JP7318996B2 - 共振ずり測定装置 - Google Patents
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Description
[1]圧電素子、上部ディスク基板及び板形状のバネを有する上部ユニットと、下部ディスク基板を有する下部ユニットと、前記上部ユニットおよび前記下部ユニットを密閉した空間内に保持する密閉ユニットと、前記密閉ユニット内の圧力を制御する圧力制御手段と、を備え、前記上部ディスク基板の下面と前記下部ディスク基板の上面との間が試料挿入部を形成 し、前記上部ディスク基板の下面と前記下部ディスク基板の上面との間の表面間距離を調整 でき、前記圧電素子及び前記上部ディスク基板は、前記上部ディスク基板の下面及び前記下部 ディスク基板の上面に対して略垂直に設置された前記板形状のバネを介して固定機材から吊り 下げられて、水平方向に振動することができ、ひずみゲージが前記板形状のバネに貼着され、前記圧電素子による、前記上部ユニットの振動に伴う前記ひずみゲージからの共振時の応答電圧を測定する、共振ずり測定装置。
下部ディスク基板を有する下部ユニットと、前記上部ユニットおよび前記下部ユニットを密閉した空間内に保持する密閉ユニットと、前記密閉ユニット内の圧力を制御する圧力制御手段と、を備え、前記上部ディスク基板の下面と前記下部ディスク基板の上面との間が試料挿入部を形成 し、前記上部ディスク基板の下面と前記下部ディスク基板の上面との間の表面間距離を調整 でき、前記圧電素子及び前記上部ディスク基板は、前記上部ディスク基板の下面及び前記下部 ディスク基板の上面に対して略垂直に設置された前記板形状のバネを介して固定機材から吊り 下げられて、水平方向に振動することができ、ひずみゲージが前記板形状のバネに貼着され、前記圧電素子による、前記上部ユニットの振動に伴う前記ひずみゲージからの共振時の応答電圧を測定し、前記ひずみゲージで測定された前記板形状のバネの変位を、前記上部ディスク基板の水平方向の変位とする、共振ずり測定装置。
なお、以下の説明で用いる図は、本発明の特徴を分かり易くするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。
図1は、本発明に係る実施形態の共振ずり測定装置1を示す概略構成図である。
本実施形態の共振ずり測定装置1は、圧電素子15、上部ディスクホルダ13、上部ディスク基板16及びバネ17を有する上部ユニット10と、下部ディスク基板14及び下部ディスクホルダ12を有する下部ユニット11と、を備え、上部ディスク基板16の下面と下部ディスク基板14の上面との間が試料挿入部21を形成し、圧電素子15、上部ディスクホルダ13及び上部ディスク基板16は、バネ17を介して固定機材30に振動可能に接続され、ひずみゲージ19がバネ17に貼着されている。
図2は、図1に示される共振ずり測定装置1の、共振ずり曲線の解析に用いた物理モデルを示す概略図である。上部ユニット10のパラメータとして粘性項b1、弾性項k1、有効質量m1を考える。試料液体部としては粘性項b2、弾性項k2を考える。下部ユニット11のパラメータとして粘性項b3、弾性項k3、有効質量m2を考える。これらのパラメータを用いて上部ディスク基板16の下面と下部ディスク基板14の上面の運動方程式はそれぞれ以下のように表すことができる。
図6で示される、変位計測手段として静電容量計20を備える従来の共振ずり測定装置3を用いて、空気中で、圧電素子15に周波数を変化させながら正弦波の交流電圧を印加することにより、上部ユニット10の振動に伴う静電容量計20からの応答電圧を測定した。図3は、交流電圧(すなわち印加電圧)の周波数(横軸)に対して、(応答電圧の振幅Uout)/(印加電圧の振幅Uin)の比(縦軸)を表したグラフである。上部ユニット10の共振ずり曲線が測定されていることが分かる。
(空気中で、上部ディスク基板16の下面と下部ディスク基板14の上面との間が離れた状態(AS)での共振ずり曲線の測定)
図1で示される、変位計測手段としてひずみゲージ19を備える本実施形態の共振ずり測定装置1を用いて、空気中で、圧電素子15に周波数を変化させながら正弦波の交流電圧を印加することにより、上部ユニット10の振動に伴うひずみゲージ19からの応答電圧を測定した。図4は、交流電圧(すなわち印加電圧)の周波数(横軸)に対して、(応答電圧の振幅Uout)/(印加電圧の振幅Uin)の比(縦軸)を表したグラフである。上部ユニット10の共振ずり曲線が測定されていることが分かる。
本実施形態の共振ずり測定装置1において、ジメチルジオクタデシルアンモニウム(DODA)で修飾した雲母を上部ディスク基板16および下部ディスク基板14にとりつけ、その2つの間の表面間に純水を挿入した。純水を試料挿入部21に挟んだ状態で、圧電素子15に周波数を変化させながら正弦波の交流電圧を印加することにより、上部ユニット10の振動に伴うひずみゲージ19からの応答電圧を測定した。図5は、交流電圧(すなわち印加電圧)の周波数(横軸)に対して、(応答電圧の振幅Uout)/(印加電圧の振幅Uin)の比(縦軸)を表したグラフであって、変位計測手段としてひずみゲージ19を備える共振ずり測定装置1を用いて測定されたものである。表面間距離(D)が801nmの場合、液体試料の粘性により、振動する動きが妨げられ、空気中の場合よりも、振幅が減少する。すなわち共振ずり曲線のピーク強度が減少する。また、表面間距離(D)が2.1nmとした場合、水が排除されてDODA分子が直接接触して摩擦が生じるために、共振ずり曲線のピーク周波数は高周波数側にシフトする。このように表面間距離(D)や荷重(L)を変化させて、共振ずり曲線のピーク周波数やピーク強度を比較することで、表面間の液体の粘弾性や摩擦の変化が測定可能である。
Claims (2)
- 圧電素子、上部ディスク基板及び板形状のバネを有する上部ユニットと、
下部ディスク基板を有する下部ユニットと、
前記上部ユニットおよび前記下部ユニットを密閉した空間内に保持する密閉ユニットと、
前記密閉ユニット内の圧力を制御する圧力制御手段と、を備え、
前記上部ディスク基板の下面と前記下部ディスク基板の上面との間が試料挿入部を形成し、
前記上部ディスク基板の下面と前記下部ディスク基板の上面との間の表面間距離を調整でき、
前記圧電素子及び前記上部ディスク基板は、前記上部ディスク基板の下面及び前記下部 ディスク基板の上面に対して略垂直に設置された前記板形状のバネを介して固定機材から吊り下げられて、水平方向に振動することができ、
ひずみゲージが前記板形状のバネに貼着され、
前記圧電素子による、前記上部ユニットの振動に伴う前記ひずみゲージからの共振時の応答電圧を測定する、共振ずり測定装置。 - 圧電素子、上部ディスク基板及び板形状のバネを有する上部ユニットと、
下部ディスク基板を有する下部ユニットと、
前記上部ユニットおよび前記下部ユニットを密閉した空間内に保持する密閉ユニットと、
前記密閉ユニット内の圧力を制御する圧力制御手段と、を備え、
前記上部ディスク基板の下面と前記下部ディスク基板の上面との間が試料挿入部を形成し、
前記上部ディスク基板の下面と前記下部ディスク基板の上面との間の表面間距離を調整でき、
前記圧電素子及び前記上部ディスク基板は、前記上部ディスク基板の下面及び前記下部 ディスク基板の上面に対して略垂直に設置された前記板形状のバネを介して固定機材から吊り下げられて、水平方向に振動することができ、
ひずみゲージが前記板形状のバネに貼着され、
前記圧電素子による、前記上部ユニットの振動に伴う前記ひずみゲージからの共振時の応答電圧を測定し、
前記ひずみゲージで測定された前記板形状のバネの変位を、前記上部ディスク基板の水平方向の変位とする、共振ずり測定装置。
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JP2021508656A Division JP7244958B2 (ja) | 2019-03-28 | 2019-03-28 | 共振ずり測定装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2007037241A1 (ja) | 2005-09-28 | 2007-04-05 | Japan Science And Technology Agency | ずり測定方法及びその装置 |
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2022
- 2022-04-25 JP JP2022071893A patent/JP7318996B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2007037241A1 (ja) | 2005-09-28 | 2007-04-05 | Japan Science And Technology Agency | ずり測定方法及びその装置 |
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