JP7339154B2 - SLIDING MEMBER AND METHOD FOR MANUFACTURING SLIDING MEMBER - Google Patents

SLIDING MEMBER AND METHOD FOR MANUFACTURING SLIDING MEMBER Download PDF

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Description

本発明は、摺動部材および摺動部材の製造方法に関する。 The present invention relates to a sliding member and a method for manufacturing the sliding member.

排水ポンプの一種として、先行待機運転ポンプが知られている。先行待機運転ポンプは、例えばゲリラ豪雨のような急激な水量の増加に対応すべく、予め無水状態で全速運転(先行待機運転)することや、気水混合状態での排水を行うことが可能となっている。このような先行待機運転ポンプに適用できる摺動部材およびその製造方法が、例えば特許文献1に開示されている。 As a type of drainage pump, a preceding standby operation pump is known. Preceding standby operation pumps can be operated at full speed (preceding standby operation) in an anhydrous state in advance in order to respond to a sudden increase in water volume, such as a sudden torrential rain, or can drain water in a mixed state of air and water. It's becoming A sliding member that can be applied to such a pre-standby operation pump and a method for manufacturing the same are disclosed in, for example, Patent Document 1.

特許文献1には、摺動部材基部および摺接粒子を備えたポンプ用軸・軸受構造が開示されている。当該摺接粒子は、摺動部材基部の表面に散在して固定されるとともに、摺動部材基部の表面から突出しており、被摺動部材に摺接することが記載されている。また、特許文献1には、電着又はスパークプラズマ焼結により、平均粒子径が10-500μmの摺接粒子を摺動部材基部の表面に直接固定することにより、摺動部材が製造されることが記載されている。 Patent Literature 1 discloses a pump shaft/bearing structure including a sliding member base and sliding particles. It is described that the sliding particles are scattered and fixed on the surface of the base of the sliding member, protrude from the surface of the base of the sliding member, and come into sliding contact with the member to be slid. Further, in Patent Document 1, a sliding member is manufactured by directly fixing sliding contact particles having an average particle diameter of 10 to 500 μm to the surface of the base of the sliding member by electrodeposition or spark plasma sintering. is described.

特開2016-211727号公報(2016年12月15日公開)Japanese Patent Application Laid-Open No. 2016-211727 (published on December 15, 2016)

図10は、従来の方法で硬質粒子を基体に固定した様子を示す模式図であり、図10の(a)は、電着によって硬質粒子を基体に固定した様子を示す模式図であり、図10の(b)は、スパークプラズマ焼結によって硬質粒子を基体に固定した様子を示す模式図である。後述するように、図中、10aは基体、10bは硬質粒子、10cはメッキ層をそれぞれ表す。 FIG. 10 is a schematic diagram showing how hard particles are fixed to a substrate by a conventional method, and FIG. 10(a) is a schematic diagram showing how hard particles are fixed to a substrate by electrodeposition. 10(b) is a schematic diagram showing how the hard particles are fixed to the substrate by spark plasma sintering. As will be described later, in the figure, 10a represents a substrate, 10b represents hard particles, and 10c represents a plated layer.

図10の(a)に示すように、電着では、摺接粒子の原料である硬質粒子10bを基体10aの表面に固定し、メッキ層10cを形成するため、基体10aの表面上に、硬質粒子10bの下端部もしくは下面が載置される。スパークプラズマ焼結は、硬質粒子10bの粉末を加圧し、基体10aに押し込む方法である。 As shown in FIG. 10(a), in the electrodeposition, hard particles 10b, which are the raw material of the sliding contact particles, are fixed on the surface of the substrate 10a to form the plated layer 10c. The lower end or lower surface of the particle 10b is placed. Spark plasma sintering is a method of pressurizing the powder of hard particles 10b and pressing it into the substrate 10a.

一方、硬質粒子10bは多数の粒子の集合体であり、粒度分布を有する。そのため、特許文献1に開示された方法で硬質粒子10bを基体10aに固定する場合、図10の(a)および(b)に示すように、硬質粒子10bの下端部もしくは下面は段差なく揃う。 On the other hand, the hard particles 10b are aggregates of many particles and have a particle size distribution. Therefore, when the hard particles 10b are fixed to the substrate 10a by the method disclosed in Patent Document 1, as shown in FIGS.

しかし、被摺動部材に対向する硬質粒子10bの先端部は、段差を有することになる。例えば、図10では、点線から、点線の上に示されている硬質粒子10bの先端部までの高さは、各粒子によって異なっている。 However, the tip of the hard particle 10b facing the member to be slid has a step. For example, in FIG. 10, the height from the dotted line to the tip of the hard particle 10b shown above the dotted line differs for each particle.

硬質粒子10bの先端部は、対向する被摺動部材と摺接する摺接面を形成する面(以下、「被摺動部材と摺接する摺接面を形成する面」を「面A」と称する場合がある)を有するように加工される。 The tip portion of the hard particle 10b has a surface that forms a sliding contact surface that makes sliding contact with an opposing member to be slid (hereinafter, "a surface that forms a sliding contact surface that makes sliding contact with the member to be slid" is referred to as a "surface A"). may be).

当該加工は、基体10aの表面からの高さが異なる硬質粒子10bの先端部が同一円周上に揃うように、上記先端部を加工することによって行われる。硬質粒子10bの先端部が同一円周上に揃うと、後述する図1に示すように、軸部材10の軸を中心とした円周面である摺接面12が形成される。上記面Aを有する硬質粒子は、摺接粒子と称される。 The processing is performed by processing the tip portions of the hard particles 10b having different heights from the surface of the substrate 10a so that the tip portions are aligned on the same circumference. When the tips of the hard particles 10b are aligned on the same circumference, a sliding contact surface 12, which is a circumferential surface around the axis of the shaft member 10, is formed as shown in FIG. 1, which will be described later. The hard particles having the face A are called sliding particles.

図10の(a)および(b)に示すように、硬質粒子10bの下端部もしくは下面が段差なく揃うように硬質粒子10bを固定した後、上記加工を行い、上記面Aを得るためには、硬質粒子10bの粒子径が所定の範囲内にあることが要求される。 As shown in FIGS. 10(a) and 10(b), after fixing the hard particles 10b so that the lower ends or the lower surfaces of the hard particles 10b are aligned without steps, the above processing is performed to obtain the surface A. , the particle size of the hard particles 10b is required to be within a predetermined range.

これは、粒子径の範囲が広い硬質粒子10bを用いると、複数の硬質粒子10b間において、基体10aの表面から硬質粒子10bの先端部までの高さが、粒子によって大きく異なる状態となることによる。 This is because when hard particles 10b with a wide range of particle diameters are used, the height from the surface of the substrate 10a to the tip of the hard particles 10b varies greatly among the plurality of hard particles 10b. .

上記高さが粒子によって大きく異なると、基体10aの表面から上記面Aまでの高さが揃うように上記面Aを形成する加工(硬質粒子10bの研削及び/又は研磨)工程が必要不可欠となる。また、それと共に、小さな硬質粒子10bに上記面Aを設け、かつ上記高さを揃えるために、大きな硬質粒子10bに対する研削量が必然的に多くなる。それゆえ、加工面と材料面との両方で効率が悪くなる。 If the height differs greatly depending on the particles, a processing step (grinding and/or polishing the hard particles 10b) for forming the surface A so that the height from the surface of the substrate 10a to the surface A is uniform becomes essential. . At the same time, in order to provide the surface A on the small hard particles 10b and make the heights uniform, the grinding amount of the large hard particles 10b inevitably increases. Therefore, it is inefficient both in terms of processing and materials.

特に、上記加工工程において研削量及び/又は研磨量が増大した場合、固定層(メッキ層10c)も共に研削されるため、大きな摺接粒子を固定する固定層の減少によって、大きな摺接粒子の耐剥離性が低下する恐れが生じる。 In particular, when the amount of grinding and/or polishing increases in the above-described processing steps, the fixed layer (plated layer 10c) is also ground. There is a possibility that the peeling resistance may deteriorate.

粒子径の範囲が広い硬質粒子を用いる場合と、粒子径の範囲が狭い硬質粒子を用いる場合とでは、前者の方が原料コスト的には有利である。しかし、加工面と材料面との両方で効率が悪いという前述した問題がある。 When using hard particles with a wide particle size range and using hard particles with a narrow particle size range, the former is more advantageous in terms of raw material cost. However, there is the aforementioned problem of poor efficiency in terms of both processing and materials.

また、粒子径の範囲の狭い硬質粒子を用いる場合でも、下端部もしくは下面を段差なく揃えて基体10aに固定した場合は、何らかの段差が発生する。そのため、硬質粒子の先端部を揃えて基体10aに固定できれば、加工量を減ずることができるとの期待が多かった。 Further, even when hard particles having a narrow particle size range are used, if the lower end portion or the lower surface is fixed to the substrate 10a without a step, some step will occur. Therefore, there was much expectation that the amount of processing could be reduced if the tips of the hard particles could be aligned and fixed to the substrate 10a.

さらに、特許文献1においては、摺接粒子となる硬質粒子の平均粒子径が10-500μmのものを使用するが、摺接粒子をメッキで固定する場合、粒子径が100μm前後のものは問題がないが、粒子径が500μmに近くなるほど安定なメッキ層を得るのに多大な時間がかかるため、工業的に不利である。そのため、硬質粒子の固定にメッキが寄与する部分を減ずる方法への期待も多かった。 Furthermore, in Patent Document 1, hard particles with an average particle diameter of 10 to 500 μm are used as sliding contact particles, but when the sliding contact particles are fixed by plating, a particle diameter of around 100 μm poses a problem. However, the closer the particle diameter is to 500 μm, the longer it takes to obtain a stable plating layer, which is industrially disadvantageous. Therefore, there have been many expectations for a method of reducing the portion where plating contributes to fixation of hard particles.

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであって、その目的は、硬質粒子の粒子径の範囲に左右されず、加工量を抑制して、摺接面を容易に形成することができる摺動部材および摺動部材の製造方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to easily form a sliding contact surface by suppressing the amount of processing without being influenced by the range of particle diameters of hard particles. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a moving member and a sliding member.

上記の課題を解決するために、本発明の一実施形態に係る摺動部材、および、本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法は以下の発明を包含する。 In order to solve the above problems, a sliding member according to an embodiment of the present invention and a method for manufacturing the sliding member according to an embodiment of the present invention include the following inventions.

〔1〕被摺動部材に対して相対的に摺動する摺動部材であって、
摺動部材基部と、
上記摺動部材基部の表面に散在して固定されており、かつ、平均粒子径が50μm超500μm以下である硬質粒子の先端部が、上記被摺動部材と摺接する摺接面を形成する面を有している摺接粒子と、を備え、
上記摺動部材基部の表面は、上記摺接粒子の一部分を埋め込み可能に形成されてなる凹部と、上記凹部の周囲に、上記凹部を囲むように形成されてなる凸部とを有し、
上記摺接粒子は、上記凹部に埋め込まれている部分と、上記凹部から突出している部分とを有し、上記凹部から突出している部分の周囲には上記凸部が形成されている、摺動部材。
[1] A sliding member that slides relative to a member to be slid,
a sliding member base;
A surface where tips of hard particles, which are scattered and fixed on the surface of the sliding member base and have an average particle diameter of more than 50 μm and 500 μm or less, form a sliding contact surface that makes sliding contact with the member to be slid. a sliding particle having
The surface of the base of the sliding member has a concave portion formed so that a portion of the sliding contact particles can be embedded therein, and a convex portion formed around the concave portion so as to surround the concave portion,
The sliding particles have a portion embedded in the recess and a portion protruding from the recess, and the protruding portion is formed around the portion protruding from the recess. Element.

〔2〕上記摺動部材基部の表面は、上記凹部および上記凸部以外の部分であって、略水平な面を形成する水平部を有し、上記水平部から上記摺接粒子の先端までの高さは、上記水平部から上記凸部の先端までの高さよりも高い、〔1〕に記載の摺動部材。 [2] The surface of the base of the sliding member has a horizontal portion that forms a substantially horizontal surface, and is a portion other than the concave portion and the convex portion. The sliding member according to [1], wherein the height is higher than the height from the horizontal portion to the tip of the convex portion.

〔3〕上記凸部の先端が、上記摺接粒子から離間しており、上記凸部の先端と、上記摺接粒子との間に空間を有する、〔1〕または〔2〕に記載の摺動部材。 [3] The sliding according to [1] or [2], wherein the tip of the convex portion is separated from the sliding particle, and a space is provided between the tip of the convex portion and the sliding particle. moving parts.

〔4〕上記凸部の先端が、略水平な面を有する、〔1〕または〔2〕に記載の摺動部材。 [4] The sliding member according to [1] or [2], wherein the tip of the projection has a substantially horizontal surface.

〔5〕上記摺動部材基部が、基体と、上記基体の表面に形成された表面形成部とを備えている、〔1〕から〔4〕のいずれかに記載の摺動部材。 [5] The sliding member according to any one of [1] to [4], wherein the sliding member base includes a substrate and a surface forming portion formed on the surface of the substrate.

〔6〕上記基体は、硬さがHv200kg/mm以下であり、上記表面形成部の硬さがHv400kg/mm以上である、〔5〕に記載の摺動部材。 [6] The sliding member according to [5], wherein the substrate has a hardness of Hv200 kg/mm 2 or less, and the surface forming portion has a hardness of Hv400 kg/mm 2 or more.

〔7〕上記硬質粒子は、硬さが珪砂の硬さ以上であり、かつ、圧縮強度が200kg/mm以上である、〔1〕から〔6〕のいずれかに記載の摺動部材。 [7] The sliding member according to any one of [1] to [6], wherein the hard particles have a hardness equal to or higher than that of silica sand and a compressive strength of 200 kg/mm 2 or higher.

〔8〕上記硬質粒子は、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、窒化ケイ素、アルミナ、および、WCとW2Cとの複合材からなる群より選ばれる1種以上である、〔1〕から〔7〕のいずれかに記載の摺動部材。 [8] Any of [1] to [7], wherein the hard particles are one or more selected from the group consisting of diamond, cubic boron nitride, silicon nitride, alumina, and a composite material of WC and WC. 1. The sliding member according to claim 1.

〔9〕被摺動部材に対して相対的に摺動する摺動部材の製造方法であって、
平均粒子径が50μm超500μm以下である硬質粒子を、摺動部材基部の表面に散在するように固定する第1工程と、
500℃以下の環境下で、上記硬質粒子を、上記摺動部材基部の表面から上記硬質粒子の先端までの高さが略一定となるように、上記摺動部材基部に圧入させる第2工程と、
上記第2工程によって圧入された上記硬質粒子を加工し、上記被摺動部材と摺接する摺接面を形成する面を有する摺接粒子を得る第3工程とを含む、摺動部材の製造方法。
[9] A method for manufacturing a sliding member that slides relative to a member to be slid,
a first step of fixing hard particles having an average particle size of more than 50 μm and not more than 500 μm so as to be dispersed on the surface of the base of the sliding member;
a second step of press-fitting the hard particles into the sliding member base in an environment of 500° C. or less so that the height from the surface of the sliding member base to the tip of the hard particles is substantially constant; ,
A method of manufacturing a sliding member, comprising a third step of processing the hard particles press-fitted in the second step to obtain sliding contact particles having a surface forming a sliding contact surface in sliding contact with the member to be slid. .

〔10〕上記第2工程において圧入機を用い、上記圧入機の加圧部と、上記硬質粒子との間に、上記摺動部材基部が備える基体よりも硬い金属膜を挟持して、上記硬質粒子を上記摺動部材基部に圧入させる、〔9〕に記載の摺動部材の製造方法。 [10] A press-fitting machine is used in the second step, and a metal film harder than the base provided in the base of the sliding member is sandwiched between the pressurizing part of the press-fitting machine and the hard particles. The method for producing a sliding member according to [9], wherein particles are press-fitted into the base of the sliding member.

〔11〕上記摺動部材基部が、基体と、上記基体の表面に形成された表面形成部とを備えており、
上記表面形成部を、上記第2工程の後に、メッキ、溶射または焼成によって形成する、〔9〕または〔10〕に記載の摺動部材の製造方法。
[11] The sliding member base includes a base and a surface forming portion formed on the surface of the base,
The method of manufacturing a sliding member according to [9] or [10], wherein the surface forming portion is formed by plating, thermal spraying or firing after the second step.

〔12〕上記摺動部材基部が、硬さがHv200kg/mm以下である基体を備えている、〔9〕から〔11〕のいずれかに記載の摺動部材の製造方法。 [12] The method of manufacturing a sliding member according to any one of [9] to [11], wherein the sliding member base includes a substrate having a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less.

〔13〕上記摺動部材基部が、硬さがHv200kg/mm超である基体を備えており、上記第1工程が、上記硬質粒子を嵌入可能な凹部を、上記基体の表面に散在するように形成し、上記凹部に、硬さがHv200kg/mm以下である金属膜を形成し、上記硬質粒子を、上記金属膜に固定する工程である、〔9〕から〔11〕のいずれかに記載の摺動部材の製造方法。 [13] The sliding member base includes a substrate having a hardness of more than Hv 200 kg/mm 2 , and the first step forms recesses into which the hard particles can be inserted so as to be scattered on the surface of the substrate. forming a metal film having a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less in the recess, and fixing the hard particles to the metal film, any one of [9] to [11] A method for manufacturing the sliding member described.

〔14〕上記摺動部材基部が、硬さがHv200kg/mm超である基体を備えており、上記第1工程が、上記基体の表面に、硬さがHv200kg/mm以下である金属膜を、上記基体の表面に散在するようにパターニングし、上記硬質粒子を、上記金属膜に固定する工程である、〔9〕から〔11〕のいずれかに記載の摺動部材の製造方法。 [14] The sliding member base includes a substrate having a hardness of more than Hv200 kg/mm 2 , and the first step includes forming a metal film having a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less on the surface of the substrate. are patterned so as to be scattered on the surface of the substrate, and the hard particles are fixed to the metal film.

本発明の一態様によれば、摺接粒子の原料である硬質粒子の粒径の範囲が広くても、摺接粒子による摺接面を容易に形成することができる摺動部材、およびその製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to one aspect of the present invention, a sliding member capable of easily forming a sliding contact surface with sliding contact particles even if the particle size range of hard particles, which are raw materials of the sliding contact particles, is wide, and its manufacture. can provide a method.

本発明の一実施形態に係る軸・軸受構造の、軸方向に垂直な断面を示す断面概略図である。1 is a schematic cross-sectional view showing a cross-section perpendicular to the axial direction of a shaft/bearing structure according to an embodiment of the present invention; FIG. 図1に示す軸部材において丸囲みした部分を拡大した断面概略図である。It is the cross-sectional schematic which expanded the part enclosed with the circle in the shaft member shown in FIG. 硬質粒子として球状粒子を基体に圧入させた軸部材の、軸方向に垂直な断面を示す、一粒子分の断面概略図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of one particle, showing a cross section perpendicular to the axial direction of a shaft member in which spherical particles as hard particles are press-fitted into a base. 摺動部材基部の凸部の先端が略水平な面を有する軸部材の、軸方向に垂直な断面を示す、一粒子分の断面概略図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for one particle, showing a cross section perpendicular to the axial direction of a shaft member having a substantially horizontal surface at the tip of a convex portion of a sliding member base. 本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法の第1工程において基体の表面に散在するように固定された硬質粒子を、第2工程において、圧入機を用いて基体に圧入させる様子を示した模式図である。1 shows how hard particles, which are fixed so as to be dispersed on the surface of a substrate in the first step of the method for manufacturing a sliding member according to an embodiment of the present invention, are press-fitted into the substrate in the second step using a press-fitting machine. It is a schematic diagram shown. 圧入機の加圧部と、硬質粒子との間に、摺動部材基部が備える基体よりも硬い金属膜を挟持して、上記硬質粒子を上記摺動部材基部に圧入させた状態を示す模式図である。Schematic diagram showing a state in which a metal film harder than the substrate of the sliding member base is sandwiched between the pressurizing part of the press-fitting machine and the hard particles, and the hard particles are pressed into the sliding member base. is. 軸部材の軸方向に垂直な断面を示す断面概略図であり、硬質粒子を嵌入可能な凹部に形成した金属膜に、硬質粒子を固定した状態の一例を示す図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a cross section perpendicular to the axial direction of the shaft member, showing an example of a state in which hard particles are fixed to a metal film formed in recesses into which hard particles can be inserted. 軸部材の軸方向に垂直な断面を示す断面概略図であり、基体の表面にパターニングした金属膜に、硬質粒子を固定した状態の一例を示すである。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a cross section perpendicular to the axial direction of the shaft member, showing an example of a state in which hard particles are fixed to a metal film patterned on the surface of a substrate. 摺動部材基部の凸部の先端が、摺接粒子との間に空間を有することを示すデジタル顕微鏡写真である。4 is a digital photomicrograph showing that the tip of the convex portion of the base of the sliding member has a space between it and the particles in sliding contact. 従来の方法で硬質粒子を基体に固定した様子を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing how hard particles are fixed to a substrate by a conventional method.

本発明の一実施形態に関して以下に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明は、以下に説明する各構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態に関しても本発明の技術的範囲に含まれる。 An embodiment of the invention will be described below, but the invention is not limited thereto. The present invention is not limited to the configurations described below, and can be modified in various ways within the scope of the claims, by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. The resulting embodiment is also included in the technical scope of the present invention.

〔実施の形態1.摺動部材〕
本発明の一実施形態に係る摺動部材は、被摺動部材に対して相対的に摺動する摺動部材であって、摺動部材基部と、上記摺動部材基部の表面に散在して固定されており、かつ、平均粒子径が50μm超500μm以下である硬質粒子の先端部が、上記被摺動部材と摺接する摺接面を形成する面を有している摺接粒子と、を備え、上記摺動部材基部の表面は、上記摺接粒子の一部分を埋め込み可能に形成されてなる凹部と、上記凹部の周囲に、上記凹部を囲むように形成されてなる凸部とを有し、上記摺接粒子は、上記凹部に埋め込まれている部分と、上記凹部から突出している部分とを有し、上記凹部から突出している部分の周囲には上記凸部が形成されている摺動部材である。
[Embodiment 1. Sliding member]
A sliding member according to one embodiment of the present invention is a sliding member that slides relatively to a member to be slid, and has a sliding member base and a surface of the sliding member base that is scattered with Sliding particles that are fixed and have an average particle diameter of more than 50 μm and 500 μm or less, and the tips of the hard particles have a surface that forms a sliding contact surface that makes sliding contact with the member to be slid. The surface of the base of the sliding member has a recess formed so that a portion of the sliding particles can be embedded therein, and a protrusion formed around the recess so as to surround the recess. and the sliding contact particles have a portion embedded in the recess and a portion protruding from the recess, and the protruding portion is formed around the portion protruding from the recess. It is a member.

(1-1.摺動部材の一例としての軸部材)
被摺動部材に対して相対的に摺動する摺動部材の一例として、スラリー液を排出可能なポンプに用いられる回転機構における軸・軸受構造の軸部材について説明する。
(1-1. Shaft member as an example of sliding member)
As an example of a sliding member that slides relative to a member to be slid, a shaft member having a shaft/bearing structure in a rotating mechanism used in a pump capable of discharging slurry will be described.

なお、本実施形態では、摺動部材としての軸部材について説明するが、本発明の一実施形態に係る摺動部材は必ずしもこれに限らない。例えば、本発明の一実施形態に係る摺動部材は、軸部材に対して相対的に摺動する軸・軸受構造における軸受部材にも適用することができる。 In this embodiment, a shaft member as a sliding member will be described, but the sliding member according to one embodiment of the present invention is not necessarily limited to this. For example, the sliding member according to one embodiment of the present invention can also be applied to a bearing member in a shaft/bearing structure that slides relative to a shaft member.

また、例えば、本発明の一実施形態に係る摺動部材は、スラスト軸受のような、被摺動部材に対して相対的に平面で摺動する摺動部材にも適用することができる。 Further, for example, the sliding member according to one embodiment of the present invention can also be applied to a sliding member such as a thrust bearing that slides in a plane relative to a member to be slid.

軸・軸受構造1Aにおける、本発明の一実施形態に係る摺動部材としての軸部材10の構成について、図1に基づいて説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る軸・軸受構造1Aの、軸方向に垂直な断面を示す断面概略図である。 A configuration of a shaft member 10 as a sliding member according to one embodiment of the present invention in the shaft/bearing structure 1A will be described based on FIG. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a cross section perpendicular to the axial direction of a shaft/bearing structure 1A according to one embodiment of the present invention.

図1に示すように、軸・軸受構造1Aは、摺動部材としての軸部材10と、被摺動部材としての軸受部材11とからなっている。軸部材10は、円筒形状の軸スリーブである。なお、軸部材10は、軸スリーブに限定されるものではなく、軸であってもよい。一方、軸受部材11は、内部に軸部材10が収容される円筒形状を有しており、軸部材10を軸支する。 As shown in FIG. 1, the shaft/bearing structure 1A includes a shaft member 10 as a sliding member and a bearing member 11 as a member to be slid. The shaft member 10 is a cylindrical shaft sleeve. In addition, the shaft member 10 is not limited to a shaft sleeve, and may be a shaft. On the other hand, the bearing member 11 has a cylindrical shape in which the shaft member 10 is accommodated, and supports the shaft member 10 .

軸受部材11は、例えば、硬質のセラミックスまたは超硬合金等からなり、硬度が珪砂の硬度と同等以上であるため、スラリー液に含まれる珪砂等に対する耐摩耗性に優れる。さらに、硬質のセラミックスである共有結合性またはイオン結合性のセラミックスは、スラリー液中に稀に含まれる金属くず等の金属成分との親和性が小さいため、軸受部材11へのスラリー液に含まれる金属くず等の金属成分の付着を防ぎやすい。なお、軸受部材11の表面に、摩擦係数を低く、もしくは耐摩耗性を向上するための焼結体または膜を形成するような加工がされていても良い。 The bearing member 11 is made of hard ceramics, cemented carbide, or the like, for example, and has a hardness equal to or higher than that of silica sand. Furthermore, since covalent or ionic ceramics, which are hard ceramics, have a low affinity for metal components such as metal scraps rarely contained in the slurry, they are included in the slurry for the bearing member 11. It is easy to prevent adhesion of metal components such as metal scraps. In addition, the surface of the bearing member 11 may be processed to form a sintered body or film for reducing the coefficient of friction or improving wear resistance.

軸部材10は、図1に示すように、基体10aと、摺接粒子10bと、後述する表面形成部であるメッキ層10cとを備えている。基体10aとメッキ層10cとは、摺動部材基部10dを形成している。ただし、軸部材10は、少なくとも基体10aと、摺接粒子10bとを備えていればよい。この場合は、摺動部材基部10dは基体10aのみからなる。なお、図1では、摺接粒子10bのうち、一部のみを図示している。 As shown in FIG. 1, the shaft member 10 includes a base 10a, sliding particles 10b, and a plated layer 10c, which is a surface forming portion to be described later. The base 10a and the plated layer 10c form a sliding member base 10d. However, the shaft member 10 only needs to include at least the base 10a and the sliding particles 10b. In this case, the sliding member base portion 10d consists only of the base body 10a. Note that FIG. 1 shows only a part of the sliding particles 10b.

(1-2.摺接粒子)
摺接粒子10bは、摺動部材基部10dの表面に散在して固定されている。つまり、摺接粒子10bは、摺動部材基部10dの表面に、互いに接触することなく固定されている。そして、摺接粒子10bは、平均粒子径が50μm超500μm以下である硬質粒子の先端部が、被摺動部材と摺接する摺接面を形成する面を有している粒子である。
(1-2. Sliding particles)
The sliding particles 10b are scattered and fixed on the surface of the sliding member base portion 10d. That is, the sliding particles 10b are fixed to the surface of the sliding member base portion 10d without contacting each other. The slidable particles 10b are hard particles having an average particle diameter of more than 50 μm and 500 μm or less, and the tips of the hard particles have a surface that forms a slidable surface that makes slidable contact with a member to be slid.

摺動部材基部10dの表面に固定されている各摺接粒子10bは、それぞれ、軸受部材11と対向する面に摺接面を形成する面(上記面A)を有している。そのため、軸部材10の軸を中心とした円周面である摺接面12が形成され、摺接粒子10bは、摺接面12によって、軸受部材11と摺接する。 Each sliding contact particle 10b fixed to the surface of the sliding member base portion 10d has a surface facing the bearing member 11 and forming a sliding contact surface (surface A described above). Therefore, a sliding contact surface 12 that is a circumferential surface around the axis of the shaft member 10 is formed, and the sliding contact particles 10 b are brought into sliding contact with the bearing member 11 by the sliding contact surface 12 .

上記「硬質粒子」とは、摺接粒子10bの原料となる粒子である。なお、本明細書では、先端部が上記面Aを有している硬質粒子を摺接粒子と称するが、本明細書では、説明の都合上、硬質粒子についても符号10bを付して説明する場合がある。 The "hard particles" are particles that are raw materials for the sliding contact particles 10b. In the present specification, the hard particles whose tip portions have the surface A are referred to as sliding contact particles. Sometimes.

硬質粒子は、硬さが珪砂の硬さ以上であり、かつ、圧縮強度が200kg/mm以上であることが好ましい。当該構成によれば、硬さが珪砂の硬さ以上であるため、珪砂を主成分とするスラリー粒子等による摺接粒子10bの摩耗を防止することができる。また、圧縮強度が200kg/mm以上であるため、後述する本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法において摺動部材基部10dに圧入させやすい。 The hard particles preferably have a hardness equal to or higher than that of silica sand and a compressive strength of 200 kg/mm 2 or higher. According to this configuration, since the hardness is equal to or higher than that of silica sand, it is possible to prevent abrasion of the sliding contact particles 10b due to slurry particles or the like containing silica sand as a main component. Moreover, since the compressive strength is 200 kg/mm 2 or more, it is easy to press-fit into the sliding member base portion 10d in the method of manufacturing a sliding member according to an embodiment of the present invention, which will be described later.

なお、圧縮強度とは、圧縮荷重に対して材料が持ちこたえることができる最大応力をいう。上記圧縮強度は、圧入時に硬質粒子が破損しにくいという観点から、250kg/mm以上であることがより好ましく、300kg/mm以上であることがさらに好ましい。 Compressive strength is the maximum stress that a material can withstand against a compressive load. The compressive strength is more preferably 250 kg/mm 2 or more, further preferably 300 kg/mm 2 or more, from the viewpoint that the hard particles are less likely to break during press-fitting.

また、硬質粒子は、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、窒化ケイ素、アルミナ、および、WCとW2Cとの複合材からなる群より選ばれる1種以上であることが好ましい。 Moreover, the hard particles are preferably one or more selected from the group consisting of diamond, cubic boron nitride, silicon nitride, alumina, and a composite material of WC and W2C.

硬質粒子がダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、およびアルミナからなる群より選ばれる粒子である場合、圧縮強度の高い多面体粒子を入手しやすい。また、硬質粒子がダイヤモンド、窒化ケイ素、アルミナ、および、WCとW2Cとの複合材からなる群より選ばれる粒子である場合、圧縮強度の高い球状粒子を入手しやすい。 Polyhedral particles with high compressive strength are readily available when the hard particles are particles selected from the group consisting of diamond, cubic boron nitride, and alumina. Moreover, when the hard particles are particles selected from the group consisting of diamond, silicon nitride, alumina, and composites of WC and W2C, spherical particles with high compressive strength are readily available.

また、上記硬質粒子は、摩擦係数が低いため、摺接粒子10bと、軸受部材11との間に水等の潤滑剤が存在しない無潤滑条件下においても円滑に摺動することができる。さらに、摩擦係数が低いことにより、摩擦による熱の発生が抑えられ、軸・軸受構造1Aの耐久性を向上させることができる。 Further, since the hard particles have a low coefficient of friction, the sliding particles 10b and the bearing member 11 can slide smoothly even under non-lubrication conditions in which no lubricant such as water exists. Furthermore, since the coefficient of friction is low, the generation of heat due to friction can be suppressed, and the durability of the shaft/bearing structure 1A can be improved.

硬質粒子の「先端部」とは、摺動部材基部10dの表面に硬質粒子が固定された場合に、軸受部材11と対向する部位をいう。摺接粒子10bは、硬質粒子の先端部を加工することによって、先端部に、上記面Aが形成されてなる。 The “tip portion” of the hard particles refers to a portion facing the bearing member 11 when the hard particles are fixed to the surface of the sliding member base portion 10d. The sliding contact particle 10b has the surface A formed at the tip portion thereof by processing the tip portion of the hard particle.

上記加工の方法としては、上記硬質粒子の先端部をダイヤモンドまたは炭化珪素等の砥石で研削すること、上記硬質粒子の先端部を放電加工すること、等の方法を用いることができる。当業者においては、本実施の形態における摺接粒子10bのような高硬度な材料を研削する方法として、適当なものを選択すればよい。 As the method of processing, a method such as grinding the tip of the hard particles with a grindstone such as diamond or silicon carbide, or performing electrical discharge machining on the tip of the hard particles can be used. A person skilled in the art can select an appropriate method for grinding a high-hardness material such as the sliding contact particles 10b in this embodiment.

加工する場合、硬質粒子から除去する部分は、硬質粒子の平均粒子径の15%以下であることが好ましく、10%以下であることがより好ましく、5%以下であることがさらに好ましく、2%以下であることが特に好ましい。 When processing, the portion to be removed from the hard particles is preferably 15% or less of the average particle diameter of the hard particles, more preferably 10% or less, further preferably 5% or less, and 2%. The following are particularly preferred.

上記硬質粒子の平均粒子径は、50μm超、500μm以下である。 The average particle size of the hard particles is more than 50 μm and 500 μm or less.

特許文献1には、基体10aの表面に摺接粒子10bを固定する方法として、電着、スパークプラズマ焼結が記載されている。前述したように、図10は、従来の方法で硬質粒子を基体に固定した様子を示す模式図であり、図10の(a)は、電着によって硬質粒子を基体に固定した様子を示す模式図であり、図10の(b)は、スパークプラズマ焼結によって硬質粒子を基体に固定した様子を示す模式図である。 Patent Document 1 describes electrodeposition and spark plasma sintering as methods for fixing sliding particles 10b to the surface of a substrate 10a. As described above, FIG. 10 is a schematic diagram showing how hard particles are fixed to a substrate by a conventional method, and FIG. 10(a) is a schematic diagram showing how hard particles are fixed to a substrate by electrodeposition. FIG. 10(b) is a schematic diagram showing how hard particles are fixed to a substrate by spark plasma sintering.

前述したように、特許文献1に開示された方法で硬質粒子10bを基体10aに固定する場合、図10の(a)および(b)に示すように、硬質粒子の下端部もしくは下面は段差なく揃う。しかし、被摺動部材に対向する硬質粒子の先端部は、段差を有することになる。 As described above, when the hard particles 10b are fixed to the substrate 10a by the method disclosed in Patent Document 1, as shown in FIGS. Align. However, the tips of the hard particles facing the member to be slid have a step.

平均粒子径が500μmに近い硬質粒子は、上記段差が非常に大きいため、上記面Aを作製する際の加工量が多くなる。また、上記段差が非常に大きい場合、上記面Aを作製するための加工ができない背の低い粒子、すなわち、基体10aの表面から硬質粒子10bの先端部までの高さが低い粒子も生成する。例えば、メッシュサイズが35/45のダイヤモンド粒子は、平均粒子径が500μmであるが、最大の粒子の粒子径は540μm、最小の粒子の粒子径は360μmである。 Hard particles having an average particle diameter close to 500 μm have a very large level difference, and therefore require a large amount of processing when the surface A is produced. In addition, when the step is very large, there are also generated particles that are short in height and cannot be processed to form the surface A, that is, particles whose height from the surface of the substrate 10a to the tip of the hard particle 10b is short. For example, diamond particles with a mesh size of 35/45 have an average particle size of 500 μm, with the largest particle having a particle size of 540 μm and the smallest particle having a particle size of 360 μm.

特許文献1に開示された方法によって上記ダイヤモンド粒子を基体10aに固定し、平均粒子径の25%を研削して上記面Aを形成するとき、最大の粒子は約165μm加工する必要があり、平均粒子径を有する粒子は125μm加工する必要がある。しかし、最小の粒子は加工されない状態となる。 When the diamond particles are fixed to the substrate 10a by the method disclosed in Patent Document 1 and 25% of the average particle diameter is ground to form the surface A, the largest particle needs to be processed to about 165 μm, and the average Particles with a particle size should be processed to 125 μm. However, the smallest particles remain unprocessed.

なお、本願明細書において、「平均粒子径」は、レーザー回折式粒子径分布測定装置:株式会社島津製作所、SALD-2100により計測されるD50値である。 In the specification of the present application, the "average particle size" is a D50 value measured by a laser diffraction particle size distribution analyzer: Shimadzu Corporation SALD-2100.

(1-3.摺動部材基部および摺動部材基部に固定された摺接粒子)
上記摺動部材基部の表面は、上記摺接粒子の一部分を埋め込み可能に形成されてなる凹部と、上記凹部の周囲に、上記凹部を囲むように形成されてなる凸部とを有する。
(1-3. Sliding member base and sliding particles fixed to the sliding member base)
The surface of the base of the sliding member has a concave portion formed so that a portion of the sliding particles can be embedded therein, and a convex portion formed around the concave portion so as to surround the concave portion.

図2は、図1に示す軸部材10において丸囲みした部分αを拡大した断面概略図である。図2において、13は凹部、14,15は凸部、16,16’は水平部、17,18は凸部と摺接粒子との間の空間である。H1~H5は図中に示す部分の高さを表している。水平部16,16’は、摺動部材基部10dにおいて略水平な面を形成している部分である。ただし、摺動部材基部10dは水平部16,16’を有さない場合もある。例えば、摺接粒子10b同士が狭い間隔で固定されている場合は、隣り合う摺接粒子10bの周囲に形成された凸部14同士が近接し、水平部16,16’が存在しない場合がある。 FIG. 2 is a schematic cross-sectional view enlarging the circled portion α in the shaft member 10 shown in FIG. In FIG. 2, 13 is a concave portion, 14 and 15 are convex portions, 16 and 16' are horizontal portions, and 17 and 18 are spaces between the convex portions and sliding contact particles. H1 to H5 represent the heights of the portions shown in the figure. The horizontal portions 16, 16' are portions forming a substantially horizontal surface in the sliding member base portion 10d. However, the sliding member base portion 10d may not have the horizontal portions 16, 16'. For example, when the sliding contact particles 10b are fixed with a narrow interval, the convex portions 14 formed around the adjacent sliding contact particles 10b are close to each other, and the horizontal portions 16, 16' may not exist. .

「上記摺接粒子の一部分を埋め込み可能に形成されてなる凹部」とは、例えば図2に示す凹部13のように、摺動部材基部10dの表面の一部分が陥入して形成されてなり、摺接粒子の全体ではなく一部分を嵌入させることができる部分である。 The "recess formed so that a part of the sliding contact particles can be embedded" means, for example, like the recess 13 shown in FIG. It is a part into which a part, not the whole, of the sliding contact particle can be fitted.

なお、メッキ層10cは、摺接粒子10bの一部分を凹部13に嵌入させた後に形成されるため、摺動部材基部10dが備える基体10aの表面のみが凹部13を形成している。凹部13は、例えば、別途詳述する本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法によって、摺接粒子10bの原料である硬質粒子を基体10aに圧入させることによって形成することができる。 Since the plated layer 10c is formed after part of the sliding particles 10b are fitted into the concave portions 13, the concave portions 13 are formed only on the surface of the substrate 10a provided in the sliding member base portion 10d. The concave portion 13 can be formed, for example, by press-fitting hard particles, which are raw materials of the sliding particles 10b, into the base 10a by a method for manufacturing a sliding member according to an embodiment of the present invention, which will be described in detail later.

「上記凹部の周囲に、上記凹部を囲むように形成されてなる凸部」とは、例えば図2に示す凸部14,15のように、凹部13の周囲に、凹部13を被覆しないように形成されている部分をいう。 "A convex portion formed around the concave portion so as to surround the concave portion" means, for example, convex portions 14 and 15 shown in FIG. It refers to the formed part.

凸部14は、基体10aに凹部13を形成することに伴って、基体10aのうち、凹部13に近接する部分が隆起することによって形成される。凸部14は、例えば、本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法によって、摺接粒子10bの原料である硬質粒子を基体10aに圧入させることによって形成することができる。凸部15は、凸部14が形成された基体10aの表面にメッキ層10cを形成することによって形成される。 The protrusions 14 are formed by forming the recesses 13 in the base 10a, thereby protruding portions of the base 10a that are close to the recesses 13. As shown in FIG. The convex portion 14 can be formed, for example, by press-fitting hard particles, which are raw materials of the sliding contact particles 10b, into the base 10a by the method of manufacturing a sliding member according to one embodiment of the present invention. The protrusions 15 are formed by forming a plated layer 10c on the surface of the substrate 10a on which the protrusions 14 are formed.

図2に示すように、摺接粒子10bは、凹部13に埋め込まれている部分と、凹部13から突出している部分とを有し、凹部13から突出している部分の周囲には凸部14,15が形成されている。なお、凹部13から突出している部分とは、摺接粒子10bのうち、凹部13に埋め込まれていない部分をいう。例えば、摺接粒子10bのうち、図2に示した一点鎖線よりも上の部分(凹部13の起点から上の部分)である。 As shown in FIG. 2, the sliding contact particle 10b has a portion embedded in the concave portion 13 and a portion protruding from the concave portion 13. 15 are formed. The portion protruding from the concave portion 13 refers to the portion of the sliding contact particle 10b that is not embedded in the concave portion 13. As shown in FIG. For example, it is a portion of the sliding contact particles 10b above the dashed line shown in FIG.

摺接粒子10bが凹部13に埋め込まれる深さは、上記硬質粒子の平均粒子径の50%以上であることが好ましく、60%以上であることがより好ましく、70%以上であることがさらに好ましい。当該構成によれば、摺動部材基部10dによる摺接粒子10bの保持力を好適化することができる。 The depth at which the sliding particles 10b are embedded in the concave portions 13 is preferably 50% or more, more preferably 60% or more, and even more preferably 70% or more of the average particle diameter of the hard particles. . According to this configuration, it is possible to optimize the holding force of the sliding member base portion 10d for the sliding particles 10b.

また、硬質粒子を加工する場合、硬質粒子から除去する部分は、前述したように、硬質粒子の平均粒子径の15%以下であることが好ましいため、摺接粒子10bが凹部13に埋め込まれる深さは、上記硬質粒子の平均粒子径の85%未満であることが好ましく、80%以下であることがより好ましい。 Further, when hard particles are processed, the portion to be removed from the hard particles is preferably 15% or less of the average particle diameter of the hard particles, as described above. The thickness is preferably less than 85% of the average particle diameter of the hard particles, more preferably 80% or less.

なお、「摺接粒子10bが凹部13に埋め込まれる深さ」とは、基体10aの凹部13の起点から、凹部13に嵌入している摺接粒子10bの最深部に垂線を下したときの当該垂線の長さ(例えば、図2におけるH5)をいう。 The "depth at which the sliding contact particles 10b are embedded in the recesses 13" means the depth when a perpendicular line is drawn from the starting point of the recesses 13 of the substrate 10a to the deepest part of the sliding contact particles 10b fitted in the recesses 13. Refers to the length of the perpendicular (eg, H5 in FIG. 2).

凸部14、15が形成されていることによって、摺接粒子10bは、凹部13から突出している部分の周囲が、凸部14、15に囲まれる。 By forming the protrusions 14 and 15 , the portions of the sliding particles 10 b protruding from the recesses 13 are surrounded by the protrusions 14 and 15 .

また、凸部15は、凸部14の上に形成されたメッキ層10cであるため、水平部16のみにメッキ層10cが形成される場合と比較して、メッキ層10cの表面積が大きくなる。そのため、スラリー粒子の移動速度の抑制に寄与することができる。したがって、凸部15によって、スラリー粒子による摩耗に対するメッキ層10cの耐久性を向上させることができる。 Moreover, since the convex portion 15 is the plated layer 10c formed on the convex portion 14, the surface area of the plated layer 10c is larger than when the plated layer 10c is formed only on the horizontal portion 16. FIG. Therefore, it can contribute to suppression of the moving speed of the slurry particles. Therefore, the protrusions 15 can improve the durability of the plated layer 10c against abrasion caused by the slurry particles.

ただし、軸部材10において、メッキ層10cは必ずしも形成されていなくてもよい。例えば、軸部材10をスラリー粒子による摩耗が生じないような用途(例えば乾式摺動)に用いる場合は、メッキ層10cが形成されていなくてもよい。よって、当該用途に用いる場合等は、凸部15は必ずしも形成されていなくてもよいが、この場合、摺接粒子10bを摺動部材基部10dに強固に固定するため、凸部14の先端は、後述する図4に示すように略水平な面を有することが好ましい。 However, in the shaft member 10, the plated layer 10c may not necessarily be formed. For example, when the shaft member 10 is used for applications in which abrasion due to slurry particles does not occur (for example, dry sliding), the plated layer 10c may not be formed. Therefore, when used for this purpose, the convex portion 15 may not necessarily be formed. , preferably has a substantially horizontal surface as shown in FIG. 4 to be described later.

上記摺動部材基部の表面は、上記凹部および上記凸部以外の部分であって、略水平な面を形成する水平部を有し、上記水平部から上記摺接粒子の先端までの高さは、上記水平部から上記凸部の先端までの高さよりも高いことが好ましい。 The surface of the sliding member base portion has a horizontal portion that forms a substantially horizontal surface and is a portion other than the concave portion and the convex portion, and the height from the horizontal portion to the tip of the sliding particle is , is preferably higher than the height from the horizontal portion to the tip of the convex portion.

上記「略水平な面」とは、全く凹凸を有さない完全に平坦な面でなければならないということではなく、実用上水平と言える程度の面であればよいことを意味する。例えば、本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法によって基体10aに硬質粒子を圧入させる場合、凹部および凸部が形成されず、基体10aにおいて圧入の影響を受けない部分は、略水平な面である。 The above-mentioned "substantially horizontal surface" does not mean that the surface must be completely flat without any unevenness, but means that the surface can be said to be practically horizontal. For example, when hard particles are press-fitted into the base 10a by the method for manufacturing a sliding member according to one embodiment of the present invention, recesses and protrusions are not formed, and portions of the base 10a that are not affected by press-fitting are substantially horizontal. It is an aspect.

図2に示すように、水平部16から摺接粒子10bの先端までの高さH1は、水平部16から凸部14の先端までの高さH2よりも高い。また、水平部16’から摺接粒子10bの先端までの高さH3は、水平部16’から凸部15の先端までの高さH4よりも高い。 As shown in FIG. 2, the height H1 from the horizontal portion 16 to the tip of the sliding particle 10b is higher than the height H2 from the horizontal portion 16 to the tip of the convex portion . Further, the height H3 from the horizontal portion 16' to the tip of the sliding particle 10b is higher than the height H4 from the horizontal portion 16' to the tip of the convex portion 15. FIG.

なお、上述したように、摺動部材基部10dは水平部16,16’を備えていない場合もある。この場合は、摺接粒子10bの、凹部13から突出している部分の高さ(例えば、図2に示す一点鎖線より上の部分の高さであるH1)が、凸部14の高さ(図中H2)および凸部15の高さ(図中、一点鎖線から凸部15の先端までの高さ)よりも高いことが好ましい。 As described above, the sliding member base portion 10d may not have the horizontal portions 16, 16'. In this case, the height of the portion of the sliding contact particle 10b protruding from the concave portion 13 (for example, H1, which is the height of the portion above the dashed line shown in FIG. 2) is the height of the convex portion 14 ( medium H2) and the height of the projection 15 (in the drawing, the height from the dashed line to the tip of the projection 15).

上記構成を備えることにより、摺接粒子10bは、凸部14、15によって摺動部材基部10dに強固に固定されるとともに、摺接面12を形成するための上記面Aが凸部14,15よりも高い位置にあるため、軸受部材11との摺動を円滑に行うことができる。 With the above configuration, the sliding particle 10b is firmly fixed to the sliding member base portion 10d by the convex portions 14 and 15, and the surface A for forming the sliding contact surface 12 is formed by the convex portions 14 and 15. Since it is positioned higher than the bearing member 11, it can slide smoothly with the bearing member 11.

(1-4.摺動部材基部の形状等)
本発明の一実施形態に係る摺動部材において、上記摺動部材基部の表面が備える上記凸部の先端は、上記摺接粒子から離間しており、上記凸部の先端と、上記摺接粒子との間に空間を有することが好ましい。
(1-4. Shape of sliding member base, etc.)
In the sliding member according to one embodiment of the present invention, the tip of the convex portion provided on the surface of the sliding member base is separated from the sliding particle, and the tip of the convex portion and the sliding particle are spaced apart from each other. It is preferable to have a space between

図2に示す凸部14は、上述したように、例えば、本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法により、硬質粒子を基体10aに圧入させることによって作製される。この際、凸部14の先端(図2に示す高さH2を示す部分)は、図2に示すように、摺接粒子10bとの間に空間17を有する。 As described above, the convex portion 14 shown in FIG. 2 is produced by press-fitting hard particles into the base 10a by, for example, the method for producing a sliding member according to one embodiment of the present invention. At this time, as shown in FIG. 2, the tip of the projection 14 (the portion having the height H2 shown in FIG. 2) has a space 17 between it and the sliding contact particle 10b.

また、図2に示す軸部材10では、メッキ層10cを形成しているため、凸部15の先端(図2に示す高さH4を示す部分)は、摺接粒子10bとの間に空間18を有する。 Moreover, since the plated layer 10c is formed in the shaft member 10 shown in FIG. have

図3は、硬質粒子として球状粒子を基体10aに圧入させた軸部材10の、軸方向に垂直な断面を示す、一粒子分の断面概略図である。 FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of one particle, showing a cross section perpendicular to the axial direction of the shaft member 10 in which spherical particles as hard particles are press-fitted into the base 10a.

ここで、球状粒子とは、角を有さない丸みを帯びた粒子を意図する。球状粒子は製造により真球からずれ、楕円形状等になる場合があるが、使用する球状粒子の直径不同および真球度は10μm以下であることが好ましい。よって、上記球状粒子の先端部を加工して作製した上記面Aの形状は、円形または楕円状となる。 Here, spherical particles are intended to be rounded particles without corners. Spherical particles may deviate from true spheres and become elliptical or the like due to production, but the spherical particles used preferably have diameter variation and sphericity of 10 μm or less. Therefore, the shape of the surface A produced by processing the tip of the spherical particle is circular or elliptical.

図3に示すように球状粒子を圧入させた場合は、凸部14の基部は摺接粒子10bと接しているが、凸部14の先端は摺接粒子10bとの間に空間17を有している。図9は、凸部14の先端が、摺接粒子10bとの間に空間17を有することを示すデジタル顕微鏡写真(使用機器:キーエンス製VHX5000、倍率:200倍)である。 As shown in FIG. 3, when the spherical particles are press-fitted, the base of the projection 14 is in contact with the sliding particle 10b, but the tip of the projection 14 has a space 17 between it and the sliding particle 10b. ing. FIG. 9 is a digital microscope photograph (equipment used: Keyence VHX5000, magnification: 200 times) showing that the tip of the projection 14 has a space 17 between it and the sliding particle 10b.

このように、摺接粒子10bの形状によって、空間の形状は異なり得るが、凸部14の先端が摺接粒子10bとの間に空間17を有した形状が形成される。 As described above, the shape of the space may vary depending on the shape of the sliding contact particle 10b.

当該構成によれば、図2および図3に示すように、メッキ層10cが、上記空間を塞ぐように形成され、かつ、凸部15も形成されるため、水平部16のみにメッキ層10cを形成した場合と比べ、メッキ層10cの表面積が増加する。 According to this configuration, as shown in FIGS. 2 and 3, the plated layer 10c is formed so as to block the space, and the convex portion 15 is also formed. The surface area of the plated layer 10c is increased as compared with the case where the plated layer 10c is formed.

したがって、メッキ層10cを剥離しにくくすることができ、スラリー粒子等に対するメッキ層10cの耐久性を向上させることができる。 Therefore, the plated layer 10c can be made difficult to peel off, and the durability of the plated layer 10c against slurry particles and the like can be improved.

また、上記凸部の先端は、略水平な面を有する態様であることも好ましい。図3に示す凸部14を、例えば圧入機によって押し込むことによって、凸部14の先端が、略水平な面を有するように変形させ、摺接粒子10bと密着させることができる。図4は、凸部14の先端が略水平な面を有する軸部材10の、軸方向に垂直な断面を示す、一粒子分の断面概略図である。 Moreover, it is also preferable that the tip of the convex portion has a substantially horizontal surface. By pressing the convex portion 14 shown in FIG. 3, for example, with a press-fitting machine, the tip of the convex portion 14 can be deformed to have a substantially horizontal surface and can be brought into close contact with the sliding particles 10b. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of one particle, showing a cross section perpendicular to the axial direction of the shaft member 10 in which the tips of the projections 14 have substantially horizontal surfaces.

上記構成によれば、凸部14および凸部15と、摺接粒子10bとの間の空間は存在しないが、凸部14および凸部15が摺接粒子10bと密着し、摺接粒子10bをかしめたような態様となっているため、摺接粒子10bを摺動部材基部10dに強固に固定することができる。さらに、凸部15を有するメッキ層10cが形成されているため、スラリー粒子等に対する軸部材10の耐久性も向上させることができる。 According to the above configuration, although there is no space between the convex portions 14 and 15 and the sliding contact particles 10b, the convex portions 14 and 15 are in close contact with the sliding contact particles 10b, and the sliding contact particles 10b are removed. Since it is crimped, the sliding particles 10b can be firmly fixed to the sliding member base portion 10d. Furthermore, since the plated layer 10c having the protrusions 15 is formed, the durability of the shaft member 10 against slurry particles and the like can also be improved.

本発明の一実施形態に係る摺動部材において、上記摺動部材基部は、基体と、上記基体の表面に形成された表面形成部とを備えていることが好ましい。上記表面形成部は、例えば、図1~図4に示したメッキ層10cに該当する。 In the sliding member according to one embodiment of the present invention, the sliding member base preferably includes a substrate and a surface forming portion formed on the surface of the substrate. The surface forming portion corresponds to the plated layer 10c shown in FIGS. 1 to 4, for example.

メッキ層10cは、硬質粒子を基体10aに圧入した後に作製すればよい。メッキ層10cを作製する方法としては、例えば、電解法によりニッケル系メッキ液中で通電する方法を挙げることができる。メッキ液としては、ニッケル以外の他の金属を含有するメッキ液、および/または合金を含有するメッキ液を用いてもよい。中でも、後述するように、メッキ層10cの硬さをHv400kg/mm以上とし得るメッキ液であることが好ましい。 The plated layer 10c may be formed after pressing hard particles into the substrate 10a. As a method for producing the plated layer 10c, for example, a method of electrifying in a nickel-based plating solution by an electrolysis method can be mentioned. As the plating solution, a plating solution containing a metal other than nickel and/or a plating solution containing an alloy may be used. Among them, as will be described later, it is preferable to use a plating solution capable of increasing the hardness of the plating layer 10c to Hv 400 kg/mm 2 or more.

上記構成によれば、既に述べたように、スラリー粒子に対する軸部材10の耐久性を向上させることができる。また、メッキ層10cが凸部15として形成された場合は、上述のように、凸部15によって摺接粒子10bをより強固に固定する効果をも奏することができる。 According to the above configuration, as already described, the durability of the shaft member 10 against slurry particles can be improved. Further, when the plated layer 10c is formed as the protrusions 15, as described above, the protrusions 15 have the effect of fixing the sliding particles 10b more firmly.

なお、表面形成部は、上記メッキ液を用いて形成したメッキ層に限られない。例えば、表面形成部はセラミックスコートであってもよい。セラミックスコートとしては、例えば、アルミナ系の物質を溶射して形成したコート、サーメットを溶射して形成したコート、アルミニウムアルコキシドを塗布し、焼成して形成したコートなどを用いることができる。また、上記メッキ液を用いて形成したメッキ層と、セラミックスコートとを共に表面形成部として用いることも可能である。 In addition, the surface forming portion is not limited to the plating layer formed using the plating solution. For example, the surface forming portion may be a ceramic coat. As the ceramic coat, for example, a coat formed by spraying an alumina-based material, a coat formed by spraying a cermet, a coat formed by applying an aluminum alkoxide and firing it, or the like can be used. It is also possible to use both the plated layer formed using the plating solution and the ceramic coat as the surface forming portion.

本発明の一実施形態に係る摺動部材において、上記基体は、硬さがHv200kg/mm以下であり、上記表面形成部の硬さがHv400kg/mm以上であることが好ましい。 In the sliding member according to one embodiment of the present invention, it is preferable that the substrate has a hardness of Hv200 kg/mm 2 or less, and the surface forming portion has a hardness of Hv400 kg/mm 2 or more.

基体10aの硬さがHv200kg/mm以下であれば、後述する本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法において、上記硬質粒子を容易に圧入させることができる。上記硬さを有する基体10aの材質としては、例えば、SUS304、SUS304J1などを挙げることができる。 If the hardness of the substrate 10a is Hv 200 kg/mm 2 or less, the hard particles can be easily press-fitted in the method of manufacturing a sliding member according to an embodiment of the present invention, which will be described later. Examples of the material of the substrate 10a having the above hardness include SUS304 and SUS304J1.

一方、基体10aの硬さがHv200kg/mm以下の場合、そのままではスラリー粒子による基体10aの摩耗が生じてしまうため、メッキ層10c(表面形成部)の硬さがHv400kg/mm以上であることが好ましい。上記硬さを有するメッキ層10cの材質としては、例えば、Ni-P、Ni-Bなどを挙げることができる。 On the other hand, if the hardness of the substrate 10a is Hv200 kg/mm 2 or less, the substrate 10a will be worn by the slurry particles if left as it is, so the hardness of the plated layer 10c (surface forming portion) is Hv400 kg/mm 2 or more. is preferred. Examples of the material of the plated layer 10c having hardness include Ni--P and Ni--B.

基体10aの硬さは、易圧入性の観点から、Hv150kg/mm以下であることがより好ましい。また、メッキ層10cの硬さは、耐摩耗性の観点から、Hv600kg/mm以上であることがより好ましい。 From the viewpoint of easy press-fitting, the hardness of the substrate 10a is more preferably Hv 150 kg/mm 2 or less. Further, the hardness of the plated layer 10c is more preferably Hv600 kg/mm 2 or more from the viewpoint of wear resistance.

また、基体10aは、圧入時に硬さがHv200kg/mm以下であり、圧入後、500℃以下の温度での熱処理によって硬化する基体であってもよい。この場合、基体10aが摺接粒子10bを固定する力を増すことができる。 Further, the substrate 10a may be a substrate that has a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less at the time of press-fitting, and is hardened by heat treatment at a temperature of 500° C. or less after press-fitting. In this case, the force with which the substrate 10a fixes the sliding particles 10b can be increased.

ただし、軸部材10において、メッキ層10cは必ずしも形成されていなくてもよい。例えば、軸部材10をスラリー粒子による摩耗が生じないような用途(例えば乾式摺動)に用いる場合は、メッキ層10cが形成されていなくてもよいが、この場合、凸部14の先端は、前述したように、略水平な面を有することが好ましい。 However, in the shaft member 10, the plated layer 10c may not necessarily be formed. For example, when the shaft member 10 is used for an application that does not cause wear due to slurry particles (for example, dry sliding), the plated layer 10c may not be formed. As mentioned above, it is preferred to have substantially horizontal surfaces.

(1-5.摺動部材における面密度等)
基体10aの表面の垂直方向から見たときの、摺接粒子10bが占める面積の割合である面密度は、20~70%であることが好ましい。ここで、面密度が大きいことは、摺接粒子10b間の間隔が狭いことを意味し、反対に面密度が小さいことは、摺接粒子10b間の間隔が広いことを意味する。
(1-5. Surface density of sliding member, etc.)
The surface density, which is the ratio of the area occupied by the sliding particles 10b when viewed from the direction perpendicular to the surface of the substrate 10a, is preferably 20 to 70%. Here, a high areal density means that the distance between the sliding particles 10b is narrow, and conversely, a low areal density means that the distance between the sliding particles 10b is wide.

上記面密度を20~70%とすることにより、スラリー粒子を、隣接する摺接粒子10b間の領域である粒子間領域へと逃がしやすくなる。すなわち、軸部材10と軸受け部材11との間に侵入したスラリー粒子は、摺接粒子10bと軸受け部材11との間に挟み込まれるよりも、粒子間領域へと送り込まれやすくなる。 By setting the surface density to 20 to 70%, the slurry particles can easily escape to the inter-particle regions, which are the regions between adjacent sliding contact particles 10b. That is, the slurry particles that have entered between the shaft member 10 and the bearing member 11 are more likely to be fed into the inter-particle region than to be sandwiched between the sliding particles 10b and the bearing member 11 .

そして、スラリー粒子は、基体10aの外表面全体に形成されている粒子間領域を通過して、軸・軸受構造1Aの外部へと排出され得る。これにより、摺接粒子10bと軸受け部材11との間へのスラリー粒子の噛み込みによる、相手材である軸受け部材11の摩耗を抑制することができる。面密度は、より好ましくは60%以下、さらに好ましくは55%以下である。 The slurry particles can then pass through the inter-particle regions formed on the entire outer surface of the substrate 10a and be discharged to the outside of the shaft/bearing structure 1A. As a result, wear of the bearing member 11, which is a mating member, due to the slurry particles getting caught between the sliding particles 10b and the bearing member 11 can be suppressed. The areal density is more preferably 60% or less, still more preferably 55% or less.

軸部材10は、上記粒子間領域に、摺接粒子10bと同一材料の粒子であって、摺接粒子10bよりも粒子径の小さい粒子を備えていてもよい。該粒子は、軸部材10を製造する際に、摺接粒子10bの原材料となる粉体の粒度分布に起因して不可避的に備えられる粒子である。 The shaft member 10 may include, in the inter-particle regions, particles made of the same material as the sliding particles 10b and having a smaller particle diameter than the sliding particles 10b. These particles are particles that are inevitably provided when the shaft member 10 is manufactured due to the particle size distribution of the powder that is the raw material of the sliding contact particles 10b.

〔実施の形態2.摺動部材の製造方法〕
本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、既述の実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
[Embodiment 2. Manufacturing Method of Sliding Member]
A method for manufacturing a sliding member according to one embodiment of the present invention will be described below. For convenience of description, members having the same functions as those of the members described in the above-described embodiments are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

(2-1.第1工程および第2工程)
本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法は、被摺動部材に対して相対的に摺動する摺動部材の製造方法であって、平均粒子径が50μm超500μm以下である硬質粒子を、摺動部材基部の表面に散在するように固定する第1工程と、500℃以下の環境下で、上記硬質粒子を、上記摺動部材基部の表面から上記硬質粒子の先端までの高さが略一定となるように、上記摺動部材基部に圧入させる第2工程と、上記第2工程によって圧入された上記硬質粒子を加工し、上記被摺動部材と摺接する摺接面を形成する面を有する摺接粒子を得る第3工程とを含む。
(2-1. First step and second step)
A method for manufacturing a sliding member according to one embodiment of the present invention is a method for manufacturing a sliding member that slides relative to a member to be slid, and comprises hard particles having an average particle size of more than 50 μm and not more than 500 μm. a first step of fixing the particles so as to be scattered on the surface of the base of the sliding member; a second step of press-fitting into the base portion of the sliding member so that the thickness is substantially constant; and a third step of obtaining a sliding contact particle having a surface that contacts the surface.

上記第1工程では、基体10aの表面に上記硬質粒子を互いに接触しないように載置して、ニッケルメッキ等によって上記表面に上記硬質粒子を固定する方法;樹脂製のシートに、接着剤を上記硬質粒子が互いに接触しない間隔(例えば、φ0.3mmのパターンを0.5mm間隔で配置)で塗布し、接着剤を塗布した箇所に、上記硬質粒子を載置して固定し、得られたシートを基体10aの表面に貼付する方法;等によって、上記硬質粒子を基体10aの表面に散在するように固定する。 In the first step, the hard particles are placed on the surface of the substrate 10a so as not to contact each other, and the hard particles are fixed to the surface by nickel plating or the like; The hard particles are applied at intervals that do not contact each other (for example, patterns of φ0.3 mm are arranged at intervals of 0.5 mm), and the hard particles are placed and fixed on the places where the adhesive is applied, to obtain a sheet. to the surface of the substrate 10a; and the like, the hard particles are fixed so as to be scattered on the surface of the substrate 10a.

図5は、第1工程において基体10aの表面に散在するように固定された硬質粒子10bを、第2工程において、圧入機を用いて基体10aに圧入させる様子を示した模式図である。図5において、101は圧入機の圧入棒(加圧部)であり、104は圧入機の基部である。 FIG. 5 is a schematic diagram showing how the hard particles 10b scattered and fixed on the surface of the substrate 10a in the first step are press-fitted into the substrate 10a in the second step using a press-fitting machine. In FIG. 5, 101 is a press-fitting rod (pressing portion) of the press-fitting machine, and 104 is the base of the press-fitting machine.

図5の(a)に示すように、基体10aの表面の左端に固定された硬質粒子10bを圧入棒101(加圧部)によって基体10aに圧入させると、圧入棒101(加圧部)は基部104に当接するところまで降下し、それ以上は降下しない。そのため、図5の(b)に示すように、硬質粒子10bの先端の位置は、基部104の上面と水平な位置と一致する。 As shown in FIG. 5A, when the hard particles 10b fixed to the left end of the surface of the substrate 10a are press-fitted into the substrate 10a by the press-fitting rod 101 (pressurizing portion), the press-fitting rod 101 (pressurizing portion) It descends until it abuts the base 104 and does not descend any further. Therefore, as shown in FIG. 5(b), the positions of the tips of the hard particles 10b coincide with the positions horizontal to the upper surface of the base 104. As shown in FIG.

次に、圧入棒101(加圧部)を移動させて、図5の(a)の中央の硬質粒子10bを、圧入棒101(加圧部)によって圧入させる。このとき、初めに圧入させた硬質粒子10bの先端は、基部104の上面と揃っているため、初めに圧入させた硬質粒子10bも、基部104と共に、中央の硬質粒子10bを圧入させるためのガイドの役割を果たすことができる。 Next, the press-fit rod 101 (pressurizing portion) is moved to press-fit the central hard particles 10b in FIG. At this time, since the tip of the first pressed hard particle 10b is aligned with the upper surface of the base portion 104, the first pressed hard particle 10b is also a guide for pressing the center hard particle 10b together with the base portion 104. can play the role of

続いて、圧入棒101(加圧部)を移動させて、図5の(a)の右端の硬質粒子10bを、圧入棒101(加圧部)によって圧入させる。このような動作を繰り返すことによって、図5の(b)に示すように、基体10aの表面から硬質粒子10bの先端までの高さを、基体10aの表面から基部104の上面までの高さと一致させることができる。 Subsequently, the press-fit rod 101 (pressurizing portion) is moved to press-fit the hard particles 10b on the right end of FIG. 5(a). By repeating such operations, as shown in FIG. can be made

このように、基体10aの表面から硬質粒子10bの先端までの高さが所望の高さとなるように、基部104の高さを調節し、圧入を行うことによって、硬質粒子を、摺動部材基部の表面から上記硬質粒子の先端までの高さが略一定となるように、上記摺動部材基部に圧入させることができる。 In this manner, the height of the base portion 104 is adjusted so that the height from the surface of the substrate 10a to the tip of the hard particle 10b is a desired height, and the hard particles are pressed into the base portion of the sliding member. can be press-fitted into the base of the sliding member so that the height from the surface of the hard particles to the tips of the hard particles is substantially constant.

上記圧入は、500℃以下の環境下で行う。すなわち、圧入に供する硬質粒子10bおよび基体10aを500℃以下の雰囲気下に置き、上述したように圧入を行う。圧入は、作業性の観点から、300℃以下の環境下で行うことがより好ましく、200℃以下の環境下で行うことがさらに好ましい。 The press-fitting is performed in an environment of 500° C. or lower. That is, the hard particles 10b and the substrate 10a to be press-fitted are placed in an atmosphere of 500° C. or less, and the press-fitting is performed as described above. From the viewpoint of workability, the press-fitting is more preferably performed in an environment of 300° C. or less, and more preferably in an environment of 200° C. or less.

圧入棒101の材質としては、例えばハイスのSKH51等を用いることができる。圧入機は、上記第2工程を行い得るものであれば特に限定されない。後述する実施例では、直動するリニアガイドの上にロータリーインデックスが固定されている圧入機を用いた。 As the material of the press-fit rod 101, for example, SKH51 of high speed steel can be used. The press-fitting machine is not particularly limited as long as it can perform the second step. In Examples described later, a press-fitting machine in which a rotary index is fixed on a linear guide is used.

当該圧入機は、ロータリーインデックスによって基体10aを把持し、圧入棒101を用いて、基体10aの軸方向に一列分、圧入を行った後、上記ロータリーインデックスを微小回転させ、上記リニアガイドによって圧入位置を次の列に移動させ、さらなる圧入を行うことができる。 The press-fitting machine grips the substrate 10a by means of a rotary index, uses the press-fitting rod 101 to press-fit the substrate 10a by one line in the axial direction, then finely rotates the rotary index, and moves the press-fitting position by the linear guide. can be moved to the next row and further press-fits can be made.

ただし、圧入の方法は、以上説明した方法に限られるものではない。例えば、基体10aにおける硬質粒子10bを圧入させたい部位に予め穴を開けておき、当該穴に硬質粒子10bを載置し、固定した後に圧入を行う方法等を挙げることができる。 However, the press-fitting method is not limited to the method described above. For example, there is a method in which a hole is made in advance in a portion of the substrate 10a where the hard particles 10b are to be press-fitted, the hard particles 10b are placed in the hole, and the hard particles 10b are fixed and then press-fitted.

硬度が高い基体10aに大きな硬質粒子10bを圧入させるときは、当該方法を取ることにより、圧入に必要な荷重を低減することができる。上記部位に穴を開ける方法としては、例えば、マシニングセンターによる機械加工、化学エッチング等の方法を挙げることができる。 When the large hard particles 10b are press-fitted into the substrate 10a having high hardness, the load required for press-fitting can be reduced by adopting this method. Examples of the method for forming a hole in the above portion include machining using a machining center, chemical etching, and the like.

(2-2.第3工程)
摺接粒子10bは、硬質粒子の先端部を加工することによって、先端部に、上記面Aが形成されてなる。上記先端部の加工は、前述したように、上記先端部を砥石で研削すること、上記先端部を放電加工すること、等の方法によって行うことができる。
(2-2. Third step)
The sliding contact particle 10b has the surface A formed at the tip portion thereof by processing the tip portion of the hard particle. As described above, the tip portion can be processed by a method such as grinding the tip portion with a whetstone or performing electric discharge machining on the tip portion.

(2-3.圧入機の加圧部と硬質粒子との間に金属膜を挟持して圧入を行う態様)
本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法は、上記第2工程において圧入機を用い、上記圧入機の加圧部と、上記硬質粒子との間に、上記摺動部材基部が備える基体よりも硬い金属膜を挟持して、上記硬質粒子を上記摺動部材基部に圧入させる方法であってもよい。
(2-3. Mode of press-fitting with a metal film sandwiched between the pressurizing part of the press-fitting machine and the hard particles)
In the method for manufacturing a sliding member according to one embodiment of the present invention, a press-fitting machine is used in the second step, and the sliding member base is provided between the pressurizing part of the press-fitting machine and the hard particles. A method in which a metal film harder than the substrate is sandwiched and the hard particles are press-fitted into the base portion of the sliding member may also be used.

図6は、上記金属膜を用いて硬質粒子を基体10aに圧入させた状態を示す模式図である。図6において、102は、基体10aよりも硬い金属膜である。図6に示した圧入棒(加圧部)101と、硬質粒子10bとの間に金属膜102を挟持し、500℃以下の環境下にて硬質粒子10bを基体10aに圧入させると、硬質粒子10bは、金属膜102および基体10aに圧入され、金属膜102に凸部103が生じ、基体10aに凸部14が生じる。 FIG. 6 is a schematic diagram showing a state in which hard particles are press-fitted into the substrate 10a using the metal film. In FIG. 6, 102 is a metal film harder than the substrate 10a. A metal film 102 is sandwiched between the press-fit rod (pressurizing part) 101 shown in FIG. 10b is press-fitted into metal film 102 and base 10a, resulting in protrusion 103 on metal film 102 and protrusion 14 on base 10a.

圧入を進め、図6に示すように、凸部103と凸部14とが接触するまで圧入させると、硬質粒子10bは、凹部13から突出している部分が、凸部14によって囲まれ、基体10aに強固に固定される。 As shown in FIG. 6, when the press-fitting is continued until the protrusions 103 and the protrusions 14 come into contact with each other, the portions of the hard particles 10b protruding from the recesses 13 are surrounded by the protrusions 14, and the substrate 10a firmly fixed to the

金属膜102への硬質粒子10bの圧入深さは、基体10aへの圧入深さよりも浅いため、金属膜102は、硬質粒子10bから容易に剥離することができる。その結果、凹部13から硬質粒子10bの先端までの突出しを有する硬質粒子を基体10aに固定することができる。 Since the depth of pressing hard particles 10b into metal film 102 is shallower than the depth of pressing into substrate 10a, metal film 102 can be easily separated from hard particles 10b. As a result, hard particles having protrusions extending from recesses 13 to the tips of hard particles 10b can be fixed to base 10a.

例えば、硬質粒子10bとして、図6に示すように球状粒子を用いた場合、圧入棒(加圧部)101によって当該粒子を直接圧入させると、圧入棒(加圧部)101と球状粒子とが点接触の状態となるため、当該粒子が割れてしまう場合がある。金属膜102を用いて圧入させることによって、硬質粒子10bが金属膜102にも圧入されるため、面圧が分散される。したがって、上記構成によれば、球状粒子を用いた場合でも、粒子を破損させることなく圧入を行うことができる。 For example, when spherical particles are used as the hard particles 10b as shown in FIG. Since there is a state of point contact, the particles may break. By press-fitting using the metal film 102, the hard particles 10b are also press-fitted into the metal film 102, so that the surface pressure is dispersed. Therefore, according to the above configuration, even when spherical particles are used, it is possible to perform press-fitting without damaging the particles.

(2-4.表面形成部の形成)
本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法は、上記摺動部材基部が、基体と、上記基体の表面に形成された表面形成部とを備えており、上記表面形成部を、上記第2工程の後に、メッキ、溶射または焼成によって形成する方法であってもよい。
(2-4. Formation of surface formation portion)
In a method of manufacturing a sliding member according to an embodiment of the present invention, the sliding member base includes a substrate and a surface forming portion formed on the surface of the substrate, and the surface forming portion A method of forming by plating, thermal spraying, or firing after the second step may be used.

上記表面形成部は、例えば、図1~図4に示したメッキ層10cである。上記表面形成部をメッキによって形成する方法としては、例えば、上記第2工程を経た上記摺動部材基部に対し、電解法によりニッケル系メッキ液中で通電する方法を挙げることができる。 The surface forming portion is, for example, the plated layer 10c shown in FIGS. As a method of forming the surface forming portion by plating, for example, a method of electrifying the sliding member base portion that has undergone the second step in a nickel-based plating solution by an electrolysis method can be used.

上記溶射としては、例えば、上記第2工程を経た上記摺動部材基部に対し、アルミナ系の物質を溶射すること、サーメットを溶射することを挙げることができる。 Examples of the thermal spraying include thermal spraying of an alumina-based material and thermal spraying of a cermet onto the base portion of the sliding member that has undergone the second step.

また、上記焼成としては、例えば、上記第2工程を経た上記摺動部材基部に対してアルミニウムアルコキシドを塗布し、塗布後のアルミニウムアルコキシドを焼成することにより、上記摺動部材基部にアルミニウムアルコキシドの皮膜を形成することを挙げることができる。 As for the baking, for example, aluminum alkoxide is applied to the sliding member base that has undergone the second step, and the aluminum alkoxide after application is baked to form a film of aluminum alkoxide on the sliding member base. can be mentioned.

また、上記メッキ液を用いて形成したメッキ層と、セラミックスコートとを共に表面形成部として用いることも可能である。この場合、例えば、上記第2工程を経た上記摺動部材基部に対し、電解法によりニッケル系メッキ液中で通電を行い、当該通電の終了後、さらにアルミナ系の物質等の溶射を行うことにより、上記表面形成部を形成することができる。 It is also possible to use both the plated layer formed using the plating solution and the ceramic coat as the surface forming portion. In this case, for example, the sliding member base that has undergone the second step is energized in a nickel-based plating solution by an electrolytic method, and after the energization is completed, an alumina-based material or the like is thermally sprayed. , the surface formation portion can be formed.

(2-5.基体の硬さに応じた摺動部材の製造方法)
本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法は、上記摺動部材基部が、硬さがHv200kg/mm以下である基体を備えていることが好ましい。基体10aの硬さがHv200kg/mm以下であれば、第2工程において、上記硬質粒子を容易に圧入させることができる。圧入の方法としては、例えば、上述した圧入機を用いる方法を挙げることができる。
(2-5. Manufacturing method of sliding member according to hardness of substrate)
In the method for manufacturing a sliding member according to one embodiment of the present invention, the sliding member base preferably includes a substrate having a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less. If the hardness of the substrate 10a is Hv 200 kg/mm 2 or less, the hard particles can be easily press-fitted in the second step. As a method of press-fitting, for example, a method using the press-fitting machine described above can be mentioned.

上述したように、基体10aの硬さがHv200kg/mm以下である場合、スラリー粒子による基体10aの摩耗を防止するため、基体10aの表面に、硬さがHv400kg/mm以上であるメッキ層10c(表面形成部)を設けることが好ましい。メッキ層10cは、硬質粒子を基体10aに圧入させた後に作製すればよい。 As described above, when the hardness of the substrate 10a is Hv 200 kg/mm 2 or less, a plating layer having a hardness of Hv 400 kg/mm 2 or more is formed on the surface of the substrate 10a in order to prevent abrasion of the substrate 10a by the slurry particles. It is preferable to provide 10c (surface formation portion). The plated layer 10c may be formed after pressing the hard particles into the substrate 10a.

本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法は、上記摺動部材基部が、硬さがHv200kg/mm超である基体を備えており、上記第1工程が、上記硬質粒子を嵌入可能な凹部を、上記基体の表面に散在するように形成し、上記凹部に、硬さがHv200kg/mm以下である金属膜を形成し、上記硬質粒子を、上記金属膜に固定する工程であってもよい。 In the method for manufacturing a sliding member according to one embodiment of the present invention, the sliding member base includes a substrate having a hardness of more than Hv 200 kg/mm 2 , and the first step includes inserting the hard particles. A step of forming possible recesses so as to be scattered on the surface of the substrate, forming a metal film having a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less in the recesses, and fixing the hard particles to the metal film. There may be.

図7は、軸部材10の軸方向に垂直な断面を示す断面概略図であり、硬質粒子10bを嵌入可能な凹部13aに形成した金属膜10eに、硬質粒子10bを固定した状態の一例を示す。なお、図7には、一粒子分のみの上記状態を示している。凹部13aも、摺動部材基部10dの凹部である。 FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a cross section perpendicular to the axial direction of the shaft member 10, showing an example of a state in which hard particles 10b are fixed to metal films 10e formed in recesses 13a into which hard particles 10b can be inserted. . Note that FIG. 7 shows the above state for only one particle. The concave portion 13a is also a concave portion of the sliding member base portion 10d.

摺動部材基部10dが、硬さがHv200kg/mm超である基体10aを備える場合、その硬さゆえに、硬質粒子10bを基体10aの表面に直接圧入させることは困難である。 When the sliding member base portion 10d includes the base body 10a having a hardness of more than Hv 200 kg/mm 2 , it is difficult to press the hard particles 10b directly into the surface of the base body 10a due to the hardness.

上記構成によれば、硬さがHv200kg/mm以下である金属膜10eに硬質粒子10bを圧入させるため、基体10aに圧入させる場合と比べ、格段に小さな労力で圧入を行うことができる。したがって、基体10aが硬い場合でも、本発明の一実施形態に係る摺動部材を容易に製造することができる。 According to the above configuration, since the hard particles 10b are press-fitted into the metal film 10e having a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less, the press-fitting can be performed with much less labor than the case of press-fitting into the base 10a. Therefore, even when the base 10a is hard, the sliding member according to the embodiment of the present invention can be easily manufactured.

「硬質粒子を嵌入可能な凹部」とは、硬質粒子を嵌入させたとき、硬質粒子の一部分が、表面の少なくとも一部分と接触することができる形状の凹部をいう。例えば、硬質粒子が多面体粒子である場合、硬質粒子の一つの面を凹部の底面に載置可能である矩形状の凹部(例えば図7に示す凹部13aの形状);硬質粒子が球状粒子である場合、凹部の表面が上記球状粒子の表面と面接触する半球状の凹部等を挙げることができる。 The term “recesses into which hard particles can be inserted” refers to recesses having a shape that allows a portion of the hard particles to come into contact with at least a portion of the surface when the hard particles are inserted. For example, when the hard particles are polyhedral particles, a rectangular recess in which one surface of the hard particle can be placed on the bottom surface of the recess (for example, the shape of the recess 13a shown in FIG. 7); the hard particles are spherical particles. In this case, the surface of the recess may be in surface contact with the surface of the spherical particles.

図7に示すように、凹部13aは、凹部13aに形成された金属膜10eに圧入された硬質粒子10bが、凹部13aから突出している部分を確保できるように形成される。凹部13aは、例えば、硬質粒子10bの平均粒子径よりも大きな孔径を有する。 As shown in FIG. 7, the recess 13a is formed so that the hard particles 10b press-fitted into the metal film 10e formed in the recess 13a can secure a portion protruding from the recess 13a. The recesses 13a have, for example, a pore diameter larger than the average particle diameter of the hard particles 10b.

なお、硬質粒子10bの平均粒子径よりも大きい粒子径を有する硬質粒子の中には、凹部13aに嵌入できないものもあり得るが、形成した凹部13aに嵌入することができる硬質粒子を用いれば足りる。凹部13aを形成する労力および金属膜10eの使用量を低減する観点から、上記孔径は、用いる硬質粒子10bの平均粒子径に比して大きすぎないことが好ましい。 Among the hard particles having a particle diameter larger than the average particle diameter of the hard particles 10b, there may be those that cannot fit into the recesses 13a, but it is sufficient to use hard particles that can fit into the formed recesses 13a. . From the viewpoint of reducing the labor for forming the recesses 13a and the amount of the metal film 10e used, the pore size is preferably not too large compared to the average particle size of the hard particles 10b used.

凹部13aを形成する方法としては、例えば、マシニングセンターによる機械加工、化学エッチング等の方法を挙げることができる。また、金属膜10eの材質としては、例えば、ニッケルメッキ等を挙げることができる。 Examples of methods for forming the recesses 13a include machining using a machining center and chemical etching. Further, examples of the material of the metal film 10e include nickel plating.

金属膜10eの形成方法としては、例えば電気メッキ、無電解メッキ等の方法を挙げることができる。金属膜10eの厚みは、上述したように、金属膜10eに圧入された硬質粒子10bが、凹部13aから突出している部分を確保できる厚みであればよい。硬質粒子10bを金属膜10eに圧入させる方法としては、例えば、上述した圧入機を用いた方法を用いることができる。 Examples of methods for forming the metal film 10e include electroplating and electroless plating. As described above, the metal film 10e may have a thickness that allows the hard particles 10b press-fitted into the metal film 10e to secure a portion protruding from the concave portion 13a. As a method of press-fitting the hard particles 10b into the metal film 10e, for example, a method using the press-fitting machine described above can be used.

硬質粒子10bが凹部13aに埋め込まれる深さは、硬質粒子10bの平均粒子径の50%以上、70%以下であることが好ましい。 The depth at which the hard particles 10b are embedded in the recesses 13a is preferably 50% or more and 70% or less of the average particle diameter of the hard particles 10b.

「硬質粒子10bが凹部13aに埋め込まれる深さ」とは、基体10aの凹部13aの起点から、金属膜10eに嵌入している硬質粒子10bの最深部に垂線を下したときの当該垂線の長さ(例えば、図7におけるH6)をいう。 "The depth at which the hard particles 10b are embedded in the recesses 13a" is the length of a perpendicular line drawn from the starting point of the recesses 13a of the substrate 10a to the deepest part of the hard particles 10b that are embedded in the metal film 10e. (for example, H6 in FIG. 7).

金属膜10eは硬さがHv200kg/mm以下であるため、硬質粒子10bを金属膜10eに圧入させた後、さらにメッキ層10c(表面形成部)を設けることが好ましい。メッキ層10c(表面形成部)の硬さは、上述したように、Hv400kg/mm以上であることが好ましい。上記表面形成部は、前述した方法によって形成することができる。 Since the metal film 10e has a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less, it is preferable to form the plated layer 10c (surface forming portion) after pressing the hard particles 10b into the metal film 10e. The hardness of the plated layer 10c (surface forming portion) is preferably Hv 400 kg/mm 2 or more, as described above. The surface forming portion can be formed by the method described above.

本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法は、硬さがHv200kg/mm超である基体を備えており、上記第1工程が、上記基体の表面に、硬さがHv200kg/mm以下である金属膜を、上記基体の表面に散在するようにパターニングし、上記硬質粒子を上記金属膜に固定する工程であってもよい。 A method for manufacturing a sliding member according to an embodiment of the present invention includes a substrate having a hardness of more than Hv200 kg/mm 2 , and the first step comprises: 2 or less, and patterning the metal film so as to be scattered on the surface of the substrate, and fixing the hard particles to the metal film.

図8は、軸部材10の軸方向に垂直な断面を示す断面概略図であり、基体10aの表面にパターニングした金属膜10fに、硬質粒子10bを固定した状態の一例を示す。なお、図8には、一粒子分のみの上記状態を示している。 FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a cross section perpendicular to the axial direction of the shaft member 10, showing an example of a state in which the hard particles 10b are fixed to the metal film 10f patterned on the surface of the substrate 10a. Note that FIG. 8 shows the above state for only one particle.

摺動部材基部10dが、硬さがHv200kg/mm超である基体10aを備える場合、その硬さゆえに、硬質粒子10bを基体10aの表面に直接圧入させることは困難である。 When the sliding member base portion 10d includes the base body 10a having a hardness of more than Hv 200 kg/mm 2 , it is difficult to press the hard particles 10b directly into the surface of the base body 10a due to the hardness.

上記構成によれば、硬さがHv200kg/mm以下である金属膜10fに硬質粒子10bを圧入させるため、基体10aに圧入させる場合と比べ、格段に小さな労力で圧入を行うことができる。したがって、基体10aが硬い場合でも、本発明の一実施形態に係る摺動部材を容易に製造することができる。 According to the above configuration, since the hard particles 10b are press-fitted into the metal film 10f having a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less, the press-fitting can be performed with much less labor than the case of press-fitting into the base 10a. Therefore, even when the base 10a is hard, the sliding member according to the embodiment of the present invention can be easily manufactured.

上記パターニングは、硬質粒子10bの一部分と接触可能な表面を有し、かつ、硬質粒子10bの一部分を圧入させることが可能な表面積および厚みを有する金属膜10fを、金属膜10f同士が互いに接触しないように基体10aの表面に形成することをいう。 The patterning is performed to form a metal film 10f that has a surface area that allows contact with a portion of the hard particles 10b and that has a surface area and a thickness that allows a portion of the hard particles 10b to be pressed into the metal films 10f. It means to form on the surface of the substrate 10a as shown in FIG.

金属膜10fの材質としては、例えば、ニッケルメッキ等を挙げることができる。また、金属膜10fを基体10aの表面に形成する方法としては、例えば電気メッキ、無電解メッキ等の方法を挙げることができる。 Examples of the material of the metal film 10f include nickel plating. Methods of forming the metal film 10f on the surface of the substrate 10a include, for example, electroplating and electroless plating.

金属膜10fは、厚くなりすぎると軸部材10全体の厚みが大きくなるため、硬質粒子10bを圧入させるために用いる厚みに20~30μmを加えた厚みであることが好ましい。硬質粒子10bを金属膜10fに圧入させる方法としては、例えば、上述した圧入機を用いた方法を用いることができる。 If the metal film 10f is too thick, the thickness of the entire shaft member 10 is increased. As a method for press-fitting the hard particles 10b into the metal film 10f, for example, a method using the press-fitting machine described above can be used.

硬質粒子10bが金属膜10fに埋め込まれる深さは、硬質粒子10bの平均粒子径の50%以上、80%以下であることが好ましい。 The depth at which the hard particles 10b are embedded in the metal film 10f is preferably 50% or more and 80% or less of the average particle diameter of the hard particles 10b.

「硬質粒子10bが金属膜10fに埋め込まれる深さ」とは、金属膜10fの水平部19から、金属膜10fに嵌入している硬質粒子10bの最深部に垂線を下したときの当該垂線の長さ(例えば、図8におけるH7)をいう。図8において、13bは、金属膜10fに形成された凹部である。この場合、金属膜10fも摺動部材基部10dを構成するため、凹部13bも、摺動部材基部10dの凹部に該当する。 "The depth at which the hard particles 10b are embedded in the metal film 10f" refers to the depth of a vertical line drawn from the horizontal portion 19 of the metal film 10f to the deepest portion of the hard particles 10b embedded in the metal film 10f. Refers to the length (for example, H7 in FIG. 8). In FIG. 8, 13b is a recess formed in the metal film 10f. In this case, since the metal film 10f also constitutes the sliding member base portion 10d, the concave portion 13b also corresponds to the concave portion of the sliding member base portion 10d.

金属膜10fは硬さがHv200kg/mm以下であるため、硬質粒子10bを金属膜10fに圧入させた後、さらにメッキ層10c(表面形成部)を設けることが好ましい。メッキ層10c(表面形成部)の硬さは、上述したように、Hv400kg/mm以上であることが好ましい。上記表面形成部は、前述した方法によって形成することができる。 Since the metal film 10f has a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less, it is preferable to further provide the plated layer 10c (surface forming portion) after pressing the hard particles 10b into the metal film 10f. The hardness of the plated layer 10c (surface forming portion) is preferably Hv 400 kg/mm 2 or more, as described above. The surface forming portion can be formed by the method described above.

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be modified in various ways within the scope of the claims, and can be obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. is also included in the technical scope of the present invention.

本発明について、実施例および比較例に基づいてより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。 The present invention will be described in more detail based on Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these.

〔製造例1〕
粒子径の範囲が302~541μmであるダイヤモンド粒子を硬質粒子として用い、上記面Aを作製するために要する上記硬質粒子の研削量の相違を、本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法を用いた場合と、従来の製造方法を用いた場合とで比較した。
[Production Example 1]
Diamond particles with a particle size range of 302 to 541 μm are used as hard particles, and the difference in the amount of grinding of the hard particles required to produce the surface A is determined in the manufacture of the sliding member according to one embodiment of the present invention. A comparison was made between the case of using the method and the case of using the conventional manufacturing method.

266.9mm×97mmLの、透明な厚み0.2mmのPETフィルムに、0.6mmピッチで、φ0.4mmのパターンで接着剤(セメダイン(登録商標)スーパーX)を塗布した。 An adhesive (Cemedine (registered trademark) Super X) was applied to a transparent PET film having a size of 266.9 mm×97 mm and a thickness of 0.2 mm in a pattern of φ0.4 mm at a pitch of 0.6 mm.

上記接着剤を塗布した部分に、メッシュサイズ35/50、平均粒子径が421.5μmであるダイヤモンド粒子(カスタムダイヤ製。以下、「粒子(1)」と称する)を塗布し、1時間後、未接着粒子を除去した。 Diamond particles having a mesh size of 35/50 and an average particle diameter of 421.5 μm (manufactured by Custom Diamond, hereinafter referred to as “particles (1)”) were applied to the portion to which the adhesive had been applied, and after 1 hour, Unattached particles were removed.

上記粒子(1)は多面体粒子である硬質粒子であり、14面体形状を含んでいる。次に、上記樹脂シートをφ85mm×97mmLの基体(SUS304製)に、上記接着剤によって接着固定した。上記粒子(1)の粒子径の範囲等を表1に示す。 The particles (1) are hard particles that are polyhedral particles and contain a tetradecahedral shape. Next, the above resin sheet was adhered and fixed to a substrate (made of SUS304) of φ85 mm×97 mmL with the above adhesive. Table 1 shows the particle size range and the like of the particles (1).

Figure 0007339154000001
Figure 0007339154000001

続いて、圧入棒(ハイス、SKH51製、HRC60)を備えた圧入機を用い、25℃の環境下で、上記粒子(1)1個当たりに50~60kgの荷重を負荷し、上記基体の表面から粒子(1)の先端までの高さ(突出し高さ)が100μmとなるように、粒子(1)を上記基体に圧入(冷間圧入)させた。 Subsequently, using a press-fitting machine equipped with a press-fitting rod (high speed steel, SKH51, HRC60), a load of 50 to 60 kg is applied per particle (1) in an environment of 25 ° C., and the surface of the substrate is Particles (1) were press-fitted (cold press-fit) into the substrate so that the height (protrusion height) from the tip of Particles (1) to the tip of Particles (1) was 100 μm.

上記圧入機は、直動するリニアガイドの上にロータリーインデックスが固定されている。上記ロータリーインデックスによって上記基体を把持し、圧入棒を用いて、軸方向に一列分、圧入を行った。 The press-fitting machine has a rotary index fixed on a linear guide. The substrate was gripped by the rotary index, and a press-fitting rod was used to perform press-fitting for one row in the axial direction.

次に、上記ロータリーインデックスを微小回転させ、上記リニアガイドで圧入位置を0.6mm移動させ、さらなる圧入を行った。以下、同じ動作を繰り返すことにより、上記基体に固定した粒子(1)全てを同じ条件で圧入させた。これにより、上記基体には、図2に示す凸部14に該当する凸部が形成された。 Next, the rotary index was slightly rotated to move the press-fitting position by 0.6 mm with the linear guide, and further press-fitting was performed. Thereafter, by repeating the same operation, all the particles (1) fixed to the substrate were press-fitted under the same conditions. As a result, protrusions corresponding to the protrusions 14 shown in FIG. 2 were formed on the substrate.

圧入完了後、上記基体の表面から粒子(1)の先端までの高さ(突出し高さ)は約100μmであった。なお、上記基体の表面は、図2の水平部16に該当する。 After the completion of press-fitting, the height (protrusion height) from the surface of the substrate to the tip of the particle (1) was about 100 μm. The surface of the substrate corresponds to the horizontal portion 16 in FIG.

続いて、上記基体にニッケル-リンメッキを行った。メッキ完了後、形成されたメッキ層の表面から粒子(1)の先端までの高さ(突出し高さ)は80μmであった。これにより、上記基体には、図2に示す凸部15に該当する凸部が形成された。なお、上記メッキ層の表面は、図2の水平部16’に該当する。 Subsequently, the substrate was plated with nickel-phosphorus. After completion of plating, the height (protrusion height) from the surface of the plated layer formed to the tip of the particle (1) was 80 μm. As a result, protrusions corresponding to the protrusions 15 shown in FIG. 2 were formed on the substrate. The surface of the plated layer corresponds to the horizontal portion 16' in FIG.

次に、円筒研削盤を用いて、上記基体の外周に沿って、粒子(1)の先端部を研削し、上記面Aを作製した。研削量は42μmであった。上記メッキ層の表面から上記面Aまでの高さ(突出し高さ)は、38μmであった。当該突出し高さは、図2のH3に該当する。 Next, using a cylindrical grinder, the tip portion of the particle (1) was ground along the outer periphery of the substrate to prepare the surface A. The grinding amount was 42 μm. The height (projection height) from the surface of the plated layer to the surface A was 38 μm. The protrusion height corresponds to H3 in FIG.

〔製造例2〕
上記研削量を63μmとしたこと以外は、製造例1と同様にして、上記面Aを有する粒子(1)を得た。
[Production Example 2]
Particles (1) having the surface A were obtained in the same manner as in Production Example 1, except that the amount of grinding was 63 μm.

〔比較製造例1〕
266.9mm×97mmL、厚み0.2mmのSUS304製のシートに、塩化鉄エッチングを用いて、0.6mmピッチで、φ0.4mmの穴を開けた。Φ85mmx97mmLの基体(SUS304製)の外周に上記シートを巻き、その穴に製造例1と同じ接着剤を充填した後、上記シートを取り除いた。
[Comparative Production Example 1]
A SUS304 sheet of 266.9 mm×97 mmL and a thickness of 0.2 mm was subjected to iron chloride etching to form holes of φ0.4 mm at a pitch of 0.6 mm. The above sheet was wrapped around the outer circumference of a substrate (made of SUS304) of Φ85 mm×97 mmL, and the same adhesive as in Production Example 1 was filled in the holes, and then the above sheet was removed.

上記基体に、製造例1で用いた粒子(1)を塗布し、1時間後、未接着粒子を除去した。続いて、上記基体にニッケル-リンメッキを行った。メッキ完了後、形成されたメッキ層の表面から粒子(1)の先端までの高さ(突出し高さ)は80μmであった。 The particles (1) used in Production Example 1 were applied to the substrate, and after 1 hour, unbonded particles were removed. Subsequently, the substrate was plated with nickel-phosphorus. After completion of plating, the height (protrusion height) from the surface of the formed plating layer to the tip of the particle (1) was 80 μm.

次に、円筒研削盤を用いて、上記基体の外周に沿って、粒子(1)の先端部を研削し、上記面Aを作製した。研削量は42μmであった。上記メッキ層の表面から上記面Aまでの高さ(突出し高さ)は、38μmであった。 Next, using a cylindrical grinder, the tip portion of the particle (1) was ground along the outer periphery of the substrate to prepare the surface A. The grinding amount was 42 μm. The height (projection height) from the surface of the plated layer to the surface A was 38 μm.

〔比較製造例2〕
上記研削量を63μmとしたこと以外は、比較製造例1と同様にして、上記面Aを有する粒子(1)を得た。
[Comparative Production Example 2]
Particles (1) having the face A were obtained in the same manner as in Comparative Production Example 1, except that the grinding amount was 63 μm.

〔実施例1、2および比較例1、2〕
製造例1、2および比較製造例1、2で製造した摺動部材について、以下の方法により、摺接粒子1個当たりの平均研削面積、摺接粒子1個当たりの平均研削量を算出した。
[Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2]
For the sliding members manufactured in Production Examples 1 and 2 and Comparative Production Examples 1 and 2, the average grinding area per sliding contact particle and the average grinding amount per sliding contact particle were calculated by the following methods.

(1.摺接粒子1個当たりの平均研削面積の算出)
上記摺動部材の100mm×50mmの面から均等に8カ所、単位表面(1mm×1mm)を設定し、レーザー顕微鏡(製品名:VK-9700、キーエンス社製)を使い、各単位表面中の研削された摺動面積の総和と粒子個数とを調べた。それらの数値をもとに粒子(1)1個当たりの平均研削面積を算出した。
(1. Calculation of Average Grinding Area per Sliding Particle)
Eight unit surfaces (1 mm × 1 mm) are set evenly from the 100 mm × 50 mm surface of the above sliding member, and a laser microscope (product name: VK-9700, manufactured by Keyence Corporation) is used to grind each unit surface. The total sliding area and the number of particles were investigated. Based on these numerical values, the average grinding area per particle (1) was calculated.

上記「研削された摺動面積」は、上記面Aの面積に該当する。つまり、上記「平均研削面積」は、各単位表面中に存在する摺接粒子が有する上記面Aの面積の平均値に該当する。 The "ground sliding area" corresponds to the area of the surface A described above. In other words, the above-mentioned "average grinding area" corresponds to the average value of the areas of the surfaces A of the sliding particles present in each unit surface.

(2.研削量の評価)
製造例1、2および比較製造例1、2で製造した摺動部材の100mm×50mmの面について、硫酸を用いた化学エッチングにより固定層(メッキ層)であるニッケルを溶解し、粒子(1)を捕集した。
(2. Evaluation of grinding amount)
The surfaces of 100 mm×50 mm of the sliding members produced in Production Examples 1 and 2 and Comparative Production Examples 1 and 2 were chemically etched with sulfuric acid to dissolve nickel as the fixing layer (plating layer), and particles (1) were obtained. were collected.

次に、研削前の粒子(1)と研削後の粒子(1)との質量差から、研削によって減じた体積を算出した。さらに、上記レーザー顕微鏡によって測定された単位面積当たりの粒子(1)の個数を用い、粒子(1)1個当たりの平均研削量を算出した。 Next, the volume reduced by grinding was calculated from the difference in mass between the particles (1) before grinding and the particles (1) after grinding. Furthermore, using the number of particles (1) per unit area measured by the laser microscope, the average grinding amount per particle (1) was calculated.

上記1.で算出された粒子(1)1個当たりの平均研削面積、および上記2.で算出された粒子(1)1個当たりの平均研削量を表2に示す。なお、表中の「研削量(%)」とは、各製造例における研削量の、粒子(1)の平均粒子径に対する割合である。例えば、製造例1であれば、研削量が42μm、粒子(1)の平均粒子径が421.5μmであるから、上記「研削量(%)」は、42/421.5≒10%となる。 1 above. The average grinding area per particle (1) calculated in 2 above, and the above 2. Table 2 shows the average grinding amount per particle (1) calculated in . The "amount of grinding (%)" in the table is the ratio of the amount of grinding in each production example to the average particle diameter of the particles (1). For example, in Production Example 1, the grinding amount is 42 μm and the average particle diameter of the particles (1) is 421.5 μm, so the “grinding amount (%)” is 42/421.5≈10%. .

Figure 0007339154000002
Figure 0007339154000002

製造例1および製造例2の製造方法は、本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法であり、製造された摺動部材は、本発明の一実施形態に係る摺動部材である。実施例1と比較例1、実施例2と比較例2とを比べると、上記研削量(%)が同じであっても、粒子(1)1個当たりの平均研削面積および粒子(1)1個当たりの平均研削量は、実施例の方が大幅に小さい。 The manufacturing methods of Manufacturing Example 1 and Manufacturing Example 2 are methods of manufacturing a sliding member according to an embodiment of the present invention, and the manufactured sliding member is a sliding member according to an embodiment of the present invention. . Comparing Example 1 and Comparative Example 1, and Example 2 and Comparative Example 2, even if the above-mentioned grinding amount (%) is the same, the average grinding area per particle (1) and the average grinding area per particle (1) 1 The average grinding amount per piece is significantly smaller in the example.

比較例1,2では、比較製造例1、2に示す方法を取っているため、図10に示すように、硬質粒子の下端部もしくは下面は段差なく揃い、先端部は段差がある状態で硬質粒子が基体に固定される。一方、実施例1,2では、製造例1,2に示す本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法を取っているため、図5に示すように、硬質粒子の先端部が揃った状態で硬質粒子が基体に固定される。 In Comparative Examples 1 and 2, since the method shown in Comparative Production Examples 1 and 2 is employed, as shown in FIG. Particles are fixed to the substrate. On the other hand, in Examples 1 and 2, since the method of manufacturing the sliding member according to the embodiment of the present invention shown in Production Examples 1 and 2 is adopted, the tips of the hard particles are aligned as shown in FIG. The hard particles are fixed to the substrate in this state.

表2に示す結果の差異は、この製造方法の相違に基づくと言える。すなわち、本発明の一実施形態に係る摺動部材の製造方法は、硬質粒子の粒子径の範囲に左右されず、加工量を抑制して、摺接面を容易に形成することができると言える。 It can be said that the difference in the results shown in Table 2 is based on this difference in production method. That is, it can be said that the method for manufacturing a sliding member according to an embodiment of the present invention can easily form a sliding contact surface while suppressing the amount of processing without being affected by the range of the particle size of the hard particles. .

〔実施例3~5および比較例3〕
本実施例および比較例では、摺接粒子の固定方法と、摺動部材基部における摺接粒子の保持力との関係について検討した。
[Examples 3 to 5 and Comparative Example 3]
In this example and a comparative example, the relationship between the fixing method of the particles in sliding contact and the holding force of the particles in sliding contact at the base of the sliding member was examined.

φ10mm×50mmLの基体(SUS304製)の端部における表面に、粒子径が400μmのダイヤモンド粒子(カスタムダイヤ製)を1個載置し、SKH51製(HRC60)の圧入棒で、上記基体の表面から上記ダイヤモンド粒子の先端までの高さ(突出し高さ)が80μmとなるように圧入した(実施例3)。 One diamond particle (manufactured by Custom Diamond) having a particle diameter of 400 μm is placed on the surface at the end of a φ10 mm×50 mmL substrate (made of SUS304), and a press-fit rod made of SKH51 (HRC60) is pressed from the surface of the substrate. The diamond particles were press-fitted so that the height to the tip (protrusion height) was 80 μm (Example 3).

これにより、上記基体には、図2に示す凸部14に該当する凸部が形成された。なお、上記基体の表面は、図2の水平部16に該当する。 As a result, protrusions corresponding to the protrusions 14 shown in FIG. 2 were formed on the substrate. The surface of the substrate corresponds to the horizontal portion 16 in FIG.

上記基体の表面から上記ダイヤモンド粒子の先端までの高さ(突出し高さ)が100μmとなるように圧入したこと以外は、実施例3と同様の方法によって、上記ダイヤモンド粒子を上記基体の端部における表面に圧入した。圧入後、Ni-Pメッキを施工した(実施例4)。 The diamond particles were placed at the ends of the substrate in the same manner as in Example 3, except that the height (protrusion height) from the surface of the substrate to the tip of the diamond particles was 100 μm. pressed into the surface. After press-fitting, Ni--P plating was applied (Example 4).

メッキ完了後、形成されたメッキ層の表面から上記ダイヤモンド粒子の先端までの高さ(突出し高さ)は80μmであった。 After completion of plating, the height (protrusion height) from the surface of the formed plating layer to the tip of the diamond grain was 80 μm.

これにより、上記基体には、図2に示す凸部15に該当する凸部が形成された。なお、上記メッキ層の表面は、図2の水平部16’に該当する。 As a result, protrusions corresponding to the protrusions 15 shown in FIG. 2 were formed on the substrate. The surface of the plated layer corresponds to the horizontal portion 16' in FIG.

また、別途、φ10mm×50mmLの基体(SUS304製)の端部における表面に、実施例3で用いたのと同じダイヤモンド粒子を1個載置し、SKD11製(HRC42)の圧入棒を用いて、上記基体の表面から上記ダイヤモンド粒子の先端までの高さ(突出し高さ)が80μmとなるように圧入した(実施例5)。上記基体の表面は、図2の水平部16に該当する。 Separately, on the surface at the end of a φ10 mm × 50 mmL substrate (made of SUS304), one diamond particle the same as that used in Example 3 was placed, and a press-fitting rod made of SKD11 (HRC42) was used to The height (protrusion height) from the surface of the substrate to the tip of the diamond grain was press-fitted to 80 μm (Example 5). The surface of the substrate corresponds to the horizontal portion 16 in FIG.

このとき、上記ダイヤモンド粒子は上記圧入棒にも少し圧入された。その結果、上記基体には、図2に示す凸部14のように凸部が生じ、上記ダイヤモンド粒子がかしめられ、上記基体に固定された。 At this time, the diamond particles were also slightly pressed into the press-fitting rod. As a result, protrusions such as protrusions 14 shown in FIG. 2 were formed on the substrate, and the diamond particles were crimped and fixed to the substrate.

さらに、別途、φ10mm×50mmLの基体(SUS304製)の端部における表面に、実施例3で用いたのと同じダイヤモンド粒子を1個載置した。次に、上記基体の表面から上記ダイヤモンド粒子の先端までの高さ(突出し高さ)が80μmとなるようにNiメッキ及びNi-Pメッキを施し、圧入を行わずに、上記ダイヤモンド粒子を上記基体に固定した(比較例3)。 Separately, one diamond particle, which was the same as that used in Example 3, was placed on the surface of the edge of a substrate (made of SUS304) of φ10 mm×50 mm. Next, Ni plating and Ni—P plating are applied so that the height from the surface of the substrate to the tip of the diamond particle (projection height) is 80 μm, and the diamond particles are removed from the substrate without press-fitting. (Comparative Example 3).

次に、上記基体の外周に沿って、上記各ダイヤモンド粒子の先端部を研削した。比研削材は超硬G2として、研削速度85mm/minで研削を実施した。各基体について、ダイヤモンド粒子が脱落したときの研削抵抗を、砥石に組み込んだひずみゲージで測定し、得られた値を上記保持力とした。 Next, the tip of each diamond grain was ground along the outer periphery of the substrate. Grinding was carried out at a grinding speed of 85 mm/min using cemented carbide G2 as a specific abrasive. For each substrate, the grinding resistance when the diamond particles fell off was measured with a strain gauge incorporated in the grindstone, and the obtained value was defined as the holding force.

実施例3で測定された研削抵抗を1としたとき、各ダイヤモンド粒子の研削抵抗は以下のとおりであった。 Taking the grinding resistance measured in Example 3 as 1, the grinding resistance of each diamond particle was as follows.

Figure 0007339154000003
Figure 0007339154000003

表3に示すように、圧入を行わない比較例3では、摺動部材基部における硬質粒子の保持力は低く、上記面Aを作製しにくいことが明らかとなった。つまり、本発明の一実施形態に係る製造方法によれば、硬質粒子を基体に強固に保持することができ、安定的に上記面Aを作製することができる。その結果、被摺動部材との安定な摺接が可能な摺接面を形成可能な摺動部材を提供することができる。 As shown in Table 3, in Comparative Example 3 in which press-fitting was not performed, the holding force of the hard particles at the base of the sliding member was low, making it difficult to produce the surface A described above. That is, according to the manufacturing method according to one embodiment of the present invention, the hard particles can be firmly held on the substrate, and the surface A can be stably manufactured. As a result, it is possible to provide a sliding member capable of forming a sliding contact surface that allows stable sliding contact with a member to be slid.

本発明は、無水状態での先行運転、土砂等を含むスラリーの気液混合状態での排水等の、軸・軸受構造にとって過酷な条件での運転を行う先行待機運転ポンプに特に好適に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is particularly suitable for a pre-standby operation pump that operates under severe conditions for the shaft/bearing structure, such as pre-operation in an anhydrous state and drainage of slurry containing earth and sand in a gas-liquid mixed state. be able to.

1A・・・・軸・軸受構造
10・・・・軸部材(摺動部材)
10a・・・基体
10b・・・摺接粒子または硬質粒子
10c・・・メッキ層(表面形成部)
10d・・・摺動部材基部
11・・・・軸受部材(被摺動部材)
12・・・・摺接面
13、13a、13b・・・摺動部材基部の凹部
14、15・・・摺動部材基部の凸部
16、16’・・・摺動部材基部の水平部
17、18・・・摺動部材基部の凸部と摺接粒子との間の空間
19・・・・金属膜の水平部
101・・・圧入棒
102・・・基体よりも硬い金属膜
H1、H3・・・摺動部材基部の水平部から摺接粒子の先端までの高さ
H2、H4・・・摺動部材基部の水平部から摺動部材基部の凸部の先端までの高さ
1A Shaft/bearing structure 10 Shaft member (sliding member)
10a... Substrate 10b... Particles in sliding contact or hard particles 10c... Plating layer (surface forming part)
10d Sliding member base 11 Bearing member (member to be slid)
REFERENCE SIGNS LIST 12 Sliding contact surface 13, 13a, 13b Concave portion of sliding member base 14, 15 Convex portion of sliding member base 16, 16′ Horizontal portion of sliding member base 17 , 18... Space between convex portion of sliding member base and sliding contact particles 19... Horizontal portion of metal film 101... Press-fit rod 102... Metal film harder than substrate H1, H3 ... Height from the horizontal part of the sliding member base to the tip of the sliding particle H2, H4 ... Height from the horizontal part of the sliding member base to the tip of the convex part of the sliding member base

Claims (12)

被摺動部材に対して相対的に摺動する摺動部材であって、
摺動部材基部と、
上記摺動部材基部の表面に散在して固定されており、かつ、平均粒子径が50μm超500μm以下である硬質粒子の先端部が、上記被摺動部材と摺接する摺接面を形成する面を有している摺接粒子と、を備え、
上記摺動部材基部の表面は、上記摺接粒子の一部分を埋め込み可能に形成されてなる凹部と、上記凹部の周囲に、上記凹部を囲むように形成されてなる凸部とを有し、
上記摺接粒子は、上記凹部に埋め込まれている部分と、上記凹部から突出している部分とを有し、上記凹部から突出している部分の周囲には上記凸部が形成されており
上記摺動部材基部の表面は、上記凹部および上記凸部以外の部分であって、略水平な面を形成する水平部を有し、上記水平部から上記摺接粒子の先端までの高さは、上記水平部から上記凸部の先端までの高さよりも高い、
摺動部材。
A sliding member that slides relatively to a member to be slid,
a sliding member base;
A surface where tips of hard particles, which are scattered and fixed on the surface of the sliding member base and have an average particle diameter of more than 50 μm and 500 μm or less, form a sliding contact surface that makes sliding contact with the member to be slid. a sliding particle having
The surface of the base of the sliding member has a concave portion formed so that a portion of the sliding contact particles can be embedded therein, and a convex portion formed around the concave portion so as to surround the concave portion,
The sliding particles have a portion embedded in the concave portion and a portion protruding from the concave portion, and the convex portion is formed around the portion protruding from the concave portion,
The surface of the sliding member base portion has a horizontal portion that forms a substantially horizontal surface and is a portion other than the concave portion and the convex portion, and the height from the horizontal portion to the tip of the sliding particle is , higher than the height from the horizontal part to the tip of the convex part,
sliding member.
上記凸部の先端が、上記摺接粒子から離間しており、上記凸部の先端と、上記摺接粒子との間に空間を有する、請求項1に記載の摺動部材。 2. The sliding member according to claim 1 , wherein the tip of the projection is separated from the sliding particle, and a space is provided between the tip of the projection and the sliding particle. 上記凸部の先端が、略水平な面を有する、請求項1に記載の摺動部材。 2. The sliding member according to claim 1 , wherein the tip of the projection has a substantially horizontal surface. 上記摺動部材基部が、基体と、上記基体の表面に形成された表面形成部とを備えている、請求項1からのいずれか1項に記載の摺動部材。 4. The sliding member according to any one of claims 1 to 3 , wherein the sliding member base comprises a substrate and a surface forming portion formed on the surface of the substrate. 上記基体は、硬さがHv200kg/mm以下であり、上記表面形成部の硬さがHv400kg/mm以上である、請求項に記載の摺動部材。 The sliding member according to claim 4 , wherein the substrate has a hardness of Hv200 kg/ mm2 or less, and the surface forming portion has a hardness of Hv400 kg/mm2 or more . 上記硬質粒子は、硬さが珪砂の硬さ以上であり、かつ、圧縮強度が200kg/mm以上である、請求項1からのいずれか1項に記載の摺動部材。 The sliding member according to any one of claims 1 to 5 , wherein the hard particles have a hardness equal to or higher than that of silica sand and a compressive strength of 200 kg/mm2 or higher. 上記硬質粒子は、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、窒化ケイ素、アルミナ、および、WCとW2Cとの複合材からなる群より選ばれる1種以上である、請求項1からのいずれか1項に記載の摺動部材。 7. The hard particles according to any one of claims 1 to 6 , wherein the hard particles are one or more selected from the group consisting of diamond, cubic boron nitride, silicon nitride, alumina, and composites of WC and WC. sliding member. 被摺動部材に対して相対的に摺動する摺動部材の製造方法であって、
平均粒子径が50μm超500μm以下である硬質粒子を、摺動部材基部の表面に散在するように固定する第1工程と、
500℃以下の環境下で、上記硬質粒子を、上記摺動部材基部の表面から上記硬質粒子の先端までの高さが略一定となるように、上記摺動部材基部に圧入させる第2工程と、
上記第2工程によって圧入された上記硬質粒子を加工し、上記被摺動部材と摺接する摺接面を形成する面を有する摺接粒子を得る第3工程とを含
上記第2工程において圧入機を用い、上記圧入機の加圧部と、上記硬質粒子との間に、上記摺動部材基部が備える基体よりも硬い金属膜を挟持して、上記硬質粒子を上記摺動部材基部に圧入させる、
摺動部材の製造方法。
A method for manufacturing a sliding member that slides relative to a member to be slid,
a first step of fixing hard particles having an average particle size of more than 50 μm and not more than 500 μm so as to be dispersed on the surface of the base of the sliding member;
a second step of press-fitting the hard particles into the sliding member base in an environment of 500° C. or less so that the height from the surface of the sliding member base to the tip of the hard particles is substantially constant; ,
a third step of processing the hard particles press-fitted in the second step to obtain slidable particles having surfaces forming slidable surfaces in slidable contact with the member to be slid;
In the second step, a press-fitting machine is used, and a metal film harder than the substrate included in the sliding member base is sandwiched between the pressurizing part of the press-fitting machine and the hard particles, and the hard particles are placed in the above-described manner. press fit into the base of the sliding member;
A method for manufacturing a sliding member.
上記摺動部材基部が、基体と、上記基体の表面に形成された表面形成部とを備えており、
上記表面形成部を、上記第2工程の後に、メッキ、溶射または焼成によって形成する、請求項8に記載の摺動部材の製造方法。
The sliding member base includes a base and a surface forming portion formed on the surface of the base,
9. The method of manufacturing a sliding member according to claim 8 , wherein the surface forming portion is formed by plating, thermal spraying or firing after the second step.
上記摺動部材基部が、硬さがHv200kg/mm以下である基体を備えている、請求項8または9に記載の摺動部材の製造方法。 10. The method of manufacturing a sliding member according to claim 8 , wherein the sliding member base includes a substrate having a hardness of Hv 200 kg/mm <2> or less. 上記摺動部材基部が、硬さがHv200kg/mm超である基体を備えており、上記第1工程が、上記硬質粒子を嵌入可能な凹部を、上記基体の表面に散在するように形成し、上記凹部に、硬さがHv200kg/mm以下である金属膜を形成し、上記硬質粒子を、上記金属膜に固定する工程である、請求項8または9に記載の摺動部材の製造方法。 The sliding member base includes a substrate having a hardness of more than Hv 200 kg/mm 2 , and the first step forms recesses into which the hard particles can be inserted so as to be scattered on the surface of the substrate. and forming a metal film having a hardness of Hv 200 kg /mm 2 or less on the recess, and fixing the hard particles to the metal film. . 上記摺動部材基部が、硬さがHv200kg/mm超である基体を備えており、上記第1工程が、上記基体の表面に、硬さがHv200kg/mm以下である金属膜を、上記基体の表面に散在するようにパターニングし、上記硬質粒子を、上記金属膜に固定する工程である、請求項8または9に記載の摺動部材の製造方法。 The sliding member base includes a substrate having a hardness of more than Hv200 kg/mm 2 , and the first step includes forming a metal film having a hardness of Hv 200 kg/mm 2 or less on the surface of the substrate. 10. The method of manufacturing a sliding member according to claim 8 , wherein the step of patterning so as to be scattered on the surface of the substrate and fixing the hard particles to the metal film.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016211727A (en) 2015-03-31 2016-12-15 株式会社クボタ Slide member
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004332110A (en) 2003-04-18 2004-11-25 Komatsu Ltd High-bearing-pressure-resistant sliding material
JP2016211727A (en) 2015-03-31 2016-12-15 株式会社クボタ Slide member
JP2018105364A (en) 2016-12-23 2018-07-05 株式会社クボタ Shaft/bearing structure and standby operation pump

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