JP7319604B2 - 磁気ヘッド及び磁気記録装置 - Google Patents
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。
図1(a)に示すように、実施形態に係る磁気記録装置210は、磁気ヘッド110及び磁気記録媒体80を含む。磁気ヘッド110により、磁気記録媒体80に情報が記録される。磁気記録媒体80は、例えば、垂直記録媒体である。磁気記録媒体80の例については、後述する。
図2は、実施形態に係る磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図2の横軸は、積層体20に流れる電流密度J20である。図2の縦軸は、積層体20に関する電気抵抗R1(直流抵抗)である。この例では、電気抵抗R1は、磁極30の電気抵抗及び第1シールド31の電気抵抗も含む。
図3は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図3は、実施形態に係る磁気ヘッドによる磁気記録媒体80への記録特性の測定結果を例示している。図3の横軸は、積層体20への印加電圧V1(mV)である。印加電圧V1の高低は、電流密度J20の高低に対応する。この例では、100mVの印加電圧V1は、4×108A/cm2の電流密度J20に対応する。図3の縦軸は、ビットエラーレート(BER)の変化分BER1である。
図4の横軸は、積層体20への印加電圧V1(mV)である。図4の縦軸は、オーバーライト特性に関するパラメータOWの変化分OW1(dB)である。パラメータOWは、ナノセカンド領域に比べると静的とみなせるオーバライト特性に関する。パラメータOWは、周波数の高い記録パターンを周波数の低い磁界で消去した場合の、高周波パターン信号の減衰特性に対応する。パラメータOWの変化分OW1が大きいことが、オーバライト特性が良好であることに対応する。
図5の横軸は、積層体20への印加電圧V1(mV)である。図5の縦軸は、積層体20に関する電気抵抗R1(直流抵抗、任意単位)である。この例では、電気抵抗R1は、磁極30の抵抗及び第1シールド31の抵抗も含む。
図6においては、磁気記録媒体80は省略されている。図6に示すように、実施形態に係る磁気ヘッド111は、磁極30、第1シールド31及び積層体20を含む。積層体20は、第1磁性層21、第2磁性層22、第1層25及び第1非磁性層41に加えて、第2非磁性層42及び第3非磁性層43を含む。
図7には、試料sp1~sp9についての測定結果が示されている。図7には、これらの構成における、厚さt21、厚さt25、距離Lg、及び、ビットエラーレート(BER)のゲインGが示されている。BERのゲインGは、積層体20が設けられず、距離Lgが18nmmp磁気ヘッドと比較したときのビットエラーレート(BER)を規準にした増減(dB)で定義される。積層体20に流れる電流の電流密度J20は、5x108A/cm2である。ゲインGが正で、ゲインGの絶対値が大きいときが、エラーが少ない良好な記録が得られることに対応する。
図8に示すように、実施形態に係る磁気ヘッド113においては、積層体20は、第1磁性層21、第2磁性層22、第1層25及び第1非磁性層41に加えて、第3磁性層23及び第3非磁性層43を含む。
図8に例示する磁気ヘッド114においては、第1磁性層21は、磁極30と接する。例えば、第1磁性層21は、磁極30と磁気結合する。第1磁性層21が磁極30と磁気結合することで、第1磁性層21の磁化21Mがより安定になる。第2磁性層22の磁化22Mを安定して反転し易くなる。磁気ヘッド114においても、記録密度の向上が可能な磁気記録装置を提供できる。
図10に例示する磁気ヘッド115においては、積層体20は、第1磁性層21、第2磁性層22、第1層25及び第1非磁性層41に加えて、第2層26及び第3非磁性層43を含む。第2磁性層22は、第1層25と第3非磁性層43との間にある。第2層26は、第2磁性層22と第3非磁性層43との間にある。第2層26は、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第3非磁性層43は、例えば、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第3非磁性層43の厚さは、例えば、1nm以上4nm以下である。
図11(a)~図11(c)の横軸は、時間tm(nsec)である。図11(a)の縦軸は、磁化30MのX軸方向の成分30Mxである。図11(b)及び図11(c)の縦軸は、磁化22MのX軸方向の成分22Mxである。図11(b)においては、積層体20に流れる電流密度J20は、0×108A/cm2、1×108A/cm2、または、2×108A/cm2である。図11(c)においては、積層体20に流れる電流密度J20は、3×108A/cm2、4×108A/cm2、または、5×108A/cm2である。
図12の横軸は、電流密度J20(×108A/cm2)である。図12の縦軸は、第2磁性層22の磁化22Mに関するパラメータ22Maである。パラメータ22Maは、時間tmが0.1nsec以上0.4nsec以下の範囲で平均化した、成分22Mxである。
図14は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図15は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図13は、図15の一部の拡大図である。
第2実施形態は、磁気記録装置210に係る。磁気記録装置210は、磁気ヘッド110と、磁気ヘッド110により情報が記録される磁気記録媒体80と、を含む。以下、実施形態に係る磁気記録装置の例について説明する。磁気記録装置は、磁気記録再生装置でも良い。磁気ヘッドは、記録部と再生部とを含んでも良い。
図16は、ヘッドスライダを例示している。
磁気ヘッド110は、ヘッドスライダ159に設けられる。ヘッドスライダ159は、例えばAl2O3/TiCなどを含む。ヘッドスライダ159は、磁気記録媒体の上を、浮上または接触しながら、磁気記録媒体に対して相対的に運動する。
図18(a)及び図18(b)は、第2実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図17に示すように、実施形態に係る磁気記録装置150においては、ロータリーアクチュエータが用いられる。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ180Mに装着される。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ180Mにより矢印ARの方向に回転する。スピンドルモータ180Mは、駆動装置制御部からの制御信号に応答する。本実施形態に係る磁気記録装置150は、複数の記録用媒体ディスク180を備えても良い。磁気記録装置150は、記録媒体181を含んでもよい。記録媒体181は、例えば、SSD(Solid State Drive)である。記録媒体181には、例えば、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリが用いられる。例えば、磁気記録装置150は、ハイブリッドHDD(Hard Disk Drive)でも良い。
図18(b)は、ヘッドスタックアセンブリ160の一部となる磁気ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ:HGA)158を例示する斜視図である。
(構成1)
磁気ヘッドと、
電気回路と、
を備え、
前記磁気ヘッドは、
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を含み、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記積層体に流れる電流密度の変化に対する前記積層体の電気抵抗の変化率は、前記電流密度が第1範囲のときに第1値を有し、前記電流密度が第2範囲のときに第2値を有し、前記電流密度が第3範囲のときに第3値を有し、前記第2範囲は、前記第1範囲と前記第3範囲との間にあり、前記第2値は、前記第1値よりも高く、前記第2値は、前記第3値よりも高く、
前記電気回路は、前記第3範囲内の電流密度の電流を前記積層体に供給する、磁気記録装置。
前記第1層は、前記第1非磁性層及び前記第2磁性層と接する、構成1記載の磁気記録装置。
前記第1非磁性層は、前記第1磁性層及び前記第1層と接する、構成2記載の磁気記録装置。
前記第2磁性層は、前記第1磁性層と前記第1シールドとの間にある、構成1~3のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記第1磁性層は、
Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1元素と、
Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第2元素と、
を含む、構成1~4のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記第1磁性層は、前記第1元素及び前記第2元素を含む合金を含む、構成5記載の磁気記録装置。
前記第2磁性層は、第1材料層、第2材料層及び第3材料層よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第1材料層は、CoFeを含み、
前記第2材料層は、第1CoFe層と、第2CoFe層と、前記第1CoFe層と前記第2CoFe層との間に設けられたNiFe層と、を含み、
前記第3材料層は、複数のCoFe層と、前記複数のCoFe層の間に設けられたNi層と、を含む、構成1~6のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記第1非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1~7のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記第1磁性層の厚さは、1nm以上8nm未満である、構成1~8のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記第1層の厚さは、0.5nm以上3nm未満である、構成1~9のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記第1非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、構成1~10のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記第2磁性層の厚さは、3nm以上9nm以下である、構成1~11のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記積層体は、第2非磁性層をさらに含み、
前記第1磁性層は、前記第2非磁性層と前記第1非磁性層との間にあり、
前記第2非磁性層は、Ta、Cr及びCuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第2非磁性層の厚さは、2nm以上5nm以下である、構成1~12のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記積層体は、第3非磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第3非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、構成1~13のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記積層体は、第3磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層と前記第3磁性層との間に前記第3非磁性層がある、構成14記載の磁気記録装置。
前記積層体は、第3非磁性層及び第3磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層と前記第3磁性層との間に前記第3非磁性層があり、
前記第3磁性層は、
Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第3元素と、
Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第4元素と、
を含み、
前記第1磁性層及び前記第2磁性層は、第1材料層、第2材料層及び第3材料層よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第1材料層は、CoFeを含み、
前記第2材料層は、第1CoFe層と、第2CoFe層と、前記第1CoFe層と前記第2CoFe層との間に設けられたNiFe層と、を含み、
前記第3材料層は、複数のCoFe層と、前記複数のCoFe層の間に設けられたNi層と、を含む、構成1~4のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記第1磁性層は、前記磁極と接する、構成1~12のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記積層体は、第3非磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第3非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、構成1~13のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記積層体は、第2層及び第3非磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第2層は、前記第2磁性層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第2層は、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1~12のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記第3非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、構成19記載の磁気記録装置。
前記第1シールドは、Co及びFeを含む、構成1~20のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体をさらに備え、
前記積層体は、交流磁界を発生しない、または、前記積層体から発生する交流磁界の周波数は、前記磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い、構成1~21のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体と、
を備え、
前記磁気ヘッドは、
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を含み、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記積層体は、交流磁界を発生しない、または、前記積層体から発生する交流磁界の周波数は、前記磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い、磁気記録装置。
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記積層体に流れる電流密度の変化に対する前記積層体の電気抵抗の変化率は、前記電流密度が第1範囲のときに第1値を有し、前記電流密度が第2範囲のときに第2値を有し、前記電流密度が第3範囲のときに第3値を有し、前記第2範囲は、前記第1範囲と前記第3範囲との間にあり、前記第2値は、前記第1値よりも高く、前記第2値は、前記第3値よりも高く、
前記積層体には、前記第3範囲内の電流密度の電流が供給される、磁気ヘッド。
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記第2磁性層の厚さは、3nm以上9nm以下である、磁気ヘッド。
前記第1磁性層は、
Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1元素と、
Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第2元素と、
を含む、構成25記載の磁気ヘッド。
前記積層体は、第2非磁性層をさらに含み、
前記第1磁性層は、前記第2非磁性層と前記第1非磁性層との間にあり、
前記第2非磁性層は、Ta、Cr及びCuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第2非磁性層の厚さは、2nm以上5nm以下である、構成25または26に記載の磁気ヘッド。
Claims (13)
- 磁気ヘッドと、
電気回路と、
を備え、
前記磁気ヘッドは、
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を含み、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記積層体に流れる電流密度の変化に対する前記積層体の電気抵抗の変化率は、前記電流密度が第1範囲のときに第1値を有し、前記電流密度が第2範囲のときに第2値を有し、前記電流密度が第3範囲のときに第3値を有し、前記第2範囲は、前記第1範囲と前記第3範囲との間にあり、前記第2値は、前記第1値よりも高く、前記第2値は、前記第3値よりも高く、
前記電気回路は、前記第3範囲内の電流密度の電流を前記積層体に供給する、磁気記録装置。 - 前記第1層は、前記第1非磁性層及び前記第2磁性層と接する、請求項1記載の磁気記録装置。
- 前記第1非磁性層は、前記第1磁性層及び前記第1層と接する、請求項2記載の磁気記録装置。
- 前記第2磁性層は、前記第1磁性層と前記第1シールドとの間にある、請求項1~3のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
- 前記第1磁性層は、
Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1元素と、
Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第2元素と、
を含む、請求項1~4のいずれか1つに記載の磁気記録装置。 - 前記第2磁性層の厚さは、3nm以上9nm以下である、請求項1~5のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
- 前記積層体は、第3非磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第3非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、請求項1~6のいずれか1つに記載の磁気記録装置。 - 前記積層体は、第2層及び第3非磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第2層は、前記第2磁性層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第2層は、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1~6のいずれか1つに記載の磁気記録装置。 - 前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体をさらに備え、
前記積層体は、交流磁界を発生しない、または、前記積層体から発生する交流磁界の周波数は、前記磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い、請求項1~8のいずれか1つに記載の磁気記録装置。 - 磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体と、
を備え、
前記磁気ヘッドは、
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を含み、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記積層体は、交流磁界を発生しない、または、前記積層体から発生する交流磁界の周波数は、前記磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い、磁気記録装置。 - 磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記積層体に流れる電流密度の変化に対する前記積層体の電気抵抗の変化率は、前記電流密度が第1範囲のときに第1値を有し、前記電流密度が第2範囲のときに第2値を有し、前記電流密度が第3範囲のときに第3値を有し、前記第2範囲は、前記第1範囲と前記第3範囲との間にあり、前記第2値は、前記第1値よりも高く、前記第2値は、前記第3値よりも高く、
前記積層体には、前記第3範囲内の電流密度の電流が供給される、磁気ヘッド。 - 磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記第2磁性層の厚さは、3nm以上9nm以下であり、
前記第1磁性層は、
Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1元素と、
Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第2元素と、
を含む、磁気ヘッド。 - 前記積層体は、第2非磁性層をさらに含み、
前記第1磁性層は、前記第2非磁性層と前記第1非磁性層との間にあり、
前記第2非磁性層は、Ta、Cr及びCuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第2非磁性層の厚さは、2nm以上5nm以下である、請求項12に記載の磁気ヘッド。
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