JP7324299B2 - Plating solution, plating set, manufacturing method of conductive substrate - Google Patents

Plating solution, plating set, manufacturing method of conductive substrate Download PDF

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Description

本発明は、めっき液、めっきセット、および、導電性基板の製造方法に関する。 The present invention relates to a plating solution, a plating set, and a method for manufacturing a conductive substrate.

導電性細線(導電性を示す細線状の配線)を有する導電性基板は、タッチパネル、太陽電池、および、EL(エレクトロルミネッセンス)素子などの種々の用途に幅広く利用されている。特に、近年、携帯電話および携帯ゲーム機器へのタッチパネルの搭載率が上昇しており、多点検出が可能な静電容量方式のタッチパネル用の導電性基板の需要が急速に拡大している。 BACKGROUND ART Conductive substrates having conductive thin wires (thin wire-like wiring showing conductivity) are widely used in various applications such as touch panels, solar cells, and EL (electroluminescence) elements. In particular, in recent years, the mounting rate of touch panels on mobile phones and mobile game devices has been increasing, and the demand for conductive substrates for capacitive touch panels capable of multi-point detection is rapidly increasing.

導電性細線を製造する方法として、めっき法が挙げられる。特許文献1においては、銀イオンと、アミノカルボン酸化合物とを含むめっき液が開示されている。 A plating method is mentioned as a method of manufacturing a conductive fine wire. Patent Document 1 discloses a plating solution containing silver ions and an aminocarboxylic acid compound.

特開2005-042166号公報JP 2005-042166 A

一方で、近年、導電性細線の細線化が進んでおり、導電性細線間のスペース幅もより狭く設計される場合が増えている。
本発明者らは、特許文献1に記載のめっき液を用いて、上記のような導電性細線間のスペース幅が狭い導電性パターンを形成しようとすると、導電性細線の導電性は優れるものの、導電性細線間での短絡が生じやすいことを知見した。
On the other hand, in recent years, the thinning of conductive thin wires has progressed, and the space width between conductive thin wires is also being designed to be narrower in an increasing number of cases.
The inventors of the present invention use the plating solution described in Patent Document 1 to form a conductive pattern having a narrow space width between the conductive fine lines as described above. Although the conductive fine lines have excellent conductivity, It was found that short circuits tend to occur between conductive thin wires.

本発明は、上記実情に鑑みて、優れた導電性を示す導電性細線を形成でき、かつ、形成される導電性細線間(特に、間隔が30μm以下の導電性細線間)での短絡の発生を抑制できる、めっき液を提供することを課題とする。
また、本発明は、めっきセット、および、導電性基板の製造方法を提供することも課題とする。
In view of the above-mentioned circumstances, the present invention is capable of forming conductive thin wires exhibiting excellent conductivity and causing short circuits between formed conductive thin wires (especially between conductive thin wires with an interval of 30 μm or less). An object of the present invention is to provide a plating solution capable of suppressing the
Another object of the present invention is to provide a plating set and a method for manufacturing a conductive substrate.

本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。 As a result of intensive studies on the above problem, the inventors have found that the above problem can be solved by the following configuration.

(1) 銀塩と、カルボキシル基またはその塩を有するポリマーと、水と、を含む、めっき液であって、
カルボキシル基またはその塩を有するポリマーの含有量が、めっき液全質量に対して、5.0質量%以下である、めっき液。
(2) カルボキシル基またはその塩を有するポリマーの重量平均分子量が2000~1000000である、(1)に記載のめっき液。
(3) カルボキシル基またはその塩を有するポリマーの重量平均分子量が2000~500000である、(1)または(2)に記載のめっき液。
(4) カルボキシル基またはその塩を有するポリマーの質量に対する、銀塩の銀換算質量の比が0.10~5.0である、(1)~(3)のいずれかに記載のめっき液。
(5) さらに、還元剤を含む、(1)~(4)のいずれかに記載のめっき液。
(6) (1)~(4)のいずれかに記載のめっき液と、還元剤を含む還元液とからなるめっきセット。
(7) 支持体上に、細線状の銀含有層を形成する工程と、
細線状の銀含有層に対して、(1)~(5)のいずれかに記載のめっき液、または、(6)に記載のめっきセットを用いて、めっき処理を施して、導電性細線を形成する工程と、を有する導電性基板の製造方法。
(8) 複数の導電性細線が互いに平行に配置され、
隣り合う導電性細線間の間隔が30μm以下である領域がある、(7)に記載の導電性基板の製造方法。
(9) 導電性細線によってメッシュパターンが形成されており、
導電性細線の線幅が0.5μm以上4.0μm未満である、(7)に記載の導電性基板の製造方法。
(1) A plating solution containing a silver salt, a polymer having a carboxyl group or a salt thereof, and water,
A plating solution in which the content of a polymer having a carboxyl group or a salt thereof is 5.0% by mass or less with respect to the total mass of the plating solution.
(2) The plating solution according to (1), wherein the polymer having a carboxyl group or a salt thereof has a weight average molecular weight of 2,000 to 1,000,000.
(3) The plating solution according to (1) or (2), wherein the polymer having a carboxyl group or salt thereof has a weight average molecular weight of 2,000 to 500,000.
(4) The plating solution according to any one of (1) to (3), wherein the ratio of the weight of the silver salt in terms of silver to the weight of the polymer having a carboxyl group or salt thereof is 0.10 to 5.0.
(5) The plating solution according to any one of (1) to (4), further containing a reducing agent.
(6) A plating set comprising the plating solution according to any one of (1) to (4) and a reducing solution containing a reducing agent.
(7) forming a fine-line silver-containing layer on the support;
The thin wire-shaped silver-containing layer is subjected to plating using the plating solution described in any one of (1) to (5) or the plating set described in (6) to form a conductive thin wire. and forming a conductive substrate.
(8) a plurality of conductive thin wires are arranged parallel to each other;
The method for producing a conductive substrate according to (7), wherein there is a region in which the distance between adjacent conductive fine lines is 30 μm or less.
(9) A mesh pattern is formed by conductive fine wires,
The method for producing a conductive substrate according to (7), wherein the line width of the conductive thin line is 0.5 μm or more and less than 4.0 μm.

本発明によれば、優れた導電性を示す導電性細線を形成でき、かつ、形成される導電性細線間(特に、間隔が30μm以下の導電性細線間)での短絡の発生を抑制できる、めっき液を提供できる。
また、本発明によれば、めっきセット、および、導電性基板の製造方法を提供できる。
According to the present invention, it is possible to form a conductive thin wire that exhibits excellent conductivity, and to suppress the occurrence of short circuits between the formed conductive thin wires (especially between conductive thin wires with an interval of 30 μm or less). Plating solution can be provided.
Further, according to the present invention, it is possible to provide a plating set and a method for manufacturing a conductive substrate.

メッシュパターンを示す一部平面図である。FIG. 4 is a partial plan view showing a mesh pattern; 細線状の銀含有層が平行に配列している状態を示す一部平面図である。FIG. 4 is a partial plan view showing a state in which thin-line silver-containing layers are arranged in parallel. 導電性基板の断面図である。1 is a cross-sectional view of a conductive substrate; FIG. 櫛歯状パターン領域を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a comb-tooth pattern region;

以下、本発明について詳細に説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施形態に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施形態に制限されない。
なお、本明細書において、「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
The present invention will be described in detail below.
Although the description of the constituent elements described below may be made based on representative embodiments of the present invention, the present invention is not limited to such embodiments.
In this specification, a numerical range represented by "-" means a range including the numerical values before and after "-" as lower and upper limits.

本発明の特徴点としては、カルボキシル基またはその塩を有するポリマーを所定量使用している点が挙げられる。
本発明者は、従来技術の問題点について検討したところ、従来のめっき液においては、めっき液中にて銀イオンの還元が進行して銀を含む凝集物を生成しており、この凝集物が導電性細線間に付着し、めっき処理の際に成長して、導電性細線間を短絡させる原因となっていることを知見している。そこで、カルボキシル基またはその塩を有するポリマーを所定量使用することにより、めっき液中での銀を含む凝集物の発生および成長が抑制され、結果として、形成される導電性細線の優れた導電性が維持されたまま、導電性細線間(特に、間隔が30μm以下の導電性細線間)の短絡の発生を抑制できることを知見している。
A feature of the present invention is that a predetermined amount of a polymer having a carboxyl group or a salt thereof is used.
The present inventors have studied the problems of the prior art, and have found that in conventional plating solutions, reduction of silver ions progresses in the plating solution to form aggregates containing silver. It has been found that it adheres between the conductive thin wires, grows during the plating process, and causes a short circuit between the conductive thin wires. Therefore, by using a predetermined amount of a polymer having a carboxyl group or a salt thereof, the generation and growth of aggregates containing silver in the plating solution are suppressed, and as a result, the formed conductive fine line has excellent conductivity. It has been found that the occurrence of a short circuit between conductive thin wires (especially between conductive thin wires with an interval of 30 μm or less) can be suppressed while maintaining the

本発明のめっき液(以下、単に「めっき液」ともいう。)は、銀塩と、カルボキシル基またはその塩を有するポリマーと、水と、を含み、カルボキシル基またはその塩を有するポリマーの含有量が、めっき液全質量に対して、5.0質量%以下である。
以下では、まず、めっき液について詳述し、その後、導電性基板の製造方法について詳述する。
The plating solution of the present invention (hereinafter also simply referred to as "plating solution") contains a silver salt, a polymer having a carboxyl group or a salt thereof, and water, and the content of the polymer having a carboxyl group or a salt thereof is is 5.0% by mass or less with respect to the total mass of the plating solution.
In the following, first, the plating solution will be described in detail, and then the method for manufacturing the conductive substrate will be described in detail.

<めっき液>
(銀塩)
めっき液は、銀塩を含む。
銀塩の種類は特に制限されず、公知の銀塩を使用できる。銀塩としては、水溶性の銀塩が好ましい。水溶性の銀塩とは、水に対して0.1質量%以上溶解する銀塩を意味する。
<Plating solution>
(silver salt)
The plating solution contains silver salt.
The type of silver salt is not particularly limited, and known silver salts can be used. As the silver salt, a water-soluble silver salt is preferred. A water-soluble silver salt means a silver salt that dissolves in water in an amount of 0.1% by mass or more.

銀塩としては、無機銀塩、および、有機銀塩が挙げられ、無機銀塩が好ましい。
無機銀塩としては、例えば、硝酸銀、フッ化銀、過塩素酸銀、および、硫酸銀が挙げられる。
Silver salts include inorganic silver salts and organic silver salts, with inorganic silver salts being preferred.
Inorganic silver salts include, for example, silver nitrate, silver fluoride, silver perchlorate, and silver sulfate.

めっき液中における銀塩の含有量は特に制限されず、導電性細線の導電性がより優れる点、および、導電性細線間の短絡の発生がより抑制される点の少なくとも一方の効果が得られる点(以下、単に「本発明の効果がより優れる点」ともいう。)で、0.01~5.0mol/Lが好ましく、0.10~3.0mol/Lがより好ましい。
銀塩は、1種のみを使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
The content of the silver salt in the plating solution is not particularly limited, and at least one of the following effects can be obtained: better conductivity of the conductive fine wires, and further suppression of short circuits between the conductive fine wires. 0.01 to 5.0 mol/L is preferable, and 0.10 to 3.0 mol/L is more preferable in terms of point (hereinafter also simply referred to as "point where the effect of the present invention is more excellent").
Only one kind of silver salt may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

(カルボキシル基またはその塩を有するポリマー)
めっき液は、カルボキシル基またはその塩を有するポリマー(以下、単に「酸基含有ポリマー」ともいう。)を含む。
カルボンキシル基の塩とは、一般式(X)で表される基を表す。
一般式(X) -COO
は、1価のカチオンを表す。1価のカチオンとしては、例えば、アルカリ金属イオン(例えば、ナトリウムイオン、カリウムイオン、および、リチウムイオン)、アンモニウムイオン(例えば、NH4 )、および、ピリジニウムイオンが挙げられる。
(Polymer having a carboxyl group or a salt thereof)
The plating solution contains a polymer having a carboxyl group or a salt thereof (hereinafter also simply referred to as "acid group-containing polymer").
A salt of a carboxyl group represents a group represented by the general formula (X).
General formula (X) -COO - M +
M + represents a monovalent cation. Monovalent cations include, for example, alkali metal ions (eg, sodium, potassium, and lithium ions), ammonium ions (eg, NH 4 + ), and pyridinium ions.

酸基含有ポリマーは、カルボキシル基またはその塩を有していればよく、その構造は特に制限されない。なかでも、酸基含有ポリマーは、カルボキシル基またはその塩を有する繰り返し単位を有することが好ましい。
カルボキシル基またはその塩を有する繰り返し単位としては、一般式(Y)で表される繰り返し単位、または、一般式(Z)で表される繰り返し単位が好ましい。
The acid group-containing polymer is not particularly limited as long as it has a carboxyl group or a salt thereof. Among others, the acid group-containing polymer preferably has a repeating unit having a carboxyl group or a salt thereof.
A repeating unit having a carboxyl group or a salt thereof is preferably a repeating unit represented by general formula (Y) or a repeating unit represented by general formula (Z).

a1は、水素原子またはアルキル基を表す。アルキル基の炭素数は、1~5が好ましく、1~3がより好ましく、1がさらに好ましい。
a1は、単結合または2価の連結基を表す。2価の連結基としては、例えば、2価の炭化水素基(例えば、アルキレン基、アルケニレン基、および、アルキニレン基などの2価の脂肪族炭化水素基、並びに、アリーレン基などの2価の芳香族炭化水素基)、2価の複素環基、-O-、-S-、-NH-、-N(Q)-、-CO-、または、これらを組み合わせた基(例えば、-O-2価の炭化水素基-、-(O-2価の炭化水素基)m-O-(mは、1以上の整数を表す)、および、-2価の炭化水素基-O-CO-など)が挙げられる。Qは、水素原子またはアルキル基を表す。
a2は、カルボキシル基またはその塩を表す。
R a1 represents a hydrogen atom or an alkyl group. The number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1-5, more preferably 1-3, and even more preferably 1.
L a1 represents a single bond or a divalent linking group. As the divalent linking group, for example, a divalent hydrocarbon group (e.g., an alkylene group, an alkenylene group, a divalent aliphatic hydrocarbon group such as an alkynylene group, and a divalent aromatic group such as an arylene group) group hydrocarbon group), divalent heterocyclic group, -O-, -S-, -NH-, -N(Q)-, -CO-, or a group combining these (e.g., -O-2 valent hydrocarbon group -, - (O-divalent hydrocarbon group) m -O- (m represents an integer of 1 or more), and -divalent hydrocarbon group -O-CO-, etc.) is mentioned. Q represents a hydrogen atom or an alkyl group.
R a2 represents a carboxyl group or a salt thereof.

b1は、それぞれ独立に、水素原子またはアルキル基を表す。アルキル基の炭素数は、1~5が好ましく、1~3がより好ましく、1がさらに好ましい。
b1は、それぞれ独立に、単結合または2価の連結基を表す。Lb1で表される2価の連結基の定義は、La1で表される2価の連結基の定義と同じである。
b2は、それぞれ独立に、カルボキシル基またはその塩を表す。
Each R b1 independently represents a hydrogen atom or an alkyl group. The number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1-5, more preferably 1-3, and even more preferably 1.
Each L b1 independently represents a single bond or a divalent linking group. The definition of the divalent linking group represented by L b1 is the same as the definition of the divalent linking group represented by L a1 .
Each R b2 independently represents a carboxyl group or a salt thereof.

酸基含有ポリマー中におけるカルボキシル基またはその塩を有する繰り返し単位の含有量は特に制限されないが、酸基含有ポリマー中の全繰り返し単位に対して、50モル%以上が好ましく、75モル%以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、100モル%が挙げられる。 The content of repeating units having a carboxyl group or a salt thereof in the acid group-containing polymer is not particularly limited, but is preferably 50 mol% or more, more preferably 75 mol% or more, based on the total repeating units in the acid group-containing polymer. preferable. Although the upper limit is not particularly limited, 100 mol % can be mentioned.

酸基含有ポリマーは、カルボキシル基またはその塩を有する繰り返し単位以外の他の繰り返し単位を有していてもよい。 The acid group-containing polymer may have repeating units other than repeating units having a carboxyl group or a salt thereof.

酸基含有ポリマーの重量平均分子量は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、2000~1000000が好ましく、2000~500000がより好ましい。
本明細書において、重量平均分子量は、GPC(Gel Permeation Chromatography)測定によるポリスチレン換算値として定義される。
例えば、GPC測定は、HLC-8121GPC(東ソー社製)を用い、カラムとして、TSKgel GMHHR-H(20) HT(東ソー社製、7.8mmID×30cm)を2本用い、溶離液として1,2,4-トリクロロベンゼンを用いる。また、条件としては、試料濃度を0.02質量%、流速を1.0ml/min、サンプル注入量を300μl、測定温度を160℃とし、IR(infrared)検出器を用いて行う。
Although the weight average molecular weight of the acid group-containing polymer is not particularly limited, it is preferably from 2,000 to 1,000,000, more preferably from 2,000 to 500,000, from the viewpoint that the effects of the present invention are more excellent.
In this specification, the weight average molecular weight is defined as a polystyrene equivalent value by GPC (Gel Permeation Chromatography) measurement.
For example, for GPC measurement, HLC-8121GPC (manufactured by Tosoh Corporation) is used, two TSKgel GMH HR -H(20) HT (manufactured by Tosoh Corporation, 7.8 mm ID × 30 cm) are used as columns, and 1, 2,4-trichlorobenzene is used. The conditions are as follows: sample concentration of 0.02% by mass, flow rate of 1.0 ml/min, sample injection amount of 300 μl, measurement temperature of 160° C., and an IR (infrared) detector.

めっき液中における酸基含有ポリマーの含有量は、めっき液全質量に対して、5.0質量%以下である。なかでも、本発明の効果がより優れる点で、0.01~5.0質量%が好ましく、0.05~5.0質量%がより好ましい。
酸基含有ポリマーは、1種のみを使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
The content of the acid group-containing polymer in the plating solution is 5.0% by mass or less with respect to the total mass of the plating solution. Among them, 0.01 to 5.0% by mass is preferable, and 0.05 to 5.0% by mass is more preferable, because the effects of the present invention are more excellent.
Only one type of acid group-containing polymer may be used, or two or more types may be used in combination.

酸基含有ポリマーの質量に対する、銀塩の銀換算質量の比(銀塩の銀換算質量/酸基含有ポリマーの質量)は特に制限されず、0.01~20の場合が多く、本発明の効果がより優れる点で、0.10~5.0が好ましい。
なお、銀換算質量とは、銀塩が全て還元されて生成される銀の質量を意味する。
The ratio of the silver-equivalent mass of the silver salt to the mass of the acid-group-containing polymer (the silver-equivalent mass of the silver salt/the mass of the acid-group-containing polymer) is not particularly limited, and is often 0.01 to 20. 0.10 to 5.0 is preferable in that the effect is more excellent.
The silver-equivalent mass means the mass of silver produced by reducing all of the silver salt.

(水)
めっき液は、水を含む。
めっき液中の水の含有量は特に制限されないが、めっき液全質量に対して、60~95質量%が好ましく、80~90質量%がより好ましい。
(water)
The plating solution contains water.
Although the content of water in the plating solution is not particularly limited, it is preferably 60 to 95% by mass, more preferably 80 to 90% by mass, based on the total mass of the plating solution.

(他の成分)
めっき液は、上述した、銀塩、酸基含有ポリマー、および、水以外の他の成分を含んでいてもよい。
めっき液は、錯化剤を含んでいてもよい。錯化剤としては、亜硫酸塩、チオ硫酸塩、または、イミド基もしくはアミド基を有する有機化合物が挙げられる。錯化剤としては、例えば、亜硫酸ナトリウム、亜硫酸カリウム、亜硫酸アンモニウム、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸カリウム、チオ硫酸アンモニウム、ヒダントイン化合物、および、イミド化合物が挙げられる。
めっき液中の錯化剤の含有量は特に制限されないが、めっき液全質量に対して、1~30質量%が好ましく、5~20質量%がより好ましい。
錯化剤は、1種のみを使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
(other ingredients)
The plating solution may contain components other than the above-described silver salt, acid group-containing polymer, and water.
The plating solution may contain a complexing agent. Complexing agents include sulfites, thiosulfates, or organic compounds having imide or amide groups. Complexing agents include, for example, sodium sulfite, potassium sulfite, ammonium sulfite, sodium thiosulfate, potassium thiosulfate, ammonium thiosulfate, hydantoin compounds, and imide compounds.
Although the content of the complexing agent in the plating solution is not particularly limited, it is preferably 1 to 30% by mass, more preferably 5 to 20% by mass, based on the total mass of the plating solution.
Complexing agents may be used alone or in combination of two or more.

めっき液は、還元剤を含んでいてもよい。還元剤としては、アスコルビン酸およびイソアスコルビン酸などのアスコルビン酸化合物またはその塩、ヒドラジン、ヒドラジン・1水和物、硫酸ヒドラジンおよび塩化ヒドラジンなどのヒドラジンまたはその塩、ヒドロキノンおよびメチルヒドロキノンなどのヒドロキノンまたはその誘導体、並びに、ピロガロール、ピロガロールモノメチルエーテル、ピロガロール-4-カルボン酸、ピロガロール-4,6-ジカルボン酸および没食子酸などのピロガロールまたはその誘導体が挙げられる。
めっき液中の還元剤の含有量は特に制限されないが、めっき液全質量に対して、0.01~5質量%が好ましく、0.1~3質量%がより好ましい。
還元剤は、1種のみを使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
なお、後述するように、めっき液が還元剤を含まない場合、還元剤を含む還元液を別途用意してもよい。
The plating solution may contain a reducing agent. Examples of reducing agents include ascorbic acid compounds such as ascorbic acid and isoascorbic acid or salts thereof, hydrazine, hydrazine monohydrate, hydrazine sulfate and hydrazine chloride and the like, hydrazines or salts thereof, hydroquinones such as hydroquinone and methylhydroquinone, and the like. derivatives, and pyrogallol or its derivatives such as pyrogallol, pyrogallol monomethyl ether, pyrogallol-4-carboxylic acid, pyrogallol-4,6-dicarboxylic acid and gallic acid.
Although the content of the reducing agent in the plating solution is not particularly limited, it is preferably 0.01 to 5% by mass, more preferably 0.1 to 3% by mass, based on the total mass of the plating solution.
Only one reducing agent may be used, or two or more reducing agents may be used in combination.
As will be described later, when the plating solution does not contain a reducing agent, a reducing solution containing a reducing agent may be prepared separately.

めっき液は、上記以外にも、他の添加剤(例えば、pH調整剤、ヨウ化カリウム)を含んでいてもよい。なお、ヨウ化カリウムは、めっき速度の向上に寄与する。 The plating solution may contain other additives (eg, pH adjuster, potassium iodide) in addition to the above. Potassium iodide contributes to the improvement of the plating speed.

めっき液のpHは特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、8.0~13.0が好ましく、9.0~11.0がより好ましい。
pHは、25℃で測定した値である。
Although the pH of the plating solution is not particularly limited, it is preferably from 8.0 to 13.0, more preferably from 9.0 to 11.0, from the standpoint that the effects of the present invention are more excellent.
pH is a value measured at 25°C.

<めっきセット>
上記めっき液は、このめっき液と、還元剤を含む還元液とからなるめっきセットとしてもよい。特に、めっき液に還元剤が含まれない場合、上記還元液を使用することにより、めっき処理を行うことができる。
還元液中に含まれる還元剤の種類は、上述した通りである。
還元液中の還元剤の含有量は特に制限されないが、還元液全質量に対して、1~30質量%が好ましく、3~20質量%がより好ましい。
還元剤は、1種のみを使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
<Plating set>
The plating solution may be a plating set consisting of this plating solution and a reducing solution containing a reducing agent. In particular, when the plating solution does not contain a reducing agent, plating can be performed by using the reducing solution.
The types of reducing agents contained in the reducing liquid are as described above.
The content of the reducing agent in the reducing liquid is not particularly limited, but is preferably 1 to 30% by mass, more preferably 3 to 20% by mass, relative to the total mass of the reducing liquid.
Only one reducing agent may be used, or two or more reducing agents may be used in combination.

<導電性基板の製造方法>
本発明の導電性基板の製造方法は、以下の工程1および工程2を有する。
工程1:支持体上に、細線状の銀含有層を形成する工程と、
工程2:細線状の銀含有層に対して、上記めっき液、または、上記めっきセットを用いて、めっき処理を施して、導電性細線を形成する工程
以下、各工程の手順について詳述する。
<Method for manufacturing conductive substrate>
The manufacturing method of the conductive substrate of the present invention has steps 1 and 2 below.
Step 1: a step of forming a fine-line silver-containing layer on a support;
Step 2: A step of plating the fine wire-like silver-containing layer using the above plating solution or the above plating set to form a conductive fine wire.

(工程1)
工程1は、支持体上に、細線状の銀含有層を形成する工程である。本工程によってめっき処理が施される細線状の銀含有層が形成される。
(Step 1)
Step 1 is a step of forming a fine linear silver-containing layer on a support. A fine wire-shaped silver-containing layer to be plated is formed in this step.

本工程で使用される支持体の種類は特に制限されず、プラスチック基板、ガラス基板、および、金属基板が挙げられ、プラスチック基板が好ましい。
支持体の厚みは特に制限されず、25~500μmの場合が多い。なお、導電性基板をタッチパネルに応用する際に、支持体表面をタッチ面として用いる場合は、支持体の厚みは500μmを超えていてもよい。
The type of support used in this step is not particularly limited, and includes plastic substrates, glass substrates, and metal substrates, with plastic substrates being preferred.
The thickness of the support is not particularly limited, and is often 25 to 500 μm. When the conductive substrate is applied to a touch panel and the surface of the support is used as a touch surface, the thickness of the support may exceed 500 μm.

支持体を構成する材料としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)(融点:258℃)、ポリシクロオレフィン(融点:134℃)、ポリカーボネート(融点:250℃)、アクリルフィルム(融点:128℃)、ポリエチレンナフタレート(融点:269℃)、ポリエチレン(融点:135℃)、ポリプロピレン(融点:163℃)、ポリスチレン(融点:230℃)、ポリ塩化ビニル(融点:180℃)、ポリ塩化ビニリデン(融点:212℃)、および、トリアセチルセルロース(融点:290℃)などの融点が約290℃以下である樹脂が好ましく、PET、ポリシクロオレフィン、および、ポリカーボネートがより好ましい。
支持体の全光線透過率は、85~100%が好ましい。
Materials constituting the support include polyethylene terephthalate (PET) (melting point: 258°C), polycycloolefin (melting point: 134°C), polycarbonate (melting point: 250°C), acrylic film (melting point: 128°C), and polyethylene resin. Phthalate (melting point: 269°C), polyethylene (melting point: 135°C), polypropylene (melting point: 163°C), polystyrene (melting point: 230°C), polyvinyl chloride (melting point: 180°C), polyvinylidene chloride (melting point: 212°C) ) and triacetyl cellulose (melting point: 290° C.) are preferable, and PET, polycycloolefin and polycarbonate are more preferable.
The total light transmittance of the support is preferably 85-100%.

支持体の表面上には、下塗り層が配置されていてもよい。
下塗り層は、後述する特定高分子を含むことが好ましい。この下塗り層を用いると、後述する導電性細線の支持体に対する密着性がより向上する。
下塗り層の形成方法は特に制限されず、例えば、特定高分子を含む下塗り層形成用組成物を支持体上に塗布して、必要に応じて加熱処理を施す方法が挙げられる。下塗り層形成用組成物には、必要に応じて、溶媒が含まれていてもよい。溶媒の種類は特に制限されず、後述する感光性層形成用組成物で使用される溶媒が例示される。また、特定高分子を含む下塗り層形成用組成物として、特定高分子の粒子を含むラテックスを使用してもよい。
下塗り層の厚みは特に制限されず、導電性細線の支持体に対する密着性がより優れる点で、0.02~0.3μmが好ましく、0.03~0.2μmがより好ましい。
A subbing layer may be disposed on the surface of the support.
The undercoat layer preferably contains a specific polymer, which will be described later. The use of this undercoat layer further improves the adhesion of the conductive fine wires to the support, which will be described later.
The method for forming the undercoat layer is not particularly limited, and examples thereof include a method in which a composition for forming an undercoat layer containing a specific polymer is applied onto a support and, if necessary, heat treatment is performed. The undercoat layer-forming composition may contain a solvent, if necessary. The type of solvent is not particularly limited, and examples thereof include solvents used in the composition for forming a photosensitive layer, which will be described later. Moreover, you may use the latex containing the particle|grains of a specific polymer as a composition for undercoat formation containing a specific polymer.
The thickness of the undercoat layer is not particularly limited, and is preferably from 0.02 to 0.3 μm, more preferably from 0.03 to 0.2 μm, from the viewpoint of better adhesion of the fine conductive wires to the support.

支持体上に形成される細線状の銀含有層の幅は特に制限されず、0.1~30μmの場合が多く、細線化の点から、0.5~20μmが好ましく、0.5~15μmがより好ましい。
また、細線状の銀含有層は所定のパターンを形成していてもよく、例えば、そのパターンは特に制限されず、正三角形、二等辺三角形、および、直角三角形などの三角形、四角形(例えば、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、および、台形など)、(正)六角形、(正)八角形などの(正)n角形、円、楕円、星形、ならびに、これらを組み合わせた幾何学図形であることが好ましく、メッシュ状(メッシュパターン)であることがより好ましい。
The width of the fine linear silver-containing layer formed on the support is not particularly limited, and is often 0.1 to 30 μm, preferably 0.5 to 20 μm, more preferably 0.5 to 15 μm, from the viewpoint of thinning. is more preferred.
In addition, the thin line-shaped silver-containing layer may form a predetermined pattern. , rectangles, rhombuses, parallelograms, trapezoids, etc.), (regular) n-sided polygons such as (regular) hexagons, (regular) octagons, etc., circles, ellipses, stars, and geometric figures combining these is preferable, and a mesh shape (mesh pattern) is more preferable.

メッシュ状とは、図1に示すように、交差する細線状の銀含有層10により構成される複数の開口部12を含んでいる形状が挙げられる。開口部12の一辺の長さLは特に制限されないが、1500μm以下が好ましく、1300μm以下がより好ましく、1000μm以下がさらに好ましく、5μm以上が好ましく、30μm以上がより好ましく、80μm以上がさらに好ましい。
メッシュパターンを形成している細線状の銀含有層の幅は特に制限されないが、可視光透過率の点から、0.5μm以上4.0μm未満が好ましい。
As shown in FIG. 1, the mesh shape includes a shape including a plurality of openings 12 constituted by intersecting thin wire-like silver-containing layers 10 . Although the length L of one side of the opening 12 is not particularly limited, it is preferably 1500 μm or less, more preferably 1300 μm or less, even more preferably 1000 μm or less, preferably 5 μm or more, more preferably 30 μm or more, and even more preferably 80 μm or more.
Although the width of the fine-line silver-containing layer forming the mesh pattern is not particularly limited, it is preferably 0.5 μm or more and less than 4.0 μm from the viewpoint of visible light transmittance.

図1において、開口部12は、ひし形の形状を有しているが、他の形状であってもよい。例えば、多角形状(例えば、三角形、四角形、六角形、および、ランダムな多角形)としてもよい。また、一辺の形状を直線状の他、湾曲形状にしてもよいし、円弧状にしてもよい。円弧状とする場合は、例えば、対向する二辺については、外方に凸の円弧状とし、他の対向する二辺については、内方に凸の円弧状としてもよい。また、各辺の形状を、外方に凸の円弧と内方に凸の円弧が連続した波線形状としてもよい。もちろん、各辺の形状を、サイン曲線にしてもよい。 In FIG. 1, the opening 12 has a diamond shape, but other shapes are possible. For example, polygonal shapes (eg, triangles, squares, hexagons, and random polygons) may be used. In addition, the shape of one side may be curved, or arc-shaped, instead of linear. In the case of an arc shape, for example, two opposing sides may be arcuately convex outward, and the other two opposing sides may be arcuately convex inward. Moreover, the shape of each side may be a wavy line shape in which an outwardly convex circular arc and an inwardly convex circular arc are continuous. Of course, the shape of each side may be a sine curve.

可視光透過率の点から、細線状の銀含有層より形成されるメッシュパターンの開口率は85%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましく、95%以上であることがさらに好ましい。開口率とは、細線状の銀含有層がある領域を除いた支持体上の領域が全体に占める割合に相当する。 From the viewpoint of visible light transmittance, the open area ratio of the mesh pattern formed from the fine linear silver-containing layer is preferably 85% or more, more preferably 90% or more, and more preferably 95% or more. More preferred. The aperture ratio corresponds to the ratio of the area on the support, excluding the area where the fine-line-shaped silver-containing layer is present, to the entire area.

また、複数の細線状の銀含有層は、互いに平行に配置されていてもよい。より具体的には、図2に示すように、複数の細線状の銀含有層10は、細線状の銀含有層10が延びる方向と直交する方向に沿って配置されていてもよい。その際、複数の細線状の銀含有層の延在方向が、互いに平行になるように配置されている。このような平行に配置される細線状の銀含有層は、例えば、タッチパネルにおいては非表示部に配置される引出配線として使用され、この非表示部、いわゆる額縁部の幅は意匠性の観点から近年狭く設計されることが多い。このように配線配置の省スペース化のため、細線状の銀含有層の線幅は30μm以下が好ましく、20μm以下がより好ましい。下限は特に制限されないが、5μm以上の場合が多い。また、同様の観点から、細線状の銀含有層の間隔は30μm以下が好ましく、20μm以下がより好ましい。下限は特に制限されないが、5μm以上の場合が多い。 Also, the plurality of fine-line-shaped silver-containing layers may be arranged in parallel with each other. More specifically, as shown in FIG. 2 , the plurality of fine linear silver-containing layers 10 may be arranged along a direction orthogonal to the direction in which the fine linear silver-containing layers 10 extend. At that time, the extending directions of the plurality of fine-line-shaped silver-containing layers are arranged so as to be parallel to each other. Such a thin wire-shaped silver-containing layer arranged in parallel is used, for example, as a lead wiring arranged in a non-display portion in a touch panel, and the width of this non-display portion, the so-called frame portion, is determined from the viewpoint of design. In recent years, it is often designed to be narrow. In order to save space in wiring arrangement, the line width of the fine line-shaped silver-containing layer is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is often 5 μm or more. From the same point of view, the interval between the fine linear silver-containing layers is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is often 5 μm or more.

支持体上に細線状の銀含有層を形成する方法は特に制限されず、公知の方法が採用される。例えば、ハロゲン化銀を用いて露光および現像を行う方法、および、支持体の全面に銀層を形成した後、レジストパターンを用いて銀層の一部を除去して、細線状の銀含有層を形成する方法が挙げられる。
なかでも、本発明の効果がより優れる点で、ハロゲン化銀を用いて露光および現像を行う方法が好ましい。
以下、この方法について詳述する。
A method for forming a fine-line-shaped silver-containing layer on a support is not particularly limited, and a known method is employed. For example, a method of exposing and developing using a silver halide, and a method of forming a silver layer on the entire surface of the support and then removing a part of the silver layer using a resist pattern to form a fine linear silver-containing layer. A method of forming
Among them, the method of exposing and developing using silver halide is preferable because the effects of the present invention are more excellent.
This method will be described in detail below.

ハロゲン化銀を用いて露光および現像を行う方法は、以下の工程を有することが好ましい。
工程A:支持体上に、ハロゲン化銀とゼラチンとゼラチンとは異なる高分子とを含むハロゲン化銀含有感光性層を形成する工程
工程B:ハロゲン化銀含有感光性層を露光した後、現像処理して、金属銀とゼラチンとゼラチンとは異なる高分子とを含む細線状の銀含有層を形成する工程
工程C:工程Bで得られた銀含有層に対して加熱処理を施す工程
工程D:工程Cで得られた銀含有層中のゼラチンを除去する工程
以下、各工程の手順について詳述する。
The method of exposing and developing using silver halide preferably includes the following steps.
Step A: Step of forming a silver halide-containing photosensitive layer containing silver halide, gelatin, and a polymer different from gelatin on a support Step B: After exposing the silver halide-containing photosensitive layer, it is developed. Process to form a fine linear silver-containing layer containing metallic silver, gelatin, and a polymer different from gelatin by treatment Process C: Process D to heat-treat the silver-containing layer obtained in Process B : Step of removing gelatin in the silver-containing layer obtained in Step C The procedure of each step will be described in detail below.

(工程A)
工程Aは、支持体上に、ハロゲン化銀とゼラチンとゼラチンとは異なる高分子(以下、「特定高分子」ともいう。)とを含むハロゲン化銀含有感光性層(以下、「感光性層」ともいう。)を形成する工程である。本工程により、後述する露光処理が施される感光性層付き支持体が製造される。
本工程で使用される支持体は、上述した通りである。
(Step A)
In step A, a silver halide-containing photosensitive layer (hereinafter referred to as "photosensitive layer ) is formed. Through this step, a support with a photosensitive layer to which the exposure treatment described below is applied is produced.
The support used in this step is as described above.

[ハロゲン化銀]
ハロゲン化銀に含まれるハロゲン原子は、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子およびフッ素原子のいずれであってもよく、これらを組み合わせでもよい。例えば、塩化銀、臭化銀、または、ヨウ化銀を主体としたハロゲン化銀が好ましく、塩化銀または臭化銀を主体としたハロゲン化銀がより好ましい。なお、塩臭化銀、ヨウ塩臭化銀、または、ヨウ臭化銀も、好ましく用いられる。
ここで、例えば、「塩化銀を主体としたハロゲン化銀」とは、ハロゲン化銀組成物中、全ハロゲン化物イオンに占める塩化物イオンのモル分率が50%以上のハロゲン化銀をいう。この塩化銀を主体としたハロゲン化銀は、塩化物イオンのほかに、臭化物イオンおよび/またはヨウ化物イオンを含んでいてもよい。
[Silver halide]
The halogen atoms contained in the silver halide may be chlorine, bromine, iodine or fluorine atoms, or may be a combination thereof. For example, a silver halide mainly composed of silver chloride, silver bromide, or silver iodide is preferable, and a silver halide mainly composed of silver chloride or silver bromide is more preferable. Silver chlorobromide, silver iodochlorobromide, or silver iodobromide is also preferably used.
Here, for example, "silver halide composed mainly of silver chloride" refers to silver halide in which the mole fraction of chloride ions to all halide ions in the silver halide composition is 50% or more. The silver halide composed mainly of silver chloride may contain bromide ions and/or iodide ions in addition to chloride ions.

ハロゲン化銀は、通常、固体粒子状であり、ハロゲン化銀の平均粒子径は、球相当径で10~1000nmが好ましく、10~200nmがより好ましく、湿熱環境下において導電性細線の抵抗値の変化がより小さい点で、50~150nmがさらに好ましい。
なお、球相当径とは、同じ体積を有する球形粒子の直径である。
上記ハロゲン化銀の平均粒子径として用いられる「球相当径」は平均値であり、100個のハロゲン化銀の球相当径を測定して、それらを算術平均したものである。
Silver halide is usually in the form of solid particles, and the average particle diameter of the silver halide is preferably 10 to 1000 nm, more preferably 10 to 200 nm, in terms of diameter equivalent to a sphere. 50 to 150 nm is more preferable because the change is smaller.
The equivalent sphere diameter is the diameter of a spherical particle having the same volume.
The "equivalent sphere diameter" used as the average grain size of the silver halide is an average value obtained by measuring the equivalent sphere diameters of 100 silver halide grains and averaging them arithmetically.

ハロゲン化銀の粒子の形状は特に制限されず、例えば、球状、立方体状、平板状(6角平板状、三角形平板状、4角形平板状など)、八面体状、および、14面体状などの形状が挙げられる。 The shape of the silver halide grains is not particularly limited, and examples include spherical, cubic, tabular (hexagonal tabular, triangular tabular, quadrangular tabular, etc.), octahedral, and tetradecahedral forms. shape.

[ゼラチン]
ゼラチンの種類は特に制限されず、例えば、石灰処理ゼラチン、および、酸処理ゼラチンが挙げられる。また、ゼラチンの加水分解物、ゼラチンの酵素分解物、並びに、アミノ基および/またはカルボキシル基で修飾されたゼラチン(フタル化ゼラチン、および、アセチル化ゼラチン)などを用いてもよい。
[gelatin]
The type of gelatin is not particularly limited, and examples thereof include lime-processed gelatin and acid-processed gelatin. Hydrolysates of gelatin, enzymatic hydrolysates of gelatin, and gelatins modified with amino groups and/or carboxyl groups (phthalated gelatin and acetylated gelatin) may also be used.

[ゼラチンとは異なる高分子]
感光性層には、ゼラチンと異なる高分子が含まれる。この特定高分子が感光性層に含まれることにより、感光性層より形成される導電性細線の強度がより優れる。
特定高分子の種類はゼラチンと異なれば特に制限されず、後述するゼラチンを分解する、タンパク質分解酵素または酸化剤で分解しない高分子が好ましい。
特定高分子としては、疎水性高分子(非水溶性高分子)が挙げられ、例えば、(メタ)アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ビニル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリジエン系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、セルロース系樹脂、および、キトサン系樹脂からなる群から選ばれる少なくともいずれかの樹脂、または、これらの樹脂を構成する単量体からなる共重合体などが挙げられる。
また、特定高分子は、後述する架橋剤と反応する反応性基を有することが好ましい。
特定高分子は、粒子状であることが好ましい。つまり、感光性層は、特定高分子の粒子を含むことが好ましい。
[Polymers different from gelatin]
The photosensitive layer contains a polymer other than gelatin. By including this specific polymer in the photosensitive layer, the strength of the conductive thin line formed from the photosensitive layer is further improved.
The type of the specific polymer is not particularly limited as long as it is different from gelatin, and a polymer that decomposes gelatin and is not decomposed by a proteolytic enzyme or an oxidizing agent, which will be described later, is preferable.
Specific polymers include hydrophobic polymers (water-insoluble polymers), for example, (meth)acrylic resins, styrene resins, vinyl resins, polyolefin resins, polyester resins, polyurethane resins, At least one resin selected from the group consisting of polyamide resins, polycarbonate resins, polydiene resins, epoxy resins, silicone resins, cellulose resins, and chitosan resins, or a single component of these resins. Examples thereof include copolymers composed of monomers.
Moreover, the specific polymer preferably has a reactive group that reacts with a cross-linking agent, which will be described later.
The specific polymer is preferably particulate. In other words, the photosensitive layer preferably contains particles of the specific polymer.

特定高分子としては、以下の一般式(1)で表される高分子(共重合体)が好ましい。
一般式(1): -(A)-(B)-(C)-(D)
なお、一般式(1)中、A、B、C、およびDはそれぞれ、下記一般式(A)~(D)で表される繰り返し単位を表す。
As the specific polymer, a polymer (copolymer) represented by the following general formula (1) is preferable.
General formula (1): -(A) x -(B) y -(C) z -(D) w -
In general formula (1), A, B, C and D each represent a repeating unit represented by the following general formulas (A) to (D).

1は、メチル基またはハロゲン原子を表し、メチル基、塩素原子、または、臭素原子が好ましい。pは0~2の整数を表し、0または1が好ましく、0がより好ましい。
2は、メチル基またはエチル基を表し、メチル基が好ましい。
3は、水素原子またはメチル基を表し、水素原子が好ましい。Lは、2価の連結基を表し、下記一般式(3)で表される基が好ましい。
一般式(3):-(CO-X1-X2
一般式(3)中、X1は、酸素原子または-NR30-を表す。ここでR30は、水素原子、アルキル基、アリール基、または、アシル基を表し、それぞれ置換基(例えば、ハロゲン原子、ニトロ基、および、ヒドロキシル基)を有してもよい。R30としては、水素原子、炭素数1~10のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、n-ブチル基、および、n-オクチル基)、または、アシル基(例えば、アセチル基、および、ベンゾイル基)が好ましい。X1としては、酸素原子または-NH-が好ましい。
2は、アルキレン基、アリーレン基、アルキレンアリーレン基、アリーレンアルキレン基、または、アルキレンアリーレンアルキレン基を表し、これらの基には-O-、-S-、-CO-、-COO-、-NH-、-SO2-、-N(R31)-、または、-N(R31)SO2-などが途中に挿入されてもよい。R31は、炭素数1~6の直鎖状または分岐鎖状のアルキル基を表す。X2としては、ジメチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基、o-フェニレン基、m-フェニレン基、p-フェニレン基、-CH2CH2OCOCH2CH2-、または、-CH2CH2OCO(C64)-が好ましい。
rは0または1を表す。
qは0または1を表し、0が好ましい。
R 1 represents a methyl group or a halogen atom, preferably a methyl group, a chlorine atom or a bromine atom. p represents an integer of 0 to 2, preferably 0 or 1, more preferably 0;
R 2 represents a methyl group or an ethyl group, preferably a methyl group.
R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group, preferably a hydrogen atom. L represents a divalent linking group, preferably a group represented by the following general formula (3).
General formula (3): -(CO-X 1 ) r -X 2 -
In general formula (3), X 1 represents an oxygen atom or -NR 30 -. Here, R 30 represents a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, or an acyl group, each of which may have a substituent (eg, a halogen atom, a nitro group, and a hydroxyl group). R 30 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms (eg, methyl group, ethyl group, n-butyl group, n-octyl group), or an acyl group (eg, acetyl group, and benzoyl group) is preferred. X 1 is preferably an oxygen atom or -NH-.
X 2 represents an alkylene group, an arylene group, an alkylenearylene group, an arylenealkylene group, or an alkylenearylenealkylene group, and these groups include -O-, -S-, -CO-, -COO-, -NH -, -SO 2 -, -N(R 31 )-, or -N(R 31 )SO 2 - may be inserted in the middle. R 31 represents a linear or branched alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. X 2 is a dimethylene group, trimethylene group, tetramethylene group, o-phenylene group, m-phenylene group, p-phenylene group, -CH 2 CH 2 OCOCH 2 CH 2 -, or -CH 2 CH 2 OCO ( C 6 H 4 )— is preferred.
r represents 0 or 1;
q represents 0 or 1, with 0 being preferred.

4は、アルキル基、アルケニル基、または、アルキニル基を表し、炭素数5~50のアルキル基が好ましく、炭素数5~30のアルキル基がより好ましく、炭素数5~20のアルキル基がさらに好ましい。
5は、水素原子、メチル基、エチル基、ハロゲン原子、または、-CH2COOR6を表し、水素原子、メチル基、ハロゲン原子、または、-CH2COOR6が好ましく、水素原子、メチル基、または、-CH2COOR6がより好ましく、水素原子がさらに好ましい。
6は、水素原子または炭素数1~80のアルキル基を表し、R4と同じでも異なってもよく、R6の炭素数は1~70が好ましく、1~60がより好ましい。
R 4 represents an alkyl group, an alkenyl group, or an alkynyl group, preferably an alkyl group having 5 to 50 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 5 to 30 carbon atoms, and further an alkyl group having 5 to 20 carbon atoms. preferable.
R 5 represents a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a halogen atom, or —CH 2 COOR 6 , preferably a hydrogen atom, a methyl group, a halogen atom, or —CH 2 COOR 6 , a hydrogen atom, a methyl group; , or -CH 2 COOR 6 is more preferred, and a hydrogen atom is even more preferred.
R 6 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 80 carbon atoms and may be the same as or different from R 4 . R 6 preferably has 1 to 70 carbon atoms, more preferably 1 to 60 carbon atoms.

一般式(1)中、x、y、z、およびwは各繰り返し単位のモル比率を表す。
xは、3~60モル%であり、3~50モル%が好ましく、3~40モル%がより好ましい。
yは、30~96モル%であり、35~95モル%が好ましく、40~90モル%がより好ましい。
zは、0.5~25モル%であり、0.5~20モル%が好ましく、1~20モル%がより好ましい。
wは、0.5~40モル%であり、0.5~30モル%が好ましい。
一般式(1)において、xは3~40モル%、yは40~90モル%、zは0.5~20モル%、wは0.5~10モル%の場合が好ましい。
In general formula (1), x, y, z, and w represent the molar ratio of each repeating unit.
x is 3 to 60 mol %, preferably 3 to 50 mol %, more preferably 3 to 40 mol %.
y is 30 to 96 mol%, preferably 35 to 95 mol%, more preferably 40 to 90 mol%.
z is 0.5 to 25 mol %, preferably 0.5 to 20 mol %, more preferably 1 to 20 mol %.
w is 0.5 to 40 mol %, preferably 0.5 to 30 mol %.
In general formula (1), x is preferably 3 to 40 mol%, y is 40 to 90 mol%, z is 0.5 to 20 mol%, and w is 0.5 to 10 mol%.

一般式(1)で表される高分子としては、下記一般式(2)で表される高分子が好ましい。 A polymer represented by the following general formula (2) is preferable as the polymer represented by the general formula (1).

一般式(2)中、x、y、zおよびwは、上記の定義の通りである。 In general formula (2), x, y, z and w are as defined above.

一般式(1)で表される高分子は、上記一般式(A)~(D)で表される繰り返し単位以外の他の繰り返し単位を含んでもよい。
他の繰り返し単位を形成するためのモノマーとしては、例えば、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、ビニルエステル類、オレフィン類、クロトン酸エステル類、イタコン酸ジエステル類、マレイン酸ジエステル類、フマル酸ジエステル類、アクリルアミド類、不飽和カルボン酸類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルケトン類、ビニル異節環化合物、グリシジルエステル類、および、不飽和ニトリル類が挙げられる。これらのモノマーとしては、特許第3754745号公報の段落0010~0022にも記載されている。疎水性の点から、アクリル酸エステル類またはメタクリル酸エステル類が好ましく、ヒドロキシアルキルメタクリレートまたはヒドロキシアルキルアクリレートがより好ましい。
一般式(1)で表される高分子は、一般式(E)で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。
The polymer represented by formula (1) may contain repeating units other than the repeating units represented by formulas (A) to (D).
Examples of monomers for forming other repeating units include acrylic acid esters, methacrylic acid esters, vinyl esters, olefins, crotonic acid esters, itaconic acid diesters, maleic acid diesters, and fumaric acid diesters. , acrylamides, unsaturated carboxylic acids, allyl compounds, vinyl ethers, vinyl ketones, vinyl heterocyclic compounds, glycidyl esters, and unsaturated nitriles. These monomers are also described in paragraphs 0010 to 0022 of Japanese Patent No. 3754745. From the viewpoint of hydrophobicity, acrylic acid esters or methacrylic acid esters are preferred, and hydroxyalkyl methacrylates or hydroxyalkyl acrylates are more preferred.
The polymer represented by general formula (1) preferably contains a repeating unit represented by general formula (E).

一般式(E)
General formula (E)

上記式中、LEはアルキレン基を表し、炭素数1~10のアルキレン基が好ましく、炭素数2~6のアルキレン基がより好ましく、炭素数2~4のアルキレン基がさらに好ましい。In the above formula, L E represents an alkylene group, preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, and even more preferably an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms.

一般式(1)で表される高分子としては、下記一般式(3)で表される高分子が特に好ましい。 A polymer represented by the following general formula (3) is particularly preferable as the polymer represented by the general formula (1).

上記式中、a1、b1、c1、d1、およびe1は各繰り返し単位のモル比率を表し、a1は3~60(モル%)、b1は30~95(モル%)、c1は0.5~25(モル%)、d1は0.5~40(モル%)、e1は1~10(モル%)を表す。
a1の好ましい範囲は上記xの好ましい範囲と同じであり、b1の好ましい範囲は上記yの好ましい範囲と同じであり、c1の好ましい範囲は上記zの好ましい範囲と同じであり、d1の好ましい範囲は上記wの好ましい範囲と同じである。
e1は、1~10モル%であり、2~9モル%が好ましく、2~8モル%がより好ましい。
In the above formula, a1, b1, c1, d1, and e1 represent the molar ratio of each repeating unit, a1 is 3 to 60 (mol%), b1 is 30 to 95 (mol%), c1 is 0.5 to 25 (mol %), d1 represents 0.5 to 40 (mol %), and e1 represents 1 to 10 (mol %).
The preferred range of a1 is the same as the preferred range of x above, the preferred range of b1 is the same as the preferred range of y above, the preferred range of c1 is the same as the preferred range of z above, and the preferred range of d1 is It is the same as the preferred range of w above.
e1 is 1 to 10 mol %, preferably 2 to 9 mol %, more preferably 2 to 8 mol %.

特定高分子は、例えば、特許第3305459号公報および特許第3754745号公報などを参照して合成できる。
特定高分子の重量平均分子量は特に制限されず、1000~1000000が好ましく、2000~750000がより好ましく、3000~500000がさらに好ましい。
The specific polymer can be synthesized with reference to, for example, Japanese Patent No. 3305459 and Japanese Patent No. 3754745.
The weight average molecular weight of the specific polymer is not particularly limited, and is preferably 1,000 to 1,000,000, more preferably 2,000 to 750,000, and even more preferably 3,000 to 500,000.

感光性層には、必要に応じて、上述した材料以外の他の材料が含まれていてもよい。
例えば、ハロゲン化銀の安定化および高感度化のために用いられるロジウム化合物およびイリジウム化合物などの8族および9族に属する金属化合物が挙げられる。または、特開2009-004348号公報の段落0220~0241に記載されるような、帯電防止剤、造核促進剤、分光増感色素、界面活性剤、カブリ防止剤、硬膜剤、黒ポツ防止剤、レドックス化合物、モノメチン化合物、および、ジヒドロキシベンゼン類も挙げられる。さらには、感光性層には、物理現像核が含まれていてもよい。
The photosensitive layer may contain materials other than those mentioned above, if necessary.
Examples thereof include metal compounds belonging to Groups 8 and 9 such as rhodium compounds and iridium compounds used for stabilizing silver halide and increasing sensitivity. Alternatively, antistatic agents, nucleation accelerators, spectral sensitizing dyes, surfactants, antifoggants, hardeners, black spot prevention, as described in paragraphs 0220 to 0241 of JP-A-2009-004348. Also included are agents, redox compounds, monomethine compounds, and dihydroxybenzenes. Furthermore, the photosensitive layer may contain physical development nuclei.

また、感光性層には、上記特定高分子同士を架橋するために使用される架橋剤が含まれていてもよい。架橋剤が含まれることにより、特定高分子同士間での架橋が進行し、ゼラチンが分解除去された際にも導電性細線中の金属銀同士の連結が保たれる。 In addition, the photosensitive layer may contain a cross-linking agent used for cross-linking the specific polymers. The inclusion of the cross-linking agent promotes cross-linking between the specific polymers, so that even when the gelatin is decomposed and removed, the connection between the metallic silver particles in the conductive fine wire is maintained.

[工程Aの手順]
工程Aにおいて上記成分を含む感光性層を形成する方法は特に制限されないが、生産性の点から、ハロゲン化銀とゼラチンと特定高分子とを含む感光性層形成用組成物を支持体上に接触させ、支持体上に感光性層を形成する方法が好ましい。
以下に、この方法で使用される感光性層形成用組成物の形態について詳述し、その後、工程の手順について詳述する。
[Procedure of step A]
The method of forming a photosensitive layer containing the above components in step A is not particularly limited, but from the viewpoint of productivity, a composition for forming a photosensitive layer containing silver halide, gelatin and a specific polymer is coated on a support. A method of contacting to form a photosensitive layer on a support is preferred.
Below, the form of the composition for forming a photosensitive layer used in this method will be described in detail, and then the procedure of the steps will be described in detail.

[感光性層形成用組成物に含まれる材料]
感光性層形成用組成物には、上述したハロゲン化銀とゼラチンと特定高分子とが含まれる。なお、必要に応じて、特定高分子は粒子状の形態で感光性層形成用組成物中に含まれていてもよい。
感光性層形成用組成物には、必要に応じて、溶媒が含まれていてもよい。
溶媒としては、水、有機溶媒(例えば、アルコール類、ケトン類、アミド類、スルホキシド類、エステル類、および、エーテル類)、イオン性液体、および、これらの混合溶媒が挙げられる。
[Materials contained in the composition for forming a photosensitive layer]
The photosensitive layer-forming composition contains the above-described silver halide, gelatin, and specific polymer. In addition, the specific polymer may be contained in the composition for forming a photosensitive layer in the form of particles, if necessary.
The composition for forming a photosensitive layer may contain a solvent, if necessary.
Solvents include water, organic solvents (eg, alcohols, ketones, amides, sulfoxides, esters, and ethers), ionic liquids, and mixed solvents thereof.

感光性層形成用組成物と支持体とを接触させる方法は特に制限されず、例えば、感光性層形成用組成物を支持体上に塗布する方法、および、感光性層形成用組成物中に支持体を浸漬する方法などが挙げられる。
なお、上記処理後、必要に応じて、乾燥処理を実施してもよい。
The method of contacting the composition for forming a photosensitive layer with the support is not particularly limited. A method of immersing the support and the like can be mentioned.
In addition, after the above treatment, a drying treatment may be performed as necessary.

[ハロゲン化銀含有感光性層]
上記手順により形成された感光性層中には、ハロゲン化銀とゼラチンと特定高分子とが含まれる。
感光性層中におけるハロゲン化銀の含有量は特に制限されず、導電性基板の導電性がより優れる点で、銀換算で3.0~20.0g/m2が好ましく、5.0~15.0g/m2がより好ましい。
銀換算とは、ハロゲン化銀が全て還元されて生成される銀の質量に換算したことを意味する。
感光性層中における特定高分子の含有量は特に制限されず、導電性基板の導電性がより優れる点で、0.04~2.0g/m2が好ましく、0.08~0.40g/m2がより好ましく、0.10~0.40g/m2がさらに好ましい。
[Silver halide-containing photosensitive layer]
The photosensitive layer formed by the above procedure contains silver halide, gelatin and a specific polymer.
The content of silver halide in the photosensitive layer is not particularly limited, and is preferably 3.0 to 20.0 g/m 2 , more preferably 5.0 to 15 g/m 2 in terms of silver, from the viewpoint of better conductivity of the conductive substrate. 0 g/m 2 is more preferred.
The term "in terms of silver" means that the amount is converted into the mass of silver produced by reducing all the silver halide.
The content of the specific polymer in the photosensitive layer is not particularly limited. m 2 is more preferred, and 0.10 to 0.40 g/m 2 is even more preferred.

(工程B)
工程Bは、感光性層を露光した後、現像処理して、金属銀とゼラチンと特定高分子とを含む細線状の銀含有層を形成する工程である。
(Step B)
Step B is a step of exposing the photosensitive layer and then developing it to form a fine linear silver-containing layer containing metallic silver, gelatin, and a specific polymer.

感光性層に露光処理を施すことにより、露光領域において潜像が形成される。
露光はパターン状に実施してもよく、例えば、後述する導電性細線からなるメッシュパターンを得るためには、メッシュ状の開口パターンを有するマスクを介して、露光する方法、および、レーザー光を走査してメッシュ状に露光する方法が挙げられる。
露光の際に使用される光の種類は特に制限されず、ハロゲン化銀に潜像を形成できるものであればよく、例えば、可視光線、紫外線、および、X線が挙げられる。
By exposing the photosensitive layer, a latent image is formed in the exposed areas.
The exposure may be carried out in a pattern. For example, in order to obtain a mesh pattern composed of conductive fine lines, which will be described later, a method of exposing through a mask having a mesh-like opening pattern and scanning with a laser beam are used. and a method of exposing in a mesh pattern.
The type of light used for exposure is not particularly limited as long as it can form a latent image on silver halide, and examples thereof include visible light, ultraviolet rays, and X-rays.

露光された感光性層に現像処理を施すことにより、露光領域(潜像が形成された領域)では、金属銀が析出する。
現像処理の方法は特に制限されず、例えば、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、および、フォトマスク用エマルジョンマスクに用いられる公知の方法が挙げられる。
現像処理では、通常、現像液を用いる。現像液の種類は特に制限されず、例えば、PQ(phenidone hydroquinone)現像液、MQ(Metol hydroquinone)現像液、および、MAA(メトール・アスコルビン酸)現像液が挙げられる。
By developing the exposed photosensitive layer, metallic silver is precipitated in the exposed areas (areas where the latent image is formed).
The method of development processing is not particularly limited, and examples thereof include known methods used for silver salt photographic films, photographic papers, printing plate-making films, and emulsion masks for photomasks.
A developing solution is usually used in the development processing. The type of developer is not particularly limited, and examples thereof include PQ (phenidone hydroquinone) developer, MQ (Metol hydroquinone) developer, and MAA (methol ascorbic acid) developer.

本工程は、未露光部分のハロゲン化銀を除去して安定化させる目的で行われる定着処理をさらに有していてもよい。
定着処理は、現像と同時および/または現像の後に実施される。定着処理の方法は特に制限されず、例えば、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、および、フォトマスク用エマルジョンマスクに用いられる方法が挙げられる。
定着処理では、通常、定着液を用いる。定着液の種類は特に制限されず、例えば、「写真の化学」(笹井著、写真工業出版社(株))p321記載の定着液が挙げられる。
This step may further include a fixing treatment for the purpose of removing and stabilizing the silver halide in the unexposed areas.
A fixing process is performed simultaneously with and/or after development. The fixing treatment method is not particularly limited, and examples thereof include methods used for silver halide photographic films, photographic papers, printing plate-making films, and emulsion masks for photomasks.
A fixing solution is usually used in the fixing process. The type of fixing solution is not particularly limited, and examples thereof include fixing solutions described in "Shinshin no Kagaku" (written by Sasai, Shashin Kogyo Publishing Co., Ltd.) p.321.

上記処理を実施することにより、金属銀とゼラチンと特定高分子とを含む細線状の銀含有層が形成される。 By carrying out the above treatment, a fine-line-shaped silver-containing layer containing metallic silver, gelatin, and a specific polymer is formed.

なお、銀含有層の幅を調整する方法としては、例えば、露光時に使用されるマスクの開口幅を調整する方法が挙げられる。
また、露光時にマスクを使用する際には、露光量を調整することにより、形成される銀含有層の幅を調整することもできる。例えば、マスクの開口幅が目標とする銀含有層の幅よりも狭い場合には、露光量を通常よりも増加させることにより、潜像が形成される領域の幅を調整できる。
さらに、レーザー光を用いる場合は、レーザー光の集光範囲および/または走査範囲を調整することにより、露光領域を調整できる。
In addition, as a method of adjusting the width of the silver-containing layer, for example, a method of adjusting the opening width of the mask used at the time of exposure can be mentioned.
Moreover, when using a mask at the time of exposure, the width of the formed silver-containing layer can also be adjusted by adjusting the amount of exposure. For example, if the opening width of the mask is narrower than the target width of the silver-containing layer, the width of the region where the latent image is formed can be adjusted by increasing the exposure dose more than usual.
Furthermore, when laser light is used, the exposure area can be adjusted by adjusting the condensing range and/or scanning range of the laser light.

(工程C)
工程Cは、工程Bで得られた銀含有層に対して加熱処理を施す工程である。本工程を実施することにより、銀含有層中の特定高分子間での融着が進行し、銀含有層の強度が向上する。
(Process C)
Step C is a step of subjecting the silver-containing layer obtained in step B to heat treatment. By carrying out this step, the fusion between the specific polymers in the silver-containing layer progresses, and the strength of the silver-containing layer is improved.

加熱処理の方法は特に制限されず、銀含有層と過熱蒸気とを接触させる方法、および、温調装置(例えば、ヒーター)で銀含有層を加熱する方法が挙げられ、銀含有層と過熱蒸気とを接触させる方法が好ましい。 The method of heat treatment is not particularly limited, and includes a method of bringing the silver-containing layer into contact with superheated steam, and a method of heating the silver-containing layer with a temperature control device (e.g., heater). A method of contacting is preferred.

過熱蒸気としては、過熱水蒸気でもよいし、過熱水蒸気に他のガスを混合させたものでもよい。
過熱蒸気と銀含有層との接触時間は特に制限されず、10~70秒間が好ましい。
過熱蒸気の供給量は、500~600g/m3が好ましく、過熱蒸気の温度は、1気圧で100~160℃(好ましくは100~120℃)が好ましい。
The superheated steam may be superheated steam or a mixture of superheated steam and other gas.
The contact time between the superheated steam and the silver-containing layer is not particularly limited, and is preferably 10 to 70 seconds.
The amount of superheated steam supplied is preferably 500 to 600 g/m 3 , and the temperature of the superheated steam is preferably 100 to 160°C (preferably 100 to 120°C) at 1 atmospheric pressure.

温調装置で銀含有層を加熱する方法における加熱条件としては、100~200℃(好ましくは100~150℃)で1~240分間(好ましくは60~150分間)加熱する条件が好ましい。 The heating conditions in the method of heating the silver-containing layer with a temperature control device are preferably 100 to 200° C. (preferably 100 to 150° C.) for 1 to 240 minutes (preferably 60 to 150 minutes).

(工程D)
工程Dは、工程Cで得られた銀含有層中のゼラチンを除去する工程である。本工程を実施することにより、銀含有層からゼラチンが除去され、銀含有層中に空間が形成される。
(Process D)
Step D is a step of removing the gelatin in the silver-containing layer obtained in Step C. By carrying out this step, gelatin is removed from the silver-containing layer and spaces are formed in the silver-containing layer.

ゼラチンを除去する方法は特に制限されず、例えば、タンパク質分解酵素を用いる方法(以下、「方法1」ともいう。)、および、酸化剤を用いてゼラチンを分解除去する方法(以下、「方法2」ともいう。)が挙げられる。 The method for removing gelatin is not particularly limited. "Also called.).

方法1において用いられるタンパク質分解酵素としては、ゼラチンなどのタンパク質を加水分解できる植物性または動物性酵素で公知の酵素が挙げられる。
タンパク質分解酵素としては、例えば、ペプシン、レンニン、トリプシン、キモトリプシン、カテプシン、パパイン、フィシン、トロンビン、レニン、コラゲナーゼ、ブロメライン、および、細菌プロテアーゼが挙げられ、トリプシン、パパイン、フィシン、または、細菌プロテアーゼが好ましい。
方法1における手順としては、銀含有層と上記タンパク質分解酵素とを接触させる方法であればよく、例えば、銀含有層とタンパク質分解酵素を含む処理液(以下、「酵素液」ともいう。)とを接触させる方法が挙げられる。接触方法としては、銀含有層を酵素液中に浸漬させる方法、および、銀含有層上に酵素液を塗布する方法が挙げられる。
酵素液中におけるタンパク質分解酵素の含有量は特に制限されず、ゼラチンの分解除去の程度が制御しやすい点で、酵素液全量に対して、0.05~20質量%が好ましく、0.5~10質量%がより好ましい。
酵素液には、上記タンパク質分解酵素に加え、通常、水が含まれる。
酵素液には、必要に応じて、他の添加剤(例えば、pH緩衝剤、抗菌性化合物、湿潤剤、および、保恒剤)が含まれていてもよい。
酵素液のpHは、酵素の働きが最大限得られるように選ばれるが、一般的には、5~9が好ましい。
酵素液の温度は、酵素の働きが高まる温度、具体的には25~45℃が好ましい。
The proteolytic enzymes used in method 1 include known vegetable or animal enzymes that can hydrolyze proteins such as gelatin.
Proteolytic enzymes include, for example, pepsin, rennin, trypsin, chymotrypsin, cathepsin, papain, ficin, thrombin, renin, collagenase, bromelain and bacterial proteases, preferably trypsin, papain, ficin or bacterial proteases. .
The procedure in method 1 may be any method as long as the silver-containing layer and the protease are brought into contact with each other. A method of contacting is mentioned. Examples of the contact method include a method of immersing the silver-containing layer in the enzyme solution and a method of coating the silver-containing layer with the enzyme solution.
The content of the proteolytic enzyme in the enzyme solution is not particularly limited, and is preferably 0.05 to 20% by mass, preferably 0.5 to 0.5%, based on the total amount of the enzyme solution in terms of easy control of the degree of gelatin decomposition and removal. 10% by mass is more preferred.
The enzyme solution usually contains water in addition to the protease.
The enzyme solution may optionally contain other additives (eg, pH buffers, antimicrobial compounds, wetting agents, and preservatives).
The pH of the enzyme solution is selected so that the action of the enzyme can be maximized, and generally 5-9 is preferred.
The temperature of the enzyme solution is preferably a temperature at which the action of the enzyme is enhanced, specifically 25 to 45°C.

なお、必要に応じて、酵素液での処理後に、得られた銀含有層を温水にて洗浄する洗浄処理を実施してもよい。
洗浄方法は特に制限されず、銀含有層と温水とを接触させる方法が好ましく、例えば、温水中に銀含有層を浸漬する方法、および、銀含有層上に温水を塗布する方法が挙げられる。
温水の温度は使用されるタンパク質分解酵素の種類に応じて適宜最適な温度が選択され、生産性の点から、20~80℃が好ましく、40~60℃がより好ましい。
温水と銀含有層との接触時間(洗浄時間)は特に制限されず、生産性の点から、1~600秒間が好ましく、30~360秒間がより好ましい。
In addition, if necessary, after the treatment with the enzyme solution, the obtained silver-containing layer may be washed with warm water.
The washing method is not particularly limited, and a method of contacting the silver-containing layer with warm water is preferable. Examples thereof include a method of immersing the silver-containing layer in warm water and a method of applying warm water on the silver-containing layer.
The temperature of the hot water is appropriately selected depending on the type of protease used, and is preferably 20 to 80°C, more preferably 40 to 60°C, from the viewpoint of productivity.
The contact time (washing time) between the hot water and the silver-containing layer is not particularly limited, and is preferably 1 to 600 seconds, more preferably 30 to 360 seconds, from the viewpoint of productivity.

方法2で用いられる酸化剤としては、ゼラチンを分解できる酸化剤であればよく、標準電極電位が+1.5V以上である酸化剤が好ましい。なお、ここで標準電極電位とは、酸化剤の水溶液中における標準水素電極に対する標準電極電位(25℃、E0)を意図する。
上記酸化剤としては、例えば、過硫酸、過炭酸、過リン酸、次過塩素酸、過酢酸、メタクロロ過安息香酸、過酸化水素水、過塩素酸、過ヨウ素酸、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、オゾン、次亜塩素酸またはその塩などが挙げられる。なかでも、生産性、経済性の点で、過酸化水素水(標準電極電位:1.76V)、次亜塩素酸またはその塩が好ましく、次亜塩素酸ナトリウムがより好ましい。
The oxidizing agent used in Method 2 may be any oxidizing agent capable of decomposing gelatin, and an oxidizing agent having a standard electrode potential of +1.5 V or higher is preferable. Here, the standard electrode potential means the standard electrode potential (25° C., E0) with respect to the standard hydrogen electrode in the aqueous solution of the oxidizing agent.
Examples of the oxidizing agent include persulfuric acid, percarbonic acid, superphosphoric acid, hypoperchloric acid, peracetic acid, meta-chloroperbenzoic acid, hydrogen peroxide solution, perchloric acid, periodic acid, potassium permanganate, ammonium sulfate, ozone, hypochlorous acid or salts thereof, and the like. Among them, hydrogen peroxide water (standard electrode potential: 1.76 V), hypochlorous acid or a salt thereof are preferred, and sodium hypochlorite is more preferred, in terms of productivity and economy.

方法2における手順としては、銀含有層と上記酸化剤とを接触させる方法であればよく、例えば、銀含有層と酸化剤を含む処理液(以下、「酸化剤液」ともいう。)とを接触させる方法が挙げられる。接触方法としては、銀含有層を酸化剤液中に浸漬させる方法、および、銀含有層上に酸化剤液を塗布する方法が挙げられる。
酸化剤液に含まれる溶媒の種類は特に制限されず、水、および、有機溶媒が挙げられる。
The procedure in method 2 may be any method as long as it is a method of bringing the silver-containing layer into contact with the oxidizing agent. A method of contacting can be mentioned. Examples of the contact method include a method of immersing the silver-containing layer in an oxidizing agent solution and a method of coating the silver-containing layer with an oxidizing agent solution.
The type of solvent contained in the oxidizing agent liquid is not particularly limited, and includes water and organic solvents.

(工程2)
工程2は、工程1で得られた細線状の銀含有層に対して、上記めっき液、または、上記めっきセットを用いて、めっき処理を施して、導電性細線を形成する工程である。
本工程を実施することにより、細線状の銀含有層上および内部にめっきが析出する。特に、上述した工程A~工程Dによって得られる銀含有層内にはゼラチンを除去することによって形成された空間があるため、本工程を実施することにより空間に金属(めっき金属)が充填された導電性細線が形成される。
(Step 2)
Step 2 is a step of plating the thin wire-shaped silver-containing layer obtained in Step 1 with the above plating solution or the above plating set to form a conductive thin wire.
By carrying out this step, plating is deposited on and inside the fine-line-shaped silver-containing layer. In particular, since there is a space formed by removing gelatin in the silver-containing layer obtained by the above steps A to D, the space was filled with a metal (plated metal) by performing this step. A thin conductive line is formed.

本工程で使用されるめっき液およびめっきセットは、上述した通りである。 The plating solution and plating set used in this step are as described above.

上記めっき処理の手順は特に制限されず、めっき液を用いる場合は、銀含有層とめっき液とを接触させる方法であればよく、例えば、めっき液中に銀含有層を浸漬させる方法が挙げられる。
銀含有層とめっき液との接触時間は特に制限されず、導電性細線の導電性がより優れる点および生産性の点から、30秒間~30分間が好ましい。
The procedure of the plating treatment is not particularly limited, and when a plating solution is used, any method may be used as long as the silver-containing layer is brought into contact with the plating solution, and examples thereof include a method of immersing the silver-containing layer in the plating solution. .
The contact time between the silver-containing layer and the plating solution is not particularly limited, and is preferably 30 seconds to 30 minutes from the viewpoints of better conductivity of the conductive thin wire and productivity.

また、めっきセットを用いる場合、銀含有層に対してめっき液および還元液を順次または同時に付与して、銀含有層とめっき液および還元液とを接触させて、銀含有層上および内部にめっきを析出される方法が挙げられる。 In the case of using a plating set, a plating solution and a reducing solution are sequentially or simultaneously applied to the silver-containing layer, the silver-containing layer is brought into contact with the plating solution and the reducing solution, and plating is performed on and inside the silver-containing layer. is deposited.

(その他の工程)
本発明の導電性基板の製造方法は、上記工程1および工程2以外の他の工程を有していてもよい。
(Other processes)
The method for manufacturing a conductive substrate of the present invention may have other steps than the steps 1 and 2 described above.

本発明の導電性基板の製造方法は、工程2の後に、工程2で得られた導電性細線に、さらに平滑化処理を施す工程3を有していてもよい。
本工程を実施することにより、導電性により優れる導電性細線が得られる。
The method for manufacturing a conductive substrate according to the present invention may include, after step 2, step 3 of smoothing the conductive thin wires obtained in step 2.
By carrying out this step, a conductive thin wire having excellent conductivity can be obtained.

平滑化処理の方法は特に制限されず、例えば、導電性細線を有する支持体を、少なくとも一対のロール間を加圧下で通過させるカレンダー処理工程が好ましい。以下、カレンダーロールを用いた平滑化処理をカレンダー処理と記す。
カレンダー処理に用いられるロールとしては、プラスチックロール、および、金属ロールが挙げられ、シワ防止の点から、プラスチックロールが好ましい。
ロール間の圧力は特に制限されず、2MPa以上が好ましく、4MPa以上がより好ましく、120MPa以下が好ましい。なお、ロール間の圧力は、富士フイルム株式会社製プレスケール(高圧用)を用いて測定できる。
平滑化処理の温度は特に制限されず、10~100℃が好ましく、10~50℃がより好ましい。
The smoothing treatment method is not particularly limited, and for example, a calendering step of passing a support having conductive thin wires through at least a pair of rolls under pressure is preferred. The smoothing treatment using the calender roll is hereinafter referred to as calender treatment.
Examples of rolls used for calendering include plastic rolls and metal rolls, and plastic rolls are preferred from the viewpoint of preventing wrinkles.
The pressure between the rolls is not particularly limited, and is preferably 2 MPa or more, more preferably 4 MPa or more, and preferably 120 MPa or less. In addition, the pressure between rolls can be measured using Prescale (for high pressure) manufactured by FUJIFILM Corporation.
The temperature of the smoothing treatment is not particularly limited, preferably 10 to 100°C, more preferably 10 to 50°C.

本発明の導電性基板の製造方法は、工程3の後に、さらに、工程3で得られた導電性細線に加熱処理を施す工程4を有していてもよい。本工程を実施することにより、導電性により優れる導電性細線が得られる。
導電性細線に加熱処理を施す方法は特に制限されず、工程Cで述べた方法が挙げられる。
The method for manufacturing a conductive substrate of the present invention may further include a step 4 of heat-treating the conductive fine wires obtained in the step 3 after the step 3. By carrying out this step, a conductive thin wire having excellent conductivity can be obtained.
The method of heat-treating the conductive fine wire is not particularly limited, and the method described in step C can be mentioned.

本発明の導電性基板の製造方法は、工程Aの前に、支持体上にゼラチンおよび特定高分子を含むハロゲン化銀不含有層を形成する工程Eを有していてもよい。本工程を実施することにより、支持体とハロゲン化銀含有感光性層との間にハロゲン化銀不含有層が形成される。このハロゲン化銀不含有層は、いわゆるアンチハレーション層の役割を果たすと共に、導電性細線と支持体との密着性向上に寄与する。
ハロゲン化銀不含有層には、上述したゼラチンと特定高分子とが含まれる。一方、ハロゲン化銀不含有層には、ハロゲン化銀が含まれない。
ハロゲン化銀不含有層中における、ゼラチンの質量に対する、特定高分子の質量の比(特定高分子の質量/ゼラチンの質量)は特に制限されず、0.1~5.0が好ましく、1.0~3.0がより好ましい。
ハロゲン化銀不含有層中の特定高分子の含有量は特に制限されず、0.03g/m2以上の場合が多く、導電性細線の密着性がより優れる点で、1.0g/m2以上が好ましい。上限は特に制限されないが、1.63g/m2以下の場合が多い。
The method for producing a conductive substrate of the present invention may have, before step A, step E of forming a silver halide-free layer containing gelatin and a specific polymer on the support. By carrying out this step, a silver halide-free layer is formed between the support and the silver halide-containing photosensitive layer. This silver halide-free layer plays the role of a so-called antihalation layer and contributes to the improvement of the adhesion between the fine conductive wires and the support.
The silver halide-free layer contains gelatin and the specific polymer described above. On the other hand, the silver halide-free layer does not contain silver halide.
The ratio of the mass of the specific polymer to the mass of gelatin (mass of the specific polymer/mass of gelatin) in the silver halide-free layer is not particularly limited, and is preferably 0.1 to 5.0. 0 to 3.0 is more preferable.
The content of the specific polymer in the silver halide-free layer is not particularly limited, and is often 0.03 g/m 2 or more . The above is preferable. Although the upper limit is not particularly limited, it is often 1.63 g/m 2 or less.

ハロゲン化銀不含有層の形成方法は特に制限されず、例えば、ゼラチンと特定高分子とを含有する層形成用組成物を支持体上に塗布して、必要に応じて加熱処理を施す方法が挙げられる。
層形成用組成物には、必要に応じて溶媒が含まれていてもよい。溶媒の種類は、上述した感光性層形成用組成物で使用される溶媒が例示される。
ハロゲン化銀不含有層の厚みは特に制限されず、0.05μm以上の場合が多く、導電性細線の密着性がより優れる点で、1.0μm超が好ましく、1.5μm以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、3.0μm以下の場合が多い。
The method of forming the silver halide-free layer is not particularly limited, and for example, a method of coating a layer-forming composition containing gelatin and a specific polymer on a support and, if necessary, heat-treating it. mentioned.
The layer-forming composition may contain a solvent, if necessary. The type of solvent is exemplified by the solvent used in the photosensitive layer-forming composition described above.
The thickness of the silver halide-free layer is not particularly limited, and is often 0.05 μm or more, preferably more than 1.0 μm, more preferably 1.5 μm or more, from the viewpoint of better adhesion of the conductive fine wires. Although the upper limit is not particularly limited, it is often 3.0 μm or less.

本発明の導電性基板の製造方法は、工程Aの後で工程Bの前に、ハロゲン化銀含有感光性層上にゼラチンと特定高分子とを含む保護層を形成する工程Fを有していてもよい。保護層を設けることにより、感光性層の擦り傷防止および力学特性を改良できる。
保護層中における、ゼラチンの質量に対する、特定高分子の質量の比(特定高分子の質量/ゼラチンの質量)は特に制限されず、0超2.0以下が好ましく、0超1.0以下がより好ましい。
また、保護層中の特定高分子の含有量は特に制限されず、0g/m2超0.3g/m2以下が好ましく、0.005~0.1g/m2がより好ましい。
The method for producing a conductive substrate of the present invention has, after step A and before step B, step F of forming a protective layer containing gelatin and a specific polymer on the silver halide-containing photosensitive layer. may By providing a protective layer, the scratch resistance and mechanical properties of the photosensitive layer can be improved.
The ratio of the mass of the specific polymer to the mass of gelatin in the protective layer (mass of the specific polymer/mass of gelatin) is not particularly limited, and is preferably more than 0 and 2.0 or less, more than 0 and 1.0 or less. more preferred.
Moreover, the content of the specific polymer in the protective layer is not particularly limited, and is preferably more than 0 g/m 2 and not more than 0.3 g/m 2 , more preferably 0.005 to 0.1 g/m 2 .

保護層の形成方法は特に制限されず、例えば、ゼラチンと特定高分子とを含む保護層形成用組成物をハロゲン化銀含有感光性層上に塗布して、必要に応じて加熱処理を施す方法が挙げられる。
保護層形成用組成物には、必要に応じて溶媒が含まれていてもよい。溶媒の種類は、上述した感光性層形成用組成物で使用される溶媒が例示される。
保護層の厚みは特に制限されず、0.03~0.3μmが好ましく、0.075~0.20μmがより好ましい。
The method of forming the protective layer is not particularly limited, and for example, a method of coating a protective layer-forming composition containing gelatin and a specific polymer on the silver halide-containing photosensitive layer and, if necessary, heat-treating it. is mentioned.
The protective layer-forming composition may contain a solvent, if necessary. The type of solvent is exemplified by the solvent used in the photosensitive layer-forming composition described above.
The thickness of the protective layer is not particularly limited, preferably 0.03 to 0.3 μm, more preferably 0.075 to 0.20 μm.

<導電性基板>
以下に、本発明の導電性基板の製造方法により得られる導電性基板の構造について説明する。
図3に、本発明の導電性基板の第1実施形態の断面図を示す。
導電性基板20は、支持体14と、支持体14上に配置された導電性細線16とを含む。なお、図1中は、導電性細線16が2つ記載されているが、その数は特に制限されない。
<Conductive substrate>
The structure of the conductive substrate obtained by the manufacturing method of the conductive substrate of the present invention will be described below.
FIG. 3 shows a cross-sectional view of a first embodiment of the conductive substrate of the present invention.
Conductive substrate 20 includes support 14 and conductive wires 16 disposed on support 14 . Although two conductive thin wires 16 are shown in FIG. 1, the number is not particularly limited.

導電性細線の線幅は特に制限されず、0.1~30μmの場合が多く、細線化の点から、0.5~20μmが好ましく、0.5~15μmがより好ましい。
導電性細線は所定のパターンを形成していてもよい。導電性細線によって形成されるパターンとしては、上述した細線状の銀含有層によって形成されるパターンが挙げられ、メッシュ状(メッシュパターン)が好ましい。
メッシュ状とは、上述した図1に示す形態である。
導電性細線により形成されるメッシュパターンの開口部の一辺の長さの好適範囲は、上述した細線状の銀含有層によって形成されるメッシュパターンの開口部の一辺の長さの好適範囲と同じである。
導電性細線により形成されるメッシュパターンの開口率の好適範囲は、上述した細線状の銀含有層によって形成されるメッシュパターンの開口率の好適範囲と同じである。
また、メッシュパターンを形成している導電性細線の線幅は特に制限されないが、可視光透過率の点から、0.5μm以上4.0μm未満が好ましい。
The line width of the conductive thin line is not particularly limited, and is often 0.1 to 30 μm.
The conductive fine lines may form a predetermined pattern. The pattern formed by the fine conductive wires includes the pattern formed by the silver-containing layer of fine wires described above, and is preferably in the form of a mesh (mesh pattern).
The mesh shape is the form shown in FIG. 1 described above.
The preferable range of the length of one side of the opening of the mesh pattern formed by the conductive fine lines is the same as the preferable range of the length of one side of the opening of the mesh pattern formed by the fine line-shaped silver-containing layer described above. be.
The preferred range of the aperture ratio of the mesh pattern formed of the conductive thin wires is the same as the preferred range of the aperture ratio of the mesh pattern formed of the fine wire-like silver-containing layer described above.
Also, the line width of the conductive fine lines forming the mesh pattern is not particularly limited, but from the viewpoint of visible light transmittance, it is preferably 0.5 μm or more and less than 4.0 μm.

また、複数の導電性細線は、互いに平行に配置されていてもよい。より具体的には、図2で示した細線状の銀含有層の場合と同様に、複数の導電性細線は、導電性細線が延びる方向と直交する方向に沿って配置されていてもよい。その際、複数の導電性細線の延在方向が、互いに平行になるように配置されている。このような平行に配置される導電性細線は、例えば、タッチパネルにおいては非表示部に配置される引出配線として使用され、この非表示部、いわゆる額縁部の幅は意匠性の観点から近年狭く設計されることが多い。このように配線配置の省スペース化のため、導電性細線の線幅は30μm以下が好ましく、20μm以下がより好ましい。下限は特に制限されないが、5μm以上の場合が多い。また、同様の観点から、導電性細線の間隔は30μm以下が好ましく、20μm以下がより好ましい。下限は特に制限されないが、5μm以上の場合が多い。 Also, the plurality of conductive thin wires may be arranged parallel to each other. More specifically, as in the fine-line silver-containing layer shown in FIG. 2, the plurality of conductive fine wires may be arranged along a direction perpendicular to the direction in which the conductive fine wires extend. At that time, the extending directions of the plurality of conductive thin wires are arranged so as to be parallel to each other. Such parallelly arranged conductive thin wires are used, for example, as lead wires arranged in the non-display portion of a touch panel, and the width of this non-display portion, the so-called frame portion, has been designed to be narrower in recent years from the viewpoint of design. It is often done. In order to save space in wiring arrangement, the line width of the conductive thin line is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is often 5 μm or more. From the same point of view, the distance between the conductive thin wires is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is often 5 μm or more.

<用途>
上記のようにして得られた導電性基板は、種々の用途に適用でき、タッチパネル(または、タッチパネルセンサー)、半導体チップ、各種電気配線板、FPC(Flexible Printed Circuits)、COF(Chip on Film)、TAB(Tape Automated Bonding)、アンテナ、多層配線基板、および、マザーボードなどの種々の用途に適用できる。なかでも、本発明の導電性基板は、タッチパネル(静電容量式タッチパネル)に用いることが好ましい。
本発明の導電性基板をタッチパネルに用いる場合、上述した導電性細線は検出電極として有効に機能し得る。
<Application>
The conductive substrate obtained as described above can be applied to various applications, such as touch panels (or touch panel sensors), semiconductor chips, various electric wiring boards, FPCs (Flexible Printed Circuits), COFs (Chip on Film), It can be applied to various uses such as TAB (Tape Automated Bonding), antennas, multilayer wiring boards, and motherboards. Among others, the conductive substrate of the present invention is preferably used for a touch panel (capacitive touch panel).
When the conductive substrate of the present invention is used for a touch panel, the conductive fine lines described above can effectively function as detection electrodes.

以下に本発明の実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、および、処理手順などは、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。 EXAMPLES The present invention will be described more specifically below with reference to Examples of the present invention. It should be noted that the materials, usage amounts, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the gist of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed to be limited by the specific examples shown below.

参考例1>
(ハロゲン化銀乳剤の調製)
38℃、pH4.5に保たれた下記1液に、下記の2液および3液の各々90%に相当する量を、1液を攪拌しながら同時に20分間にわたって加え、0.16μmの核粒子を形成した。続いて、得られた溶液に下記4液および5液を8分間にわたって加え、さらに、下記の2液および3液の残りの10%の量を2分間にわたって加え、核粒子を0.21μmまで成長させた。さらに、得られた溶液にヨウ化カリウム0.15gを加え、5分間熟成し、粒子形成を終了した。
< Reference example 1>
(Preparation of silver halide emulsion)
Liquid 1 below was kept at 38° C. and pH 4.5, and 90% of each of liquids 2 and 3 below was added simultaneously over 20 minutes with stirring to liquid 1 to form core particles of 0.16 μm. formed. Subsequently, Liquids 4 and 5 below were added to the resulting solution over 8 minutes, and the remaining 10% of Liquids 2 and 3 below were added over 2 minutes to grow the core particles to 0.21 μm. let me Further, 0.15 g of potassium iodide was added to the resulting solution and aged for 5 minutes to complete grain formation.

1液:
水 750ml
ゼラチン 8.6g
塩化ナトリウム 3g
1,3-ジメチルイミダゾリジン-2-チオン 20mg
ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム 10mg
クエン酸 0.7g
2液:
水 300ml
硝酸銀 150g
3液:
水 300ml
塩化ナトリウム 38g
臭化カリウム 32g
ヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム
(0.005%KCl 20%水溶液) 5ml
ヘキサクロロロジウム酸アンモニウム
(0.001%NaCl 20%水溶液) 7ml
4液:
水 100ml
硝酸銀 50g
5液:
水 100ml
塩化ナトリウム 13g
臭化カリウム 11g
黄血塩 5mg
Liquid 1:
750 ml of water
8.6g gelatin
3 g of sodium chloride
1,3-dimethylimidazolidine-2-thione 20 mg
Sodium benzenethiosulfonate 10mg
0.7 g of citric acid
Two liquids:
300ml water
150g of silver nitrate
3 fluids:
300ml water
38g sodium chloride
Potassium bromide 32g
Potassium hexachloroiridate (III) (0.005% KCl 20% aqueous solution) 5 ml
Ammonium hexachlororhodate
(0.001% NaCl 20% aqueous solution) 7 ml
4 fluids:
100ml water
50g silver nitrate
5 fluids:
100ml water
13 g sodium chloride
Potassium bromide 11g
yellow blood salt 5mg

その後、常法に従ってフロキュレーション法によって水洗した。具体的には、上記で得られた溶液の温度を35℃に下げ、硫酸を用いてハロゲン化銀が沈降するまでpHを下げた(pH3.6±0.2の範囲であった)。次に、得られた溶液から上澄み液を約3リットル除去した(第1水洗)。次に、上澄み液を除去した溶液に、3リットルの蒸留水を加えてから、ハロゲン化銀が沈降するまで硫酸を加えた。再度、得られた溶液から上澄み液を3リットル除去した(第2水洗)。第2水洗と同じ操作をさらに1回繰り返して(第3水洗)、水洗および脱塩工程を終了した。水洗および脱塩後の乳剤をpH6.4、pAg7.5に調整し、ゼラチン2.5g、ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム10mg、ベンゼンチオスルフィン酸ナトリウム3mg、チオ硫酸ナトリウム15mgおよび塩化金酸10mgを加え、55℃にて最適感度を得るように化学増感を施した。その後、さらに、得られた乳剤に、安定剤として1,3,3a,7-テトラアザインデン100mg、および、防腐剤としてプロキセル(商品名、ICI Co.,Ltd.製)100mgを加えた。最終的に得られた乳剤は、沃化銀を0.08モル%含み、塩臭化銀の比率を塩化銀70モル%、臭化銀30モル%とする、平均粒子径(球相当径)200nm、変動係数9%の塩臭化銀立方体粒子乳剤であった。 After that, it was washed with water by a flocculation method according to a conventional method. Specifically, the temperature of the solution obtained above was lowered to 35° C., and the pH was lowered using sulfuric acid until the silver halide precipitated (the pH was in the range of 3.6±0.2). Next, about 3 liters of the supernatant liquid was removed from the obtained solution (first water washing). Next, 3 liters of distilled water was added to the decanted solution, followed by sulfuric acid until the silver halide precipitated. Again, 3 liters of the supernatant was removed from the obtained solution (second water washing). The same operation as the second water washing was repeated once more (third water washing) to complete the water washing and desalting steps. After washing and desalting, the emulsion was adjusted to pH 6.4 and pAg 7.5, and 2.5 g of gelatin, 10 mg of sodium benzenethiosulfonate, 3 mg of sodium benzenethiosulfinate, 15 mg of sodium thiosulfate and 10 mg of chloroauric acid were added, Chemical sensitization was applied at 55°C for optimum sensitivity. Thereafter, 100 mg of 1,3,3a,7-tetraazaindene as a stabilizer and 100 mg of Proxel (trade name, manufactured by ICI Co., Ltd.) as a preservative were added to the obtained emulsion. The finally obtained emulsion contains 0.08 mol % of silver iodide, and the ratio of silver chlorobromide is 70 mol % of silver chloride and 30 mol % of silver bromide, and has an average grain size (equivalent sphere diameter). It was an emulsion of silver chlorobromide cubic grains of 200 nm and a coefficient of variation of 9%.

(感光性層形成用組成物の調製)
上記乳剤に1,3,3a,7-テトラアザインデン(1.2×10-4モル/モルAg)、ハイドロキノン(1.2×10-2モル/モルAg)、クエン酸(3.0×10-4モル/モルAg)、2,4-ジクロロ-6-ヒドロキシ-1,3,5-トリアジンナトリウム塩(0.90g/モルAg)、および、微量の硬膜剤を添加し、組成物を得た。次に、クエン酸を用いて組成物のpHを5.6に調整した。
上記組成物に、下記(P-1)で表される高分子(以下、「高分子1」ともいう。式中の数値(「8.6」、「58.9」、「2」、「25.4」、「5.1」)は各繰り返し単位のモル比率を表す。)とジアルキルフェニルPEO(PEOはポリエチレンオキシドの略号である。)硫酸エステルからなる分散剤と水とを含むポリマーラテックス(高分子1の質量に対する分散剤の質量の比(分散剤の質量/高分子1の質量、単位はg/g)が0.02であって、固形分含有量が22質量%である。)を、組成物中のゼラチンの合計質量に対する、高分子1の質量の比(高分子1の質量/ゼラチンの質量、単位g/g)が0.25/1となるように添加して、ポリマーラテックス含有組成物を得た。ここで、ポリマーラテックス含有組成物において、ハロゲン化銀由来の銀の質量に対するゼラチンの質量の比(ゼラチンの質量/ハロゲン化銀由来の銀の質量、単位はg/gである。)は0.11であった。
さらに、架橋剤としてEPOXY RESIN DY 022(商品名:ナガセケムテックス社製)を添加した。なお、架橋剤の添加量は、後述するハロゲン化銀含有感光性層中における架橋剤の量が0.09g/m2となるように調整した。
以上のようにして感光性層形成用組成物を調製した。
なお、高分子1は、特許第3305459号公報および特許第3754745号公報を参照して合成した。
(Preparation of composition for forming photosensitive layer)
1,3,3a,7-tetraazaindene (1.2×10 −4 mol/mol Ag), hydroquinone (1.2×10 −2 mol/mol Ag), citric acid (3.0× 10 −4 mol/mol Ag), 2,4-dichloro-6-hydroxy-1,3,5-triazine sodium salt (0.90 g/mol Ag), and trace amounts of hardening agents were added to form the composition. got The pH of the composition was then adjusted to 5.6 using citric acid.
To the above composition, a polymer represented by the following (P-1) (hereinafter also referred to as "polymer 1". Numerical values in the formula ("8.6", "58.9", "2", "25.4" and "5.1") represent the molar ratio of each repeating unit) and dialkylphenyl PEO (PEO is an abbreviation for polyethylene oxide). (The ratio of the mass of the dispersant to the mass of the polymer 1 (mass of the dispersant/mass of the polymer 1, unit: g/g) was 0.02, and the solid content was 22% by mass. ) was added so that the ratio of the mass of polymer 1 to the total mass of gelatin in the composition (mass of polymer 1/mass of gelatin, unit g/g) was 0.25/1, A polymer latex-containing composition was obtained. Here, in the polymer latex-containing composition, the ratio of the mass of gelatin to the mass of silver derived from silver halide (mass of gelatin/mass of silver derived from silver halide, the unit is g/g) is 0.5. was 11.
Furthermore, EPOXY RESIN DY 022 (trade name: manufactured by Nagase ChemteX Corporation) was added as a cross-linking agent. The amount of the cross-linking agent added was adjusted so that the amount of the cross-linking agent in the silver halide-containing photosensitive layer described later was 0.09 g/m 2 .
A composition for forming a photosensitive layer was prepared as described above.
Polymer 1 was synthesized with reference to Japanese Patent No. 3305459 and Japanese Patent No. 3754745.

40μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(「富士フイルム株式会社製ロール状の長尺フィルム」)に上記ポリマーラテックスを塗布して、厚み0.05μmの下塗り層を設けた。この処理はロール・トゥ・ロールで行い、以下の各処理(工程)もこれと同様にロール・トゥ・ロールで行った。なお、このときのロール幅は1m、長さは1000mであった。 The above polymer latex was applied to a 40 μm polyethylene terephthalate film (“Long roll film manufactured by Fuji Film Co., Ltd.”) to form a 0.05 μm thick undercoat layer. This treatment was performed by roll-to-roll, and each of the following treatments (steps) was also performed by roll-to-roll. At this time, the width of the roll was 1 m and the length was 1000 m.

(工程E-1、工程A-1、工程F-1)
次に、下塗り層上に、上記ポリマーラテックスとゼラチンとを混合したハロゲン化銀不含有層形成用組成物と、上記感光性層形成用組成物と、ポリマーラテックスとゼラチンとを混合した保護層形成用組成物とを、同時重層塗布し、下塗り層上にハロゲン化銀不含有層と、ハロゲン化銀含有感光性層と、保護層とを形成した。
なお、ハロゲン化銀不含有層の厚みは2.0μmであり、ハロゲン化銀不含有層中における高分子1とゼラチンとの混合質量比(高分子1/ゼラチン)は2/1であり、高分子1の含有量は1.3g/m2であった。
また、ハロゲン化銀含有感光性層の厚みは2.5μmであり、ハロゲン化銀含有感光性層中における高分子1とゼラチンとの混合質量比(高分子1/ゼラチン)は0.25/1であり、高分子1の含有量は0.19g/m2であった。
また、保護層の厚みは0.15μmであり、保護層中における高分子1とゼラチンとの混合質量比(高分子1/ゼラチン)は0.1/1であり、高分子1の含有量は0.015g/m2であった。
(Step E-1, Step A-1, Step F-1)
Next, on the undercoat layer, a protective layer is formed by mixing a silver halide-free layer-forming composition comprising a mixture of the above polymer latex and gelatin, the above composition for forming a photosensitive layer, a polymer latex and gelatin. and the composition for the second layer were coated simultaneously to form a silver halide-free layer, a silver halide-containing photosensitive layer and a protective layer on the undercoat layer.
The thickness of the silver halide-free layer was 2.0 μm, and the mixing mass ratio of the polymer 1 and gelatin (polymer 1/gelatin) in the silver halide-free layer was 2/1. The content of molecule 1 was 1.3 g/m 2 .
The silver halide-containing photosensitive layer had a thickness of 2.5 µm, and the mixing mass ratio of polymer 1 and gelatin (polymer 1/gelatin) in the silver halide-containing photosensitive layer was 0.25/1. and the content of polymer 1 was 0.19 g/m 2 .
The thickness of the protective layer was 0.15 μm, the mixing mass ratio of polymer 1 and gelatin (polymer 1/gelatin) in the protective layer was 0.1/1, and the content of polymer 1 was It was 0.015 g/m 2 .

(工程B-1)
上記で作製した感光性層に、格子状のフォトマスクを介して高圧水銀ランプを光源とした平行光を用いて露光した。フォトマスクとしては図1のようなメッシュパターンを形成するためのマスクを用いており、格子を形成する単位正方格子の線幅は1.2μm、格子(開口部)の一辺の長さLは600μmになるようにした。
(Step B-1)
The photosensitive layer prepared above was exposed to parallel light from a high-pressure mercury lamp as a light source through a grid-like photomask. As a photomask, a mask for forming a mesh pattern as shown in FIG. 1 is used. The line width of the unit square lattice forming the lattice is 1.2 μm, and the length L of one side of the lattice (opening) is 600 μm. I made it to be

露光後、得られたサンプルに対して、後述する現像液で現像し、さらに定着液(商品名:CN16X用N3X-R:富士フイルム株式会社製)を用いて現像処理を行った後、25℃の純水でリンスし、その後乾燥して、メッシュパターン状に形成された、金属銀を含む銀含有層を有するサンプルAを得た。サンプルAにおいては、21.0cm×29.7cmの大きさの導電性メッシュパターン領域が形成されていた。 After exposure, the obtained sample was developed with a developer described later, and further developed using a fixer (trade name: N3X-R for CN16X: manufactured by Fujifilm Corporation), and then heated at 25°C. of pure water and then dried to obtain a sample A having a silver-containing layer containing metallic silver formed in a mesh pattern. In sample A, a conductive mesh pattern area with a size of 21.0 cm×29.7 cm was formed.

(現像液の組成)
現像液1リットル(L)中に、以下の化合物が含まれる。
ハイドロキノン 0.037mol/L
N-メチルアミノフェノール 0.016mol/L
メタホウ酸ナトリウム 0.140mol/L
水酸化ナトリウム 0.360mol/L
臭化ナトリウム 0.031mol/L
メタ重亜硫酸カリウム 0.187mol/L
(Composition of developer)
The following compounds are contained in 1 liter (L) of developer.
Hydroquinone 0.037mol/L
N-methylaminophenol 0.016mol/L
Sodium metaborate 0.140mol/L
Sodium hydroxide 0.360mol/L
Sodium bromide 0.031mol/L
Potassium metabisulfite 0.187mol/L

上記で得られたサンプルAを、50℃の温水中に180秒間浸漬させた。この後、エアシャワーで水を切り、自然乾燥させた。 Sample A obtained above was immersed in hot water at 50° C. for 180 seconds. After that, water was removed by an air shower, and the substrate was dried naturally.

(工程C-1)
工程B-1で得られたサンプルAを、110℃の過熱水蒸気処理槽に搬入し、30秒間静置して、過熱水蒸気処理を行った。なお、このときの蒸気流量は100kg/hであった。
(Step C-1)
Sample A obtained in step B-1 was carried into a superheated steam treatment tank at 110° C. and allowed to stand still for 30 seconds for superheated steam treatment. The steam flow rate at this time was 100 kg/h.

(工程D-1)
工程C-1で得られたサンプルAを、次亜塩素酸含有水溶液(25℃)に30秒間浸漬した。サンプルAを水溶液から取り出し、サンプルAを温水(液温:50℃)に120秒間浸漬して、洗浄した。この後、エアシャワーで水を切り、自然乾燥させた。
なお、使用した次亜塩素酸含有水溶液は、花王社製キッチンハイターを2倍に希釈してから使用することで調製した。
(Step D-1)
Sample A obtained in step C-1 was immersed in a hypochlorous acid-containing aqueous solution (25° C.) for 30 seconds. The sample A was taken out from the aqueous solution, and washed by immersing the sample A in hot water (liquid temperature: 50° C.) for 120 seconds. After that, water was removed by an air shower, and the substrate was dried naturally.
The hypochlorous acid-containing aqueous solution used was prepared by diluting Kitchen Haiter manufactured by Kao Corporation twice before use.

(工程2-1)
工程D-1で得られたサンプルAを、以下組成のめっき液A(30℃)に3分間浸漬した。サンプルAをめっき液Aから取り出し、サンプルAを温水(液温:50℃)に120秒間浸漬して、洗浄した。
めっき液A(全量1200g)の組成は、以下の通りであった。なお、めっき液AのpHは10であり、炭酸カリウム(富士フイルム和光純薬(株)製)を所定量加えることにより調整した。また、使用した以下の成分は、いずれも富士フイルム和光純薬(株)製を用いた。
(めっき液Aの組成)
・AgNO 1.0mol/l
・亜硫酸ナトリウム 72g
・チオ硫酸ナトリウム五水和物 42g
・ヨウ化カリウム 0.004g
・ポリアクリル酸ナトリウム 12g
・メチルヒドロキノン 3.7g
・炭酸カリウム 所定量
・水 残部
(Step 2-1)
Sample A obtained in step D-1 was immersed in plating solution A (30° C.) having the following composition for 3 minutes. The sample A was taken out from the plating solution A, and washed by immersing the sample A in hot water (liquid temperature: 50° C.) for 120 seconds.
The composition of plating solution A (1200 g in total) was as follows. The pH of the plating solution A was 10, and was adjusted by adding a predetermined amount of potassium carbonate (manufactured by FUJIFILM Wako Pure Chemical Industries, Ltd.). In addition, all of the following components used were manufactured by FUJIFILM Wako Pure Chemical Industries, Ltd.
(Composition of plating solution A)
・AgNO 3 1.0 mol/l
・Sodium sulfite 72g
・ Sodium thiosulfate pentahydrate 42g
・ Potassium iodide 0.004 g
・ Sodium polyacrylate 12g
・Methylhydroquinone 3.7g
・Potassium carbonate prescribed amount ・Remainder of water

(工程3-1)
工程2-1で得られたサンプルAに対して、金属ロールと樹脂製のロールとの組み合わせによるカレンダー装置を使用して、30kNの圧力でカレンダー処理した。カレンダー処理は室温で行った。
(Step 3-1)
Sample A obtained in step 2-1 was subjected to calendering at a pressure of 30 kN using a calendering device with a combination of metal rolls and resin rolls. Calendering was performed at room temperature.

(工程4-1)
工程3-1で得られたサンプルAに対して、110℃の過熱水蒸気処理槽に搬入し、30秒間静置して、過熱水蒸気処理を行った。なお、このときの蒸気流量は100kg/hであった。
(Step 4-1)
The sample A obtained in step 3-1 was transferred to a superheated steam treatment tank at 110° C. and allowed to stand still for 30 seconds for superheated steam treatment. The steam flow rate at this time was 100 kg/h.

工程4-1によって得られたサンプルAにおいては、導電性細線はメッシュパターンを形成していた。導電性細線の線幅は、1.5μmであった。 In sample A obtained in step 4-1, the conductive fine wires formed a mesh pattern. The line width of the conductive thin line was 1.5 μm.

また、上記(工程B-1)でのフォトマスクを変更した以外は、上記と同様の手順に従って、支持体上に図4に示す櫛歯状パターン領域が形成されたサンプルBを100個作製した。図4中、パターンの幅Wは10μmであり、パターン間隔Iは10μmであり、パターン長さLは30cmであった。 In addition, 100 samples B each having a comb-like pattern region shown in FIG. . In FIG. 4, the pattern width W was 10 μm, the pattern interval I was 10 μm, and the pattern length L was 30 cm.

<実施例12、比較例1~4、参考例2~11、13
めっき液中の銀塩の濃度、酸基含有ポリマーの種類、濃度および分子量、並びに、銀/ポリマー比を表1のように変更した以外は、参考例1と同様の手順に従って、サンプルAおよびBを作製した。
< Example 1 2, Comparative Examples 1 to 4 , Reference Examples 2 to 11, 13 >
Samples A and B were prepared in the same manner as in Reference Example 1, except that the silver salt concentration in the plating solution, the type, concentration and molecular weight of the acid group-containing polymer, and the silver/polymer ratio were changed as shown in Table 1. was made.

参考例13>
サンプルBの作製において、図4に示す櫛歯状パターン領域におけるパターン間隔Iを5μmとした以外は、参考例1と同様にして評価を実施した。
< Reference Example 13>
Evaluation was carried out in the same manner as in Reference Example 1, except that the pattern interval I in the comb-tooth pattern region shown in FIG.

<評価>
(導電性)
得られたサンプルAの導電性メッシュパターン領域の線抵抗値を測定した。線抵抗値とは、四端針法で測定した抵抗値を測定端子間距離で除したものである。より具体的には、メッシュパターンを構成する任意の1本の導電性細線の両端を断線させてメッシュパターンから切り離した後に、4本(A、B、C、D)のマイクロプローブ(マイクロサポート社製タングステンプローブ(直径0.5μm))を切り離された導電性細線に接触させて、最外プローブA、Dにソースメーター(KEITHLEY製ソースメーター、2400型汎用ソースメーター)を用いて250μm間隔とした内部プローブB、C間の電圧Vが5mVになるよう定電流Iを印加し、抵抗値R=V/Iを測定し、得られた抵抗値RをB、C間距離で除して線抵抗値を求めた。得られた抵抗値RをB、C間距離で除して線抵抗値とし、任意の10箇所の測定値の平均値を、以下の基準に従って、導電性として評価した。結果を表1にまとめて示す。
5:線抵抗値が60Ω/mm未満である。
4:線抵抗値が60Ω/mm以上、80Ω/mm未満である。
3:線抵抗値が80Ω/mm以上、100Ω/mm未満である。
2:線抵抗値が100Ω/mm以上、200Ω/mm未満である。
1:線抵抗値が200Ω/mm以上である。
<Evaluation>
(Conductivity)
The line resistance value of the conductive mesh pattern area of the obtained sample A was measured. The line resistance value is obtained by dividing the resistance value measured by the four-probe method by the distance between the measurement terminals. More specifically, after disconnecting both ends of any one conductive fine wire constituting the mesh pattern and separating it from the mesh pattern, four (A, B, C, D) microprobes (Micro Support Co., Ltd. A tungsten probe (diameter 0.5 μm)) was brought into contact with the separated conductive thin wire, and a source meter (KEITHLEY source meter, 2400 type general-purpose source meter) was used for the outermost probes A and D, and the interval was 250 μm. A constant current I is applied so that the voltage V between the internal probes B and C is 5 mV, the resistance value R = V / I is measured, and the obtained resistance value R is divided by the distance between B and C to obtain the line resistance sought the value. The obtained resistance value R was divided by the distance between B and C to obtain the line resistance value, and the average value of the measured values at arbitrary 10 points was evaluated as conductivity according to the following criteria. The results are summarized in Table 1.
5: The wire resistance value is less than 60Ω/mm.
4: The wire resistance value is 60Ω/mm or more and less than 80Ω/mm.
3: The wire resistance value is 80Ω/mm or more and less than 100Ω/mm.
2: The wire resistance value is 100Ω/mm or more and less than 200Ω/mm.
1: The wire resistance value is 200Ω/mm or more.

(ショート率)
櫛歯状パターン領域が形成されているサンプルBにおいて、櫛歯状パターン領域の両端部の抵抗を、東洋計測器(株)製PICOTESTデジタルマルチメータ M3500Aを用いて測定した。ショートが起こらない場合には、櫛歯状パターン領域の両端部は導通していないため抵抗値はオーバーロード(無限大)を示すが、ショートが発生した場合には導通し測定により抵抗値が示される。上記手法により100個のサンプルBにおけるショート発生個数をカウントし、ショート率を求めた。結果を表1にまとめて示す。
なお、以下のショート率は、以下の式より求めた。
ショート率(%)={(ショートが発生しているサンプルBの数)/100}×1005:ショート率が0%である。
4:ショート率が1%である。
3:ショート率が2~3%である。
2:ショート率が4~10%である。
1:ショート率が11%以上である。
(short rate)
In sample B in which the comb-shaped pattern region is formed, the resistance at both ends of the comb-shaped pattern region was measured using a PICOTEST digital multimeter M3500A manufactured by Toyo Keisokuki Co., Ltd. If no short-circuit occurs, both ends of the comb-shaped pattern region are not conductive, so the resistance value indicates overload (infinite). be The number of short circuits in 100 samples B was counted by the above method, and the short ratio was obtained. The results are summarized in Table 1.
In addition, the following short rate was calculated|required from the following formulas.
Short-circuit rate (%)={(number of samples B with short-circuit)/100}×1005: Short-circuit rate is 0%.
4: The short rate is 1%.
3: The short rate is 2 to 3%.
2: The short rate is 4 to 10%.
1: The short rate is 11% or more.

表1中、「酸基含有ポリマー」欄の「濃度」欄は、酸基含有ポリマーのめっき液全質量に対する質量%を表す。
「分子量」欄は、酸基含有ポリマーの重量平均分子量を表す。
「銀/ポリマー比」は、酸基含有ポリマーの質量に対する銀塩の銀換算質量の比を表す。
In Table 1, the "concentration" column in the "acid group-containing polymer" column represents mass % of the acid group-containing polymer with respect to the total mass of the plating solution.
The "molecular weight" column represents the weight average molecular weight of the acid group-containing polymer.
"Silver/polymer ratio" represents the ratio of the weight of the silver salt converted to silver to the weight of the acid group-containing polymer.

表1に示すように、本発明のめっき液を用いると、所望の効果が得られることが確認された。
なお、参考例1~4の比較より、酸基含有ポリマーの重量平均分子量が2000~500000である場合、より効果が優れることが確認された。
また、参考例5~9の比較より、銀/ポリマー比が0.10~5.0である場合、より効果が優れることが確認された。
As shown in Table 1, it was confirmed that the use of the plating solution of the present invention produced the desired effects.
From the comparison of Reference Examples 1 to 4, it was confirmed that when the weight average molecular weight of the acid group-containing polymer is 2,000 to 500,000, the effect is more excellent.
Moreover, it was confirmed from the comparison of Reference Examples 5 to 9 that the effect is more excellent when the silver/polymer ratio is 0.10 to 5.0.

10 細線状の銀含有層
12 開口部
14 支持体
16 導電性細線
20 導電性基板
REFERENCE SIGNS LIST 10 fine wire-like silver-containing layer 12 opening 14 support 16 conductive fine wire 20 conductive substrate

Claims (7)

銀塩と、カルボキシル基またはその塩を有するポリマーと、水と、を含む、めっき液であって、
前記カルボキシル基またはその塩を有するポリマーの含有量が、前記めっき液全質量に対して、5.0質量%以下であり、
前記カルボキシル基またはその塩を有するポリマーの重量平均分子量が2000~6000であり、
前記カルボキシ基またはその塩を有するポリマーが、アクリル酸/マレイン酸共重合体ナトリウムである、めっき液。
A plating solution containing a silver salt, a polymer having a carboxyl group or a salt thereof, and water,
The content of the polymer having a carboxyl group or a salt thereof is 5.0% by mass or less with respect to the total mass of the plating solution,
The polymer having a carboxyl group or a salt thereof has a weight average molecular weight of 2000 to 6000,
The plating solution, wherein the polymer having a carboxyl group or a salt thereof is sodium acrylic acid/maleic acid copolymer .
前記カルボキシル基またはその塩を有するポリマーの質量に対する、前記銀塩の銀換算質量の比が0.10~5.0である、請求項に記載のめっき液。 2. The plating solution according to claim 1 , wherein the ratio of the mass of said silver salt in terms of silver to the mass of said polymer having a carboxyl group or a salt thereof is 0.10 to 5.0. さらに、還元剤を含む、請求項1または2に記載のめっき液。 3. The plating solution according to claim 1, further comprising a reducing agent. 請求項1または2に記載のめっき液と、還元剤を含む還元液とからなるめっきセット。 A plating set comprising the plating solution according to claim 1 or 2 and a reducing solution containing a reducing agent. 支持体上に、細線状の銀含有層を形成する工程と、
前記細線状の銀含有層に対して、請求項1~のいずれか1項に記載のめっき液、または、請求項に記載のめっきセットを用いて、めっき処理を施して、導電性細線を形成する工程と、を有する導電性基板の製造方法。
a step of forming a fine-line-shaped silver-containing layer on a support;
The thin wire-shaped silver-containing layer is subjected to plating using the plating solution according to any one of claims 1 to 3 or the plating set according to claim 4 to form a conductive thin wire. and forming a conductive substrate.
複数の前記導電性細線が互いに平行に配置され、
隣り合う前記導電性細線間の間隔が30μm以下である領域がある、請求項に記載の導電性基板の製造方法。
A plurality of the conductive thin wires are arranged parallel to each other,
6. The method of manufacturing a conductive substrate according to claim 5 , wherein there is a region in which the distance between adjacent conductive fine lines is 30 [mu]m or less.
前記導電性細線によってメッシュパターンが形成されており、
前記導電性細線の線幅が0.5μm以上4.0μm未満である、請求項に記載の導電性基板の製造方法。
A mesh pattern is formed by the conductive thin wires,
6. The method for manufacturing a conductive substrate according to claim 5 , wherein the line width of said conductive thin line is 0.5 [mu]m or more and less than 4.0 [mu]m.
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