JP7333954B2 - 継手構造及び継手構造の組み付け方法 - Google Patents

Description

本発明は、継手構造及び継手構造の組み付け方法に関する。

特許文献１には、外周に雄ねじが形成される第１継手部材と、雄ねじに螺合するナット部材と、ナット部材に挿入される第２継手部材と、第１継手部材と第２継手部材との間に設けられるガスケットと、ガスケットを保持するリテーナと、を備える継手構造が開示されている。

特開２０１８－１７３８１号公報

しかしながら、特許文献１に記載の継手構造では、第１継手部材の突き合わせ端面及び第２継手部材の突き合わせ端面に過剰締め付け防止用環状突起が設けられるため、第１継手部材及び第２継手部材の構造が複雑になってしまう。

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、継手部材の簡素化を図りながらガスケットへの過剰締め付けを防止することができる継手構造及び継手構造の組み付け方法を提供することを目的とする。

本発明のある態様によれば、内周に第１流体流路が形成されるとともに外周に雄ねじが形成される第１継手部材と、前記雄ねじに螺合する雌ねじを有するナット部材と、内周に第２流体流路が形成され、端部が前記ナット部材内に係止される第２継手部材と、前記第１継手部材の突き合わせ端面と前記第２継手部材の突き合わせ端面との間に介装されるガスケットと、前記第１継手部材又は前記第２継手部材の外周側に取り付けられ、前記ガスケットを保持するリテーナと、を備え、前記第１継手部材の突き合わせ端面には、前記リテーナが当接する第１当接領域と、前記第１当接領域よりも内側に位置するとともに前記ガスケットの一方の端面に押し付けられる第１突起と、が設けられ、前記第２継手部材の突き合わせ端面には、前記リテーナが当接可能な第２当接領域と、前記第２当接領域よりも内側に位置するとともに前記ガスケットの他方の端面に押し付けられる第２突起と、が設けられ、前記リテーナは、前記第１当接領域と前記第２当接領域との間に挟持される継手構造が提供される。

本発明の態様によれば、継手部材の簡素化を図りながらガスケットへの過剰締め付けを防止することができる。

本発明の実施形態に係る継手構造を示す断面図である。 リテーナを示す斜視図である。 リテーナを示す正面図である。 リテーナを示す背面図である。 継手構造を組み付ける継手構造の組み付け方法を示すフローチャートである。

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、本実施形態と称する。）について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。

まず、図１から図２Ｃを参照しながら本実施形態に係る継手構造１について説明する。

図１は、本実施形態に係る継手構造１を示す断面図である。なお、図１では、第１継手部材２及び第２継手部材４の一部を省略している。図２Ａは、リテーナ７を示す斜視図である。図２Ｂは、リテーナ７を示す正面図である。図２Ｃは、リテーナ７を示す背面図である。また、図中において、継手構造１の軸方向を単に軸方向、継手構造１の径方向を単に径方向と称する。

本実施形態に係る継手構造１は、例えば、流体としてのプロセスガス又はパージガスを供給するために流体供給ユニットに用いられる。流体供給ユニット（図示しない）は、半導体製造装置（ＣＶＤ装置、スパッタリング装置、エッチング装置等）におけるプロセスガス及びパージガスの供給手段に用いられる。

図１に示すように、継手構造１は、第１継手部材２、ナット部材３、第２継手部材４、ベアリング５、ガスケット６及びリテーナ７を備える。

第１継手部材２は、プロセスガス又はパージガスを半導体製造装置へ供給するための金属製の管部材であり、略筒状（具体的には、略円筒状）に形成される。第１継手部材２は、内周に形成される第１流体流路２１と、外周の一部に形成される保持部としての段差部２２と、外周の他の一部に形成される雄ねじ２３と、を有する。

第１流体流路２１は、その一端が第１継手部材２の突き合わせ端面２４で開口する。第１流体流路２１を通じてプロセスガス又はパージガスが半導体製造装置へ供給される。

段差部２２は、筒状（具体的には、円筒状）に形成され、リテーナ７の後述する被保持部７１を保持するための保持部である。段差部２２は、第１継手部材２の外周において突き合わせ端面２４から軸方向に延在する。雄ねじ２３は、ナット部材３の後述する雌ねじ３３に螺合するための雄ねじである。雄ねじ２３は、段差部２２と干渉しないように形成される。

ガスケット６の一方の端面に対向する第１継手部材２の環状（具体的には円環状）の突き合わせ端面２４には、第１当接領域２５及び第１突起２６が設けられる。第１突起２６は、第１当接領域２５よりも径方向の内側に位置する。

第１当接領域２５は、リテーナ７の後述する第１挟持部７２に当接するための平坦面である。第１当接領域２５は、突き合わせ端面２４の外周縁に環状（具体的には、円環状）に形成される。

第１突起２６は、ガスケット６の一方の端面に押し付けられる。第１突起２６は、突き合わせ端面２４から突出するように環状（具体的には、円環状）に形成される。また、第１突起２６は、その先端に向かうに従って先細りに形成される。

ナット部材３は、第１継手部材２の端部及び第２継手部材４の端部を収容するための金属製の袋ナットである。ナット部材３は、略有底筒状（具体的には、略有底円筒状）に形成される。ナット部材３の底面部３１には、底面部３１を貫通する貫通孔３２が形成される。貫通孔３２には第２継手部材４が挿通される。ナット部材３の先端側の内周には、第１継手部材２の雄ねじ２３に螺合する雌ねじ３３が形成される。

第２継手部材４は、第１継手部材２と同様に、プロセスガス又はパージガスを半導体製造装置へ供給するための金属製の管部材であり、略筒状（具体的には、略円筒状）に形成される。第２継手部材４は、その端部がナット部材３に係止される。なお、第１継手部材２と第２継手部材４とは、同軸に配置される。第２継手部材４は、内周に形成される第２流体流路４１と、端部の外周に設けられるフランジ４２と、を有する。

第２流体流路４１は、その一端が第２継手部材４の突き合わせ端面４３で開口する。第２流体流路４１を通じてプロセスガス又はパージガスが半導体製造装置へ供給される。なお、第１流体流路２１と第２流体流路４１とを同径に形成することが好ましい。

本実施形態では、フランジ４２とナット部材３の底面部３１との間には、共回り防止用のベアリング５が設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、ベアリング５を設けなくてもよい。

第１継手部材２と同様に、ガスケット６の他方の端面に対向する第２継手部材４における環状（具体的には円環状）の突き合わせ端面４３には、第２当接領域４４及び第２突起４５が設けられる。第２突起４５は、第２当接領域４４よりも径方向の内側に位置する。

第２当接領域４４は、リテーナ７の後述する第２挟持部７３に当接するための平坦面である。第２当接領域４４は、第１当接領域２５と同様に、突き合わせ端面４３の外周縁に環状（具体的には、円環状）に形成される。

第２突起４５は、ガスケット６の一方の端面に押し付けられる。第２突起４５は、第１突起２６と同様に、突き合わせ端面４３から突出するように環状（具体的には、円環状）に形成される。また、第２突起４５は、その先端に向かうに従って先細りに形成される。

第１突起２６は、その突出量（すなわち、第１当接領域２５から第１突起２６の先端までの距離）が第２突起４５の突出量（すなわち、第２当接領域４４から第２突起４５の先端までの距離）と一致する。また、第１突起２６の先端と第２突起４５の先端とは、同一円周上に形成される。

ガスケット６は、第１継手部材２の突き合わせ端面２４と第２継手部材４の突き合わせ端面４３との間に介装される環状（具体的には円環状）のシール材である。ガスケット６は、単一の外径を有する。これにより、ガスケット６の簡素化を図ることができる。

また、ガスケット６は、形状記憶合金から構成される。これにより、継手構造１のガスケット６として使用されたガスケット６に対し加熱等の工程を行うことにより、このガスケット６の形状を元に戻すことができるので、ガスケット６を使い捨てることなく、繰り返して再利用することができる。このため、ガスケット６の再利用による継手構造１の低コスト化を図ることができる。

図１から図２Ｃに示すように、リテーナ７は、第１継手部材２の段差部２２に取り付けられ、ガスケット６を保持するための保持部材である。なお、リテーナ７、第１継手部材２及び第２継手部材４は、同じ金属製の材質から構成される。さらに、リテーナ７、第１継手部材２及び第２継手部材４の硬度は、ガスケット６の硬度よりも高い。

リテーナ７は、第１継手部材２における第１当接領域２５及び第２継手部材４における第２当接領域４４に当接する。そして、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、ガスケット６を保持したリテーナ７は、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間に挟持される。これにより、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランス（すなわち、第１継手部材２の突き合わせ端面２４と第２継手部材４の突き合わせ端面４３との間のクリアランス）は、ガスケット６及びリテーナ７の存在により保たれるので、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。

リテーナ７は、第１継手部材２の外周面（具体的には、段差部２２）に保持される被保持部７１と、第１当接領域２５とガスケット６の一方の端面における外縁とに当接する第１挟持部７２と、第２当接領域４４とガスケット６の他方の端面における外縁とに当接する第２挟持部７３と、第１挟持部７２と第２挟持部７３とを接続する接続部７４と、を有する。なお、ガスケット６は、第１挟持部７２と第２挟持部７３との間に挟持される。

被保持部７１は、同一円周上に異なる間隔を空けて形成される複数（ここでは、三つ）の被保持爪７１ａ，７１ｂ，７１ｃから構成される。複数の被保持爪７１ａ，７１ｂ，７１ｃは、略軸方向に延在して形成される。また、複数の被保持爪７１ａ，７１ｂ，７１ｃの基端は、それぞれ、第１挟持部７２の後述する複数（ここでは、三つ）のベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃに接続される。

第１挟持部７２は、同一円周上に異なる間隔を空けて形成される複数の挟持爪としてのベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃから構成される。ベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃは、径方向に延在して形成される。また、ベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃは、それぞれ被保持爪７１ａ，７１ｂ，７１ｃの基端に接続される第１折曲部７２１ａ，７２１ｂ，７２１ｃと、第１折曲部７２１ａ，７２１ｂ，７２１ｃと径方向に重なるように第１折曲部７２１ａ，７２１ｂ，７２１ｃに接続される第２折曲部７２２ａ，７２２ｂ，７２２ｃと、を有する。

第１折曲部７２１ａ，７２１ｂ，７２１ｃは第１当接領域２５に当接するとともに、第２折曲部７２２ａ，７２２ｂ，７２２ｃはガスケット６の一方の端面における外縁に当接する。なお、ベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃは、その厚み（すなわち第１折曲部７２１ａ，７２１ｂ，７２１ｃ及び第２折曲部７２２ａ，７２２ｂ，７２２ｃの厚みの合計）が第１突起２６の突出量よりも僅かに小さい。

接続部７４は、ナット部材３の雌ねじ３３と接触しないようにガスケット６の外周面と雌ねじ３３との間に位置する。これにより、接続部７４の熱膨張による雌ねじ３３への食い込みを防止することができる。

接続部７４は、同一円周上に異なる間隔を空けて形成される複数（ここでは、三つ）の接続片７４ａ，７４ｂ，７４ｃから構成される。接続片７４ａ，７４ｂ，７４ｃは、軸方向に延在して形成される。接続片７４ａ，７４ｂ，７４ｃの内側には、ガスケット６が収容される。また、接続片７４ａ，７４ｂ，７４ｃは、それぞれベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃと第２挟持部７３とを接続する。

そして、被保持爪７１ａ，７１ｂ，７１ｃ、ベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃ及び接続片７４ａ，７４ｂ，７４ｃは、それぞれ同一円周上に異なる間隔を空けて形成される略矩形状の板片７５ａ，７５ｂ，７５ｃを複数回折り曲げて構成される。これにより、被保持爪７１ａ，７１ｂ，７１ｃ、ベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃ及び接続片７４ａ，７４ｂ，７４ｃを板片７５ａ，７５ｂ，７５ｃにより容易に形成することができる。また、被保持爪７１ａ，７１ｂ，７１ｃ、ベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃ及び接続片７４ａ，７４ｂ，７４ｃの数は、板片７５ａ，７５ｂ，７５ｃの数と同じである。

隣接する板片７５ａ，７５ｂ間の間隔は、隣接する板片７５ａ，７５ｃ間の間隔及び隣接する板片７５ｂ，７５ｃ間の間隔よりも大きい。これにより、隣接する板片７５ａ，７５ｃ間の間隔からガスケット６を径方向に沿って第１挟持部７２と第２挟持部７３との間に圧入させることができる。

第２挟持部７３は、接続片７４ａ，７４ｂ，７４ｃ（すなわち、板片７５ａ，７５ｂ，７５ｃの基端）に接続されるベース７３１と、ベース７３１と径方向に重なるようにベース７３１に接続される増厚部７３２と、を有する。なお、第２挟持部７３は、その厚み（すなわち、ベース７３１及び増厚部７３２の厚みの合計）が第１挟持部７２の厚みと一致し、第２突起４５の突出量よりも僅かに小さい。

これにより、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５からガスケット６の一方の端面までの距離と、第２当接領域４４からガスケット６の他方の端面までの距離とを同一にすることができる。さらに、上述したように、第１突起２６の突出量と第２突起４５の突出量とが一致するので、ガスケット６の一方の端面への第１突起２６の食い込み量（すなわち、第１突起２６の突出量と第１挟持部７２の厚みとの差分）と、ガスケット６の他方の端面への第２突起４５の食い込み量（すなわち、第２突起４５の突出量と第２挟持部７３の厚みとの差分）とを同一にすることができる。

ベース７３１は、環状（具体的には、円環状）に構成され、ガスケット６の他方の端面における外縁に当接する。ベース７３１の一方の端面における外周縁には、複数の接続片７４ａ，７４ｂ，７４ｃが接続される。一方、ベース７３１の他方の端面における内周縁には、複数の増厚片７３２ａ，７３２ｂ，７３２ｃが接続される。

増厚部７３２は、第２当接領域４４に当接する。また、増厚部７３２は、同一円周上に異なる間隔を空けて形成される複数（ここでは、三つ）の増厚片７３２ａ，７３２ｂ，７３２ｃをそれぞれ径方向に折り曲げて構成される。なお、複数の増厚片７３２ａ，７３２ｂ，７３２ｃは、それぞれ複数の板片７５ａ，７５ｂ，７５ｃの位置に対応して設けられる。

また、本実施形態では、第２挟持部７３は、ベース７３１及び増厚部７３２の両方から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、増厚部７３２を有することなく、ベース７３１のみから構成されてもよい。この場合、ベース７３１は、その厚みが本実施形態の第１挟持部７２の厚みの合計となるように形成される。

ガスケット６は、第１挟持部７２と第２挟持部７３との間に挟持されるようにリテーナ７により保持される。これにより、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランスは、ガスケット６、第１挟持部７２及び第２挟持部７３により保たれるので、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。

次に、図３を参照しながら継手構造１を組み付ける継手構造１の組み付け方法について説明する。

図３は、継手構造１を組み付ける継手構造１の組み付け方法を示すフローチャートである。

図３に示すように、まず、工程Ｓ１において、ガスケット６をリテーナ７に保持させる。具体的には、工程Ｓ１において、隣接する板片７５ａ，７５ｃ間の間隔からガスケット６を径方向に沿って第１挟持部７２と第２挟持部７３との間に圧入させることにより、ガスケット６をリテーナ７に保持させる。なお、このとき、ガスケット６は、第１挟持部７２と第２挟持部７３との間に挟持される。

次に、工程Ｓ２において、ガスケット６が保持されたリテーナ７を第１継手部材２の外周面（具体的には、段差部２２）に取り付ける。具体的には、工程Ｓ２において、リテーナ７の被保持部７１を第１継手部材２の段差部２２に対し摺動させて外嵌する。

次に、工程Ｓ３において、第２継手部材４をナット部材３に挿入する。具体的には、工程Ｓ３において、ベアリング５を第２継手部材４の外周面に取り付けた状態で、第２継手部材４をナット部材３の貫通孔３２に貫通させるようにナット部材３に挿入する。このとき、ベアリング５は、ナット部材３の底面部３１と第２継手部材４のフランジ４２との間に位置する。

次に、工程Ｓ４において、リテーナ７が第１当接領域２５と第２当接領域４４との間に挟持されるとともにナット部材３に挿入された第２継手部材４の端部が係止されるようにリテーナ７が取り付けられた第１継手部材２にナット部材３をねじ込む。

具体的には、工程Ｓ４において、第１継手部材２にナット部材３をねじ込むと、第１継手部材２の第１当接領域２５と第２継手部材４の第２当接領域４４との間のクリアランスが小さくなる。そして、リテーナ７の第１挟持部７２が第１当接領域２５とガスケット６の一方の端面における外縁とに当接するとともにリテーナ７の第２挟持部７３が第２当接領域４４とガスケット６の他方の端面における外縁とに当接すると、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランスが保たれる。したがって、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。

本実施形態では、継手構造１の組み付け方法は、工程Ｓ１、工程Ｓ２及び工程Ｓ３の順に行われているが、これに限定されるものではなく、例えば、工程Ｓ１、工程Ｓ３及び工程Ｓ２の順に行われてもよい。又は工程Ｓ３、工程Ｓ１及び工程Ｓ２の順に行われてもよい。

次に、本実施形態による作用効果について説明する。

本実施形態に係る継手構造１は、内周に第１流体流路２１が形成されるとともに外周に雄ねじ２３が形成される第１継手部材２と、雄ねじ２３に螺合する雌ねじ３３を有するナット部材３と、内周に第２流体流路４１が形成され、端部がナット部材３内に係止される第２継手部材４と、第１継手部材２の突き合わせ端面２４と第２継手部材４の突き合わせ端面４３との間に介装されるガスケット６と、第１継手部材２の外周側に取り付けられ、ガスケット６を保持するリテーナ７と、を備える。第１継手部材２の突き合わせ端面２４には、リテーナ７が当接する第１当接領域２５と、第１当接領域２５よりも内側に位置するとともにガスケット６の一方の端面に押し付けられる第１突起２６と、が設けられ、第２継手部材４の突き合わせ端面４３には、リテーナ７が当接する第２当接領域４４と、第２当接領域４４よりも内側に位置するとともにガスケット６の他方の端面に押し付けられる第２突起４５と、が設けられ、リテーナ７は、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間に挟持される。

本実施形態に係る継手構造１の組み付け方法は、ガスケット６をリテーナ７に保持させる工程Ｓ１と、ガスケット６が保持されたリテーナ７を第１継手部材２の外周側に取り付ける工程Ｓ２と、第２継手部材４をナット部材３に挿入する工程Ｓ３と、リテーナ７が第１当接領域２５と第２当接領域４４との間に挟持されるとともにナット部材３に挿入された第２継手部材４の端部が係止されるように第１継手部材２にナット部材３をねじ込む工程Ｓ４と、を備える。

これらの構成によれば、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランスは、ガスケット６及びリテーナ７の存在により保たれるので、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。

また、リテーナ７は、第１当接領域２５及び第２当接領域４４に当接するので、第１継手部材２の突き合わせ端面２４及び第２継手部材４の突き合わせ端面４３に過剰締め付け防止用の突起を別途設ける必要がない。このため、第１継手部材２及び第２継手部材４の簡素化を図ることができる。

また、本実施形態では、リテーナ７は、第１当接領域２５とガスケット６の一方の端面における外縁とが当接する第１挟持部７２と、第２当接領域４４とガスケット６の他方の端面における外縁とが当接する第２挟持部７３と、ガスケット６が収容され、第１挟持部７２と第２挟持部７３とを接続する接続部７４と、を有する。ガスケット６は、第１挟持部７２と第２挟持部７３との間に挟持される

この構成によれば、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランスは、第１挟持部７２、第２挟持部７３及び第１挟持部７２と第２挟持部７３との間に挟持されるガスケット６により保たれるので、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。また、接続部７４は、第１挟持部７２と第２挟持部７３とを接続するので、第１挟持部７２、第２挟持部７３及び接続部７４を有するリテーナ７を一体形成することができる。この結果、継手構造１の組み付けを容易に行うことができる。

また、本実施形態では、接続部７４は、ナット部材３の雌ねじ３３と接触しないようにガスケット６と雌ねじ３３との間に位置する。

この構成によれば、接続部７４の熱膨張による雌ねじ３３への食い込みを防止することができる。

また、本実施形態では、ガスケット６は、形状記憶合金から構成される。

この構成によれば、ガスケット６への過剰締め付けによるガスケット６の潰れ（破壊）を防止することができるので、ガスケット６の形状記憶機能を維持することができる。

以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

（変形例）
上述した実施形態では、リテーナ７の被保持部７１は、第１継手部材２の外周面に取り付けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、第２継手部材４の外周面に取り付けられてもよい。この場合、ナット部材３の雌ねじ３３は、上述した実施形態よりもナット部材３の底面部３１側に形成される。

また、上述した実施形態では、第１挟持部７２は、複数のベローズ７２ａ，７２ｂ，７２ｃから構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、環状に形成されるベースと、ベースと径方向に重なるようにベースに接続される増厚部とから構成されてもよい。この場合、ベースの一方の端面には被保持部７１が接続されるとともに、ベースの他方の端面には増厚部が接続される。また、第２挟持部７３は、複数のベローズから構成される。

また、上述した実施形態では、隣接する板片７５ａ，７５ｂ間の間隔は、隣接する板片７５ａ，７５ｃ間の間隔及び隣接する板片７５ｂ，７５ｃ間の間隔よりも大きく形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、隣接する板片７５ａ，７５ｃ間の間隔及び隣接する板片７５ｂ，７５ｃ間の間隔と一致するように形成されてもよい。すなわち、板片７５ａ，７５ｂ，７５ｃは、同一円周上に等間隔を空けて形成される。この場合、ガスケット６を径方向に沿って第１挟持部７２と第２挟持部７３との間に圧入させるのではなく、軸方向に沿って第１挟持部７２と第２挟持部７３との間に圧入させる必要がある。

また、上述した実施形態では、第１突起２６の突出量及び第１挟持部７２の厚みは、それぞれ第２突起４５の突出量及び第２挟持部７３の厚みと一致しているが、これに限定されるものではなく、例えば、それぞれ第２突起４５の突出量及び第２挟持部７３の厚みと異なってもよい。この場合、ガスケット６の一方の端面への第１突起２６の食い込み量（すなわち、第１突起２６の突出量と第１挟持部７２の厚みとの差分）と、ガスケット６の他方の端面への第２突起４５の食い込み量（すなわち、第２突起４５の突出量と第２挟持部７３の厚みとの差分）とが一致すれば足りる。

１ 継手構造
２ 第１継手部材
３ ナット部材
４ 第２継手部材
６ ガスケット
７ リテーナ
２１ 第１流体流路
２２ 凹部（保持部）
２３ 雄ねじ
２４ 突き合わせ端面（第１継手部材側）
２５ 第１当接領域
２６ 第１突起
３３ 雌ねじ
４１ 第２流体流路
４３ 突き合わせ端面（第２継手部材側）
４４ 第２当接領域
４５ 第２突起
７１ 被保持部
７２ 第１挟持部
７３ 第２挟持部
７４ 接続部

Claims (4)

1. 内周に第１流体流路が形成されるとともに外周に雄ねじが形成される第１継手部材と、
   前記雄ねじに螺合する雌ねじを有するナット部材と、
   内周に第２流体流路が形成され、端部が前記ナット部材内に係止される第２継手部材と、
   前記第１継手部材の突き合わせ端面と前記第２継手部材の突き合わせ端面との間に介装されるガスケットと、
   前記第１継手部材又は前記第２継手部材の外周側に取り付けられ、前記ガスケットを保持するリテーナと、を備え、
   前記第１継手部材の突き合わせ端面には、前記リテーナが当接する第１当接領域と、前記第１当接領域よりも内側に位置するとともに前記ガスケットの一方の端面に押し付けられる第１突起と、が設けられ、
   前記第２継手部材の突き合わせ端面には、前記リテーナが当接可能な第２当接領域と、前記第２当接領域よりも内側に位置するとともに前記ガスケットの他方の端面に押し付けられる第２突起と、が設けられ、
   前記リテーナは、前記第１当接領域と前記第２当接領域との間に挟持され、
   前記リテーナは、
   前記第１当接領域と前記ガスケットが当接する第１挟持部と、
   前記第２当接領域と前記ガスケットが当接する第２挟持部と、
   前記ガスケットが収容され、前記第１挟持部と前記第２挟持部とを接続する接続部と、を有し、
   前記ガスケットは、前記第１挟持部と前記第２挟持部との間に挟持される、
   継手構造。
2. 前記接続部は、前記ナット部材の前記雌ねじと接触しないように前記ガスケットと前記雌ねじとの間に位置する、
   請求項１に記載の継手構造。
3. 前記ガスケットは、形状記憶合金から構成される、
   請求項１又は２に記載の継手構造。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の継手構造を組み付ける継手構造の組み付け方法であって、
   前記ガスケットを前記リテーナに保持させる工程と、
   前記ガスケットが保持された前記リテーナを前記第１継手部材又は前記第２継手部材の外周側に取り付ける工程と、
   前記第２継手部材を前記ナット部材に挿入する工程と、
   前記リテーナが前記第１当接領域と前記第２当接領域との間に挟持されるとともに前記ナット部材に挿入された前記第２継手部材の端部が係止されるように前記第１継手部材に前記ナット部材をねじ込む工程と、を備える、
   継手構造の組み付け方法。

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