necessary program is a threshold selection program that selects a threshold when binarizing the image signals obtained by the reflected light imaging units 23 and 24.
検査結果出力部28は、必要に応じて設置され、画像信号処理部26により有害な外観異常が抽出された場合に、有害な外観異常が検出された旨および検出された有害な外観異常の種類を、表示、印刷等の手段により当製造工程、次の製造工程や必要に応じてユーザーに知らせるものである。この検査結果出力部28は、例えば、モニタ装置やプリンタ装置などで構成される。 The inspection result output unit 28 is installed as necessary, and when a harmful appearance abnormality is extracted by the image signal processing unit 26, it outputs information indicating that a harmful appearance abnormality has been detected and the type of the detected harmful appearance abnormality. This is to inform the user of the current manufacturing process, the next manufacturing process, and as necessary by means such as display or printing. This test result output unit 28 is configured with, for example, a monitor device, a printer device, and the like.
ガイドロール30は、裏面検査用ロール18と後側ピンチロール16との間において、その裏面検査用ロール18とは非接触の状態で配設されると共に、金属板14が裏面検査用ロール18に支持されてその裏面に撮像対象部位20を形成する際に、当該金属板14が垂れ込まないように、パスラインを上方へと持ち上げ付勢するためのロール(回転体)である。
本実施形態では、このガイドロール30として、直径100mm未満(より詳しくは直径90mm)の硬質ウレタンゴムロールを採用している。このように裏面検査用ロール18よりも小径のロールを用いることによって、このガイドロール30が反射光撮像部24へと向かう第2の乱反射光40の進路を妨害するのを防ぐことができる。
The guide roll 30 is disposed between the back inspection roll 18 and the rear pinch roll 16 without contacting the back inspection roll 18, and the metal plate 14 is placed between the back inspection roll 18 and the rear pinch roll 16. This is a roll (rotating body) for lifting and biasing the pass line upward so that the metal plate 14 does not sag when being supported and forming the imaging target region 20 on the back surface thereof.
In this embodiment, a hard urethane rubber roll with a diameter of less than 100 mm (more specifically, a diameter of 90 mm) is used as the guide roll 30. By using a roll having a smaller diameter than the back surface inspection roll 18 in this manner, it is possible to prevent the guide roll 30 from interfering with the path of the second diffusely reflected light 40 heading toward the reflected light imaging section 24.
ガイドロール30の配設に伴う金属板14のパスライン持ち上げによって生じる、前記の撮像対象部位20における裏面検査用ロール18への金属板14の巻きつけ角度θ1は、10°以上であることが好ましい。ここで、この巻きつけ角度θ1とは、図2に示すようにガイドロール30を側面視した場合において、パスラインの上流側にて金属板14と裏面検査用ロール18とが接触する点P2からその下流側において金属板14と裏面検査用ロール18とが離間する点P3までの円弧に対応して裏面検査用ロール18の中心Cに形成される中心角のことである。
また、この撮像対象部位20における裏面検査用ロール18への金属板14の巻きつけ角度θ1のうち、裏面検査用ロール18の最下点P1より上記の金属板14の走行方向下流側の角度θ2が2°以上であることがより好ましい。
以上のような巻きつけ角度θ1を与えることによって、撮像対象部位20において金属板14のバタつきが皆無となり、撮像対象部位20における信号(本実施形態の場合は乱反射光38および40)の反射レベルがより一層安定し、走行する金属板14の裏面側における外観異常の有害、無害をより明確に区別して検出することが可能となる。加えて、表面欠陥検査装置の全体をコンパクトにまとめることができるようになると共に、ガイドロール30通過後に金属板14に逆そりが発生するのを予防することができる。
It is preferable that the winding angle θ1 of the metal plate 14 around the back inspection roll 18 in the imaging target region 20, which is caused by lifting the pass line of the metal plate 14 due to the arrangement of the guide roll 30, is 10° or more. . Here, the winding angle θ1 is defined as a point P2 at which the metal plate 14 and the back surface inspection roll 18 contact each other on the upstream side of the pass line when the guide roll 30 is viewed from the side as shown in FIG. This is the central angle formed at the center C of the back surface inspection roll 18 corresponding to the circular arc up to the point P3 where the metal plate 14 and the back surface inspection roll 18 separate on the downstream side thereof.
Also, among the winding angle θ1 of the metal plate 14 around the back inspection roll 18 in this imaging target region 20, the angle θ2 is on the downstream side in the traveling direction of the metal plate 14 from the lowest point P1 of the back inspection roll 18. is more preferably 2° or more.
By providing the winding angle θ1 as described above, there is no flapping of the metal plate 14 in the imaging target region 20, and the reflection level of the signal (in the case of this embodiment, the diffusely reflected lights 38 and 40) in the imaging target region 20 is reduced. is further stabilized, and it becomes possible to more clearly distinguish between harmful and non-hazardous appearance abnormalities on the back side of the running metal plate 14 and detect them. In addition, the entire surface defect inspection apparatus can be made compact, and it is possible to prevent the metal plate 14 from being warped after passing through the guide rolls 30.
なお、本実施形態では、上述のような巻きつけ角度θ1を実現するため、ガイドロール30を次のような位置に設置した。すなわち、ガイドロール30の最上点P4が裏面検査用ロール18の最下点P1よりも上方に位置し、裏面検査用ロール18から後側ピンチロール16までのパスラインL2がガイドロール30との接線位置(h)において7mm持ち上げられる高さに当該ガイドロール30を配置した。また、ガイドロール30におけるパスライン最上流側の点P5が、裏面検査用ロール18におけるパスライン最下流側の点P6よりも、パスラインのやや上流側に位置するように配置した。 In addition, in this embodiment, in order to realize the above-mentioned winding angle θ1, the guide roll 30 was installed at the following position. That is, the highest point P4 of the guide roll 30 is located above the lowest point P1 of the back inspection roll 18, and the path line L2 from the back inspection roll 18 to the rear pinch roll 16 is tangent to the guide roll 30. The guide roll 30 was placed at a height where it could be lifted by 7 mm at position (h). Further, a point P5 on the most upstream side of the pass line on the guide roll 30 was arranged so as to be located slightly upstream of the pass line with respect to a point P6 on the most downstream side of the pass line on the back inspection roll 18.
以上のような本発明の金属板の表面欠陥検査装置10を構成する各要素(部材)のうち、画像信号処理部26および検査結果出力部28を除く他の全ての構成要素は、図示しないフレームなどに取り付けられて、1つのユニットとして構成される。 Among the elements (members) constituting the metal plate surface defect inspection apparatus 10 of the present invention as described above, all other components except the image signal processing section 26 and the inspection result output section 28 are mounted on a frame (not shown). etc., and are configured as one unit.
次に、上述のようなガイドロール30を備えた本実施形態の表面欠陥検査装置10(以下、「本実施例装置」という。)と、そのようなガイドロール30を有さない点以外は本実施形態のものと同じ構成の表面欠陥検査装置(以下、「従来装置」という。)とにおける表面欠陥検出能力の違いについて説明する。
図3は、本実施例装置を用い、金属板14に微小横ズレ疵が発生している箇所を検査して出力された疵情報画像であり、図4は、従来装置を用い、金属板14に微小横ズレ疵が発生している箇所を検査して出力された疵情報画像である。
ここで、微小横ズレ疵とは、金属板14がコイル状に巻き上げられた状態で層同士が擦れたときに発生する微小な疵であり、金属板14の表裏両面に発生する。また、この微小横ズレ疵は、主として当該金属板14の幅方向に拡がった形で局在する(図3および図4において横長楕円で囲まれた部分が微小横ズレ疵)。なお、本実施例装置および従来装置の反射光撮像部23,24で撮像されるこの微小横ズレ疵は、図3の右上枠内に示すように、低角カメラ23a,24aではそのシルエットが明瞭な形で撮像され、高角カメラ23b,24bではそのシルエットが不明瞭な形(痕跡レベル以下)で撮像される。
Next, we will discuss the surface defect inspection device 10 of the present embodiment (hereinafter referred to as “this embodiment device”) equipped with the guide roll 30 as described above, and the present embodiment except that it does not have such a guide roll 30. The difference in surface defect detection ability between the embodiment and a surface defect inspection apparatus having the same configuration (hereinafter referred to as "conventional apparatus") will be explained.
FIG. 3 shows a flaw information image output by inspecting a location where a minute lateral shift flaw has occurred on the metal plate 14 using the apparatus of this embodiment, and FIG. This is a flaw information image output after inspecting a location where a minute horizontal deviation flaw has occurred.
Here, the minute lateral deviation flaw is a minute flaw that occurs when the layers of the metal plate 14 are rubbed against each other when the metal plate 14 is wound up into a coil shape, and is generated on both the front and back sides of the metal plate 14. Further, the minute lateral displacement flaw is mainly localized in a form that spreads in the width direction of the metal plate 14 (the portion surrounded by the horizontally oblong ellipse in FIGS. 3 and 4 is the minute lateral displacement flaw). Note that, as shown in the upper right frame of FIG. 3, the silhouette of this minute horizontal deviation imaged by the reflected light imaging units 23 and 24 of the device of this embodiment and the conventional device is clearly visible with the low-angle cameras 23a and 24a. The high-angle cameras 23b and 24b capture an image with an unclear silhouette (below the level of a trace).
本実施例装置では、図3に示すように、金属板14の表裏両面で微小横ズレ疵を検出できている。これに対し、従来装置では、図4に示すように、金属板14の表側については微小横ズレ疵を検出できているが、裏面側については微小横ズレ疵を検出できていない。図4の右上枠内に示す低角カメラ画像および高角カメラ画像を見ても、欠陥として検出された部分の画像は、図3の右上枠内に示す微小横ズレ疵のものとは異なったものである。このように、従来装置で金属板14裏面の微小横ズレ疵を検出できなかった理由としては、金属板14の裏面検査時に当該金属板14の走行がバタついてパスラインが安定せず、画像信号処理部26において厳しい閾値を設定できずにいたことが挙げられる。したがって、本実施例装置を用いれば、裏面も表面同様、厳しい閾値を設定できるため、高い検査精度を実現することができるようになる。 As shown in FIG. 3, the device of this embodiment can detect minute horizontal displacement flaws on both the front and back surfaces of the metal plate 14. On the other hand, with the conventional device, as shown in FIG. 4, minute horizontal displacement flaws can be detected on the front side of the metal plate 14, but no minute horizontal displacement flaws can be detected on the back side. Looking at the low-angle camera image and the high-angle camera image shown in the upper right frame of Figure 4, the image of the part detected as a defect is different from that of the minute lateral shift flaw shown in the upper right frame of Figure 3. It is. As described above, the reason why the conventional device could not detect minute horizontal deviation flaws on the back surface of the metal plate 14 is that the running of the metal plate 14 fluctuates during inspection of the back surface of the metal plate 14, making the pass line unstable, and the image signal One example of this is that the processing unit 26 was unable to set a strict threshold value. Therefore, by using the apparatus of this embodiment, it is possible to set a strict threshold value for the back surface as well as the front surface, thereby achieving high inspection accuracy.
なお、上述の実施形態では、金属板14のパスラインの上流側から下流側に向けて表面検査用ロール17および裏面検査用ロール18がこの順で配設される場合を示したが、必要でなければ、表面検査用ロール17と、これに付帯する照明部21および反射光撮像部23とを省略するようにしてもよい。
また、金属板14のパスラインの上流側から下流側に向けて裏面検査用ロール18および表面検査用ロール17をこの順で配設するようにしてもよい。この場合、別個のガイドロール30を設けるのではなく、表面検査用ロール17をガイドロール30としても活用できるように調整すればよい。
In the above-described embodiment, the front surface inspection roll 17 and the back surface inspection roll 18 are arranged in this order from the upstream side to the downstream side of the pass line of the metal plate 14, but this is not necessary. If not, the surface inspection roll 17 and the accompanying illumination section 21 and reflected light imaging section 23 may be omitted.
Further, the back surface inspection roll 18 and the front surface inspection roll 17 may be arranged in this order from the upstream side to the downstream side of the pass line of the metal plate 14. In this case, instead of providing a separate guide roll 30, the surface inspection roll 17 may be adjusted so that it can also be used as the guide roll 30.
また、本発明は、当業者が想定できる範囲でその他の変更を行えることは勿論である。 Furthermore, it goes without saying that the present invention can be modified in other ways within the scope of those skilled in the art.
10:金属板の表面欠陥検出装置,12:前側ピンチロール,14:金属板,16:後側ピンチロール,18:裏面検査用ロール,20:撮像対象部位,22:照明部,24:反射光撮像部,26:画像信号処理部,28:検査結果出力部,30:ガイドロール,P1:裏面検査用ロールの最下点. 10: Metal plate surface defect detection device, 12: Front pinch roll, 14: Metal plate, 16: Back pinch roll, 18: Back inspection roll, 20: Imaging target region, 22: Illumination unit, 24: Reflected light Imaging unit, 26: image signal processing unit, 28: inspection result output unit, 30: guide roll, P1: lowest point of the roll for back side inspection.
Claims (3)
上記の裏面検査用ロール(18)と後側ピンチロール(16)との間に、上記の裏面検査用ロール(18)とは非接触のガイドロール(30)を配設し、そのガイドロール(30)で上記の金属板(14)の上記パスラインを上方へと持ち上げ付勢する、
ことを特徴とする金属板の表面欠陥検査装置。 a pair of upper and lower front pinch rolls (12); a pair of upper and lower rear pinch rolls (16) forming a pass line along which a metal plate (14) runs between the front pinch rolls (12); A backside inspection roll (18) that contacts the metal plate (14) running on the pass line from above, and a backside inspection roll (18) that is disposed below the running metal plate (14). 18) that irradiates light toward an imaging target region (20) formed on the back surface of the metal plate (14) by contacting the metal plate (14); A reflected light imaging unit (24) that images the reflected light at the target site (20), and an image signal obtained from the reflected light imaged by the reflected light imaging unit (24), the metal plate (14) is In a metal plate surface defect inspection device comprising an image signal processing unit (26) for detecting a surface defect site,
A guide roll (30) that is not in contact with the back surface inspection roll (18) is disposed between the back surface inspection roll (18) and the rear pinch roll (16), and the guide roll ( 30) lifts and biases the pass line of the metal plate (14) upward;
A surface defect inspection device for metal plates characterized by the following.
前記の裏面検査用ロール(18)の直径が100mm以上であり、
前記の撮像対象部位(20)における上記の裏面検査用ロール(18)への前記の金属板(14)の巻きつけ角度(θ1)が10°以上である、ことを特徴とする金属板の表面欠陥検査装置。 The metal plate surface defect inspection device according to claim 1,
The diameter of the back surface inspection roll (18) is 100 mm or more,
A surface of a metal plate characterized in that a winding angle (θ1) of the metal plate (14) around the back surface inspection roll (18) at the imaging target region (20) is 10° or more. Defect inspection equipment.
前記の撮像対象部位(20)における前記の裏面検査用ロール(18)への前記の金属板(14)の巻きつけ角度(θ1)のうち、上記の裏面検査用ロール(18)の最下点(P1)より上記の金属板(14)の走行方向下流側の角度(θ2)が2°以上である、ことを特徴とする金属板の表面欠陥検査装置。 The metal plate surface defect inspection device according to claim 2,
Among the winding angles (θ1) of the metal plate (14) around the back inspection roll (18) at the imaging target region (20), the lowest point of the back inspection roll (18) A metal plate surface defect inspection apparatus characterized in that an angle (θ2) on the downstream side in the running direction of the metal plate (14) from (P1) is 2° or more.
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