JP7284561B2 - 電極埋設部材 - Google Patents
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Description
表面(例えば、実施形態の表面2a。以下同一。)及び裏面(例えば、実施形態の裏面2b。以下同一。)を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材(例えば、実施形態の基材2。以下同一。)と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極(例えば、実施形態の内部電極3。以下同一。)と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状で金属製の接続部材(例えば、実施形態の接続部材4。以下同一。)と、
前記接続部材に接続される端子(例えば、実施形態の端子5。以下同一。)と、
を備える電極埋設部材(例えば、実施形態の電極埋設部材1。以下同一。)であって、
前記基材の表面に垂直な方向における前記接続部材の少なくとも一部の厚さが0.15mm以下である第1所定構造、
に加えて、
前記接続部材が切欠部(例えば、実施形態のスリット8、切欠孔9,10。以下同一。)を備えた第2所定構造、
を備えるものであり、
前記切欠部は、前記接続部材の前記端子が接続される中央領域(例えば、実施形態の中央領域6。以下同一。)を避けて前記接続部材の中央領域側から前記接続部材の外縁(例えば、実施形態の外縁7。以下同一。)に向かって放射状に延びるスリット(例えば、実施形態のスリット8。以下同一。)であることを特徴とする。
また、スリットによって接続部材が変形しやすく、内部応力の発生を抑制することができるため、クラック等の不具合を抑制することができる。
表面及び裏面を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状で金属製の接続部材と、
前記接続部材に接続される端子と、
を備える電極埋設部材であって、
前記基材の表面に垂直な方向における前記接続部材の少なくとも一部の厚さが0.15mm以下である第1所定構造、
に加えて、
前記接続部材が切欠部を備えた第2所定構造、
を備えるものであり、
前記切欠部は、前記接続部材の前記端子が接続される中央領域を避けて前記接続部材を貫通する切欠孔であることを特徴とする。
本発明によれば、接続部材が第1から第2の所定構造を有することにより、接続部材の体積を小さくできる。このため、接続部材と母材であるセラミックスの物性の差によって誘起される応力が抑制され、基材に設けられる絶縁層(基材における内部電極から基材の表面までの部分)のクラック等の不具合を抑制することができる。
また、切欠孔によって接続部材が変形し易く、内部応力の発生を抑制することができるため、クラック等の不具合を抑制することができる。
表面及び裏面を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状で金属製の接続部材と、
前記接続部材に接続される端子と、
を備える電極埋設部材であって、
前記基材の表面に垂直な方向における前記接続部材の少なくとも一部の厚さが0.15mm以下である第1所定構造、
に加えて、
前記接続部材が切欠部を備えた第2所定構造、
を備えるものであり、
前記切欠部は、前記接続部材の前記端子が接続される中央領域を避けて前記接続部材を貫通する切欠孔であることを特徴とする。
本発明によれば、接続部材が第1から第2の所定構造を有することにより、接続部材の体積を小さくできる。このため、接続部材と母材であるセラミックスの物性の差によって誘起される応力が抑制され、基材に設けられる絶縁層(基材における内部電極から基材の表面までの部分)のクラック等の不具合を抑制することができる。
また、切欠孔によって接続部材が変形し易く、内部応力の発生を抑制することができるため、クラック等の不具合を更に抑制することができる。
表面及び裏面を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状で金属製の接続部材と、
前記接続部材に接続される端子と、
を備える電極埋設部材であって、
前記接続部材がメッシュ構造体からなる第3所定構造を有することを特徴とする。
本発明によれば、接続部材が第3所定構造を有することにより、接続部材の体積を小さくできる。このため、接続部材と母材であるセラミックスの物性の差によって誘起される応力が抑制され、基材に設けられる絶縁層(基材における内部電極から基材の表面までの部分)のクラック等の不具合を抑制することができる。
また、メッシュ構造体である接続部材が変形し易く、内部応力の発生を抑制することができるため、クラック等の不具合を更に抑制することができる。
表面及び裏面を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状でタングステン、モリブデン又はこれらを主成分とする合金製の接続部材と、
前記接続部材に接続される端子と、
を備える電極埋設部材であって、
前記基材の表面に垂直な方向における前記接続部材の少なくとも一部の厚さが0.15mm以下である第1所定構造を有することを特徴とする。
本発明によれば、接続部材が第1所定構造を有することにより、接続部材の体積を小さくできる。このため、接続部材と母材であるセラミックスの物性の差によって誘起される応力が抑制され、基材に設けられる絶縁層(基材における内部電極から基材の表面までの部分)のクラック等の不具合を抑制することができる。
図1に模式的に示すように、第1実施形態の電極埋設部材1は、表面2a及び裏面2bを有し、窒化アルミニウム(AlN)などのセラミックスからなる円板状の基材2と、基材2の表面2aと平行に帯状に延在し、基材2に埋設される内部電極3と、基材2の表面2aと平行に円盤状に延在し、内部電極3に重ねて配置される接続部材4と、を備える。接続部材4には、棒状の端子5がロウ付けなどによって接合されている。
次に、第1実施形態の実施例として、実施例1-1から実施例1-6(以下、実施例1という。)と比較例1-1から比較例1-3とを比較する。実施例1では、金属からなる内部電極4を埋設した酸化イットリウムを添加した窒化アルミニウムからなる基材よりウエハ保持装置である電極埋設部材1を製造した。
比較例1-1、比較例1-2は、接続部材を円盤形状とし、全体の厚さを0.3mm、0.5mmとした以外は、実施例1と同一条件で作製した。
第2実施形態の電極埋設部材1は、接続部材4が異なる以外は全て第1実施形態のものと同一に構成されている。図3に示すように、第2実施形態の接続部材4には、端子5が接続される中央領域6を避けて中央領域6側から接続部材4の外縁7に向かって放射状に延びる8つのスリット8(切欠部)が周方向に等間隔で設けられている。スリット8は外縁7まで達している。接続部材4は、8つのスリット8が周方向に等間隔で設けられており、基材2の表面に垂直な方向から見たときに回転対称性を備えている。
第2実施形態の実施例2は、接続部材4にレーザー加工によりスリット8を長さ2mm、幅0.1mmで放射状に設けたものであり、他は実施例1と同一である。実施例2によっても、実施例1と同様の評価を行ったが、クラックは発生せず、信頼性が高いことが確認された。
第3実施形態の電極埋設部材1は、接続部材4が異なる以外は全て第1実施形態のものと同一に構成されている。図4に示すように、第3実施形態の接続部材4には、端子5が接続される中央領域6を避けて接続部材4を貫通する扇状の6つの切欠孔9が互いに周方向に等しい間隔を存して設けられている。扇状の切欠孔9は、接続部材4の外縁7から間隔を存して穿設されている。接続部材4は、6つの切欠孔9が周方向に等間隔で設けられていることにより、基材2の表面に垂直な方向から見たときに回転対称性を備えている。
第3実施形態の実施例3は、接続部材4にレーザー加工によって、切欠孔9(扇形形状の径方向内側の辺の径(内径)1mm、扇形形状の径方向外側の辺の径(外径)2.4mm、切欠孔9同士の周方向の間の間隔0.4mm)を形成した。実施例3によっても、実施例1と同様の評価を行ったが、クラックは発生せず、信頼性が高いことが確認された。
第4実施形態の電極埋設部材1は、接続部材4が異なる以外は全て第1実施形態のものと同一に構成されている。図5に示すように、第4実施形態の接続部材4には、端子5が接続される中央領域6を避けて接続部材4を貫通する三角形状の8つの切欠孔10が互いに周方向に間隔を存して設けられている。切欠孔10は、接続部材4の外縁7まで達している。
第4実施形態の実施例4は、接続部材4にレーザー加工によって、周方向45°の間隔で8つの切欠孔10を設けたものである。切欠孔10の周方向の間に形成される突部11は、先端の角度が90°となるように、かつ、接続部材4の中心から突部11の先端までの距離が4mm(即ち接続部材4の直径が8mm)となるように設定している。
第5実施形態の電極埋設部材1は、接続部材4が異なる以外は全て第1実施形態のものと同一に構成されている。図6に模式的に示すように、第5実施形態の接続部材4は、金属線や金属繊維などを網目状に編むなどして構成された1枚のメッシュ構造体、又は複数枚のメッシュ構造体を重ね合わせた積層体により構成されている。
第5実施形態の実施例5-1から実施例5-4(以下、実施例5という)は、接続部材4をモリブデン製のメッシュ構造体を直径6mmの円形に切断して作製した。他の構成は、実施例1と同一である。実施例5-1は、ワイヤー線径0.03mm、平織りメッシュサイズ(1インチあたりのワイヤー本数)150、実施例5-2は、ワイヤー線径0.05mm、平織りメッシュサイズ(1インチあたりのワイヤー本数)100、実施例5-3は、ワイヤー線径0.10mm、平織りメッシュサイズ(1インチあたりのワイヤー本数)50、実施例5-4は、ワイヤー線径0.15mm、平織りメッシュサイズ(1インチあたりのワイヤー本数)40、に設定されている。
第5実施形態の実施例6-1から実施例6-3(以下、実施例6という)は、接続部材4を、メッシュ構造体を3つ積層させた三層構造としている。他の構成は、実施例1と同一である。
2 基材
2a 表面
2b 裏面
3 内部電極
4 接続部材
5 端子
5a 緩衝部材
6 中央領域
7 外縁
8 スリット(切欠部)
9 切欠孔(第3実施形態)
10 切欠孔(第4実施形態)
11 突部
Claims (7)
- 表面及び裏面を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状で金属製の接続部材と、
前記接続部材に接続される端子と、
を備える電極埋設部材であって、
前記基材の表面に垂直な方向における前記接続部材の少なくとも一部の厚さが0.15mm以下である第1所定構造、
に加えて、
前記接続部材が切欠部を備えた第2所定構造、
を備えるものであり、
前記切欠部は、前記接続部材の前記端子が接続される中央領域を避けて前記接続部材の中央領域側から前記接続部材の外縁に向かって放射状に延びるスリットであることを特徴とする電極埋設部材。 - 表面及び裏面を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状で金属製の接続部材と、
前記接続部材に接続される端子と、
を備える電極埋設部材であって、
前記基材の表面に垂直な方向における前記接続部材の少なくとも一部の厚さが0.15mm以下である第1所定構造、
に加えて、
前記接続部材が切欠部を備えた第2所定構造、
を備えるものであり、
前記切欠部は、前記接続部材の前記端子が接続される中央領域を避けて前記接続部材を貫通する切欠孔であることを特徴とする電極埋設部材。 - 表面及び裏面を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状で金属製の接続部材と、
前記接続部材に接続される端子と、
を備える電極埋設部材であって、
前記基材の表面に垂直な方向における前記接続部材の少なくとも一部の厚さが0.15mm以下である第1所定構造、
に加えて、
前記接続部材が切欠部を備えた第2所定構造、
を備えるものであり、
前記切欠部は、前記接続部材の前記端子が接続される中央領域を避けて前記接続部材を貫通する切欠孔であることを特徴とする電極埋設部材。 - 表面及び裏面を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状で金属製の接続部材と、
前記接続部材に接続される端子と、
を備える電極埋設部材であって、
前記接続部材がメッシュ構造体からなる第3所定構造を有することを特徴とする電極埋設部材。 - 表面及び裏面を有し、窒化アルミニウム焼結体からなる板状の基材と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記基材に埋設される内部電極と、
前記基材の表面と平行に延在し、前記内部電極に重ねて埋設して配置される円盤状でタングステン、モリブデン又はこれらを主成分とする合金製の接続部材と、
前記接続部材に接続される端子と、
を備える電極埋設部材であって、
前記基材の表面に垂直な方向における前記接続部材の少なくとも一部の厚さが0.15mm以下である第1所定構造を有することを特徴とする電極埋設部材。 - 請求項4に記載の電極埋設部材であって、
前記接続部材は、メッシュ構造体を複数枚重ね合わせて構成されていることを特徴とする電極埋設部材。 - 請求項1から請求項6の何れか1項に記載の電極埋設部材であって、
前記所定構造は、前記基材の表面に垂直な方向から見たときに回転対称性を備えることを特徴とする電極埋設部材。
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