JP7339326B2 - 流量測定機器用の圧力差検出器および流量測定機器 - Google Patents

Description

本発明は、流量測定機器用の圧力差検出器であって、ハウジングと、このハウジング内に形成された測定チャンバと、測定チャンバ内に軸線方向に移動可能に配置されたピストンと、このピストンに配置された、このピストンと共に可動の永久磁石と、この可動の永久磁石の運動方向における磁界変化を測定する少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサとを備える、流量測定機器用の圧力差検出器、ならびに、時間的に分解された流量経過（zeitlich aufgeloester Durchflussvorgaenge）を測定するための流量測定機器であって、入口と、出口と、駆動可能な容積式流量計と、この容積式流量計を迂回することができる迂回管路と、この迂回管路内に配置された圧力差検出器と、駆動可能な容積式流量計を、圧力差検出器において生じた圧力差に応じて調整することができる評価・制御ユニットとを備える、流量測定機器に関する。

圧力差検出器は、数年来、噴射量測定装置に使用される。この噴射量測定装置では、圧力差検出器が、容積式流量計に通じる迂回管路内に配置されている。圧力差検出器はピストンから成っている。このピストンは、このピストンが配置された測定チャンバの開口横断面積よりも僅かに小さい底面積を有しており、これによって、一方では、測定チャンバ内で軸線方向へのピストンの自由な可動性が付与されているが、しかしながら、他方では、測定チャンバの内部において、測定チャンバの内壁とピストンの外壁との間で流体が流れることができない。このことは、ピストンに対して生じる圧力差を変化させてしまう。この場合、ピストンは、測定チャンバ内の押し退けるべき流体の比重に相当する比重を有していることが望ましい。

容積式流量計は、噴射量測定のために、噴射プロセスによる圧力変化にもかかわらず、容積式流量計の圧送によって、ピストンが測定チャンバ内で常にその出発位置に押し戻される、つまり、噴射により生じた圧力差を容積式流量計によって可能な限り常に補償しようとするように制御される。

したがって、容積式流量計を正確に調整するためには、容積式流量計の相応の調整を実施することができるように、ピストンの正確な位置を常に把握することが必要となる。近年、位置把握のために、簡単な取扱いおよび良好な精度に基づき、磁気センサシステムが使用される。この磁気センサシステムは、非接触式に作業する磁気抵抗式のセンサである。この磁気抵抗式のセンサは、センサに作用する永久磁石の磁界に応じて、永久磁石の位置に対する度合いとして使用することができる異なる出発電圧を発生させる。純粋に線形の運動を測定する場合には、永久磁石の運動方向における変化する磁界強度を測定するセンサが特に使用される。

オーストリア国公開特許第５１２６１９号明細書には、まず、前述したような形態の磁気抵抗式のセンサによって、生じた圧力差に起因した測定チャンバ内のピストンの変位量が測定されるような流量測定機器が開示される。磁気抵抗式のセンサは、ピストンに取り付けられた永久磁石の磁界に応答する。次いで、容積式流量計の回転数を適合させるために、センサにより測定されたピストンの変位量が使用される。磁界を測定するために、ただ１つのまたは複数のセンサが使用されてよい。

しかしながら、磁化し得る材料を使用すると、材料の透磁率の変化と、外的な磁界、例えば地磁気または導体への通電により発生する磁界とによって、測定値が悪化することが判った。このことを回避するために、構成に対して、専ら磁化し得ない材料を使用するかまたは測定チャンバを完全に磁気的に遮蔽することが知られている。

測定の精度を改善するために、相応して、独国特許出願公開第１０２０１６１１７３４０号明細書には、磁気抵抗式のセンサに繋がる永久磁石が、中空ピストンの中心軸線上でこのピストン内の中央に取り付けられている圧力差検出器が提案されている。こうして、測定チャンバ内でのピストンの回動が、測定結果を変化させないようになっている。付加的には、流量測定機器を外的な磁界、例えば地磁気または電気モータもしくは別の電気的な構成部材による磁界から遮蔽するためのカバーフードが設けられている。

しかしながら、このことは、構成・製造手間を増大させると共に製造コストを増加させてしまう。なぜならば、材料選択を制限しなければならないことに加えて、付加的な構成部材を組み付けかつ製造しなければならないからである。それにもかかわらず、一部では、十分正確とは云えない測定結果が得られる。

したがって、付加的な遮蔽手段を設ける必要なしにまたは材料選択を制限することなしに、ピストンの変位量を正確に測定することができる、流量測定機器用の圧力差検出器ならびにこのような圧力差検出器を備えた流量測定機器を提供するという課題が設定される。

この課題は、請求項１の特徴を有する流量測定機器用の圧力差検出器ならびに請求項１３の特徴を備えた流量測定機器によって解決される。

ハウジング内に少なくとも１つの固定の永久磁石が配置されており、この固定の永久磁石の磁界が、専らピストンの運動方向で磁気抵抗式のセンサに作用することによって、固定のセンサの磁界による可動のセンサの磁界の重畳が生じる。したがって、合成磁界によって、センサ信号の使用可能な線形の範囲を拡張する均質な一定磁界がセンサの領域に得られる。これによって、測定結果がより高い精度を有している。この手段によって、付加的には、驚くべきことに、ハウジングおよびピストンの使用される材料の透磁率の変化による影響が減少し、ストローク信号の線形性が改善され、これによって、圧力差検出器の測定値が一層正確になり、本発明に係る流量測定機器による通流量のかなり正確な測定が可能になる。

好ましくは、ハウジング内に２つの固定の永久磁石が配置されており、これら両方の固定の永久磁石が、可動の永久磁石の運動軸線に対して平行に延びる１つの共通の軸線上に少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサと共に配置されており、第１の固定の永久磁石が、少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサの第１の側に配置されており、第２の固定の永久磁石が、少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサの反対の側に配置されている。この配置形態によって、センサの測定方向で作用する完全に均質な磁界が得られる。この磁界はセンサに作用し、運動する永久磁石の変化する磁界に重畳され、可動の永久磁石がより遠ざけられた結果、センサに作用する磁界がより小さくなってしまう場合でも、センサ信号の線形の範囲を確実に拡張する。

両方の固定の永久磁石が、可動の永久磁石と逆の極性を有していると好適である。なぜならば、この場合、センサに作用する磁力線が同じ向きを有しており、ひいては、センサに作用する磁界の増強が達成されるからである。相応して、センサの発生させられた電圧信号は、線形の範囲内の広幅の測定区間にわたって存在している。

好適な実施形態では、軸線上で両方の固定の永久磁石の間に複数の磁気抵抗式のセンサが配置されている。相並んで配置された複数のセンサ、特に相並んで配置された３つのセンサの使用によって、一方では、信号を妥当性検査することができ、他方では、重ね合わせの原理によって、センサのより大きな移動ストロークにわたって極めて正確なピストンの位置を算出することができる。

本発明の有利な構成では、両方の固定の永久磁石が、可動の永久磁石の最大の移動ストロークに少なくとも相当する相互間隔を有している。これによって、運動する永久磁石の磁界が、両方の固定の永久磁石の発生する線形の磁界の範囲内に常に存在し、ひいては、磁化し得る材料による影響が小さいままであることが確保される。

これに対して、発展した構成では、ピストンの、第１の固定の永久磁石および第２の固定の永久磁石と反対の側に、第３の固定の永久磁石と第４の固定の永久磁石とが配置されており、この第３の固定の永久磁石と第４の固定の永久磁石とが、合成磁界を発生させ、この合成磁界が、可動の永久磁石の運動軸線において、磁界の大きさに関して第１の固定の永久磁石および第２の固定の永久磁石の合成磁界に対応していて、逆の向きを有している。この構成では、付加的な永久磁石の磁界がセンサに可能な限り作用しない。その代わりに、ピストンと共に可動の永久磁石に与えられる第１の固定の永久磁石と第２の固定の永久磁石との影響が回避される。なぜならば、このことが、ピストンに作用する力を変化させ、ひいては、ピストンに対して発生させるべき圧力バランスを妨害してしまうからである。

代替的な実施形態では、第１の固定の永久磁石と第２の固定の永久磁石とが、可動の永久磁石の移動ストロークの範囲内に配置されており、可動の永久磁石の運動軸線の高さにおいて、可動の永久磁石の最大の磁界強度の５％よりも小さい磁界を発生させる。このことは、一方では、ピストンの位置に影響を与える力を磁気的な吸引によってピストンに加えず、他方では、それにもかかわらず、空間的な近さに基づき、センサに対して、重畳された十分に強力な固定の磁界を提供するのに十分であり、これによって、大きな線形の測定範囲が提供されることに加えて、外的な磁界に対して十分な不感応性が達成される。

第１の固定の永久磁石と第２の固定の永久磁石とが、磁気抵抗式のセンサが配置されているボードに配置されていると、特に簡単な組付けおよび製造が達成される。したがって、ハウジング内に永久磁石を組み付けるための付加的なステップを省略することができる。

代替的には、第１の固定の永久磁石と第２の固定の永久磁石とが、ハウジングの、ボードが取り付けられているハウジングブロックに取り付けられている。これによって、永久磁石の交換が簡単になる。それにもかかわらず、この永久磁石は、ハウジングブロックおよびボードと同時に組み付けることができる。

好適には、ハウジングブロックが、アルミニウム製またはアルミニウム合金製である。この材料は磁化されることができず、これによって、付加的な磁界が発生しない。さらに、これによって、測定チャンバの冷却が簡単になる。なぜならば、アルミニウムが良熱伝導性であるからである。

好ましくは、第１の固定の永久磁石および第２の固定の永久磁石の磁界強度が、可動の永久磁石の磁界強度の１％～９０％に対応している。この場合、固定の永久磁石の強度は、センサからのピストン磁石の間隔に比例して、センサに対する固定の永久磁石の間隔に左右される。相応して、センサに対する固定の永久磁石の間隔が増大すれば、その磁界強度も増大することになる。

有利には、１つまたはそれ以上の磁気抵抗式のセンサが、ユニポーラ式のセンサである。このセンサは一方向でしか磁界を測定しない。これによって、センサが廉価に製造可能となるものの、線形のストローク測定に対しては極めて正確な結果を提供する。

したがって、流量測定機器用の圧力差検出器と、この圧力差検出器を備えた、測定結果の高い精度を達成する流量測定機器とが提供される。なぜならば、付加的な遮蔽体を設ける必要なしに、センサが、選択された構造によって広幅の線形の範囲を有しており、外的な妨害磁界の影響が大部分で除去されるため、ピストンの位置を極めて正確に測定することができるからである。したがって、このような流量測定機器は、より小さくかつより廉価に製造することができる。

以下に、本発明に係る流量測定機器用の圧力差検出器ならびにシステム内での本発明に係る圧力差検出器の機能を、図面に示した限定しない実施例に基づき説明する。

本発明に係る圧力差検出器を使用することができる流量測定機器の概略図である。 図１に示した流量測定機器用の本発明に係る圧力差検出器の概略図である。 圧力差検出器に対するピストン移動量に関する磁界を固定の磁界なしおよび固定の磁界ありでプロットしたグラフである。

図１に示した流量測定機器１０は、入口１２と出口１４とを有している。この入口１２と出口１４とは、主管路１６によって互いに接続されている。この主管路１６内には、歯車ポンプとして形成された回転型の容積式流量計１８が配置されている。

測定すべき流体、特に燃料が、流量を発生させる装置、特に燃料高圧ポンプと、少なくとも１つの噴射弁とから、入口１２を介して流量測定機器１０の主管路１６に流入し、クラッチまたは伝動装置を介して駆動モータ２０によって駆動することができる容積式流量計１８を介して圧送される。

主管路１６から、入口１２と回転型の容積式流量計１８との間で迂回管路２２が分岐している。この迂回管路２２は、回転型の容積式流量計１８の下流側において、この容積式流量計１８と出口１４との間で主管路１６に再び開口しており、相応して、主管路１６と同様に入口１２と出口１４とに流体接続されている。迂回管路２２内には、並進型の圧力差検出器２４が配置されている。この圧力差検出器２４は、測定チャンバ２６と、この測定チャンバ２６内に軸線方向で自由に移動可能に配置されたピストン２８とから成っている。このピストン２８は、測定流体、つまり、燃料に等しい比重を有しており、測定チャンバ２６と同様に円筒形に成形されている。この測定チャンバ２６を画成するハウジング２７は、ピストン２８の外径にほぼ相当する内径を有している。ピストン２８の前側と後側との間で圧力差が生じると、ピストン２８がその静止位置から変位する。相応して、ピストン２８の変位量が、生じた圧力差に対する度合いを成している。

この変位量を正確に算出することができるようにするために、測定チャンバ２６に少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサ３０が配置されている。この磁気抵抗式のセンサ３０は、ピストン２８の中央に取り付けられた永久磁石３２と相互作用関係にある。また、磁気抵抗式のセンサ３０には、ピストン２８の変位により、運動時に変化してセンサ３０に作用する磁界によって、ピストン２８の変位の量に応じた電圧が発生する。

本実施例では、図３に認めることができるように、３つの磁気抵抗式のセンサ３０が軸線方向に相並んで配置されており、これによって、発生した３種類の電圧を介して重ね合わせの原理により、ピストン２８と共に運動する永久磁石３２の位置を高い精度で特定することができる。

磁気抵抗式のセンサ３０は、評価・制御ユニット３４に接続されている。この評価・制御ユニット３４は、センサ３０の値を処理して、相応の制御信号を駆動モータ２０に伝送する。この駆動モータ２０は、ピストン２８が規定の出発位置に常に位置しているように、つまり、容積式流量計１８が圧送によって、噴射された流体に基づきピストン２８に生じた圧力差を常に幾分補償するように、可能な限り制御される。これは、ピストン２８が右向きに変位すると、この変位の量に応じて押退け回転数が高まり、また、その逆も然りであるということを意味している。このために、ピストン２８の変位量またはピストン２８によって押し退けられた測定チャンバ２６内の体積が、伝達関数によって、容積式流量計１８の所望の圧送体積または駆動モータ２０の回転数に換算され、駆動モータ２０が相応に通電される。

測定チャンバ２６内には、圧力センサ３６と温度センサ３８とが配置されている。この圧力センサ３６と温度センサ３８とは、この領域で発生した圧力と温度とを連続して測定し、計算時に比重の変化を考慮することができるようにするために、やはり評価・制御ユニット３４に供給する。

測定のフローは、算出すべき総流量を評価・制御ユニット３４で計算するに際して、ピストン２８の運動または位置と、これにより押し退けられた測定チャンバ２６内の体積とにより生じる迂回管路２２内の流量だけでなく、容積式流量計１８の実際の流量も、規定された時間間隔で考慮され、総流量を算出するために、両方の流量が互いに加算されるように行われる。

ピストン２８における流量の算出は、例えば、センサ３０に接続された評価・制御ユニット３４において、ピストン２８の変位量が微分され、次いで、ピストン２８の底面積と乗算され、これによって、この時間間隔での迂回管路２２内の体積流量が明らかとなることにより行われる。

容積式流量計１８を通る流量ひいては主管路１６内の流量は、容積式流量計１８を調整するために算出された制御データから特定することができ、または、回転数が光学式の符号処理器または磁気抵抗式のセンサを介して直接測定される場合には、回転数を介して計算することができる。

高精度で高分解能の測定結果のためには、ピストン２８の変位量を誤差なく迅速に測定することが重要となる。しかしながら、電磁的に作業する構成部材、例えば電気モータまたは通電される別の導体による外的な磁界が、センサの測定結果にマイナスの影響を与える妨害磁界として作用することが判った。

したがって、妨害磁界による測定値の悪化を阻止するために、本発明によれば、ハウジング２７内に少なくとも１つの固定の永久磁石４０が配置されており、この固定の永久磁石４０の磁界が、専らピストン２８の運動方向ひいてはユニポーラ式のセンサ３０として形成された磁気抵抗式のセンサ３０が測定する方向で１つまたはそれ以上の磁気抵抗式のセンサ３０に作用する。したがって、センサ３０に作用する固定の永久磁石４０の磁力線は、センサ３０により測定されて同じ作用方向を有する可動の永久磁石３２の磁力線部分に対して平行である。

図示の実施例では、センサ３０の両側に配置された第１の固定の永久磁石４０と第２の固定の永久磁石４２とによって磁界が発生する。この第１の固定の永久磁石４０と第２の固定の永久磁石４２とは、ピストン２８ひいては可動の永久磁石３２が移動される際の基準となる軸線に対して平行に延びる１つの共通の軸線４４上にセンサ３０と共に位置している。両方の固定の永久磁石４０，４２は、可動の永久磁石３２と逆の極性を有しているので、センサ３０に作用する可動の永久磁石３２の磁界は常に増強される。これによって、使用可能な磁界が拡張され、磁界の第２の最大値が０方向にシフトされる。したがって、使用可能な線形の測定範囲がそれでも拡張され、これによって、測定値がより正確となる。固定の永久磁石４０，４２の存在によってピストンの運動時に磁界強度がこのようにシフトすることは、図３に示してある。

両方の固定の永久磁石４０，４２は、センサ３０の両側に可能な限り近づけて設けられている。特に、両方の固定の永久磁石４０，４２は、センサ３０と同じボード４６に配置することができ、したがって、ピストン２８または可動の永久磁石の移動ストロークの範囲内に位置することができる。この場合には、固定の永久磁石４０，４２によって発生する、例えば、可動の永久磁石３２の磁界強度の約３％に相当する比較的小さな磁界で十分である。この配置形態の利点は、固定の永久磁石４０，４２が、可動の永久磁石３２に測定に関して影響を与えないということでもある。これによって、ピストン２８における力バランスにも恐らく影響を与えることができる。ボード４６は、アルミニウム製のハウジングブロック５２に配置されている。このハウジングブロック５２はハウジング２７の一部であり、一方では、良熱伝導性を有していて、冷却または加熱のために使用することができ、他方では、磁気的でなく、これによって、永久磁石４０，４２による磁化が生じない。

しかしながら、固定の永久磁石４０，４２をボード４６ひいてはボード４６に配置された電子的な構成部材に対して間隔を置いて配置することが必要となることがある。それにもかかわらず、磁界のシフトを達成するためには、結果として、より大きな磁界強度を有する固定の永久磁石４０，４２が使用されなければならない。なぜならば、この固定の永久磁石４０，４２が、センサに対してより大きな間隔を有しており、例えば、可動の永久磁石３２の移動ストロークの範囲外に位置しているからである。磁石４０，４２の磁界強度は、例えば、可動の永久磁石３２の磁界強度の７０％となってしまう。この結果、可動の永久磁石３２に、磁気的な吸引力と反発力とが作用する。この吸引力と反発力とが結果的にピストンを移動させる。これによって、流量測定器１０の調整に影響が与えられる。

このことを回避するために、ピストン２８の、センサ３０と反対の側でハウジング２７に、測定チャンバ２６に作用するように第３の固定の永久磁石４８と第４の固定の永久磁石５０とが配置される。この第３の固定の永久磁石４８と第４の固定の永久磁石５０とは、可動の永久磁石３２の運動軸線４５において、第１の固定の永久磁石４０と第２の固定の永久磁石４２との磁界が正確に補償される、つまり、この軸線に沿って、４つの固定の永久磁石４０，４２，４８，５０による合成磁力がゼロになるように配置される。このことは、例えば、磁界強度および極性を同じままにして、可動の永久磁石３２の運動軸線４５に対して軸線対称的な配置形態によって行うことができる。しかしながら、第１の固定の永久磁石４０と第２の固定の永久磁石４２との、センサ３０に作用する磁界は、センサ３０に対する第１の固定の永久磁石４０と第２の固定の永久磁石４２との間隔が、第３の永久磁石４８および第４の永久磁石５０と比較して小さいことに基づき、十分に維持されたままである。永久磁石のこの代替的な配置形態は、図２に単に破線で示してあり、説明した第１の実施例の実線で図示した永久磁石４０，４２に対する代替的な配置形態を成している。

このように構成された圧力差検出器は、極めて正確な測定値を提供する。これによって、流量測定機器の測定も改善される。なぜならば、妨害を引き起こす外的な磁界の影響が、驚くほど著しく減少する一方、センサ３０または変化する磁界の、正確な測定のために使用することができる線形の範囲が著しく増大するからである。これによって、精度が向上する。こうして、付加的な磁気的な遮蔽を省略することができる。

当然ながら、本発明は、説明した実施例に限定されるものではなく、独立請求項の保護の範囲内で種々異なる変更が可能である。特に磁界は、場合により、異なる個数および配置形態の固定の永久磁石によって発生されてよい。

Claims (11)

1. 流量測定機器用の圧力差検出器であって、
   ハウジング（２７）と、
   前記ハウジング（２７）内に形成された測定チャンバ（２６）と、
   前記測定チャンバ（２６）内に軸線方向に移動可能に配置されたピストン（２８）と、
   前記ピストン（２８）に配置された、該ピストン（２８）と共に可動の永久磁石（３２）と、
   前記可動の永久磁石（３２）の運動方向における磁界変化を測定する少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサ（３０）と、
   を備える、流量測定機器用の圧力差検出器において、
   前記ハウジング（２７）内に２つの固定の永久磁石（４０；４２）が配置されており、該２つの固定の永久磁石（４０；４２）の磁界が、専ら前記ピストン（２８）の運動方向で前記磁気抵抗式のセンサ（３０）に作用し、
   前記２つの固定の永久磁石（４０，４２）は、前記可動の永久磁石（３２）の運動軸線（４５）に対して平行に延びる１つの共通の軸線（４４）上に前記少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサ（３０）と共に配置されており、第１の固定の永久磁石（４０）は、前記少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサ（３０）の第１の側に配置されており、第２の固定の永久磁石（４２）は、前記少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサ（３０）の反対の側に配置されており、
   前記２つの固定の永久磁石（４０，４２）は、前記可動の永久磁石（３２）の最大の移動ストロークに少なくとも相当する相互間隔を有することを特徴とする、流量測定機器用の圧力差検出器。
2. 流量測定機器用の圧力差検出器であって、
   ハウジング（２７）と、
   前記ハウジング（２７）内に形成された測定チャンバ（２６）と、
   前記測定チャンバ（２６）内に軸線方向に移動可能に配置されたピストン（２８）と、
   前記ピストン（２８）に配置された、該ピストン（２８）と共に可動の永久磁石（３２）と、
   前記可動の永久磁石（３２）の運動方向における磁界変化を測定する少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサ（３０）と、
   を備える、流量測定機器用の圧力差検出器において、
   前記ハウジング（２７）内に２つの固定の永久磁石（４０；４２）が配置されており、該２つの固定の永久磁石（４０；４２）の磁界が、専ら前記ピストン（２８）の運動方向で前記磁気抵抗式のセンサ（３０）に作用し、
   前記２つの固定の永久磁石（４０，４２）は、前記可動の永久磁石（３２）の運動軸線（４５）に対して平行に延びる１つの共通の軸線（４４）上に前記少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサ（３０）と共に配置されており、第１の固定の永久磁石（４０）は、前記少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサ（３０）の第１の側に配置されており、第２の固定の永久磁石（４２）は、前記少なくとも１つの磁気抵抗式のセンサ（３０）の反対の側に配置されており、
   前記第１の固定の永久磁石（４０）と前記第２の固定の永久磁石（４２）とは、前記可動の永久磁石（３２）の移動ストロークの範囲内に配置されており、前記可動の永久磁石（３２）の前記運動軸線（４５）の高さにおいて、前記可動の永久磁石（３２）の最大の磁界強度の５％よりも小さい磁界を発生させることを特徴とする、流量測定機器用の圧力差検出器。
3. 前記２つの固定の永久磁石（４０，４２）は、前記可動の永久磁石（３２）と逆の極性を有することを特徴とする、請求項１または２記載の流量測定機器用の圧力差検出器。
4. 前記軸線上で前記２つの固定の永久磁石（４０，４２）の間に複数の磁気抵抗式のセンサ（３０）が配置されていることを特徴とする、請求項１から３までのいずれか１項記載の流量測定機器用の圧力差検出器。
5. 前記ピストン（２８）の、前記第１の固定の永久磁石（４０）および前記第２の固定の永久磁石（４２）と反対の側に、第３の固定の永久磁石（４８）と第４の固定の永久磁石（５０）とが配置されており、該第３の固定の永久磁石（４８）と該第４の固定の永久磁石（５０）とは、合成磁界を発生させ、該合成磁界は、前記可動の永久磁石（３２）の前記運動軸線（４５）において、磁界の大きさに関して前記第１の固定の永久磁石（４０）および前記第２の固定の永久磁石（４２）の合成磁界に対応しており、逆の向きを有することを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項記載の流量測定機器用の圧力差検出器。
6. 前記第１の固定の永久磁石（４０）と前記第２の固定の永久磁石（４２）とは、前記磁気抵抗式のセンサ（３０）が配置されているボード（４６）に配置されていることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項記載の流量測定機器用の圧力差検出器。
7. 前記第１の固定の永久磁石（４０）と前記第２の固定の永久磁石（４２）とは、前記ハウジング（２７）の、前記ボード（４６）が取り付けられているハウジングブロック（５２）に取り付けられていることを特徴とする、請求項６記載の流量測定機器用の圧力差検出器。
8. 前記ハウジングブロック（５２）は、アルミニウム製またはアルミニウム合金製であることを特徴とする、請求項７記載の流量測定機器用の圧力差検出器。
9. 前記第１の固定の永久磁石（４０）および前記第２の固定の永久磁石（４２）の磁界強度は、前記可動の永久磁石（３２）の磁界強度の１％～９０％に対応していることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項記載の流量測定機器用の圧力差検出器。
10. １つまたはそれ以上の前記磁気抵抗式のセンサ（３０）は、ユニポーラ式のセンサであることを特徴とする、請求項１から９までのいずれか１項記載の流量測定機器用の圧力差検出器。
11. 時間的に分解された流量経過を測定するための流量測定機器であって、
    入口（１２）と、
    出口（１４）と、
    駆動可能な容積式流量計（１８）と、
    前記容積式流量計（１８）を迂回することができる迂回管路（２２）と、
    前記迂回管路（２２）内に配置された圧力差検出器（２４）と、
    前記駆動可能な容積式流量計（１８）を、前記圧力差検出器（２４）において生じた圧力差に応じて調整することができる評価・制御ユニット（３４）と、
    を備える、流量測定機器において、
    前記圧力差検出器（２４）は、請求項１から１０までのいずれか１項記載の圧力差検出器であることを特徴とする、流量測定機器。

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