JP7315934B2 - カーボンナノチューブデバイス及びその使用方法 - Google Patents
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Description
106、206、306、406 カーボンナノチューブアレイ
102、202、302 ヘッド
104、204、304、404 ロングハンドル
108、208、308、408 スルーホール
Claims (4)
- カーボンナノチューブデバイスは、一端側と他端側との幅が均一な長条構造の導電性基板及びカーボンナノチューブアレイを含み、
前記導電性基板は、ヘッド及びロングハンドルを含み、前記ヘッドは、スルーホールを有し、
前記ヘッドは前記導電性基板の前記一端側に形成され、前記ロングハンドルは前記導電性基板の前記他端側に形成されることにより、前記ヘッド及び前記ロングハンドルが単一の部材により構成される一体構造を有し、
前記カーボンナノチューブアレイは、前記スルーホールの周りの前記ヘッドの表面に設置され、前記ヘッドの表面に基本的に垂直な複数のカーボンナノチューブを含むことを特徴とするカーボンナノチューブデバイス。 - 前記ヘッド及び前記ロングハンドルの材料が同じ導電材料であることを特徴とする、請求項1に記載のカーボンナノチューブデバイス。
- 走査型電子顕微鏡に応用されるカーボンナノチューブデバイスは、一端側と他端側との幅が均一な長条構造の導電性基板及びカーボンナノチューブアレイを含み、
前記導電性基板は、ヘッド及びロングハンドルを含み、前記ヘッドは、スルーホールを有し、
前記ヘッドは前記導電性基板の前記一端側に形成され、前記ロングハンドルは前記導電性基板の前記他端側に形成されることにより、前記ヘッド及び前記ロングハンドルが単一の部材により構成される一体構造を有し、
前記カーボンナノチューブアレイは、前記スルーホールの周りの前記ヘッドの表面に設置され、前記ヘッドの表面に基本的に垂直な複数のカーボンナノチューブを含み、
前記スルーホールは、前記走査型電子顕微鏡から放出された電子ビームを通させることに用いられ、前記カーボンナノチューブアレイは、前記走査型電子顕微鏡のサンプルの表面と接触することを特徴とする走査型電子顕微鏡に応用されるカーボンナノチューブデバイス。 - カーボンナノチューブデバイスの使用方法は、
前記カーボンナノチューブデバイスを提供するステップであって、前記カーボンナノチューブデバイスは、カーボンナノチューブアレイ及び一端側と他端側との幅が均一な長条構造の導電性基板を含み、
前記導電性基板は、ヘッド及びロングハンドルを含み、前記ヘッドは、スルーホールを有し、前記ヘッドは前記導電性基板の前記一端側に形成され、前記ロングハンドルは前記導電性基板の前記他端側に形成されることにより、前記ヘッド及び前記ロングハンドルが単一の部材により構成される一体構造を有するステップと、
観察される走査型電子顕微鏡のサンプルを提供し、前記サンプルを前記走査型電子顕微鏡の観察領域に配置するステップと、
前記カーボンナノチューブデバイスをメカニカルアームに固定し、前記カーボンナノチューブデバイスにおけるカーボンナノチューブアレイを前記サンプルと接触させるように、前記メカニカルアームの位置を移動するステップと、
前記走査型電子顕微鏡の電源を入れ、前記走査型電子顕微鏡の電子ビームを、前記スルーホールを通し、且つ前記サンプルに当たらせ、前記サンプルを撮るステップと、
を含むことを特徴とするカーボンナノチューブデバイスの使用方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110639098.5 | 2021-06-08 | ||
CN202110639098.5A CN115458379A (zh) | 2021-06-08 | 2021-06-08 | 碳纳米管器件及其使用方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022187966A JP2022187966A (ja) | 2022-12-20 |
JP7315934B2 true JP7315934B2 (ja) | 2023-07-27 |
Family
ID=84285413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022009025A Active JP7315934B2 (ja) | 2021-06-08 | 2022-01-25 | カーボンナノチューブデバイス及びその使用方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11996261B2 (ja) |
JP (1) | JP7315934B2 (ja) |
CN (1) | CN115458379A (ja) |
TW (1) | TWI780784B (ja) |
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-
2021
- 2021-06-08 CN CN202110639098.5A patent/CN115458379A/zh active Pending
- 2021-06-18 TW TW110122492A patent/TWI780784B/zh active
-
2022
- 2022-01-25 JP JP2022009025A patent/JP7315934B2/ja active Active
- 2022-02-24 US US17/679,652 patent/US11996261B2/en active Active
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JP2022187966A (ja) | 2022-12-20 |
TW202248630A (zh) | 2022-12-16 |
US11996261B2 (en) | 2024-05-28 |
US20220392732A1 (en) | 2022-12-08 |
TWI780784B (zh) | 2022-10-11 |
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