JP2021061076A - 磁気ヘッド及び磁気記録装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、磁気記録装置は、磁気ヘッドと電気回路とを含む。磁気ヘッドは、磁極と、第1シールドと、磁極と第1シールドとの間に設けられた積層体と、を含む。積層体は、第1磁性層と、第2磁性層と、第1磁性層と第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、第1磁性層と第1層との間に設けられた第1非磁性層と、を含む。電気回路は、電流を積層体に供給する。【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、磁気ヘッド及び磁気記録装置に関する。
磁気ヘッドを用いて、HDD(Hard Disk Drive)などの磁気記憶媒体に情報が記録される。磁気ヘッド及び磁気記録装置において、記録密度の向上が望まれる。
特開2019−57337号公報
本発明の実施形態は、記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録装置を提供する。
本発明の実施形態によれば、磁気記録装置は、磁気ヘッドと電気回路とを含む。前記磁気ヘッドは、磁極と、第1シールドと、前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、を含む。前記積層体は、第1磁性層と、第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、を含む。前記積層体に流れる電流密度の変化に対する前記積層体の電気抵抗の変化率は、前記電流密度が第1範囲のときに第1値を有し、前記電流密度が第2範囲のときに第2値を有し、前記電流密度が第3範囲のときに第3値を有する。前記第2範囲は、前記第1範囲と前記第3範囲との間にある。前記第2値は、前記第1値よりも高く、前記第2値は、前記第3値よりも高い。前記電気回路は、前記第3範囲内の電流密度の電流を前記積層体に供給する。
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。 図2は、実施形態に係る磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図3は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図4は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図5は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図6は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。 図7は、磁気記録装置の特性を例示する表である。 図8は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。 図9は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。 図10は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。 図11(a)〜図11(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図12は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図13は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。 図14は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。 図15は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。 図16は、第2実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。 図17は、第2実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。 図18(a)及び図18(b)は、第2実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1実施形態)
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。
図1(a)に示すように、実施形態に係る磁気記録装置210は、磁気ヘッド110及び磁気記録媒体80を含む。磁気ヘッド110により、磁気記録媒体80に情報が記録される。磁気記録媒体80は、例えば、垂直記録媒体である。磁気記録媒体80の例については、後述する。
図1(a)に示すように、磁気ヘッド110は、磁極30、第1シールド31及び積層体20を含む。積層体20は、磁極30と第1シールド31との間に設けられる。
積層体20は、第1磁性層21、第2磁性層22、第1層25及び第1非磁性層41を含む。第1層25は、第1磁性層21と第2磁性層22との間に設けられる。第1層25は、例えば、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群(第1群)から選択された少なくとも1つを含む。第1非磁性層41は、第1磁性層21と第1層25との間に設けられる。
磁極30は、例えば、主磁極である。磁極30及び第1シールド31は、例えば、磁気回路を形成する。後述するように、磁極30(または/及び第1シールド31)にコイルが設けられる。磁極30から、コイルに流れる記録電流に応じた記録磁界が発生する。発生した記録磁界の少なくとも一部は、磁気記録媒体80に向かう。記録磁界の少なくとも一部が、磁気記録媒体80に印加される。磁気記録媒体80のうちの、記録磁界が印加された部分の磁化の向きが、記録磁界により制御される。これにより、磁気記録媒体80に、記録磁界の向きに応じた情報が記録される。例えば、記録磁界の少なくとも一部は、磁気記録媒体80に向かった後に、第1シールド31に向かう。
磁極30から第1シールド31への方向をX軸方向とする。X軸方向は、例えば、ダウントラック方向である。
この例では、第2磁性層22は、第1磁性層21と第1シールド31との間にある。磁極30と第1シールド31との間に、第1磁性層21がある。第1磁性層21と第1シールド31との間に第1非磁性層41がある。第1非磁性層41と第1シールド31との間に、第1層25がある。第1層25と第1シールド31との間に第2磁性層22がある。
例えば、第1層25は、第1非磁性層41及び第2磁性層22と接する。例えば、第1非磁性層41は、第1磁性層21及び第1層25と接する。
積層体20に電流が供給されることが可能である。例えば、後述するように、磁極30及び第1シールド31を介して、積層体20に電流が供給される。電流は、後述する電気回路20D(図15参照)から供給される。
図1(a)は、第1状態ST1を例示し、図1(b)は、第2状態ST2を例示している。第1状態ST1においては、例えば、積層体20に電流が供給されない。第1状態ST1は、例えば、オフ状態である。第2状態ST2において、電流i1が積層体20に、が供給される。電流i1は、例えば、第2磁性層22の磁化22Mを反転するのに十分な電流である。第2状態ST2において、電子流je1が積層体20に供給される。この例では、電流i1は、第1シールド31から磁極30への向きを有する。この例では、電子流je1は、磁極30から第1シールド31への向きを有する。例えば、第1状態ST1において積層体20に供給される電流は、第2状態ST2において積層体20に供給される電流i1よりも小さい。
図1(a)に示すように、この例では、第1状態ST1において、磁極30の磁化30M、及び、第1シールド31の磁化31Mは、磁極30から第1シールド31への向きである。磁極30から第1シールド31への向きを第1向きとする。第1磁性層21の磁化21Mは、第1向きに沿う。第2磁性層22の磁化22Mも、第1向きに沿う。
電流i1(すなわち、電子流je1)が供給される第2状態ST2において、磁化30M、磁化31M及び磁化21Mは、第1向きに沿う。磁化22Mは、第1シールド31から磁極30への向き(第2向き)に沿う。このように、第2状態ST2においては、磁化22Mは、第1状態ST1の向きから反転する。
第2状態ST2において、第2磁性層22の磁化22Mは、磁極30の磁化30Mの向き、及び、第1シールド31の磁化31Mの向きとは反対の成分を有する。これにより、磁極30から発生した記録磁界は、第2磁性層22(すなわち積層体20)中を通り難くなる。これにより、磁極30から発生した記録磁界の多くの部分が、磁気記録媒体80に向い易くなる。記録磁界が効率良く磁気記録媒体80に印加される。
例えば、記録密度を高めるために磁極30と第1シールド31との間の距離を短くすると、磁極30から発生した記録磁界は、磁気記録媒体80に向かわずに第1シールド31に入り易くなる。このとき、実施形態においては、第2磁性層22の磁化22Mが反転していることで、磁極30と第1シールド31との間の距離が短い場合でも、記録磁界は、効果的に磁気記録媒体80に向かう。磁極30と第1シールド31との間の距離が短い場合でも、記録磁界を効果的に磁気記録媒体80に印加できる。これにより、記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録装置が提供できる。
図1(a)及び図1(b)においては、磁極30の磁化30M、及び、第1シールド31の磁化31Mは、磁極30から第1シールド31への第1向きを有する。実施形態において、磁極30の磁化30M、及び、第1シールド31の磁化31Mは、第1シールド31から磁極30への第2向きを有しても良い。この場合、第1磁性層21の磁化21Mは、第2向きを有する。第2状態ST2において、第2磁性層22の磁化22Mは、磁極30から第1シールド31への第1向きを有しており、磁化22Mが反転する。この場合も上記と同様に、磁極30からの記録磁界が磁気記録媒体80に向かい易くなる。これにより、記録磁界が効率的に磁気記録媒体80に印加される。
実施形態において、例えば、積層体20は、交流磁界を発生しない。または、積層体20から発生する交流磁界の周波数は、磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い。
一方、MAMR(Microwave Assisted Magnetic Recording)の参考例がある。この参考例においては、磁性層を含む積層体から高周波磁界が発生する。この高周波磁界が磁気記録媒体80の一部に印加され、磁気記録媒体80の一部において磁気共鳴が生じ磁気記録媒体80の磁化の向きが変化し易くなる。この参考例においては、積層体から発生する高周波磁界の周波数は、磁気記録媒体80の磁気共鳴周波数以下である。これにより、磁気共鳴が生じることで磁気記録媒体80の磁化の向きが変化し易くなる。
これに対して、実施形態においては、積層体20は、交流磁界を発生しない。または、積層体20から発生する交流磁界の周波数は、磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い。実施形態においては、MAMRとは異なる動作が行われる。
実施形態において、第1非磁性層41と第2磁性層22との間に、第1層25が設けられる。第1層25は、上記の第1群の元素を含む。磁極30から第1シールド31への第1向きに電子流je1が流れたときに、このような第1層25において、反射のスピントルクトランスファが低下する。これにより、反射のスピントルクトランスファが第1磁性層21の磁化21Mに与える影響が抑制される。これにより、第1磁性層21の磁化21Mの向きが安定である。第1層25において、透過のスピントルクトランスファへの影響は小さく、透過のスピントルクトランスファは、第2磁性層22に効率的に作用する。これにより、第2磁性層22の磁化22Mは効率的に反転できる。記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録装置が提供できる。
実施形態において、第1磁性層21と第2磁性層22との間に、第1非磁性層41及び第1層25が設けられる。第1非磁性層41は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第1非磁性層41の材料は、第1層25の材料とは異なる。このように、第1磁性層21と第2磁性層22との間で、非対称の界面領域が設けられる。この場合、スピントランスファトルクは、非対称に伝達される。
以下、実施形態に係る磁気ヘッドの特性の例について説明する。
図2は、実施形態に係る磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図2の横軸は、積層体20に流れる電流密度J20である。図2の縦軸は、積層体20に関する電気抵抗R1(直流抵抗)である。この例では、電気抵抗R1は、磁極30の電気抵抗及び第1シールド31の電気抵抗も含む。
図2に示すように、電流密度J20が上昇すると、電気抵抗R1は上昇する。電流密度J20の変化に対する電気抵抗R1の変化は、発熱に起因する放物線状の変化と、ステップ的な変化Spと、を含む。ステップ的な変化Spは、第2磁性層22の磁化20Mの向きの変化に対応していると考えられる。
図2に示すように、積層体20に流れる電流密度J20の変化に対する積層体20の電気抵抗R1の変化率は、一定ではない。変化率は、ステップ的な変化Spの位置で、急激な変化を示す。図2に示すように、変化率は、電流密度J20が第1範囲JR1のときに第1値を有する。変化率は、電流密度J20が第2範囲JR2のときに第2値を有する。変化率は、電流密度J20が第3範囲JR3のときに第3値を有する。第2範囲JR2は、第1範囲JR1と第3範囲JR3との間にある。変化率の第2値は、変化率の第1値よりも高い。変化率の第2値は、変化率の第3値よりも高い。このように、変化率が低い2つの範囲(第1範囲JR1と第3範囲JR3)との間に、変化率が高い範囲(第2範囲JR2)がある。変化率が高い範囲(第2範囲JR2)において、ステップ的な変化Spが生じる。
第1範囲JR1は、図1(a)に例示する第1状態ST1に対応する。第3範囲JR3は、例えば、図1(b)に例示する第2状態ST2に対応する。第2磁性層22の磁化20Mは、第2範囲JR2の電流密度J20のときに、反転すると考えられる。
例えば、電流密度J20が、第1範囲JR1のときは、第2磁性層22の磁化20Mは、磁極30の磁化30Mの向きの成分を有する。例えば、電流密度J20が第3範囲JR3のときに、第2磁性層22の磁化20Mは、反転し、磁極30の磁化30Mの向きとは逆の成分を有する。
電気回路20D(図15参照)は、第3範囲JR3内の電流密度J20の電流i1を積層体20に供給する。これにより、第2磁性層22の磁化20Mは、磁極30の磁化30Mの向きとは逆の成分を有する。これにより、磁極30からの記録磁界が磁気記録媒体80に向かい易くなる。これにより、記録磁界が効率的に磁気記録媒体80に印加される。記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録装置が提供できる。
以下、実施形態に係る磁気ヘッドの評価結果の例について説明する。
図3は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図3は、実施形態に係る磁気ヘッドによる磁気記録媒体80への記録特性の測定結果を例示している。図3の横軸は、積層体20への印加電圧V1(mV)である。印加電圧V1の高低は、電流密度J20の高低に対応する。この例では、100mVの印加電圧V1は、4×10A/cmの電流密度J20に対応する。図3の縦軸は、ビットエラーレート(BER)の変化分BER1である。
図3に示すように、印加電圧V1の上昇とともに、ビットエラーレート(BER)の変化分BER1が低下する。実施形態によれば、低いビットエラーレート(BER)が得られる。
図4は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図4の横軸は、積層体20への印加電圧V1(mV)である。図4の縦軸は、オーバーライト特性に関するパラメータOWの変化分OW1(dB)である。パラメータOWは、ナノセカンド領域に比べると静的とみなせるオーバライト特性に関する。パラメータOWは、周波数の高い記録パターンを周波数の低い磁界で消去した場合の、高周波パターン信号の減衰特性に対応する。パラメータOWの変化分OW1が大きいことが、オーバライト特性が良好であることに対応する。
図4に示すように、印加電圧V1が上昇し、積層体20に流れる電流密度J20が大きくなると、パラメータOWの変化分OW1が大きくなる。印加電圧V1が約55mVにおいて、パラメータOWの変化分OW1は急激に大きくなる。印加電圧V1が60mV以上になると、パラメータOWの変化分OW1の上昇は飽和する。
図5は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図5の横軸は、積層体20への印加電圧V1(mV)である。図5の縦軸は、積層体20に関する電気抵抗R1(直流抵抗、任意単位)である。この例では、電気抵抗R1は、磁極30の抵抗及び第1シールド31の抵抗も含む。
図5に示すように、印加電圧V1が上昇すると、電気抵抗R1は上昇する。印加電圧V1に変化に対する電気抵抗R1の変化は、発熱に起因する放物線状の変化と、ステップ的な変化Spと、を含む。ステップ的な変化Spは、電流密度のしきい値Jthの近傍で生じる。電流密度のしきい値Jthに対応する印加電圧V1の値は、約55mVである。
図4及び図5から、オーバーライト特性に関するパラメータOWの変化分OW1は、電気抵抗R1がステップ的な変化Spを示す印加電圧V1(すなわち、電流密度のしきい値Jth)で生じることが分かる。
一方、図3に関して既に説明したように、印加電圧V1(すなわち、電流密度)の上昇とともに、ビットエラーレート(BER)が低下する。ビットエラーレート(BER)は、印加電圧V1が60mV以上になっても低下し続ける。実施形態においては、オーバーライト特性に関するパラメータOWの変化分OW1が飽和する、印加電圧V1が60mV以上の領域(電流密度の領域)においても、ビットエラーレート(BER)は、低下し続ける。
一方、MAMRにおいては、ビットエラーレート(BER)の電流密度依存性は、オーバーライト特性に関するパラメータOWの変化分OW1の電流密度依存性と連動した挙動を示す。
このように、実施形態においては、電流密度を上昇したときに、オーバーライト特性に関するパラメータOWの変化分OW1の向上が飽和したときにも、ビットエラーレート(BER)が向上し続ける。実施形態においては、第2磁性層22の磁化22Mが磁極30の磁化30Mと反対に向いて飽和するまで、電流密度の上昇に伴ってビットエラーレート(BER)が向上する。
実施形態において、例えば、積層体20に電流i1が供給される第2状態ST2において、電流密度J20は、第2磁性層22の磁化22Mが、磁極30の磁化30M、及び、第1シールド31の磁化31Mに対して反転するように設定される。実施形態において、第2状態ST2において、電流密度J20は、第2磁性層22の磁化22Mの角度θmが90度よりも大きくなるように設定される。
例えば、第2状態ST2では、第2磁性層22の磁化22Mが反転して磁化22MのX軸方向成分が磁極30の磁化30Mと反対成分を有する。これにより、記録磁界が増大する。実施形態においては、磁極30の磁化30Mと、第2磁性層の磁化22Mと、の間の角度θmが、90度を超える。MAMRにおいては、角度θmが90度以下で使用される。実施形態においては、MAMRと比べて発振周波数は高くなる。MAMRでは、媒体共鳴周波数よりも低い積層体20の周波数に設定する。このため、MAMRにおいては、角度θmは90度に設定される。
実施形態において、第1磁性層21の厚さは、1nm以上8nm以下であることが好ましい。例えば、第1磁性層21の厚さは、1.5nm以上8nm以下であることが好ましい。発明者の検討によると、第1磁性層21の厚さが、薄いとき(例えば1nmを越え8nm以下であるとき)に、上記の第1層25を用いることで、第2磁性層22の磁化22Mの向きが変化し易くなり、磁化22Mを効率的に反転できる。
例えば、第1磁性層21と第2磁性層22との間で、非対称の界面領域が設けられ、スピントランスファトルクは、非対称に伝達される。このような場合に、第1磁性層21が薄い場合でも、第2磁性層22の磁化22Mが変化し易くなると考えられる。
一方、第1層25が、設けられない場合、第1磁性層21と第2磁性層22との間の領域は、対称になる。この場合、薄い磁性層(例えば第1磁性層21)の磁化が変化し易くなると考えられる。この場合は、厚い磁性層(例えば第2磁性層22)の磁化は、変化し難く、反転し難くいと、考えられる。
図6は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。
図6においては、磁気記録媒体80は省略されている。図6に示すように、実施形態に係る磁気ヘッド111は、磁極30、第1シールド31及び積層体20を含む。積層体20は、第1磁性層21、第2磁性層22、第1層25及び第1非磁性層41に加えて、第2非磁性層42及び第3非磁性層43を含む。
第1磁性層21は、第2非磁性層42と第1非磁性層41との間にある。例えば、第2非磁性層42は、Ta、Cr及びCuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第2非磁性層42は、積層された複数の元素を含む膜(例えば、Ta/Cr、Ta/Ru、またはTa/Cu等)でもよい。第2磁性層22は、第1層25と第3非磁性層43との間にある。第3非磁性層43は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。
第2非磁性層42は、例えば、下地層として機能しても良い。第3非磁性層43は、キャップ層として機能しても良い。
磁気ヘッド111においても、電流密度J20は、第2状態ST2において、第2磁性層22の磁化22Mが、磁極30の磁化30M、及び、第1シールド31の磁化31Mに対して反転するように設定される。電流密度J20は、角度θmが90度よりも大きくなるように、設定される。
図6に示すように、第1磁性層21は、厚さt21を有する。第2磁性層22は、厚さt22を有する。第1層25は、厚さt25を有する。第1非磁性層41は、厚さt41を有する。第2非磁性層42は、厚さt42を有する。これらの厚さは、X軸方向に沿う長さである。これらの厚さは、磁極30から第1シールド31への方向に沿った長さである。
磁極30と第1シールド31との間の距離Lgは、X軸方向に沿った長さである。距離Lgは、記録ギャップに対応する。この例では、距離Lgは、厚さt42、厚さt21、厚さt41、厚さt25、厚さt22及び厚さt43の和に対応する。
以下、磁気ヘッド111の構成において、第1磁性層21の厚さt21を変えたときの磁気記録特性について測定した結果の例について説明する。測定の試料は、以下の構成を有する。第2非磁性層42は、Ta層及びRu層を含む積層膜である。第2非磁性層42の厚さt42は、3nmである。第1磁性層21は、FeCr層である。このFeCr層におけるFeの濃度は、30at%(原子パーセント)である。第1磁性層21の厚さt21が1nm〜8nmの範囲で変更される。第1非磁性層41は、Cu層である。第1非磁性層41の厚さt41は、2nmである。第1層25は、Ta層である。第1層25の厚さt25は、0nm、0.2nm、0.5nm、1nm、または、3nmである。厚さt25が0nmである場合は、第1層25が設けられない場合に対応する。第2磁性層22は、6つの1.6nmの厚さのFeCo層と、それらの間のそれぞれに設けられた0.2nmの厚さのNi層と、を含む。第2磁性層22の厚さt22は、8.8nmである。第3非磁性層43は、Cu層である。第3非磁性層43の厚さt43は、2nmである。
図7は、磁気記録装置の特性を例示する表である。
図7には、試料sp1〜sp9についての測定結果が示されている。図7には、これらの構成における、厚さt21、厚さt25、距離Lg、及び、ビットエラーレート(BER)のゲインGが示されている。BERのゲインGは、積層体20が設けられず、距離Lgが18nmmp磁気ヘッドと比較したときのビットエラーレート(BER)を規準にした増減(dB)で定義される。積層体20に流れる電流の電流密度J20は、5x10A/cmである。ゲインGが正で、ゲインGの絶対値が大きいときが、エラーが少ない良好な記録が得られることに対応する。
図7に示すように、試料sp2〜sp6においては、第1磁性層21の厚さt21が2nm〜6nmである。試料sp2〜sp6においては、SNRゲインGは正であり、良好な記録が可能である。試料sp1においては、厚さt21は、1nmである。試料sp1において、SNRゲインGは負である。試料sp7においては、厚さt21は、8nmである。試料sp7において、SNRゲインGは負である。
試料sp8においては、厚さt25は、0nmであり、第1層25が設けられない。試料sp8において、SNRゲインGは負である。試料sp9においては、厚さt21は、2nmであり、厚さt25は3nmである。試料sp9において、SNRゲインGは負である。
図7の結果から、第1磁性層21の厚さt21は、例えば、1nmを越え8nm未満であることが好ましい。第1磁性層21の厚さt21は、例えば、1.5nm以上8nm未満であることが好ましい。正のSNRゲインGが得やすい。例えば、厚さt21は、1.5nm以上6nm以下でも良い。図7の例では、第1非磁性層41はCuを含む。別の例として、試料sp1の構成において第1非磁性層41がCrを含む場合には、ゲインGは+0.3である。第1非磁性層41がCrを含む場合は、より薄い第1磁性層21を用いても、正のゲインGが得られる。
第1層25の厚さt25は、例えば、0.5nm以上3nm未満であることが好ましい。これにより、正のSNRゲインGが得やすい。例えば、厚さt25は、例えば、0.5nm以上1nm以下でも良い。
実施形態において、例えば、第1非磁性層41の厚さt41は、1nm以上4nm以下であることが好ましい。例えば、厚さt41が1nm未満のときは、第1磁性層21と第2磁性層22との磁気結合が強くなり、第2磁性層22の磁化22Mが反転し難くなる。厚さt41が4nmを越えると、例えば、ギャップ(距離Lg)を狭くすることが困難になる。
実施形態において、例えば、第2磁性層22の厚さt22は、3nm以上9nm以下であることが好ましい。例えば、厚さt22が3nm未満のときは、十分なゲインGが得難くなる。厚さt22が9nmを超えると、例えば、第2磁性層22の内部に磁区が発生し易くなる。
実施形態において、例えば、第2非磁性層42の厚さt42は、2nm以上5nm以下であることが好ましい。例えば、厚さt42が2nm未満のときは、連続な第2非磁性層42が得難くとなり、下地効果が得難くなる。厚さt42が5nmを超えると、ギャップ(距離Lg)を狭くすることが困難になる。
実施形態において、例えば、第3非磁性層43の厚さt43は、1nm以上4nm以下であることが好ましい。例えば、厚さt43が1nm未満のときは、第2磁性層21とシールド31との磁気結合が強くなり、第2磁性層22の磁化22Mが反転し難くなる。厚さt43が4nmを越えると、ギャップ(距離Lg)を狭くすることが困難になる。
実施形態において、第1磁性層21は、例えば、以下の第1元素及び第2元素を含む。第1元素は、Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第2元素は、Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。このような元素を含む材料は、負の分極を有する。第1磁性層21は、例えば、負の分極を有しても良い。第1磁性層21は、上記の第1元素及び上記の第2元素を含む合金を含んでも良い。このような合金は、負の分極を有する。
第1磁性層21が負の分極を有する場合、例えば、正分極の材料(FeCo合金など)を含む第1シールド31からの反射スピントルクと、第1磁性層21による透過スピントルクと、が加算される。これにより、第2磁性層22の磁化反転が容易になる。
磁気ヘッド110及び111において、第2磁性層22は、例えば、正の分極を有する強磁性材料を含む好ましい。第2磁性層22は、例えば、Co、Fe及びNiよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第1磁性層21及び第2磁性層22において、Co、Fe及びNiよりなる群から選択された少なくとも1つの濃度が50原子%以上である。例えば、第2磁性層22は、FeCo膜、NiFe膜、及び、CoFe/NiFe積層体よりなる群から選択された少なくとも1つを含む。CoFe/NiFe積層体は、複数のCoFe膜と、複数のCoFe膜の間に設けられたNiFe膜と、を含む。CoFe/NiFe積層体はにおいて、CoFe膜の厚さ及びNiFe膜の厚さを調整することで、高い飽和磁化Msが得やすくなる。これにより、大きな磁界を発生し易くなる。CoFe膜の厚さ及びNiFe膜の厚さを調整することで、例えば、垂直磁気異方性が生じやすくなる。これにより、第2磁性層22の磁化22Mが反転し易くなる。
例えば、第2磁性層22は、第1材料層、第2材料層及び第3材料層よりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第1材料層は、CoFeを含む。第2材料層は、第1CoFe層と、第2CoFe層と、第1CoFe層と第2CoFe層との間に設けられたNiFe層と、を含む。第3材料層は、複数のCoFe層と、複数のCoFe層の間に設けられたNi層と、を含む。
一方、第2磁性層22と同様な正分極の材料を第1磁性層21に用いると、正の透過スピントルクと正の反射スピントルクとの組み合わせになる。このため、第2磁性層22が受け取るスピントルクが相殺され、第2磁性層22の磁化反転が困難になる。第1磁性層21に正分極の材料を用いる場合には、例えば、以下に説明するような第3磁性層が設けられることが好ましい。
図8は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。
図8に示すように、実施形態に係る磁気ヘッド113においては、積層体20は、第1磁性層21、第2磁性層22、第1層25及び第1非磁性層41に加えて、第3磁性層23及び第3非磁性層43を含む。
第2磁性層22は、第1層25と第3非磁性層43との間にある。第3非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。例えば、第3非磁性層43の厚さt43は、1nm以上4nm以下である。
第2磁性層22と第3磁性層23との間に第3非磁性層43がある。例えば、第3非磁性層43と第1シールド31との間に、第3磁性層23がある。
磁気ヘッド113において、第3磁性層23は、負の分極を有する材料を含む。例えば、第3磁性層23は、上記の第1元素及び第2元素を含む。磁気ヘッド113において、第1磁性層21及び第2磁性層22は、正分極を有する材料を含む。
図8に示すように、磁気ヘッド113において、第1シールド31から磁極30への向きの電子流je1が流れる。磁極30から第1シールド31への向きの電流i1が流れる。例えば、第1磁性層21において、正の反射のスピントルクトランスファが生じ、スピンは、第2磁性層22に作用する。第3磁性層23において、負の透過スピントルクトランスファが生じ、スピンは、第2磁性層22に作用する。2つのスピンの加算により、第2磁性層22の磁化22Mがより効率的に反転する。磁気ヘッド113においても、記録密度の向上が可能な磁気記録装置を提供できる。
磁気ヘッド113においては、第1磁性層21及び第2磁性層22は、正の分極を有する強磁性材料を含む。第1磁性層21及び第2磁性層22は、例えば、Co、Fe及びNiよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第1磁性層21及び第2磁性層22において、Co、Fe及びNiよりなる群から選択された少なくとも1つの濃度が50原子%以上である。例えば、第1磁性層21及び第2磁性層22は、FeCo膜、NiFe膜、及び、CoFe/NiFe積層体よりなる群から選択された少なくとも1つを含む。CoFe/NiFe積層体は、複数のCoFe膜と、複数のCoFe膜の間に設けられたNiFe膜と、を含む。CoFe/NiFe積層体において、CoFe膜の厚さ及びNiFe膜の厚さを調整することで、高い飽和磁化Msが得やすくなる。これにより、大きな磁界を発生し易くなる。CoFe膜の厚さ及びNiFe膜の厚さを調整することで、例えば、垂直磁気異方性が生じやすくなる。これにより、第2磁性層22の磁化22Mが反転し易くなる。磁気ヘッド113において、第1磁性層21及び第2磁性層22は、例えば、上記の第1材料層、第2材料層及び第3材料層よりなる群から選択された少なくとも1つを含む。
図9は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。
図8に例示する磁気ヘッド114においては、第1磁性層21は、磁極30と接する。例えば、第1磁性層21は、磁極30と磁気結合する。第1磁性層21が磁極30と磁気結合することで、第1磁性層21の磁化21Mがより安定になる。第2磁性層22の磁化22Mを安定して反転し易くなる。磁気ヘッド114においても、記録密度の向上が可能な磁気記録装置を提供できる。
磁気ヘッド114においては、積層体20は、第3非磁性層43を含んでいる。既に説明したように、第2磁性層22は、第1層25と第3非磁性層43との間にある。第3非磁性層43は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第3非磁性層43の厚さは、1nm以上4nm以下である。
図10は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的断面図である。
図10に例示する磁気ヘッド115においては、積層体20は、第1磁性層21、第2磁性層22、第1層25及び第1非磁性層41に加えて、第2層26及び第3非磁性層43を含む。第2磁性層22は、第1層25と第3非磁性層43との間にある。第2層26は、第2磁性層22と第3非磁性層43との間にある。第2層26は、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第3非磁性層43は、例えば、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第3非磁性層43の厚さは、例えば、1nm以上4nm以下である。
磁気ヘッド115において、例えば、磁極30から第1シールド31への向きの電子流je1流れる。例えば、第1シールド31から磁極30への向きの電流i1が流れる。例えば、第1磁性層21は負の分極を有する。
磁気ヘッド115において、第1磁性層21において、負の透過スピントルクトランスファが生じる。第1シールド31において、正の反射スピントルクトランスファが生じる。これらのスピンが第2磁性層22に作用する。磁気ヘッド115において、第2磁性層22の磁化22Mは、より効率的に反転する。
磁気ヘッド115においては、第2層26により、シールド31が第2磁性層22から受けとる正の透過スピントランスファトルクが減衰する。例えば、シールド31から第2磁性層へのスピントランスファトルクは維持される。これにより、第3非磁性層43と接するシールド31の界面近傍の磁化が安定化する。
実施形態において、第1シールド31は、Co及びFeを含む。第1シールド31は、例えば、正の反射スピントランスファトルクを供給しても良い。
以下、実施形態における動作に関するシミュレーション結果の例を説明する。シミュレーションのモデルは、磁気ヘッド110の構成を有する。
図11(a)〜図11(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図11(a)〜図11(c)の横軸は、時間tm(nsec)である。図11(a)の縦軸は、磁化30MのX軸方向の成分30Mxである。図11(b)及び図11(c)の縦軸は、磁化22MのX軸方向の成分22Mxである。図11(b)においては、積層体20に流れる電流密度J20は、0×10A/cm、1×10A/cm、または、2×10A/cmである。図11(c)においては、積層体20に流れる電流密度J20は、3×10A/cm、4×10A/cm、または、5×10A/cmである。
図11(a)に示すように、時間tmが0.4nsec以上0.5nsec以下の範囲で、磁化30Mは、反転する。時間tmが上記の範囲でないときは、磁化30Mは、概ね、+X軸方向または−X軸方向の成分が最大となるように、飽和している。
図11(b)に示すように、電流密度J20が0×10cm、1×10cm、または、2×10cmのときは、成分22Mxの極性は、成分30Mxの極性と同じである。これに対して、図11(c)に示すように、電流密度J20が3×10cm、4×10cm、または、5×10cmのときは、成分22Mxの極性は、成分30Mxの極性に対して逆である。
時間tmが0.1nsec以上0.4nsec以下の範囲の特性が、SN比またはビットエラーレート(BER)に影響を与える。時間tmが0.1nsec以上0.4nsecの範囲において、電流密度J20の上昇に応じて、成分22Mxは−1(−X軸方向)から+1(+X軸方向)に向けて変化する。電流密度J20の上昇により、磁化22Mは、磁化30Mの方向と反対方向に向けて変化する。
図12は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図12の横軸は、電流密度J20(×10A/cm)である。図12の縦軸は、第2磁性層22の磁化22Mに関するパラメータ22Maである。パラメータ22Maは、時間tmが0.1nsec以上0.4nsec以下の範囲で平均化した、成分22Mxである。
図12に示すように、電流密度J20の上昇(ゼロから5×10A/cm)に応じて、パラメータ22Maは、負から正へ単調に変化する。この例において、電流密度J20が約3×10A/cm(値Joとする)のときに、パラメータ22Maは、ゼロになる。このとき、角度θmは、90度となる。
値Joよりも低い電流密度J20では、角度θmは、90度よりも小さい。角度θmが90度よりも大きいときに、第2磁性層22の磁化22Mは、磁極30の磁化30Mと反対に向く。値Joよりも大きな電流密度J20を積層体20に供給することにより、磁化22Mは、磁極30の磁化30Mと反対になる。磁化22Mが磁化30Mと反対に向くことで、磁極30からの記録磁界を磁気記録媒体80に有効に向かわせることができる。例えば、積層体20を用いない記録ヘッドに比べて、高いSN比が得られる。積層体20を用いない記録ヘッドに比べて、高いBERが得られる。
以下、実施形態に係る磁気ヘッド及び磁気記録媒体の例について説明する。以下では、図6に例示した磁気ヘッド111について説明する。以下の説明は、実施形態に係る他の磁気ヘッドに適用できる。
図13は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図14は、第1実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図15は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図13は、図15の一部の拡大図である。
図14に示すように、実施形態に係る磁気ヘッド111は、磁気記録媒体80と共に用いられる。実施形態に係る磁気記録装置210は、磁気ヘッド111及び磁気記録媒体80を含む。この例では、磁気ヘッド111は、記録部60及び再生部70を含む。磁気ヘッド111の記録部60により、磁気記録媒体80に情報が記録される。再生部70により、磁気記録媒体80に記録された情報が再生される。
磁気記録媒体80は、例えば、媒体基板82と、媒体基板82の上に設けられた磁気記録層81と、を含む。磁気記録層81の磁化83が記録部60により制御される。
再生部70は、例えば、第1再生磁気シールド72a、第2再生磁気シールド72b、及び磁気再生素子71を含む。磁気再生素子71は、第1再生磁気シールド72aと第2再生磁気シールド72bとの間に設けられる。磁気再生素子71は、磁気記録層81の磁化83に応じた信号を出力可能である。
図14に示すように、磁気記録媒体80は、媒体移動方向85の方向に、磁気ヘッド111に対して相対的に移動する。磁気ヘッド111により、任意の位置において、磁気記録層81の磁化83に対応する情報が制御される。磁気ヘッド111により、任意の位置において、磁気記録層81の磁化83に対応する情報が再生される。
図15に示すように、磁気ヘッド111において、コイル30cが設けられる。記録回路30Dから、コイル30cに記録電流Iwが供給される。磁極30から、記録電流Iwに応じた記録磁界が磁気記録媒体80に印加される。
図15に示すように、磁極30は、媒体対向面30Fを含む。媒体対向面30Fは、例えば、ABS(Air Bearing Surface)である。媒体対向面30Fは、例えば、磁気記録媒体80に対向する。
媒体対向面30Fに対して垂直な方向をZ軸方向とする。Z軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向及びX軸方向に対して垂直な方向をY軸方向とする。
Z軸方向は、例えば、ハイト方向である。X軸方向は、例えば、ダウントラック方向である。Y軸方向は、例えば、クロストラック方向である。
図15に示すように、電気回路20Dが、積層体20に電気的に接続される。この例では、積層体20は、磁極30及び第1シールド31と電気的に接続される。磁気ヘッド111に、第1端子T1及び第2端子T2が設けられる。第1端子T1は、配線W1及び磁極30を介して積層体20と電気的に接続される。第2端子T2は、配線W2及び第1シールド31を介して積層体20と電気的に接続される。電気回路20Dから、例えば、電流(例えば、直流電流)が積層体20に供給される。
図15に示すように、記録部60において、第2シールド32が設けられても良い。第2シールド32と第1シールド31との間に磁極30が設けられる。第1シールド31、第1シールド31及び磁極30の周りに、絶縁部30iが設けられる。
図13に示すように、この例では、磁極30から第1シールド31に向かう第1方向D1は、X軸方向に対して傾斜しても良い。第1方向D1は、積層体20の積層方向に対応する。X軸方向は、磁極30の媒体対向面30Fに沿う。第1方向D1と媒体対向面30Fとの間の角度を角度θ1とする。角度θ1は、例えば、15度以上30度以下である。角度θ1は、0度でも良い。
第1方向D1が、X軸方向に対して傾斜する場合、層の厚さ(例えば厚さt21など)は、第1方向D1に沿う長さに対応する。
(第2実施形態)
第2実施形態は、磁気記録装置210に係る。磁気記録装置210は、磁気ヘッド110と、磁気ヘッド110により情報が記録される磁気記録媒体80と、を含む。以下、実施形態に係る磁気記録装置の例について説明する。磁気記録装置は、磁気記録再生装置でも良い。磁気ヘッドは、記録部と再生部とを含んでも良い。
図16は、第2実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図16は、ヘッドスライダを例示している。
磁気ヘッド110は、ヘッドスライダ159に設けられる。ヘッドスライダ159は、例えばAl/TiCなどを含む。ヘッドスライダ159は、磁気記録媒体の上を、浮上または接触しながら、磁気記録媒体に対して相対的に運動する。
ヘッドスライダ159は、例えば、空気流入側159A及び空気流出側159Bを有する。磁気ヘッド110は、ヘッドスライダ159の空気流出側159Bの側面などに配置される。これにより、磁気ヘッド110は、磁気記録媒体の上を浮上または接触しながら磁気記録媒体に対して相対的に運動する。
図17は、第2実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図18(a)及び図18(b)は、第2実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図17に示すように、実施形態に係る磁気記録装置150においては、ロータリーアクチュエータが用いられる。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ180Mに装着される。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ180Mにより矢印ARの方向に回転する。スピンドルモータ180Mは、駆動装置制御部からの制御信号に応答する。本実施形態に係る磁気記録装置150は、複数の記録用媒体ディスク180を備えても良い。磁気記録装置150は、記録媒体181を含んでもよい。記録媒体181は、例えば、SSD(Solid State Drive)である。記録媒体181には、例えば、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリが用いられる。例えば、磁気記録装置150は、ハイブリッドHDD(Hard Disk Drive)でも良い。
ヘッドスライダ159は、記録用媒体ディスク180に記録する情報の、記録及び再生を行う。ヘッドスライダ159は、薄膜状のサスペンション154の先端に設けられる。ヘッドスライダ159の先端付近に、実施形態に係る磁気ヘッドが設けられる。
記録用媒体ディスク180が回転すると、サスペンション154による押し付け圧力と、ヘッドスライダ159の媒体対向面(ABS)で発生する圧力と、がバランスする。ヘッドスライダ159の媒体対向面と、記録用媒体ディスク180の表面と、の間の距離が、所定の浮上量となる。実施形態において、ヘッドスライダ159は、記録用媒体ディスク180と接触しても良い。例えば、接触走行型が適用されても良い。
サスペンション154は、アーム155(例えばアクチュエータアーム)の一端に接続されている。アーム155は、例えば、ボビン部などを有する。ボビン部は、駆動コイルを保持する。アーム155の他端には、ボイスコイルモータ156が設けられる。ボイスコイルモータ156は、リニアモータの一種である。ボイスコイルモータ156は、例えば、駆動コイル及び磁気回路を含む。駆動コイルは、アーム155のボビン部に巻かれる。磁気回路は、永久磁石及び対向ヨークを含む。永久磁石と対向ヨークとの間に、駆動コイルが設けられる。サスペンション154は、一端と他端とを有する。磁気ヘッドは、サスペンション154の一端に設けられる。アーム155は、サスペンション154の他端に接続される。
アーム155は、ボールベアリングによって保持される。ボールベアリングは、軸受部157の上下の2箇所に設けられる。アーム155は、ボイスコイルモータ156により回転及びスライドが可能である。磁気ヘッドは、記録用媒体ディスク180の任意の位置に移動可能である。
図18(a)は、磁気記録装置の一部の構成を例示しており、ヘッドスタックアセンブリ160の拡大斜視図である。
図18(b)は、ヘッドスタックアセンブリ160の一部となる磁気ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ:HGA)158を例示する斜視図である。
図18(a)に示すように、ヘッドスタックアセンブリ160は、軸受部157と、ヘッドジンバルアセンブリ158と、支持フレーム161と、を含む。ヘッドジンバルアセンブリ158は、軸受部157から延びる。支持フレーム161は、軸受部157から延びる。支持フレーム161の延びる方向は、ヘッドジンバルアセンブリ158の延びる方向とは逆である。支持フレーム161は、ボイスコイルモータ156のコイル162を支持する。
図18(b)に示すように、ヘッドジンバルアセンブリ158は、軸受部157から延びたアーム155と、アーム155から延びたサスペンション154と、を有している。
サスペンション154の先端には、ヘッドスライダ159が設けられる。ヘッドスライダ159に、実施形態に係る磁気ヘッドが設けられる。
実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ)158は、実施形態に係る磁気ヘッドと、磁気ヘッドが設けられたヘッドスライダ159と、サスペンション154と、アーム155と、を含む。ヘッドスライダ159は、サスペンション154の一端に設けられる。アーム155は、サスペンション154の他端と接続される。
サスペンション154は、例えば、信号の記録及び再生用のリード線(図示しない)を有する。サスペンション154は、例えば、浮上量調整のためのヒーター用のリード線(図示しない)を有しても良い。サスペンション154は、例えばスピントルク発振子用などのためのリード線(図示しない)を有しても良い。これらのリード線と、磁気ヘッドに設けられた複数の電極と、が電気的に接続される。
磁気記録装置150において、信号処理部190が設けられる。信号処理部190は、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う。信号処理部190は、信号処理部190の入出力線は、例えば、ヘッドジンバルアセンブリ158の電極パッドに接続され、磁気ヘッドと電気的に接続される。
本実施形態に係る磁気記録装置150は、磁気記録媒体と、実施形態に係る磁気ヘッドと、可動部と、位置制御部と、信号処理部と、を含む。可動部は、磁気記録媒体と磁気ヘッドとを離間させ、または、接触させた状態で相対的に移動可能とする。位置制御部は、磁気ヘッドを磁気記録媒体の所定記録位置に位置合わせする信号処理部は、磁気ヘッドを用いた磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う。
例えば、上記の磁気記録媒体として、記録用媒体ディスク180が用いられる。上記の可動部は、例えば、ヘッドスライダ159を含む。上記の位置制御部は、例えば、ヘッドジンバルアセンブリ158を含む。
実施形態は、以下の構成(例えば技術案)を含んでも良い。
(構成1)
磁気ヘッドと、
電気回路と、
を備え、
前記磁気ヘッドは、
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を含み、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記積層体に流れる電流密度の変化に対する前記積層体の電気抵抗の変化率は、前記電流密度が第1範囲のときに第1値を有し、前記電流密度が第2範囲のときに第2値を有し、前記電流密度が第3範囲のときに第3値を有し、前記第2範囲は、前記第1範囲と前記第3範囲との間にあり、前記第2値は、前記第1値よりも高く、前記第2値は、前記第3値よりも高く、
前記電気回路は、前記第3範囲内の電流密度の電流を前記積層体に供給する、磁気記録装置。
(構成2)
前記第1層は、前記第1非磁性層及び前記第2磁性層と接する、構成1記載の磁気記録装置。
(構成3)
前記第1非磁性層は、前記第1磁性層及び前記第1層と接する、構成2記載の磁気記録装置。
(構成4)
前記第2磁性層は、前記第1磁性層と前記第1シールドとの間にある、構成1〜3のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成5)
前記第1磁性層は、
Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1元素と、
Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第2元素と、
を含む、構成1〜4のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成6)
前記第1磁性層は、前記第1元素及び前記第2元素を含む合金を含む、構成5記載の磁気記録装置。
(構成7)
前記第2磁性層は、第1材料層、第2材料層及び第3材料層よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第1材料層は、CoFeを含み、
前記第2材料層は、第1CoFe層と、第2CoFe層と、前記第1CoFe層と前記第2CoFe層との間に設けられたNiFe層と、を含み、
前記第3材料層は、複数のCoFe層と、前記複数のCoFe層の間に設けられたNi層と、を含む、構成1〜6のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成8)
前記第1非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1〜7のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成9)
前記第1磁性層の厚さは、1nm以上8nm未満である、構成1〜8のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成10)
前記第1層の厚さは、0.5nm以上3nm未満である、構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成11)
前記第1非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、構成1〜10のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成12)
前記第2磁性層の厚さは、3nm以上9nm以下である、構成1〜11のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成13)
前記積層体は、第2非磁性層をさらに含み、
前記第1磁性層は、前記第2非磁性層と前記第1非磁性層との間にあり、
前記第2非磁性層は、Ta、Cr及びCuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第2非磁性層の厚さは、2nm以上5nm以下である、構成1〜12のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成14)
前記積層体は、第3非磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第3非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、構成1〜13のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成15)
前記積層体は、第3磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層と前記第3磁性層との間に前記第3非磁性層がある、構成14記載の磁気記録装置。
(構成16)
前記積層体は、第3非磁性層及び第3磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層と前記第3磁性層との間に前記第3非磁性層があり、
前記第3磁性層は、
Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第3元素と、
Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第4元素と、
を含み、
前記第1磁性層及び前記第2磁性層は、第1材料層、第2材料層及び第3材料層よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第1材料層は、CoFeを含み、
前記第2材料層は、第1CoFe層と、第2CoFe層と、前記第1CoFe層と前記第2CoFe層との間に設けられたNiFe層と、を含み、
前記第3材料層は、複数のCoFe層と、前記複数のCoFe層の間に設けられたNi層と、を含む、構成1〜4のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成17)
前記第1磁性層は、前記磁極と接する、構成1〜12のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成18)
前記積層体は、第3非磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第3非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、構成1〜13のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成19)
前記積層体は、第2層及び第3非磁性層をさらに含み、
前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第2層は、前記第2磁性層と前記第3非磁性層との間にあり、
前記第2層は、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1〜12のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成20)
前記第3非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、構成19記載の磁気記録装置。
(構成21)
前記第1シールドは、Co及びFeを含む、構成1〜20のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成22)
前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体をさらに備え、
前記積層体は、交流磁界を発生しない、または、前記積層体から発生する交流磁界の周波数は、前記磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い、構成1〜21のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(構成23)
磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体と、
を備え、
前記磁気ヘッドは、
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を含み、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記積層体は、交流磁界を発生しない、または、前記積層体から発生する交流磁界の周波数は、前記磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い、磁気記録装置。
(構成24)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記積層体に流れる電流密度の変化に対する前記積層体の電気抵抗の変化率は、前記電流密度が第1範囲のときに第1値を有し、前記電流密度が第2範囲のときに第2値を有し、前記電流密度が第3範囲のときに第3値を有し、前記第2範囲は、前記第1範囲と前記第3範囲との間にあり、前記第2値は、前記第1値よりも高く、前記第2値は、前記第3値よりも高く、
前記積層体には、前記第3範囲内の電流密度の電流が供給される、磁気ヘッド。
(構成25)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
を含み、
前記第2磁性層の厚さは、3nm以上9nm以下である、磁気ヘッド。
(構成26)
前記第1磁性層は、
Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1元素と、
Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第2元素と、
を含む、構成25記載の磁気ヘッド。
(構成27)
前記積層体は、第2非磁性層をさらに含み、
前記第1磁性層は、前記第2非磁性層と前記第1非磁性層との間にあり、
前記第2非磁性層は、Ta、Cr及びCuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第2非磁性層の厚さは、2nm以上5nm以下である、構成25または26に記載の磁気ヘッド。
実施形態によれば、記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録装置が提供できる。
本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、磁気ヘッドに含まれる磁極、第1シールド、第2シールド、積層体、磁性層、非磁性層、層及び配線などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した磁気ヘッド及び磁気記録装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての磁気ヘッド及び磁気記録装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
20…積層体、 20D…電気回路、 21〜23…第1〜第3磁性層、 21M、22M…磁化、 22Ma…パラメータ、 22Mx…成分、 25…第1層、 26…第2層、 30…磁極、 30D…記録回路、 30F…媒体対向面、 30M…磁化、 30Mx…成分、 30c…コイル、 30i…絶縁部、 31、32…第1、第2シールド、 31M…磁化、 41〜43…第1〜第3非磁性層、 60…記録部、 70…再生部、 71…磁気再生素子、 72a、72b…第1、第2再生磁気シールド、 80…磁気記録媒体、 81…磁気記録層、 82…媒体基板、 83…磁化、 85…媒体移動方向、 θ1…角度、 110〜115…磁気ヘッド、 150…磁気記録装置、 154…サスペンション、 155…アーム、 156…ボイスコイルモータ、 157…軸受部、 158…ヘッドジンバルアセンブリ、 159…ヘッドスライダ、 159A…空気流入側、 159B…空気流出側、 160…ヘッドスタックアセンブリ、 161…支持フレーム、 162…コイル、 180…記録用媒体ディスク、 180M…スピンドルモータ、 181…記録媒体、 190…信号処理部、 210…磁気記録装置、 AR…矢印、 BER1…変化分、 D1…第1方向、 G…ゲイン、 Iw…記録電流、 J20…電流密度、 JR1〜JR3…第1〜第3範囲、 Jo…値、 Jth…しきい値、 Lg…距離、 OW1…変化分、 R1…電気抵抗、 ST1、ST2…第1、第2状態、 Sp…変化、 T1、T2…第1、第2端子、 V1…印加電圧、 W1、W2…配線、 i1…電流、 je1…電子流、 sp1〜sp9…試料、 t21、t22、t25、t41、t42、t43…厚さ、 tm…時間

Claims (14)

  1. 磁気ヘッドと、
    電気回路と、
    を備え、
    前記磁気ヘッドは、
    磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を含み、
    前記積層体は、
    第1磁性層と、
    第2磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
    前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
    を含み、
    前記積層体に流れる電流密度の変化に対する前記積層体の電気抵抗の変化率は、前記電流密度が第1範囲のときに第1値を有し、前記電流密度が第2範囲のときに第2値を有し、前記電流密度が第3範囲のときに第3値を有し、前記第2範囲は、前記第1範囲と前記第3範囲との間にあり、前記第2値は、前記第1値よりも高く、前記第2値は、前記第3値よりも高く、
    前記電気回路は、前記第3範囲内の電流密度の電流を前記積層体に供給する、磁気記録装置。
  2. 前記第1層は、前記第1非磁性層及び前記第2磁性層と接する、請求項1記載の磁気記録装置。
  3. 前記第1非磁性層は、前記第1磁性層及び前記第1層と接する、請求項2記載の磁気記録装置。
  4. 前記第2磁性層は、前記第1磁性層と前記第1シールドとの間にある、請求項1〜3のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
  5. 前記第1磁性層は、
    Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1元素と、
    Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第2元素と、
    を含む、請求項1〜4のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
  6. 前記第2磁性層の厚さは、3nm以上9nm以下である、請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
  7. 前記積層体は、第3非磁性層をさらに含み、
    前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
    前記第3非磁性層は、Cr、Cu、Ag及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
    前記第3非磁性層の厚さは、1nm以上4nm以下である、請求項1〜6のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
  8. 前記積層体は、第2層及び第3非磁性層をさらに含み、
    前記第2磁性層は、前記第1層と前記第3非磁性層との間にあり、
    前記第2層は、前記第2磁性層と前記第3非磁性層との間にあり、
    前記第2層は、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1〜6のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
  9. 前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体をさらに備え、
    前記積層体は、交流磁界を発生しない、または、前記積層体から発生する交流磁界の周波数は、前記磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い、請求項1〜8のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
  10. 磁気ヘッドと、
    前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体と、
    を備え、
    前記磁気ヘッドは、
    磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を含み、
    前記積層体は、
    第1磁性層と、
    第2磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
    前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
    を含み、
    前記積層体は、交流磁界を発生しない、または、前記積層体から発生する交流磁界の周波数は、前記磁気記録媒体の磁気共鳴周波数よりも高い、磁気記録装置。
  11. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    第1磁性層と、
    第2磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
    前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
    を含み、
    前記積層体に流れる電流密度の変化に対する前記積層体の電気抵抗の変化率は、前記電流密度が第1範囲のときに第1値を有し、前記電流密度が第2範囲のときに第2値を有し、前記電流密度が第3範囲のときに第3値を有し、前記第2範囲は、前記第1範囲と前記第3範囲との間にあり、前記第2値は、前記第1値よりも高く、前記第2値は、前記第3値よりも高く、
    前記積層体には、前記第3範囲内の電流密度の電流が供給される、磁気ヘッド。
  12. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    第1磁性層と、
    第2磁性層と、
    前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられ、Ta、Zr、Hf、Mo、W、Tc、Re、Ru、Rh、Os、Ir、Pd、Pt、Mn、Cr、V、Ti、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、GD、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1層と、
    前記第1磁性層と前記第1層との間に設けられた第1非磁性層と、
    を含み、
    前記第2磁性層の厚さは、3nm以上9nm以下である、磁気ヘッド。
  13. 前記第1磁性層は、
    Fe、Ni及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第1元素と、
    Cr、V、Mn、Ti及びScよりなる群から選択された少なくとも1つを含む第2元素と、
    を含む、請求項12記載の磁気ヘッド。
  14. 前記積層体は、第2非磁性層をさらに含み、
    前記第1磁性層は、前記第2非磁性層と前記第1非磁性層との間にあり、
    前記第2非磁性層は、Ta、Cr及びCuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
    前記第2非磁性層の厚さは、2nm以上5nm以下である、請求項12または13に記載の磁気ヘッド。
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