JP7300256B2 - Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator - Google Patents

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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

本発明は、圧電振動片、及び圧電振動子に係り、詳細には、振動腕部を励振させる電極に関する。 The present invention relates to a piezoelectric vibrating piece and a piezoelectric vibrator, and more particularly to electrodes for exciting vibrating arms.

例えば、携帯電話や携帯情報端末機器等の電子機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等に用いられるデバイスとして、水晶等を利用した圧電振動子が用いられる。
この種の圧電振動子として、特許文献１に示すように、パッケージと蓋体で形成されるキャビティ内に圧電振動片を気密封止したものが知られている。 For example, in electronic devices such as mobile phones and personal digital assistants, piezoelectric vibrators using crystal or the like are used as devices used as time sources, timing sources such as control signals, and reference signal sources.
As a piezoelectric vibrator of this type, there is known one in which a piezoelectric vibrating piece is airtightly sealed in a cavity formed by a package and a lid, as shown in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-200012.

図６は、従来の一般的な圧電振動片６００の構造についての、斜視図（ａ）とＰ－Ｐ断面からの斜視図（ｂ）を表したものである。
図６（ａ）、（ｂ）に示すように、圧電振動片６００は、圧電材料により形成された所定長さの基部８００と、基部８００から並んで延びる一対の振動腕部７００ａ、ｂを備えている。
両振動腕部７００ａ、ｂには、その主面（表裏面）に振動腕の長手方向に延びる溝７２０ａ、ｂが形成されると共に、その主面と側面に駆動用の電圧が印加される２系統の電極９１０、９２０が形成されている。
電極９１０、９２０の形成は、溝７２０ａ、ｂ内を含めた圧電振動片６００の全体に対して電極材料を蒸着やスパッタリングによって成膜する。そして両振動腕部７００ａ、ｂの主面に形成された成膜のうち、図６に示す白色部分をフォトリソグラフにより取り除くことで、電極９１０と電極９２０とを分割している。
このようにして形成した圧電振動片６００は、電極９１０と電極９２０とに異なる系統の電圧を掛けることで、両振動腕部７００ａ、ｂが互いに振動する。 FIG. 6 shows a perspective view (a) and a perspective view (b) of the structure of a conventional general piezoelectric vibrating piece 600 taken along line PP.
As shown in FIGS. 6A and 6B, the piezoelectric vibrating piece 600 includes a base 800 made of a piezoelectric material and having a predetermined length, and a pair of vibrating arms 700a and 700b extending side by side from the base 800. ing.
Both vibrating arm portions 700a and 700b have grooves 720a and 720b extending in the longitudinal direction of the vibrating arms on the principal surfaces (front and back surfaces) thereof, and a driving voltage is applied to the principal surfaces and side surfaces thereof. A system of electrodes 910, 920 is formed.
The electrodes 910 and 920 are formed by depositing or sputtering an electrode material on the entire piezoelectric vibrating piece 600 including the grooves 720a and 720b. The electrodes 910 and 920 are separated by removing the white portions shown in FIG.
In the piezoelectric vibrating piece 600 formed in this way, by applying voltages of different systems to the electrodes 910 and 920, the two vibrating arms 700a and 700b vibrate each other.

しかし、電極９１０と電極９２０とを振動腕部７００ａ、ｂの主面において分割しているため、導電性の異物Ｓが付着するとショートしてしまうという課題がある。
この導電性の異物Ｓとしては、例えば、圧電振動片を収容したパッケージと蓋体を接着する際の銀ロウのスプラッシュがある。
また、両振動腕部７００ａ、ｂの両サイドや両者間に形成されたアームにより、圧電振動片をパッケージ内に接着し固定する場合には、導電性接着剤が異物Ｓとなる場合がある。
特に圧電振動片が小型化する傾向にあるが、小型化するほど両電極９１０、９２０間の幅も狭くなるため、より小さな異物Ｓもショートの原因になっていた。 However, since the electrode 910 and the electrode 920 are separated on the main surfaces of the vibrating arms 700a and 700b, there is a problem that a short circuit may occur if a conductive foreign substance S adheres.
The conductive foreign matter S is, for example, a splash of silver solder when bonding the package containing the piezoelectric vibrating piece to the lid.
Further, when the piezoelectric vibrating piece is adhered and fixed in the package by the arms formed on both sides of the vibrating arm portions 700a and 700b and between them, the conductive adhesive may become foreign matter S in some cases.
In particular, there is a tendency for piezoelectric vibrating reeds to become smaller, but as the size becomes smaller, the width between both electrodes 910 and 920 becomes narrower, so even smaller foreign matter S causes a short circuit.

一方、それぞれの電極９１０と電極９２０を主面上には形成せず、振動腕部７００ａ、ｂの側面と、溝７２０ａ、ｂの内側面に、主面よりも低い位置まで形成する技術も存在する（特許文献１）。
しかし、主面に電極を形成しないことで、導電性の異物Ｓによるショートは回避できるが、電極面積が減少してしまい、電界効率が低下（ＣＩ値が上昇）してしまうという課題がある。 On the other hand, there is also a technique in which the electrodes 910 and 920 are not formed on the main surface, but are formed on the side surfaces of the vibrating arms 700a and 700b and the inner surfaces of the grooves 720a and 720b to a position lower than the main surface. (Patent Document 1).
However, by not forming an electrode on the main surface, short-circuiting due to conductive foreign matter S can be avoided, but the electrode area is reduced, resulting in a problem of reduced electric field efficiency (increased CI value).

特開２００８－１１８２５４号公報JP 2008-118254 A

本発明は、異物によるショートが生じにくく、振動に寄与する電極部分の面積をより大きく確保することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to secure a larger area for an electrode portion that contributes to vibration and is less susceptible to short-circuiting due to foreign matter.

（１）請求項１に記載の発明では、基部と、前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と、他方の振動腕部の溝部の両側面に形成された第１側面電極と、前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と、前記他方の振動腕部の両側面に形成された第２側面電極と、前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の４つの前記土手部の全主面に、前記一方の振動腕部の両側面に形成された前記第１側面電極から延出して形成された第１主面電極と、前記１対の振動腕部における、前記他方の振動腕部の４つの前記土手部の全主面に、前記他方の振動腕部の両側面に形成された前記第２側面電極から延出して形成された第２主面電極と、を具備し、前記第１主面電極と前記第２主面電極は、各々が形成されている土手部の短手方向の幅をＬとした場合に、Ｌ／２よりも短く形成され、前記他方の振動腕部の前記溝部の両側面に形成された第１側面電極の先端と、前記一方の振動腕部の前記溝部の両側面に形成された第２側面電極の先端は、土手部の主面よりも下側に形成されている、ことを特徴とする圧電振動片を提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記振動腕部の外側に並んで前記基部から延設された、実装用の１対の支持腕部を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片を提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、基部と、前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と、他方の振動腕部の溝部の両側面に形成された第１側面電極と、前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と、前記他方の振動腕部の両側面に形成された第２側面電極と、前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の４つの前記土手部の主面と、前記他方の振動腕部の４つの前記土手部の主面、のうちの少なくとも１つの主面に、前記第１側面電極から延出して形成された第１主面電極と、前記１対の振動腕部の各々において、４つの前記土手部の主面のうち、前記第１主面電極が、全ての主面に形成されている場合には最大３つの主面に、全ての主面には形成されていない場合には最大４つの主面に、前記第２側面電極から延出して形成された第２主面電極と、前記１対の振動腕部の間に前記基部から延設された、実装用の１つの支持腕部と、を具備し、前記１対の振動腕部における前記支持腕部に対向する側の土手部を内側土手部とし、対向しない側の土手部を外側土手部とした場合、前記第１主面電極は、４つの前記外側土手部と、前記一方の振動腕部における２つの前記内側土手部又は前記他方の振動腕部における２つの前記内側土手部に形成され、前記第２主面電極は、４つの前記外側土手部と、４つの前記内側土手部のうち、前記第１主面電極が形成されていない２つの前記内側土手部に形成されている、ことを特徴とする圧電振動片を提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、前記土手部の主面に第１主面電極が延出していない前記第１側面電極の先端と、前記土手部の主面に第２主面電極が延出していない前記第２側面電極の先端は、土手部の主面よりも下側に形成されている、ことを特徴とする請求項３に記載の圧電振動片を提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、基部と、前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と、他方の振動腕部の溝部の両側面に形成された第１側面電極と、前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と、前記他方の振動腕部の両側面に形成された第２側面電極と、前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の４つの前記土手部の主面と、前記他方の振動腕部の４つの前記土手部の主面、のうちの少なくとも１つの主面に、前記第１側面電極から延出して形成された第１主面電極と、前記１対の振動腕部の各々において、４つの前記土手部の主面のうち、前記第１主面電極が、全ての主面に形成されている場合には最大３つの主面に、全ての主面には形成されていない場合には最大４つの主面に、前記第２側面電極から延出して形成された第２主面電極と、前記１対の振動腕部の外側に並んで前記基部から延設された、実装用の１対の支持腕部と、を具備し、前記１対の振動腕部における土手部のうち、前記１対の支持腕部のいずれかの支持腕部に対向する側の土手部を外側土手部とし、対向しない側の土手部を内側土手部とした場合、前記第１主面電極は、４つの前記内側土手部と、前記一方の振動腕部における２つの前記外側土手部又は前記他方の振動腕部における２つの前記外側土手部に形成され、前記第２主面電極は、４つの前記内側土手部と、４つの前記外側土手部のうちの前記第１主面電極が形成されていない２つの前記外側土手部に形成され、前記土手部の主面に第１主面電極が延出していない前記第１側面電極の先端と、前記土手部の主面に第２主面電極が延出していない前記第２側面電極の先端は、土手部の主面よりも下側に形成されている、ことを特徴とする圧電振動片を提供する。
（６）請求項６に記載の発明では、実装部を備えたパッケージと、前記実装部に接合材を介して実装された、請求項１から請求項５のうちのいずれか１の請求項に記載の圧電振動片と、を具備したことを特徴とする圧電振動子を提供する。 (1) In the invention according to claim 1, a base, a pair of vibrating arms extending in parallel from the base, and a pair of vibrating arms extending along the longitudinal direction on both principal surfaces of the pair of vibrating arms. The formed groove portion, bank portions formed on both sides of the groove portion by each of the groove portions, both side surfaces of one vibrating arm portion of the pair of vibrating arm portions, and a groove portion of the other vibrating arm portion. first side electrodes formed on both side surfaces of the pair of vibrating arms, both side surfaces of the groove of one of the pair of vibrating arms, and second side electrodes formed on both side surfaces of the other vibrating arm From the side electrodes and the first side electrodes formed on both side surfaces of the one vibrating arm on all main surfaces of the four bank portions of the one vibrating arm in the pair of vibrating arms a first principal-surface electrode formed to extend, all principal surfaces of the four bank portions of the other vibrating arm in the pair of vibrating arms, and both sides of the other vibrating arm a second principal surface electrode formed by extending from the formed second side surface electrode, the first principal surface electrode and the second principal surface electrode each forming a bank; When the width of the vibrating arm in the lateral direction is L, the distal end of the first side electrode formed shorter than L/2 and formed on both side surfaces of the groove of the other vibrating arm ; There is provided a piezoelectric vibrating reed, wherein tips of second side electrodes formed on both side surfaces of the groove of the vibrating arm are formed below a main surface of the embankment.
( 2 ) The invention according to claim 2 is characterized by comprising a pair of support arms for mounting extending from the base along the outside of the resonating arms. A piezoelectric vibrating piece as described is provided.
( 3 ) In the invention according to claim 3 , a base, a pair of vibrating arms extending in parallel from the base, and longitudinally extending on both main surfaces of the pair of vibrating arms The formed groove portion, bank portions formed on both sides of the groove portion by each of the groove portions, both side surfaces of one vibrating arm portion of the pair of vibrating arm portions, and a groove portion of the other vibrating arm portion. first side electrodes formed on both side surfaces of the pair of vibrating arms, both side surfaces of the groove of one of the pair of vibrating arms, and second side electrodes formed on both side surfaces of the other vibrating arm at least one of the side electrodes, the principal surfaces of the four banks of the one vibrating arm, and the principal surfaces of the four banks of the other vibrating arm in the pair of vibrating arms A first main surface electrode extending from the first side surface electrode formed on one main surface, and the first main surface of each of the four bank portions on each of the pair of vibrating arm portions When the main surface electrodes are formed on all the main surfaces, the main surface electrodes are formed on a maximum of three main surfaces, and when not formed on all the main surfaces, on a maximum of four main surfaces, from the second side electrode a second principal surface electrode formed to extend; and one supporting arm for mounting extending from the base between the pair of vibrating arms, wherein the pair of vibrating arms When the embankment on the side of the arm that faces the support arm is an inner embankment, and the embankment on the side that does not face the support arm is an outer embankment, the first main surface electrode includes the four outer embankments, The second main-surface electrodes are formed on the two inner bank portions of the one vibrating arm or the two inner bank portions of the other vibrating arm, and the second main surface electrodes include the four outer bank portions and the four Provided is a piezoelectric vibrating reed, characterized in that, of inner bank portions, the first main surface electrode is formed on two of the inner bank portions where the first principal surface electrode is not formed.
( 4 ) In the invention according to claim 4 , a tip of the first side electrode from which the first main surface electrode does not extend to the main surface of the bank portion and a second main surface electrode on the main surface of the bank portion are provided. 4. The piezoelectric vibrating reed according to claim 3, wherein the tip of the second side electrode, from which the extension is not extended, is formed below the main surface of the bank portion.
( 5 ) In the invention according to claim 5 , a base, a pair of vibrating arms extending in parallel from the base, and longitudinally extending on both main surfaces of the pair of vibrating arms The formed groove portion, bank portions formed on both sides of the groove portion by each of the groove portions, both side surfaces of one vibrating arm portion of the pair of vibrating arm portions, and a groove portion of the other vibrating arm portion. first side electrodes formed on both side surfaces of the pair of vibrating arms, both side surfaces of the groove of one of the pair of vibrating arms, and second side electrodes formed on both side surfaces of the other vibrating arm at least one of the side electrodes, the principal surfaces of the four banks of the one vibrating arm, and the principal surfaces of the four banks of the other vibrating arm in the pair of vibrating arms A first main surface electrode extending from the first side surface electrode formed on one main surface, and the first main surface of each of the four bank portions on each of the pair of vibrating arm portions When the main surface electrodes are formed on all the main surfaces, the main surface electrodes are formed on a maximum of three main surfaces, and when not formed on all the main surfaces, on a maximum of four main surfaces, from the second side electrode a second principal surface electrode formed to extend; and a pair of support arms for mounting extending from the base along the outside of the pair of vibrating arms; Of the bank portions of the pair of vibrating arm portions, the bank portion on the side facing one of the supporting arm portions of the pair of supporting arm portions is defined as the outer bank portion, and the bank portion on the opposite side is defined as the inner bank portion. In this case, the first principal-surface electrodes are formed on the four inner bank portions and the two outer bank portions of the one vibrating arm or the two outer bank portions of the other vibrating arm, The second principal-surface electrodes are formed on the four inner bank portions and two of the four outer bank portions on which the first principal-surface electrodes are not formed. The tip of the first side electrode from which the first principal surface electrode does not extend to the principal surface and the tip of the second side electrode from which the second principal surface electrode does not extend to the principal surface of the bank portion To provide a piezoelectric vibrating reed characterized by being formed below a main surface of a .
( 6 ) In the invention according to claim 6 , the package according to any one of claims 1 to 5 is provided with a mounting portion, and the mounting portion is mounted via a bonding material. A piezoelectric vibrator comprising the piezoelectric vibrating reed described above.

本発明によれば、１対の励振腕部の各々における、４つの土手部の主面のうちの少なくとも１つの主面に、第１側面電極から延出して第１主面電極が形成され、４つの土手部の主面のうち、第１主面電極が、全ての主面に形成されている場合には最大３つの主面に、全ての主面には形成されていない場合には最大４つの主面に、第２側面電極から延出して第２主面電極が形成されているので、異物によるショートが生じにくく、振動に寄与する電極部分の面積を主面までの延設によって、より大きく確保することができる。 According to the present invention, the first principal surface electrode is formed on at least one of the principal surfaces of the four bank portions in each of the pair of excitation arm portions, extending from the first side surface electrode; Of the four principal surfaces of the bank portion, the first principal surface electrodes are formed on a maximum of three principal surfaces when the first principal surface electrodes are formed on all of the principal surfaces, and when the first principal surface electrodes are formed on none of the principal surfaces, a maximum of Since the second main-surface electrodes are formed on the four main surfaces by extending from the second side-surface electrodes, short-circuiting due to foreign matter is unlikely to occur. larger can be secured.

圧電振動片の構成と断面を表した図である。2A and 2B are diagrams showing a configuration and a cross section of a piezoelectric vibrating piece; FIG. 圧電振動片の変形例の構成を表した断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the configuration of a modification of the piezoelectric vibrating piece; 圧電振動片の他の変形例を表した断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing another modification of the piezoelectric vibrating piece; 圧電振動片の更に他の変形例を表した断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing still another modification of the piezoelectric vibrating piece; 圧電振動子の構成を表した斜視図である。1 is a perspective view showing the configuration of a piezoelectric vibrator; FIG. 従来の圧電振動片の構造について表した説明図である。It is an explanatory view showing the structure of a conventional piezoelectric vibrating reed.

以下、本発明の圧電振動片、及び圧電振動子における好適な実施形態について、図１から図５を参照して詳細に説明する。
（１）実施形態の概要
本実施形態の圧電振動片６は、音叉形の圧電振動片であり、基部８から１対の振動腕部７が延設されると共に、基部８から振動腕部７の両外側に並列して延設された支持腕部９を備える。１対の振動腕部７の長手方向には、その主面（裏表面）に一定幅の溝部７２が形成されている。この溝部７２により、振動腕部７には、外側土手部７３と内側土手部７４が形成されている。 Preferred embodiments of the piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator of the present invention will be described in detail below with reference to FIGS. 1 to 5. FIG.
(1) Outline of Embodiment A piezoelectric vibrating piece 6 of the present embodiment is a tuning-fork type piezoelectric vibrating piece. It has supporting arms 9 extending in parallel on both outer sides of the . In the longitudinal direction of the pair of vibrating arm portions 7, a groove portion 72 having a constant width is formed on the main surface (back surface). The groove portion 72 forms an outer bank portion 73 and an inner bank portion 74 in the vibrating arm portion 7 .

振動腕部７の外周面を構成する側面と主面及び溝部７２内には、第１励振電極、第２励振電極として機能する、異なる２系統の励振電極９１、９２が形成されている。
本実施形態および各変形例によれば、振動腕部７に形成された、各４箇所の主面（外側土手部７３の両主面２箇所と、内側土手部７４の両主面２箇所の合計４箇所）のうちの少なくとも１箇所に対して、励振電極９１、９２の一方が側面から主面まで延設され、励振電極９１、９２の他方が側面における主面よりも低い位置まで形成されている。
これにより、導電性異物Ｓが主として飛来する土手部の主面箇所において、励振電極９１と励振電極９２とのショートを回避することができる。
なお、第１励振電極のうち、各土手の側面に形成されている部分が第１側面電極として機能し、土手の主面に形成されている部分が第１主面電極として機能する。また第２励振電極のうち、各土手の側面に形成されている部分が第２側面電極として機能し、土手の主面に形成されている部分が第２主面電極として機能する。 Two different systems of excitation electrodes 91 and 92 functioning as a first excitation electrode and a second excitation electrode are formed in the side surface and main surface forming the outer peripheral surface of the vibrating arm portion 7 and in the groove portion 72 .
According to the present embodiment and each modified example, each of the four main surfaces (two main surfaces of the outer bank portion 73 and two main surfaces of the inner bank portion 74) formed in the vibrating arm portion 7 One of the excitation electrodes 91 and 92 extends from the side surface to the main surface, and the other of the excitation electrodes 91 and 92 is formed to a position on the side surface lower than the main surface. ing.
As a result, short-circuiting between the excitation electrodes 91 and 92 can be avoided at the main surface portion of the embankment where the conductive foreign matter S mainly flies.
Of the first excitation electrodes, the portions formed on the side surfaces of each bank function as first side electrodes, and the portions formed on the main surfaces of the banks function as first main surface electrodes. Further, of the second excitation electrodes, the portions formed on the side surfaces of each bank function as second side surface electrodes, and the portions formed on the main surfaces of the banks function as second main surface electrodes.

（２）実施形態の詳細
図１は、実施形態に係る圧電振動片６の構成と断面を表した図である。
圧電振動片６は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された、いわゆる音叉形の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。本実施形態では、圧電材料として水晶を使用して形成した圧電振動片を例に説明する。 (2) Details of Embodiment FIG. 1 is a view showing the configuration and cross section of a piezoelectric vibrating piece 6 according to an embodiment.
The piezoelectric vibrating piece 6 is a so-called tuning fork-shaped vibrating piece made of a piezoelectric material such as crystal, lithium tantalate, or lithium niobate, and vibrates when a predetermined voltage is applied. In the present embodiment, a piezoelectric vibrating piece formed using crystal as a piezoelectric material will be described as an example.

図１（ａ）に示すように、圧電振動片６は、一対の振動腕部７ａ、７ｂと、基部８と、一対の支持腕部９ａ、９ｂを備えている。
以下、振動腕部７ａ、７ｂの長さ方向（図１の左右方向）を長手方向、振動腕部７ａ、７ｂが対向する方向（図１（ａ）の上下方向）を短手方向、圧電振動片６の厚さの方向（図１（ｂ）の上下方向）を厚さ方向という。
また、本実施形態及び変形例の圧電振動片６や後述する圧電振動子１は左右対称な構造となっているため、振動腕部７ａと振動腕部７ｂというように、対称配置された両部分を同一の数字で表すと共に、両部分を区別するため、一方に区別符合ａ、Ａ、他方に区別符合ｂ、Ｂを付して説明する。ただし、区別符号を適宜省略して説明した場合には、両部分を指しているものとする。 As shown in FIG. 1A, the piezoelectric vibrating piece 6 includes a pair of vibrating arms 7a and 7b, a base 8, and a pair of supporting arms 9a and 9b.
Hereinafter, the length direction of the vibrating arms 7a and 7b (horizontal direction in FIG. 1) is the longitudinal direction, and the direction in which the vibrating arms 7a and 7b face each other (vertical direction in FIG. 1A) is the lateral direction. The thickness direction of the piece 6 (the vertical direction in FIG. 1(b)) is referred to as the thickness direction.
In addition, since the piezoelectric vibrating piece 6 of the present embodiment and modified examples and the piezoelectric vibrator 1 described later have a bilaterally symmetrical structure, the vibrating arms 7a and 7b are symmetrically arranged. are denoted by the same numerals, and in order to distinguish between the two parts, one is given identification marks a and A, and the other is given identification marks b and B. However, when the description is given by appropriately omitting the distinguishing symbols, it is assumed that both parts are indicated.

基部８は、一対の振動腕部７ａ、７ｂにおける長手方向の一方の端部同士を連結している。
基部８には、短手方向を向く両端面から外側に延びる連結部８１ａ、８１ｂが連結され、この連結部８１ａ、８１ｂには、長手方向に延びる支持腕部９ａ、９ｂが連結されている。一対の支持腕部９ａ、９ｂは、短手方向において、振動腕部７ａ、７ｂの両外側に配置されている。 The base portion 8 connects the pair of vibrating arm portions 7a and 7b at one ends in the longitudinal direction.
Connecting portions 81a and 81b are connected to the base portion 8 and extend outward from both end surfaces facing in the lateral direction, and support arms 9a and 9b extending in the longitudinal direction are connected to the connecting portions 81a and 81b. The pair of support arms 9a and 9b are arranged on both sides of the vibrating arms 7a and 7b in the lateral direction.

一対の振動腕部７ａ、７ｂは、互いに平行となるように配置されており、基部８側の端部を固定端とし、先端が自由端として振動する。
一対の振動腕部７ａ、７ｂは、その全長のほぼ中央部分の幅を基準幅とした場合、この基準幅よりも両側に広くなるように形成された拡幅部７１ａ、７１ｂを備えている。この拡幅部７１ａ、７１ｂは、振動腕部７ａ、７ｂの重量及び振動時の慣性モーメントを増大する機能を有している。これにより、振動腕部７ａ、７ｂは振動し易くなり、振動腕部７ａ、７ｂの長さを短くすることができ、小型化が図られている。
なお、本実施形態の圧電振動片６は、振動腕部７ａ、７ｂに拡幅部７１ａ、７１ｂが形成されているが、拡幅部のない圧電振動片を使用してもよい。 The pair of vibrating arms 7a and 7b are arranged parallel to each other, and vibrate with the end on the side of the base 8 as a fixed end and the tip as a free end.
The pair of vibrating arm portions 7a and 7b are provided with widened portions 71a and 71b formed so as to be wider on both sides than the reference width, when the width of the central portion of the entire length is taken as a reference width. The widened portions 71a and 71b have the function of increasing the weight of the vibrating arms 7a and 7b and the moment of inertia during vibration. As a result, the vibrating arms 7a and 7b are easily vibrated, the length of the vibrating arms 7a and 7b can be shortened, and miniaturization is achieved.
Although the piezoelectric vibrating piece 6 of this embodiment has the widened portions 71a and 71b formed in the vibrating arm portions 7a and 7b, a piezoelectric vibrating piece without the widened portions may be used.

また、本実施形態の圧電振動片６では、図示しないが、振動腕部７ａ、７ｂの先端部（拡幅部７１ａ、７１ｂ）に、所定周波数の範囲内で振動するように調整（周波数調整）するための重り金属膜（粗調膜及び微調膜からなる）が形成されている。この重り金属膜を、例えばレーザ光を照射して適量だけ取り除くことで、周波数調整を行い、一対の振動腕部７ａ、７ｂの周波数をデバイスの公称周波数の範囲内に収めることができるようになっている。この重り金属膜についても、拡幅部と同様に形成しないことも可能である。 Further, in the piezoelectric vibrating piece 6 of the present embodiment, although not shown, the tip portions (widened portions 71a and 71b) of the vibrating arm portions 7a and 7b are adjusted (frequency adjusted) so as to vibrate within a predetermined frequency range. A weight metal film (consisting of a coarse adjustment film and a fine adjustment film) is formed for the purpose. By removing an appropriate amount of this weight metal film, for example, by irradiating it with a laser beam, the frequency is adjusted so that the frequencies of the pair of vibrating arms 7a and 7b can be kept within the range of the nominal frequency of the device. ing. This weight metal film can also be omitted in the same manner as the widened portion.

図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すＶ－Ｖ線に沿った断面を矢印の方向に見た振動腕部７ａ、７ｂの断面図である。
図１（ｂ）に示すように、一対の振動腕部７ａ、７ｂには、一定幅の溝部７２ａ、７２ｂが形成されている。
溝部７２ａ、７２ｂは、一対の振動腕部７ａ、７ｂの両主面（表裏面）上において、厚さ方向に凹むとともに、基部８側から長手方向に沿って延在している。溝部７２ａ、７２ｂは、振動腕部７ａ、７ｂの基端（基部８の先端側の端部）から、拡幅部７１ａ、７１ｂの手前までに形成されている。
溝部７２ａ、７２ｂにより、一対の振動腕部７ａ、７ｂは、それぞれ図１（ｂ）に示すように断面Ｈ型となっている。 FIG. 1(b) is a cross-sectional view of the vibrating arms 7a and 7b taken along the line VV shown in FIG. 1(a) and viewed in the direction of the arrow.
As shown in FIG. 1B, grooves 72a and 72b having a constant width are formed in the pair of vibrating arms 7a and 7b.
The grooves 72a and 72b are recessed in the thickness direction and extend along the longitudinal direction from the base 8 side on both main surfaces (front and rear surfaces) of the pair of vibrating arms 7a and 7b. The grooves 72a and 72b are formed from the base ends of the vibrating arms 7a and 7b (ends on the tip side of the base portion 8) to before the widened portions 71a and 71b.
Due to the grooves 72a and 72b, the pair of vibrating arms 7a and 7b have an H-shaped cross section as shown in FIG. 1(b).

そして、振動腕部７ａ、７ｂの主面には、溝部７２ａ、７２ｂが形成されることで、振動腕部７ａ、７ｂの短手方向外側の側面と、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向外側の側面との間に外側土手部７３ａ、７３ｂが形成されている。
また、振動腕部７ａ、７ｂの短手方向内側の側面（振動腕部７ａ、７ｂの互いに対応する側の面）と、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向内側の側面との間に内側土手部７４ａ、７４ｂが形成されている。 Grooves 72a and 72b are formed on the main surfaces of the vibrating arms 7a and 7b, so that the outer side surfaces of the vibrating arms 7a and 7b and the outer sides of the grooves 72a and 72b. Outer bank portions 73a and 73b are formed between the side surfaces.
In addition, an inner bank portion is provided between the laterally inner side surfaces of the vibrating arms 7a and 7b (surfaces of the vibrating arms 7a and 7b facing each other) and the laterally inner side surfaces of the grooves 72a and 72b. 74a and 74b are formed.

図１（ｂ）に示すように、一対の振動腕部７ａ、７ｂの外表面上（外周面）には、一対の（２系統の）励振電極９１、９２（第１励振電極、第２励振電極）が形成されている。この励振電極９１、９２は、電圧が印加されたときに一対の振動腕部７ａ、７ｂを互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、電気的に切り離された状態で振動腕部７ａ、７ｂ上にパターニングされて形成されている。
具体的には、一方の励振電極９１が、主に一方の振動腕部７ａの溝部７２ａ内と、他方の振動腕部７ｂの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。
また、他方の励振電極９２が、主に他方の振動腕部７ｂの溝部７２ｂ内と、一方の振動腕部７ａの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。 As shown in FIG. 1B, on the outer surface (peripheral surface) of the pair of vibrating arm portions 7a and 7b, a pair (two systems) of excitation electrodes 91 and 92 (a first excitation electrode and a second excitation electrode) are provided. electrodes) are formed. The excitation electrodes 91 and 92 are electrodes for vibrating the pair of vibrating arm portions 7a and 7b in directions toward or away from each other at a predetermined resonance frequency when a voltage is applied. They are patterned and formed on the vibrating arms 7a and 7b.
Specifically, one excitation electrode 91 is formed mainly in the groove portion 72a of one vibrating arm portion 7a and on the side surface of the other vibrating arm portion 7b in a state of being electrically connected to each other. .
The other excitation electrode 92 is formed mainly in the groove 72b of the other vibrating arm 7b and on the side surface of the one vibrating arm 7a so as to be electrically connected to each other.

本実施形態では、振動腕部７ａ、７ｂの外側と内側の両側面に形成された側の励振電極は、外側土手部７３ａ、７３ｂと内側土手部７４ａ、７４ｂの主面まで延設されている。
一方、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向の両側面に形成された側の励振電極は、振動腕部７ａ、７ｂの主面よりも低い位置まで形成されていて、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面まで延設されていない。
具体的には、図１（ｂ）に示されるように、振動腕部７ａでは、その両側面に形成された励振電極９２が外側土手部７３ａと内側土手部７４ａの主面まで延設され、溝部７２ａの短手方向の側面に形成された励振電極９１が主面よりも低い位置（主面よりも底面側の位置）まで形成されている。
また振動腕部７ｂでは、その両側面に形成された励振電極９１が外側土手部７３ｂと内側土手部７４ｂの主面まで延設され、溝部７２ｂの短手方向の側面に形成された励振電極９２が主面よりも低い位置（主面よりも底面側の位置）まで形成されている。 In this embodiment, the excitation electrodes formed on both the outer and inner side surfaces of the vibrating arm portions 7a and 7b extend to the main surfaces of the outer bank portions 73a and 73b and the inner bank portions 74a and 74b. .
On the other hand, the excitation electrodes formed on both lateral side surfaces of the grooves 72a and 72b are formed to a position lower than the main surfaces of the vibrating arms 7a and 7b, and the bank portions 73a, 73b and 74a , 74b.
Specifically, as shown in FIG. 1B, the excitation electrodes 92 formed on both side surfaces of the vibrating arm portion 7a extend to the main surfaces of the outer bank portion 73a and the inner bank portion 74a. The excitation electrodes 91 formed on the lateral side surfaces of the groove portion 72a are formed to a position lower than the main surface (a position closer to the bottom surface than the main surface).
In the vibrating arm portion 7b, excitation electrodes 91 formed on both side surfaces thereof extend to the main surfaces of the outer bank portion 73b and the inner bank portion 74b, and excitation electrodes 92 are formed on the lateral side surfaces of the groove portion 72b. is formed to a position lower than the main surface (position closer to the bottom than the main surface).

圧電振動片６の一方の主面側の面（図１（ａ）の反対側の面）には、点線で示すように、支持腕部９ａ、９ｂに２系統のマウント電極９９ａ、９９ｂが形成されている。このマウント電極９９ａ、９９ｂは、図５で後述するように、パッケージに形成された実装部１４Ａ、１４Ｂに圧電振動片６をマウントする際に、電極パッド２０Ａ、２０Ｂと導電性接着剤５１ａ、ｂ、５２ａ、ｂで接続される。
両マウント電極９９ａ、９９ｂと電気的に接続した２系統の引回し電極（図示しない）が連結部８１ａ、８１ｂと基部８に形成されている。
そして、支持腕部９ａに形成された第１系統のマウント電極９９ａが引回し電極を介して励振電極９２（図１（ｂ）参照）と接続され、支持腕部９ｂに形成された第２系統のマウント電極９９ｂが引回し電極を介して励振電極９１と接続されている。
２系統の励振電極９１、９２は、一対のマウント電極９９ａ、９９ｂを介して電圧が印加されるようになっている。 On one main surface of the piezoelectric vibrating piece 6 (the opposite surface in FIG. 1(a)), two systems of mount electrodes 99a and 99b are formed on the support arms 9a and 9b, as indicated by dotted lines. It is As will be described later with reference to FIG. 5, the mount electrodes 99a and 99b are used to mount the piezoelectric vibrating reed 6 on the mounting portions 14A and 14B formed in the package. , 52a,b.
Two systems of lead-out electrodes (not shown) electrically connected to both mount electrodes 99a and 99b are formed on the connecting portions 81a and 81b and the base portion 8. As shown in FIG.
A first-system mount electrode 99a formed on the support arm portion 9a is connected to the excitation electrode 92 (see FIG. 1(b)) through a lead-out electrode, and a second-system mount electrode 99a formed on the support arm portion 9b. is connected to the excitation electrode 91 via the lead-out electrode.
A voltage is applied to the two systems of excitation electrodes 91 and 92 via a pair of mount electrodes 99a and 99b.

なお、励振電極９１、９２、マウント電極９９ａ、９９ｂ、及び引回し電極は、例えば、クロム（Ｃｒ）と金（Ａｕ）との積層膜であり、水晶と密着性の良いクロム膜を下地として成膜した後に、表面に金の薄膜を施したものである。但し、この場合に限られず、例えば、クロムとニクロム（ＮｉＣｒ）の積層膜の表面にさらに金の薄膜を積層しても構わないし、クロム、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）やチタン（Ｔｉ）等の単層膜でも構わない。 The excitation electrodes 91 and 92, the mount electrodes 99a and 99b, and the routing electrodes are, for example, laminated films of chromium (Cr) and gold (Au), and are formed with a chromium film having good adhesion to crystal as a base. After filming, a gold thin film is applied to the surface. However, it is not limited to this case, and for example, a gold thin film may be further laminated on the surface of the laminated film of chromium and nichrome (NiCr), or chromium, nickel (Ni), aluminum (Al), or titanium (Ti) A single layer film such as

これら励振電極９１、９２、マウント電極９９ａ、９９ｂ、及び、引回し電極の形成は従来と同様にして行われる。すなわち、各電極を形成する前の圧電振動片６の、溝部７２ａ、７２ｂ内を含めた全体に電極材料を成膜する。この成膜は、電極材料の蒸着やスパッタリングによる。
そして、励振電極９１、９２、マウント電極９９ａ、９９ｂ、引回し電極を形成する部分を残し、それ以外の部分をフォトリソグラフにより取り除くことで、２系統の電極ラインが形成される。 These excitation electrodes 91 and 92, mount electrodes 99a and 99b, and routing electrodes are formed in the same manner as conventionally. That is, an electrode material film is formed on the entirety of the piezoelectric vibrating piece 6 before forming the electrodes, including the insides of the grooves 72a and 72b. This film formation is performed by vapor deposition or sputtering of an electrode material.
Two electrode lines are formed by removing portions other than the excitation electrodes 91, 92, mount electrodes 99a, 99b, and routing electrodes by photolithography.

以上説明したように、本実施形態の圧電振動片６によれば、図１（ｂ）に示すように、２系統の励振電極９１、９２のうち、振動腕部７ａ、７ｂの側面に形成された側の励振電極が、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面上にまで延出して形成され、他方側の励振電極は、溝部７２ａ、７２ｂの側面の途中まで形成されている。
すなわち、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂには、励振電極９１、９２のうちの何れか一方だけが形成されている。
このため、図１（ｃ）に示すように、振動腕部７ａ、７ｂの主面上に導電性の異物Ｓが付着したとしても、溝部７２ａ、７２ｂの側面側の励振電極は主面よりも低い位置までしか形成されていないので、励振電極９１と励振電極９２とのショートを回避することができる。
また、本実施形態の圧電振動片６によれば、振動腕部７ａ、７ｂの側面に形成された側の励振電極が、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面上にまで延出して形成されることで、励振電極９１、９２を土手部の主面に形成しない場合（例えば、特許文献１）に比べて、主面上の延出分だけ電極面積を確保でき、その結果電界効率を上げることができる。 As described above, according to the piezoelectric vibrating piece 6 of this embodiment, as shown in FIG. The excitation electrode on the other side is formed to extend onto the main surfaces of both bank portions 73a, 73b, 74a and 74b, and the excitation electrode on the other side is formed halfway along the side surfaces of the groove portions 72a and 72b.
That is, only one of the excitation electrodes 91 and 92 is formed on both bank portions 73a, 73b, 74a, and 74b.
Therefore, as shown in FIG. 1(c), even if a conductive foreign matter S adheres to the main surfaces of the vibrating arms 7a and 7b, the excitation electrodes on the side surfaces of the grooves 72a and 72b are more likely than the main surfaces. Since it is formed only to a low position, short-circuiting between the excitation electrodes 91 and 92 can be avoided.
Further, according to the piezoelectric vibrating piece 6 of the present embodiment, the excitation electrodes formed on the side surfaces of the vibrating arm portions 7a and 7b extend onto the main surfaces of the bank portions 73a, 73b, 74a and 74b. Compared to the case where the excitation electrodes 91 and 92 are not formed on the main surface of the embankment (for example, Patent Document 1), the electrode area can be secured by the extension on the main surface, and as a result, the electric field Efficiency can be improved.

なお、説明した実施形態では、外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの各主面に延出している励振電極９１又は励振電極９２の長さは、各土手部の短手方向の幅をＬとした場合に、Ｌ／２よりも短く形成しているが、Ｌ／２よりも広く形成するようにしてもよい。例えば、各主面の延出長さとしてＬ／２や、２Ｌ／３、３Ｌ／４の長さとしてもよい。
主面部にまで延出する励振電極９１又は励振電極９２の長さを長くすることで、異物Ｓによるショートを回避しつつ、より電界効率を上げることができる。
なお、励振電極９１又は励振電極９２の長さをＬ／２よりも長くすることについては、後述する各変形例において、各土手部の主面に励振電極９１と励振電極９２の何れか一方だけを延出させる場合に適用可能である。 In the described embodiment, the length of the excitation electrode 91 or the excitation electrode 92 extending from each main surface of the outer bank portions 73a, 73b and the inner bank portions 74a, 74b is the width of each bank portion. When the width is L, it is formed shorter than L/2, but it may be formed wider than L/2. For example, the extension length of each main surface may be L/2, 2L/3, or 3L/4.
By increasing the length of the excitation electrode 91 or the excitation electrode 92 extending to the main surface portion, it is possible to avoid a short circuit due to the foreign matter S and further increase the electric field efficiency.
As for making the length of the excitation electrode 91 or the excitation electrode 92 longer than L/2, only one of the excitation electrode 91 and the excitation electrode 92 is formed on the main surface of each embankment in each modification described later. It is applicable when extending the

次に、圧電振動片６の変形例について図２～４を参照して説明する。
図２は圧電振動片６の変形例の構成を表した断面図である。
図２に示した変形例の圧電振動片６では、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面に形成する励振電極９１、９２が異なる点を除き、他は実施形態と同じである。
図２（ａ）に示した第１変形例では、図１（ｂ）で説明した実施形態と逆に、２系統の励振電極９１、９２のうち、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向の側面に形成された側の励振電極が、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面上にまで延出して形成され、他方側の励振電極は、振動腕部７ａ、７ｂの側面の途中まで形成されている。
具体的には、振動腕部７ａでは、溝部７２ａの短手方向の側面に形成された励振電極９１が外側土手部７３ａと内側土手部７４ａの主面まで延設され、振動腕部７ａの両側面に形成された励振電極９２が主面よりも低い位置まで形成されている。
また、振動腕部７ｂでは、溝部７２ｂの短手方向の側面に形成された励振電極９２が外側土手部７３ｂと内側土手部７４ｂの主面まで延設され、振動腕部７ｂの両側面に形成された励振電極９１が主面よりも低い位置まで形成されている。
この第２変形例においても、振動腕部７ａ、７ｂの主面上に導電性の異物Ｓが付着したとしても、振動腕部７ａ、７ｂの両側面側の励振電極が主面よりも低い位置までしか形成されていないので、励振電極９１と励振電極９２とのショートを回避することができる。
また、主面上の延出分だけ電極面積を確保できるため、電界効率を上げることができる。 Next, modified examples of the piezoelectric vibrating piece 6 will be described with reference to FIGS.
FIG. 2 is a sectional view showing a configuration of a modification of the piezoelectric vibrating piece 6. As shown in FIG.
The piezoelectric vibrating piece 6 of the modified example shown in FIG. 2 is the same as the embodiment except that the excitation electrodes 91 and 92 formed on the main surfaces of both bank portions 73a, 73b, 74a and 74b are different.
In the first modification shown in FIG. 2A, opposite to the embodiment described in FIG. The excitation electrodes on the formed side are formed to extend onto the main surfaces of both bank portions 73a, 73b, 74a, and 74b, and the excitation electrodes on the other side are formed halfway along the side surfaces of the vibrating arm portions 7a and 7b. It is
Specifically, in the vibrating arm portion 7a, the excitation electrodes 91 formed on the lateral side surfaces of the groove portion 72a extend to the main surfaces of the outer bank portion 73a and the inner bank portion 74a. An excitation electrode 92 formed on the surface is formed to a position lower than the main surface.
In the vibrating arm portion 7b, the excitation electrodes 92 formed on the lateral side surfaces of the groove portion 72b extend to the main surfaces of the outer bank portion 73b and the inner bank portion 74b, and are formed on both side surfaces of the vibrating arm portion 7b. The excitation electrode 91 is formed to a position lower than the main surface.
In the second modification, even if the conductive foreign matter S adheres to the main surfaces of the vibrating arms 7a and 7b, the excitation electrodes on both side surfaces of the vibrating arms 7a and 7b are located at positions lower than the main surfaces. Since the electrodes 91 and 92 are formed only up to , short circuit between the excitation electrode 91 and the excitation electrode 92 can be avoided.
In addition, since the electrode area can be secured by the extension on the main surface, the electric field efficiency can be increased.

実施形態と第１変形例は、振動腕部７ａ、７ｂにおける外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの各主面には、励振電極９１、９２のうちの何れか一方だけを形成することで、導電性の異物Ｓによるショートを回避するものである。
しかし、ショートの原因である導電性の異物Ｓは、上述したように、圧電振動片６をパッケージ内にマウントする際の導電性接着剤や、パッケージと蓋体を接着する際の銀ロウ等のスプラッシュが原因である。
そして、いずれの場合の異物Ｓも、圧電振動片６の短手方向外側から飛来するものであるため、異物Ｓによる励振電極９１、９２のショートは、主として外側土手部７３ａ、７３ｂに生じている。 In the embodiment and the first modification, only one of the excitation electrodes 91 and 92 is formed on each main surface of the outer bank portions 73a and 73b and the inner bank portions 74a and 74b of the vibrating arms 7a and 7b. By doing so, a short circuit due to the conductive foreign matter S is avoided.
However, as described above, the conductive foreign matter S, which causes the short circuit, is the conductive adhesive used when mounting the piezoelectric vibrating piece 6 in the package, silver solder used when bonding the package and the lid, and the like. Caused by splash.
In either case, the foreign matter S comes flying from the outer side of the piezoelectric vibrating piece 6 in the width direction, so short-circuiting of the excitation electrodes 91 and 92 due to the foreign matter S occurs mainly in the outer bank portions 73a and 73b. .

そこで、図２（ｂ）（ｃ）に示した第２、第３変形例では、外側土手部７３ａ、７３ｂの各主面にだけ励振電極９１、９２のうちの何れか一方を形成し、内側土手部７４ａ、７４ｂでは、励振電極９１、９２の両者を主面まで延出させている。
これにより、導電性異物Ｓによる励振電極９１、９２のショートを有効に回避しつつ、励振に寄与する励振電極の面積をより大きく確保することができる。 Therefore, in the second and third modifications shown in FIGS. 2B and 2C, one of the excitation electrodes 91 and 92 is formed only on each main surface of the outer bank portions 73a and 73b. Both of the excitation electrodes 91 and 92 extend to the main surface of the bank portions 74a and 74b.
As a result, it is possible to effectively avoid short-circuiting of the excitation electrodes 91 and 92 due to the conductive foreign matter S, and secure a larger area of the excitation electrodes that contribute to excitation.

すなわち、図２（ｂ）に示した第２変形例では、振動腕部７ａの外側土手部７３ａには、溝部７２ａに形成された励振電極９１が主面に延設され、振動腕部７ａの外側面の励振電極９２は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの外側土手部７３ｂには、溝部７２ｂに形成された励振電極９２が主面に延設され、振動腕部７ｂの外側面の励振電極９１は主面より低く形成されている。
一方、振動腕部７ａ、７ｂの内側土手部７４ａ、７４ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。 That is, in the second modification shown in FIG. 2B, the excitation electrodes 91 formed in the grooves 72a extend on the main surface of the outer bank portion 73a of the vibrating arm portion 7a. The excitation electrodes 92 on the outer surface are formed lower than the main surface.
The excitation electrodes 92 formed in the grooves 72b extend to the main surface of the outer bank portions 73b of the vibrating arms 7b, and the excitation electrodes 91 on the outer surfaces of the vibrating arms 7b are formed lower than the main surface.
On the other hand, both excitation electrodes 91 and 92 extend to the main surfaces of the inner bank portions 74a and 74b of the vibrating arms 7a and 7b.

図２（ｃ）に示した第３変形例では、振動腕部７ａの外側土手部７３ａには、振動腕部７ａの外側面の励振電極９２が主面まで延設され、溝部７２ａの外側土手部７３ａ側に形成された励振電極９１は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの外側土手部７３ｂには、振動腕部７ｂの外側面の励振電極９１が主面まで延設され、溝部７２ｂの外側土手部７３ｂ側に形成された励振電極９２は主面より低く形成されている。
一方、振動腕部７ａ、７ｂの内側土手部７４ａ、７４ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。 In the third modification shown in FIG. 2C, the excitation electrode 92 on the outer surface of the vibrating arm portion 7a extends to the main surface of the outer bank portion 73a of the vibrating arm portion 7a. The excitation electrode 91 formed on the portion 73a side is formed lower than the main surface.
An excitation electrode 91 on the outer side surface of the vibrating arm portion 7b extends to the main surface of the outer bank portion 73b of the vibrating arm portion 7b. formed low.
On the other hand, both excitation electrodes 91 and 92 extend to the main surfaces of the inner bank portions 74a and 74b of the vibrating arms 7a and 7b.

図３は、圧電振動片６の他の変形例を表した断面図である。
実施形態や第１～第３変形例で説明した圧電振動片６は、いずれも振動腕部７ａ、７ｂの両外側にマウント用の支持腕部９ａ、９ｂが形成された、いわゆるサイドアーム型の例である。
これに対して図３（ａ）に示した第４変形例、同（ｂ）の第５変形例は、両振動腕部７ａ、７ｂの間に１本の支持腕部９ｃが配設されている、いわゆるセンターアーム型の例である。
第４、第５変形例の圧電振動片６は、この支持腕部９ｃにより圧電振動子のパッケージにマウントされる。そして、１本の支持腕部９ｃに、２系統のマウント電極９９ａ、９９ｂ（図示しない）が、図面下側の主面に形成されている。 FIG. 3 is a cross-sectional view showing another modification of the piezoelectric vibrating piece 6. As shown in FIG.
The piezoelectric vibrating piece 6 described in the embodiment and the first to third modifications is a so-called side arm type in which support arms 9a and 9b for mounting are formed on both outer sides of the vibrating arms 7a and 7b. For example.
On the other hand, in the fourth modification shown in FIG. 3A and the fifth modification shown in FIG. This is an example of a so-called center arm type.
The piezoelectric vibrating piece 6 of the fourth and fifth modifications is mounted on the package of the piezoelectric vibrator by the support arm portion 9c. Two systems of mount electrodes 99a and 99b (not shown) are formed on one supporting arm portion 9c on the lower main surface of the drawing.

図３に示した第４、第５変形例では、中央の支持腕部９ｃ側に近い側の内側土手部７４ａ、７４ｂの各主面にだけ励振電極９１、９２のうちの何れか一方を形成し、外側土手部７３ａ、７３ｂでは、励振電極９１、９２の両者を主面まで延出させている。
図３（ａ）に示した第４変形例では、振動腕部７ａの内側土手部７４ａに、溝部７２ａに形成された励振電極９１が主面に延設され、振動腕部７ａの内側（支持腕部９ｃ側）面の励振電極９２は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの内側土手部７４ｂには、溝部７２ｂに形成された励振電極９２が主面に延設され、振動腕部７ｂの内側（支持腕部９ｃ側）面の励振電極９１は主面より低く形成されている。
一方、振動腕部７ａ、７ｂの外側土手部７３ａ、７３ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。 In the fourth and fifth modifications shown in FIG. 3, either one of the excitation electrodes 91 and 92 is formed only on each main surface of the inner bank portions 74a and 74b on the side closer to the central support arm portion 9c. However, in the outer bank portions 73a and 73b, both of the excitation electrodes 91 and 92 are extended to the main surface.
In the fourth modification shown in FIG. 3(a), the excitation electrode 91 formed in the groove 72a extends from the inner bank portion 74a of the vibrating arm portion 7a to the main surface. The excitation electrode 92 on the side of the arm 9c is formed lower than the main surface.
An excitation electrode 92 formed in the groove portion 72b extends on the main surface of the inner bank portion 74b of the vibrating arm portion 7b. formed lower.
On the other hand, both excitation electrodes 91 and 92 extend to the main surfaces of the outer bank portions 73a and 73b of the vibrating arms 7a and 7b.

図３（ｂ）に示した第５変形例では、振動腕部７ａの内側（支持腕部９ｃ側）面の励振電極９２が主面まで延設され、溝部７２ａの内側土手部７４ａ側に形成された励振電極９１は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの内側土手部７４ｂには、振動腕部７ｂの内側（支持腕部９ｃ側）面の励振電極９１が主面まで延設され、溝部７２ｂの内側土手部７４ｂ側に形成された励振電極９２は主面より低く形成されている。
一方、振動腕部７ａ、７ｂの外側土手部７３ａ、７３ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。 In the fifth modification shown in FIG. 3B, the excitation electrode 92 on the inner side (supporting arm portion 9c side) of the vibrating arm portion 7a extends to the main surface and is formed on the inner bank portion 74a side of the groove portion 72a. The excited excitation electrode 91 is formed lower than the main surface.
The excitation electrode 91 on the inner bank portion 74b of the vibrating arm portion 7b extends to the main surface of the inner bank portion 74b of the vibrating arm portion 7b (on the support arm portion 9c side), and is formed on the inner bank portion 74b side of the groove portion 72b. The excitation electrode 92 is formed lower than the main surface.
On the other hand, both excitation electrodes 91 and 92 extend to the main surfaces of the outer bank portions 73a and 73b of the vibrating arms 7a and 7b.

なお、図３に示したセンターアーム型の圧電振動片６では、導電性の異物Ｓの主原因が、支持腕部９ｃで圧電振動片６をマウントする際の導電性接着剤であり、パッケージに蓋体を接着する際のスプラッシュによる異物Ｓではない場合の例である。
マウントによる導電性接着剤と、接着によるスプラッシュの両者が異物Ｓとなる場合には、実施形態や第１変形例（図１（ｂ）、図２（ａ）参照）と同様に、外側土手部７３ａ、７３ｂと内側土手部７４ａ、７４ｂ共に、励振電極９１、９２の何れか一方のみを主面まで延設することができる。 In the center arm type piezoelectric vibrating piece 6 shown in FIG. 3, the main cause of the conductive foreign matter S is the conductive adhesive used when the piezoelectric vibrating piece 6 is mounted on the support arms 9c. This is an example of a case where the foreign matter S is not caused by the splash when the cover is adhered.
In the case where both the conductive adhesive from the mount and the splash from the adhesion are the foreign matter S, the outer bank portion Either one of the excitation electrodes 91 and 92 can be extended to the main surface of both the 73a and 73b and the inner bank portions 74a and 74b.

逆に、センターアーム型の圧電振動片６において、導電性の異物Ｓの主原因が、支持腕部９ｃで圧電振動片６をマウントする際の導電性接着剤ではなく、パッケージに蓋体を接着する際のスプラッシュによる異物Ｓである場合には、図２（ｂ）、（ｃ）で示した第２、第３変形例と同様に、外側土手部７３ａ、７３ｂに対して励振電極９１、９２の何れか一方のみを主面まで延設することができる。
この場合、内側土手部７４ａ、７４ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設される。 Conversely, in the center arm type piezoelectric vibrating piece 6, the main cause of the conductive foreign matter S is not the conductive adhesive used when mounting the piezoelectric vibrating piece 6 on the support arm portion 9c, but the lid adhered to the package. In the case where the foreign matter S is caused by the splash when driving, similar to the second and third modifications shown in FIGS. can extend to the main surface.
In this case, both the excitation electrodes 91 and 92 of the inner bank portions 74a and 74b extend to the main surface.

次に、更に別の変形例について説明する。
圧電振動片６では、主面が２つ存在している。すなわち、振動腕部７ａ、７ｂの外側土手部７３ａ、７３ｂと内側土手部７４ａ、７４ｂに対して、図１（ｂ）、図２、図３に示した圧電振動片６では、図面上側の主面と下側の主面が存在する。
説明した実施形態と第１～第５変形例の圧電振動片６では、外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面とも、励振電極９１、９２の延設状態が同じである。
例えば、図２（ｂ）に示した第２変形例では、外側土手部７３ａ、７３ｂ共に、両主面まで励振電極９１、９２の一方が延設され、他方が主面よりも低く形成されている。また、内側土手部７４ａ、７４ｂ共に、両主面まで励振電極９１、９２の両方が延設されている。 Next, still another modified example will be described.
The piezoelectric vibrating piece 6 has two main surfaces. That is, in the piezoelectric vibrating reed 6 shown in FIGS. There is a face and a lower major face.
In the piezoelectric vibrating reed 6 of the embodiment described and the first to fifth modified examples, the extending state of the excitation electrodes 91 and 92 is the same on both main surfaces of the outer bank portions 73a and 73b and the inner bank portions 74a and 74b. be.
For example, in the second modification shown in FIG. 2B, one of the excitation electrodes 91 and 92 extends to both main surfaces of both the outer bank portions 73a and 73b, and the other is formed lower than the main surface. there is Further, both of the excitation electrodes 91 and 92 extend to both main surfaces of the inner bank portions 74a and 74b.

これに対して、次に説明する変形例では、励振電極９１、９２のうちの一方だけが主面まで延設されるのは、圧電振動片６の両主面のうちの一方側の主面だけであり、他方側の主面では両励振電極９１、９２が主面まで延設される。
ここで、「一方側の主面」とは、導電性異物Ｓの原因になる導電性接着剤（マウント部）とスプラッシュを生じる部分（蓋の接続部）に近い側の主面が該当する。
そして、両主面のうち、一方の主面がマウント部に近く、他方の主面が蓋の接続部に近い場合、いずれか導電性の異物Ｓの主原因となっている側だけを対象とする。但し、両者が導電性異物Ｓの主原因となっている場合には、実施形態又は第１～第５変形例による。
なお、圧電振動片６の支持腕部９ａ、９ｂは振動腕部７ａ、７ｂとほぼ同じ厚さに形成されるため、支持腕部９ａ、９ｂにマウント電極９９ａ、９９ｂが形成される側の面が「一方側の主面」となる。 On the other hand, in the modification described below, only one of the excitation electrodes 91 and 92 is extended to the principal surface of the piezoelectric vibrating reed 6 on one of the principal surfaces. , and both excitation electrodes 91 and 92 extend to the main surface on the other side.
Here, the “main surface on one side” corresponds to the main surface on the side closer to the conductive adhesive (mount portion) that causes the conductive foreign matter S and the portion (connecting portion of the lid) that causes the splash.
If one of the main surfaces is close to the mount portion and the other is close to the connection portion of the lid, only the side that is the main cause of the conductive foreign matter S is targeted. do. However, when both of them are the main causes of the conductive foreign matter S, the embodiment or the first to fifth modifications are applied.
Since the supporting arm portions 9a and 9b of the piezoelectric vibrating piece 6 are formed to have substantially the same thickness as the vibrating arm portions 7a and 7b, the surfaces of the supporting arm portions 9a and 9b on which the mount electrodes 99a and 99b are formed are is the "main surface of one side".

図４は、圧電振動片の第６、第７変形例を表した断面図である。
この第６、第７変形例は、サイドアーム型の圧電振動片６で、マウントによる導電性接着剤よりも、図面上方からのスプラッシュが主原因となる場合の例である。
図４（ａ）に示した圧電振動片６では、振動腕部７ａの外側土手部７３ａの両主面のうち、上側の主面にだけ、溝部７２ａに形成された励振電極９１が延設され、振動腕部７ａの外側面の励振電極９２は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの外側土手部７３ｂの両主面のうち、上側の主面にだけ、溝部７２ｂに形成された励振電極９２が主面に延設され、振動腕部７ｂの外側面の励振電極９１は主面より低く形成されている。
そして、外側土手部７３ａ、７３ｂの下側の主面、及び、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面は、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。 FIG. 4 is a sectional view showing sixth and seventh modifications of the piezoelectric vibrating piece.
The sixth and seventh modifications are examples in which the side-arm type piezoelectric vibrating piece 6 is mainly caused by the splash from above the drawing rather than the conductive adhesive from the mount.
In the piezoelectric vibrating piece 6 shown in FIG. 4(a), the excitation electrodes 91 formed in the grooves 72a extend only to the upper principal surface of the two principal surfaces of the outer bank portion 73a of the vibrating arm portion 7a. , the excitation electrode 92 on the outer surface of the vibrating arm portion 7a is formed lower than the main surface.
The excitation electrode 92 formed in the groove portion 72b extends only on the upper main surface of the outer bank portion 73b of the vibrating arm portion 7b, and the excitation electrode 92 on the outer side surface of the vibrating arm portion 7b extends to the upper main surface. 91 is formed lower than the main surface.
Both excitation electrodes 91 and 92 extend to the main surfaces of the lower side of the outer bank portions 73a and 73b and the main surfaces of the inner bank portions 74a and 74b.

図４（ｂ）に示した第７変形例は、第６変形例と同様に、外側土手部７３ａ、７３ｂの上側の主面にだけ、励振電極９１、９２の一方を主面まで延設し、他方を主面より低く形成した例である。
すなわち、第７変形例では、第６変形例とは逆に、振動腕部７ａ、７ｂにおける各外側面の励振電極９２、９１が外側土手部７３ａ、７３ｂの上側主面まで延設され、溝部７２ａ、７２ｂの励振電極９１、９２が主面よりも低く形成されている。
そして、外側土手部７３ａ、７３ｂの下側の主面、及び、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面は、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。 In the seventh modification shown in FIG. 4B, like the sixth modification, one of the excitation electrodes 91 and 92 is extended to the main surface only on the upper main surfaces of the outer bank portions 73a and 73b. , and the other are formed lower than the main surface.
That is, in the seventh modification, contrary to the sixth modification, the excitation electrodes 92 and 91 on the outer surfaces of the vibrating arms 7a and 7b are extended to the upper main surfaces of the outer bank portions 73a and 73b, and the groove portions The excitation electrodes 91, 92 of 72a, 72b are formed lower than the main surface.
Both excitation electrodes 91 and 92 extend to the main surfaces of the lower side of the outer bank portions 73a and 73b and the main surfaces of the inner bank portions 74a and 74b.

なお、図４に示した第６、第７変形例では、圧電振動片６の主面のうち、図面上側の主面に導電性異物Ｓが付着する場合、すなわち、主として図面上方からのスプラッシュが原因である場合を例に説明した。これに対し、上方からのスプラッシュよりも、マウント電極９９ａ、９９ｂが形成される側の主面への、マウントによる導電性接着剤が主原因になる場合には、外側土手部７３ａ、７３ｂの下側の主面にだけ、励振電極９１、９２の一方を主面まで延設し、他方を主面より低く形成する。 In addition, in the sixth and seventh modifications shown in FIG. 4, of the main surfaces of the piezoelectric vibrating piece 6, when the conductive foreign matter S adheres to the main surface on the upper side of the drawing, that is, the splash mainly from the upper side of the drawing The case where it is the cause was explained as an example. On the other hand, when the main cause is the conductive adhesive from the mount on the main surface on which the mount electrodes 99a and 99b are formed, rather than the splash from above, the bottom of the outer bank portions 73a and 73b. One of the excitation electrodes 91 and 92 is extended to the main surface only on the side main surface, and the other is formed lower than the main surface.

また、図４に示した第６、第７変形例は、サイドアーム型（図１（ａ）参照）の圧電振動片６を対象にしているが、図３で説明したセンターアーム型の圧電振動片６に対しても同様に適用することができる。
更に、基部８から延びる支持腕部９を備えていない、圧電振動片６においても、外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面のうちの何れかの主面に対して、側面から延設する励振電極を励振電極９１、９２の一方とする、実施形態、変形例を適用することができる。この場合の圧電振動片６は、基部８にマウント電極９９ａ、９９ｂが形成される。 The sixth and seventh modifications shown in FIG. 4 are intended for the side arm type (see FIG. 1(a)) piezoelectric vibrating piece 6, but the center arm type piezoelectric vibrating piece described in FIG. It can be applied to strip 6 in the same way.
Furthermore, even in the piezoelectric vibrating reed 6 that does not have the support arm portion 9 extending from the base portion 8, either of the main surfaces of the outer bank portions 73a and 73b and the inner bank portions 74a and 74b , an embodiment and a modification in which one of the excitation electrodes 91 and 92 is the excitation electrode extending from the side surface can be applied. The piezoelectric vibrating piece 6 in this case has mount electrodes 99 a and 99 b formed on the base portion 8 .

以上説明した実施形態および各変形例によれば、振動腕部７ａと振動腕部７ｂの各々に形成された、各４箇所の主面（外側土手部７３ａ、７３ｂの両主面２箇所と、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面２箇所の合計４箇所）のうちの少なくとも１箇所に対して、励振電極９１、９２のうちの一方が側面から主面まで延設され、他方が側面における主面よりも低い位置まで形成されている。
これにより、導電性異物Ｓが主として飛来する土手部の主面箇所において、励振電極９１と励振電極９２とのショートを回避することができる。 According to the embodiment and each modified example described above, the main surfaces formed in each of the vibrating arm portion 7a and the vibrating arm portion 7b are formed at four locations (both main surfaces of the outer bank portions 73a and 73b at two locations, One of the excitation electrodes 91 and 92 extends from the side surface to the main surface, and the other extends from the side surface to at least one of the four locations (two locations on both main surfaces of the inner bank portions 74a and 74b). It is formed to a position lower than the main surface.
As a result, short-circuiting between the excitation electrodes 91 and 92 can be avoided at the main surface portion of the embankment where the conductive foreign matter S mainly flies.

次に、圧電振動片６を実装した圧電振動子１について説明する。
この圧電振動子１は、図１（ａ）で説明したサイドアーム型の圧電振動片を例に説明するが、センターアーム型の圧電振動片６や、支持腕部９を有しない圧電振動片６についても、マウント部の構造とマウント箇所が異なることを除き同様である。
図５は、上述した実施形態又は変形例に係るサイドアーム型の圧電振動片６を備えた圧電振動子１の分解斜視図である。
図５に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ２と、キャビティＣ内に収容された圧電振動片６と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。
パッケージ２は、概略直方体状に形成されている。パッケージ２は、パッケージ本体３と、パッケージ本体３に対して接合されるとともに、パッケージ本体３との間にキャビティＣを形成する封口板４と、を備えている。
パッケージ本体３は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板１０および第２ベース基板１１と、第２ベース基板１１上に接合されたシールリング１２と、を備えている。 Next, the piezoelectric vibrator 1 on which the piezoelectric vibrating piece 6 is mounted will be described.
This piezoelectric vibrator 1 will be described by taking the side arm type piezoelectric vibrating piece described with reference to FIG. 1(a) as an example. are the same except that the structure of the mounting portion and the mounting location are different.
FIG. 5 is an exploded perspective view of the piezoelectric vibrator 1 including the side-arm type piezoelectric vibrating piece 6 according to the embodiment or modification described above.
As shown in FIG. 5, the piezoelectric vibrator 1 of this embodiment is a ceramic package including a package 2 having a cavity C hermetically sealed inside, and a piezoelectric vibrating reed 6 accommodated in the cavity C. This is a type of surface-mounted oscillator.
The package 2 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. The package 2 includes a package body 3 and a sealing plate 4 that is joined to the package body 3 and forms a cavity C between the package body 3 and the sealing plate 4 .
The package body 3 includes a first base substrate 10 and a second base substrate 11 that are joined while being superimposed on each other, and a seal ring 12 that is joined onto the second base substrate 11 .

第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部１５が、両ベース基板１０、１１の厚み方向の全体に亘って形成されている。これら第１ベース基板１０および第２ベース基板１１は、例えばウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、切欠部１５となる。 At the four corners of the first base substrate 10 and the second base substrate 11, notch portions 15 having a 1/4 circular arc shape in plan view are formed over the entire thickness direction of both the base substrates 10 and 11. As shown in FIG. These first base substrate 10 and second base substrate 11 are formed by, for example, stacking two wafer-shaped ceramic substrates and bonding them together, then forming a plurality of through holes penetrating both ceramic substrates in a matrix. It is produced by cutting both ceramic substrates in a grid shape with the holes as a reference. At that time, the through hole is divided into four parts to form the cutouts 15 .

なお、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１はセラミックス製としたが、その具体的なセラミック材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ－Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミック製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ－Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。 Although the first base substrate 10 and the second base substrate 11 are made of ceramics, specific ceramic materials thereof include, for example, HTCC (High Temperature Co-Fired Ceramic) made of alumina and LTCC (made of glass ceramic). Low Temperature Co-Fired Ceramic) and the like.

第１ベース基板１０の上面は、キャビティＣの底面に相当する。
第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０に重ねられており、第１ベース基板１０に対して焼結などにより結合されている。すなわち、第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０と一体化されている。
なお、後述するように第１ベース基板１０と第２ベース基板１１の間には、両ベース基板１０、１１に挟まれた状態で接続電極（図示せず）が形成されている。 The top surface of the first base substrate 10 corresponds to the bottom surface of the cavity C. As shown in FIG.
The second base substrate 11 is overlaid on the first base substrate 10 and bonded to the first base substrate 10 by sintering or the like. That is, the second base substrate 11 is integrated with the first base substrate 10 .
As will be described later, a connection electrode (not shown) is formed between the first base substrate 10 and the second base substrate 11 while being sandwiched between the base substrates 10 and 11 .

第２ベース基板１１には、貫通部１１ａが形成されている。貫通部１１ａは、四隅が丸みを帯びた平面視長方形状に形成されている。貫通部１１ａの内側面は、キャビティＣの側壁の一部を構成している。貫通部１１ａの短手方向で対向する両側の内側面には、内方に突出する実装部１４Ａ、１４Ｂが設けられている。実装部１４Ａ、１４Ｂは、貫通部１１ａの長手方向略中央に形成されている。実装部１４Ａ、１４Ｂは、貫通部１１ａの長手方向の長さの１／３以上の長さに形成されている。 A through portion 11 a is formed in the second base substrate 11 . The penetrating portion 11a is formed in a rectangular shape in a plan view with four rounded corners. The inner side surface of the penetrating portion 11a forms part of the side wall of the cavity C. As shown in FIG. Inwardly projecting mounting portions 14A and 14B are provided on both inner side surfaces of the penetrating portion 11a facing each other in the transverse direction. The mounting portions 14A and 14B are formed substantially in the center in the longitudinal direction of the through portion 11a. The mounting portions 14A and 14B are formed to have a length of 1/3 or more of the length of the through portion 11a in the longitudinal direction.

シールリング１２は、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第２ベース基板１１の上面に接合されている。具体的には、シールリング１２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって第２ベース基板１１上に接合、あるいは、第２ベース基板１１上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタ等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。 The seal ring 12 is a conductive frame-shaped member slightly smaller than the outer shape of the first base substrate 10 and the second base substrate 11 , and is joined to the upper surface of the second base substrate 11 . Specifically, the seal ring 12 is bonded to the second base substrate 11 by baking with a brazing material such as silver brazing or a soldering material, or formed on the second base substrate 11 (for example, electrolytic plating or electroless plating). In addition to plating, they are joined by welding or the like to a metal joining layer formed by vapor deposition, sputtering, or the like.

シールリング１２の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２－アロイ等から選択すれば良い。特に、シールリング１２の材料としては、セラミック製とされている第１ベース基板１０および第２ベース基板１１に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１として、熱膨張係数６．８×１０－６／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング１２としては、熱膨張係数５．２×１０－６／℃のコバールや、熱膨張係数４．５～６．５×１０－６／℃の４２－アロイを用いることが好ましい。 Examples of materials for the seal ring 12 include nickel-based alloys, and specifically, they may be selected from Kovar, Elinvar, Invar, 42-alloy, and the like. In particular, as the material for the seal ring 12, it is preferable to select a material having a coefficient of thermal expansion close to that of the first base substrate 10 and the second base substrate 11, which are made of ceramic. For example, when alumina having a thermal expansion coefficient of 6.8×10 −6 /° C. is used for the first base substrate 10 and the second base substrate 11 , the seal ring 12 has a thermal expansion coefficient of 5.2×10 − It is preferable to use Kovar with a coefficient of thermal expansion of 6/°C or 42-alloy with a coefficient of thermal expansion of 4.5 to 6.5 x 10-6/°C.

封口板４は、シールリング１２上に重ねられた導電性基板であり、シールリング１２に対する接合によってパッケージ本体３に対して気密に接合されている。そして、封口板４、シールリング１２、第２ベース基板１１の貫通部１１ａ、および第１ベース基板１０の上面により画成された空間が、気密に封止されたキャビティＣとして機能する。 The sealing plate 4 is a conductive substrate overlaid on the seal ring 12 and is airtightly joined to the package body 3 by joining to the seal ring 12 . A space defined by the sealing plate 4, the seal ring 12, the through portion 11a of the second base substrate 11, and the upper surface of the first base substrate 10 functions as a hermetically sealed cavity C.

封口板４の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板４とシールリング１２との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板４の下面と、シールリング１２の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。 Examples of welding methods for the sealing plate 4 include seam welding by contacting a roller electrode, laser welding, ultrasonic welding, and the like. In addition, in order to ensure the welding between the sealing plate 4 and the seal ring 12, a bonding layer such as nickel or gold which is compatible with each other is applied to at least the lower surface of the sealing plate 4 and the upper surface of the seal ring 12, respectively. preferably formed.

第２ベース基板１１の実装部１４Ａ、１４Ｂの上面には、圧電振動片６との接続電極である一対の電極パッド２０Ａ、２０Ｂが形成されている。また、第１ベース基板１０の下面には、一対の外部電極２１Ａ、２１Ｂがパッケージ２の長手方向に間隔をあけて形成されている。電極パッド２０Ａ、２０Ｂおよび外部電極２１Ａ、２１Ｂは、例えば蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜である。
電極パッド２０Ａ、２０Ｂと外部電極２１Ａ、２１Ｂとは、第２ベース基板１１の実装部１４Ａ、１４Ｂに形成された第２貫通電極２２Ａ、２２Ｂ、第１ベース基板１０と第２ベース基板１１の間に形成された接続電極（図示せず）、及び、第１ベース基板１０に形成された第１貫通電極（図示せず）を介して互いにそれぞれ導通している。 A pair of electrode pads 20A and 20B, which are connection electrodes with the piezoelectric vibrating reed 6, are formed on the upper surfaces of the mounting portions 14A and 14B of the second base substrate 11 . A pair of external electrodes 21A and 21B are formed on the lower surface of the first base substrate 10 with a gap therebetween in the longitudinal direction of the package 2 . The electrode pads 20A, 20B and the external electrodes 21A, 21B are single-layer films made of a single metal formed by vapor deposition, sputtering, or the like, or laminated films in which different metals are laminated.
The electrode pads 20A and 20B and the external electrodes 21A and 21B are formed between the second through electrodes 22A and 22B formed in the mounting portions 14A and 14B of the second base substrate 11 and between the first base substrate 10 and the second base substrate 11. are electrically connected to each other via a connection electrode (not shown) formed on the first base substrate 10 and a first through electrode (not shown) formed on the first base substrate 10 .

圧電振動片６は、一対の支持腕部９ａ、９ｂにより実装部１４Ａ、１４Ｂ上に実装された状態で、気密封止されたパッケージ２のキャビティＣ内に収容されている。
すなわち、図５に示すように、圧電振動片６は、支持腕部９ａ、９ｂに設けられた各マウント電極９９ａ、９９ｂ（図１（ａ）参照）が、実装部１４Ａ、１４Ｂ上の電極パッド２０Ａ、２０Ｂ（上面にメタライズ層が形成されている場合は該メタライズ層）にそれぞれ接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂを介して電気的および機械的に接合されている。
このように、本実施形態の圧電振動片６は、支持腕部９ａ、９ｂのそれぞれが、その長さ方向（長手方向）の２箇所で実装部１４Ａ、１４Ｂ上に接合保持（２点支持）される。 The piezoelectric vibrating piece 6 is housed in the cavity C of the hermetically sealed package 2 while being mounted on the mounting portions 14A and 14B by the pair of support arms 9a and 9b.
That is, as shown in FIG. 5, in the piezoelectric vibrating piece 6, the respective mount electrodes 99a and 99b (see FIG. 1A) provided on the support arms 9a and 9b are connected to the electrode pads on the mounting portions 14A and 14B. 20A and 20B (if a metallized layer is formed on the upper surface, the metallized layer) are electrically and mechanically joined to each other via joining materials 51a, 51b, 52a and 52b.
Thus, in the piezoelectric vibrating piece 6 of the present embodiment, each of the support arm portions 9a and 9b is joined and held (two-point support) on the mounting portions 14A and 14B at two points in the length direction (longitudinal direction). be done.

接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂは、導電性を有し、かつ接合初期の段階において流動性を持ち、接合後期の段階において固化して接合強度を発現する性質を有するものが使用され、例えば、銀ペースト等の導電性接着剤や、金属バンプ等の使用が好適である。
接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂが導電性接着剤により構成されている場合、塗布装置の移動ヘッドに支持されたディスペンサノズルにより塗布される。
本実施形態では、各接合材のサイズは圧電振動子１のサイズによるが、例えば、１．２ｍｍ×１．０ｍｍサイズの圧電振動子１の場合、半径０．１ｍｍ程度に塗布される。 The bonding materials 51a, 51b, 52a, and 52b are electrically conductive, have fluidity in the initial stage of bonding, and solidify in the latter stage of bonding to exhibit bonding strength. It is preferable to use a conductive adhesive such as silver paste or a metal bump.
When the bonding materials 51a, 51b, 52a, 52b are made of a conductive adhesive, they are applied by a dispenser nozzle supported by a moving head of a coating device.
In this embodiment, the size of each bonding material depends on the size of the piezoelectric vibrator 1. For example, in the case of the piezoelectric vibrator 1 having a size of 1.2 mm×1.0 mm, the bonding material is applied to a radius of about 0.1 mm.

このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、外部電極２１Ａ、２１Ｂに所定の電圧を印加する。外部電極２１Ａ、２１Ｂに所定の電圧が印加されると、２系統の励振電極９１、９２に電流が流れ、２系統の励振電極９１、９２間に発生する電界による逆圧電効果によって、一対の振動腕部７ａ、７ｂは、例えば互いに接近、離間する方向（短手方向）に所定の共振周波数で振動する。一対の振動腕部７ａ、７ｂの振動は、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源などとして用いられる。
本実施形態の圧電振動片６では、上述したように、外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの主面には、励振電極９１、９２の少なくとも一方の励振電極が側面（外側側面又は溝部７２ａ、７２ｂの側面）から延設しているので、導電性異物の付着によるショートを回避しつつ、振動に寄与する面積を大きくすることができ、圧電効果を良くすることができる。 When operating the piezoelectric vibrator 1 configured in this way, a predetermined voltage is applied to the external electrodes 21A and 21B. When a predetermined voltage is applied to the external electrodes 21A and 21B, a current flows through the excitation electrodes 91 and 92 of the two systems, and the pair of vibrations is caused by the inverse piezoelectric effect caused by the electric field generated between the excitation electrodes 91 and 92 of the two systems. The arms 7a and 7b vibrate at a predetermined resonance frequency, for example, in a direction (transverse direction) in which they approach and separate from each other. The vibration of the pair of vibrating arms 7a and 7b is used as a time source, a timing source for control signals, a reference signal source, and the like.
In the piezoelectric vibrating piece 6 of the present embodiment, as described above, at least one of the excitation electrodes 91 and 92 is provided on the main surfaces of the outer bank portions 73a and 73b and the inner bank portions 74a and 74b. or from the side surfaces of the grooves 72a and 72b), the area contributing to vibration can be increased and the piezoelectric effect can be improved while avoiding short circuits due to adherence of conductive foreign matter.

以上説明した圧電振動子１は、電波時計、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等として、また、ジャイロセンサなどの計測機器等として使用される。 The piezoelectric vibrator 1 described above is used as a timing source such as a time source, a timing source such as a control signal, a reference signal source, etc. in radio-controlled clocks, mobile phones, and personal digital assistant devices, and as a measuring device such as a gyro sensor. be.

本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、上記実施形態においては、圧電振動片６を用いた圧電振動子１として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片６を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子１に適用することも可能である。
また、説明した実施形態の電極パッド２０は、実装部１４のほぼ全面に形成されているが、接合材５１、５２の少なくとも一方に対応する領域に形成されていればよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiments described with reference to the drawings, and various modifications are conceivable within its technical scope.
For example, in the above embodiment, the piezoelectric vibrator 1 using the piezoelectric vibrating piece 6 is a ceramic package type surface-mounted vibrator. It can also be applied to a glass package type piezoelectric vibrator 1 whose lid substrate is bonded by anodic bonding.
In addition, although the electrode pads 20 of the described embodiment are formed on substantially the entire surface of the mounting portion 14, they may be formed on a region corresponding to at least one of the bonding materials 51 and 52. FIG.

また、本実施形態として圧電振動片、圧電振動子を次のように構成するようにしてもよい。
（１）構成１
基部と、
前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、
前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、
前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、
一方側の前記振動腕部の側面と、他方側の前記振動腕部の溝部に形成された第１励振電極と、
前記他方側の前記振動腕部の側面と、前記一方側の前記振動腕部の溝部に形成された第２励振電極と、を備え、
前記振動腕部の各々は、４つのうちの少なくとも１つの前記土手部において、前記第１励振電極と前記第２励振電極のうちの一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。
この構成の圧電振動片によれば、振動腕部の各々は、４つのうちの少なくとも１つの土手部において、第１励振電極と第２励振電極のうちの一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成されているので、異物によるショートが生じにくく、振動に寄与する電極部分の面積を主面までの延設によって、より大きく確保することができる。 Further, as the present embodiment, the piezoelectric vibrating piece and the piezoelectric vibrator may be configured as follows.
(1) Configuration 1
a base;
a pair of vibrating arms extending side by side from the base;
grooves formed along the longitudinal direction on both principal surfaces of the pair of vibrating arms;
a bank formed by each of the grooves on both sides of the groove;
a side surface of the vibrating arm on one side and a first excitation electrode formed in a groove of the vibrating arm on the other side;
a side surface of the vibrating arm on the other side, and a second excitation electrode formed in a groove of the vibrating arm on the one side,
Each of the vibrating arms has at least one embankment out of four, and one excitation electrode of the first excitation electrode and the second excitation electrode extends from one side surface of the embankment to the main surface. extended, and the other excitation electrode is formed from the other side surface to below the main surface,
A piezoelectric vibrating piece characterized by:
According to the piezoelectric vibrating piece having this configuration, each of the vibrating arms has at least one embankment out of the four, and one excitation electrode of the first excitation electrode and the second excitation electrode is one of the embankments. Since the other excitation electrode is formed from the other side surface to the lower side of the main surface, short-circuiting due to foreign matter is unlikely to occur, and the area of the electrode portion that contributes to vibration is reduced to the main surface. By extending up to, it is possible to secure more.

（２）構成２
前記４つのうちの他の土手部が存在する場合には当該他の土手部において、前記第１励振電極と前記第２励振電極の両方が前記土手部の側面から主面まで延設されている、
ことを特徴とする構成１に記載の圧電振動片。
（３）構成３
前記４つの全土手部において、前記一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、前記他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成されている、
ことを特徴とする構成１、又は構成２に記載の圧電振動片。
（４）構成４
前記４つの土手部のうち、
前記他方の振動腕部から離れた側の外側土手部において、前記一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、前記他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成され、
前記他方の振動腕部に近い側の内側土手部において、前記第１励振電極と前記第２励振電極の両方が前記土手部の側面から主面まで延設されている、
ことを特徴とする構成１、又は構成２に記載の圧電振動片。
（５）構成５
前記振動腕部の外側に並んで前記基部から延設された、実装用の１対の支持腕部を有する、
ことを特徴とする構成１から構成４のうちのいずれか１の構成に記載の圧電振動片。
（６）構成６
前記１対の振動腕部の間に前記基部から延設された、実装用の１つの支持腕部を備え、
前記４つの土手部のうち、少なくとも前記他方の振動腕部に近い側の内側土手部において、前記一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、前記他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成されている、
ことを特徴とする構成１、又は請求項２に記載の圧電振動片。
（７）構成７
実装部を備えたパッケージと、
前記実装部に接合材を介して実装された、構成１から構成６のうちのいずれか１の構成に記載の圧電振動片と、
を具備したことを特徴とする圧電振動子。 (2) Configuration 2
If there is another embankment among the four, in the other embankment, both the first excitation electrode and the second excitation electrode extend from the side surface of the embankment to the main surface. ,
The piezoelectric vibrating reed according to configuration 1, characterized by:
(3) Composition 3
In all of the four bank portions, the one excitation electrode extends from one side surface of the bank portion to the main surface, and the other excitation electrode is formed from the other side surface to the lower side of the main surface. ,
The piezoelectric vibrating reed according to configuration 1 or configuration 2, characterized by:
(4) Composition 4
Of the four embankments,
In the outer bank portion on the side away from the other vibrating arm portion, the one excitation electrode extends from one side surface of the bank portion to the main surface, and the other excitation electrode extends from the other side surface to the main surface. is formed to the lower side,
both the first excitation electrode and the second excitation electrode extend from the side surface of the bank portion to the main surface at the inner bank portion closer to the other vibrating arm portion;
The piezoelectric vibrating reed according to configuration 1 or configuration 2, characterized by:
(5) Composition 5
Having a pair of mounting support arms extending from the base side by side with the vibrating arms,
The piezoelectric vibrating reed according to any one of configurations 1 to 4, characterized by:
(6) Composition 6
one supporting arm for mounting extending from the base between the pair of vibrating arms;
Of the four bank portions, at least at the inner bank portion closer to the other vibrating arm portion, the one excitation electrode extends from one side surface of the bank portion to the main surface, and the other excitation electrode is provided. is formed from the other side to below the main surface,
The piezoelectric vibrating reed according to configuration 1 or claim 2, characterized by:
(7) Composition 7
a package comprising a mounting portion;
a piezoelectric vibrating reed according to any one of configurations 1 to 6, which is mounted on the mounting portion via a bonding material;
A piezoelectric vibrator comprising:

１ 圧電振動子
２ パッケージ
３ パッケージ本体
４ 封口板
６ 圧電振動片
７ 振動腕部
８ 基部
９ 支持腕部
１０ 第１ベース基板
１１ 第２ベース基板
１４ 実装部
２０ 電極パッド
２１ 外部電極
２２ 第２貫通電極
５１、５２ 接合材
７２ 溝部
７３ 外側土手部
７４ 内側土手部
９１ 励振電極
９２ 励振電極
９９ マウント電極 1 Piezoelectric Vibrator 2 Package 3 Package Body 4 Sealing Plate 6 Piezoelectric Vibrating Piece 7 Vibrating Arm 8 Base 9 Supporting Arm 10 First Base Substrate 11 Second Base Substrate 14 Mounting Portion 20 Electrode Pad 21 External Electrode 22 Second Penetrating Electrode 51, 52 bonding material 72 groove portion 73 outer bank portion 74 inner bank portion 91 excitation electrode 92 excitation electrode 99 mount electrode

Claims (6)

基部と、
前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、
前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、
前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、
前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と、他方の振動腕部の溝部の両側面に形成された第１側面電極と、
前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と、前記他方の振動腕部の両側面に形成された第２側面電極と、
前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の４つの前記土手部の全主面に、前記一方の振動腕部の両側面に形成された前記第１側面電極から延出して形成された第１主面電極と、
前記１対の振動腕部における、前記他方の振動腕部の４つの前記土手部の全主面に、前記他方の振動腕部の両側面に形成された前記第２側面電極から延出して形成された第２主面電極と、を具備し、
前記第１主面電極と前記第２主面電極は、各々が形成されている土手部の短手方向の幅をＬとした場合に、Ｌ／２よりも短く形成され、
前記他方の振動腕部の前記溝部の両側面に形成された第１側面電極の先端と、前記一方の振動腕部の前記溝部の両側面に形成された第２側面電極の先端は、土手部の主面よりも下側に形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。 a base;
a pair of vibrating arms extending side by side from the base;
grooves formed along the longitudinal direction on both principal surfaces of the pair of vibrating arms;
a bank formed by each of the grooves on both sides of the groove;
First side electrodes formed on both side surfaces of one of the pair of vibrating arms and on both side surfaces of the groove of the other vibrating arm;
second side electrodes formed on both side surfaces of the groove of one of the pair of vibrating arms and on both side surfaces of the other vibrating arm;
In the pair of vibrating arm portions, the first side electrodes formed on both side surfaces of the one vibrating arm portion are formed on all main surfaces of the four bank portions of the one vibrating arm portion to extend from the first side electrodes. a first main surface electrode;
In the pair of vibrating arms, the second side electrodes formed on both side surfaces of the other vibrating arm are formed on all main surfaces of the four bank portions of the other vibrating arm so as to extend from the second side electrodes. and a second main surface electrode;
The first principal-surface electrode and the second principal-surface electrode are formed to be shorter than L/2, where L is the width in the lateral direction of the embankment on which each is formed,
The tip of the first side electrode formed on both side surfaces of the groove of the other vibrating arm and the tip of the second side electrode formed on both side surfaces of the groove of the one vibrating arm form a bank portion. is formed below the main surface of
A piezoelectric vibrating piece characterized by: 前記振動腕部の外側に並んで前記基部から延設された、実装用の１対の支持腕部を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。 Having a pair of mounting support arms extending from the base side by side with the vibrating arms,
The piezoelectric vibrating piece according to claim 1, characterized in that: 基部と、
前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、
前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、
前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、
前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と、他方の振動腕部の溝部の両側面に形成された第１側面電極と、
前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と、前記他方の振動腕部の両側面に形成された第２側面電極と、
前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の４つの前記土手部の主面と、前記他方の振動腕部の４つの前記土手部の主面、のうちの少なくとも１つの主面に、前記第１側面電極から延出して形成された第１主面電極と、
前記１対の振動腕部の各々において、４つの前記土手部の主面のうち、前記第１主面電極が、全ての主面に形成されている場合には最大３つの主面に、全ての主面には形成されていない場合には最大４つの主面に、前記第２側面電極から延出して形成された第２主面電極と、
前記１対の振動腕部の間に前記基部から延設された、実装用の１つの支持腕部と、
を具備し、
前記１対の振動腕部における前記支持腕部に対向する側の土手部を内側土手部とし、対向しない側の土手部を外側土手部とした場合、
前記第１主面電極は、４つの前記外側土手部と、前記一方の振動腕部における２つの前記内側土手部又は前記他方の振動腕部における２つの前記内側土手部に形成され、
前記第２主面電極は、４つの前記外側土手部と、４つの前記内側土手部のうち、前記第１主面電極が形成されていない２つの前記内側土手部に形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。 a base;
a pair of vibrating arms extending side by side from the base;
grooves formed along the longitudinal direction on both principal surfaces of the pair of vibrating arms;
a bank formed by each of the grooves on both sides of the groove;
First side electrodes formed on both side surfaces of one of the pair of vibrating arms and on both side surfaces of the groove of the other vibrating arm;
second side electrodes formed on both side surfaces of the groove of one of the pair of vibrating arms and on both side surfaces of the other vibrating arm;
In the pair of vibrating arms, at least one main surface of the four main surfaces of the one vibrating arm and the four main surfaces of the other vibrating arm. a first main-surface electrode formed by extending from the first side-surface electrode;
In each of the pair of vibrating arm portions, when the first main surface electrodes are formed on all of the main surfaces of the four bank portions, the first main surface electrodes are formed on all of the main surfaces. a second main surface electrode formed by extending from the second side electrode on a maximum of four main surfaces when not formed on the main surface of
one support arm for mounting extending from the base between the pair of vibrating arms;
and
When the embankment on the side of the pair of vibrating arms facing the support arm is an inner embankment, and the embankment on the side not facing the supporting arm is an outer embankment,
The first main surface electrodes are formed on the four outer bank portions and the two inner bank portions on the one vibrating arm or the two inner bank portions on the other vibrating arm,
The second main surface electrode is formed on two of the four outer bank portions and the four inner bank portions, wherein the first main surface electrode is not formed,
A piezoelectric vibrating piece characterized by: 前記土手部の主面に第１主面電極が延出していない前記第１側面電極の先端と、前記土手部の主面に第２主面電極が延出していない前記第２側面電極の先端は、土手部の主面よりも下側に形成されている、
ことを特徴とする請求項３に記載の圧電振動片。 The tip of the first side electrode from which the first principal surface electrode does not extend to the principal surface of the bank portion, and the tip of the second side electrode from which the second principal surface electrode does not extend to the principal surface of the bank portion. is formed below the main surface of the embankment,
The piezoelectric vibrating piece according to claim 3, characterized in that: 基部と、
前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、
前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、
前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、
前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と、他方の振動腕部の溝部の両側面に形成された第１側面電極と、
前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と、前記他方の振動腕部の両側面に形成された第２側面電極と、
前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の４つの前記土手部の主面と、前記他方の振動腕部の４つの前記土手部の主面、のうちの少なくとも１つの主面に、前記第１側面電極から延出して形成された第１主面電極と、
前記１対の振動腕部の各々において、４つの前記土手部の主面のうち、前記第１主面電極が、全ての主面に形成されている場合には最大３つの主面に、全ての主面には形成されていない場合には最大４つの主面に、前記第２側面電極から延出して形成された第２主面電極と、
前記１対の振動腕部の外側に並んで前記基部から延設された、実装用の１対の支持腕部と、を具備し、
前記１対の振動腕部における土手部のうち、前記１対の支持腕部のいずれかの支持腕部に対向する側の土手部を外側土手部とし、対向しない側の土手部を内側土手部とした場合、
前記第１主面電極は、４つの前記内側土手部と、前記一方の振動腕部における２つの前記外側土手部又は前記他方の振動腕部における２つの前記外側土手部に形成され、
前記第２主面電極は、４つの前記内側土手部と、４つの前記外側土手部のうちの前記第１主面電極が形成されていない２つの前記外側土手部に形成され、
前記第１主面電極と前記第２主面電極は、各々が形成されている土手部の短手方向の幅をＬとした場合に、Ｌ／２よりも短く形成され、
前記土手部の主面に第１主面電極が延出していない前記第１側面電極の先端と、前記土手部の主面に第２主面電極が延出していない前記第２側面電極の先端は、土手部の主面よりも下側に形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。 a base;
a pair of vibrating arms extending side by side from the base;
grooves formed along the longitudinal direction on both principal surfaces of the pair of vibrating arms;
a bank formed by each of the grooves on both sides of the groove;
First side electrodes formed on both side surfaces of one of the pair of vibrating arms and on both side surfaces of the groove of the other vibrating arm;
second side electrodes formed on both side surfaces of the groove of one of the pair of vibrating arms and on both side surfaces of the other vibrating arm;
In the pair of vibrating arms, at least one main surface of the four main surfaces of the one vibrating arm and the four main surfaces of the other vibrating arm. a first main-surface electrode formed by extending from the first side-surface electrode;
In each of the pair of vibrating arm portions, when the first main surface electrodes are formed on all of the main surfaces of the four bank portions, the first main surface electrodes are formed on all of the main surfaces. a second main surface electrode formed by extending from the second side electrode on a maximum of four main surfaces when not formed on the main surface of
a pair of supporting arms for mounting extending from the base and aligned outside the pair of vibrating arms;
Among the bank portions of the pair of vibrating arm portions, the bank portion on the side facing one of the supporting arm portions of the pair of supporting arm portions is defined as an outer bank portion, and the bank portion on the side not facing is defined as an inner bank portion. and
The first main surface electrodes are formed on the four inner bank portions and the two outer bank portions on the one vibrating arm or the two outer bank portions on the other vibrating arm,
the second principal-surface electrodes are formed on the four inner bank portions and two of the four outer bank portions on which the first principal-surface electrodes are not formed;
The first principal-surface electrode and the second principal-surface electrode are formed to be shorter than L/2, where L is the width in the lateral direction of the embankment on which each is formed,
The tip of the first side electrode from which the first principal surface electrode does not extend to the principal surface of the bank portion, and the tip of the second side electrode from which the second principal surface electrode does not extend to the principal surface of the bank portion. is formed below the main surface of the embankment,
A piezoelectric vibrating piece characterized by: 実装部を備えたパッケージと、
前記実装部に接合材を介して実装された、請求項１から請求項５のうちのいずれか１の請求項に記載の圧電振動片と、
を具備したことを特徴とする圧電振動子。 a package having a mounting part;
a piezoelectric vibrating piece according to any one of claims 1 to 5 , which is mounted on the mounting portion via a bonding material;
A piezoelectric vibrator comprising:
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