JP7277606B2 - 効率的な光路を備えた大型アレイステレオリソグラフィ - Google Patents
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Description
他の実施形態
1. 三次元プリントシステムであって、
樹脂を含む樹脂容器;
結像バー;
前記結像バーに連結された移動機構;および
コントローラ
を備え、
前記結像バーは、該結像バーの出口面から放射線を選択的に照射して、前記樹脂中に構築平面を画定する発光素子の配列を含み、前記結像バーの出口面は、前記構築平面から10mm未満であり、
前記コントローラは、
走査軸に沿って前記結像バーを走査し;かつ
走査と同時に、前記結像バーを操作して前記構築平面に樹脂の層を選択的に結像および硬化する
ように構成されている、三次元プリントシステム。
2. 前記結像バーが、走査軸に対して斜めまたは垂直である軸に沿って配置される発光素子の配列を支持する基板を含むことを特徴とする、実施形態1の三次元プリントシステム。
3. 前記発光素子が、発光ダイオード(LED)であることを特徴とする、実施形態2の三次元プリントシステム。
4. 前記結像バーが、前記発光素子からの光を個々に受け取る、前記基板に重なる光コリメータの配列を含むことを特徴とする、実施形態2の三次元プリントシステム。
5. 前記光コリメータが個々に、反射性の放物線状の内面を含むことを特徴とする、実施形態4の三次元プリントシステム。
6. 前記放物線状の内面が、3:1より大きい長さ対幅比を有することを特徴とする、実施形態5の三次元プリントシステム。
7. 前記光コリメータの配列に重なり、かつ、個々に光コリメータからの光の焦点を前記構築平面に合わせる、小型レンズの配列をさらに含むことを特徴とする、実施形態4の三次元プリントシステム。
8. 前記小型レンズが、第1の小型レンズおよび該第1の小型レンズに重なる第2の小型レンズを含む2つの小型レンズを個々に含むことを特徴とする、実施形態7の三次元プリントシステム。
9. 前記小型レンズの配列に重なり、かつ、個々に偏角光を除去して前記構築平面における発光素子からスポットサイズを制約する、アパーチャの配列をさらに含むことを特徴とする、実施形態7の三次元プリントシステム。
10. 前記結像バーの前記出口面が、前記構築平面から5ミリメートル未満であることを特徴とする、実施形態1の三次元プリントシステム。
11. 前記結像バーの前記出口面が、前記構築平面から3~4ミリメートルの範囲内であることを特徴とする、実施形態10の三次元プリントシステム。
12. 三次元プリントシステムであって、
樹脂を含む樹脂容器;
結像バー;
前記結像バーに連結された移動機構;および
コントローラ
を備え、
前記結像バーは、
走査軸に沿って配置された複数の発光素子を含む基板;
前記発光素子と個々に位置合わせされる複数のコリメータを画定する、前記基板の上に重なる視準層;
前記コリメータと個々に位置合わせされて前記樹脂内の構築平面上に光の焦点を合わせる複数の小型レンズを有する、前記視準層に重なる小型レンズ層;および
前記小型レンズと個々に位置合わせされる複数のアパーチャを画定するマスクを有する、前記小型レンズ層に重なるアパーチャプレート
を含み、
前記コントローラは、
走査軸に沿って前記結像バーを走査し;かつ
走査と同時に、前記結像バーを操作して前記構築平面に樹脂の層を選択的に結像する
ように構成されている、三次元プリントシステム。
13. 前記視準層が、前記コリメータを画定するポリマー材料層であり、前記コリメータが、前記ポリマー材料を通って伸長し反射性材料の裏地を有する放物線状の開口部であることを特徴とする、実施形態12の三次元プリントシステム。
14. 前記ポリマー材料が、環状オレフィンポリマー(COP)、ポリジメチルシロキサン(PDMS)、アクリル、および環状オレフィンコポリマー(COC)のいずれかであることを特徴とする、実施形態13の三次元プリントシステム。
15. 前記反射性材料が、真空蒸着された金属であることを特徴とする、実施形態13の三次元プリントシステム。
16. 前記アパーチャプレートがガラスプレートであり、前記マスクがパターン加工された金属層であることを特徴とする、実施形態12の三次元プリントシステム。
17. 前記アパーチャプレートから前記構築平面までの距離が、10ミリメートル未満であることを特徴とする、実施形態12の三次元プリントシステム。
18. 前記アパーチャプレートから前記構築平面までの距離が、5ミリメートル未満であることを特徴とする、実施形態12の三次元プリントシステム。
3 三次元物品
4 樹脂容器
6 樹脂
12 構築トレイ
16 エレベータ機構
18 結像バー
24 構築平面
28 コントローラ
Claims (11)
- 三次元プリントシステムであって、
樹脂を含む樹脂容器;
結像バー;
前記結像バーに連結された移動機構;および
コントローラ
を備え、
前記結像バーは、該結像バーの出口面から放射線を選択的に照射して、前記樹脂中に構築平面を画定する発光素子の配列を含み、前記結像バーの出口面は、前記構築平面から10mm未満であり、
前記コントローラは、
走査軸に沿って前記結像バーを走査し;かつ
走査と同時に、前記結像バーを操作して前記構築平面に樹脂の層を選択的に結像および硬化する
ように構成され、
前記結像バーが、走査軸に対して斜めまたは垂直である軸に沿って配置される発光素子の配列を支持する基板を含み、
前記結像バーが、前記発光素子からの光を個々に受け取る、前記基板に重なる光コリメータの配列を含み、
前記光コリメータが個々に、反射性の放物線状の内面を含み、
前記放物線状の内面が、3より大きい長さ対幅比を有し、
前記三次元プリントシステムが、前記光コリメータの配列に重なり、かつ、個々に光コリメータからの光の焦点を前記構築平面に合わせる、小型レンズの配列をさらに含み、
前記三次元プリントシステムが、前記小型レンズの配列に重なり、かつ、個々に偏角光を除去して前記構築平面における発光素子からスポットサイズを制約する、アパーチャの配列をさらに含む、
三次元プリントシステム。 - 前記発光素子が、発光ダイオード(LED)であることを特徴とする、請求項1に記載の三次元プリントシステム。
- 前記小型レンズが、第1の小型レンズおよび該第1の小型レンズに重なる第2の小型レンズを含む2つの小型レンズを個々に含むことを特徴とする、請求項1または2に記載の三次元プリントシステム。
- 前記結像バーの前記出口面が、前記構築平面から5ミリメートル未満であることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の三次元プリントシステム。
- 前記結像バーの前記出口面が、前記構築平面から3~4ミリメートルの範囲内であることを特徴とする、請求項4に記載の三次元プリントシステム。
- 三次元プリントシステムであって、
樹脂を含む樹脂容器;
結像バー;
前記結像バーに連結された移動機構;および
コントローラ
を備え、
前記結像バーは、
走査軸に沿って配置された複数の発光素子を含む基板;
前記発光素子と個々に位置合わせされる複数のコリメータを画定する、前記基板の上に重なる視準層;
前記コリメータと個々に位置合わせされて前記樹脂内の構築平面上に光の焦点を合わせる複数の小型レンズを有する、前記視準層に重なる小型レンズ層;および
前記小型レンズと個々に位置合わせされる複数のアパーチャを画定するマスクを有する、前記小型レンズ層に重なるアパーチャプレート
を含み、
前記コントローラは、
走査軸に沿って前記結像バーを走査し;かつ
走査と同時に、前記結像バーを操作して前記構築平面に樹脂の層を選択的に結像する
ように構成され、
前記視準層が、前記コリメータを画定するポリマー材料層であり、前記コリメータが、前記ポリマー材料を通って伸長し反射性材料の裏地を有する放物線状の開口部であり、
前記放物線状の開口部が、3より大きい長さ対幅比を有する放物線状の内面を画定する、
三次元プリントシステム。 - 前記ポリマー材料が、環状オレフィンポリマー(COP)、ポリジメチルシロキサン(PDMS)、アクリル、および環状オレフィンコポリマー(COC)のいずれかであることを特徴とする、請求項6に記載の三次元プリントシステム。
- 前記反射性材料が、真空蒸着された金属であることを特徴とする、請求項6または7に記載の三次元プリントシステム。
- 前記アパーチャプレートがガラスプレートであり、前記マスクがパターン加工された金属層であることを特徴とする、請求項6~8のいずれか一項に記載の三次元プリントシステム。
- 前記アパーチャプレートから前記構築平面までの距離が、10ミリメートル未満であることを特徴とする、請求項6~9のいずれか一項に記載の三次元プリントシステム。
- 前記アパーチャプレートから前記構築平面までの距離が、5ミリメートル未満であることを特徴とする、請求項6~10のいずれか一項に記載の三次元プリントシステム。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012505775A (ja) | 2008-10-17 | 2012-03-08 | ハンツマン・アドヴァンスト・マテリアルズ・(スイッツランド)・ゲーエムベーハー | 迅速プロトタイプ作成のためのシステムおよび樹脂 |
JP2012519874A (ja) | 2009-03-06 | 2012-08-30 | ネーデルランデ オルガニサチエ ヴォール トエゲパスト−ナツールウェテンスハペリエク オンデルゾエク ティーエヌオー | ステレオリソグラフィ装置用の照射システム |
CN104108182A (zh) | 2014-07-14 | 2014-10-22 | 上海交通大学 | 采用led阵列微投影光源的光固化3d成型系统 |
CN107748465A (zh) | 2017-11-15 | 2018-03-02 | 吴华强 | 一种基于液晶成像原理的3d打印机及液晶背光源装置 |
CN208324234U (zh) | 2018-05-11 | 2019-01-04 | 深圳市诺瓦机器人技术有限公司 | 一种面阵光源装置、面阵反光罩和光固化3d打印机 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012505775A (ja) | 2008-10-17 | 2012-03-08 | ハンツマン・アドヴァンスト・マテリアルズ・(スイッツランド)・ゲーエムベーハー | 迅速プロトタイプ作成のためのシステムおよび樹脂 |
JP2012519874A (ja) | 2009-03-06 | 2012-08-30 | ネーデルランデ オルガニサチエ ヴォール トエゲパスト−ナツールウェテンスハペリエク オンデルゾエク ティーエヌオー | ステレオリソグラフィ装置用の照射システム |
CN104108182A (zh) | 2014-07-14 | 2014-10-22 | 上海交通大学 | 采用led阵列微投影光源的光固化3d成型系统 |
CN107748465A (zh) | 2017-11-15 | 2018-03-02 | 吴华强 | 一种基于液晶成像原理的3d打印机及液晶背光源装置 |
CN208324234U (zh) | 2018-05-11 | 2019-01-04 | 深圳市诺瓦机器人技术有限公司 | 一种面阵光源装置、面阵反光罩和光固化3d打印机 |
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